KR101366632B1 - 유전체 세라믹 및 적층 세라믹 콘덴서 - Google Patents

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Abstract

유전체 세라믹층이 두께 1㎛ 미만으로 박층화되면서 높은 전계강도가 부여되어도 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서를 제공한다.
적층 세라믹 콘덴서(1)의 유전체 세라믹층(2)을 구성하는 유전체 세라믹으로서, (Ba1 -x/100Cax /100)mTiO3(단, 0≤x≤20)로 표시되는 화합물을 주성분으로 하고, aMg-bSi-cMn-dR(R은 La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 및 Y에서 선택되는 적어도 1종. a, b, c 및 d[몰부]는 상기 주성분 100몰부에 대하여 각각 0.1<a≤20.0, 0.5<b≤20.0, 0.1<c≤10.0 및 1.0<d≤30.0이다.)을 부성분으로서 포함하는 것을 이용한다. 이 유전체 세라믹을 소성하여 얻어진 소결체에 있어서의 결정 입자의 평균 입경은 20nm 이상 100nm 미만이다.

Description

유전체 세라믹 및 적층 세라믹 콘덴서{DIELECTRIC CERAMIC AND LAMINATED CERAMIC CAPACITOR}
이 발명은 유전체 세라믹 및 적층 세라믹 콘덴서에 관한 것으로, 특히 박층 대용량형 적층 세라믹 콘덴서에 있어서 이용하기에 적합한 유전체 세라믹 및 이 유전체 세라믹을 이용해서 구성되는 적층 세라믹 콘덴서에 관한 것이다.
적층 세라믹 콘덴서의 소형화 및 대용량화의 요구를 만족하는 유효한 수단 중 하나로서, 적층 세라믹 콘덴서에 구비되는 유전체 세라믹층의 박층화를 도모하는 방법이 있다. 그 때문에 최근에는 유전체 세라믹층의 두께를 예를 들면 1㎛ 미만으로까지 얇게 하는 것이 요구되고 있다. 그러나 유전체 세라믹층의 박층화가 진행됨에 따라, 유전체 세라믹층 1층당 걸리는 전계강도가 상대적으로 높아진다. 따라서 이용되는 유전체 세라믹에 대하여, 전압 인가시의 신뢰성의 향상, 보다 특정적으로는, 특히 고온 부하 시험에서의 수명 특성의 향상이 요구된다.
상술한 신뢰성의 향상을 도모하기 위해서는 유전체 세라믹에 있어서의 결정 입자의 입계를 많이 함으로써, 입계 면적을 크게 하는 것이 유효하다는 것이 알려져 있다. 입계 면적을 크게 하기 위해서는 결정 입자의 입경을 작게 할 필요가 있다.
이 발명에 있어서 흥미 있는 유전체 세라믹으로서, 예를 들면 일본국 공개특허공보 2005-145791호(특허문헌 1)에 기재된 것이 있다.
특허문헌 1에는 주성분 원료 및 부성분 원료를 소성하는 공정을 가지는 제조방법으로 제조되는 유전체 세라믹 조성물이 기재되어 있다. 보다 상세하게는, 소성하기 전의 주성분 원료로서, ABO3로 표시되는 페로브스카이트(perovskite)형 결정 구조인 티탄산바륨 원료 분말로서, A 사이트 성분과 B 사이트 성분의 비 A/B가 몰비로 1.006≤A/B≤1.035, 비표면적이 8∼50㎡/g인 원료 분말을 이용하는, 그러한 제조방법으로 제조되는 유전체 세라믹 조성물이 기재되어 있다.
특허문헌 1에 의하면, 상기 유전체 세라믹 조성물은 적층 세라믹 콘덴서의 유전체 세라믹층으로서 사용되는 것으로, 미세한 입자로 구성되고, 또한 콘덴서를 박층화했을 경우에도 신뢰성이 높고 양호한 온도 특성을 가지며, 고온 부하 수명 특성이 뛰어나다고 되어 있다.
그러나 특허문헌 1에 기재되는 실시예에서는 그 표 1 및 표 3에 나타나 있는 바와 같이, 2.3∼2.6㎛의 범위에 있는 유전체 세라믹층의 두께가 개시되어 있는 것에 불과하다. 또한 유전체 세라믹의 소결체에 있어서의 결정 입자의 평균 입경으로서는, 상기 표 1 및 표 3에 있어서 0.141∼0.284㎛의 범위의 수치가 개시되어 있다.
즉, 특허문헌 1에서는 유전체 세라믹층의 두께가 1㎛ 미만인 경우에 대해서는 전혀 기재되어 있지 않다. 따라서 특허문헌 1에 기재되는 유전체 세라믹이, 유전체 세라믹층의 두께가 1㎛ 미만이 되어도 여전히 상술한 바와 같이 신뢰성이 높고, 양호한 온도 특성을 가지며, 고온 부하 수명 특성이 뛰어날지 어떨지는 불분명하다. 오히려 유전체 세라믹층의 두께가 1㎛ 미만이 되었을 때에는 신뢰성, 특히 고온 부하 수명 특성이 열화할 가능성이 높다고 추측된다.
일본국 공개특허공보 2005-145791호
그리하여 이 발명의 목적은 유전체 세라믹층의 박층화가 진행되어도, 높은 신뢰성을 실현할 수 있는 유전체 세라믹 및 이 유전체 세라믹을 이용해서 구성되는 적층 세라믹 콘덴서를 제공하고자 하는 것이다.
이 발명에 따른 유전체 세라믹은 일반식: (Ba1 -x/100Cax /100)mTiO3(단, 0≤x≤20)로 표시되는 화합물을 주성분으로 하고, aMg-bSi-cMn-dR(단, R은 La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 및 Y에서 선택되는 적어도 1종이고, a, b, c 및 d[몰부]가 상기 주성분 100몰부에 대하여 각각 0.1<a≤20.0, 0.5<b≤20.0, 0.1<c≤10.0 및 1.0<d≤30.0의 각 조건을 만족함.)을 부성분으로서 포함하면서, 당해 유전체 세라믹을 소성하여 얻어진 소결체에 있어서의 결정 입자의 평균 입경이 20nm 이상 100nm 미만인 것을 특징으로 하고 있다.
이 발명은 또한, 적층된 복수의 유전체 세라믹층, 및 유전체 세라믹층간의 특정한 계면을 따라 형성된 복수의 내부전극을 가지고 구성되는 콘덴서 본체와, 콘덴서 본체의 외표면상의 서로 다른 위치에 형성되면서, 내부전극 중 특정한 것에 전기적으로 접속되는, 복수의 외부전극을 구비하는 적층 세라믹 콘덴서에도 관한다.
이 발명에 따른 적층 세라믹 콘덴서는 유전체 세라믹층이, 두께 1㎛ 미만이면서, 상술한 이 발명에 따른 유전체 세라믹의 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다.
이 발명에 따른 유전체 세라믹에 의하면, 상기와 같은 조성을 가지면서, 그 소결체에 있어서의 결정 입자의 평균 입경을 상기와 같이 선택함으로써, 절연성이 강한 입계가 형성되고, 또한 그 입계를 소결체 중에 균일하게 어느 일정한 면적을 가지고 분산시킬 수 있다.
그 때문에 이 발명에 따른 유전체 세라믹을 가지고 적층 세라믹 콘덴서를 구성하면, 유전체 세라믹층의 두께가 1㎛ 미만으로 박층화되어도 신뢰성, 특히 수명 특성이 뛰어난 적층 세라믹 콘덴서를 얻을 수 있다.
이 발명은 상술한 바와 같은 조성을 가지는 유전체 세라믹에 관한 것이며, 특히 그 결정 입자의 평균 입경이 100nm를 밑돌았을 때, 상술한 바와 같은 수명 특성의 향상 효과가 현저하게 나타나는 것을 발견한 점에서 큰 의의가 있다.
도 1은 이 발명에 따른 유전체 세라믹을 이용해서 구성되는 적층 세라믹 콘덴서(1)를 도해적으로 나타내는 단면도이다.
도 1을 참조하여, 먼저 이 발명에 따른 유전체 세라믹이 적용되는 적층 세라믹 콘덴서(1)에 대하여 설명한다.
적층 세라믹 콘덴서(1)는 적층된 복수의 유전체 세라믹층(2)과 유전체 세라믹층(2)간의 특정한 계면을 따라 형성되는 복수의 내부전극(3 및 4)을 가지고 구성되는 콘덴서 본체(5)를 구비하고 있다. 내부전극(3 및 4)은 예를 들면 Ni를 주성분으로 하고 있다.
콘덴서 본체(5)의 외표면상의 서로 다른 위치에는 제1 및 제2 외부전극(6 및 7)이 형성된다. 외부전극(6 및 7)은 예를 들면 Ag 또는 Cu를 주성분으로 하고 있다. 도 1에 나타낸 적층 세라믹 콘덴서(1)에서는, 제1 및 제2 외부전극(6 및 7)은 콘덴서 본체(5)의 서로 대향하는 각 단면(端面)상에 형성된다. 내부전극(3 및 4)은 제1 외부전극(6)에 전기적으로 접속되는 복수의 제1 내부전극(3)과 제2 외부전극(7)에 전기적으로 접속되는 복수의 제2 내부전극(4)이 있고, 이들 제1 및 제2 내부전극(3 및 4)은 적층방향으로 봤을 때 번갈아 배치되어 있다.
또한 적층 세라믹 콘덴서(1)는 2개의 외부전극(6 및 7)을 구비하는 2단자형이어도, 다수의 외부전극을 구비하는 다단자형이어도 좋다.
이러한 적층 세라믹 콘덴서(1)에 있어서, 서로 대향하는 내부전극(3 및 4) 사이에 위치하는 유전체 세라믹층(2)의 두께는 1㎛ 미만이 된다.
또한 유전체 세라믹층(2)은 일반식: (Ba1 -x/100Cax /100)mTiO3(단, 0≤x≤20)로 표시되는 화합물을 주성분으로 하고, aMg-bSi-cMn-dR(단, R은 La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 및 Y에서 선택되는 적어도 1종이고, a, b, c 및 d[몰부]가 상기 주성분 100몰부에 대하여 각각 0.1<a≤20.0, 0.5<b≤20.0, 0.1<c≤10.0 및 1.0<d≤30.0의 각 조건을 만족함.)을 부성분으로서 포함하는, 유전체 세라믹의 소결체로 구성된다. 그리고 이 유전체 세라믹의 소결체에 있어서의 결정 입자의 평균 입경은 20nm 이상 100nm 미만이 되도록 한다.
또한 (Ba, Ca)/Ti비(m)는 적절히 설정되며, 바람직하게는 0.99∼1.04의 범위로 선택된다.
유전체 세라믹을 위한 원료를 제작할 때에는 먼저 주성분인 (Ba1 -x/100Cax/100)mTiO3 분말이 제작된다. 그 때문에 주성분의 구성 원소인 Ba, Ca 및 Ti를 각각 포함하는 산화물, 탄산물, 염화물, 금속 유기 화합물 등의 화합물 분말이 소정 비율로 혼합되어 가소(假燒;calcination)되는 고상 합성법이 적용된다. 또한 상술한 고상 합성법 대신에, 수열(水熱) 합성법, 가수 분해법 등이 적용되어도 된다. 주성분 분말은 평균 입경 10nm 정도의 미립으로 한다.
한편, 부성분으로서의 R, Si, Mn 및 R(단, R은 La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 및 Y에서 선택되는 적어도 1종.)의 각각을 포함하는 산화물, 탄산물, 염화물, 금속 유기 화합물 등의 화합물 분말이 준비된다. 그리고 이들 부성분 분말이 소정의 비율로 상기 주성분 분말과 혼합됨으로써 유전체 세라믹을 위한 원료 분말이 얻어진다.
적층 세라믹 콘덴서(1)를 제조하기 위해, 상기와 같이 해서 얻어진 유전체 세라믹 원료 분말을 이용해서 세라믹 슬러리를 제작하고, 이 세라믹 슬러리로 세라믹 그린시트를 성형하여 이 복수장의 세라믹 그린시트들을 적층함으로써 콘덴서 본체(5)가 되어야 할 소성 전의 적층체를 얻고, 이 소성 전의 적층체를 소성하는 공정이 실시된다. 이 소성 전의 적층체를 소성하는 공정에 있어서, 상술한 바와 같이 배합된 유전체 세라믹 원료 분말이 소성되어, 소결된 유전체 세라믹으로 이루어지는 유전체 세라믹층(2)이 얻어진다.
이하에, 이 발명에 기초하여 실시한 실험예에 대하여 설명한다.
[실험예 1]
(A)유전체 세라믹 원료의 제작
출발 원료로서, 미립의 BaCO3, CaCO3 및 TiO2의 각 분말을 준비하였다. 다음으로 이들 분말을 주성분인 (Ba1 -x/100Cax /100)1.01TiO3의 조성이 되도록 칭량한 후 볼밀로 혼합하였다. 여기서 Ca양(x)에 대해서는 표 1의 'Ca양x'란에 나타내는 대로 하였다.
다음으로 상기 혼합 분말을 가소 합성함으로써 (Ba1 -x/100Cax /100)1.01TiO3 주성분 분말을 얻었다. 얻어진 주성분 분말의 평균 입경은 10nm 정도였다. 또한 XRD에 의하면, 주성분 분말에서의 미반응물은 검출 수준을 밑돌았다. 즉, 주성분 분말은 매우 미립임에도 불구하고 합성도가 높은 분말임이 확인되었다.
한편, 부성분으로서의 MgO, MnCO3, SiO2, 및 R2O3의 각 분말을 준비하였다. 또한 R2O3 분말로서는 La2O3, Ce2O3, Pr2O3, Nd2O3, Sm2O3, Eu2O3, Gd2O3, Tb2O3, Dy2O3, Ho2O3, Er2O3, Tm2O3, Yb2O3, Lu2O3 및 Y2O3의 각 분말을 준비하였다.
다음으로 R2O3 분말에 대해서는 표 1의 'R 성분 내역'란에 나타내는 바와 같이 선택하면서, 상기 주성분 100몰부에 대하여, 상기 부성분인 MgO, MnCO3, SiO2, 및 R2O3의 각 분말을 표 1의 'Mg양(a)', 'Si양(b)', 'Mn양(c)' 및 'R양(d)'에 나타내는 몰비율로 배합하고, 물을 매체로 해서 볼밀로 10시간 혼합하였다. 그 후, 증발 건조에 의해 유전체 세라믹 원료 분말을 얻었다.
Figure 112011012990276-pat00001
(B)적층 세라믹 콘덴서의 제작
상기 세라믹 원료 분말에 폴리비닐부티랄계 바인더 및 에탄올을 첨가하고, 볼밀로 24시간 습식 혼합한 후 필터링을 실시함으로써, 소정 범위 내의 입경 이외의 입경을 가지는 분말을 배제한 세라믹 슬러리를 제작하였다.
다음으로 이 세라믹 슬러리를 립 방식(RIP method)에 의해 시트형상으로 성형하여 세라믹 그린시트를 얻었다. 세라믹 그린시트의 두께는 후술하는 바와 같이, 소성 후에 있어서 표 2의 '세라믹층 두께'란에 나타내는 대로 하였다.
다음으로 상기 세라믹 그린시트상에 Ni를 주체로 하는 도전성 페이스트를 스크린 인쇄하여, 내부전극이 되어야 할 도전성 페이스트막을 형성하였다.
다음으로 도전성 페이스트막이 형성된 세라믹 그린시트를, 도전성 페이스트막이 인출되어 있는 측이 서로 다르도록 복수장 적층하여, 콘덴서 본체가 되어야 할 소성 전의 적층체를 얻었다.
다음으로 소성 전의 적층체를 N2 분위기 중에서 300℃의 온도로 가열하여 바인더를 연소시킨 후 50℃/분의 속도로 승온하고, 산소 분압이 10-10MPa인 H2-N2-H2O 가스로 이루어지는 환원성 분위기 중에서 1200℃의 온도로 5시간 소성하여 소결된 콘덴서 본체를 얻었다.
다음으로 소성 후의 콘덴서 본체의 양 단면에 B2O3-Li2O-SiO2-BaO계 유리 프릿(glass frit)을 함유하는 Cu 페이스트를 도포하고 N2 분위기 중에서 800℃의 온도로 베이킹하여, 내부전극과 전기적으로 접속된 외부전극을 형성하여, 시료가 되는 적층 세라믹 콘덴서를 얻었다.
이렇게 해서 얻어진 적층 세라믹 콘덴서의 외형 치수는 길이 0.9mm, 폭 1.8mm, 두께 1.0mm이고, 유효 유전체 세라믹층의 층수는 100층이며, 세라믹층 1층당 내부전극의 대향면적은 1.8㎟이었다. 내부전극간에 개재되는 유전체 세라믹층의 두께는 표 2의 '세라믹층 두께'에 나타내는 대로였다.
(C)세라믹 구조 분석 및 특성 평가
[평균 입경]
각 시료에 따른 적층 세라믹 콘덴서를 파단하여 1000℃의 온도로 서멀 에칭(thermal etching)을 실시하고, 파단면을 주사형 현미경을 이용해서 관찰하였다. 그리고 얻어진 관찰상에 나타난 결정 입자에 대하여 화상 해석을 실시하여, 결정 입자의 원상당 직경을 입경으로 해서 결정 입자의 입경을 측정하였다. 여기서, 각 시료에 대하여 300개의 결정 입자의 입경을 측정하고 그 평균값을 구하였다.
[고온 부하 수명 시험]
온도 105℃로, 각 시료에 따른 적층 세라믹 콘덴서에 6.3kV/mm 및 12.6kV/mm의 각 전계강도가 되도록 DC 전압을 인가하는 고온 부하 수명 시험을 실시하였다. 여기서 각 시료에 대하여 100개의 시료에 대하여 고온 부하 수명 시험을 실시하여, 1000시간 경과할 때까지 절연 저항값이 100㏀ 이하가 된 시료를 불량으로 판정하고, 시료수 100개 중의 불량 개수를 구하였다.
이상의 결과가 표 2에 나타나 있다.
Figure 112011012990276-pat00002
표 1 및 표 2에서 시료번호에 *을 붙인 것은 이 발명의 범위 외의 시료이다.
(D)고찰
시료 1∼25 모두 세라믹층 두께가 1㎛ 이하였다.
이 발명의 범위 내에 있는 시료 1∼5 및 7∼14에 의하면, 평균 입경이 20nm 이상 100nm 미만으로 양호한 신뢰성을 나타냈다. 특히 시료 2∼5 및 8∼12 및 14에서는 전계강도 6.3kV/mm하뿐만 아니라 전계강도 12.6kV/mm하에서도 고온 부하 수명 시험에서의 불량 개수가 0으로 높은 신뢰성을 나타냈다. 이는 시료 2∼5 및 8∼12 및 14에서는 주성분이 (Ba, Ca)TiO3이므로 결정 입자가 미소해져도 절연성이 뛰어난 결정 입자가 만들어지기 때문이라고 추측된다.
이들에 반해 시료 6에서는 신뢰성이 낮았다. 이는 Ca양(x)이 20몰을 넘어, 소성에 의해 치밀화되기 어려워져 기계적 강도가 떨어졌기 때문이라고 추측된다.
시료 15∼17에서도 신뢰성이 낮았다. 이는 평균 입경이 100nm 이상이었기 때문이라고 추측된다.
시료 18에서도 신뢰성이 낮았다. 이는 Mg양(a)이 20.0몰을 넘어 편석이 발생했기 때문이라고 추측된다. 시료 24에서도 신뢰성이 낮았다. 이는 R양(d)이 30.0몰을 넘어 편석이 발생했기 때문이라고 추측된다.
시료 19에서도 신뢰성이 낮았다. 이는 Mg양(a)이 0.1몰 미만으로, 입성장을 억제할 수 없었기 때문이라고 추측된다. 시료 25에서도 신뢰성이 낮았다. 이는 R양(d)이 1.0몰 미만으로, 입성장을 억제할 수 없었기 때문이라고 추측된다.
시료 20에서도 신뢰성이 낮았다. 이는 Si양(b)이 20.0몰을 넘어 편석이 발생했기 때문이라고 추측된다. 시료 21에서도 신뢰성이 낮았다. 이는 Si양(b)이 0.5몰 이하로, Ba와 충분한 액상을 만들 수 없어 치밀화가 곤란해졌기 때문이라고 추측된다.
시료 22에서도 신뢰성이 낮았다. 이는 Mn양(c)이 10.0몰을 넘어, 전자를 방출하여 초기 IR이 내려갔기 때문이라고 추측된다. 시료 23에서도 신뢰성이 낮았다. 이는 Mn양(c)이 0.1몰 이하로, 소결성이 악화되어 기계적 강도가 내려갔기 때문이라고 추측된다.
[실험예 2]
실험예 2에서는 불순물의 영향을 평가하였다.
원료 제작 등 적층 세라믹 콘덴서의 제조 과정에 있어서, Sr, Zr, Hf, Zn, Na, Ag, Pd 및 Ni 등이 유전체 세라믹 중에 불순물로서 혼입될 가능성이 있어, 이들이 결정 입자 내 및 결정 입자 사이를 차지하는 결정 입계에 존재할 가능성이 있다. 또한 적층 세라믹 콘덴서의 소성 공정 등에서, 내부전극 성분이 유전체 세라믹 중의 결정 입자 내 및 결정 입자 사이를 차지하는 결정 입계에 확산하여 존재할 가능성이 있다. 실험예 2는 이 불순물들의 영향을 평가하고자 하는 것이다.
(A)유전체 세라믹 원료의 제작
조성식: 100(Ba0 .95Ca0 .05)TiO3+2.0MgO+1.8SiO2+1.0MnO+8.0DyO3 /2로 표시되는 조성에 표 3에 나타낸 불순물 성분을 첨가한 것을 제외하고, 실험예 1의 경우와 동일한 조작을 거쳐 유전체 세라믹 원료를 얻었다.
Figure 112011012990276-pat00003
(B)적층 세라믹 콘덴서의 제작
상기 유전체 세라믹 원료를 이용해서, 실험예 1의 경우와 동일하게 하여 각 시료에 따른 적층 세라믹 콘덴서를 제작하였다. 내부전극간에 개재되는 유전체 세라믹층의 두께는 표 4의 '세라믹층 두께'에 나타내는 대로였다.
(C)세라믹 구조 분석 및 특성 평가
실험예 1의 경우와 동일하게 해서 세라믹 구조 분석 및 특성 평가를 행하였다. 그 결과가 표 4에 나타나 있다.
Figure 112011012990276-pat00004
(D)고찰
표 4로부터 알 수 있듯이, 불순물이 혼입된 시료 101∼110은 모두 세라믹층 두께가 1㎛ 이하이고, 평균 입경이 20nm 이상 100nm 미만이며, 전계강도 6.3kV/mm 및 12.6kV/mm의 쌍방에 있어서, 고온 부하 수명 시험에서의 불량 개수가 0으로 높은 신뢰성을 나타냈다.
1 적층 세라믹 콘덴서
2 유전체 세라믹층
3, 4 내부전극
5 콘덴서 본체
6, 7 외부전극

Claims (2)

  1. 일반식: (Ba1-x/100Cax/100)mTiO3(단, 0≤x≤20)로 표시되는 화합물을 포함하고,
    aMg-bSi-cMn-dR(단, R은 La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 및 Y에서 선택되는 적어도 1종이고, a, b, c 및 d[몰부]가 상기 화합물 100몰부에 대하여 각각 0.1<a≤20.0, 0.5<b≤20.0, 0.1<c≤10.0 및 1.0<d≤30.0의 각 조건을 만족함.)을 더 포함하는 유전체 세라믹으로서,
    또한 상기 유전체 세라믹을 소성하여 얻어진 유전체 세라믹의 소결체에 있어서의 결정 입자의 평균 입경이 20nm 이상 100nm 미만인 것을 특징으로 하는 유전체 세라믹.
  2. 적층된 복수의 유전체 세라믹층, 및 상기 유전체 세라믹층간의 특정한 계면을 따라 형성된 복수의 내부전극을 가지고 구성되는 콘덴서 본체와,
    상기 콘덴서 본체의 외표면상의 서로 다른 위치에 형성되면서, 상기 내부전극 중 특정한 것에 전기적으로 접속되는 복수의 외부전극을 포함하고,
    상기 유전체 세라믹층은 두께가 1㎛ 미만이면서, 제1항에 기재된 유전체 세라믹의 소결체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서.
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