KR101763535B1 - 도전체 패턴 검사 장치 - Google Patents

Abstract

도전체 패턴 검사 장치는, 제1 센서 전극이 검사 신호가 급전된 제1 도전체 패턴에 용량 결합하여 제1 검출 신호를 검출하고, 제2 센서 전극이 검사 신호가 급전되어 있지 않은 제2 도전체 패턴에 용량 결합하여 제2 도전체 패턴에 검사 신호가 흘렀을 때에 제2 검출 신호로서 검출하고, 검출 신호 처리부가 제1 검출 신호와 제2 검출 신호를 가산한 합신호와, 제1 검출 신호로부터 제2 검출 신호를 감산한 차신호를 산출하고, 차신호를 합신호로 제산하여, 판정용 신호를 생성한다. 이 판정용 신호를 역치와 비교하여 단락의 결함의 유무를 판정한다.

Description

도전체 패턴 검사 장치{CONDUCTOR PATTERN INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 기판 위에 형성된 도전체 패턴에 비접촉의 검사 전극을 사용하여 전기적 검사를 행하는 도전체 패턴 검사 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 전자 부품을 실장하기 위한 경질 수지를 포함하는 회로 기판이나 절곡 가능한 플렉시블 회로 기판에는 부품 사이를 접속하기 위한 도전체 패턴이 형성되어 있다. 또한, 태양 전지나 태양 발전용 패널 등에 사용되는 회로 기판에 있어서는, 예를 들어 1개의 쇼트바의 측방으로부터 기전하기 위한 복수의 전극이 빗살 모양으로 연장 돌출되는 빗 형상의 도전체 패턴을 조합하여 형성하고 있다.

이들 도전체 패턴에 있어서의 단락이나 단선의 유무를 검출하는 종래의 전기적 검사는, 끝이 뾰족한 형상의 검사 프로브를 검사 대상이 되는 도전체 패턴이나 전극에 눌러 전기적인 접속을 행한 후, 검사 신호를 급전하여, 그 도전체 패턴으로부터 공급한 검사 신호에 상당하는 검출 신호를 검출하여, 단선이나 단락에 의한 결함의 유무를 판정하고 있다.

또한, 검사의 효율화를 도모하기 위하여, 검사 전극측 또는 회로 기판측의 어느 하나를 이동시키면서, 복수의 회로 기판에 대하여 연속적으로 검사를 실시하고 있다. 이 검사 프로브를 도전체 패턴에 접촉시키는 경우, 접촉 저항의 저감을 도모하기 위하여 어느 정도의 가압이 작용하고 있기 때문에, 도전체 패턴을 깍아내는 흠집 등의 손상을 끼치고 있다.

또한, 검사 시에 부여하는 도전체 패턴에 대한 손상을 방지하는 검사 장치로서, 예를 들어 특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2004-191381호 공보에는 도전체 패턴에 비접촉으로 전기적 검사를 실시하는 도전체 패턴 검사 장치가 개시되어 있다.

이 도전체 패턴 검사 장치는, 적어도 급전 전극과 센서 전극을 포함하는 1조의 검사 전극을 검사 대상의 도전체 패턴에 근접시켜 용량 결합한 상태에서, 급전 전극으로부터 검사 신호인 교류 검사 신호를 인가하여, 센서 전극에서 도전체 패턴을 전반한 교류 검사 신호를 검출하고, 검출된 검출 신호의 레벨에 의해 단선 및 단락의 유무의 검사를 행하고 있다.

전술한 비접촉으로 용량 결합을 이용한 검사 장치에 있어서는, 검사 전극이 미리 정한 거리, 소위 갭을 두고 도전체 패턴과 대향하여, 도전체 패턴측으로부터 전반되는 교류 검사 신호를 검출하고 있다. 직류 신호를 검사 신호로서 사용하는 검사 장치의 검출값에 비하여, 교류의 검사 신호를 용량 결합에 의해 검출되는 검출값은 미소한 값으로 되어 있다.

특히, 도전체 패턴과 검사 전극 사이의 거리, 즉 용량 결합에 있어서의 전극간 거리가 변동된 경우에는 취득되는 검출 신호의 신호값이 크게 변동된다. 이것은, 검사의 양부 판정을 행하는 기준이 되는 역치에 대하여, 취득된 신호값이 크게 변동되는 것이며, 실제로는 도전체 패턴이 정상적이어도, 거리가 지나치게 이격되면, 검출된 검출값이 역치보다 낮아져 불량하다고 판단될 사태가 염려된다.

이러한 도전체 패턴과 검사 전극 사이의 거리의 변동은, 검사 전극의 이동 기구, 또는 회로 기판의 반송 기구의 동작 정밀도를 높이면, 저감시키는 것은 가능하다. 그러나, 이들 이동 기구 또는 반송 기구의 동작 정밀도를 높이는 것은, 용이한 것이 아니고, 한층 더한 구성 부위의 치수의 고정밀도화가 필수이며, 조립 조정의 향상 등의 인적 능력의 향상까지 포함되어 있다. 또한, 생산 효율의 향상을 도모하기 위하여, 도전체 패턴을 형성하는 기판도 대형화가 요구되고, 대형 기판에는 현재의 검사 정밀도 또는 그 이상의 검사 정밀도가 요구되기 때문에, 기술적인 난이도가 높아져, 제조 비용도 대폭 상승할 것이 상정된다.

본 발명에 따르는 실시 형태는, 대향하는 도전체 패턴과 검사 전극의 거리의 변동에 따르는 검출 신호의 값의 변동을 감소시켜, 보다 정확한 도전체 패턴의 결함의 유무의 검사 결과를 취득하는 도전체 패턴 검사 장치를 제공한다.

실시 형태의 도전체 패턴 검사 장치는, 회로 기판 위에 열 형상으로 배치되도록 형성되는 복수의 도전체 패턴에 급전하기 위한 교류의 검사 신호를 생성하는 검사 신호 공급부와, 상기 복수의 도전체 패턴에 용량 결합하여, 1열 간격의 도전체 패턴에 상기 검사 신호를 급전하는 급전 전극부와, 상기 검사 신호가 급전된 제1 도전체 패턴에 용량 결합하여, 상기 검사 신호를 제1 검출 신호로서 검출하는 제1 센서 전극 및 상기 검사 신호가 급전되어 있지 않은 제2 도전체 패턴에 용량 결합하여, 해당 제2 도전체 패턴에 상기 검사 신호가 흘렀을 때에, 제2 검출 신호로서 검출하는 제2 센서 전극으로 구성되는 수전 전극부와, 상기 제1 검출 신호와 상기 제2 검출 신호를 가산한 합신호와, 상기 제1 검출 신호로부터 상기 제2 검출 신호를 감산한 차신호를 산출하고, 상기 차신호를 상기 합신호로 제산하여, 판정용 신호를 생성하는 검출 신호 처리부와, 상기 판정용 신호를 미리 설정한 역치와 비교하여, 결함의 유무를 판정하는 결함 판정부를 구비한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 도전체 패턴 검사 장치의 개념적인 구성을 도시하는 블록도이다.
도 2는 센서 전극과 도전체 패턴 사이의 거리가 변화했을 때의 검사 신호의 출력 변동의 예를 나타내는 도면이다.
도 3은 도전체 패턴 검사 장치의 결함 판정에 있어서의 판정용 신호와 역치의 관계에 대하여 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 도전체 패턴 검사 장치의 개념적인 구성을 도시하는 블록도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 도전체 패턴 검사 장치의 개념적인 구성을 도시하는 블록도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다.

[제1 실시 형태]

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 도전체 패턴 검사 장치의 개념적인 구성을 도시하는 블록도, 도 2는 제1 실시 형태의 도전체 패턴 검사 장치에 있어서의 거리가 변화했을 때의 검사 신호의 출력 변동과, 비교를 위한 종래의 도전체 패턴 검사 장치의 검사 신호의 출력 변동을 도시하는 도면이다. 또한, 도 3은 도전체 패턴 검사 장치의 결함 판정에 있어서의 판정용 신호와 역치의 관계에 대하여 설명하기 위한 도면이다.

본 실시 형태에 있어서, 도전체 패턴 검사 장치(1)에 의한 검사 대상의 일례로서, 도 1에 도시한 바와 같은 태양 발전용 패널 등에 이용되는 회로 기판(2) 위에 형성되는 도전체를 포함하는 2개의 빗 형상의 도전체 패턴(7)을 대상으로 하고 있다. 이들 빗 형상은, 복수의 빗살부와 1개의 쇼트바부로 구성된다.

이들 빗 형상은, 모두 복수의 평행한 빗살부의 일단부가 개방되고, 각 타단부가 1개의 쇼트바부에 공통으로 연결되도록 형성되어 있다. 이 도전체 패턴(7)은, 한 쌍의 빗 형상이 빗살부를 교대로 맞물리도록 배치된다. 이때, 서로의 도전체 패턴(7a, 7b)에 있어서의 빗살부와 빗살부는 접촉이나 겹침을 갖지 않도록 일정한 간격이 벌어져 있다.

본 실시 형태의 도전체 패턴 검사 장치(1)는, 주로 교류의 검사 신호의 급전을 행하는 급전 전극부(3) 및 그 검사 신호의 검출을 행하는 수전 전극부(5)를 포함하는 검사 전극부(6)와, 검사 신호를 생성하는 검사 신호 공급부(8)와, 검출된 검출 신호에 대하여 검파 및 증폭을 포함하는 연산 처리를 행하는 검출 신호 처리부(9)와, 결함의 유무의 양부 판정을 행하는 결함 판정부(28)와, 각 구성 부위를 제어하는 제어부(10)와, 검사 시에 회로 기판을 반송하는 이동 기구(11) 및 구동 제어부(12)로 구성된다. 이하의 설명에 있어서, 검사 시에 도전체 패턴(7)에 급전하는 교류의 신호를 검사 신호라고 칭하고, 도전체 패턴으로부터 검출된 검사 신호를 검출 신호로서 기재하고 있다.

이하, 상세하게 설명한다. 검사 전극부(6)는, 도시하지 않은 1개의 전극 기판의 도전체 패턴(7)과 대향하는 면 위에, 급전 전극부(3)와 수전 전극부(5)가 형성되어 있다. 또한, 전극 기판은, 급전 전극부(3)와 수전 전극부(5)에 대하여, 별개로 형성해도 되지만, 이 경우에는, 위치 관계가 고정되도록 구성되어 있다. 이 회로 기판(2) 위에 형성된 도전체 패턴과, 전극 기판의 도전체 패턴(7)과 대향하는 면의 간극을 이하에서 설명하는, 간격이라고 칭하고 있다.

급전 전극부(3)는, 한쪽의 도전체 패턴(7a)의 쇼트바부 상방에 대향하는 위치에 배치된다. 따라서, 열 형상으로 배치된 빗살부의 도전체 패턴(7)에 대하여, 1열 간격의 도전체 패턴, 즉 도 1에 있어서는, 도전체 패턴(7a)에만 교류의 검사 신호가 입력된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 후술하는 바와 같이 회로 기판을 반송하면서 검사를 실시하는 방식이기 때문에, 급전 전극부(3)의 하방을 도전체 패턴(7a)의 쇼트바부가 통과할 때에 용량 결합하여, 급전 전극부(3)로부터 도전체 패턴(7a)에 대하여, 교류의 검사 신호가 입력된다.

수전 전극부(5)는, 도전체 패턴(7)을 흐르는 검사 신호를 검출 신호로서 검출하는 직사각형 형상의 쌍이 되는 센서 전극(4(4a, 4b))에 의해 구성된다. 이들 센서 전극(4)은, 전기 저항률이 낮은 도전체 재료, 예를 들어, 금속 재료에 의해 공지의 형성 방법에 의해 형성된다. 급전 전극부(3)가 쇼트바부 상방에 있을 때에, 센서 전극(4a, 4b)이, 각각 도전체 패턴(7a, 7b)의 인접하는 빗살부의 상방에서 대향하는 위치에 있도록 배치되어 있다. 이때, 센서 전극(4a, 4b)은, 빗살부의 어느 개소에 대향할지는, 특별히 한정되는 것은 아니다.

도 1에 있어서는, 도전체 패턴(7a)[제1 도전체 패턴]의 빗살부에 대향하도록 센서 전극(4a)[제1 센서 전극]이 배치되고, 인접하는 도전체 패턴(7b)[제2 도전체 패턴]의 빗살부에 대향하도록 센서 전극(4b)[제2 센서 전극]이 배치되어 있다. 센서 전극(4)은, 적어도 한 쌍으로 인접하여 배치되는 센서 전극(4a) 및 센서 전극(4b)이 필요하다. 또한, 용량 결합에 의해 교류의 검사 신호의 공급 및 검출을 행하는 경우에는 전반되는 검사 신호의 신호값을 가능한 한 크게 하기 위하여, 급전 전극부(3) 및 센서 전극(4)은 도전체 패턴에 대향하는 면적이 커지도록 형성되는 것이 바람직하다.

검사 신호 공급부(8)는, 도전체 패턴(7)에 입력시키기 위한 검사 신호를 생성하여, 급전 전극부(3)에 출력한다. 이 검사 신호는, 예를 들어 200㎑ 내지 800㎑ 정도의 대역 내의 교류 신호이며, 공장 출하 시에 설계 사양에 기초하여 설정되거나 또는 사용자가 검사 대상에 따라 적절히 선택하여 설정해도 된다. 센서 전극(4)에 의해 검출된 각각의 검출 신호는 검출 신호 처리부(9)에 출력된다.

검출 신호 처리부(9)는 2개의 증폭부(21) 및 증폭부(22)와, 차동 증폭부(23)와, 가산부(24)와, 2개의 검파부(25) 및 검파부(26)와, 연산부(27)로 구성된다.

증폭부(21)는, 센서 전극(4a)이 검출하여 입력된 교류의 검출 신호 A[제1 검출 신호]를 증폭하여, 가산부(24)에 출력한다. 마찬가지로, 증폭부(22)는 센서 전극(4b)이 검출하여 입력된 교류의 검출 신호 B[제2 검출 신호]를 증폭하여, 가산부(24)에 출력한다. 증폭부(21)와 증폭부(22)는 동일한 특성을 갖고, 동일한 증폭률로 증폭시키는 것으로 한다. 가산부(24)는, 각각에 증폭된 검출 신호 A와 검출 신호 B를 가산(A+B)하여, 검파부(26)에 출력한다.

차동 증폭부(23)는 센서 전극(4a) 및 센서 전극(4b)으로부터 각각에 입력된 검출 신호 A와 검출 신호 B의 차(A-B)를 취하여, 검파부(25)에 출력한다.

검파부(26)는, 가산부(24)로부터의 가산된 교류의 검출 신호에 대하여 검파 처리를 실시하여, 합신호(A+B)를 생성하여, 연산부(27)에 출력한다. 마찬가지로, 검파부(25)는 차동 증폭부(23)로부터의 차를 취한 교류의 검출 신호에 대하여, 검파 처리에 의해 차신호(A-B)를 생성하여, 연산부(27)에 출력한다.

여기서, 도전체 패턴(7a, 7b)이 모두 단락되어 있지 않은 정상적인 도전체 패턴인 경우에는 센서 전극(4b)으로부터의 검출값은 0이며, 센서 전극(4a)으로부터만 검출된다. 따라서, 증폭부(21)로부터만 증폭된 검출 신호가 가산부(24)를 통하여, 검파부(26)에 출력된다. 또한, 차동 증폭부(23)로부터는 센서 전극(4a)으로부터 검출된 검출 신호만이 검파부(25)에 출력된다.

반대로, 도전체 패턴(7a, 7b)이 단락되어 있는 경우에는 센서 전극(4a, 4b)으로부터 각각 대략 동일값의 교류의 검출 신호가 검출된다. 따라서, 증폭부(21, 22)로부터 각각에 증폭된 검출 신호가 가산부(24)를 통하여 2배가 된 검출 신호가 검파부(26)에 출력된다. 또한, 차동 증폭부(23)로부터는 센서 전극(4a)와 센서 전극(4b)의 차에 의해 0레벨의 검출 신호가 검파부(25)에 출력된다.

연산부(27)는, 각각에 입력된 차신호(A-B)를 합신호(A+B)로 제산하는 연산 처리를 행한다. 이때, 전처리로서, 차신호 및 합신호에 평활화 처리를 실시해도 된다. 또한, 합신호(A+B)에는 공통 모드 노이즈 N이 중첩되기 때문에, 그 노이즈분을 차감하는 감산 처리를 행한 후, 제산 처리를 행하여, 판정용 신호 P를 생성한다. 즉, 판정용 신호 P는 P=(A-B)/(A+B-N)… 식 (1)에 의해 구해진다.

이어서, 연산부(27)는, 생성된 판정용 신호 P를 결함 판정부(28)에 출력한다.

결함 판정부(28)는, 후술하는 바와 같이 미리 판정용의 역치가 설정되고, 취득된 판정용 신호 P와 역치의 비교에 의해 결함의 유무를 판정한다. 이 결함의 유무의 판정 결과는 제어부(10)에 출력된다.

또한, 회로 기판(2)은 이동 기구(11)에 의해 검사 시에 도 1에 도시하는 화살표 s의 방향으로 반송된다. 이 화살표 s의 방향은 도전체 패턴(7)의 빗 부분이 연장되는 방향과 동일한 방향이다. 이동 기구(11)는, 제어부(10)로부터의 지시에 따르는 구동 제어부(12)에 의해 구동 제어된다.

제어부(10)는 장치 전체의 각 구성부의 제어를 행하는 연산 처리부(CPU)(29)와, 프로그램이나 데이터에 관한 정보를 기억하는 메모리(30)로 구성된다. 메모리(30)는, 예를 들어 ROM, RAM 또는 플래시 메모리 등의 범용 메모리를 이용하여, 제어용 프로그램, 각종 연산용 프로그램 및 데이터(테이블) 등을 기억하고 있다. 연산 처리부(29)는, 설정된 프로그램 등에 따라 입력 또는 지시된 정보에 대하여 연산 처리를 행하여, 각 구성부의 조작 지시를 행한다.

또한, 제어부(10)에는 표시부(31) 및 입력부(32)가 설치되어 있다. 표시부(31)는 결함의 유무의 판정 결과나 각 구성부의 조작 지시 및 구동 상태 등을 표시한다. 또한, 입력부(32)는, 조작 지시나 설정을 행하기 위한 키보드나 터치 패널 등을 포함하는 입력 기기이다. 제어부(10)는, 결함 판정부(28)로부터의 판정 결과를 받아, 그 내용을 표시부(31)의 화면 위에 표시한다.

이어서, 검출 신호 처리부(9)의 연산부(27)에 의해 생성되는 판정용 신호 P에 대하여 설명한다.

이 판정용 신호 P는, 센서 전극(4)과 도전체 패턴(7)의 간격(갭)이 변동되면, 식 (1)에 있어서의 분모와 분자가 동등하게 변화한다. 이로 인해, 갭 변동에 의한 영향이 캔슬되어, 수치의 변동이 적은 판정용 신호 P를 생성할 수 있다.

본 실시 형태에 있어서는, 예를 들어 센서 전극(4)과 도전체 패턴(7)의 간격 500㎛를 검사 시의 기준 간격으로서 설정하고, 이동하는 회로 기판을 변동시켰을 때의 출력 변동을 도 2에 도시하고 있다. 여기에서는, 본 실시 형태에 있어서의 판정용 신호를 P로 하고, 종래의 차신호(A-B)만을 종래의 판정용 신호 Q로 하고 있다.

도 2에 도시하는 특성을 참조하여, 센서 전극(4)과 도전체 패턴(7)의 간격에 큰 변동이 있던 예에 대하여 설명한다.

500㎛의 기준 간격에 대하여, 제1 예로서, 350㎛의 변동, 즉 거리 150㎛만큼 센서 전극(4)과 도전체 패턴(7)이 근접하는 변동이 발생한 경우, 판정용 신호 P의 출력 변동은, 신호값에 있어서의 +18％의 출력 변동이 발생하고 있다. 이에 대하여 판정용 신호 Q에는 +168％의 출력 변동이 발생하고 있다.

마찬가지로, 제2 예로서, 500㎛의 기준 간격에 대하여, 600㎛의 변동, 즉 거리 150㎛만큼 센서 전극(4)과 도전체 패턴(7)이 이격되는 변동이 발생한 경우, 판정용 신호 P의 출력 변동은, 신호값에 있어서의 -6％의 변동이 발생하고 있지만, 종래의 판정용 신호 Q의 출력 변동은 -48％의 출력 변동이 발생하고 있다.

따라서, 간격이 큰 변동이 있는 경우에는, 본 실시 형태의 검출된 검출 신호의 값이 종래의 검출 신호에 비하여, 출력 변동을 1/8 내지 1/9 정도로 감소시킬 수 있다. 또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 결함 판정부(28)에 의한 판정은, 미리 판정용 역치가 설정되고, 본 실시 형태의 판정용 신호 P와 비교에 의해 결함의 유무를 판정한다. 이하의 설명에 있어서, 공통 모드 노이즈 N은, 고려하지 않고 설명한다. 여기에서는, 도전체 패턴(7a, 7b)이 단락되어 있는 경우에, 센서 전극(4a, 4b)으로부터 검출된 검출 신호 A와 검출 신호 B는, 동일한 전위의 교류 신호이며, 증폭부(21, 22)의 증폭률도 동등한 것으로 설정한다. 여기에서는, 역치를 「1」로 설정한다.

결함 판정부(28)에 있어서, 연산부(27)로부터 입력된 판정용 신호 P가 「0」인 경우, 전술한 식 (1)에 있어서, 분자의 (A-B)가 「0」이다. 즉, 센서 전극(4a)과 센서 전극(4b)으로부터의 검출 신호 A와 검출 신호 B가 동등하다고 생각된다. 이것은, 도전체 패턴(7a, 7b)끼리가 단락되어, 결함이 있는 도전체 패턴인 것으로 판정할 수 있다. 한편, 연산부(27)로부터 입력된 판정용 신호가 「1」인 경우, 전술한 식 (1)에 있어서, 분자의 (A-B)가 1이다. 즉, A=1, B=0을 생각할 수 있으며, 즉 도전체 패턴(7a, 7b)의 단락은 없어, 정상적인 도전체 패턴인 것으로 판정할 수 있다.

이상으로부터, 도 3에 도시한 바와 같이 판정용 신호 P_OK가 역치인 「1」에 도달하는 경우에는, 정상적인 도전체 패턴이라고 판정되고, 판정용 신호 P_NG가 「0」 또는 역치 이외인 경우에는 결함이 있는 도전체 패턴이라고 판정할 수 있다.

또한, 전술한 판정에 사용되는 역치는, 「1」의 고정값으로 설정했지만, 고정값 또는 고정된 범위(도 3에 도시하는 점선)에 한정할 필요는 없다. 예를 들어, 역치를 직전에 양호하다고 판정된 판정용 신호(단, 피크값)에 항상 재기입하여, 새로운 역치로서 설정한다. 그 새로운 역치를 판정 기준 또는 그 새로운 역치를 중심으로 한 임의의 수치의 폭으로 설정한 판정 범위 내를 판정 기준으로 하여, 그들의 판정 기준에 적합한 판정용 신호에 대하여, 결함이 없다고 판정하도록 해도 된다.

본 실시 형태의 도전체 패턴 검사 장치에 의하면, 검사 신호가 공급되어 있는 도전체 패턴으로부터 검출된 검출 신호는, 검사 전극부와 검사 대상이 되는 도전체 패턴의 간격에 변동이 있는 경우에도 종래의 출력 변동에 비하여, 각별히 출력 변동을 감소시킬 수 있다. 따라서, 검사 전극부와 도전체 패턴의 간격의 변동의 유무나 크기에 관계없이 출력 변동이 없는 판정용 신호를 취득할 수 있어, 판정 기준이 되는 역치와 비교에 의한 결함의 유무를 정확하게 판정할 수 있다.

[제2 실시 형태]

도 4는 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 도전체 패턴 검사 장치의 개념적인 구성을 도시하는 블록도이다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 전술한 제1 실시 형태와 동등한 구성 부위에는, 동일한 참조 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다. 전술한 제1 실시 형태에서는, 작용 효과를 실현하기 위한 최소 구성이 되는, 1개의 급전 전극부(3) 및 2개의 센서 전극(4)의 구성이었지만, 실제로는, 검사 대상이 되는 도전체 패턴의 수에 대응할 수 있는 복수의 센서 전극(4)의 배치가 필요해진다.

본 실시 형태에서는, 도 4에 도시한 바와 같이 빗 형상의 도전체 패턴에 있어서의 모든 빗살부의 상방에, 센서 전극(4(4a, 4b))이 배치되는 구성이다. 센서 전극(4a)군은, 증폭부(21) 및 차동 증폭부(23)에, 각각에 검출된 교류의 검출 신호 A를 출력한다. 또한, 센서 전극(4b)군은, 증폭부(22) 및 차동 증폭부(23)에, 각각에 검출된 교류의 검출 신호 B를 출력한다. 증폭부(21, 22) 및 차동 증폭부(23)의 이후의 구성이나 신호 처리는, 전술한 제1 실시 형태와 동등하다.

또한, 결함 판정부(28)의 판정에 있어서는, 복수의 도전체 패턴 중에 예를 들어, 1개소의 단락 개소가 있는 경우, 제1 실시 형태와 같이, 판정용 신호 P는, 「0」은 되지 않고, 「1」 미만의 수치가 된다. 본 실시 형태에서는, 중첩되는 공통 모드 노이즈 N을 고려한 「1」 미만의 수치를 역치로 설정하고, 이 역치 이하를 결함이 있는 도전체 패턴이라고 판정한다.

본 실시 형태에서는, 전술한 제1 실시 형태와 동등한 작용 효과를 얻을 수 있다. 또한, 빗 형상의 도전체 패턴에 있어서의 모든 빗살부의 상방에, 센서 전극(4)이 배치되는 구성이기 때문에, 검사 대상의 회로 기판을 한번의 반송에 의해, 모든 도전체 패턴에 있어서의 단락의 결함의 유무를 검사할 수 있다.

[제3 실시 형태]

도 5는 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 도전체 패턴 검사 장치의 개념적인 구성을 도시하는 블록도이다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 전술한 제1 실시 형태와 동등한 구성 부위에는, 동일한 참조 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.

전술한 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에 있어서는, 급전 전극부(3)가 빗 형상의 도전체 패턴(7)의 쇼트바부에 대향하는 배치 구성이기 때문에, 빗 형상의 도전체 패턴(7)에만 적용된다.

본 실시 형태의 도전체 패턴 검사 장치(1)는 액정 패널이나 터치 패널 등에 사용되고 있는 회로 기판(41) 위에 형성되는 평행하고 열 형상으로 배치되어 전기적으로 분리된 복수의 도전체 패턴(42)을 검사 대상으로 한다. 이들 도전체 패턴(42)에 대하여, 전기적인 검사를 행하여, 단락 및 단선의 결함의 유무를 판정한다. 또한, 각 도전체 패턴(42)은 회로 기판(41) 위에서 패턴의 위치를 확정할 수 있는 것이면, 반드시 평행 및 등간격의 배치가 아니어도 검사 가능하다.

본 실시 형태의 검사 전극부(6)는, 급전 전극부(3)와 수전 전극부(5)에 의해 구성된다. 도 5에 도시한 바와 같이, 급전 전극부(3)는, 복수의 급전 전극(3a)을 포함하고, 각 급전 전극(3a)이 열 형상으로 배치된 도전체 패턴(42)의 1열 간격으로 대향하는 위치에 배치되고, 인접하지 않도록 배치되어 있다. 또한, 수전 전극부(5)는, 복수의 센서 전극(4(4a, 4b))을 포함하고, 검사 범위 내에 존재하는 모든 도전체 패턴(42)과 대향하도록 센서 전극(4a)이 배치되어 있다. 급전 전극(3a)과 센서 전극(4a)의 간격은, 특별히 한정되는 것은 아니며, 도전체 패턴(42)의 양단이어도, 근접시킨 위치가 되도록 배치해도 된다.

또한, 필수는 아니지만 검사 전극부(6)에 있어서, 임의의 간격, 예를 들어 1 내지 2㎝의 간격을 두고, 급전 전극(3a)과 센서 전극(4a)을 배치시킨 경우에는, 그들과 대향하는 도전체 패턴(42)에 있어서의 단선의 결함을 검출 신호 A로부터 검출하는 것도 가능하다. 즉, 단선 개소를 통과할 때에 일시적으로 급전 전극(3a)으로부터 입력된 검사 신호가 센서 전극(4a)까지 도달하지 않아, 센서 전극(4a)으로부터 출력되는 검출 신호 A가 끊어짐으로써, 단선에 의한 결함을 검지할 수 있다.

이 일례로서는, 도 5에 도시한 바와 같이, 증폭부(21)로부터 출력되는 교류의 검출 신호 A만을 검파 처리하는 검파부(43)를 설치하고, 그 검파 처리된 판정용 신호 R의 신호 변화를 결함 판정부(28)에서 판정함으로써, 단선의 결함의 유무를 판정할 수 있다. 따라서, 도시되어 있지 않으나, 2개의 제1, 제2 검사 전극부(6)를 도전체 패턴(42)의 길이 방향으로 1개분 이상의 도전체 패턴(42)의 길이를 두고 배열하여 배치하고, 제1 검사 전극부와 제2 검사 전극을 도전체 패턴(42)의 1라인 어긋나도록, 서로의 급전 전극(3a)을 배치한다. 또한, 증폭부(21, 22)로부터 출력되는 교류의 검출 신호 A, B를 각각에 검파 처리하는 2개의 검파부(43)를 추가함으로써 전체 도전체 패턴에 대한 단락과 단선의 유무를 판정할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 도전체 패턴 검사 장치는, 검출 신호 처리부(9)가 전술한 제1 실시 형태와 동등한 판정용 신호 P를 출력함으로써, 도전체 패턴(42)에 있어서의 단락의 결함의 유무를 판정할 수 있다. 또한, 검사 전극부(6) 및 검파부(43)를 추가함으로써 전체 도전체 패턴에 대한 단락과 단선의 유무를 판정할 수 있다.

본 발명의 실시 형태의 도전체 패턴 검사 장치에 따르면, 대향하는 도전체 패턴과 검사 전극의 거리의 변동에 따르는 검출 신호의 값의 변동을 감소시켜, 보다 정확한 도전체 패턴의 결함의 유무의 검사 결과를 취득할 수 있다.

Claims (4)

1. 회로 기판 위에 열 형상으로 평행하게 형성되고, 1열마다 두 군으로 나뉘어져, 제1 군의 제1 도전체 패턴 및 제2 군의 제2 도전체 패턴으로 이루어진 복수의 도전체 패턴과,
   교류의 검사 신호를 생성하는 검사 신호 공급부와,
   상기 제1 도전체 패턴에 용량 결합하여, 상기 검사 신호를 급전하는 급전 전극부와,
   상기 제1 도전체 패턴에 용량 결합하여, 상기 검사 신호를 제1 검출 신호로서 검출하는 제1 센서 전극 및 상기 검사 신호가 급전되어 있지 않은 제2 도전체 패턴에 용량 결합하여, 해당 제2 도전체 패턴에 상기 검사 신호가 흘렀을 때에, 제2 검출 신호로서 검출하는 제2 센서 전극으로 구성되는 수전 전극부와,
   상기 제1 검출 신호와 상기 제2 검출 신호를 가산한 합신호와, 상기 제1 검출 신호로부터 상기 제2 검출 신호를 감산한 차신호를 산출하고, 상기 차신호를 상기 합신호로 제산하여, 판정용 신호를 생성하는 검출 신호 처리부와,
   상기 판정용 신호를 미리 설정한 역치와 비교하여, 결함의 유무를 판정하는 결함 판정부를 구비하는 도전체 패턴 검사 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 검출 신호와 상기 제2 검출 신호를 가산한 합신호로부터, 해당 합신호에 중첩되는 공통 모드 노이즈를 감산하는 도전체 패턴 검사 장치.
3. 제1항에 있어서, 검사 시에 상기 회로 기판을, 열 형상으로 배치되는 상기 복수의 도전체 패턴의 연신 방향을 따라 반송하는 이동 기구 제어부를 구비하는 도전체 패턴 검사 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 복수의 도전체 패턴은, 상기 제1 도전체 패턴이 빗살부로서 각 일단측을 제1 쇼트바부에서 단락 연결하여 빗 형상으로 형성되고,
   상기 제2 도전체 패턴이 빗살부로서 각 타단측을 제2 쇼트바부에서 단락 연결하여 빗 형상으로 형성되고,
   상기 제1 쇼트바부 및 상기 제2 쇼트바부가 함께 외측에 위치하고, 상기 빗살부를 교대로 등간격을 두고 맞물리게 하여 쌍을 이루도록 배치되고,
   상기 제1 쇼트바부 상에 상기 급전 전극부가 더 배치되는 것을 특징으로 하는 도전체 패턴 검사 장치.

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