KR102155259B1

KR102155259B1 - 성막 마스크의 제조 방법 및 성막 마스크

Info

Publication number: KR102155259B1
Application number: KR1020157014245A
Authority: KR
Inventors: 미치노부 미주무라
Original assignee: 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
Priority date: 2012-11-15
Filing date: 2013-10-29
Publication date: 2020-09-11
Also published as: US20150246416A1; WO2014077124A1; TWI587080B; CN104781443A; TW201428419A; JP2014098194A; US9844835B2; CN104781443B; KR20150084875A; JP6142194B2

Abstract

본 발명은 기판 위의 복수의 박막 패턴 및 복수의 기판측 얼라인먼트 마크에 대응한 위치에 복수의 제1 및 제2 관통공을 형성한 자성 금속 부재와 수지로 만든 필름을 밀접하게 접촉시킨 마스크용 부재를 형성하는 스텝과, 틀 형상의 프레임의 한 단면에 상기 마스크용 부재를 스트래치하여 걸치고, 이 프레임의 한 단면에 상기 자성 금속 부재의 둘레 가장자리부를 접합하는 스텝과, 상기 제1 관통공 내의 필름 부분에 레이저 광을 조사하여 박막 패턴과 형상 치수가 같은 개구 패턴을 형성하는 동시에, 상기 제2 관통 개구 내의 상기 필름 부분에 레이저 광을 조사하여 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 스텝을 행한다.

Description

성막 마스크의 제조 방법 및 성막 마스크 {PRODUCTION METHOD FOR FILM FORMATION MASK AND FILM FORMATION MASK}

본 발명은 기판 위에 성막되는 복수의 박막 패턴에 대응하여 개구 패턴(opening pattern)을 가진 성막 마스크의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 개구 패턴 및 얼라인먼트 마크를 양호한 위치 정밀도로 형성할 수 있는 성막 마스크의 제조 방법 및 성막 마스크에 관한 것이다.

종래의 성막 마스크의 제조 방법은 복수의 개구 패턴을 가진 니켈 또는 니켈 합금으로 이루어지는 마스크 시트의 단부를 프레임에 스포트 용접하여 고정하도록 되어 있다 (예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

특허 문헌 1: 일본 공개 특허 공보 2006－241547호

그러나, 이와 같은 종래의 성막 마스크의 제조 방법에 있어서는, 프레임에 고정하기 전에 마스크 시트에 개구 패턴 및 얼라인먼트 마크가 형성되어 있기 때문에, 마스크 시트를 프레임의 단부에 스트래치하여 걸쳐서 프레임에 고정할 때에, 마스크 시트가 늘어나서 개구 패턴 및 얼라인먼트 마크의 위치가 어긋나게 되는 문제가 있었다. 따라서, 성막 마스크를 성막 기판에 대하여 양호한 정밀도로 얼라인먼트하지 못하여, 박막 패턴을 양호한 위치 정밀도로 형성할 수 없었다.

이에, 본 발명은 이와 같은 문제점에 대처하여, 개구 패턴 및 얼라인먼트 마크를 양호한 위치 정밀도로 형성할 수 있는 성막 마스크의 제조 방법 및 성막 마스크를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 제1 발명에 의한 성막 마스크의 제조 방법은 기판 위에 복수의 박막 패턴을 성막 형성하기 위한 성막 마스크의 제조 방법으로서, 상기 복수의 박막 패턴 및 상기 기판에 미리 형성한 복수의 기판측 얼라인먼트 마크에 대응하는 위치에 이 박막 패턴 및 기판측 얼라인먼트 마크보다 형상 치수가 큰 복수의 제1 및 제2 관통공을 형성한 자성 금속 부재와, 수지로 만든 필름을 밀접하게 접촉시킨 마스크용 부재를 형성하는 제1 스텝과, 상기 자성 금속 부재의 복수의 상기 제1 및 제2 관통공을 내포하는 크기의 개구를 형성한 틀 형상의 프레임의 한 단면에 상기 마스크용 부재를 스트래치하여 걸치고, 이 프레임의 한 단면에 상기 자성 금속 부재의 둘레 가장자리부를 접합하는 제2 스텝과, 상기 제1 관통공 내의 상기 박막 패턴에 대응하는 위치의 상기 필름 부분에 레이저 광을 조사하여 상기 박막 패턴과 형상 치수가 같은 개구 패턴을 형성하는 동시에, 상기 제2 관통 개구 내의 상기 기판측 얼라인먼트 마크에 대응한 위치의 상기 필름 부분에 레이저 광을 조사하여 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 제3 스텝을 행하는 것이다.

좋기로는, 상기 제 3 스텝은 상기 레이저 광의 조사 위치를 미리 정해진 거리만큼 스텝 이동하면서, 복수의 상기 제1 관통공 내의 상기 필름 부분에 각각 개구 패턴을 형성하는 동시에, XY 평면 내의 각 개구 패턴의 좌표를 읽어내어 보존하는 스텝과, 상기 보존된 상기 각 개구 패턴의 좌표를 읽어내어 평균값을 산출하고, 복수의 상기 개구 패턴이 형성된 개구 패턴 형성 영역 내의 중심 위치 좌표를 산출하는 스텝과, 상기 산출된 중심 위치 좌표를 기준으로 하여 일정 거리 떨어진 상기 제2 관통공 내의 위치에 상기 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 스텝을 행하는 것이 좋다.

또는, 상기 제 3 스텝은 복수의 상기 제2 관통공 중에서 선택된 1개의 제2 관통공 내의 상기 필름 부분에 상기 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 스텝과, 형성된 상기 마스크측 얼라인먼트 마크를 기준으로 하여, 미리 정해진 거리만큼 상기 레이저 광의 조사 위치를 스텝 이동하면서, 복수의 상기 제1 관통공 내의 필름 부분에 각각 상기 개구 패턴을 형성하는 동시에, 다른 상기 제2 관통공 내의 필름 부분에 다른 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 스텝을 실시하여도 좋다.

더 좋기로는, 복수의 상기 제1 관통공은 직사각형 형상을 가지고 상기 자성 금속 부재에 일정 간격으로 매트릭스 형상으로 형성되고, 복수의 상기 개구 패턴은 복수의 상기 제1 관통공 내에 각각 1개씩 형성되는 것이 좋다.

또는, 복수의 상기 제1 관통공은 스트라이프 형태를 가지고서 상기 자성 금속 부재에 일정 간격으로 평행하게 형성되고, 복수의 상기 개구 패턴은 스트라이프 형상을 가지고 복수의 상기 제1 관통공 내에 각각 1개씩 형성되어도 좋다.

또한, 제2 발명에 의한 성막 마스크는 상기 제1 발명의 제조 방법에 의하여 제조되는 성막 마스크이다.

본 발명에 의하면, 복수의 제1 및 제2 관통공을 형성한 자성 금속 부재에 수지로 만든 필름을 밀접하게 접촉시킨 마스크용 부재를 프레임에 스트래치하여 걸친 후에, 제1 관통공 내에 개구 패턴을 형성하고, 제2 관통공 내에 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하도록 하고 있으므로, 마스크용 부재를 프레임에 스트래치하여 걸칠 때에, 마스크용 부재가 늘어나서 제1 및 제2 관통공의 위치가 어긋나더라도, 개구 패턴 및 마스크측 얼라인먼트 마크를 설계값대로 형성할 수 있다. 따라서, 개구 패턴 및 마스크측 얼라인먼트 마크의 형성 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.

[도 1] 본 발명에 의한 성막 마스크의 제조 방법의 실시 형태를 나타내는 플로우차트이다.
[도 2] 본 발명의 제조 방법에 의하여 제조되는 성막 마스크를 나타내는 도면이며, (a)는 평면도, (b)는 단면도이다.
[도 3] 마스크용 부재의 형성에 대하여 설명하는 공정도이다.
[도 4] 프레임에의 마스크용 부재의 접합에 대하여 설명하는 공정도이다.
[도 5] 필름에 대한 개구 패턴 및 마스크측 얼라인먼트 마크의 형성에 대하여 도시하는 설명도이다.
[도 6] 필름에 대한 개구 패턴 및 마스크측 얼라인먼트 마크의 다른 형성예에 대하여 도시하는 설명도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 첨부 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명에 의한 성막 마스크의 제조 방법의 실시 형태를 나타내는 플로우차트이다. 이 성막 마스크의 제조 방법은 기판 위에 복수의 박막 패턴을 성막 형성하기 위한 것으로, 자성 금속 부재와 수지로 만든 필름을 밀접하게 접촉시킨 마스크용 부재를 형성하는 제1 스텝(S1)과 마스크용 부재를 프레임에 접합하는 제2 스텝(S2)과, 필름에 개구 패턴 및 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 제3 스텝(S3)을 포함하고 있다. 이하, 각 스텝에 대하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명의 제조 방법에 의하여 제조되는 성막 마스크를 나타내는 도면으로, (a)는 평면도, (b)는 단면도이다.

이 성막 마스크는 기판에 형성하고자 하는 복수의 박막 패턴에 대응하여 이 박막 패턴과 같은 배열 피치로 박막 패턴보다 형상 치수가 큰 직사각형 형상의 제1 관통공(1)을 매트릭스 형상으로 가지는 동시에, 기판에 미리 형성된 기판측 얼라인먼트 마크에 대응하여 이 기판측 얼라인먼트 마크보다 형상 치수가 큰 제2 관통공(2)을 가진 자성 금속 부재(3)와 복수의 박막 패턴에 대응하여 이 박막 패턴과 같은 배열 피치로 박막 패턴과 형상 치수가 같은 개구 패턴(4)을 매트릭스 형상으로 가지는 동시에, 기판에 미리 형성된 기판측 얼라인먼트 마크에 대응하여 이 기판측 얼라인먼트 마크에 대하여 위치 맞춤하기 위한 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 가진 필름(6)이 상기 개구 패턴(4)이 상기 제1 관통공(1) 내에 위치하고, 마스크측 얼라인먼트 마크(5)가 상기 제2 관통공(2) 내에 위치하도록 밀접하게 접촉되어, 자성 금속 부재(3)의 둘레 가장자리부에 틀 형상의 프레임(7)의 한 단면(7a)을 접합한 구조로 되어 있다.

상기 제1 스텝(S1)은 복수의 박막 패턴 및 기판에 미리 형성한 복수의 기판측 얼라인먼트 마크에 대응하는 위치에 이 박막 패턴 및 기판측 얼라인먼트 마크보다 형상 치수가 큰 복수의 제1 및 제2 관통공(1, 2)을 형성한 자성 금속 부재(3)와 수지로 만든 필름(6)을 밀접시킨 마스크용 부재(11)를 형성하는 공정이다.

더 상세하게는, 도 3(a)에 도시하는 바와 같이, 두께가 30㎛ 내지 50㎛인 니켈, 니켈 합금, 인바 또는 인바 합금 등의 재료로 이루어지는 자성 금속 시트(8)의 일면(8a)에 예를 들면 폴리이미드 또는 폴리에틸렌 테레프탈레이트 (PET) 등의 수지액을 도포하여 건조시키고, 두께가 10㎛ 내지 30㎛인 가시광을 투과하는 수지로 만든 필름 (6)을 형성한다. 이 경우, 자성 금속 시트(8)의 둘레 가장자리 영역의 내측에 상기 수지액을 스크린 인쇄에 의하여 도포하여도 좋다.

다음으로, 도 3(b)에 도시하는 바와 같이, 자성 금속 시트(8)의 다른 면(8b)에 레지스트를, 예를 들면 스프레이 도포한 후, 이것을 건조시켜 레지스트 필름을 형성하고, 다음으로, 포토마스크를 사용하여 레지스트 필름을 노광한 후, 현상하여 복수의 박막 패턴에 대응하는 위치에 이 박막 패턴보다 형상 치수가 큰 복수의 제1 개구(9)를 형성하는 동시에, 기판에 설치된 기판측 얼라인먼트 마크에 대응하는 위치에 이 기판측 얼라인먼트 마크보다 형상 치수가 큰, 도시를 생략한 제2 개구를 형성한 레지스트 마스크(10)을 형성한다.

이어서, 도 3(c)에 도시하는 바와 같이, 상기 레지스트 마스크(10)를 사용하여 자성 금속 시트(8)을 웨트 에칭하고, 레지스트 마스크(10)의 제1 개구(9)에 대응한 부분의 자성 금속 시트(8)를 제거하여 제1 관통공(1)을 형성하는 동시에, 제2 개구에 대응하는 부분의 자성 금속 시트(8)을 제거하여 제2 관통공(2)을 형성함으로써 자성 금속 부재(3)를 형성한다. 이에 의하여, 자성 금속 부재(3)와 수지로 만든 필름(6)을 밀접하게 접촉시킨 마스크용 부재(11)가 형성된다. 또한, 자성 금속 시트(8)을 에칭하기 위한 에칭액은 사용하는 자성 금속 시트(8)의 재료에 따라 적절하게 선택되어 공지의 기술을 적용할 수 있다.

상기 제2 스텝(S2)은 자성 금속 부재(3)의 복수의 제1 및 제2 관통공(1, 2)를 내포하는 크기의 개구(12)를 형성한 인바 또는 인바 합금 등으로 이루어지는 틀 형상의 프레임(7)의 한 단면(7a)에 마스크용 부재(11) 스트래치하여 걸치고, 이 프레임(7)의 한 단면(7a)에 자성 금속 부재(3)의 둘레 가장자리부를 접합하는 공정이다.

더 상세하게는, 도 4(a)에 도시하는 바와 같이, 마스크용 부재(11)를 이 마스크용 부재(11)의 면에 평행한 측방 (화살표 방향)에 마스크용 부재(11)가 휘지 않을 정도의 크기의 응력을 가한 상태에서 프레임(7)의 윗쪽에 위치 정렬한다.

다음으로, 도 4(b)에 도시하는 바와 같이, 마스크용 부재(11)를 그 면에 평행한 측방에 응력을 가한 상태에서 프레임(7)의 한 단면(7a)에 스트래치하여 걸치고, 자성 금속 부재(3)의 둘레 가장자리부와 프레임(7)을 스포트 용접한다.

또한, 마스크용 부재(11)을 프레임(7)에 접합하기 전에, 개구 패턴(4) 및 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 필름(6)에 형성하여도 좋지만, 이 경우에는 전술한 바와 같이, 마스크용 부재(11)의 면에 평행한 측방에 마스크용 부재(11)이 휘지 않을 정도의 크기의 응력을 가하였다고 하더라도, 마스크용 부재(11)의 두께가 수 10㎛로 얇은 것이기 때문에, 약간의 늘어남이 발생하는 경우가 있다. 따라서, 프레임(7)에 접합한 후에는 개구 패턴(4) 및 마스크측 얼라인먼트 마크(5)가 정규의 위치로부터 어긋나서, 기판에 대한 얼라인먼트를 취할 수 없는 경우가 발생한다. 본 발명은 이와 같은 문제를 해결하기 위하여, 마스크용 부재(11)를 프레임(7)에 접합한 후에, 개구 패턴(4) 및 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 형성하는 것을 특징으로 하고 있다. 이하, 개구 패턴(4) 및 마스크측 얼라인먼트 마크(5)의 형성 공정에 대하여 설명한다.

상기 제 3 스텝(S3)은 제1 관통공(1) 내의 박막 패턴에 대응한 위치의 필름(6) 부분에 레이저 광(L)을 조사하여 박막 패턴과 형상 치수가 같은 개구 패턴(4)를 형성하는 동시에, 제2 관통공(2) 내의 기판측 얼라인먼트 마크에 대응한 위치의 필름(6) 부분에 레이저 광(L)을 조사하여 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 형성하는 공정이다.

더 상세하게는, 도 5(a)에 도시하는 바와 같이, 먼저 예를 들면, 좌상단 모서리부의 제1 관통공(1) 내에, 파장이 400 nm이하인, 예를 들면 KrF248nm인 엑시머 레이저나 YAG 레이저의 제3 고조파 또는 제4 고조파를 사용하여, 광축에 직교하는 단면 형상이 박막 패턴과 동일한 형상 치수로 정형된 에너지 밀도가 1 J/㎠ 내지 20 J/㎠인 레이저 광(L)을 조사하고, 필름(6)을 아브레이션하여 개구 패턴(4)을 형성한다.

이하, 동일하게 하여, 마스크용 부재(11)을 탑재한 도시를 생략한 스테이지를 이동시킴으로써, 레이저 광(L)의 조사 위치를 박막 패턴의 배열 피치와 같은 피치로, 도 5(a)에 화살표로 나타내는 바와 같이, 좌상단 모서리부의 제1 관통공(1)으로부터 우하단 모서리부의 제1 관통공(1)을 향하여 종횡으로 스텝 이동하면서, 각 제1 관통공(1) 내의 필름(6)의 부분에 각각 개구 패턴(4)를 형성한 후, 형성된 각 개구 패턴(4)의 위치를 계측하여 각 개구 패턴(4)의 XY 좌표 (x₁, y₁), (x₁, y₂), (x₁, y₃)… (x_n, y_m)를 읽어내어, 메모리에 보존한다.

이어서, 메모리로부터 각 개구 패턴(4)의 XY 좌표를 읽어내어,

　　　x_c=∑x_i/n

　　　y_c=∑x_j/m

를 연산하고, 복수의 개구 패턴(4)이 형성된 개구 패턴 형성 영역의 중심 위치의 좌표 (x_c, y_c)를 산출한다.

다음으로, 도 5(b)에 도시하는 바와 같이, 상기 개구 패턴 형성 영역의 중심 위치 좌표 (x_c, y_c)를 기준으로 하여 X, Y 방향에 각각 미리 정해진 거리만큼 떨어진 제2 관통공(2) 내의 XY 좌표 (x_p, y_q), (x_r, y_s), (x_t, y_u), (x_v, y_w)의 위치에 각각 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 레이저 가공한다. 이와 같이 하여, 도 2에 나타내는 성막 마스크가 제조된다.

이와 같이, 개구 패턴 형성 영역 내의 중심 위치 좌표 (x_c, y_c)를 기준으로 하여 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 형성하면, 스테이지의 이동 기구의 기계적 오차에 기초하여 개구 패턴(4)의 누적 오차가 평균화되고, 마스크측 얼라인먼트 마크(5)의 형성 위치 정밀도가 향상된다.

도 6은 상기 제 3 스텝 S3의 다른 실시예를 나타내는 평면도이다.

이 경우에는 먼저, 예를 들면 도 6의 좌상단 모서리부에 위치하는 제2 관통공(2) 내에 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 형성하고, 이 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 기준으로 한 설계 치수에 기초하여 레이저 광(L)의 조사 위치를 XY 방향으로 스텝 이동하면서 각 제1 관통공(1) 내의 필름(6) 부분을 레이저 가공하는 동시에, 다른 제2 관통공(2) 내의 필름(6) 부분에 다른 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 레이저 가공하는 것이다. 이 경우에도, 마스크용 부재(11)가 프레임(7)에 스트래치되어 걸쳐진 상태로 개구 패턴(4) 및 마스크측 얼라인먼트 마크(5)를 형성하고 있으므로, 개구 패턴(4) 및 마스크측 얼라인먼트 마크(5)의 형성 위치 정밀도가 향상된다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는 스테이지를 그 기계 정밀도에 따라서 스텝 이동하고, 레이저 광(L)의 조사 위치를 변경하여 개구 패턴(4)를 형성하는 경우에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 개구 패턴(4)의 형성 위치 (설계값)에 대응하여 레이저 광(L)의 조사 목표가 되는 기준 패턴을 형성한 기준 기판 위에 마스크용 부재(11)을 탑재하고, 스테이지를 스텝 이동하면서, 상기 기준 기판의 기준 패턴을 목표로 레이저 광(L)을 조사하여, 개구 패턴(4)를 형성하여도 좋다.

또한, 이상의 설명에 있어서는, 복수의 제1 관통공(1)이 직사각형 형상를 가지고, 자성 금속 부재(3)에 일정 간격으로 매트릭스 형상으로 형성되며, 복수의 개구 패턴(4)이 복수의 제1 관통공(1) 내에 각각 1개씩 형성되어 있는 경우에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 복수의 제1 관통공(1)이 스트라이프 형상을 가지고 자성 금속 부재(3)에 일정 간격으로 평행하게 형성되고, 복수의 개구 패턴(4)이 스트라이프 형상을 가지고 복수의 제1 관통공(1) 내에 각각 1개씩 형성되어 있어도 좋다.

1… 제1 관통공
2… 제2 관통공
3… 자성 금속 부재
4… 개구 패턴
5… 마스크측 얼라인먼트 마크
7… 프레임
11… 마스크용 부재
12… 프레임의 개구

Claims

기판 위에 복수의 박막 패턴을 성막 형성하기 위한 성막 마스크의 제조 방법으로서,
상기 복수의 박막 패턴 및 상기 기판에 미리 형성한 복수의 기판측 얼라인먼트 마크에 대응한 위치에 이 박막 패턴 및 기판측 얼라인먼트 마크보다 형상 치수가 큰 복수의 제1 및 제2 관통공을 형성한 자성 금속 부재와, 수지로 만든 필름을 밀접하게 접촉시킨 마스크용 부재를 형성하는 제1 스텝과,
상기 자성 금속 부재의 복수의 상기 제1 및 제2 관통공을 내포하는 크기의 개구를 형성한 틀 형상의 프레임의 한 단면에 상기 마스크용 부재를 스트래치하여 걸치고, 이 프레임의 한 단면에 상기 자성 금속 부재의 둘레 가장자리부를 접합하는 제2 스텝과,
상기 제1 관통공 내의 상기 박막 패턴에 대응한 위치의 상기 필름 부분에 레이저 광을 조사하여 상기 박막 패턴과 형상 치수가 같은 개구 패턴을 형성하는 동시에, 상기 제2 관통 개구 내의 상기 기판측 얼라인먼트 마크에 대응한 위치의 상기 필름 부분에 레이저 광을 조사하여 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 제3 스텝
을 행하는 것을 특징으로 하는 성막 마스크의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제 3 스텝은
상기 레이저 광의 조사 위치를 미리 정해진 거리만큼 스텝 이동하면서, 복수의 상기 제1 관통공 내의 상기 필름 부분에 각각 개구 패턴을 형성하는 동시에, XY 평면 내의 각 개구 패턴의 XY 좌표를 읽어내어 보존하는 스텝과,
상기 보존된 상기 각 개구 패턴의 XY 좌표를 읽어내어 X 좌표 및 Y 좌표의 각 평균값을 산출함으로써, 복수의 상기 개구 패턴이 형성된 개구 패턴 형성 영역 내의 중심 위치 좌표를 구하는 스텝과,
상기 중심 위치 좌표를 기준으로 하여 일정 거리 떨어진 위치의 상기 제2 관통공 내의 필름 부분에 상기 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 스텝
을 행하는 것을 특징으로 하는 성막 마스크의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제 3 스텝은 복수의 상기 제2 관통공 중에서 선택된 1개의 제2 관통공 내의 상기 필름 부분에 상기 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 스텝과,
형성된 상기 마스크측 얼라인먼트 마크를 기준으로 하여, 미리 정해진 거리만큼 상기 레이저 광의 조사 위치를 스텝 이동하면서, 복수의 상기 제1 관통공 내의 필름 부분에 각각 상기 개구 패턴을 형성하는 동시에, 다른 상기 제2 관통공 내의 필름 부분에 다른 마스크측 얼라인먼트 마크를 형성하는 스텝
을 행하는 것을 특징으로 하는 성막 마스크의 제조 방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 복수의 상기 제1 관통공은 직사각형 형상을 가지고, 상기 자성 금속 부재에 일정 간격으로 매트릭스 형상으로 형성되고, 복수의 상기 개구 패턴은 복수의 상기 제1 관통공 내의 필름 부분에 각각 1 개씩 형성되는 것을 특징으로 하는 성막 마스크의 제조 방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 복수의 상기 제1 관통공은 스트라이프 형상을 가지고, 상기 자성 금속 부재에 일정 간격으로 평행하게 형성되고, 복수의 상기 개구 패턴은 스트라이프 형상을 가지고 복수의 상기 제1 관통공 내의 필름 부분에 각각 1 개씩 형성되는 것을 특징으로 하는 성막 마스크의 제조 방법.
기판 위에 복수의 박막 패턴을 성막 형성하기 위한 성막 마스크로서,
상기 복수의 박막 패턴 및 상기 기판에 미리 형성한 복수의 기판측 얼라인먼트 마크에 대응한 위치에 상기 박막 패턴 및 기판측 얼라인먼트 마크보다 형상 치수가 큰 복수의 제1 및 제2 관통공을 형성한 자성 금속 부재와,
상기 자성 금속 부재에 밀접하게 접촉시켜 형성된 수지로 만든 필름과,
상기 자성 금속 부재의 복수의 상기 제1 및 제2 관통공을 내포하는 크기의 개구를 형성하고, 한 단면이 상기 자성 금속 부재의 둘레 가장자리부에 접합된 틀 형상의 프레임과,
상기 박막 패턴과 형상 치수가 같고, 상기 자성 금속 부재의 복수의 상기 제1 관통공 내의 상기 박막 패턴에 대응한 위치의 필름 부분에 레이저 가공하여 형성된 복수의 개구 패턴과,
상기 자성 금속 부재의 상기 제2 관통공 내의 상기 기판측 얼라인먼트 마크에 대응한 위치의 상기 필름 부분에 레이저 가공하여 형성한 마스크측 얼라인먼트 마크를 구비하고,
상기 마스크측 얼라인먼트 마크는 복수의 상기 개구 패턴이 형성된 개구 패턴 형성 영역 내의 중심 위치 좌표이고, 복수의 상기 개구 패턴의 XY 평면에 있어서의 X 좌표 및 Y 좌표의 각 평균값을 산출함으로써 구한 상기 중심 위치 좌표를 기준으로 하여, 일정 거리 떨어진 위치의 상기 제2 관통공 내의 필름 부분에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 성막 마스크.
기판 위에 복수의 박막 패턴을 성막 형성하기 위한 성막 마스크로서,
상기 복수의 박막 패턴 및 상기 기판에 미리 형성한 복수의 기판측 얼라인먼트 마크에 대응한 위치에 상기 박막 패턴 및 기판측 얼라인먼트 마크보다 형상 치수가 큰 복수의 제1 및 제2 관통공을 형성한 자성 금속 부재와,
상기 자성 금속 부재에 밀접하게 접촉시켜 형성된 수지로 만든 필름과,
상기 자성 금속 부재의 복수의 상기 제1 및 제2 관통공을 내포하는 크기의 개구를 형성하고, 한 단면이 상기 자성 금속 부재의 둘레 가장자리부에 접합된 틀 형상의 프레임과,
상기 박막 패턴과 형상 치수가 같고, 상기 자성 금속 부재의 복수의 상기 제1 관통공 내의 상기 박막 패턴에 대응한 위치의 필름 부분에 레이저 가공하여 형성된 복수의 개구 패턴과,
상기 자성 금속 부재의 상기 제2 관통공 내의 상기 기판측 얼라인먼트 마크에 대응한 위치의 상기 필름 부분에 레이저 가공하여 형성한 마스크측 얼라인먼트 마크를 구비하고,
복수의 상기 개구 패턴 및 마스크측 얼라인먼트 마크는 복수의 상기 제2 관통공 중에서 선택된 1개의 제2 관통공 내의 상기 필름 부분에 형성된 마스크측 얼라인먼트 마크를 기준으로 하여, 미리 정해진 거리만큼 떨어진 위치의 상기 제1 관통공 및 제2 관통공 내의 필름 부분에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 성막 마스크.
삭제