KR101880601B1 - 양극 이동형 전해도금 장치 - Google Patents

양극 이동형 전해도금 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101880601B1
KR101880601B1 KR1020160172566A KR20160172566A KR101880601B1 KR 101880601 B1 KR101880601 B1 KR 101880601B1 KR 1020160172566 A KR1020160172566 A KR 1020160172566A KR 20160172566 A KR20160172566 A KR 20160172566A KR 101880601 B1 KR101880601 B1 KR 101880601B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
anode
gear
water tank
guide rail
Prior art date
Application number
KR1020160172566A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180070173A (ko
Inventor
선인경
Original Assignee
(주)포인텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)포인텍 filed Critical (주)포인텍
Priority to KR1020160172566A priority Critical patent/KR101880601B1/ko
Publication of KR20180070173A publication Critical patent/KR20180070173A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101880601B1 publication Critical patent/KR101880601B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/04Electroplating with moving electrodes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/10Electrodes, e.g. composition, counter electrode
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D21/00Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D21/00Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
    • C25D21/12Process control or regulation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/08Electroplating with moving electrolyte e.g. jet electroplating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

본 발명은 양극 이동형 전해도금 장치에 관한 것으로서, 특히 양극을 이동시켜 기판에 형성되는 도금 두께 등를 조절할 수 있는 양극 이동형 전해도금 장치에 관한 것이다.
본 발명의 양극 이동형 전해도금 장치는, 내부에 기판이 수직으로 배치되는 수조와; 상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하도록 배치되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 분사부와; 상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하여 배치되는 양극부와; 상기 양극부를 상기 기판이 있는 방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지되, 상기 구동부에 의해 상기 양극부는 상기 기판이 있는 방향으로 이동하여 상기 양극부와 기판의 간격이 조절되는 것을 특징으로 한다.

Description

양극 이동형 전해도금 장치 { ANODE MOVING TYPE ELECTROLYSIS PLATING APPARATUS }
본 발명은 양극 이동형 전해도금 장치에 관한 것으로서, 특히 양극을 이동시켜 기판에 형성되는 도금 두께 등을 조절할 수 있는 양극 이동형 전해도금 장치에 관한 것이다.
인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)은 페놀수지 절연판 또는 에폭시 수지 절연판 등 절연재에 형성된 배선 패턴을 통하여 실장된 부품들을 상호 전기적으로 연결하고 전원 등을 공급하는 동시에 부품들을 기계적으로 고정시켜주는 역할을 수행하는 것으로서, 인쇄회로기판에는 절연기판의 한쪽 면에만 배선을 형성한 단면 PCB, 양쪽 면에 배선을 형성한 양면 PCB 및 다층으로 배선한 MLB(다층 인쇄회로기판;Multi Layered Board)가 있다.
이중 양면 PCB나 MLB를 제조하는 공정에 있어서, 양면에 동시에 회로패턴을 형성하거나, 최외층에 형성된 접속패드에 금(Au), 니켈(Ni) 등으로 구성된 보호층을 형성함에 있어서, PCB의 양면에 동시에 도금을 진행하는 공정을 포함할 수 있다.
종래의 양면도금장치에서는, 도금액이 채워진 수조 내부에 서로 이격된 한 쌍의 양극이 배치되고 양극 사이에 기판을 넣고 음극을 연결하며 기판의 양면에 도금층이 형성된다.
그러나, 종래의 양면 도금장치의 경우 기판의 각 면에 형성되는 도금층의 두께가 균일하지 않거나, 도금층의 두께를 조절하는 어려움이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 선행기술들에는 양극 또는 기판을 이동시키는 기술이 나타나 있습니다.
그러나, 선행기술들에서는 양극을 어떠한 구조를 이용하여 용이하게 이동시킬 것인지에 대한 구체적인 구성 등이 나타나 있지 않았다.
공개특허 제10-2010-0049957호 공개특허 제10-2015-0141270호
본 발명은 전술한 문제점은 해결하기 위한 것으로써, 수조 내부에 배치되는 양극을 구체적인 구동부에 의해 이동시켜 양극과 기판의 이동거리를 조절하여 도금 두께 및 도금편차 등을 용이하게 조정할 수 있는 양극 이동형 전해도금 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 양극 이동형 전해도금 장치는, 내부에 기판이 수직으로 배치되는 수조와; 상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하도록 배치되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 분사부와; 상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하여 배치되는 양극부와; 상기 양극부를 상기 기판이 있는 방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지되, 상기 구동부에 의해 상기 양극부는 상기 기판이 있는 방향으로 이동하여 상기 양극부와 기판의 간격이 조절되는 것을 특징으로 한다.
상기 양극부는 상기 수조에 상기 기판 방향으로 이동 가능하게 결합된다.
상기 수조에는 상기 기판 방향으로 가이드레일이 돌출 형성되고, 상기 양극부는 상기 가이드레일을 따라 상기 기판 방향으로 이동 가능하게 장착되며, 상기 구동부는 상기 양극부가 상기 가이드레일을 따라 상기 기판 방향으로 직선이동 가능하게 구동력을 발생시킨다.
상기 구동부는, 상기 수조에 상하방향으로 길게 배치된 구동축과; 상기 구동축에 결합된 제1기어;를 포함하여 이루어지고, 상기 구동축 및 제1기어는 상기 양극부에 결합되어 상기 양극부와 함께 이동하며, 상기 가이드레일에는 상기 제1기어와 맞물리는 제2기어가 장착되되, 상기 구동축에 의한 제1기어의 회전시 상기 제2기어에 맞물린 상기 제1기어에 의해 상기 양극부는 상기 가이드레일을 따라 직선이동한다.
상기 제1기어는 피니언기어로 이루어지고, 상기 제2기어는 상기 가이드레일의 돌출방향으로 형성된 랙기어로 이루어진다.
상기 양극부에는 브라켓이 형성되되, 상기 구동축은 상기 브라켓을 상하방향으로 관통하여 배치되고, 상기 브라켓에는 상기 가이드레일에 안착되는 가이드홈이 형성된다.
또는, 상기 구동부는, 일단이 상기 수조의 외부에 연결되고, 타단이 상기 양극부에 회전 가능하게 연결되어, 외력에 의한 회전시 그 길이가 가변되는 볼스크류부재;를 포함하여 이루어지되, 회전에 의한 상기 볼스크류부재의 길이 변화에 의해 상기 양극부는 상기 기판 방향으로 이동한다.
또는, 상기 구동부는, 일단이 상기 수조의 내벽에 결합되고 타단이 상기 양극부에 결합되는 잭(jack)으로 이루어지되, 외력에 의한 상기 잭의 동작에 의해 상기 양극부는 상기 기판 방향으로 이동한다.
상기 분사부는, 외부로부터 도금액을 공급받는 파이프와; 상기 파이프에 결합되어 도금액을 상기 기판에 분사하는 노즐로 이루어지되, 상기 양극부는 다수개가 상호 이격되어 상기 파이프 사이에 배치된다.
다수개의 상기 양극부는 브라켓에 의해 상호 일체로 연결되되, 상기 구동부의 작동시 다수개의 상기 양극부는 함께 이동한다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 양극 이동형 전해도금 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
수조 내부에 배치되는 양극부를 구체적인 구동부에 의해 이동시킴으로써, 양극부과 기판의 이동거리를 조절하여 기판의 표면에 형성되는 도금 두께 및 도금편차 등을 용이하게 조정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 주요구성의 사시도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 양극부의 분해사시도,
도 4는 도 1에서 구동부에 의해 양극부가 이동한 상태의 측면구조도,
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도,
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도.
제1실시예
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 주요구성의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 양극부의 분해사시도이고, 도 4는 도 1에서 구동부에 의해 양극부가 이동한 상태의 측면구조도이다.
본 발명의 양극 이동형 전해도금 장치는, 수조(10)와, 분사부(20)와, 양극부(30)와, 구동부(40)를 포함하여 이루어진다.
상기 수조(10)는 내부에 도금액이 충진되어 있고, 도금되는 기판(50)이 수직으로 배치되어 있다.
상기 수조(10)의 내벽에는 상기 기판(50) 방향으로 가이드레일(11)이 돌출 형성되어 있다.
상기 가이드레일(11)은 상기 수조(10)에 일체로 형성될 수도 있고, 별도로 이루어져 조립될 수도 있다.
상기 분사부(20)는 상기 수조(10)의 내부에서 상기 기판(50)과 대면하도록 배치되어 상기 기판(50)에 도금액을 분사하는 한다.
본 실시예에서 상기 분사부(20)는 상기 기판(50)의 양측에 배치되어 있지만, 경우에 따라 상기 기판(50)의 어느 한쪽에만 배치될 수도 있다.
상기 분사부(20)는, 외부로부터 도금액을 공급받는 파이프(21)와, 상기 파이프(21)에 결합되어 도금액을 상기 기판(50)에 분사하는 다수개의 노즐(22)로 이루어진다.
상기 양극부(30)는 상기 수조(10)의 내부에서 상기 기판(50)과 대면하여 배치된다.
이러한 상기 양극부(30)에는 양전원이 연결되고, 상기 기판(50)에는 음전원이 연결된다.
상기 양극부(30)는 다수개가 상호 이격되어 상기 파이프(21)와 파이프(21) 사이에 배치된다.
본 실시예에서 상기 양극부(30), 케이스(31)와, 아노드부재(32)와, 격막부재(33)와, 차폐부재(34)를 포함하여 이루어진다.
상기 케이스(31)는 내부에 상기 아노드부재(32), 격막부재(33) 및 차폐부재(34)가 삽입 배치될 수 있는 빈공간이 형성되고, 상기 기판(50)을 향하는 방향으로 개방되어 있다.
상기 아노드부재(32)는 상기 케이스(31)의 내부에 배치되고, 양전원과 연결되어 있으며, 상하방향으로 다수개로 분할되어 있다.
상기 격막부재(33)는 상기 아노드부재(32)의 전방에 배치되어, 상기 수조(10) 내부에 존재하는 이물질 등이 상기 아노드부재(32)로 접근하는 것을 차단한다.
상기 차폐부재(34)는 상기 격막부재(33)의 전방에서 상기 케이스(31)의 상하방향으로 이동 가능하게 장착된다.
이러한 상기 차폐부재(34)의 상하 이동에 의해 상기 아노드부재(32)와 기판(50)의 대면면적이 조절되게 된다.
상기 차폐부재(34)는 승강된 후, 볼트 등에 의해 가압되어 고정된 상태를 유지한다.
위와 같은 구성으로 이루어진 상기 양극부(30)는 상기 수조(10)에 상기 기판(50) 방향으로 이동 가능하게 결합되어, 상기 아노드부재(32)와 상기 기판(50)과의 거리를 조절한다.
보다 구체적으로, 상기 양극부(30)는 상기 수조(10)의 내측벽에 형성된 상기 가이드레일(11)을 따라 상기 기판(50) 방향으로 이동 가능하게 장착된다.
그리고, 상기 양극부(30)에는 브라켓(35)이 형성되어 있다.
상기 브라켓(35)에는 상기 가이드레일(11)에 안착되는 가이드홈(36)이 형성되어, 상기 양극부(30)가 안정적으로 상기 가이드레일(11)을 따라 이동될 수 있도록 한다.
다수개의 상기 양극부(30)는 상호 독립적으로 배치될 수도 있고, 본 실시예의 도면에 도시된 바와 같이 상기 브라켓(35)에 의해 상호 일체로 연결될 수도 있다.
상기 브라켓(35)에 의해 다수개의 양극부(30)가 일체로 연결되게 되면, 다수개의 상기 양극부(30)는 상기 구동부(40)의 작동시 함께 이동하게 된다.
상기 구동부(40)는 상기 양극부(30)를 상기 기판(50)이 있는 방향으로 이동시키는 역할을 한다.
위와 같은 상기 구동부(40)에 의해 상기 양극부(30)는 상기 기판(50)이 있는 방향으로 이동하여 상기 양극부(30)와 기판(50)의 간격이 조절되게 된다.
상기 구동부(40)는 상기 양극부(30)가 상기 가이드레일(11)을 따라 상기 기판(50) 방향으로 직선이동 가능하게 구동력을 발생시킨다.
본 실시예에서 상기 구동부(40)는, 모터(41)와, 구동축(42)과, 제1기어(43)를 포함하여 이루어진다.
상기 모터(41)는 상기 수조(10)의 외부에 배치된다.
상기 구동축(42)은 일단이 상기 모터(41)에 연결되고, 상기 수조(10)에 상하방향으로 길게 배치된다.
이때, 상기 구동축(42)은 상기 브라켓(35)을 상하방향으로 관통하여 배치됨으로써, 안정적으로 장착되고 회전할 수 있도록 한다.
상기 제1기어(43)는 상기 구동축(42)에 결합된다.
상기 구동축(42) 및 제1기어(43)는 상기 양극부(30)에 결합되어 상기 양극부(30)와 함께 이동한다.
상기 가이드레일(11)에는 상기 제1기어(43)와 맞물리는 제2기어(13)가 장착된다.
따라서, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 모터(41)에 의해 상기 구동축(42)이 회전하게 되면, 상기 구동축(42)에 장착된 상기 제1기어(43)는 회전하게 된다.
상기 제1기어(43)와 제2기어(13)는 상호 맞물려 있는데, 상기 제2기어(13)는 고정되어 있기 때문에 상기 제1기어(43)가 회전됨에 따라 상기 제2기어(13)에 맞물린 상기 제1기어(43)에 의해 상기 양극부(30)는 상기 가이드레일(11)을 따라 직선이동하게 된다.
일예로 본 실시예의 도면에서, 상기 제1기어(43)는 피니언기어로 이루어지고, 상기 제2기어(13)는 상기 가이드레일(11)의 돌출방향으로 형성된 랙기어로 이루어진다.
본 실시예와 달리 상기 제1기어(43)와 제2기어(13)는 다양한 기어 구조로 이루어질 수도 있다.
또한, 상기 모터(41)없이 상기 구동축(42)을 수동으로 회전시킬 수도 있다.
또한, 상기 구동부(40)는 상기 수조(10) 및 양극부(30)에 탈착 가능하게 결합되어, 필요에 따라 장착하도록 할 수도 있다.
위와 같은 구성에 의해 상기 구동부(40)가 작동하면 상기 양극부(30)가 상기 수조(10)의 내부에서 상기 기판(50)의 배치방향으로 가까워지거나 멀어지게 이동됨으로써, 상기 기판(50)의 도금두께, 도금편차 등을 조정할 수 있다.
제2실시예
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도이다.
제2실시예는 제1실시예와 비교하여 상기 구동부(40)에 차이가 있는바, 이를 중심으로 설명한다.
상기 구동부(40)는, 모터(41)와, 볼스크류부재(45)를 포함하여 이루어진다.
상기 모터(41)는 상기 수조(10)의 외부에 배치된다.
상기 볼스크류부재(45)는 일단이 상기 모터(41)를 통해 수조(10)의 외부에 연결되고 타단이 상기 양극부(30)에 회전 가능하게 연결되어 있다.
이러한 상기 볼스크류부재(45)는 도 5(b)에 도시된 바와 같이 외력에 의한 회전시 즉 상기 모터(41)의 회전시 그 자체 길이가 가변되어 상기 양극부(30)가 상기 기판(50) 방향으로 이동되게 한다.
즉, 상기 모터(41)의 회전에 의해 상기 볼스크류부재(45)는 그 자체 길이가 가변되는데, 이때 상기 볼스크류부재(45)의 타단에는 상기 양극부(30)가 결합되어 있는바, 상기 볼스크류부재(45)의 자체 길이가 가변됨에 따라 상기 양극부(30)는 상기 기판(50)과의 거리가 가변되게 된다.
본 실시예와 달리, 상기 모터없이 상기 볼스크류부재(45)를 외부에서 별도의 도구를 이용하여 수동으로 회전시킬 수도 있다.
그 외 다른 사항은 제1실시예와 동일 유사한 바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
제3실시예
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 양극 이동형 전해도금 장치의 측면구조도이다.
제3실시예는 제1실시예와 비교하여 상기 구동부(40)에 차이가 있는바, 이를 중심으로 설명한다.
상기 구동부(40)는 일단이 상기 수조(10)의 내벽에 결합되고 타단이 상기 양극부(30)에 결합되는 잭(46, jack)으로 이루어진다.
외력에 의해 도 6(b)에 도시된 바와 같이 상기 잭(46)의 수평 길이가 가변됨에 따라, 상기 잭(46)의 타단에 결합된 상기 양극부(30)는 상기 기판(50) 방향으로 이동하여 상기 기판(50)과의 거리가 가변된다.
본 실시예와 달리, 상기 모터없이 상기 잭(46)을 외부에서 별도의 도구를 이용하여 수동으로 회전시킬 수도 있다.
그 외 다른 사항은 제1실시예와 동일 유사한 바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
본 발명인 양극 이동형 전해도금 장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
10 : 수조, 11 : 가이드레일, 13 : 제2기어,
20 : 분사부, 21 : 파이프, 22 : 노즐,
30 : 양극부, 31 : 케이스, 32 : 아노드부재, 33 : 격막부재, 34 : 차폐부재, 35 : 브라켓, 36 : 가이드홈,
40 : 구동부, 41 : 모터, 42 : 구동축, 43 : 제1기어,
45 : 볼스크류부재, 46 : 잭,
50 : 기판.

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 내부에 기판이 수직으로 배치되는 수조와;
    상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하도록 배치되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 분사부와;
    상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하여 배치되고, 상기 수조에 기판 방향으로 이동 가능하게 결합된 양극부와;
    상기 양극부를 상기 기판이 있는 방향으로 이동시켜 상기 양극부과 기판의 간격을 조절하는 구동부;를 포함하여 이루어지되,
    상기 분사부는,
    외부로부터 도금액을 공급받는 파이프와; 상기 파이프에 결합되어 도금액을 상기 기판에 분사하는 노즐로 이루어지고,
    상기 양극부는 다수개가 상호 이격되어 상기 파이프 사이에 배치되며,
    다수개의 상기 양극부는 브라켓에 의해 상호 일체로 연결되고, 상기 구동부의 작동시 다수개의 상기 양극부는 상기 브라켓을 통해 함께 이동하며,
    상기 수조의 내벽에는 상기 기판 방향으로 가이드레일이 돌출 형성되고,
    상기 양극부는 상기 가이드레일을 따라 상기 기판 방향으로 이동 가능하게 장착되며,
    상기 구동부는 상기 양극부가 상기 가이드레일을 따라 상기 기판 방향으로 직선이동 가능하게 구동력을 발생시키고,
    상기 구동부는,
    상기 수조에 상기 브라켓을 상하방향으로 관통하여 길게 배치된 구동축과;
    상기 구동축에 결합된 제1기어;를 포함하여 이루어지고,
    상기 구동축 및 제1기어는 상기 양극부에 결합되어 상기 양극부와 함께 이동하며,
    상기 가이드레일의 측면에는 상기 제1기어와 맞물리는 제2기어가 장착되고,
    상기 구동축에 의한 제1기어의 회전시 상기 제2기어에 맞물린 상기 제1기어에 의해 상기 구동축 및 제1기어가 장착된 상기 양극부는 상기 가이드레일을 따라 직선이동하는 것을 특징으로 하는 양극 이동형 전해도금 장치.
  5. 청구항4에 있어서,
    상기 제1기어는 피니언기어로 이루어지고,
    상기 제2기어는 상기 가이드레일의 돌출방향으로 형성된 랙기어로 이루어진 것을 특징으로 하는 양극 이동형 전해도금 장치.
  6. 청구항4에 있어서,
    상기 브라켓에는 상기 가이드레일에 안착되는 가이드홈이 형성된 것을 특징으로 하는 양극 이동형 전해도금 장치.
  7. 내부에 기판이 수직으로 배치되는 수조와;
    상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하도록 배치되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 분사부와;
    상기 수조의 내부에서 상기 기판과 대면하여 배치되고, 상기 수조에 기판 방향으로 이동 가능하게 결합된 양극부와;
    상기 양극부를 상기 기판이 있는 방향으로 이동시켜 상기 양극부과 기판의 간격을 조절하는 구동부;를 포함하여 이루어지되,
    상기 분사부는,
    외부로부터 도금액을 공급받는 파이프와; 상기 파이프에 결합되어 도금액을 상기 기판에 분사하는 노즐로 이루어지고,
    상기 양극부는 다수개가 상호 이격되어 상기 파이프 사이에 배치되며,
    다수개의 상기 양극부는 브라켓에 의해 상호 일체로 연결되고, 상기 구동부의 작동시 다수개의 상기 양극부는 상기 브라켓을 통해 함께 이동하며,
    상기 구동부는,
    일단이 상기 수조의 외부에 연결되고, 타단이 상기 양극부에 회전 가능하게 연결되어, 외력에 의한 회전시 그 자체 길이가 가변되는 볼스크류부재;를 포함하여 이루어지며,
    회전에 의한 상기 볼스크류부재 자체의 길이 변화에 의해 상기 양극부는 상기 기판 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 양극 이동형 전해도금 장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
KR1020160172566A 2016-12-16 2016-12-16 양극 이동형 전해도금 장치 KR101880601B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160172566A KR101880601B1 (ko) 2016-12-16 2016-12-16 양극 이동형 전해도금 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160172566A KR101880601B1 (ko) 2016-12-16 2016-12-16 양극 이동형 전해도금 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180070173A KR20180070173A (ko) 2018-06-26
KR101880601B1 true KR101880601B1 (ko) 2018-08-17

Family

ID=62788561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160172566A KR101880601B1 (ko) 2016-12-16 2016-12-16 양극 이동형 전해도금 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101880601B1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102343926B1 (ko) 2020-04-03 2021-12-24 (주)포인텍 분사압 조절형 노즐이 장착된 도금장치
KR102410787B1 (ko) 2020-04-03 2022-06-20 (주)포인텍 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치
KR102410794B1 (ko) 2020-04-03 2022-06-20 (주)포인텍 양산형 고품질 도금 장치
CN117568896B (zh) * 2024-01-15 2024-03-29 河南科技学院 一种适用于制备长距离管道内壁涂层的施镀装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3121543B2 (ja) * 1996-07-18 2001-01-09 株式会社日立製作所 沸騰水型原子炉用制御棒及び沸騰水型原子炉炉心
JP2002226993A (ja) * 2001-02-01 2002-08-14 Asuka Engineering:Kk プリント基板の銅めっき方法およびめっき装置
KR101416486B1 (ko) * 2013-04-10 2014-07-09 사단법인 전북대학교자동차부품금형기술혁신센터 알루미늄의 산화피막패턴 형성장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3121543U (ja) * 2006-02-28 2006-05-18 株式会社アイプラント メッキ処理システム
KR20100049957A (ko) 2008-11-04 2010-05-13 삼성전기주식회사 인쇄회로기판의 양면 도금 장치 및 방법
JP5795514B2 (ja) * 2011-09-29 2015-10-14 アルメックスPe株式会社 連続メッキ装置
KR101595717B1 (ko) 2014-06-09 2016-02-22 남부대학교산학협력단 초음파 도금 시스템

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3121543B2 (ja) * 1996-07-18 2001-01-09 株式会社日立製作所 沸騰水型原子炉用制御棒及び沸騰水型原子炉炉心
JP2002226993A (ja) * 2001-02-01 2002-08-14 Asuka Engineering:Kk プリント基板の銅めっき方法およびめっき装置
KR101416486B1 (ko) * 2013-04-10 2014-07-09 사단법인 전북대학교자동차부품금형기술혁신센터 알루미늄의 산화피막패턴 형성장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180070173A (ko) 2018-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101880601B1 (ko) 양극 이동형 전해도금 장치
US8329006B2 (en) Electroplating cell with hydrodynamics facilitating more uniform deposition across a workpiece during plating
US8226804B2 (en) Electroplating cell with hydrodynamics facilitating more uniform deposition on a workpiece with through holes during plating
KR101880599B1 (ko) 애노드 이동형 수평도금장치
CN101711095A (zh) Hdi挠性电路板镀铜填孔工艺
JP3218165U (ja) 電気メッキ装置
CN114351199B (zh) 一种用于高频电路板内通孔精密电镀的设备及电镀工艺
CN202519353U (zh) 半导体晶圆微型孔电镀装置
CN104902699A (zh) 一种含高厚径比通孔的背板电镀方法
CN112680760B (zh) 一种印刷电路板电镀装置及其电镀方法
CN1717159A (zh) 一种多层印刷线路板的生产方法
CN218321718U (zh) 一种基于dpc工艺的陶瓷填孔电镀装置
KR102410787B1 (ko) 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치
KR101494175B1 (ko) 도금조의 노즐 요동장치
KR100813353B1 (ko) 광폭 방향의 중량편차 저감을 위한 금속박막 제박기
CN114150316B (zh) 一种精密蚀刻模组及精密蚀刻装置及其装置的蚀刻工艺
KR102425050B1 (ko) 인쇄회로기판 도금장치
CN113584563A (zh) 一种印刷电路板用电镀装置
CN208038575U (zh) 具有移动功能喷流杆的电镀装置
CN202543371U (zh) 一种无接触式水平电镀线
JP6573437B1 (ja) 電気メッキ装置
KR102343926B1 (ko) 분사압 조절형 노즐이 장착된 도금장치
KR101761187B1 (ko) 양극 이동식 도금 장치
KR20160034165A (ko) 도금 장치
CN213232546U (zh) 柔性电路板电镀设备

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant