KR102266966B1 - 스토커 컨베이어용 대차 - Google Patents

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장용배
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Abstract

발명의 스토커 컨베이어용 대차는, 프레임; 상기 프레임에 대해 승강이 이루어지는 승강테이블; 상기 승강테이블을 상기 프레임에 대해 승강시키도록 대면하는 한 쌍으로 승강부;로 구성되되, 상기 승강부는, 승강모터와, 상기 승강모터의 회전수를 조절하는 감속기와, 상기 감속기에 연결되어 승강테이블을 승강시키는 한 쌍의 링크로 구성된 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 승강구조를 단순화하여 프레임의 형상을 개선하여 대차의 무게를 줄여주는 효과가 있다.

Description

스토커 컨베이어용 대차{CARRIAGE FOR STOCKER CONVEYOR}
본 발명은 스토커 컨베이어용 대차에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 주행, 승강 및 회전이 이루어지는 스토커 컨베이어용 대차에 관한 것이다.
정보화 사회의 발전에 부응하여 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 등과 같은 평판 표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다.
이러한 평판 표시장치 중 이하에서는 액정 표시장치를 예로 들어 설명한다.
액정 표시장치는 액정 분자들의 전기 광학 특성을 이용하여 화상을 표시하는 장치이다. 이를 위해, 액정 표시장치는 액정 패널, 백라이트 유닛 및 구동회로 유닛을 포함한다.
상기의 구성을 가지는 액정 표시장치는 크게 기판 제조 공정, 셀 제조 공정 및 모듈 제조 공정을 통해 제조된다.
여기서, 기판 제조 공정이란 세정된 기판을 이용한 컬러 필터 기판을 제조하는 공정 및 세정된 다른 기판을 이용한 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 공정을 말하며, 셀 제조 공정이란 컬러 필터 기판 및 박막 트랜지스터 기판 사이에 액정층을 형성한 후, 상기 두 기판을 합착시켜 액정 패널을 제조하는 공정을 말하며, 모듈 제조 공정이란 액정 패널의 패드부에 구동회로 유닛을 부착한 후, 구동회로 유닛이 부착된 액정 패널을 백라이트 유닛과 조립하는 공정을 말한다.
전술한 기판 제조 공정을 위해 기판은 각 제조 장비로 낱장 또는 그룹 형태로 반송되어야 한다. 이 때문에, 다수의 기판을 낱장으로 적재할 수 있으며 이 낱장의 기판을 그룹 형태로 반송할 수 있는 카세트(cassette)가 기판 반송을 위해 사용된다.
즉, 기판은 카세트에 적재된 상태로 제조 장비로 반송된다.
또한, 기판 제조 공정을 수행하는 제조 장비들은 각각 기판 처리 능력 및 처리 시간이 다르다. 이로인해, 카세트를 임시로 보관하는 스토커(stocker)가 사용되며, 스토커는 선반(shelf), 포트(port) 및 랙 마스터(rack master)를 포함하며, 선반은 기판이 적재된 카세트를 실제적으로 보관하는 설비이다.
또한, 액정 표시장치 제조공정에는 작업 효율을 높이기 위하여 다수의 기판이 수납된 카세트를 스토커와 스토커 사이 또는 스토커와 각 공정이 수행되는 장비 사이에서 반송하는 컨베이어(CONVEYOR)가 더 구비된다.
따라서, 컨베이어는 카세트가 임시로 저장된 스토커와 스토커 사이 또는 스토커와 일련의 공정이 수행되는 장비 사이를 왕복하면서, 카세트를 스토커에서 스토커로 또는 스토커에서 각 장비들로 그리고 각 장비들에서 스토커로 각각 반송하게 된다.
이러한 스토커 컨베이어는 정해진 경로를 따라 카세트를 반송할 수 있도록 생산 라인에 설치된 레일 및 상기 레일을 따라 이동하며 카세트가 수납되는 대차로 구성된다.
또한, 대차는 X축 주행, Z축 승강 및 T축 회전이 이루어지는 3축 대차 또는 Y축 주행, Z축 승강이 이루어지는 2축 대차가 적용된다.
이 중, 3축 대차의 T축 회전은 카세트의 반송시에도 방향성을 유지하기 위함이며, 카세트는 일방향으로 기판이 인출입되는 투입구가 형성되어 있어 카세트가 반송된 스토커 또는 제조 공정을 수행하는 제조 장비들에서 해당 투입구를 통해 기판을 인출입하도록 방향성을 유지해야 하기 때문이다.
그러나, 종래의 대차는 레일을 따라 주행하는 주행부와 카세트를 승강시키는 승강부가 모노코크 형태의 프레임에 배치되어 있어 대차의 무게가 무거운 문제점이 있다.
더욱이. 종래의 대차는 승강 구조가 복잡하여 유지보수가 어렵다.
따라서, 승강 구조를 개선하여 경량화된 형태의 스토커 컨베이어용 대차의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
공개특허공보 제2016-0007946호(2016.01.24. 공개)
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 승강 구조 개선하여 프레임 자체에 가해지는 하중을 줄여주어 경량화를 이룰 수 있는 스토커 컨베이어용 대차를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 스토커 컨베이어용 대차는, 프레임; 상기 프레임에 대해 승강이 이루어지는 승강테이블; 상기 승강테이블을 상기 프레임에 대해 승강시키도록 대면하는 한 쌍으로 승강부;로 구성되되, 상기 승강부는, 승강모터와, 상기 승강모터의 회전수를 조절하는 감속기와, 상기 감속기에 연결되어 승강테이블을 승강시키는 한 쌍의 링크로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 링크는, 상기 감속기에 의해 회전하는 구동링크와, 상기 구동링크와 연결된 종동링크와, 상기 종동링크에 연결되며 일측은 상기 프레임에 고정되며 타측은 상기 승강테이블에 슬라이딩 이루어지는 슬라이딩링크로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 종동링크는 'ㄱ'자로 절곡되어 슬라이딩 링크의 중단에 힌지 결합된 것을 특징으로 한다.
또한, 일측은 상기 종동링크와 슬라이딩 링크의 힌지 결합부위에 힌지 결합되며 타측은 상기 승강테이블에 힌지결합된 가이드링크가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 슬라이딩링크는 상기 승강테이블과 엘엠가이드를 통해 연결된 것을 특징으로 한다.
또한, 한 쌍의 승강부 중 하나의 상기 구동링크와 한 쌍의 승강부 중 다른 하나이며 맞은편에 대면하는 상기 구동링크는 구동축에 의해 연결된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 슬라이딩 링크는 상기 프레임의 주행롤러의 주행축에 결합된 것을 특징으로 한다.
또한, 한 쌍의 승강부 중 하나의 상기 가이드링크와 한 쌍의 승강부 중 다른 하나이며 맞은편에 대면하는 상기 가이드링크는 상기 승강테이블에 힌지결합된 종동축에 연결된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 링크는, 상기 감속기에 의해 회전하는 구동링크와, 상기 구동링크와 연결된 종동링크와, 상기 종동링크와 결합되며 상기 프레임에 대해 수평이동하는 엘엠가이드와, 일측은 상기 엘엠가이드에 연결되며 타측은 상기 승강테이블에 연결되는 슬라이딩링크로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 일측은 상기 슬라이딩 링크의 중단에 힌지 결합되며 타측은 상기 프레임에 힌지 결합된 가이드링크가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드링크는 상기 프레임의 주행롤러의 주행축에 결합된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 한 쌍의 승강부 중 하나에만 승강모터와 감속기가 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 한 쌍의 승강부 중 하나의 상기 구동링크와 한 쌍의 승강부 중 다른 하나이며 맞은편에 대면하는 상기 구동링크는 구동축에 의해 연결된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 한 쌍의 승강부에는 승강모터와 감속기가 각각 구비되어 상기 구동링크와 독립적으로 연결된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차에 따르면, 승강구조를 단순화하여 프레임의 형상을 개선하여 대차의 무게를 줄여주는 효과가 있다.
또한, 롤러의 주행축에 링크를 결합하여 프레임 자체에 가해지는 하중을 줄여주게 된다.
도 1은 공지의 스토커 컨베이어를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 분해 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 일부를 확대 도시한 사시도이다.
도 4는 도 2의 결합된 상태를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 분해 도시한 사시도이다.
도 6은 도 5의 일부를 확대 도시한 사시도이다.
도 7은 도 5의 결합된 상태를 도시한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 분해 도시한 사시도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 일반적인 스토커 컨베이어를 도시한 도면이다.
본 발명에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 설명하기에 앞서, 먼저 본 발명에 대한 이해에 도움이 될 수 있도록 스토커 컨베이어를 설명하고자 한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스토커 컨베이어(A)는, 정해진 경로를 따라 카세트(C)를 반송할 수 있도록 생산 라인에 설치된 레일(100) 및 상기 레일(100)을 따라 이동하며 카세트(C)가 수납되는 대차(200)로 구성된다.
또한, 상기 레일(100)은 'ㄱ'자로 90°절곡되어 X축에서 Y축으로 카세트(C)의 반송 경로가 변경된다.
그리고, 상기 대차(200)는 X,Y축 주행, Z축 승강, T축 회전이 이루어지는 3축 대차 또는 Y축 주행, Z축 승강이 이루어지는 2축 대차가 적용된다.
한편, 상기 레일(100)의 입구 및 출구에는 카세트(C)의 대기 장소인 버퍼(300)가 구비되며, 상기 버퍼(300)는 스토커의 랙 마스터에서 대차(200)로의 카세트(C) 반송 전 대기장소, 상기 대차(200)에서 다른 스토커 또는 제조 공정을 수행하는 제조 장비로의 카세트(C) 반송 전 대기장소이다.
제1실시예
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 분해 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 일부를 확대 도시한 사시도이며, 도 4는 도 2의 결합된 상태를 도시한 사시도이다.
도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 스토커 컨베이어용 대차(200)는, 프레임(210)과, 상기 프레임(210)에 대해 승강이 이루어지는 승강테이블(220)과, 상기 승강테이블(220)을 상기 프레임(210)에 대해 승강시키도록 대면하는 한 쌍으로 승강부(230)로 구성된다.
먼저, 상기 프레임(210)에는 주행모터(211), 상기 주행모터(211)에 의해 레일을 따라 회전하는 주행롤러(212)가 구비되며, 레일을 따라 이동하는 대차는 공지의 기술이므로 그 외의 구성에 대한 설명을 생략한다.
또한, 상기 승강부(230)는, 승강모터(231)와, 상기 승강모터(231)의 회전수를 조절하는 감속기(232)와, 상기 감속기(232)에 연결되어 승강테이블(220)을 승강시키는 한 쌍의 링크(240A,240B)로 구성된다.
그리고, 상기 링크(240A,240B)는, 상기 감속기(232)에 의해 회전하는 구동링크(241)와, 상기 구동링크(241)와 연결된 종동링크(242)와, 상기 종동링크(242)에 연결되며 일측은 상기 프레임(210)에 고정되며 타측은 상기 승강테이블(220)에 슬라이딩 이루어지는 슬라이딩링크(243)로 구성된다.
한편, 상기 종동링크(242)는 'ㄱ'자로 절곡되어 슬라이딩 링크(243)의 중단에 힌지 결합된다.
이때, 상기 슬라이딩링크(243)는 상기 승강테이블(220)과 엘엠가이드(245)를 통해 연결된다.
이에 따라, 상기 구동링크(241)가 회전하면 종동링크(242)는 슬라이딩 링크(243)를 회전시켜 승강테이블을 승강시키게 된다.
또한, 일측은 상기 종동링크(242)와 슬라이딩 링크(243)의 힌지 결합부위에 힌지 결합되며 타측은 상기 승강테이블(220)에 힌지결합된 가이드링크(244)가 더 구비된다.
그리고, 한 쌍의 승강부(230) 중 하나의 상기 구동링크(241)와 한 쌍의 승강부(230) 중 다른 하나이며 맞은편에 대면하는 상기 구동링크(241)는 구동축(246)에 의해 연결된다.
즉, 상기 구동축(246)에 의해 대면하는 구동링크(241)들은 동일하게 회전이 이루어진다.
한편, 상기 슬라이딩 링크(243)는 상기 프레임(210)의 주행롤러(212)의 주행축(213)에 결합된다.
또한, 한 쌍의 승강부(230) 중 하나의 상기 가이드링크(244)와 한 쌍의 승강부(230) 중 다른 하나이며 맞은편에 대면하는 상기 가이드링크(244)는 상기 승강테이블(220)에 힌지결합된 종동축(247)에 연결된다.
즉, 상기 종동축(247)에 의해 대면하는 가이드링크(244)는 동일하게 회전이 이루어진다.
이에 따라, 상기 구동축(246), 종동축(247)에 의해 대차의 측면 방향 하중을 지지해주게 되어 프레임(210) 자체의 측면 하중을 견디는 구조가 생략되어 대차의 무게를 줄여주게 된다.
더욱이, 상기 구동축(246), 종동축(247) 및 주행축(213)에 결합되는 슬라이딩 링크(243)에 의해 종래대비 구성부품이 대폭 줄어들어 유지보수 및 대차의 경량화에 유리하다.
본 발명에 따르면, 승강구조를 단순화하여 프레임의 형상을 개선하여 대차의 무게를 줄여주게 된다.
또한, 주행롤러(212)의 주행축(213)에 링크(240A,240B)를 결합하여 프레임(210) 자체에 가해지는 하중을 줄여주게 된다.
이하, 본 발명에 따른 스토커 컨베이어 대차의 다른 실시예를 설명함에 있어 본 발명과 동일한 구성과 기능을 갖는 구성에 대해서는 동일한 구성부호를 사용하며 그에 대한 자세한 설명은 생략한다.
제2실시예
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 분해 도시한 사시도이며, 도 6은 도 5의 일부를 확대 도시한 사시도이고, 도 7은 도 5의 결합된 상태를 도시한 사시도이다.
도 5 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 스토커 컨베이어용 대차(200)는, 프레임(210)과, 상기 프레임(210)에 대해 승강이 이루어지는 승강테이블(220)과, 상기 승강테이블(220)을 상기 프레임(210)에 대해 승강시키도록 대면하는 한 쌍으로 승강부(230)로 구성된다.
먼저, 상기 프레임(210)에는 주행모터(211), 상기 주행모터(211)에 의해 레일을 따라 회전하는 주행롤러(212)가 구비되며, 레일을 따라 이동하는 대차는 공지의 기술이므로 그 외의 구성에 대한 설명을 생략한다.
또한, 상기 승강부(230)는, 승강모터(231)와, 상기 승강모터(231)의 회전수를 조절하는 감속기(232)와, 상기 감속기(232)에 연결되어 승강테이블(220)을 승강시키는 한 쌍의 링크(240A',240B')로 구성된다.
그리고, 상기 링크(240A',240B')는, 상기 감속기(232)에 의해 회전하는 구동링크(241')와, 상기 구동링크(241')와 연결된 종동링크(242')와, 상기 종동링크(242')와 결합되며 상기 프레임(210)에 대해 수평이동하는 엘엠가이드(245')와, 일측은 상기 엘엠가이드(245')에 연결되며 타측은 상기 승강테이블(220)에 연결되는 슬라이딩링크(243')로 구성된다.
이때, 상기 종동링크(242')는 2개 한 쌍으로 형성되어 구동링크(241')를 감싸도록 구성된다. 더욱이, 상기 종동링크(242')는 호형으로 형성되어 구동링크(241')의 단부와 힌지 결합되어 선회(공전)가 이루어진다.
한편, 일측은 상기 슬라이딩 링크(243')의 중단에 힌지 결합되며 타측은 상기 프레임(210)에 힌지 결합된 가이드링크(244')가 더 구비된다.
또한, 상기 가이드링크(244')는 상기 프레임(210)의 주행롤러(212)의 주행축(213)에 결합된다.
이에 따라, 주행롤러(212)의 주행축(213)에 링크(240A',240B')를 결합하여 프레임(210) 자체에 가해지는 하중을 줄여주게 된다.
그리고, 상기 한 쌍의 승강부(230) 중 하나에만 승강모터(231)와 감속기(232)가 구비된다.
한편, 한 쌍의 승강부(230) 중 하나의 상기 구동링크(241')와 한 쌍의 승강부(230) 중 다른 하나이며 맞은편에 대면하는 상기 구동링크(241')는 구동축(246')에 의해 연결된다.
즉, 하나의 모터로 한 쌍의 승강부(230)를 구동하게 된다.
상기 한 쌍의 승강부에는 승강모터와 감속기가 각각 구비되어 상기 구동링크와 독립적으로 연결된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
제3실시예
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 스토커 컨베이어용 대차를 분해 도시한 사시도이다.
도 8의 도시한 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 스토커 컨베이어용 대차(200")는, 제2실시예의 구성을 공유하며 상기 한 쌍의 승강부(230)에는 승강모터(231)와 감속기(232)가 각각 구비되어 상기 구동링크(241")와 독립적으로 연결된다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
A - 스토커 컨베이어 100 - 레일
200 - 대차
210 - 프레임
220 - 승강테이블
230 - 승강부

Claims (14)

  1. 삭제
  2. 프레임; 상기 프레임에 대해 승강이 이루어지는 승강테이블; 상기 승강테이블을 상기 프레임에 대해 승강시키도록 대면하는 한 쌍으로 승강부;를 포함하되,
    상기 승강부는, 승강모터와, 상기 승강모터의 회전수를 조절하는 감속기와, 상기 감속기에 연결되어 승강테이블을 승강시키는 한 쌍의 링크로 구성되며,
    상기 링크는,
    상기 감속기에 의해 회전하는 구동링크와, 상기 구동링크와 연결된 종동링크와, 상기 종동링크에 연결되며 일측은 상기 프레임에 고정되며 타측은 상기 승강테이블에 슬라이딩 이루어지는 슬라이딩링크로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 종동링크는 'ㄱ'자로 절곡되어 슬라이딩 링크의 중단에 힌지 결합된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  4. 제 3항에 있어서,
    일측은 상기 종동링크와 슬라이딩 링크의 힌지 결합부위에 힌지 결합되며 타측은 상기 승강테이블에 힌지결합된 가이드링크가 더 구비된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 슬라이딩링크는 상기 승강테이블과 엘엠가이드를 통해 연결된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  6. 제 2항에 있어서,
    한 쌍의 승강부 중 하나의 상기 구동링크와 한 쌍의 승강부 중 다른 하나이며 맞은편에 대면하는 상기 구동링크는 구동축에 의해 연결된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 슬라이딩 링크는 상기 프레임의 주행롤러의 주행축에 결합된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  8. 제 4항에 있어서,
    한 쌍의 승강부 중 하나의 상기 가이드링크와 한 쌍의 승강부 중 다른 하나이며 맞은편에 대면하는 상기 가이드링크는 상기 승강테이블에 힌지결합된 종동축에 연결된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  9. 프레임; 상기 프레임에 대해 승강이 이루어지는 승강테이블; 상기 승강테이블을 상기 프레임에 대해 승강시키도록 대면하는 한 쌍으로 승강부;를 포함하되,
    상기 승강부는, 승강모터와, 상기 승강모터의 회전수를 조절하는 감속기와, 상기 감속기에 연결되어 승강테이블을 승강시키는 한 쌍의 링크로 구성되며,
    상기 링크는,
    상기 감속기에 의해 회전하는 구동링크와, 상기 구동링크와 연결된 종동링크와, 상기 종동링크와 결합되며 상기 프레임에 대해 수평이동하는 엘엠가이드와, 일측은 상기 엘엠가이드에 연결되며 타측은 상기 승강테이블에 연결되는 슬라이딩링크로 구성된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  10. 제 9항에 있어서,
    일측은 상기 슬라이딩 링크의 중단에 힌지 결합되며 타측은 상기 프레임에 힌지 결합된 가이드링크가 더 구비된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 가이드링크는 상기 프레임의 주행롤러의 주행축에 결합된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  12. 제 9항에 있어서,
    상기 한 쌍의 승강부 중 하나에만 승강모터와 감속기가 구비된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  13. 제 12항에 있어서,
    한 쌍의 승강부 중 하나의 상기 구동링크와 한 쌍의 승강부 중 다른 하나이며 맞은편에 대면하는 상기 구동링크는 구동축에 의해 연결된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
  14. 제 9항에 있어서,
    상기 한 쌍의 승강부에는 승강모터와 감속기가 각각 구비되어 상기 구동링크와 독립적으로 연결된 것을 특징으로 하는 스토커 컨베이어용 대차.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160007946A (ko) 2014-07-10 2016-01-21 주식회사 신성에프에이 스토커 컨베이어용 대차

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06263027A (ja) * 1993-03-12 1994-09-20 Daifuku Co Ltd 搬送用電車の昇降荷台駆動装置
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