JPH0796382A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- JPH0796382A JPH0796382A JP5241563A JP24156393A JPH0796382A JP H0796382 A JPH0796382 A JP H0796382A JP 5241563 A JP5241563 A JP 5241563A JP 24156393 A JP24156393 A JP 24156393A JP H0796382 A JPH0796382 A JP H0796382A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- laser
- unit
- tip
- processing apparatus
- Prior art date
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- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/16—Removal of by-products, e.g. particles or vapours produced during treatment of a workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 メンテナンス頻度、作業時間、ランニングコ
ストを低減し、加工の信頼性を大幅に向上できるレーザ
加工装置を提供する。 【構成】 レーザ光を被加工物に照射して当該被加工物
の加工を行うレーザ加工装置において、レーザ光を集光
する集光レンズと、被加工物との間のレーザ光通過空間
に、樹脂材料を含みレーザ光を透過する介在部を設け
た。
ストを低減し、加工の信頼性を大幅に向上できるレーザ
加工装置を提供する。 【構成】 レーザ光を被加工物に照射して当該被加工物
の加工を行うレーザ加工装置において、レーザ光を集光
する集光レンズと、被加工物との間のレーザ光通過空間
に、樹脂材料を含みレーザ光を透過する介在部を設け
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ装置に関するも
のであり、特にレーザ光を被加工物に照射するレーザ照
射装置を具備するレーザ装置に係わるものである。
のであり、特にレーザ光を被加工物に照射するレーザ照
射装置を具備するレーザ装置に係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光によって加工を行なうレーザ加
工装置は、切断、溶接、穴開け、マーキング、表面改質
等の様々な用途に用いられている。
工装置は、切断、溶接、穴開け、マーキング、表面改質
等の様々な用途に用いられている。
【０００３】この種のレーザ加工装置においては、レー
ザ発振器から被加工物までの間に様々な光学系が存在し
ており、レーザ発振器から発射されたレーザビームをそ
れぞれの用途に適した径に集光している。そしてこの光
学系の終端には、レーザ光を被加工物に向けて集光する
集光レンズが配置され、それぞれの加工用途に適したレ
ーザ光のエネルギー密度を達成している。
ザ発振器から被加工物までの間に様々な光学系が存在し
ており、レーザ発振器から発射されたレーザビームをそ
れぞれの用途に適した径に集光している。そしてこの光
学系の終端には、レーザ光を被加工物に向けて集光する
集光レンズが配置され、それぞれの加工用途に適したレ
ーザ光のエネルギー密度を達成している。
【０００４】ところで、レーザ加工においては、レーザ
光による高密度エネルギー照射により被加工物の溶融、
蒸発等が起き、材料またはその材料元素を含む化合物の
溶融粒子が高速に飛散する現象が起きる。一般にスパッ
タと呼ばれるこの粒子は集光レンズにも飛散し、レンズ
表面に付着したり、表面を汚染・損傷するため、集光レ
ンズの頻繁なクリーニング、または交換が必要になり、
この交換／清掃作業や光軸調整作業による生産の停止や
生産コストのアップが問題となっていた。
光による高密度エネルギー照射により被加工物の溶融、
蒸発等が起き、材料またはその材料元素を含む化合物の
溶融粒子が高速に飛散する現象が起きる。一般にスパッ
タと呼ばれるこの粒子は集光レンズにも飛散し、レンズ
表面に付着したり、表面を汚染・損傷するため、集光レ
ンズの頻繁なクリーニング、または交換が必要になり、
この交換／清掃作業や光軸調整作業による生産の停止や
生産コストのアップが問題となっていた。
【０００５】また、レンズの汚染・損傷によってレーザ
出力の変動が短期間に起きるため、加工の信頼性にも問
題が生じていた。従来、これを解決する方法として、ス
パッタを集光レンズと被加工物との間に設けたエアーブ
ローで吹き飛ばす方法（特開昭５９−２２３１９１）、
集光レンズと被加工物との間に光透過性を有するアパー
チャを挿入することにより集光レンズの汚染・損傷を防
ぐ方法（例えば特開平５−３８５９４）、または両技術
を併用する方法等も考えられる。
出力の変動が短期間に起きるため、加工の信頼性にも問
題が生じていた。従来、これを解決する方法として、ス
パッタを集光レンズと被加工物との間に設けたエアーブ
ローで吹き飛ばす方法（特開昭５９−２２３１９１）、
集光レンズと被加工物との間に光透過性を有するアパー
チャを挿入することにより集光レンズの汚染・損傷を防
ぐ方法（例えば特開平５−３８５９４）、または両技術
を併用する方法等も考えられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記の方法、
例えばエアーブローを用いる場合では、集光レンズの交
換頻度はやや減るものの、スパッタが非常に高速で飛散
するために、エアーで吹き飛ばすことのできなかったス
パッタが依然としてレンズを汚染、損傷させる懸念があ
った。
例えばエアーブローを用いる場合では、集光レンズの交
換頻度はやや減るものの、スパッタが非常に高速で飛散
するために、エアーで吹き飛ばすことのできなかったス
パッタが依然としてレンズを汚染、損傷させる懸念があ
った。
【０００７】また、集光レンズと被加工物との間にガラ
ス等のいわゆる保護ガラスを挿入する方法では、光学調
整の作業が不要になったものの、ガラスの頻繁な交換は
依然必要で、加工の信頼性も望めなかった。
ス等のいわゆる保護ガラスを挿入する方法では、光学調
整の作業が不要になったものの、ガラスの頻繁な交換は
依然必要で、加工の信頼性も望めなかった。
【０００８】本発明は、前記課題に鑑みなされたもの
で、その目的はレーザ加工における集光レンズ、または
保護ガラスの交換頻度を低減し、かつ加工の信頼性を長
期にわたって確保することのできるレーザ装置を提供す
ることである。
で、その目的はレーザ加工における集光レンズ、または
保護ガラスの交換頻度を低減し、かつ加工の信頼性を長
期にわたって確保することのできるレーザ装置を提供す
ることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、以下の構成を採用した。第一に、レーザ光
を被加工物に照射して当該被加工物の加工を行うレーザ
加工装置において、レーザ光を集光する集光レンズと、
被加工物との間のレーザ光通過空間に、樹脂材料を含み
レーザ光を透過する介在部を設けた。
するために、以下の構成を採用した。第一に、レーザ光
を被加工物に照射して当該被加工物の加工を行うレーザ
加工装置において、レーザ光を集光する集光レンズと、
被加工物との間のレーザ光通過空間に、樹脂材料を含み
レーザ光を透過する介在部を設けた。
【００１０】ここで介在部とは、レーザ光を透過し、ス
パッタなどの物質は遮蔽するものをいう。従来ガラスフ
ィルタやレンズに付着していたスパッタが樹脂フィルタ
では付着しにくく、スパッタの付着による光線透過率の
低下が大幅に抑制されて加工の信頼性を向上させること
ができる。もちろん、樹脂フィルタとともに従来から用
いられていたガラスフィルタを併用してもよい。この点
については後述する。
パッタなどの物質は遮蔽するものをいう。従来ガラスフ
ィルタやレンズに付着していたスパッタが樹脂フィルタ
では付着しにくく、スパッタの付着による光線透過率の
低下が大幅に抑制されて加工の信頼性を向上させること
ができる。もちろん、樹脂フィルタとともに従来から用
いられていたガラスフィルタを併用してもよい。この点
については後述する。
【００１１】第二に、前記介在部として、該レーザ装置
から発振されるレーザ光の波長における光線透過率が８
０％以上のものを用いた。光線透過率を８０％以上とす
ることにより、高いレーザエネルギーを被加工物に照射
することができ、またレーザ光吸収によるフィルタの温
度上昇も抑制できる。光線透過率が８０％以上であれば
スパッタ付着による光線透過率の低下が小さいので使用
に適している。
から発振されるレーザ光の波長における光線透過率が８
０％以上のものを用いた。光線透過率を８０％以上とす
ることにより、高いレーザエネルギーを被加工物に照射
することができ、またレーザ光吸収によるフィルタの温
度上昇も抑制できる。光線透過率が８０％以上であれば
スパッタ付着による光線透過率の低下が小さいので使用
に適している。
【００１２】ここで、光線透過率が８０％以上とは、後
述の介在部に無反射コーティングを施した場合と施され
ていない場合のいずれの場合をも含む。用途により高い
レーザエネルギーを被加工物に照射する必要がある場合
には、無反射コーティングを施したフィルタを用いるこ
とにより光透過率を高く維持できる。
述の介在部に無反射コーティングを施した場合と施され
ていない場合のいずれの場合をも含む。用途により高い
レーザエネルギーを被加工物に照射する必要がある場合
には、無反射コーティングを施したフィルタを用いるこ
とにより光透過率を高く維持できる。
【００１３】第三に、前記介在部は、前記樹脂材料を板
状に加工し、少なくともその一面に無反射コーティング
を施したものを用いてもよい。図５に示すように、樹脂
材料を板状に加工してプラスチック板９ｂとし、このプ
ラスチック板９ｂの一面に無反射コーティング６１を施
すことにより、この介在部全体の光線透過率が向上し
て、より高いエネルギーを被加工物に照射すること、及
び特に被加工物側の面に無反射コーティング６１を施す
ことによってフィルタでのレーザ光吸収による温度上昇
を低く抑えることができる。
状に加工し、少なくともその一面に無反射コーティング
を施したものを用いてもよい。図５に示すように、樹脂
材料を板状に加工してプラスチック板９ｂとし、このプ
ラスチック板９ｂの一面に無反射コーティング６１を施
すことにより、この介在部全体の光線透過率が向上し
て、より高いエネルギーを被加工物に照射すること、及
び特に被加工物側の面に無反射コーティング６１を施す
ことによってフィルタでのレーザ光吸収による温度上昇
を低く抑えることができる。
【００１４】無反射コーティング膜は、誘電体などの無
機膜または有機膜を基材上に単層または多層で積層する
方法があり、真空蒸着法、スパッタリング法、スピンコ
ーティング法等を用いて作製することができる。有機膜
材料としてはサイトップ（商品名），テフロンＡＦ（商
品名）等のフッ素樹脂を用いることができる。
機膜または有機膜を基材上に単層または多層で積層する
方法があり、真空蒸着法、スパッタリング法、スピンコ
ーティング法等を用いて作製することができる。有機膜
材料としてはサイトップ（商品名），テフロンＡＦ（商
品名）等のフッ素樹脂を用いることができる。
【００１５】無反射コーティングのために用いる無機膜
はＬｉＦ，ＭｇＦ2，ＴｈＦ4，ＬａＦ3，ＮｄＦ3，Ｃｅ
Ｆ3等のフッ化物、ＺｎＳ，ＣｄＳ，ＺｎＳｅ，ＺｎＴ
ｅ，Ｓｂ2Ｓ3，ＳｉＯ2，ＳｉＯ，Ａｌ2Ｏ3，ＭｇＯ，
ＴｈＯ2，Ｌａ2Ｏ3，ＣｅＯ2，Ｔａ2Ｏ5，ＴｉＯ2，Ｓ
ｎＯ2等の酸化物からなるものが例示できる。
はＬｉＦ，ＭｇＦ2，ＴｈＦ4，ＬａＦ3，ＮｄＦ3，Ｃｅ
Ｆ3等のフッ化物、ＺｎＳ，ＣｄＳ，ＺｎＳｅ，ＺｎＴ
ｅ，Ｓｂ2Ｓ3，ＳｉＯ2，ＳｉＯ，Ａｌ2Ｏ3，ＭｇＯ，
ＴｈＯ2，Ｌａ2Ｏ3，ＣｅＯ2，Ｔａ2Ｏ5，ＴｉＯ2，Ｓ
ｎＯ2等の酸化物からなるものが例示できる。
【００１６】この無機膜を樹脂基板にコーティングする
方法としては、蒸着法、スパッタ法等を用いることがで
きる。また、無反射コーティング６１は、プラスチック
板９ｂの一面のみならず両面に施してもよい。
方法としては、蒸着法、スパッタ法等を用いることがで
きる。また、無反射コーティング６１は、プラスチック
板９ｂの一面のみならず両面に施してもよい。
【００１７】第四に、前記介在部を、図６に示すように
ガラス板９ａの少なくとも一面に前記樹脂材料を被着し
て樹脂層９ｂとしてもよい。すなわち、従来から知られ
ているガラス板からなるフィルタを利用してこれに樹脂
層９ｂを設けることにより、レーザ出射ユニットの内部
構造に変更を加えることなくスパッタ付着を抑制でき
る。
ガラス板９ａの少なくとも一面に前記樹脂材料を被着し
て樹脂層９ｂとしてもよい。すなわち、従来から知られ
ているガラス板からなるフィルタを利用してこれに樹脂
層９ｂを設けることにより、レーザ出射ユニットの内部
構造に変更を加えることなくスパッタ付着を抑制でき
る。
【００１８】もちろん、図６に示すように、樹脂層９ｂ
のさらに上層および／またはガラス面に無反射コーティ
ング６１を施してもよい。
のさらに上層および／またはガラス面に無反射コーティ
ング６１を施してもよい。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について説明
する。図２は本実施例において使用したレーザ加工装置
の概略構成図である。本実施例において使用したレーザ
加工装置は、パルスＹＡＧレーザ装置と６軸多関節ロボ
ットを組み合わせた加工装置である。
する。図２は本実施例において使用したレーザ加工装置
の概略構成図である。本実施例において使用したレーザ
加工装置は、パルスＹＡＧレーザ装置と６軸多関節ロボ
ットを組み合わせた加工装置である。
【００２０】図２に示すように、レーザ装置は次のよう
な構成になっている。すなわち、Ｎｄ：ＹＡＧロッドお
よび励起用フラッシュランプ等で構成されるレーザヘッ
ド１８を有しており、このレーザヘッド１８は、発振電
力を供給するレーザ電源１７、レーザヘッド１８の過熱
を防止する冷却機２１が接続されている。
な構成になっている。すなわち、Ｎｄ：ＹＡＧロッドお
よび励起用フラッシュランプ等で構成されるレーザヘッ
ド１８を有しており、このレーザヘッド１８は、発振電
力を供給するレーザ電源１７、レーザヘッド１８の過熱
を防止する冷却機２１が接続されている。
【００２１】レーザヘッド１８のＮｄ：ＹＡＧロッド
は、励起用フラッシュランプからのエネルギー供給を受
けて、中心波長１.０６μｍのマルチモード発振を行な
うようになっており、こ の発振光は光ファイバーＦを
通じて出射ユニット２０に伝えられるようになってい
る。
は、励起用フラッシュランプからのエネルギー供給を受
けて、中心波長１.０６μｍのマルチモード発振を行な
うようになっており、こ の発振光は光ファイバーＦを
通じて出射ユニット２０に伝えられるようになってい
る。
【００２２】出射ユニット２０には、ガス源（アルゴン
ガスボンベ２８およびエアーコンプレッサ３０）が接続
されており、出射ユニット２０のノズル内に所定のガス
を供給可能となっている。この出射ユニット２０は、６
軸多関節ロボットを構成するヘッドテーブル２２より延
設されたアーム２３の先端に取り付けられており、ロボ
ットコントロールユニット２７によってＸＹＺ方向に制
御可能となっている。
ガスボンベ２８およびエアーコンプレッサ３０）が接続
されており、出射ユニット２０のノズル内に所定のガス
を供給可能となっている。この出射ユニット２０は、６
軸多関節ロボットを構成するヘッドテーブル２２より延
設されたアーム２３の先端に取り付けられており、ロボ
ットコントロールユニット２７によってＸＹＺ方向に制
御可能となっている。
【００２３】前記ロボットコントロールユニット２７
は、ディスプレイ２４およびプログラミングボックス２
６を備えたレーザコントローラ２５によってプログラミ
ング制御可能となっている。
は、ディスプレイ２４およびプログラミングボックス２
６を備えたレーザコントローラ２５によってプログラミ
ング制御可能となっている。
【００２４】図１は、図２で説明したレーザ出射ユニッ
トのさらに詳細な構成図である。同図に示されるよう
に、本体内には集光レンズ４が設けられており、集光レ
ンズ４で集光されたレーザ光がレーザ出射口２から出射
するように構成されている。本実施例に使用した出射ユ
ニット２０は焦点距離が１２０(mm)であり、集光角が１
５(mrad)の範囲にあるものである。
トのさらに詳細な構成図である。同図に示されるよう
に、本体内には集光レンズ４が設けられており、集光レ
ンズ４で集光されたレーザ光がレーザ出射口２から出射
するように構成されている。本実施例に使用した出射ユ
ニット２０は焦点距離が１２０(mm)であり、集光角が１
５(mrad)の範囲にあるものである。
【００２５】本実施例のレーザ出射ユニット２０は中空
筒状のユニット本体部３と、逆テーバ状のユニット先端
部３１とに分割可能な構造を有しており、ユニット先端
部３１のさらに先端には前述のレーザ出射口２が装着さ
れている。
筒状のユニット本体部３と、逆テーバ状のユニット先端
部３１とに分割可能な構造を有しており、ユニット先端
部３１のさらに先端には前述のレーザ出射口２が装着さ
れている。
【００２６】ユニット先端部３１の内壁面には、第１ガ
ス供給口３１ｂと、第２ガス供給口３１ａとが開口され
ており、ユニット内空間Ａにおいてレーザ光軸に対し垂
直方向にエアブローを行う構造となっている。また、出
射口２の先端は環状２重ノズルとなっており、この環状
ノズルの間より窒素、アルゴン、水素、ヘリウム等のシ
ールドガスが加工物に向けて放出される構造となってい
る。
ス供給口３１ｂと、第２ガス供給口３１ａとが開口され
ており、ユニット内空間Ａにおいてレーザ光軸に対し垂
直方向にエアブローを行う構造となっている。また、出
射口２の先端は環状２重ノズルとなっており、この環状
ノズルの間より窒素、アルゴン、水素、ヘリウム等のシ
ールドガスが加工物に向けて放出される構造となってい
る。
【００２７】ユニット本体部３とユニット先端部３１と
の分割部分には、円板状のガラスフィルタ９ａ（ガラス
板）の一面側に樹脂フィルタ９ｂ（樹脂板）が装着され
ている。
の分割部分には、円板状のガラスフィルタ９ａ（ガラス
板）の一面側に樹脂フィルタ９ｂ（樹脂板）が装着され
ている。
【００２８】本実施例においては、前記レーザ加工装置
を亜鉛メッキ鋼鈑の重ね合わせ溶接に適用した。レーザ
照射条件等は以下の通りである。 レーザ出力 ３５６(W) パルス繰り返し数 １０(Hz) パルスエネルギー ３５.６(J) 溶接速度 ５００(mm/min) 溶接ビード長 ２０(mm) ワーク位置 焦点位置 像側焦点距離 １２０(mm) 像側集光角 １４.４度 シールドガス 窒素 １５(l/min) エアブロー流量 約４００(l/min) 被溶接材料は、亜鉛メッキ鋼板（JIS G3302 SGCC SD
N）であり、Ｆ０８（最小呼び目 付量 両面６０／６０
ｇ／ｃｍ2）であり、長さ１００(mm)×幅３０(mm)×厚
さ０.７(m m)であり、３枚重ねであって、各鋼板間の
隙間は０(mm)である。
を亜鉛メッキ鋼鈑の重ね合わせ溶接に適用した。レーザ
照射条件等は以下の通りである。 レーザ出力 ３５６(W) パルス繰り返し数 １０(Hz) パルスエネルギー ３５.６(J) 溶接速度 ５００(mm/min) 溶接ビード長 ２０(mm) ワーク位置 焦点位置 像側焦点距離 １２０(mm) 像側集光角 １４.４度 シールドガス 窒素 １５(l/min) エアブロー流量 約４００(l/min) 被溶接材料は、亜鉛メッキ鋼板（JIS G3302 SGCC SD
N）であり、Ｆ０８（最小呼び目 付量 両面６０／６０
ｇ／ｃｍ2）であり、長さ１００(mm)×幅３０(mm)×厚
さ０.７(m m)であり、３枚重ねであって、各鋼板間の
隙間は０(mm)である。
【００２９】実際に溶接するのは２枚目までとし、レー
ザ光が２枚目を貫通しない溶接条件にしている。また、
集光レンズ４と溶接材料の間、溶接材料から約１００(m
m)の位置に両面ＡＲコーティングを施した石英からなる
ガラスフィルタ９ａ（厚さ２.０mm)をセットできるよう
にした。
ザ光が２枚目を貫通しない溶接条件にしている。また、
集光レンズ４と溶接材料の間、溶接材料から約１００(m
m)の位置に両面ＡＲコーティングを施した石英からなる
ガラスフィルタ９ａ（厚さ２.０mm)をセットできるよう
にした。
【００３０】樹脂フィルタ９ｂは両面に無機膜による無
反射コーティングを施し、ガラスフィルタ９ａの加工物
側に装着した。本実施例で使用した樹脂は、ポリカーボ
ネート、ポリメチル−メタクリレートおよびジアリルカ
ーボネートであり、それぞれの厚み、及び分光透過率
（ＹＡＧレーザ光の波長である１０６４nmにおける光透
過率）は以下の通りである。
反射コーティングを施し、ガラスフィルタ９ａの加工物
側に装着した。本実施例で使用した樹脂は、ポリカーボ
ネート、ポリメチル−メタクリレートおよびジアリルカ
ーボネートであり、それぞれの厚み、及び分光透過率
（ＹＡＧレーザ光の波長である１０６４nmにおける光透
過率）は以下の通りである。
【００３１】
【表１】 本実施例によれば、各樹脂材料を出射ユニットに設置
し、溶接ビードにして５０本毎に出力測定を行ない、透
過率の変化を測定した。その結果を図３に示す。透過率
が１０％低下するまでに２３００〜２６００本の溶接ビ
ードを引くことが出来た。
し、溶接ビードにして５０本毎に出力測定を行ない、透
過率の変化を測定した。その結果を図３に示す。透過率
が１０％低下するまでに２３００〜２６００本の溶接ビ
ードを引くことが出来た。
【００３２】なお、実施例では、樹脂フィルタの両面に
無機膜による無反射コーティングを施したが、樹脂フィ
ルタの片面のみにコーティングする場合、又はコーティ
ングを施さないで使用してもよい。
無機膜による無反射コーティングを施したが、樹脂フィ
ルタの片面のみにコーティングする場合、又はコーティ
ングを施さないで使用してもよい。
【００３３】
【比較例】比較のために、樹脂製フィルタを使用せずガ
ラスフィルタのみで前記実施例と同じ実験を行なった。
実験条件は実施例と全く同じである。その結果を図４に
示す。図４から明らかなように、透過率１０％が低下す
るまでに引ける溶接ビードの数は５００〜６００本であ
り、樹脂製フィルタを使用した実施例と比較して寿命が
１／４〜１／５に低下した。
ラスフィルタのみで前記実施例と同じ実験を行なった。
実験条件は実施例と全く同じである。その結果を図４に
示す。図４から明らかなように、透過率１０％が低下す
るまでに引ける溶接ビードの数は５００〜６００本であ
り、樹脂製フィルタを使用した実施例と比較して寿命が
１／４〜１／５に低下した。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、従来ガラスフィルタに
付着していたスパッタが、樹脂フィルタでは付着しにく
く、光線透過率の低下が大きく抑制された。そのため、
メンテナンス頻度、作業時間、ランニングコストを低減
し、レーザ加工装置における加工の信頼性を大幅に向上
させることができた。
付着していたスパッタが、樹脂フィルタでは付着しにく
く、光線透過率の低下が大きく抑制された。そのため、
メンテナンス頻度、作業時間、ランニングコストを低減
し、レーザ加工装置における加工の信頼性を大幅に向上
させることができた。
【図１】本発明の実施例であるレーザ加工装置のレーザ
出射ユニットの構造を示す半断面図
出射ユニットの構造を示す半断面図
【図２】本発明の実施例であるレーザ加工装置の概略構
成図
成図
【図３】実施例におけるレーザ出力の変化とビード本数
の変化との関係を示すグラフ図、
の変化との関係を示すグラフ図、
【図４】比較例におけるレーザ出力の変化とビード本数
の変化との関係を示すグラフ図。
の変化との関係を示すグラフ図。
【図５】本発明の介在部の一例を示す断面図
【図６】本発明の介在部の他の例を示す断面図
２・・出射口、 ３・・ユニット本体部、 ４・・集光レンズ、 ９ａ・・ガラスフィルタ（ガラス板） ９ｂ・・樹脂フィルタ（樹脂板、樹脂層） １７・・レーザ電源、 １８・・レーザヘッド、 ２０・・レーザ出射ユニット、 ２０・・出射ユニット、 ２１・・冷却機、 ２２・・ヘッドテーブル、 ２３・・アーム、 ２４・・ディスプレイ、 ２５・・レーザコントローラ、 ２６・・プログラミングボックス、 ２７・・ロボットコントロールユニット、 ２８・・アルゴンガスボンベ、 ３０・・エアーコンプレッサ、 ３１・・ユニット先端部、 ３１ａ・・第２ガス供給口、 ３１ｂ・・第１ガス供給口、 Ａ・・ユニット内空間、 Ｆ・・光ファイバー、
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ光を被加工物に照射して当該被加
工物の加工を行うレーザ加工装置において、 レーザ光を集光する集光レンズと、被加工物との間のレ
ーザ光通過空間に、樹脂材料を含みレーザ光を透過する
介在部を設けたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 【請求項２】 前記介在部は、該レーザ装置から発振さ
れるレーザ光の波長における光線透過率が８０％以上で
あることを特徴とする特許請求項１記載のレーザ加工装
置。 - 【請求項３】 前記介在部は、前記樹脂材料を板状に加
工したものであり、少なくともその一面に無反射コーテ
ィングを施していることを特徴とする請求項１または２
記載のレ−ザ加工装置。 - 【請求項４】 前記介在部は、ガラス板の少なくとも一
面に設けられた前記樹脂材料からなる層であることを特
徴とする請求項１または２記載のレ−ザ加工装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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