JP4624824B2 - メタルマスクの製造方法およびメタルマスク - Google Patents
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Description
例えば、マスクシート12の表面にレーザー光を吸収しやすい材質からなる層を形成しておき、その部分にレーザー光を照射した場合にはレーザー光の吸収による発熱が大きく効率的にマスクシートを収縮させることができる。レーザー光を吸収しやすい材質としては、有機EL素子の有機EL材料に使用するもの、特に銅フタロシアニンやAlq3などは比較的光吸収が大きく、レーザー光による発熱を有効に利用しやすく、さらに、そのもの自体レーザー照射で蒸発するので、レーザー照射後に残ることもなく好適である。層厚としては10nm〜3000nm程度でよい。
12:マスクシート
14:フレーム
16:レーザー源
18:レーザー
Claims (4)
- 複数の開口部を有するマスクシートの端部をフレームに固定する工程と、
前記マスクシートに対して、パルスレーザーを照射して、前記マスクシートの表面を非晶質化、前記マスクシートの表面に金属酸化物を生成、またはその両方をおこなうことによって、前記マスクシートを収縮させて前記開口部の位置を移動させる工程と、
を含むメタルマスクの製造方法。 - 前記パルスレーザーのパルス幅が1ns〜1msであることを特徴とする請求項1に記載のメタルマスクの製造方法。
- 前記パルスレーザーの照射は前記マスクシートの一部分に対しておこなわれることを特徴とする請求項1または2に記載のメタルマスクの製造方法。
- 前記マスクシートに前記パルスレーザーを照射する前よりも後の方がマスクシートにかかる張力が大きいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のメタルマスクの製造方法。
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