KR102130663B1 - Metal/two-dimensional nano material hybride conductive film and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물에 촉매금속이 분산되어 있는 혼합액을 형성하는 단계와, 상기 혼합액에 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시키고 상기 미세기포의 붕괴시 발생하는 에너지를 이용하여 상기 전구체 화합물을 분해시켜 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 촉매금속/이차원 나노소재를 형성하는 단계를 포함하는 전도막 제조방법에 있어서, 상기 촉매금속/이차원 나노소재를 분산액에 분산시켜 잉크를 제조하는 단계와; 상기 잉크를 기판에 도포하고 급속 대기소성(Sintering)하는 단계를 포함하는 것을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 높은 산화도 특성을 가지는 비귀금속계 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하여 공기로부터 금속이 산화되는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다. 또한 광 흡수가 뛰어난 이차원 나노소재에 의해 고에너지의 광을 조사함으로써 급속 대기소성이 가능하며, 급속 소성에 의해 금속의 산화를 최소화하고 공정시간을 단축하는 효과를 얻을 수 있다.The present invention, the step of forming a mixed solution in which a catalyst metal is dispersed in a precursor or precursor compound of a two-dimensional nano-material, and by generating ultrasonic waves to the mixed solution to generate micro-bubbles and using the energy generated during the collapse of the micro-bubbles A method for manufacturing a conductive film comprising disintegrating the precursor compound and synthesizing the two-dimensional nanomaterial on the outer wall of the catalyst metal to form a catalyst metal/two-dimensional nanomaterial, dispersing the catalyst metal/two-dimensional nanomaterial in a dispersion. To prepare ink; It is a technical point to include the step of applying the ink to the substrate and rapidly sintering. Thereby, it is possible to obtain an effect of preventing the metal from being oxidized from the air by synthesizing the two-dimensional nanomaterial on the outer wall of the non-precious metal-based metal having high oxidation property. In addition, rapid atmospheric firing is possible by irradiating high-energy light with a two-dimensional nanomaterial having excellent light absorption, and rapid firing can minimize metal oxidation and shorten process time.

Description

금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법 {Metal/two-dimensional nano material hybride conductive film and method of manufacturing the same}Metal/two-dimensional nano material hybride conductive film and method of manufacturing the same}

본 발명은 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 높은 산화도 특성을 가지는 비귀금속계 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하여 공기로부터 금속이 산화되는 것을 방지하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a metal/two-dimensional nanomaterial hybrid conductive film and a method for manufacturing the same, and more specifically, to prevent the metal from being oxidized from the air by synthesizing the two-dimensional nanomaterial on the outer wall of a non-precious metal-based metal having a high oxidation property. It relates to a metal / two-dimensional nano-material hybrid conductive film and its manufacturing method.

나노입자는 벌크 및 원자 종의 속성들과는 달리 독특한 물리적 특성들을 가지며, 이에 의해 최근 나노소재에 대한 연구가 전세계적으로 급속도로 증가하고 있는 실정이다. 이러한 독특한 물리적 특성들에 의해 전기화학, 극소전자공학, 광학, 바이오공학 등의 많은 분야에 응용 가능성이 대두되고 있으며, 특히 전자분야에서는 다양한 기판을 적용하여 전자부품을 제조하는 추세인데 이에 맞춰 다양한 인쇄 방식을 통한 박막에 미세 배선의 형성에 나노소재를 필요로 하고 있다. 기판에 패턴을 인쇄하는 방법으로는 일반적으로 리소그래피(Lithography)를 이용하고 있지만, 이는 복잡한 공정을 통해 이루어지기 때문에 공정단가가 상승하는 문제가 있다. 따라서 복잡한 공정을 거치지 않고 필름 위에 직접 회로를 인쇄할 수 있는 전도성 금속 잉크가 절실히 요구되고 있는 상황이다.Nanoparticles, unlike the properties of bulk and atomic species, have unique physical properties, whereby recent research on nanomaterials is rapidly increasing worldwide. Due to these unique physical properties, application possibilities are emerging in many fields such as electrochemistry, microelectronics, optics, and biotechnology, and in particular, in the electronics field, various substrates are applied to manufacture electronic components. Nanomaterials are required for the formation of fine interconnections in thin films through the method. As a method of printing a pattern on a substrate, lithography is generally used. However, since it is performed through a complicated process, a process cost increases. Therefore, there is an urgent need for a conductive metal ink capable of printing a circuit directly on a film without going through a complicated process.

현재 산업계에서 주로 사용하고 있는 전도성 잉크 소재는 은(Ag), 금(Au), 백금(Pt) 등과 같은 귀금속계 금속으로 높은 전기전도도와 낮은 산화도 특성으로 인해 인쇄공정에 직접 응용가능한 소재로 인식되어 오고 있다. 하지만 귀금속계 금속은 높은 가격 및 이온 마이그레이션(Ion migration) 현상으로 인해 극세선 회로를 제조하는 데 한계가 있다. 이러한 문제점을 극복하기 위해 귀금속계 금속과 비슷한 수준의 전기전도도를 가지는 구리(Cu), 니켈(Ni), 알루미늄(Al) 등과 같은 비귀금속계 금속을 사용하는데, 비귀금속계 금속은 극미세선 설계가 가능하고 경제성이 뛰어나다는 장점이 있다. 그럼에도 불구하고 높은 산화도 특성으로 인해 공정 단가가 상승한다는 문제가 상용화에 큰 걸림돌로 작용하고 있다.The conductive ink material mainly used in the current industry is a precious metal-based metal such as silver (Ag), gold (Au), platinum (Pt), etc., and is recognized as a material that can be directly applied to the printing process due to its high electrical conductivity and low oxidation property. It has been. However, precious metal-based metals have limitations in manufacturing ultra-fine wire circuits due to their high price and ion migration. To overcome this problem, non-precious metals such as copper (Cu), nickel (Ni), and aluminum (Al), which have similar electrical conductivity to precious metals, are used. It has the advantage of being possible and having good economics. Nevertheless, the problem that the process cost increases due to the high oxidation property is a major obstacle to commercialization.

표면 산화방지와 더불어 기판을 소성(Sintering)하는 단계 또한 전도막을 제조하는 방법에서 해결해야 할 과정 중에 하나이다. 금속입자로 구성된 전도성 잉크는 절연성 기판 상부에 인쇄 후 열 또는 광 에너지를 이용하여 금속입자 간 연결을 통해 전도성을 부여하는 소성과정을 거치게 된다. 산화도가 낮은 귀금속계 전도성 잉크의 영우 일반적으로 대기 하에서 소성을 진행하여도 무방한데 비해, 비귀금속계 잉크는 산화도가 높아 불활성 가스, 수소 가스 분위기 또는 진공 중에서 소성을 진행하여야 한다. 이러한 종래기술은 '대한민국특허청 등록특허 제10-1418276호 표면 산화막 형성이 제어된 금속 나노 입자 합성 방법 및 용액 공정을 통한 금속 전도성 박막의 제조방법'에 알려져 있는데, 종래기술에서는 표면산화방지막이 형성된 구리 기반 전도성 잉크를 이용하여 아르곤 및 수소 기체 분위기 하에서 소성하여 전도막을 형성하는 방법을 소개하고 있다. 하지만 이와 같이 비활성 기체 분위기에서 소성을 진행할 경우 일반적인 대기 분위기 하에서 공정을 진행할 때보다 공정 단가가 상승하는 문제점이 있다. In addition to surface oxidation prevention, the step of sintering the substrate is also one of the processes to be solved in the method of manufacturing the conductive film. The conductive ink composed of metal particles is printed on the insulating substrate and then subjected to a firing process to impart conductivity through connection between metal particles using heat or light energy. Youngwoo of a noble metal-based conductive ink having a low oxidation degree In general, it is acceptable to perform firing under the atmosphere, whereas a non-noble metal-based ink has a high oxidation degree and must be fired in an inert gas, hydrogen gas atmosphere or vacuum. This prior art is known to the Korean Patent Office Registration No. 10-1418276, the method of synthesizing metal nanoparticles with controlled surface oxide film formation, and the method of manufacturing a metal conductive thin film through a solution process. It introduces a method of forming a conductive film by firing under argon and hydrogen gas atmosphere using a base conductive ink. However, when the calcination is performed in an inert gas atmosphere as described above, there is a problem in that the process cost is higher than when the process is performed under a general atmosphere.

또한 '대한민국특허청 등록특허 제10-0775077호 리튬 이차전지의 양극재 및 그 제조방법'과 같이 산화방지를 위해 안정화된 산화물층을 추가로 형성하고 있으나, 이와 같이 산화물층을 형성할 경우 별도의 공정 및 재료가 필요하기 때문에 공정이 복잡하며 제조 단가가 상승하는 단점이 있다.In addition, as the'Korea Patent Office Registration Patent No. 10-0775077 cathode material of lithium secondary battery and its manufacturing method', an oxide layer stabilized to prevent oxidation is additionally formed, but in the case of forming an oxide layer as such, a separate process And since the material is required, the process is complicated and the manufacturing cost is increased.

대한민국특허청 등록특허 제10-1418276호Korea Patent Office Registration Patent No. 10-1418276 대한민국특허청 등록특허 제10-0775077호Korea Patent Office Registration Patent No. 10-0775077

따라서 본 발명의 목적은 높은 산화도 특성을 가지는 비귀금속계 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하여 공기로부터 금속이 산화되는 것을 방지하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법을 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a metal/two-dimensional nano-material hybrid conductive film and a method for manufacturing the metal/two-dimensional nano-material hybrid conductive film by synthesizing two-dimensional nanomaterials on the outer wall of a non-precious metal-based metal having high oxidation properties. .

또한 마이크로파와 같은 고 에너지 광의 흡수가 뛰어난 이차원 나노소재에 의해 급속 대기소성이 가능하며, 급속 소성에 의해 금속의 산화를 최소화하고 공정시간을 단축시킨 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.In addition, it is possible to rapidly air fire by using two-dimensional nano materials that have excellent absorption of high-energy light such as microwaves, and metal/two-dimensional nano-material hybrid conductive films that minimize oxidation of metals and shorten process time by rapid firing and methods of manufacturing the same Is to provide.

상기한 목적은, 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물에 촉매금속이 분산되어 있는 혼합액을 형성하는 단계; 상기 혼합액에 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시키고 상기 미세기포의 붕괴 시 발생하는 에너지를 이용하여 상기 전구체 화합물을 분해시켜 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 촉매금속/이차원 나노소재를 형성하는 단계; 상기 촉매금속/이차원 나노소재를 분산액에 분산시켜 잉크를 제조하는 단계; 및 상기 잉크를 기판에 도포하고 급속 대기소성(Sintering)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화 방지를 위한 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법에 의해 달성된다.The above object is to form a mixed solution in which a catalyst metal is dispersed in a precursor or precursor compound of a two-dimensional nanomaterial; The mixed solution is irradiated with ultrasonic waves to generate micro-bubbles and decompose the precursor compound using energy generated when the micro-bubbles collapse to synthesize the two-dimensional nanomaterials on the outer wall of the catalyst metal to produce a catalyst metal/two-dimensional nanomaterials. Forming; Dispersing the catalyst metal/two-dimensional nanomaterial in a dispersion to prepare an ink; And applying the ink to the substrate and rapidly sintering it. It is achieved by a metal/two-dimensional nanomaterial hybrid conductive film manufacturing method for preventing metal oxidation.

여기서, 상기 급속 대기소성하는 단계는, 대기 중에서 상기 기판에 광 에너지를 조사하여 이루어지는 것이 바람직하다.Here, the step of rapid air firing is preferably performed by irradiating the substrate with light energy in the atmosphere.

상기한 목적은 또한, 기판; 및 상기 기판에 도포되어 급속 대기소성된 금속과 이차원 나노소재의 하이브리드 입자층;을 포함하고, 상기 하이브리드 입자층은, 상기 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물에 촉매금속이 분산된 혼합액을 이용하여 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 형성되되, 상기 혼합액에 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시켜 상기 미세기포의 붕괴 시 발생하는 에너지를 이용하여 상기 전구체 화합물을 분해시켜 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 형성되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막에 의해서도 달성된다.The above object is also a substrate; And a hybrid particle layer of a metal and a two-dimensional nanomaterial that is rapidly air-fired and coated on the substrate, wherein the hybrid particle layer comprises the two-dimensional nanoparticles using a mixed solution in which a catalyst metal is dispersed in a precursor or precursor compound of the two-dimensional nanomaterial. It is formed by synthesizing a material on the outer wall of the catalyst metal, and irradiating ultrasonic waves to the mixed solution to generate micro bubbles to decompose the precursor compound using energy generated when the micro bubbles collapse, thereby decomposing the two-dimensional nanomaterial to the catalyst. It is also achieved by a metal / two-dimensional nano-material hybrid conductive film characterized in that it is formed by synthesis on the outer wall of the metal.

여기서, 상기 급속 소성은 대기 중에서 상기 하이브리드 입자층에 광 에너지를 조사하여 이루어지며, 상기 이차원 나노소재는 광 에너지를 흡수하여 발열하는 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.Here, the rapid firing is achieved by irradiating light energy to the hybrid particle layer in the atmosphere, and the two-dimensional nanomaterial is preferably made of a material that absorbs light energy and generates heat.

또한, 상기 이차원 나노소재는 그래핀(Graphene), 헥사고날 보론 나이트라이드(h-Boron nitride), 전이금속 칼코겐화합물 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되며, 상기 촉매금속은 비귀금속계 금속인 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 알루미늄(Al) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것이 바람직하다.In addition, the two-dimensional nanomaterial is selected from the group consisting of graphene (Graphene), hexagonal boron nitride (h-Boron nitride), a transition metal chalcogen compound, and a mixture thereof, the catalyst metal is copper, which is a non-precious metal-based metal It is preferably selected from the group consisting of (Cu), nickel (Ni), cobalt (Co), iron (Fe), chromium (Cr), tungsten (W), aluminum (Al), and mixtures thereof.

상술한 본 발명의 구성에 따르면 높은 산화도 특성을 가지는 비귀금속계 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하여 공기로부터 금속이 산화되는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.According to the above-described configuration of the present invention, it is possible to obtain an effect of preventing oxidation of metal from air by synthesizing two-dimensional nanomaterials on the outer wall of a non-precious metal-based metal having high oxidation properties.

또한 광 에너지 흡수가 뛰어난 이차원 나노소재에 의해 광 에너지를 이용하여 급속 대기소성이 가능하며, 급속 소성에 의해 금속의 산화를 최소화하고 공정시간을 단축하는 효과를 얻을 수 있다.In addition, rapid air firing is possible using light energy by a two-dimensional nanomaterial having excellent light energy absorption, and rapid firing can minimize metal oxidation and shorten process time.

도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법의 순서도이고,
도 3은 급속 대기소성 소성 후 실시예 및 비교예의 주사현미경 사진이고,
도 4는 실시예 및 비교예 샘플의 광 에너지 조사시간에 따른 온도 변화를 나타낸 그래프이고,
도 5는 급속 대기소성 후 실시예 및 비교예의 표면 산화 상태를 나타낸 엑스선 회절 스펙트럼이고,
도 6은 급속 대기소성 후 실시예 및 비교예의 상대습도와 온도에 따른 저항 변화를 나타낸 그래프이고,
도 7은 실시예 샘플을 유리기판 및 플라스틱 기판의 상부에 패터닝한 후 얻은 전도막을 나타낸 사진이다.1 and 2 is a flow chart of a metal / two-dimensional nano-material hybrid conductive film manufacturing method according to an embodiment of the present invention,
3 is a scanning micrograph of Examples and Comparative Examples after rapid atmospheric firing,
4 is a graph showing the temperature change according to the light energy irradiation time of the samples of Examples and Comparative Examples,
5 is an X-ray diffraction spectrum showing the surface oxidation state of Examples and Comparative Examples after rapid atmospheric firing,
6 is a graph showing the resistance change according to the relative humidity and temperature of the Examples and Comparative Examples after rapid atmospheric firing,
7 is a photograph showing a conductive film obtained after patterning an example sample on top of a glass substrate and a plastic substrate.

이하 본 발명의 실시예에 따른 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법을 도면을 참고하여 설명한다.Hereinafter, a metal/two-dimensional nanomaterial hybrid conductive film and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 먼저, 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물(11)에 촉매금속(13)이 분산되어 있는 혼합액(10)을 형성한다(S1).As shown in FIGS. 1 and 2, first, a mixed solution 10 in which a catalyst metal 13 is dispersed in a precursor or precursor compound 11 of a two-dimensional nanomaterial is formed (S1).

혼합액(10)에 분산된 촉매금속(13)은 이차원 나노소재(15)를 구성하는 원자를 흡착하고, 이차원 나노소재(15)의 합성을 위한 템플레이트(Template) 역할을 한다. 따라서 촉매금속(13)의 순도 및 종류에 따라 합성되는 이차원 나노소재(15)의 수율, 결정성 및 레이어(Layer)의 수가 달라진다. 촉매금속(13)의 순도가 높을수록 촉매금속(13)을 둘러싸는 이차원 나노소재(15)의 흡착이 용이하기 때문에, 경우에 따라서 혼합액(10)에 촉매금속(13)이 혼합되기 전에 촉매금속(13)을 정제 및 환원하는 단계를 더 포함할 수 있다.The catalyst metal 13 dispersed in the mixed solution 10 adsorbs atoms constituting the two-dimensional nanomaterial 15 and serves as a template for synthesis of the two-dimensional nanomaterial 15. Therefore, the yield, crystallinity, and number of layers of the two-dimensional nanomaterial 15 synthesized according to the purity and type of the catalyst metal 13 are changed. Since the higher the purity of the catalyst metal 13 is, the easier the adsorption of the two-dimensional nanomaterial 15 surrounding the catalyst metal 13 is, the catalyst metal before the catalyst metal 13 is mixed into the mixed solution 10 in some cases. (13) may further include a step of purifying and reducing.

여기서 촉매금속(13)은 대기 중에서 산화가 잘되는 비귀금속계 금속을 말하며, 구리(Cu), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 코발트(Co), 철(Fe), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 팔라듐(Pd) 및 이를 포함한 합금이거나, 메탈로센과 같은 유기금속화합물로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나 이상일 수 있다. Here, the catalyst metal 13 refers to a non-precious metal-based metal that is easily oxidized in the atmosphere, and includes copper (Cu), nickel (Ni), aluminum (Al), cobalt (Co), iron (Fe), chromium (Cr), and tungsten. (W), palladium (Pd) and alloys containing the same, or may be at least one selected from the group consisting of organometallic compounds such as metallocene.

이차원 나노소재(15)의 전구체 화합물(11)은 이차원 나노소재(15)로 합성되는 전구체를 말하며, 촉매금속(13)을 코어(Core)로 하여 주위를 이차원 나노소재(15)가 둘러싸서 쉘(Shell)을 형성하도록 합성된다. 합성되는 이차원 나노소재(15)는 전기전도성이 큰 그래핀(Graphene), 헥사고날 보론 나이트라이드(h-Boron nitride), 전이금속 칼코겐화합물 및 이의 혼합으로 이루어진 군 중 어느 하나로 합성된다. 여기서 전이금속 칼코겐화합물은 MX2로 표현되는데, M은 티타늄(Ti), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 나이오븀(Nb), 몰리브데늄(Mo), 테크네튬(Tc), 하프늄(Hf), 탄탈늄(Ta), 텅스텐(W), 레늄(Re) 중 하나로 구성되고, X는 황(S), 셀레늄(Se), 텔루륨(Te) 중 하나로 구성되는 구조를 갖는다.The precursor compound 11 of the two-dimensional nanomaterial 15 refers to a precursor synthesized from the two-dimensional nanomaterial 15, and the shell is surrounded by the two-dimensional nanomaterial 15 around the catalyst metal 13 as a core. It is synthesized to form (Shell). The synthesized two-dimensional nanomaterial 15 is synthesized by any one of the group consisting of graphene, hexagonal boron nitride, transition metal chalcogenide compounds, and mixtures thereof. Here, the transition metal chalcogenide is represented by MX 2 , where M is titanium (Ti), vanadium (V), zirconium (Zr), niobium (Nb), molybdenum (Mo), technetium (Tc), hafnium ( Hf), tantalum (Ta), tungsten (W), consisting of one of rhenium (Re), X has a structure composed of one of sulfur (S), selenium (Se), tellurium (Te).

이차원 나노소재(15)의 전구체 화합물(11)은 그래핀, 헥사고날 보론 나이트라이드, 전이금속 칼코겐화합물을 합성가능한 각각의 전구체 화합물을 의미한다. The precursor compound 11 of the two-dimensional nanomaterial 15 refers to each precursor compound capable of synthesizing graphene, hexagonal boron nitride, and transition metal chalcogen compounds.

여기서 그래핀 합성을 위한 전구체 화합물(11)은 탄소를 포함하는 화합물이며, 아세트산(Acetic acid), 아세톤(Acetone), 아세틸아세톤(Acetyl acetone), 아니솔(Anisole), 벤젠(Benzene), 벤질알코올(Benzyl alcohol), 부탄올(Butanol), 부탄온(Butanone), 클로로벤젠(Chlorobenzene), 클로로폼(Chloroform), 사이클로헥산(Cyclohexane), 사이클로헥산올(Cyclohexanol), 사이클로헥사논(Cyclohexanone), 부틸프탈레이트(Butyl phthalate), 디클로로에탄(Dichloroethane), 디에틸렌글리콜(Diethylene glycol), 디글림(Diglyme), 디메톡시에탄(Dimthoxyethane), 디메틸프탈레이트(Dimethyl phthalate), 디옥산(Dioxane), 에탄올(Ethanol), 에틸아세테이트(Ethyl acetate), 에틸아세토아세테이트(Ethyl acetoacetate), 에틸벤조네이트(Ethyl benzonate), 에틸렌글리콜(Ethylene glycol), 글리세린(Glycerin), 헵탄(Heptane), 헵탄올(Heptanol), 헥산(Hexane), 헥산올(Hexanol), 메탄올(Methanol), 메틸아세테이트(Methyl acetate), 메틸렌클로라이드(Methylene chloride), 옥탄올(Octanol), 펜탄(Pentane), 펜탄올(Pentanol), 펜타논(Pentanone), 테트라하이드로퓨란(Tetrahydrofuran), 톨루엔(Toluene), 자일렌(Xylene)과 같은 유기용매, 유기계 모노머 또는 폴리머가 용해된 용매 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것이 바람직하나 이에 한정되지는 않는다.The precursor compound 11 for graphene synthesis is a compound containing carbon, acetic acid, acetone, acetylacetone, anisole, benzene, benzyl alcohol (Benzyl alcohol), Butanol, Butanone, Chlorobenzene, Chloroform, Cyclohexane, Cyclohexanol, Cyclohexanone, Butyl Phthalate (Butyl phthalate), Dichloroethane, Diethylene glycol, Diglyme, Dimethoxyethane, Dimethyl phthalate, Dioxane, Ethanol, Ethyl acetate, Ethyl acetoacetate, Ethyl benzonate, Ethylene glycol, Glycerin, Heptane, Heptanol, Hexane , Hexanol, Methanol, Methyl acetate, Methylene chloride, Octanol, Pentane, Pentanol, Pentanone, Tetra It is preferred to be selected from the group consisting of an organic solvent such as tetrahydrofuran, toluene, and xylene, a solvent in which an organic monomer or polymer is dissolved, and a mixture thereof, but is not limited thereto.

헥사고날 보론 나이트라이드를 합성하기 위한 전구체 화합물(11)은 보라진(Borazine), 암모니아 보레인(Ammonia borane) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택된다.The precursor compound 11 for synthesizing hexagonal boron nitride is selected from the group consisting of Borazine, Amonia borane and mixtures thereof.

또한 전이금속 칼코겐화합물을 합성하기 위한 전구체 화합물(11)은 암모늄테트라티오몰리브데이트((NH4)2MoS4), 몰리브데늄 클로라이드(MoCl5), 몰리브데늄 옥사이드(MoO3), 텅스텐 옥시테트라클로라이드(WOCl4), 1,2-에탄에디티올(Hs(CH2)2SH), 디테르트부틸셀레나이드(C8H18Se), 디에틸셀레나이드(C4H10Se), 바나듐 테트라키스디메틸아마이드(V(NMe2)4), 테트라키스디메틸아마이도티타늄(Ti(NMe2)4), 2-메틸프로판에티올(ButSH), 테르트부틸디설파이드(Bu2 tS2) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택된다.In addition, the precursor compound 11 for synthesizing the transition metal chalcogen compound includes ammonium tetrathiomolybdate ((NH 4 ) 2 MoS 4 ), molybdenum chloride (MoCl 5 ), molybdenum oxide (MoO 3 ), Tungsten oxytetrachloride (WOCl 4 ), 1,2-ethanedithiol (Hs(CH 2 ) 2 SH), diterbutyl selenide (C 8 H 18 Se), diethyl selenide (C 4 H 10 Se ), vanadium tetrakisdimethylamide (V(NMe 2 ) 4 ), tetrakisdimethylamidotitanium (Ti(NMe 2 ) 4 ), 2-methylpropanethiol (Bu t SH), tertbutyldisulfide (Bu 2 t S 2 ) and mixtures thereof.

상기의 방법 및 재료를 통해 형성된 혼합액(10)에 헬륨(He) 또는 아르곤(Ar) 가스를 버블링(Bubbling)하여 용액 내부를 불활성 기체 분위기로 제어한다. 혼합액(10)에 활성 기체가 존재할 경우 이후의 단계에서 초음파 조사시 원하지 않는 물질이 합성되거나 촉매금속(13)의 일부가 산화할 우려가 있으므로, 이를 방지하기 위해 혼합액(10) 내에 존재할 수 있는 활성 기체를 모두 제거하도록 헬륨 또는 아르곤 불활성 기체를 버블링한다.The interior of the solution is controlled by an inert gas atmosphere by bubbling helium (He) or argon (Ar) gas into the mixed solution 10 formed through the above method and materials. When an active gas is present in the mixed solution 10, an unwanted material may be synthesized during ultrasonic irradiation in a subsequent step, or a part of the catalyst metal 13 may be oxidized. Helium or argon inert gas is bubbled to remove all gas.

혼합액(10)에 초음파를 조사하여 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)-코어/쉘 물질을 합성한다(S2).The mixed solution 10 is irradiated with ultrasonic waves to synthesize a catalytic metal 13/two-dimensional nanomaterial 15-core/shell material (S2).

촉매금속(13)이 전구체 또는 전구체 화합물(11)에 분산된 혼합액(10)에 초음파 조사기(30)를 통해 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시킨다. 미세기포는 초음파를 연속적으로 조사하면 크기가 점점 커지고, 미세기포 내부의 압력이 상승하여 결국 붕괴된다. 이때 발생하는 국부적인 에너지는 5000℃ 이상의 고온에 해당되며 미세기포 주위에 존재하는 전구체 화합물(11)의 분해를 야기시킨다. 이러한 미세기포가 붕괴될 때 발생하는 에너지를 이용하여 분해된 전구체 화합물(11)은 촉매역할을 하는 촉매금속(13)의 외벽을 둘러싸도록 흡착되어 이차원 나노소재(15)의 핵이 형성된다. 그리고 전구체 화합물(11)의 연속적인 분해와 흡착과정을 통해 이차원 나노소재(15)의 핵이 확장하여 완전한 이차원 나노소재(15)을 포함하는 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15) 하이브리드 입자가 합성된다. 이러한 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)는 중앙영역엔 나노 사이즈의 촉매금속(13)이 존재하고, 촉매금속(13)의 외벽에는 이차원 나노소재(15)가 합성된 코어/쉘 구조로 이루어진다. 여기서 초음파를 발생시키기 위해 사용되는 초음파 조사기(30)는 100 내지 200W의 전력을 사용하며, 10초 내지 6시간의 범위 내에서 사용하는 것이 바람직하다.The catalyst metal 13 is irradiated with ultrasonic waves through the ultrasonic irradiator 30 to the mixed liquid 10 dispersed in the precursor or the precursor compound 11 to generate fine bubbles. The microbubbles gradually increase in size when continuously irradiated with ultrasonic waves, and the pressure inside the microbubbles rises and eventually collapses. The local energy generated at this time corresponds to a high temperature of 5000°C or higher and causes decomposition of the precursor compound 11 present around the microbubbles. The precursor compound 11, which is decomposed using energy generated when the microbubbles collapse, is adsorbed to surround the outer wall of the catalyst metal 13 serving as a catalyst to form a nucleus of the two-dimensional nanomaterial 15. Then, through the continuous decomposition and adsorption process of the precursor compound 11, the nucleus of the two-dimensional nanomaterial 15 expands to catalyze metal 13/two-dimensional nanomaterial 15 hybrid particles including the complete two-dimensional nanomaterial 15 Is synthesized. The catalyst metal 13/two-dimensional nanomaterial 15 has a nano-sized catalyst metal 13 in the central region, and a core/shell structure in which the two-dimensional nanomaterial 15 is synthesized on the outer wall of the catalyst metal 13 Is made of Here, the ultrasonic irradiator 30 used to generate ultrasonic waves uses power of 100 to 200 W, and is preferably used within a range of 10 seconds to 6 hours.

이와 같은 방법을 통해 얻은 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)-코어/쉘 하이브리드 입자는 비귀금속계 금속인 촉매금속(13)의 주위를 이차원 나노소재(15)가 둘러싸고 있기 때문에 대기 중에서 촉매금속(13)이 산화되는 것이 방지된다. 따라서 이를 이용하여 급속 대기소성과정을 거치더라도 촉매금속(13)의 성질에 변화가 없기 때문에 촉매금속(13)의 전기전도도가 유지된다.The catalytic metal 13/two-dimensional nanomaterial 15-core/shell hybrid particles obtained through the above method are in the atmosphere because the two-dimensional nanomaterial 15 surrounds the catalyst metal 13, which is a non-precious metal-based metal. The catalyst metal 13 is prevented from being oxidized. Therefore, even if a rapid atmospheric firing process is performed using this, the electrical conductivity of the catalyst metal 13 is maintained because there is no change in the properties of the catalyst metal 13.

경우에 따라서 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 합성한 이후에 혼합액(10)으로부터 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 분리하는 단계를 더 포함할 수 있다. 혼합액(10)에 합성되지 않고 남은 잔여 촉매금속(13) 또는 잔여 전구체 화합물(11)이 있을 경우 순수한 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 얻기 위해서는 이들을 제거할 수 있다. 이 경우 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 여과한 다음 잔여물이 남지 않도록 세척하는 단계를 통해 순수한 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 얻게 된다.In some cases, after synthesizing the catalyst metal 13/two-dimensional nanomaterial 15, the method may further include separating the catalyst metal 13/two-dimensional nanomaterial 15 from the mixed solution 10. If there is a residual catalyst metal 13 or a residual precursor compound 11 remaining unsynthesized in the mixed solution 10, these can be removed to obtain a pure catalyst metal 13/two-dimensional nanomaterial 15. In this case, the catalyst metal 13/two-dimensional nanomaterial 15 is filtered, and then the pure catalyst metal 13/two-dimensional nanomaterial 15 is obtained through the washing step so that no residue remains.

촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 분산액(51)에 분산시켜 잉크(50)를 제조한다(S3).The catalyst metal 13/two-dimensional nanomaterial 15 is dispersed in the dispersion 51 to prepare an ink 50 (S3).

순수하게 얻은 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 분산액(51)에 분산시켜 고전도성 잉크(50)를 제조한다. 여기서 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)는 잉크(50) 전체 100중량부 중 40 내지 80중량부로 포함되는 것이 바람직하다. 40중량부 미만일 경우 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)의 양이 부족하여 전기전도성이 현저히 감소하며, 80중량부를 초과할 경우 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)의 분산성이 떨어지며 점도 상승으로 인해 코팅성능이 감소되는 단점이 있다.A highly conductive ink 50 is prepared by dispersing the catalytic metal 13 / two-dimensional nanomaterial 15 obtained purely in the dispersion 51. Here, the catalyst metal 13 / the two-dimensional nanomaterial 15 is preferably included in 40 to 80 parts by weight out of 100 parts by weight of the ink (50). If it is less than 40 parts by weight, the amount of catalyst metal 13 / two-dimensional nanomaterial 15 is insufficient, and the electrical conductivity is significantly reduced. When it exceeds 80 parts by weight, the dispersibility of catalyst metal 13 / two-dimensional nanomaterial 15 There is a disadvantage in that the coating performance decreases due to the drop and the increase in viscosity.

분산액(51)은 통상적으로 코팅 잉크 조성물에 이용되는 용매를 사용하며, 비점이 150 내지 300℃인 극성 또는 비극성 용매를 사용하는 것이 바람직하다.The dispersion liquid 51 usually uses a solvent used in the coating ink composition, and it is preferable to use a polar or non-polar solvent having a boiling point of 150 to 300°C.

이러한 분산액(51)은 터피놀(Terpineol), 에탈 셀로솔브(Ehtyl cellosolve), 부틸 셀로솔브(Butyl cellosolve), 카비톨(Carbitol), 부틸 카비톨(Butyl carbitol) 및 글리세롤(Glycerol) 중 적어도 하나를 포함한다.The dispersion 51 is at least one of terpineol, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, butyl carbitol, and glycerol. Includes.

잉크(50)를 제조하는 단계에서 추가적으로 잉크(50)의 점도 및 접착성을 증가시키기 위해 잉크용 바인더를 첨가한다. 구체적으로 바인더는 유기 및 무기 소재로써, 메틸셀룰로오즈, 에틸셀룰로오즈, 하이드록시프로필셀룰로오즈, 하이드록시프로필메틸셀룰로오즈, 셀룰로오즈아세테이트부트레이트, 카르복시메틸셀룰로오즈, 하이드록시에틸셀룰로오즈 등과 같은 셀룰로오즈 계열 수지, 폴리우레탄 계열 수지 및 아크릴 계열 수지, 실란 커플링제 중 어느 하나 혹은 그 이상의 혼합물이 될 수 있다. 여기서 실란 커플링제는 비닐 알콕시 실란, 에폭시 알킬 알콕시 실란, 메타 아크릴옥시 알킬 알콕시 실란, 머캅토 알킬 알콕시 실란, 아미노 알킬 알콕시 실란 등이 있다.In the step of manufacturing the ink 50, a binder for ink is additionally added to increase the viscosity and adhesiveness of the ink 50. Specifically, the binder is an organic and inorganic material, and cellulose-based resins such as methyl cellulose, ethyl cellulose, hydroxypropyl cellulose, hydroxypropyl methyl cellulose, cellulose cellulose acetate, carboxymethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, and polyurethane-based resins And an acrylic resin or a silane coupling agent. Here, the silane coupling agent includes vinyl alkoxy silane, epoxy alkyl alkoxy silane, metaacryloxy alkyl alkoxy silane, mercapto alkyl alkoxy silane, amino alkyl alkoxy silane, and the like.

이와 같은 바인더 수지는 잉크(50) 전체 100중량부 중 0.5 내지 5중량부 포함될 수 있으며, 0.5 중량부 미만으로 첨가될 경우 첨가되는 양이 소량이므로 점성 및 접착성이 크게 향상되지 않으며, 5중량부를 초과할 경우 전기전도성이 현저히 감소하는 현상이 발생한다.Such a binder resin may include 0.5 to 5 parts by weight out of 100 parts by weight of the ink 50, and when added to less than 0.5 parts by weight, the added amount is small, so that viscosity and adhesiveness are not significantly improved, and 5 parts by weight When exceeded, a phenomenon in which the electrical conductivity is significantly reduced occurs.

잉크(50)를 기판(70)에 도포하여 전도막을 형성한다(S4).The conductive film is formed by applying the ink 50 to the substrate 70 (S4).

촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)을 포함하는 고전도성 잉크(50)를 이용하여 얇은 막 형태의 기판(70)에 도포하여 전도막을 형성한다. 여기서 기판(70)은 광 에너지의 흡수율이 낮은 플라스틱 기판을 사용하며, 플라스틱 기판은 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethylene terephtalate), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylene naphthalate), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 폴리이미드(Polyimide) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것이 바람직하다.A conductive film is formed by applying to a thin film-type substrate 70 using a highly conductive ink 50 including a catalytic metal 13/two-dimensional nanomaterial 15. Here, the substrate 70 is a plastic substrate having a low absorption rate of light energy, and the plastic substrate is polyethylene terephtalate, polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyimide, and the like. It is preferably selected from the group consisting of mixing.

잉크(50)를 기판(70)에 도포할 때 기판(70) 전체에 잉크(50)를 도포할 수 있으며, 전극 패턴과 같이 기판(70)의 일부 영역에 패터닝을 통해 잉크(50)를 도포할 수도 있다. 이와 같이 기판(70)에 잉크(50)를 도포하는 방법으로는 코팅(Coating), 패터닝(Patterning), 압출(Extruding), 블라스팅(Blasting), 스프레드(Spread), 프린팅(Printing) 등과 같은 가공법을 사용 가능하다.When the ink 50 is applied to the substrate 70, the ink 50 may be applied to the entire substrate 70, and the ink 50 may be applied to a portion of the substrate 70 through patterning, such as an electrode pattern. You may. As such, as a method of applying the ink 50 to the substrate 70, processing methods such as coating, patterning, extrusion, blasting, spread, printing, etc. Can be used

대기 중에서 전도막에 광(90)을 조사하여 전도막을 급속 소성한다(S5).The conductive film is rapidly fired by irradiating light 90 to the conductive film in the air (S5).

전극 패턴이 인쇄되거나 기판(70) 전면에 잉크가 도포된 전도막에 광(90)을 조사하여 고온에서 급속 대기소성한다. 전도막에 광(90)을 조사하게 되면 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)-코어/쉘 하이브리드 입자 중 이차원 나노소재(15)가 광(90)을 흡수하게 되면서 순간적으로 고온으로 가열된다. 이와 같이 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)가 가열되면 열이 주변으로 전도되어 전도막이 고온에서 소성된다. 이때 비금속계 금속인 촉매금속(13)은 외벽을 감싸는 이차원 나노소재(15)에 의해 공기와 접촉하지 않고 이로 인해 소성과정에서 산화가 방지된다. 촉매금속(13)의 표면에 이차원 나노소재(15)가 감싸고 있기 때문에 경우에 따라서 광 소성법을 사용하지 않고 대기 중에서 일반 열 소성 방법을 사용하여도 무방하다.The electrode pattern is printed or the substrate 90 is irradiated with light 90 on the conductive film coated with ink to rapidly air fire at a high temperature. When the conductive film is irradiated with light 90, the catalytic metal 13/two-dimensional nanomaterial 15-core/shell hybrid particles of the two-dimensional nanomaterial 15 absorb the light 90 and are instantaneously heated to high temperature. do. As such, when the catalytic metal 13 / the two-dimensional nanomaterial 15 is heated, heat is conducted to the surroundings and the conductive film is fired at a high temperature. At this time, the catalytic metal 13, which is a non-metallic metal, does not come into contact with air by the two-dimensional nanomaterial 15 surrounding the outer wall, thereby preventing oxidation in the firing process. Since the two-dimensional nanomaterial 15 is wrapped on the surface of the catalytic metal 13, in some cases, a general heat firing method in the air may be used without using a photo firing method.

고 에너지의 광(90)을 이용하여 전도막을 소성할 때 광(90)을 조사하는 시간은 0.1 내지 50밀리초와 같이 짧은 시간 내에 조사하게 되는데, 이와 같이 짧은 시간 내에 조사하게 되면 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)는 순식간에 고온에서 가열되지만 기판(70)은 온도가 상승하기 전에 소성이 완료되어 기판(70)의 변형을 방지할 수 있다. 광(90)을 조사하는 시간이 0.1밀리초 미만일 경우 완벽한 소성이 이루어지기 힘들며, 50밀리초를 초과하여 조사할 경우 촉매금속(13)의 산화가 발생하고 또한 가열되는 온도가 과도하게 높아져 전도막이 손상될 우려가 있다.When firing the conductive film using high-energy light 90, the time for irradiating the light 90 is irradiated within a short time, such as 0.1 to 50 milliseconds. )/The two-dimensional nanomaterial 15 is instantaneously heated at a high temperature, but the substrate 70 is fired before the temperature rises to prevent deformation of the substrate 70. When the time for irradiating the light 90 is less than 0.1 milliseconds, it is difficult to achieve perfect firing, and when it exceeds 50 milliseconds, the oxidation of the catalyst metal 13 occurs and the heating temperature is excessively high, resulting in a conductive film. There is a risk of damage.

여기서 광은 자외선(Ultraviolet ray), 가시광선(Visible ray), 적외선(Infrared ray), 마이크로파(Microwave) 등이 사용 가능하며 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)에 흡수율이 높은 전자기파를 의미한다.Here, ultraviolet light (Ultraviolet ray), visible light (Visible ray), infrared light (Infrared ray), microwave (Microwave), etc. can be used, and the catalyst metal (13) / means two-dimensional nano-materials (15) electromagnetic wave with high absorption rate do.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail.

<실시예 1><Example 1>

1-1. 구리/그래핀 하이브리드 잉크 제조1-1. Copper/graphene hybrid ink production

표면 산화막이 제거된 5g의 구리입자 파우더를 250ml의 자일렌(Xylene)에 첨가하고, 초음파 화학법을 이용하여 구리입자 표면에 그래핀을 합성하여 구리/그래핀-코어/쉘 구조의 하이브리드 입자를 형성한다. 그 후 여과 및 세척을 통해 잔여 자일렌을 제거한 후, 디메틸포름아미드(Dimethylformamide, DMF)에 구리/그래핀 입자를 분산시켜 잉크를 제조한다. 추가적으로 고점도 잉크를 얻기 위해 에틸셀룰로오스(Ethyl cellulose), 터피네올(Terpineol)을 첨가하여 교반한다.5 g of copper particle powder from which the surface oxide film has been removed is added to 250 ml of xylene, and graphene is synthesized on the surface of copper particles using ultrasonic chemistry to obtain hybrid particles of copper/graphene-core/shell structure. Form. Then, after removing the residual xylene through filtration and washing, ink is prepared by dispersing copper/graphene particles in dimethylformamide (DMF). In addition, ethyl cellulose and terpineol are added and stirred to obtain a high-viscosity ink.

1-2. 구리/그래핀 하이브리드 전도막 제조1-2. Copper/graphene hybrid conductive film production

1-1 단계를 통해 준비된 고점도 잉크를 스크린 프린팅(Screen printing)을 이용하여 2×2㎠의 넓이를 가진 폴리이미드(Polyimide) 절연막 기판 상부에 프린팅을 통해 구리/그래핀 하이브리드 전도막을 제조한 후 150℃의 가열로에서 잉크가 코팅된 기판을 건조시킨다.After preparing the copper/graphene hybrid conductive film through printing on the top of a polyimide insulating film substrate having a width of 2×2 cm 2 by using screen printing the high-viscosity ink prepared in steps 1-1, 150 The ink-coated substrate is dried in a heating furnace at ℃.

1-3. 구리/그래핀 하이브리드 전도막 소성1-3. Copper/graphene hybrid conductive film firing

1-2 단계에서 준비된 구리/그래핀 하이브리드 전도막을 포함하는 기판에 1.8kW의 마이크로파(Microwave)를 10ms 동안 조사하여 전도막을 소성한다.The conductive film is fired by irradiating a substrate containing the copper/graphene hybrid conductive film prepared in steps 1-2 in a microwave of 1.8 kW for 10 ms.

<실시예 2><Example 2>

2-1. 니켈/그래핀 하이브리드 잉크 제조2-1. Nickel/graphene hybrid ink production

표면 산화막이 제거된 5g의 니켈입자 파우더를 500ml의 자일렌에 첨가하고, 초음파 화학법을 이용하여 니켈입자 표면에 그래핀을 합성하여 니켈/그래핀-코어/쉘 구조의 하이브리드 입자를 형성한다. 이후 여과 및 세척을 통해 잔여 자일렌을 제거한 후, 니켈/그래핀 입자를 디메틸포름아미드에 분산하여 잉크를 제조한다. 추가적으로 고점도 잉크를 얻기 위해 에틸셀룰로오스(Ethyl cellulose), 터피네올(Terpineol)을 첨가하여 교반한다.5 g of the nickel particle powder from which the surface oxide film has been removed is added to 500 ml of xylene, and graphene is synthesized on the surface of the nickel particle using ultrasonic chemistry to form a hybrid particle of nickel/graphene-core/shell structure. After removing residual xylene through filtration and washing, ink is prepared by dispersing nickel/graphene particles in dimethylformamide. In addition, ethyl cellulose and terpineol are added and stirred to obtain a high-viscosity ink.

2-2. 니켈/그래핀 하이브리드 전도막 제조2-2. Nickel/graphene hybrid conductive film production

2-1 단계를 통해 준비된 고점도 잉크를 스크린 프린팅을 이용하여 2×2㎠의 넓이를 가진 폴리이미드 절연막 기판 상부에 프린팅을 통해 니켈/그래핀 하이브리드 전도막을 제조한 후 150℃의 가열로에서 잉크가 코팅된 기판을 건조시킨다.After printing the high-viscosity ink prepared through step 2-1 on a polyimide insulating film substrate having a width of 2×2 cm 2 using screen printing, a nickel/graphene hybrid conductive film was prepared, and then the ink was heated in a heating furnace at 150°C. The coated substrate is dried.

2-3. 니켈/그래핀 하이브리드 전도막 소성2-3. Nickel/graphene hybrid conductive film firing

2-2 단계에서 준비된 니켈/그래핀 하이브리드 전도막을 포함하는 기판에 1.8kW의 마이크로파(Microwave)를 14ms 동안 조사하여 전도막을 소성한다.The substrate including the nickel/graphene hybrid conductive film prepared in step 2-2 is irradiated with microwave of 1.8 kW for 14 ms to fire the conductive film.

<비교예 1><Comparative Example 1>

3-1. 구리 잉크 제조3-1. Copper ink manufacturers

표면 산화막 제거를 위해 5g의 구리입자 파우더를 4M 염산(HCl)에 첨가하고 10분동안 교반한다. 그 후 여과 및 세척 과정을 거치고, 디메틸포름아미드에 구리 입자를 분산시켜 잉크를 제조한다. 추가적으로 고점도 잉크를 얻기 위해 에틸셀룰로오스(Ethyl cellulose), 터피네올(Terpineol)을 첨가하여 교반한다.To remove the surface oxide film, 5 g of copper particle powder was added to 4M hydrochloric acid (HCl) and stirred for 10 minutes. After that, a filtration and washing process is performed, and ink is prepared by dispersing copper particles in dimethylformamide. In addition, ethyl cellulose and terpineol are added and stirred to obtain a high-viscosity ink.

3-2. 구리 전도막 제조3-2. Copper conductive film production

3-1 단계에서 준비된 고점도 잉크를 스크린 프린팅을 이용하여 폴리이미드 절연막 기판 상부에 프린팅하여 구리 전도막을 제조한 후, 150℃의 가열로에서 잉크가 코팅된 기판을 건조시킨다.After printing the high-viscosity ink prepared in step 3-1 on the polyimide insulating film substrate using screen printing to prepare a copper conductive film, the ink-coated substrate is dried in a heating furnace at 150°C.

3-3. 구리 전도막 소성3-3. Copper conductive film firing

3-2 단계에서 준비된 구리 전도막을 포함하는 기판에 1.8kW의 마이크로파(Microwave)를 5ms 동안 조사하여 전도막을 소성한다.The substrate containing the copper conductive film prepared in step 3-2 is irradiated with microwave of 1.8 kW for 5 ms to fire the conductive film.

<비교예 2><Comparative Example 2>

4-1. 니켈 잉크 제조4-1. Nickel ink manufacturers

표면 산화막 제거를 위해 5g의 니켈입자 파우더를 4M 염산(HCl)에 첨가하고 10분동안 교반한다. 그 후 여과 및 세척 과정을 거치고, 디메틸포름아미드에 니켈 입자를 분산시켜 잉크를 제조한다. 추가적으로 고점도 잉크를 얻기 위해 에틸셀룰로오스(Ethyl cellulose), 터피네올(Terpineol)을 첨가하여 교반한다.To remove the surface oxide film, 5 g of nickel particle powder was added to 4M hydrochloric acid (HCl) and stirred for 10 minutes. After that, a filtration and washing process is performed, and ink is prepared by dispersing nickel particles in dimethylformamide. In addition, ethyl cellulose and terpineol are added and stirred to obtain a high-viscosity ink.

4-2. 니켈 전도막 제조4-2. Nickel conductive film production

4-1 단계에서 준비된 고점도 잉크를 스크린 프린팅을 이용하여 폴리이미드 절연막 기판 상부에 프린팅하여 니켈 전도막을 제조한 후, 150℃의 가열로에서 잉크가 코팅된 기판을 건조시킨다.After the high-viscosity ink prepared in step 4-1 is printed on the polyimide insulating film substrate using screen printing to prepare a nickel conductive film, the ink-coated substrate is dried in a heating furnace at 150°C.

4-3. 니켈 전도막 소성4-3. Nickel conductive film firing

4-2 단계에서 준비된 니켈 전도막을 포함하는 기판에 1.8kW의 마이크로파(Microwave)를 5ms 동안 조사하여 전도막을 소성한다.The substrate containing the nickel conductive film prepared in step 4-2 is irradiated with microwave of 1.8 kW for 5 ms to fire the conductive film.

도 3은 상기의 실시예 및 비교예를 통해 제조된 샘플의 급속 대기소성 후의 주사현미경 사진이다. 실시예 1(Cu/Graphene) 및 실시예 2(Ni/Graphene)는 급속 대기소성 후에도 입자가 산화되지 않은 것을 확인할 수 있지만, 비교예 1(Cu) 및 비교예 2(Ni)는 급속 대기소성 후에 표면이 산화된 것을 확인할 수 있다.Figure 3 is a scanning micrograph after rapid air firing of a sample prepared through the above Examples and Comparative Examples. In Example 1 (Cu/Graphene) and Example 2 (Ni/Graphene), it can be confirmed that the particles were not oxidized even after rapid air firing, but Comparative Example 1 (Cu) and Comparative Example 2 (Ni) were after rapid air firing. It can be confirmed that the surface was oxidized.

도 4는 실시예 및 비교예를 통해 제조된 샘플의 광 조사 시간에 따른 샘플 온도를 나타낸 그래프이다. 비교예 1 및 비교예 2는 금속 표면에 이차원 나노소재가 존재하지 않기 때문에 광을 흡수하지 못하며 이에 따른 온도 증가가 이루어지지 않는다. 이에 비해 실시예 1 및 실시예 2는 이차원 나노소재가 광을 흡수하여 순식간에 온도가 증가하는 것을 확인할 수 있다.4 is a graph showing the sample temperature according to the light irradiation time of the sample prepared through Examples and Comparative Examples. Comparative Example 1 and Comparative Example 2 does not absorb light because there is no two-dimensional nanomaterial on the metal surface, and thus does not increase the temperature. On the other hand, in Example 1 and Example 2, it can be seen that the two-dimensional nanomaterial absorbs light and the temperature increases in an instant.

도 5는 실시예 1 및 비교예 1을 통해 제조된 샘플에 급속 대기소성한 후 표면 산화상태를 나타낸 엑스선 회절 스펙트럼이다. 스펙트럼에서 확인할 수 있듯이 이차원 나노소재인 그래핀이 외표면에 합성된 실시예 1의 경우 산화구리(CuO2) 피크가 확인되지 않으나, 구리 단독 입자를 급속 대기소성한 경우 산화구리 피크가 나타나는 것을 확인할 수 있다.5 is an X-ray diffraction spectrum showing the surface oxidation state after rapid air firing on the samples prepared through Example 1 and Comparative Example 1. As can be seen from the spectrum, in the case of Example 1 in which the graphene, which is a two-dimensional nanomaterial, was synthesized on the outer surface, the peak of copper oxide (CuO 2 ) was not observed, but when the copper alone particles were rapidly air-fired, the peak of copper oxide was confirmed. Can.

도 6은 실시예 1 및 비교예 1을 통해 제조된 샘플에 급속 대기소성한 후 80%의 상대습도 및 온도에 따른 저항변화를 나타낸 그래프이다. 실시예 1의 경우 온도가 증가하더라도 저항의 변화가 거의 없으나, 비교예 1의 경우 온도가 증가함에 따라 저항이 급격하게 증가하는 것을 확인할 수 있다.6 is a graph showing the change in resistance according to the relative humidity and temperature of 80% after rapid air firing on the samples prepared through Example 1 and Comparative Example 1. In Example 1, even if the temperature increases, there is little change in resistance, but in Comparative Example 1, it can be seen that the resistance increases rapidly as the temperature increases.

도 7은 실시예를 통해 얻은 샘플을 유리기판 및 플라스틱 기판의 상부에 패터닝한 후 얻은 전도막을 나타낸 사진으로, 패터닝 및 소성 단계에서 전도막이 손상되지 않으며 유연한 플라스틱 기판에도 무리 없이 적용 가능하다는 것을 확인할 수 있다.7 is a photograph showing a conductive film obtained after patterning a sample obtained through an example on top of a glass substrate and a plastic substrate, and it can be confirmed that the conductive film is not damaged in the patterning and firing step and can be applied to flexible plastic substrates without difficulty. have.

종래에는 소성 과정에서 금속이 산화되는 것을 방지하기 위하여 비활성 기체 분위기 또는 진공 분위기 하에서 소성을 하거나, 금속의 상부에 보호막을 형성한 뒤 소성을 거치는 방법을 통해 전도막을 제조하였다. 이러한 방법을 사용할 경우 제조 공정이 까다로우며 제조 비용이 증가한다는 단점이 있었다. 하지만 본 발명의 경우 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하고 이를 기판에 도포한 후 고 에너지의 광을 이용하여 급속 소성하는 방법을 통해 전도막을 얻으며, 고전도성의 이차원 나노소재가 금속의 외벽에 존재하기 때문에 불활성 기체 분위기나 진공 분위기 하에서 소성을 진행하지 않고 대기 중에서 진행하라도 금속 산화가 방지된다.Conventionally, in order to prevent the metal from being oxidized during the firing process, a conductive film was prepared by firing under an inert gas atmosphere or a vacuum atmosphere, or by forming a protective film on the top of the metal and then firing. The disadvantage of using this method is that the manufacturing process is difficult and the manufacturing cost increases. However, in the case of the present invention, a two-dimensional nanomaterial is synthesized on the outer wall of a metal, coated on a substrate, and then a conductive film is obtained through a method of rapid firing using high-energy light, and a highly conductive two-dimensional nanomaterial is present on the outer wall of the metal. Therefore, the metal oxidation is prevented even if it proceeds in the atmosphere without proceeding with firing under an inert gas atmosphere or a vacuum atmosphere.

10: 혼합액 11: 전구체 화합물
13: 촉매금속 15: 이차원 나노소재
30: 초음파 조사기 50: 잉크
51: 분산액 70: 기판
90: 광10: mixed solution 11: precursor compound
13: catalytic metal 15: two-dimensional nanomaterial
30: ultrasonic irradiator 50: ink
51: dispersion 70: substrate
90: light

Claims (13)

이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물에 촉매금속이 분산되어 있는 혼합액을 형성하는 단계;
상기 혼합액에 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시키고 상기 미세기포의 붕괴 시 발생하는 에너지를 이용하여 상기 전구체 화합물을 분해시켜 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 촉매금속/이차원 나노소재를 형성하는 단계;
상기 촉매금속/이차원 나노소재를 분산액에 분산시켜 잉크를 제조하는 단계; 및
상기 잉크를 기판에 도포하고 급속 대기소성(Sintering)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화 방지를 위한 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.Forming a mixed solution in which a catalyst metal is dispersed in a precursor or precursor compound of a two-dimensional nanomaterial;
The mixed solution is irradiated with ultrasonic waves to generate micro-bubbles and decompose the precursor compound using energy generated when the micro-bubbles collapse to synthesize the two-dimensional nanomaterials on the outer wall of the catalyst metal to produce a catalyst metal/two-dimensional nanomaterials. Forming;
Dispersing the catalyst metal/two-dimensional nanomaterial in a dispersion to prepare an ink; And
A method of manufacturing a metal/two-dimensional nanomaterial hybrid conductive film for preventing metal oxidation, comprising; applying the ink to a substrate and rapidly sintering. 제 1항에 있어서,
상기 급속 대기소성하는 단계는,
대기 중에서 상기 기판에 고 에너지의 광을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.According to claim 1,
The rapid air firing step,
Metal / two-dimensional nano-material hybrid conductive film production method characterized in that it is made by irradiating high energy light to the substrate in the atmosphere. 제 2항에 있어서,
상기 급속 대기소성하는 단계는,
상기 광이 0.1 내지 50밀리초(ms) 동안 상기 기판에 조사되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.According to claim 2,
The rapid air firing step,
Method for manufacturing a metal/two-dimensional nanomaterial hybrid conductive film, wherein the light is irradiated to the substrate for 0.1 to 50 milliseconds (ms). 제 1항에 있어서,
상기 잉크를 기판에 도포하고 급속 대기소성하는 단계는,
코팅(Coating), 패터닝(Patterning), 압출(Extruding), 블라스팅(Blasting), 스프레드(Spread) 또는 프린팅(Printing) 방법을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.According to claim 1,
The step of applying the ink to the substrate and rapidly firing it,
A method of manufacturing a metal/two-dimensional nanomaterial hybrid conductive film, characterized in that it is made through a coating, patterning, extrusion, blasting, spreading, or printing method. 제 1항에 있어서,
상기 초음파는 100 내지 300W의 전력에 의해 발생되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.According to claim 1,
The ultrasonic wave is generated by the power of 100 to 300W Metal / two-dimensional nano-material hybrid conductive film manufacturing method. 기판; 및
상기 기판에 도포되어 급속 대기소성된 금속과 이차원 나노소재의 하이브리드 입자층;을 포함하고,
상기 하이브리드 입자층은,
상기 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물에 촉매금속이 분산된 혼합액을 이용하여 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 형성되되, 상기 혼합액에 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시켜 상기 미세기포의 붕괴 시 발생하는 에너지를 이용하여 상기 전구체 화합물을 분해시켜 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 형성되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.Board; And
Including; a hybrid particle layer of a metal and a two-dimensional nanomaterial that is rapidly air-fired by being applied to the substrate;
The hybrid particle layer,
The two-dimensional nanomaterial is formed by synthesizing the two-dimensional nanomaterial on the outer wall of the catalyst metal by using a mixed solution in which a catalyst metal is dispersed in a precursor or precursor compound of the two-dimensional nanomaterial, and generating fine bubbles by irradiating ultrasonic waves to the mixed solution. Metal / two-dimensional nano-material hybrid conductive film, characterized in that formed by synthesizing the two-dimensional nanomaterial on the outer wall of the catalyst metal by decomposing the precursor compound using the energy generated during the collapse of the. 제 6항에 있어서,
상기 급속 대기소성은 대기 중에서 상기 하이브리드 입자층에 고 에너지의 광을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.The method of claim 6,
The rapid atmosphere firing is a metal / two-dimensional nano-material hybrid conductive film, characterized in that made by irradiating high energy light to the hybrid particle layer in the atmosphere. 제 7항에 있어서,
상기 이차원 나노소재는 상기 광을 흡수하여 발열하는 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.The method of claim 7,
The two-dimensional nano-material is a metal / two-dimensional nano-material hybrid conductive film, characterized in that made of a material that absorbs and generates heat. 제 6항에 있어서,
상기 이차원 나노소재는 그래핀(Graphene), 헥사고날 보론 나이트라이드(h-Boron nitride), 전이금속 칼코겐화합물 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.The method of claim 6,
The two-dimensional nanomaterial is a graphene (Graphene), hexagonal boron nitride (h-Boron nitride), transition metal chalcogen compound and a metal / two-dimensional nanomaterial hybrid conductive film, characterized in that selected from the group consisting of a mixture thereof. 제 9항에 있어서,
상기 전이금속 칼코겐화합물은 MX2로 표현되며 M은 티타늄(Ti), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 나이오븀(Nb), 몰리브데늄(Mo), 테크네튬(Tc), 하프늄(Hf), 탄탈늄(Ta), 텅스텐(W), 레늄(Re) 중 하나로 구성되고, X는 황(S), 셀레늄(Se), 텔루륨(Te) 중 하나로 구성되는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.The method of claim 9,
The transition metal chalcogenide compound is represented by MX 2 and M is titanium (Ti), vanadium (V), zirconium (Zr), niobium (Nb), molybdenum (Mo), technetium (Tc), hafnium (Hf) ), tantalum (Ta), tungsten (W), consisting of one of rhenium (Re), X is characterized by having a structure consisting of one of sulfur (S), selenium (Se), tellurium (Te) Metal/Dimensional Nanomaterial Hybrid Conductive Film. 제 6항에 있어서,
상기 촉매금속은 비귀금속계 금속인 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.The method of claim 6,
The catalyst metal is copper (Cu), nickel (Ni), cobalt (Co), iron (Fe), chromium (Cr), tungsten (W), platinum (Pt), palladium (Pd), aluminum, which are non-precious metals. A metal / two-dimensional nano-material hybrid conductive film, characterized in that selected from the group consisting of (Al) and a mixture thereof. 삭제delete 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102465591B1 (en) * 2018-01-16 2022-11-09 한국전기연구원 A metal / two-dimensional nanomaterial hybrid ink having a hierarchical structure, a method of manufacturing a hybrid ink, and a conductive film formed through hybrid ink
CN111423769B (en) * 2020-04-15 2022-05-31 广东康烯科技有限公司 Preparation method of palladium quantum dot doped graphene-based conductive ink, conductive ink and application
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008221121A (en) 2007-03-12 2008-09-25 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Cavitation reaction acceleration method and method of producing metallic nanoparticle using the same
JP2013185213A (en) * 2012-03-08 2013-09-19 Tokyo Institute Of Technology Metal nanoparticle, method for producing the same, and conductive ink

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100775077B1 (en) 2005-08-19 2007-11-08 경상대학교산학협력단 Positive polar materials and its manufacturing method of Li-secondary battery
KR20080027716A (en) * 2006-09-25 2008-03-28 삼성전자주식회사 Method of manufacturing layered nano structures and layered nano structures prepared thereby
KR101418276B1 (en) 2012-03-30 2014-07-15 한국화학연구원 Synthetic method of preventing metal nano-particle from having oxidized film and method of forming conductive metal thin film via solution-processed
KR20140044743A (en) * 2012-10-04 2014-04-15 한양대학교 산학협력단 Conductive hybrid cu ink and light sintering method using the same
KR101476612B1 (en) * 2012-11-19 2014-12-24 김용석 Metal powders coated with multilayer graphene and/or nano graphite layer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008221121A (en) 2007-03-12 2008-09-25 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Cavitation reaction acceleration method and method of producing metallic nanoparticle using the same
JP2013185213A (en) * 2012-03-08 2013-09-19 Tokyo Institute Of Technology Metal nanoparticle, method for producing the same, and conductive ink

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