CN104977815A - 直写式曝光***中的扫描台 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种直写式曝光***中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板，所述台面板上方设置有两根相互平行且平行于台面板的压板横梁，两压板横梁均横跨台面板，所述台面板的侧面设置有与压板横梁的各个端部相对应的安装座，该安装座与台面板相对固定，各个安装座上分别设置有一个升降驱动装置，所述压板横梁的两端分别与对应安装座上的升降驱动装置相连接，同一压板横梁两端的升降驱动装置同步驱动该压板横梁上下移动。在传统的扫描台台面板上增加了两根压板横梁，利用两根压板横梁或安装在压板横梁上的压板将软性曝光板有翘曲现象的边压住，这样在曝光软性曝光板的时候，就可以避免因软性曝光板的边翘曲引起的曝光质量不好的问题了。
Description
技术领域
本发明属于光刻技术领域，涉及一种直写式曝光***中的扫描台。
背景技术
传统的直写式曝光***中的扫描台一般都用以曝光硬板，硬板只靠真空吸附便能稳定地固定在扫描台的台面板上，但随着穿戴设备的发展，软性曝光板做的越来越多，由于部分软性曝光板成卷状包装和存储，因此该部分软性曝光板相对的两边存在边翘曲程度太大的问题，单独使用真空吸附无法使整张软性曝光板平整地固定于台面板上，从而影响曝光质量。因此，有必要提供一种装置来解决软性曝光板边翘曲带来的影响曝光质量的问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种直写式曝光***中的扫描台，在曝光软性曝光板的时候，可以避免因软性曝光板的边翘曲引起的曝光质量不好的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：直写式曝光***中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板，所述台面板上方设置有两根相互平行且平行于台面板的压板横梁，两压板横梁均横跨台面板，所述台面板的侧面设置有与压板横梁的各个端部相对应的安装座，该安装座与台面板相对固定，各个安装座上分别设置有一个升降驱动装置，所述压板横梁的两端分别与对应安装座上的升降驱动装置相连接，同一压板横梁两端的升降驱动装置同步驱动该压板横梁上下移动。
所述压板横梁垂直于与其两端对应的台面板侧面，所述四个安装座分别固定设置于台面板与两压板横梁相互垂直的两侧侧面，每个安装座上均设置有能驱动升降驱动装置沿该安装座所在侧面横向移动的电动执行机构，该电动执行 机构包括一个可沿电动执行机构的驱动方向滑动的滑动台，所述升降驱动装置固定连接在滑动台上。
所述升降驱动装置与滑块之间设置有一块连接板，所述压板横梁上与连接板相对的位置设置有一竖向通孔，连接板上竖向固定连接有一根穿过通孔的导杆，导杆上套设有预压缩的弹簧，弹簧的一端与压板横梁底部相抵，另一端与连接板上端面相抵。
所述通孔内设置有一个内径与导杆直径相配合的直线轴承，所述导杆穿设在直线轴承内。
所述压板横梁上设置有沿压板横梁长度方向布置的橡胶压板，橡胶压板的下沿低于压板横梁的下沿且平行于台面板的上表面。
所述升降驱动装置是带导杆气缸。
本发明的有益效果是：在传统的扫描台台面板上增加了两根压板横梁，利用两根压板横梁或安装在压板横梁上的压板将软性曝光板有翘曲现象的边压住，这样在曝光软性曝光板的时候，就可以避免因软性曝光板的边翘曲引起的曝光质量不好的问题了。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是图1中的A部放大图；
图3是图1中的B-B断面图；
图4是图2中的C-C剖视图。
图1～图4中：1、台面板，2、压板横梁，3、安装座，4、升降驱动装置，5、电动执行机构，6、滑动台，8、连接板，9、通孔，10、导杆，11、弹簧，12、直线轴承，13、橡胶压板。
具体实施方式
下面结合附图，详细描述本发明的具体实施方案。
如图1所示为本发明所述的直写式曝光***中的扫描台，包括水平设置的 矩形台面板1，所述台面板1上方设置有两根相互平行且平行于台面板1的压板横梁2，两压板横梁2均横跨台面板1，所述台面板1的侧面设置有与压板横梁2的各个端部相对应的安装座3，该安装座3与台面板1相对固定，各个安装座3上分别设置有一个升降驱动装置4，所述压板横梁2的两端分别与对应安装座3上的升降驱动装置4相连接，同一压板横梁2两端的升降驱动装置4同步驱动该压板横梁2上下移动。
设置有压板横梁2的扫描台1，在曝光软性曝光板的时候，可利用压板横梁2压在软性曝光板有翘边现象的两边，这样可以有效地将软性曝光板平铺固定在扫描台的台面板1上，被曝光部位不会被翘边所影响。
结合图1、图2，所述压板横梁2垂直于与其两端对应的台面板1侧面，所述四个安装座3分别固定设置于台面板1与两压板横梁2相互垂直的两侧侧面，每个安装座3上均设置有能驱动升降驱动装置4沿该安装座3所在侧面横向移动的电动执行机构5，该电动执行机构5包括一个可沿电动执行机构5的驱动方向滑动的滑动台6，所述升降驱动装置4固定连接在滑动台6上。
在每个安装座3上设置电动执行机构5，以驱动升降驱动装置4横向移动，这样就可以通过横移升降驱动装置4来改变两压板横梁2之间的间距，从而可对不同尺寸的软性曝光板进行固定，扩大了适用范围。
文中所述电动执行机构5的具体结构可以参照名为“电动执行机构”(申请公布号为：CN103206500A)的发明专利，但并不局限于该公布文件中所描述的丝杠传动方式，即在该技术领域内，还可以使用直线电机、同步带等传动方式代替该专利文件中的丝杠传动方式来实对滑动台的直线驱动。
如图2和图4所示，所述升降驱动装置4与滑块14之间设置有一块连接板8，所述压板横梁2上与连接板8相对的位置设置有一竖向通孔9，连接板8上竖向固定连接有一根穿过通孔9的导杆10，导杆10上套设有预压缩的弹簧11，弹簧11的一端与压板横梁2底部相抵，另一端与连接板8上端面相抵。
在导杆10上设置预压缩的弹簧11，当升降驱动装置4带动压板横梁2下降 的时候，受到弹簧11的反向弹力，压板横梁2下降速度减慢，以减小压板横梁2对软性曝光板的冲击力，防止软性曝光板受到损伤，当升降驱动装置4上升时，受到弹簧11的正向弹力，压板横梁2上升速度加快，可快速弹起，以利于快速收板。
如图4所示，所述通孔9内设置有一个内径与导杆10直径相配合的直线轴承12，所述导杆10穿设在直线轴承12内。
在导杆10和通孔9之间增加内径与导杆10直径相配合的直线轴承12，可以进一步降低压板横梁2在升降时的横向偏移量。
如图3所示，所述压板横梁2上设置有沿压板横梁2长度方向布置的橡胶压板13，橡胶压板13的下沿低于压板横梁2的下沿且平行于台面板1的上表面。
在压板横梁2上设置下沿低于压板横梁2的橡胶压板13，用橡胶压板13来固定软性曝光板，由于橡胶压板13有一定的弹性，所以，可以更好地固定软性曝光板，而且不会使软性曝光板受到损伤。
如图2所示，为了进一步缩小升降驱动装置4在驱动压板横梁2做升降运动时的横向偏移量，本发明优选使用带导杆气缸作为升降驱动装置4。
本发明的工作过程是：先将软性曝光板放置到扫描台的台面板1上，并调整方向，使软性曝光板有边翘曲现象的两边平行压板横梁2，然后同时启动一个压板横梁2两端的电动执行机构5，驱动该压板横梁2沿垂直于压板横梁2的方向平移至与该压板横梁2对应的软性曝光板的一边，再同时启动该压板横梁2两端的升降驱动装置4，使该压板横梁2下压，压板横梁2在导杆10和直线轴承12的配合下，并结合弹簧11的反作用力，向下缓慢地移动，直至压板横梁2上的橡胶压板13与软性曝光板的上表面紧密贴合，另一个压板横梁2的驱动过程与前一个一致，在此就不在赘述了。当两个压板横梁2上的橡胶压板13均与软性曝光板的上表面紧密贴合，所述软性曝光板就被平整地固定在台面板1上了，之后便可以对软性曝光板进行曝光作业了。通过上述对软性曝光板的处理，便可以避免因软性曝光板边翘曲引起的曝光质量不好的问题。
Claims (6)
1.直写式曝光***中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板(1)，其特征在于，所述台面板(1)上方设置有两根相互平行且平行于台面板(1)的压板横梁(2)，两压板横梁(2)均横跨台面板(1)，所述台面板(1)的侧面设置有与压板横梁(2)的各个端部相对应的安装座(3)，该安装座(3)与台面板(1)相对固定，各个安装座(3)上分别设置有一个升降驱动装置(4)，所述压板横梁(2)的两端分别与对应安装座(3)上的升降驱动装置(4)相连接，同一压板横梁(2)两端的升降驱动装置(4)同步驱动该压板横梁(2)上下移动。
2.根据权利要求1所述的直写式曝光***中的扫描台，其特征在于，所述压板横梁(2)垂直于与其两端对应的台面板(1)侧面，所述四个安装座(3)分别固定设置于台面板(1)与两压板横梁(2)相互垂直的两侧侧面，每个安装座(3)上均设置有能驱动升降驱动装置(4)沿该安装座(3)所在侧面横向移动的电动执行机构(5)，该电动执行机构(5)包括一个可沿电动执行机构(5)的驱动方向滑动的滑动台(6)，所述升降驱动装置(4)固定连接在滑动台(6)上。
3.根据权利要求2所述的直写式曝光***中的扫描台，其特征在于，所述升降驱动装置(4)与滑块(14)之间设置有一块连接板(8)，所述压板横梁(2)上与连接板(8)相对的位置设置有一竖向通孔(9)，连接板(8)上竖向固定连接有一根穿过通孔(9)的导杆(10)，导杆(10)上套设有预压缩的弹簧(11)，弹簧(11)的一端与压板横梁(2)底部相抵，另一端与连接板(8)上端面相抵。
4.根据权利要求3所述的直写式曝光***中的扫描台，其特征在于，所述通孔(9)内设置有一个内径与导杆(10)直径相配合的直线轴承(12)，所述导杆(10)穿设在直线轴承(12)内。
5.根据权利要求4所述的直写式曝光***中的扫描台，其特征在于，所述压板横梁(2)上设置有沿压板横梁(2)长度方向布置的橡胶压板(13)，橡胶压板(13)的下沿低于压板横梁(2)的下沿且平行于台面板(1)的上表面。
6.根据权利要求5所述的直写式曝光***中的扫描台，其特征在于，所述升降驱动装置(4)是带导杆气缸。
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Address after: 215636 Zhangjiagang City, Jiangsu Province, the new town of the sea dam road, Suzhou, micro shadow Photoelectric Technology Co., Ltd. Applicant after: SUZHOU WEIYING LASER TECHNOLOGY CO.,LTD. Address before: 215636 Zhangjiagang City, Jiangsu Province, the new town of the sea dam road, Suzhou, micro shadow Photoelectric Technology Co., Ltd. Applicant before: ADVANCED MICROLITHO INSTRUMENT, Inc. |
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Denomination of invention: Scanning stage in direct writing exposure system Effective date of registration: 20210128 Granted publication date: 20180223 Pledgee: Jiujiang Pohu new city investment and Construction Co.,Ltd. Pledgor: SUZHOU WEIYING LASER TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2021980000823 |
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Date of cancellation: 20230508 Granted publication date: 20180223 Pledgee: Jiujiang Pohu new city investment and Construction Co.,Ltd. Pledgor: SUZHOU WEIYING LASER TECHNOLOGY CO.,LTD. Registration number: Y2021980000823 |
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