KR101385085B1 - 유리 기판의 픽업 및 전달 방법 및 이를 실시하기 위한 유리 기판의 픽업 및 전달 장치 - Google Patents

유리 기판의 픽업 및 전달 방법 및 이를 실시하기 위한 유리 기판의 픽업 및 전달 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 프로세스 스테이션 또는 저장 카세트 장치로 유리 기판을 전달하는 장치와 같은 픽업 스테이션으로 또는 픽업 스테이션으로부터 유리 기판을 픽업 및 전달하는 것을 최적화하였다. 이러한 본 발명의 유리 기판 픽업 및 전달 장치는 상하로 배치된 두 개의 개별 포크 그리퍼를 구비한 듀얼 포크 그리퍼를 포함하며, 상기 포크 그리퍼가 그 연장면에 대해 수직 방향에서 서로 상대적으로 이동 가능한 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에서는, 전달 스테이션 또한 저장 카세트와 같은 픽업 스테이션으로, 그리고 상기 픽업 스테이션으로부터 유리 기판을 픽업 및 전달하기 위한 방법을 제공하는데, 이 방법은 상하로 배치되며 그 연장면에 대해 수직으로 서로 상대적으로 이동 가능한 두 개의 포크 그리퍼를 구비한 듀얼 포크 그리퍼가 두 개 이상의 하적면을 포함하는 상기 픽업 스테이션으로 진입한 후, 상기 두 개의 포크 그리퍼의 연장면에 대해 수직 방향에서 각 포크 그리퍼의 상대적 동작을 통해 상기 유리 기판을 상기 픽업 스테이션에 전달하고, 상기 픽업 스테이션에서 다른 유리 기판을 픽업하는 것을 특징으로 한다.
Figure R1020070055069
유리 기판, 픽업

Description

유리 기판의 픽업 및 전달 방법 및 이를 실시하기 위한 유리 기판의 픽업 및 전달 장치{METHOD FOR RECEIVING AND TRANSFERRING GLASS SUBSTRATE PLATES AND APPARATUS FOR THE SAME }
도 1은 본 발명의 프로세스 스테이션, 공급 장치, 및 로봇에 의해 이동되는 듀얼 포크 그리퍼의 전체 사시도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 듀얼 포크 그리퍼의 사시도를 나타낸다.
도 3a, 도 3b 및 도 3c는 본 발명의 듀얼 그리퍼의 측면도, 평면도 및 정면도를 나타낸다.
도 3d는 도 3a의 A 부분을 확대한 도면이다.
도 4는 프로세스 스테이션의 일측에 구비되는 본 발명의 공급 장치에 대한 사시도를 나타낸다.
도 5a, 도 5b 및 도 5c는 프로세스 스테이션의 일측에 구비되는 본 발명의 공급 장치의 측면도, 평면도 및 정면도를 나타낸다.
도 6은 유리 기판을 수용하기 위한, 본 발명의 적재 카세트의 사시도를 나타낸다.
도 7a, 도 7b 및 도 7c는 본 발명의 적재 카세트의 정면도, 측면도 및 도 7a의 B 부분에 대한 확대도를 나타낸다.
도 8은 프로세스 스테이션의 공급 장치의 측면으로 듀얼 포크 그리퍼를 접근 시킨 모습을 나타낸다.
*도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명*
1. 프로세스 스테이션
2, 2a 유리 기판
3 공급 장치
4 로봇
5 듀얼 포크 그리퍼
6 베이스 프레임
7, 7a 포크 그리퍼
7.1 포크 아암
7.2 흡입 부재
8 가이드
9 구동장치
11 플랜지 판
12, 12a 이송 장치
13 저장 카세트
14 고정 바
15 정면(13의)
본 발명은, 상하로 배치된 두 개의 개별 포크 그리퍼(fork gripper)가 구비된 듀얼 포크 크리퍼(dual fork gripper), 및 유리 기판을 처리하는 프로세스 스테이션(process station)으로 상기 유리 기판을 반입 및 반출하는 공급 장치를 구비하는 유리기판의 픽업 및 전달 장치에 관한 것이다. 여기서, 공급 장치는 상기 유리 기판을 상기 프로세스 스테이션 내로 또는 밖으로 이송하는 하나 이상의 이송 장치를 포함한다. 또한 본 발명은, 공급 장치 또는 적재 카세트와 같은 픽업 스테이션 내로 유리 기판을 픽업하거나 밖으로 반출하는 방법에 관한 것이다.
전술한 유리 기판 또는 플랫 패널 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)는 유리 기판에서 분리되는 개별 LCD 디스플레이의 제조에 사용된다. 이를 위해 유리 기판은 재료 코팅, 노광, 식각 공정 등과 같은 처리 공정에서 처리되어야 하며, 이를 위해 유리 기판은 프로세스 스테이션으로 전달되고 이 프로세스 스테이션에서 다시 반출되어야 한다.
상기 처리 후에 유리 기판은 LCD가 도포되는 프로세스 측면을 가진다. 또한 유리 기판은 비프로세스 측면을 가진다. 품질 저하를 방지하기 위해, 제조 및 운반 중에 유리 기판을 잡거나 또는 내려 놓기 위해 필요한 접촉은 비프로세스 측면에서만 이루어져야 하며, 절대 프로세스 측면에서 이루어지지 않아야 한다. 따라서 유리 기판은 항상 일측면에서만 잡혀져야 한다.
제조 공정 중에 유리 기판이 매거진, 즉 소위 카세트에 저장되며 여기에서 각 프로세스 스테이션으로 운반된다. 유리 기판을 카세트에 저장할 때 유리 기판은 비프로세스 측면에서 카세트에 수평하게 저장된다. 유리 기판의 크기에 따라 50개 미만의 유리 기판이 하나의 카세트에 적재될 수 있다. 유리 기판은 카세트 내의 고정 바 위에 놓인다.
제조 공정을 위해 유리 기판이 카세트에서 픽업된 후, 프로세스 스테이션에 전달되거나(공정 처리 전) 또는 반출되어야(공정 처리 후) 한다. 프로세스 스테이션의 이송 인터페이스는 일반적으로 롤러 컨베이어이며, 여기에는 유리 기판이 비프로세스 측면으로 놓여질 수 있다. 공급 장치가 구비된 프로세스 스테이션 이외에 다른 프로세스 스테이션들이 존재하는데, 이 프로세스 스테이션들에서는 유리 기판이 직접 삽입되므로 공급 장치가 존재하지 않는다. 상기 공정이 완료된 후에, 유리 기판은 다시 프로세스 스테이션에서(대개 동일한 인터페이스를 통해) 반출되고 카세트 내로 적재되어야 한다.
현재 카세트 및 프로세스 스테이션으로의 픽업 또는 이로부터의 전달을 취급하는 공정은 프로세스 스테이션의 이송 인터페이스에 직접 존재하는 리프트 메커니즘 또는 이를 위해 그리퍼 툴을 구비하도록 특수하게 개발된 로봇을 통해 이루어진다. 후자의 경우에서 유리 기판의 그리핑(픽업 및 적재)는 포크 부재를 구비한 그리퍼(포크 그리퍼)를 통해 이루어진다. 포크가 카세트 내의 고정 바 사이에서 또는 이송 장치의 롤러 사이에 위치될 수 있게, 포크의 배치가 선택된다. 따라서 포크는 각각 픽업해야 하는 유리 기판 아래(비프로세스 측면)에 존재한다.
그리핑 포크에서 유리 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위해, 포크는 일반 적으로 진공 흡입 패드를 포함하며 이로써 유리 기판을 마찰 고정하는 기능을 한다.
종래 기술의 기본 취급 공정은 다음과 같이 구분될 수 있다:
1. 카세트로의 포크 그리퍼의 진입
2. 포크 그리퍼 및 카세트 내에서 고정 바로부터 미처리 유리 기판의 상승
3. 포크 그리퍼에서 미처리 유리 기판의 고정(예를 들어, 흡입, 클램핑, 등)
4. 카세트에서 유리 기판과 함께 포크 그리퍼의 반출
5. 프로세스 스테이션으로의 유리 기판 이송
6. 공급 장치로 또는 직접 프로세스 스테이션으로의 유리 기판의 배치
7. 유리 기판에 대한 고정 해제 및 하적(포크 그리퍼가 롤러와 공급 장치 또는 프로세스 스테이션의 하적 부재 사이로 이동)
8. 공정 완료 후 포크 그리퍼 및 그에 의한 처리된 유리 기판의 상승
9. 포크 그리퍼에서 미처리 유리 기판의 고정(예를 들어 흡입, 클램핑, 등)
10. 카세트로 처리된 유리 기판 이송
11. 카세트로 삽입
12. 고정 바 위에 처리된 유리 기판 위치
13. 유리 기판의 고정 해제 및 하적(포크 그리퍼가 카세트의 고정 바 사이로 삽입)
14. 카세트에서 포크 그리퍼 반출 및 다음 미처리 유리 기판의 픽업을 위해 포크 그리퍼 위치 결정
근래에는 전술한 바와 같은 취급 공정에 투입되는 핸들링 시스템은 각각의 경우에서 하나의 유리 기판을 이송하는 가능성만을 제공한다. 이는, 로봇이 각 유리 기판의 핸들링을 위해 카세트에서 프로세스 스테이션의 이송 장치로 이동하고 다시 그 반대 방향으로 이동해야 하는 것을 의미한다.
두 개의 유리 기판을 픽업할 수 있도록 하기 위해, 그리퍼를 듀얼 그리퍼로 구성하는 것이 알려져 있다. 이러한 유형의 그리퍼 및 핸들링 방법은, 미처리 유리 기판을 카세트에서 픽업하고 프로세스 스테이션에서 처리된 유리 기판을 픽업한 후, 핸들링 장치의 추가적인 이동 없이 다음의 미처리 유리 기판을 그곳에 다시 바로 내려놓기 위해 사용된다. 즉 듀얼 그리퍼는 프로세스 스테이션 측 인터페이스에서만 사용되며, 따라서 처리된 유리 기판을 반출한 후에 이미 잡은 미처리 유리 기판을 공급 장치 또는 직접 프로세스 스테이션에 내려 놓는 것이 가능하다. 따라서 로봇의 이송 동작이 절약되며 사이클 시간의 최소화가 가능하다.
듀얼 그리퍼는 포크 그리퍼로서 상하로 배치되며 일반적인 직선 가이드 드라이브(straight line guide drive)를 통해 수평 방향에서 서로 독립적으로 이동될 수 있다. 그러나 카세트 또는 프로세스 스테이션으로 유리 기판을 내려 놓거나 또는 잡기 위한 리프팅 동작은 서로 연계되어 있는데, 이는 카세트에서 유리 기판의 내려 놓기 또는 잡기가 두 개의 포크 그리퍼를 통해 동시에 이루어질 수 없고, 이 두 개의 핸들링 공정을 순차적으로 실시해야 하는 단점을 갖는다(제1 핸들링 공정: 카세트로의 1번 그리퍼의 삽입 및 처리된 유리 기판의 하적, 제2 핸들링 공정: 카세트로의 2번 그리퍼의 진입 및 미처리 유리 기판의 픽업). 카세트에서 양측 그리 퍼가 동시에 동작한다면, 카세트에서 1번 그리퍼에 의해 하적된 처리된 유리 기판이 2번 그리퍼에 의한 미처리 유리 기판의 픽업 시 다시 픽업될 수 있다. 따라서 종래 기술에서 적용되는 이러한 듀얼 그리퍼 조작방법은 불필요한 이송 공정의 억제를 통해 설비의 생산성을 증가시키지만, 카세트에서의 순차적인 핸들링 공정은 여전히 많은 시간을 필요로 한다.
또한 상부 포크 그리퍼를 고정하는 로봇 아암에서 출발하는 하부 유리 기판의 증가된 오염 위험이 존재한다. 이 로봇 아암은 유리 기판 위에서 직접 움직인다. 로봇 아암의 관절에서의 베어링 마찰로 인해, 입자가 분리되어 유리 기판의 프로세스 측면에 침착될 수 있다. 유리 기판의 핸들링 시 입자 배제에 대한 요건이 중요한 의미를 가지므로(청정실), 이는 간과할 수 없는 위험 요소이다.
이러한 듀얼 그리퍼는 예를 들어 일본 공개 특허 공보 제2005-230941 A호에 설명되어 있다. 종래 기술에 따른 해결방법에서는 유리 기판을 내리거나 또는 잡기 위해 항상 단지 하나의 포크 그리퍼만 카세트 또는 프로세스 스테이션으로 삽입할 수 있다.
이런 종래 기술에서 출발하여 전술한 종래 기술의 단점을 극복하기 위한 본 발명의 목적은, 그리퍼 동작 및 이송 공정을 최소화하고 이로써 사이클 시간의 감소 및 생산성의 증가를 달성할 수 있는, 유리 기판의 픽업 및 전달을 위한 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
전술한 본 발명의 목적은 포크 그리퍼가 그 연장면에 대해 수직으로 서로 상대적으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 유리 기판의 픽업 및 전달을 위한 장치를 통해 달성된다.
또한, 전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다음과 같은 방법을 제공한다. 상하로 배치되며 그 연장면에 대해 수직으로 서로 상대적으로 이동 가능한 두 개의 포크 그리퍼를 구비한 듀얼 포크 그리퍼가 적어도 두 개의 하적면을 포함하는 픽업 스테이션으로 진입하고 그 연장면에 대해 수직 방향에서 각 포크 그리퍼의 상대적 동작을 통해 유리 기판을 픽업 스테이션에 전달하고 픽업 스테이션에서 다른 유리 기판을 픽업한다.
또한 본 발명에서는 전술한 목적의 달성을 위해 프로세스 스테이션에 공급 장치가 제공되는데, 이 공급 장치는 수직 방향에서 상하로 배치되며 수직 방향에서 이동이 가능한 두 개의 이송 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에서는, 각 포크 그리퍼가 그 연장면에서 서로 독립적으로 반입 및 반출하는 것이 가능할 뿐만 아니라, 그 연장면에 대해 수직으로 또는 그 최단 상호 연결 방향에서 서로 상대적으로 이동 가능하도록, 즉 더욱 상세하게는 서로 가까워지거나 또는 서로 멀어지게 이동이 가능하도록 듀얼 포크 그리퍼 및 그 동역학을 개선하였으며, 각각의 포크 그리퍼가 기판을 픽업 또는 전달을 위해 프로세스 스테이션의 공급 장치 또는 적재 카세트와 같은 픽업 스테이션에서부터 멀어지도록 또는 픽업 스테이션 방향으로 이동 시 사용된다.
본 발명은, 양측 포크 그리퍼를 통해 카세트뿐 아니라 상응하는 개선이 있는 경우, 이송 장치 또는 프로세스 스테이션으로의 진입을 가능하게 하며 미처리 및 처리된 유리 기판의 픽업 및 하적을 동시에 수행하는 것을 가능하게 한다. 카세트 및 프로세스 스테이션에서 핸들링 공정의 이러한 병렬화를 통해 설비의 생산성을 현저하게 증대시킬 수 있다. 이로서 본 발명을 통해 핸들링 공정이 병렬화된다.
본 발명에 따른 장치의 바람직한 실시 형태에서는, 포크 그리퍼가 공동의 구동장치 및 결합 메커니즘 또는 기어를 통해 이동이 가능하거나 또는 포크 그리퍼가 각각 하나의 독립 구동장치를 통해 이동이 가능하다.
그에 대한 대안으로서, 포크 그리퍼 중 하나가 다른 포크 그리퍼 및 양측 그리퍼를 운반하는 베이스 프레임에 대해 상대적으로 이동이 가능하며, 그에 대해 상대적으로 이동 가능한 포크 그리퍼의 이송 방향에 대해 반대 방향으로 균형 동작을 실시하도록 베이스 프레임이 구성되는 것이 가능하다.
본 발명의 특히 바람직한 실시 형태에 의하면, 본 발명의 장치가 듀얼 그리퍼를 운반하는 로봇을 구비하는 것을 특징으로 한다.
유리 기판은 바람직하게는 포크 그리퍼에 고정되며, 이 고정은 흡입 장치와 같이 마찰 결합을 통해 또는 유리 기판의 가장자리를 고정하는 고정 부재와 같이 형상 결합을 통해 이루어질 수 있다.
공급 장치에 이송 장치가 제공되므로, 바람직하게도 이송 장치가 롤러 컨베이어로서 구성되도록 공급 장치가 형성될 수 있다. 또한 본 발명에서는 유리 기판의 픽업 및 전달을 위한 본 발명에 따른 장치 및 본 발명에 따른 전달 스테이션을 구비한 시스템이 제공된다.
픽업 스테이션으로 포크 그리퍼가 동시에 진입할 때, 먼저 공급된 유리 기판이 하적되고 이어서 도입될 유리 기판이 반출되며, 두 개의 각 포크 그리퍼가 바람직하게도 동시에 상대적으로 움직일 수 있다.
이 방법의 바람직한 실시 형태에서는, 유리 기판이 포크 그리퍼에 고정되며, 흡입 효과와 같이 유리 기판이 마찰 결합을 통해 포크 그리퍼에 비 위치적으로 고정되거나 및/또는 유리 기판이 유리 기판의 엣지를 잡는 클램프 그리퍼에 의한 포크 그리퍼에서의 형상 결합을 통해 고정되는 것이 가능하다.
본 발명의 다른 이점 및 특징은 본 발명의 실시예가 상세히 기술되는 하기 설명 및 청구항에 기술된다.
도 1은 유리 기판(2, 2a)이 개별적으로 처리되는 프로세스 스테이션(process station)(1)을 나타낸다. 유리 기판(2, 2a)을 프로세스 스테이션(1)으로 반입하거나 반출하기 위해, 본 발명에 따른 공급 장치(3)가 제공된다. 상기 공급 장치(3)은 아래에서 상세히 설명된다. 유리 기판(2, 2a)은 로봇(4)에 의해 조정되는 듀얼 포크 그리퍼(dual fork gripper)(5)를 통해 저장 카세트(13)(도 6, 도 7a, 도 7b)에서 공급 장치(3)로 전달되고 프로세스 스테이션(1)에서 처리 후 공급장치(3)에서 다시 저장 카세트(13)로 전달된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 로봇(4)에 의해 가이드되는 듀얼 포크 그리퍼(5)의 동작 단계는, 예를 들어 듀얼 포크 그리퍼(5)가 미처리 유리 기판(2a)을 공급 장치(3)으로 전달하고, 이어지는 단계에서 이전에 프로세스 스테이션(1)에서 처리된 유리 기판(2)을 반출한다. (그러나 도 1에 도시한 듀얼 포크 그리퍼(5)의 단계 는, 듀얼 포크 그리퍼(5)가 미처리된 유리 기판(2)을 공급 장치(3)에 전달한 후에, 프로세스 스테이션(1)에서 이미 처리된 유리 기판(2a)을 픽업했고, 이와 거의 동시에 공급 장치(3)에서 꺼낸 것으로 이해할 수도 있다. 그러나 하기 설명은 첫 번째 언급한 이해를 근거로 한다).
도 2 및 도 3a, 도 3b, 도 3c 및 도 3d에 도시된 바와 같이, 본 발명의 듀얼 포크 그리퍼(5)는 베이스 프레임(6)을 포함하는데, 두 개의 개별 포크 그리퍼(7, 7a)가 상하로 배치되어 서로 가까워지게 또는 서로 멀어지게 동작할 수 있도록 이 베이스 프레임에 부착되어 있다. 포크 그리퍼(7, 7a)는 포크 아암(7.1)을 포함하며, 이 포크 아암(7.1)은 서로 일정한 간격으로 배치되고 포크 아암(7.1)이 위치하는 포크 그리퍼(7, 7a)의 하나의 면을 결정한다. 이에 따라 포크 그리퍼(7, 7a)는 결정된 면에 대해 수직 방향으로 서로 상대적으로 이동이 가능하다.
상기 동작을 가능하게 하기 위해 베이스 프레임(6)에는 가이드(8)가 형성되어 있다. 동작은 구동장치(9)에 의해 이루어진다. 구동장치(9)는 전동식, 공압식 또는 유압식 구동장치일 수 있다. 각 포크 그리퍼(7, 7a)에 의해 고정된 면에 대해 수직인 상대적 동작을 발생시키기 위해, 양 듀얼 포크 그리퍼(7, 7a)가 베이스 프레임(6)에 대해 상대적으로 또는 이 두 개의 그리퍼 중 하나가 다른 하나 및 베이스 프레임(6)에 대해 상대적으로 동작할 수 있다. 이러한 경우 플랜지 판을 통해 듀얼 포크 그리퍼(5)가 고정되어 있는 로봇에 의해 균형 동작이 이루어진다. 베이스 프레임(6)에 대한 양측 포크 그리퍼(7, 7a)의 상대적 동작은 분리된 구동장치(9)를 통해 또는 하나의 구동장치와 적합한 결합 메커니즘 또는 적합한 기어를 통해 이루어질 수 있다.
유리 기판의 고정 및 정확한 위치 결정을 위해 포크 그리퍼(7, 7a)의 포크 아암(7.1)에는 흡입컵(suction cup) 또는 이와 유사한 흡입 부재(suction element)(7.2)가 제공되며, 이런 흡입 부재는 적합한 장치를 통해 진공 공급이 가능하다.
도 4 및 도 5a, 5b 및 5c는 프로세스 스테이션(1)에서 유리 기판(2)을 위한 픽업 스테이션으로서의 공급 장치(3)를 나타낸다. 공급 장치(3)는 수직방향으로 배치되는 롤러 컨베이어 형태의 두 개의 이송 장치(12, 12a)를 포함한다. 이 장치도 수직 방향, 즉 롤러 컨베이어(12, 12a)에 의해 정의된 면에 대해 수직으로 이동이 가능하며, 더욱 상세하게는 상부 이송 장치 또는 롤러 컨베이어(12)가 프로세스 스테이션(1) 측 중앙 진입 위치에서 위의 전달 스테이션의 상부로 이동하고, 하부 이송 장치 또는 롤러 컨베이어(12)가 전술한 중앙 진입 위치에서 아래 프로세스 스테이션(1)으로 이동한다. 이송 장치(12, 12a)의 수직 리프팅 동작을 실시하기 위해, 도면에는 도시하지 않은 구동장치가 제공된다. 처리 전 유리 기판의 픽업 및 본 발명에 따라 형성된 듀얼 포크 그리퍼(5)를 통한 처리 후 유리 기판의 하적은 도 6 및 도 7a, 7b 및 7c에 도시한 바와 같이 적재 카세트(13)에서 또는 적재 카세트(13)로 이루어진다.
이송 장치(12a)가 중앙 삽입 위치에 있을 경우, 미처리 유리 기판(2a)의 처리는 다음과 같은 방식으로 이루어진다:
처리된 유리 기판(2a)은 프로세스 스테이션(1)에서 이송 장치(12a)로 전달된 다. 이송 장치(12, 12a)는 동시에 아래로 이동한다. 그 후 이송 장치(12)는 중앙 진입 위치에 접근 가능한 상태에 있게 된다. 듀얼 포크 그리퍼(5)가 공급 장치(3)로 이동한다. 동시에 미처리 유리 기판(2a)이 이송 장치(12)에 하적되고, 처리된 유리 기판(2a)이 이송 장치(12a)로부터 도입된다. 미처리 유리 기판(2a)이 이송 장치(12)에서 프로세스 스테이션(1)으로 전달된다. 듀얼 포크 그리퍼(5)가 처리된 유리 기판(2a)을 공급 장치(3)에서부터 밖으로 반출시키고 유리 기판(2a)을 카세트로 운반한다.
적재 카세트(13)는 수평 방향에서 나란히 그리고 상하로 배치된 고정 바(retaining bar)(14)를 포함하며, 이 고정 바(14) 사이에 유리 기판(2)을 위한 픽업 면 또는 하적 면이 형성된다. 도 7a에 도시한 바와 같이, 원칙적으로 저장 카세트(13)으로의 유리 기판(2, 2a)의 반입 및 반출은 그 정면(15)에서 이루어진다. 적합한 형태의 카세트에서는 도 7b에 도시한 측면을 통해 전달이 이루어진다. 도 8에 도시한 바와 같이, 이런 경우에는 유리 기판이 넓은 면에서 픽업되고 이에 상응하게 이 측에서 공급 장치(3)로 전달되거나 또는 이 측에서 픽업된다. 유리 기판(2)의 넓은 측면을 잡는 것은, 이를 통해 전달 및 반출 시 이송 경로가 단축되고 이로써 사이클 시간이 더욱 단축될 수 있다는 이점을 갖는다.
본 발명의 방법은 다음과 같다:
예를 들어 하부 포크 그리퍼(7a)에서 듀얼 포크 그리퍼를 이용해 적재 카세트(13)에서 미처리 유리 기판을 픽업하고, 포크 그리퍼(7a)에서 흡입컵(7.2)을 이용해 상기 미처리 유리 기판을 고정한 후에, 로봇(4)이 듀얼 포크 그리퍼(5)를 통 해 유리 기판(2a)을 공급 장치(3)로 운반하고, 도 1에 도시한 바와 같이 상부 이송 장치(12)와 하부 이송 장치(12a) 사이, 즉 하부 이송 장치(12a) 위의 공급 장치(3)으로 유리 기판(2a)을 안내한다. 이때 두 개의 각 포크 그리퍼(7, 7a)는 상당히 서로 근접된 상태이며(상부 포크 그리퍼(7)가 유리 기판(2a)에 접촉하지는 않음), 따라서 상부 포크 그리퍼(7)가 공급 장치(3)로 진입할 수 있는데, 더욱 상세하게는 그곳에 위치하고 있는 기 처리된 유리 기판(2) 아래로 진입할 수 있다.
듀얼 포크 그리퍼(5)가 공급 장치(3)에 완전히 진입한 후에, 공급된 유리 기판(2a)이 이송 장치(12a)에 놓일 때까지 하부 포크 그리퍼(7a)가 하강한다. 상부 포크 그리퍼가 처리된 유리 기판(2)의 하단면을 잡고 유리 기판(2a)을 상부 이송 장치(12)에서부터 위로 올릴 때까지, 상부 포크 그리퍼(7)가 위로 상승한다. 중요한 것인 이 동작이 동시에 이루어질 수 있다는 것이다. 전술한 바와 같이 하부 포크 그리퍼의 하강 동작 및 상부 포크 그리퍼의 상승 동작이 듀얼 포크 그리퍼의 완전히 정지된 베이스 프레임 및 정지된 로봇에서 이루어질 수 있거나 또는 포크 그리퍼(7, 7a) 중 하나의 동작 및 듀얼 포크 그리퍼(5)의 베이스 프레임(6)에서의 로봇의 상응하는 균형 동작을 통해 이루어질 수 있다.
그 후, 로봇(4)이 듀얼 포크 그리퍼(5)를 통해 공급 장치(3)에서 유리 기판(2)을 인출하고 적재 카세트(13)로 이동한다. 여기에서 로봇이 유리 기판(2)을 적재 카세트(13)에 삽입하면, 포크 그리퍼(7, 7a)가 그 멀어지게 이동된 위치에서 남게 되므로, 적재 카세트(13)로의 진입 시 포크 그리퍼(7)가 유리 기판(2)을 다음 단계에서 픽업되는 고정 바(14) 위로 진입시키나, 동시에 하부 포크 그리퍼(7)는 진입 시, 유리 기판(2)이 진입되는 면 아래에 있는 다른 유리 기판(2a)의 아래로 이동하게 되며, 진입 시 서로 접촉하지 않는다.　 포크 그리퍼(7, 7a)가 적재 카세트(13)로 완전히 진입된 후에는, 진입된 유리 기판(2)이 상부 포크 그리퍼(7)의 하강을 통해 대응하는 고정 바(14)에 내려지고, 그 아래에 있는 미처리 유리 기판(2a)이 포크 그리퍼(7a)의 상승을 통해 위로 올려지므로, 듀얼 포크 그리퍼(5)가 함께 다시 적재 카세트(13)에서부터 밖으로 반출되고, 유리 기판을 공급 장치(3)로 이동시킬 수 있다. 그러면, 듀얼 포크 그리퍼(5)는 유리 기판을 다시 공급 장치에 전달하고 처리 유리 기판(2)을 전술한 방식으로 픽업하게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 유리 기판의 픽업 및 전달 장치 및 이를 이용하는 유리 기판의 픽업 및 전달 방법을 이용하면, 그리퍼 동작 및 이송 공정을 최소화할 수 있으며, 그로부터 사이클 시간의 감소 및 생산성의 증가를 달성할 수 있다.

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  11. 전달 스테이션 또한 저장 카세트와 같은 픽업 스테이션으로, 그리고 상기 픽업 스테이션으로부터 유리 기판을 픽업 및 전달하기 위한 방법에 있어서,
    상하로 배치되며 그 연장면에 대해 수직으로 서로 상대적으로 이동 가능한 두 개의 포크 그리퍼를 구비한 듀얼 포크 그리퍼(5)가 두 개 이상의 하적면을 포함하는 상기 픽업 스테이션으로 진입한 후,
    상기 두 개의 포크 그리퍼의 연장면에 대해 수직 방향에서 각 포크 그리퍼의 상대적 동작을 통해 상기 유리 기판을 상기 픽업 스테이션에 전달하고, 상기 픽업 스테이션에서 다른 유리 기판을 픽업하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 픽업 및 전달 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    하나의 유리 기판이 상기 픽업 스테이션에 하적되고, 다른 유리 기판이 동시에 상기 픽업 스테이션에서 픽업되는 것을 특징으로 하는 상기 유리 기판의 픽업 및 전달 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 두개의 포크 그리퍼가 동시에 상기 픽업 스테이션으로 진입될 때, 기 운반된 유리 기판이 하적되고, 그 후 픽업 대상 유리 기판이 픽업되거나, 혹은 반대로 픽업 대상 유리 기판이 픽업되고, 기 운반된 유리 기판이 하적되는 것을 특징으로 하는 상기 유리 기판의 픽업 및 전달 방법.
  14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유리 기판이 상기 포크 그리퍼에 고정되는 것을 특징으로 하는 상기 유리 기판의 픽업 및 전달 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 유리 기판이 마찰 결합을 통해 상기 포크 그리퍼에 고정되는 것을 특징으로 하는 상기 유리 기판의 픽업 및 전달 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 유리 기판이 흡입 효과를 통해 상기 포크 그리퍼에 고정되는 것을 특징으로 하는 상기 유리 기판의 픽업 및 전달 방법.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 유리 기판이 상기 유리 기판의 가장자리를 잡는 클램프 그리퍼를 통해 상기 포크 그리퍼에 고정되는 것을 특징으로 하는 상기 유리 기판의 픽업 및 전달 방법.
  18. 제 11 항의 유리 기판의 픽업 및 전달 방법을 실시하기 위한 것으로,
    두 개의 상하로 배치된 개별 포크 그리퍼를 구비한 듀얼 포크 그리퍼(5)를 포함하며, 상기 두개의 포크 그리퍼(7, 7a)들이 그 연장면에 대해 수직 방향에서 서로 상대적으로 이동 가능하고,
    상기 두개의 포크 그리퍼(7, 7a) 중 하나의 포크 그리퍼(7)가 다른 포크 그리퍼(7a) 및 상기 두개의 포크 그리퍼(7, 7a)를 운반하는 베이스 프레임(6)에 대해 상대적으로 이동이 가능하며, 그에 대해 상대적으로 이동 가능한 상기 포크 그리퍼(7)의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 균형 동작을 실시하기 위해 상기 베이스 프레임(6)이 구성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 픽업 및 전달 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 포크 그리퍼(7, 7a)가 유리 기판(2) 고정 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 유리 기판의 픽업 및 전달 장치.
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