KR101880601B1 - Anode moving type electrolysis plating apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 양극 이동형 전해도금 장치에 관한 것으로서, 특히 양극을 이동시켜 기판에 형성되는 도금 두께 등를 조절할 수 있는 양극 이동형 전해도금 장치에 관한 것이다.
본 발명의 양극 이동형 전해도금 장치는, 내부에 기판이 수직으로 배치되는 수조와; 상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하도록 배치되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 분사부와; 상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하여 배치되는 양극부와; 상기 양극부를 상기 기판이 있는 방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지되, 상기 구동부에 의해 상기 양극부는 상기 기판이 있는 방향으로 이동하여 상기 양극부와 기판의 간격이 조절되는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a bipolar plate type electroplating apparatus, and more particularly, to a bipolar plate type electroplating apparatus capable of adjusting a plating thickness and the like formed on a substrate by moving an anode.
A positive-displacement-type electroplating apparatus of the present invention comprises: a water tank in which a substrate is vertically disposed; A spraying unit disposed inside the water tub to face the substrate and spraying a plating solution onto the substrate; An anode portion disposed inside the water tub so as to face the substrate; And a driving unit for moving the anode unit in a direction in which the substrate is disposed, wherein the anode unit moves in a direction in which the substrate is located by the driving unit so that the interval between the anode unit and the substrate is adjusted.

Description

양극 이동형 전해도금 장치 { ANODE MOVING TYPE ELECTROLYSIS PLATING APPARATUS }TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an anode-moving electrolytic plating apparatus,

본 발명은 양극 이동형 전해도금 장치에 관한 것으로서, 특히 양극을 이동시켜 기판에 형성되는 도금 두께 등을 조절할 수 있는 양극 이동형 전해도금 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bipolar plate type electroplating apparatus, and more particularly, to a bipolar plate type electrolytic plating apparatus capable of adjusting a plating thickness formed on a substrate by moving an anode.

인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)은 페놀수지 절연판 또는 에폭시 수지 절연판 등 절연재에 형성된 배선 패턴을 통하여 실장된 부품들을 상호 전기적으로 연결하고 전원 등을 공급하는 동시에 부품들을 기계적으로 고정시켜주는 역할을 수행하는 것으로서, 인쇄회로기판에는 절연기판의 한쪽 면에만 배선을 형성한 단면 PCB, 양쪽 면에 배선을 형성한 양면 PCB 및 다층으로 배선한 MLB(다층 인쇄회로기판;Multi Layered Board)가 있다.Printed circuit boards (PCBs) are used to electrically connect components mounted through wiring patterns formed on insulating materials such as phenol resin insulation boards or epoxy resin insulation boards, to supply power, and mechanically fix parts. A printed circuit board includes a single-sided PCB on which wiring is formed on only one side of an insulating substrate, a double-sided PCB on which wiring is formed on both sides, and an MLB (Multi Layered Board)

이중 양면 PCB나 MLB를 제조하는 공정에 있어서, 양면에 동시에 회로패턴을 형성하거나, 최외층에 형성된 접속패드에 금(Au), 니켈(Ni) 등으로 구성된 보호층을 형성함에 있어서, PCB의 양면에 동시에 도금을 진행하는 공정을 포함할 수 있다.In the process of manufacturing a double-sided PCB or MLB, a circuit pattern is formed on both surfaces at the same time, or a protection layer composed of gold (Au), nickel (Ni) or the like is formed on a connection pad formed on the outermost layer, And then performing plating at the same time.

종래의 양면도금장치에서는, 도금액이 채워진 수조 내부에 서로 이격된 한 쌍의 양극이 배치되고 양극 사이에 기판을 넣고 음극을 연결하며 기판의 양면에 도금층이 형성된다.In a conventional double-side plating apparatus, a pair of cathodes spaced apart from each other is disposed in a water tank filled with a plating solution, a substrate is inserted between the cathodes, a cathode is connected, and a plating layer is formed on both surfaces of the substrate.

그러나, 종래의 양면 도금장치의 경우 기판의 각 면에 형성되는 도금층의 두께가 균일하지 않거나, 도금층의 두께를 조절하는 어려움이 있었다.However, in the conventional double-side plating apparatus, the thickness of the plating layer formed on each surface of the substrate is not uniform or the thickness of the plating layer is difficult to control.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 선행기술들에는 양극 또는 기판을 이동시키는 기술이 나타나 있습니다.In order to overcome this problem, prior art has shown techniques for moving the anode or substrate.

그러나, 선행기술들에서는 양극을 어떠한 구조를 이용하여 용이하게 이동시킬 것인지에 대한 구체적인 구성 등이 나타나 있지 않았다.However, in the prior art, there is no concrete structure for how to easily move the anode using the structure.

공개특허 제10-2010-0049957호Published Patent No. 10-2010-0049957 공개특허 제10-2015-0141270호Published Japanese Patent Application No. 10-2015-0141270

본 발명은 전술한 문제점은 해결하기 위한 것으로써, 수조 내부에 배치되는 양극을 구체적인 구동부에 의해 이동시켜 양극과 기판의 이동거리를 조절하여 도금 두께 및 도금편차 등을 용이하게 조정할 수 있는 양극 이동형 전해도금 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a positive electrode type electrolytic cell capable of easily adjusting plating thickness and plating deviation by moving a positive electrode disposed inside a water tank by a specific driving unit, The object of the present invention is to provide a plating apparatus.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 양극 이동형 전해도금 장치는, 내부에 기판이 수직으로 배치되는 수조와; 상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하도록 배치되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 분사부와; 상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하여 배치되는 양극부와; 상기 양극부를 상기 기판이 있는 방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지되, 상기 구동부에 의해 상기 양극부는 상기 기판이 있는 방향으로 이동하여 상기 양극부와 기판의 간격이 조절되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a positive displacement electroplating apparatus comprising: a water tank in which a substrate is vertically disposed; A spraying unit disposed inside the water tub to face the substrate and spraying a plating solution onto the substrate; An anode portion disposed inside the water tub so as to face the substrate; And a driving unit for moving the anode unit in a direction in which the substrate is disposed, wherein the anode unit moves in a direction in which the substrate is located by the driving unit so that the interval between the anode unit and the substrate is adjusted.

상기 양극부는 상기 수조에 상기 기판 방향으로 이동 가능하게 결합된다.And the anode portion is movably coupled to the water tank in the direction of the substrate.

상기 수조에는 상기 기판 방향으로 가이드레일이 돌출 형성되고, 상기 양극부는 상기 가이드레일을 따라 상기 기판 방향으로 이동 가능하게 장착되며, 상기 구동부는 상기 양극부가 상기 가이드레일을 따라 상기 기판 방향으로 직선이동 가능하게 구동력을 발생시킨다.A guide rail is protruded in the direction of the substrate in the water tank, the anode part is mounted movably in the direction of the substrate along the guide rail, and the driving part moves the anode part in the direction of the substrate along the guide rail Thereby generating a driving force.

상기 구동부는, 상기 수조에 상하방향으로 길게 배치된 구동축과; 상기 구동축에 결합된 제1기어;를 포함하여 이루어지고, 상기 구동축 및 제1기어는 상기 양극부에 결합되어 상기 양극부와 함께 이동하며, 상기 가이드레일에는 상기 제1기어와 맞물리는 제2기어가 장착되되, 상기 구동축에 의한 제1기어의 회전시 상기 제2기어에 맞물린 상기 제1기어에 의해 상기 양극부는 상기 가이드레일을 따라 직선이동한다.The driving unit may include: a driving shaft disposed vertically in the water tank; And a first gear coupled to the drive shaft, wherein the drive shaft and the first gear are coupled to the anode portion and move together with the anode portion, and the guide rail includes a second gear engaged with the first gear, And when the first gear is rotated by the drive shaft, the positive pole portion linearly moves along the guide rail by the first gear engaged with the second gear.

상기 제1기어는 피니언기어로 이루어지고, 상기 제2기어는 상기 가이드레일의 돌출방향으로 형성된 랙기어로 이루어진다.The first gear is a pinion gear, and the second gear is a rack gear formed in a protruding direction of the guide rail.

상기 양극부에는 브라켓이 형성되되, 상기 구동축은 상기 브라켓을 상하방향으로 관통하여 배치되고, 상기 브라켓에는 상기 가이드레일에 안착되는 가이드홈이 형성된다.A bracket is formed in the anode portion, the driving shaft is disposed to penetrate the bracket in the vertical direction, and the bracket has a guide groove that is seated on the guide rail.

또는, 상기 구동부는, 일단이 상기 수조의 외부에 연결되고, 타단이 상기 양극부에 회전 가능하게 연결되어, 외력에 의한 회전시 그 길이가 가변되는 볼스크류부재;를 포함하여 이루어지되, 회전에 의한 상기 볼스크류부재의 길이 변화에 의해 상기 양극부는 상기 기판 방향으로 이동한다.Alternatively, the driving unit may include a ball screw member having one end connected to the outside of the water tub and the other end rotatably connected to the anode unit, and the length thereof being variable when the ball is rotated by an external force, The anode portion moves toward the substrate due to the change in length of the ball screw member.

또는, 상기 구동부는, 일단이 상기 수조의 내벽에 결합되고 타단이 상기 양극부에 결합되는 잭(jack)으로 이루어지되, 외력에 의한 상기 잭의 동작에 의해 상기 양극부는 상기 기판 방향으로 이동한다.Alternatively, the driving unit may include a jack whose one end is coupled to the inner wall of the water tub and the other end is coupled to the anode unit, and the anode unit moves toward the substrate by the action of the jack.

상기 분사부는, 외부로부터 도금액을 공급받는 파이프와; 상기 파이프에 결합되어 도금액을 상기 기판에 분사하는 노즐로 이루어지되, 상기 양극부는 다수개가 상호 이격되어 상기 파이프 사이에 배치된다.Wherein the jetting unit comprises: a pipe for receiving a plating liquid from the outside; And a nozzle coupled to the pipe and injecting a plating liquid onto the substrate, wherein a plurality of the anode portions are disposed between the pipes.

다수개의 상기 양극부는 브라켓에 의해 상호 일체로 연결되되, 상기 구동부의 작동시 다수개의 상기 양극부는 함께 이동한다.A plurality of the anode portions are integrally connected to each other by a bracket, and a plurality of the anode portions move together when the driving portion operates.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 양극 이동형 전해도금 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.The above-described anode-transport type electroplating apparatus of the present invention has the following effects.

수조 내부에 배치되는 양극부를 구체적인 구동부에 의해 이동시킴으로써, 양극부과 기판의 이동거리를 조절하여 기판의 표면에 형성되는 도금 두께 및 도금편차 등을 용이하게 조정할 수 있다.The moving distance of the anode portion and the substrate can be adjusted by moving the anode portion disposed inside the water tank by a specific driving portion so that the plating thickness and plating deviation formed on the surface of the substrate can be easily adjusted.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 주요구성의 사시도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 양극부의 분해사시도,
도 4는 도 1에서 구동부에 의해 양극부가 이동한 상태의 측면구조도,
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도,
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a side view of a bipolar plate type electrolytic plating apparatus according to a first embodiment of the present invention;
2 is a perspective view of a main configuration of a cathode-transport type electroplating apparatus according to the first embodiment of the present invention,
3 is an exploded perspective view of an anode portion according to the first embodiment of the present invention,
FIG. 4 is a side view showing a state in which the anode is moved by the driving unit in FIG. 1;
5 is a side view of a bipolar plate type electrolytic plating apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a side view of a structure of a positive displacement electroplating apparatus according to a third embodiment of the present invention; FIG.

제1실시예First Embodiment

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 주요구성의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 양극부의 분해사시도이고, 도 4는 도 1에서 구동부에 의해 양극부가 이동한 상태의 측면구조도이다.2 is a perspective view of a main configuration of a positive displacement electroplating apparatus according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the electroplating apparatus according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is an exploded perspective view of a positive electrode according to a first embodiment of the present invention; and FIG.

본 발명의 양극 이동형 전해도금 장치는, 수조(10)와, 분사부(20)와, 양극부(30)와, 구동부(40)를 포함하여 이루어진다.The anode-moving electroplating apparatus of the present invention comprises a water tank (10), a jetting section (20), an anode section (30), and a driving section (40).

상기 수조(10)는 내부에 도금액이 충진되어 있고, 도금되는 기판(50)이 수직으로 배치되어 있다.The water tank 10 is filled with a plating liquid, and the substrate 50 to be plated is vertically arranged.

상기 수조(10)의 내벽에는 상기 기판(50) 방향으로 가이드레일(11)이 돌출 형성되어 있다.A guide rail 11 protrudes from the inner wall of the water tub 10 toward the substrate 50.

상기 가이드레일(11)은 상기 수조(10)에 일체로 형성될 수도 있고, 별도로 이루어져 조립될 수도 있다.The guide rails 11 may be integrally formed with the water tub 10, or they may be assembled separately.

상기 분사부(20)는 상기 수조(10)의 내부에서 상기 기판(50)과 대면하도록 배치되어 상기 기판(50)에 도금액을 분사하는 한다.The jetting unit 20 is arranged to face the substrate 50 inside the water tank 10 to spray the plating liquid onto the substrate 50. [

본 실시예에서 상기 분사부(20)는 상기 기판(50)의 양측에 배치되어 있지만, 경우에 따라 상기 기판(50)의 어느 한쪽에만 배치될 수도 있다.In this embodiment, the jetting portions 20 are disposed on both sides of the substrate 50, but they may be disposed on only one side of the substrate 50 as the case may be.

상기 분사부(20)는, 외부로부터 도금액을 공급받는 파이프(21)와, 상기 파이프(21)에 결합되어 도금액을 상기 기판(50)에 분사하는 다수개의 노즐(22)로 이루어진다.The jetting unit 20 includes a pipe 21 receiving a plating liquid from the outside and a plurality of nozzles 22 coupled to the pipe 21 and spraying a plating liquid onto the substrate 50.

상기 양극부(30)는 상기 수조(10)의 내부에서 상기 기판(50)과 대면하여 배치된다.The anode part (30) is disposed facing the substrate (50) inside the water bath (10).

이러한 상기 양극부(30)에는 양전원이 연결되고, 상기 기판(50)에는 음전원이 연결된다.A positive power source is connected to the anode part 30, and a negative power source is connected to the substrate 50.

상기 양극부(30)는 다수개가 상호 이격되어 상기 파이프(21)와 파이프(21) 사이에 배치된다.A plurality of the anode portions 30 are spaced apart from each other and disposed between the pipe 21 and the pipe 21.

본 실시예에서 상기 양극부(30), 케이스(31)와, 아노드부재(32)와, 격막부재(33)와, 차폐부재(34)를 포함하여 이루어진다.The anode member 30, the case 31, the anode member 32, the diaphragm member 33, and the shielding member 34 in this embodiment.

상기 케이스(31)는 내부에 상기 아노드부재(32), 격막부재(33) 및 차폐부재(34)가 삽입 배치될 수 있는 빈공간이 형성되고, 상기 기판(50)을 향하는 방향으로 개방되어 있다.The case 31 is formed with an empty space in which the anode member 32, the diaphragm member 33 and the shielding member 34 can be inserted and opened in the direction toward the substrate 50 have.

상기 아노드부재(32)는 상기 케이스(31)의 내부에 배치되고, 양전원과 연결되어 있으며, 상하방향으로 다수개로 분할되어 있다.The anode member 32 is disposed inside the case 31, and is connected to a two-phase power source, and is divided into a plurality of parts in the vertical direction.

상기 격막부재(33)는 상기 아노드부재(32)의 전방에 배치되어, 상기 수조(10) 내부에 존재하는 이물질 등이 상기 아노드부재(32)로 접근하는 것을 차단한다.The diaphragm member 33 is disposed in front of the anode member 32 to block foreign substances or the like present in the water tank 10 from approaching the anode member 32.

상기 차폐부재(34)는 상기 격막부재(33)의 전방에서 상기 케이스(31)의 상하방향으로 이동 가능하게 장착된다.The shielding member (34) is mounted movably in the vertical direction of the case (31) in front of the diaphragm member (33).

이러한 상기 차폐부재(34)의 상하 이동에 의해 상기 아노드부재(32)와 기판(50)의 대면면적이 조절되게 된다.The surface area of the anode member 32 and the substrate 50 is adjusted by the vertical movement of the shielding member 34.

상기 차폐부재(34)는 승강된 후, 볼트 등에 의해 가압되어 고정된 상태를 유지한다.The shielding member 34 is pressed and held by bolts or the like after it is lifted and lowered.

위와 같은 구성으로 이루어진 상기 양극부(30)는 상기 수조(10)에 상기 기판(50) 방향으로 이동 가능하게 결합되어, 상기 아노드부재(32)와 상기 기판(50)과의 거리를 조절한다.The anode part 30 having the above configuration is movably coupled to the water tub 10 in the direction of the substrate 50 to adjust the distance between the anode member 32 and the substrate 50 .

보다 구체적으로, 상기 양극부(30)는 상기 수조(10)의 내측벽에 형성된 상기 가이드레일(11)을 따라 상기 기판(50) 방향으로 이동 가능하게 장착된다.More specifically, the anode part 30 is mounted movably in the direction of the substrate 50 along the guide rails 11 formed on the inner wall of the water tub 10.

그리고, 상기 양극부(30)에는 브라켓(35)이 형성되어 있다.A bracket 35 is formed on the anode portion 30.

상기 브라켓(35)에는 상기 가이드레일(11)에 안착되는 가이드홈(36)이 형성되어, 상기 양극부(30)가 안정적으로 상기 가이드레일(11)을 따라 이동될 수 있도록 한다.The bracket 35 is provided with a guide groove 36 which is seated on the guide rail 11 so that the anode 30 can be stably moved along the guide rail 11. [

다수개의 상기 양극부(30)는 상호 독립적으로 배치될 수도 있고, 본 실시예의 도면에 도시된 바와 같이 상기 브라켓(35)에 의해 상호 일체로 연결될 수도 있다.The plurality of anode portions 30 may be disposed independently of each other or may be integrally connected to each other by the bracket 35 as shown in the drawings of the present embodiment.

상기 브라켓(35)에 의해 다수개의 양극부(30)가 일체로 연결되게 되면, 다수개의 상기 양극부(30)는 상기 구동부(40)의 작동시 함께 이동하게 된다.When the plurality of anode portions 30 are integrally connected by the bracket 35, the plurality of anode portions 30 are moved together during operation of the driving portion 40.

상기 구동부(40)는 상기 양극부(30)를 상기 기판(50)이 있는 방향으로 이동시키는 역할을 한다.The driving unit 40 moves the anode 30 in the direction of the substrate 50.

위와 같은 상기 구동부(40)에 의해 상기 양극부(30)는 상기 기판(50)이 있는 방향으로 이동하여 상기 양극부(30)와 기판(50)의 간격이 조절되게 된다.The anode portion 30 moves in the direction of the substrate 50 by the driving portion 40 and the distance between the anode portion 30 and the substrate 50 is adjusted.

상기 구동부(40)는 상기 양극부(30)가 상기 가이드레일(11)을 따라 상기 기판(50) 방향으로 직선이동 가능하게 구동력을 발생시킨다.The driving unit 40 generates a driving force so that the anode part 30 is linearly movable along the guide rail 11 in the direction of the substrate 50.

본 실시예에서 상기 구동부(40)는, 모터(41)와, 구동축(42)과, 제1기어(43)를 포함하여 이루어진다.In the present embodiment, the driving unit 40 includes a motor 41, a driving shaft 42, and a first gear 43.

상기 모터(41)는 상기 수조(10)의 외부에 배치된다.The motor (41) is disposed outside the water tub (10).

상기 구동축(42)은 일단이 상기 모터(41)에 연결되고, 상기 수조(10)에 상하방향으로 길게 배치된다.One end of the drive shaft 42 is connected to the motor 41 and is vertically arranged in the water tank 10.

이때, 상기 구동축(42)은 상기 브라켓(35)을 상하방향으로 관통하여 배치됨으로써, 안정적으로 장착되고 회전할 수 있도록 한다.At this time, the drive shaft 42 is arranged to penetrate the bracket 35 in the vertical direction, thereby stably mounting and rotating the drive shaft 42.

상기 제1기어(43)는 상기 구동축(42)에 결합된다.The first gear 43 is coupled to the drive shaft 42.

상기 구동축(42) 및 제1기어(43)는 상기 양극부(30)에 결합되어 상기 양극부(30)와 함께 이동한다.The drive shaft 42 and the first gear 43 are coupled to the anode portion 30 and move together with the anode portion 30.

상기 가이드레일(11)에는 상기 제1기어(43)와 맞물리는 제2기어(13)가 장착된다.A second gear 13 meshing with the first gear 43 is mounted on the guide rail 11.

따라서, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 모터(41)에 의해 상기 구동축(42)이 회전하게 되면, 상기 구동축(42)에 장착된 상기 제1기어(43)는 회전하게 된다.Therefore, as shown in FIG. 4, when the driving shaft 42 is rotated by the motor 41, the first gear 43 mounted on the driving shaft 42 rotates.

상기 제1기어(43)와 제2기어(13)는 상호 맞물려 있는데, 상기 제2기어(13)는 고정되어 있기 때문에 상기 제1기어(43)가 회전됨에 따라 상기 제2기어(13)에 맞물린 상기 제1기어(43)에 의해 상기 양극부(30)는 상기 가이드레일(11)을 따라 직선이동하게 된다.Since the first gear 43 and the second gear 13 are engaged with each other and the second gear 13 is fixed to the second gear 13 as the first gear 43 rotates, The anchor portion 30 is linearly moved along the guide rail 11 by the first gear 43 engaged with the first guide rail 11.

일예로 본 실시예의 도면에서, 상기 제1기어(43)는 피니언기어로 이루어지고, 상기 제2기어(13)는 상기 가이드레일(11)의 돌출방향으로 형성된 랙기어로 이루어진다.For example, in the embodiment of the present invention, the first gear 43 is a pinion gear, and the second gear 13 is a rack gear formed in a direction in which the guide rail 11 protrudes.

본 실시예와 달리 상기 제1기어(43)와 제2기어(13)는 다양한 기어 구조로 이루어질 수도 있다.Unlike the present embodiment, the first gear 43 and the second gear 13 may have various gear structures.

또한, 상기 모터(41)없이 상기 구동축(42)을 수동으로 회전시킬 수도 있다.In addition, the drive shaft 42 may be manually rotated without the motor 41. [

또한, 상기 구동부(40)는 상기 수조(10) 및 양극부(30)에 탈착 가능하게 결합되어, 필요에 따라 장착하도록 할 수도 있다.In addition, the driving unit 40 may be detachably coupled to the water tub 10 and the anode unit 30, and may be mounted as needed.

위와 같은 구성에 의해 상기 구동부(40)가 작동하면 상기 양극부(30)가 상기 수조(10)의 내부에서 상기 기판(50)의 배치방향으로 가까워지거나 멀어지게 이동됨으로써, 상기 기판(50)의 도금두께, 도금편차 등을 조정할 수 있다.When the driving unit 40 is operated by the above configuration, the anode unit 30 moves toward or away from the inside of the water tank 10 in the direction of the substrate 50, Plating thickness, plating deviation, etc. can be adjusted.

제2실시예Second Embodiment

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도이다.5 is a side structural view of a bipolar plate type electrolytic plating apparatus according to a second embodiment of the present invention.

제2실시예는 제1실시예와 비교하여 상기 구동부(40)에 차이가 있는바, 이를 중심으로 설명한다.The second embodiment differs from the first embodiment in that the driving unit 40 is different from that of the first embodiment and will be described mainly.

상기 구동부(40)는, 모터(41)와, 볼스크류부재(45)를 포함하여 이루어진다.The driving unit 40 includes a motor 41 and a ball screw member 45.

상기 모터(41)는 상기 수조(10)의 외부에 배치된다.The motor (41) is disposed outside the water tub (10).

상기 볼스크류부재(45)는 일단이 상기 모터(41)를 통해 수조(10)의 외부에 연결되고 타단이 상기 양극부(30)에 회전 가능하게 연결되어 있다.One end of the ball screw member 45 is connected to the outside of the water tub 10 through the motor 41 and the other end is rotatably connected to the anode part 30.

이러한 상기 볼스크류부재(45)는 도 5(b)에 도시된 바와 같이 외력에 의한 회전시 즉 상기 모터(41)의 회전시 그 자체 길이가 가변되어 상기 양극부(30)가 상기 기판(50) 방향으로 이동되게 한다.5 (b), when the ball screw member 45 is rotated by an external force, that is, when the motor 41 rotates, its length is changed, ) Direction.

즉, 상기 모터(41)의 회전에 의해 상기 볼스크류부재(45)는 그 자체 길이가 가변되는데, 이때 상기 볼스크류부재(45)의 타단에는 상기 양극부(30)가 결합되어 있는바, 상기 볼스크류부재(45)의 자체 길이가 가변됨에 따라 상기 양극부(30)는 상기 기판(50)과의 거리가 가변되게 된다.That is, the length of the ball screw member 45 varies depending on the rotation of the motor 41. At this time, the anode part 30 is coupled to the other end of the ball screw member 45, As the length of the ball screw member 45 is changed, the distance between the anode part 30 and the substrate 50 is varied.

본 실시예와 달리, 상기 모터없이 상기 볼스크류부재(45)를 외부에서 별도의 도구를 이용하여 수동으로 회전시킬 수도 있다.Unlike the present embodiment, the ball screw member 45 may be rotated manually from outside without using the motor by using a separate tool.

그 외 다른 사항은 제1실시예와 동일 유사한 바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.Other details are the same as those of the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted.

제3실시예Third Embodiment

도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도이다.6 is a side view of the structure of a bipolar plate type electroplating apparatus according to a third embodiment of the present invention.

제3실시예는 제1실시예와 비교하여 상기 구동부(40)에 차이가 있는바, 이를 중심으로 설명한다.The third embodiment differs from the first embodiment in that the driving unit 40 is different from that of the first embodiment and will be described mainly.

상기 구동부(40)는 일단이 상기 수조(10)의 내벽에 결합되고 타단이 상기 양극부(30)에 결합되는 잭(46, jack)으로 이루어진다.The driving unit 40 includes a jack 46 having one end coupled to the inner wall of the water tub 10 and the other end coupled to the anode unit 30.

외력에 의해 도 6(b)에 도시된 바와 같이 상기 잭(46)의 수평 길이가 가변됨에 따라, 상기 잭(46)의 타단에 결합된 상기 양극부(30)는 상기 기판(50) 방향으로 이동하여 상기 기판(50)과의 거리가 가변된다.6 (b), the anode portion 30 coupled to the other end of the jack 46 is moved in the direction of the substrate 50 as the horizontal length of the jack 46 is changed by an external force And the distance from the substrate 50 is varied.

본 실시예와 달리, 상기 모터없이 상기 잭(46)을 외부에서 별도의 도구를 이용하여 수동으로 회전시킬 수도 있다.Unlike the present embodiment, the jack 46 may be rotated manually from outside by using a separate tool without the motor.

그 외 다른 사항은 제1실시예와 동일 유사한 바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.Other details are the same as those of the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted.

본 발명인 양극 이동형 전해도금 장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made within the scope of the technical idea of the present invention.

10 : 수조, 11 : 가이드레일, 13 : 제2기어,
20 : 분사부, 21 : 파이프, 22 : 노즐,
30 : 양극부, 31 : 케이스, 32 : 아노드부재, 33 : 격막부재, 34 : 차폐부재, 35 : 브라켓, 36 : 가이드홈,
40 : 구동부, 41 : 모터, 42 : 구동축, 43 : 제1기어,
45 : 볼스크류부재, 46 : 잭,
50 : 기판.10: water tank, 11: guide rail, 13: second gear,
20: jetting section, 21: pipe, 22: nozzle,
The present invention relates to an anode member and a method of manufacturing the same.
40: drive unit, 41: motor, 42: drive shaft, 43: first gear,
45: ball screw member, 46: jack,
50: substrate.

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 내부에 기판이 수직으로 배치되는 수조와;
상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하도록 배치되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 분사부와;
상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하여 배치되고, 상기 수조에 기판 방향으로 이동 가능하게 결합된 양극부와;
상기 양극부를 상기 기판이 있는 방향으로 이동시켜 상기 양극부과 기판의 간격을 조절하는 구동부;를 포함하여 이루어지되,
상기 분사부는,
외부로부터 도금액을 공급받는 파이프와; 상기 파이프에 결합되어 도금액을 상기 기판에 분사하는 노즐로 이루어지고,
상기 양극부는 다수개가 상호 이격되어 상기 파이프 사이에 배치되며,
다수개의 상기 양극부는 브라켓에 의해 상호 일체로 연결되고, 상기 구동부의 작동시 다수개의 상기 양극부는 상기 브라켓을 통해 함께 이동하며,
상기 수조의 내벽에는 상기 기판 방향으로 가이드레일이 돌출 형성되고,
상기 양극부는 상기 가이드레일을 따라 상기 기판 방향으로 이동 가능하게 장착되며,
상기 구동부는 상기 양극부가 상기 가이드레일을 따라 상기 기판 방향으로 직선이동 가능하게 구동력을 발생시키고,
상기 구동부는,
상기 수조에 상기 브라켓을 상하방향으로 관통하여 길게 배치된 구동축과;
상기 구동축에 결합된 제1기어;를 포함하여 이루어지고,
상기 구동축 및 제1기어는 상기 양극부에 결합되어 상기 양극부와 함께 이동하며,
상기 가이드레일의 측면에는 상기 제1기어와 맞물리는 제2기어가 장착되고,
상기 구동축에 의한 제1기어의 회전시 상기 제2기어에 맞물린 상기 제1기어에 의해 상기 구동축 및 제1기어가 장착된 상기 양극부는 상기 가이드레일을 따라 직선이동하는 것을 특징으로 하는 양극 이동형 전해도금 장치.A water tank in which a substrate is vertically disposed;
A spraying unit disposed inside the water tub to face the substrate and spraying a plating solution onto the substrate;
An anode portion disposed inside the water tank and facing the substrate, the anode portion being movably coupled to the water tank in the direction of the substrate;
And a driving unit for moving the anode part in a direction of the substrate to adjust an interval between the anode part and the substrate,
The injection unit
A pipe for supplying a plating solution from the outside; And a nozzle coupled to the pipe for spraying the plating liquid onto the substrate,
Wherein a plurality of the anode portions are spaced apart from each other and disposed between the pipes,
A plurality of the anode portions are integrally connected to each other by a bracket and a plurality of the anode portions move together through the bracket when the driving portion is operated,
Wherein a guide rail protrudes from the inner wall of the water tank toward the substrate,
Wherein the anode portion is movably mounted along the guide rail in the direction of the substrate,
Wherein the driving unit generates a driving force such that the positive electrode portion is linearly movable along the guide rail along the direction of the substrate,
The driving unit includes:
A drive shaft extending vertically through the bracket;
And a first gear coupled to the drive shaft,
Wherein the drive shaft and the first gear are coupled to the anode portion and move together with the anode portion,
A second gear engaged with the first gear is mounted on a side surface of the guide rail,
Wherein the positive pole portion on which the drive shaft and the first gear are mounted is linearly moved along the guide rail by the first gear engaged with the second gear when the first gear is rotated by the drive shaft. Device. 청구항4에 있어서,
상기 제1기어는 피니언기어로 이루어지고,
상기 제2기어는 상기 가이드레일의 돌출방향으로 형성된 랙기어로 이루어진 것을 특징으로 하는 양극 이동형 전해도금 장치.The method of claim 4,
Wherein the first gear is a pinion gear,
And the second gear comprises a rack gear formed in a direction of protrusion of the guide rail. 청구항4에 있어서,
상기 브라켓에는 상기 가이드레일에 안착되는 가이드홈이 형성된 것을 특징으로 하는 양극 이동형 전해도금 장치.The method of claim 4,
Wherein the bracket is formed with a guide groove that is seated on the guide rail. 내부에 기판이 수직으로 배치되는 수조와;
상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하도록 배치되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 분사부와;
상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하여 배치되고, 상기 수조에 기판 방향으로 이동 가능하게 결합된 양극부와;
상기 양극부를 상기 기판이 있는 방향으로 이동시켜 상기 양극부과 기판의 간격을 조절하는 구동부;를 포함하여 이루어지되,
상기 분사부는,
외부로부터 도금액을 공급받는 파이프와; 상기 파이프에 결합되어 도금액을 상기 기판에 분사하는 노즐로 이루어지고,
상기 양극부는 다수개가 상호 이격되어 상기 파이프 사이에 배치되며,
다수개의 상기 양극부는 브라켓에 의해 상호 일체로 연결되고, 상기 구동부의 작동시 다수개의 상기 양극부는 상기 브라켓을 통해 함께 이동하며,
상기 구동부는,
일단이 상기 수조의 외부에 연결되고, 타단이 상기 양극부에 회전 가능하게 연결되어, 외력에 의한 회전시 그 자체 길이가 가변되는 볼스크류부재;를 포함하여 이루어지며,
회전에 의한 상기 볼스크류부재 자체의 길이 변화에 의해 상기 양극부는 상기 기판 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 양극 이동형 전해도금 장치.A water tank in which a substrate is vertically disposed;
A spraying unit disposed inside the water tub to face the substrate and spraying a plating solution onto the substrate;
An anode portion disposed inside the water tank and facing the substrate, the anode portion being movably coupled to the water tank in the direction of the substrate;
And a driving unit for moving the anode part in a direction of the substrate to adjust an interval between the anode part and the substrate,
The injection unit
A pipe for supplying a plating solution from the outside; And a nozzle coupled to the pipe for spraying the plating liquid onto the substrate,
Wherein a plurality of the anode portions are spaced apart from each other and disposed between the pipes,
A plurality of the anode portions are integrally connected to each other by a bracket and a plurality of the anode portions move together through the bracket when the driving portion is operated,
The driving unit includes:
And a ball screw member having one end connected to the outside of the water tank and the other end rotatably connected to the anode portion and varying in length when rotated by an external force,
Wherein the positive electrode part moves in the direction of the substrate by a change in length of the ball screw member itself due to rotation. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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