KR101343894B1 - 툴 이용을 위한 버퍼 스토리지 및 이송 장치 - Google Patents

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주니어 조셉 존 파툴라
루멘 일리에브 데야노브
파블로 곤잘레스
로버트 칼슨
존 브룩스 그린
케빈 추
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

이송 기구는 제작 설비에서의 버퍼 내에서 워크피스 캐리어를 이송하도록 구성되고, 2개의 레일 상에서 이동하도록 구성된 트랜스포터를 포함하며, 트랜스포터는 (i) 하나 이상의 워크피스 캐리어를 승강시키도록 구성된 평벨트 호이스팅 기구, 및 (ⅱ) 하나 이상의 워크피스 캐리어를 캡춰링하고 릴리징하도록 구성된 그리퍼 기구를 포함한다.

Description

툴 이용을 위한 버퍼 스토리지 및 이송 장치{BUFFERED STORAGE AND TRANSPORT DEVICE FOR TOOL UTILIZATION}
우선권 주장
본 출원은 전체 내용이 참고로 여기에 통합되어 있는 2009년 7월 31일에 출원된 미국 가특허 출원 61/273,139에 대한 35 U.S.C. §119(e) 하의 우선권을 주장한다.
본 특허 출원은 일반적으로 오버헤드 이송 시스템(OHT)에서의 워크피스 컨테이너의 버퍼 스토리지 및 이송에 관한 것이다.
이송 장치(예컨대, 로봇 팔)는 OHT에서 선반과 로드 포트(load port)에 액세스하기 위해 수직 방향으로 레일 상에서 이동하도록 구성된다. 이송 장치는 선반 및 로드 포트의 안과 밖으로 컨테이너를 승강시키고 배치시키는 크레인을 포함할 수 있다.
이송 기구는 제작 설비에서의 버퍼 내에서 워크피스 캐리어(work piece carrier)를 이송하도록 구성되며, 2개의 레일 상에서 이동하도록 구성되며, (i) 상기 워크피스 캐리어를 승강시키도록 구성된 호이스팅 기구(hoist mechanism) 및 (ⅱ) 상기 워크피스 캐리어를 캡춰링(capturing)하고 릴리징(releasing)하도록 구성된 그리퍼 기구(gripper mechanism)를 포함하는 트랜스포터, 하나 이상의 워크피스를 저장하도록 구성된 워크피스 컨테이너, 상기 워크피스 컨테이너를 유지하도록 구성되고, 오버헤드 이송 차량과의 워크피스 컨테이너 교환을 위해 구성된 하나 이상의 스토리지 선반과, 트랜스포터가 이동하는 로드 포트 위의 베이스와 각 선반 위에 장착된 레일과, 레벨 사이에서 트랜스포터를 이동시키도록 구성된 엘리베이터를 갖는 둘러싸인 프레임으로서, 상기 엘리베이터가 레벨 사이의 이동 동안 워크피스 컨테이너와 함께 트랜스포터를 지지하기 위해 2개의 레일을 갖는 캐리지를 구비하고, 각 선반 위와 로드 포트 위의 프레임의 베이스에 위치한 장착 레일과 캐리지 레일을 일직선으로 하기 위한 정렬 능력을 가지는, 둘러싸인 프레임, 프로세스 툴의 하나 이상의 로드 포트 위에서 둘러싸인 프레임을 승강시키도록 구성된 프레임 지지체, 및 상기 트랜스포터에 명령하여 상기 워크피스 컨테이너를 이송시킨 상태에서 선반과 로드 포트 위치 사이에서 이동시키도록 하고, 상기 엘리베이터에 명령하여 레벨로부터 레벨로 상기 트랜스포터를 이동시키도록 하고, 엘리베이터, 트랜스포터, 및 워크피스 컨테이너의 이동을 동기화하고, 상기 제작 설비 내에서 워크피스 컨테이너의 이동을 관리하는 워크피스 컨테이너 이동 시스템과 함께 명령을 교환하도록 구성된 제어 기구를 포함한다.
본 요약부를 포함하는 본 특허 출원에 기재된 2개 이상의 특징은 본 특허 출원에 특별히 기재되지 않은 실시형태를 구성하도록 조합될 수 있다.
하나 이상의 상세한 실시예는 첨부 도면과 이하 상세한 설명에 설명된다. 또한, 특성, 실시형태, 및 이점은 상세한 설명, 도면, 및 청구범위로부터 명확해질 것이다.
도 1은 버퍼의 사시도이다.
도 2는 상부 위치에서 엘리베이터를 도시하는 백패널이 제거된 후측으로부터의 버퍼의 사시도이다.
도 3은 저부 위치에서 엘리베이터를 도시하는 백패널이 제거된 후측으로부터의 버퍼의 사시도이다.
도 4는 백패널이 부착된 후측으로부터의 버퍼의 사시도이다.
도 5는 셔터가 폐쇄된 저면으로부터의 버퍼의 사시도이다.
도 6은 셔터가 개방된 저면으로부터의 버퍼의 사시도이다.
도 7은 배치 및 인체 감지 센서 기구의 사시도이다.
도 8은 배치 및 인체 감지 센서 어레이의 사시도이다.
도 9는 배치 및 인체 감지 센서의 접촉 패드의 사시도이다.
도 10은 배치 및 인체 감지 센서의 접촉 패드를 통한 단면도이다.
도 11은 워크피스 컨테이너를 운반하도록 연장된 그리퍼를 갖는 이송 장치의 사시도이다.
도 12는 3개의 로드 포트 위의 OHT 레일로부터 메달린 버퍼의 사시도이다.
도 13은 Y축 조정되는 OHT 레일로부터 메달린 버퍼의 사시도이다.
도 14는 바닥으로부터 지지된 버퍼의 사시도이다.
도 15는 4 또는 5 로드 포트에 대한 범위를 제공하는 선택적인 사이드 날개(side wing) 및 플로어 스탠드(floor stand)를 갖는 버퍼의 사시도이다.
도 16은 대안의 선택적인 사이드 날개를 갖는 버퍼의 사시도이다.
도 17은 제작 설비 공정 통로의 평면도이다.
도 18은 선택적인 사이드 날개를 갖는 버퍼의 사시도이다.
도 19는 버퍼의 엘리베이터 기구의 사시도이다.
도 20은 이송 장치의 횡단면의 평면 사시도이다.
도 21은 이송 장치의 횡단면의 저면 사시도이다.
도 22는 그리퍼 기구(gripper mechanism)의 평면 사시도이다.
도 23은 그리퍼 기구의 상세한 평면 사시도이다.
도 24는 이송 장치의 홈 센서의 사시도이다.
도 25는 커버가 제거된 이송 장치의 사시도이다.
도 26은 이송 장치의 호이스팅 기구(hoist mechanism)의 사시도이다.
도 27은 이송 장치의 권취 스프링 기구의 사시도이다.
도 28은 인터록 암을 갖는 버퍼의 사시도이다.
도 29는 블록킹 포지션(blocked position)에서의 버퍼 인터록 암(buffer interlock arm) 및 캠의 상세한 사시도이다.
도 30은 언블록킹 포지션(unblocked position)에서의 버퍼 인터록 암 및 캠의 상세한 사시도이다.
도 31은 컨테이너에 접근하는 그리퍼를 갖는 워크피스 컨테이너 센서 기구를 도시하는 커버가 제거된 그리퍼의 횡단면의 평면 사시도이다.
도 32는 컨테이너에 접근하는 그리퍼를 갖는 그리퍼 워크피스 컨테이너 센서 기구의 상세한 횡단면의 평면 사시도이다.
도 33은 컨테이너가 감지된 워크피스 컨테이너 센서 기구를 도시하는 커버가 제거된 그리퍼의 횡단면의 평면 사시도이다.
도 34는 컨테이너가 감지된 그리퍼 워크피스 컨테이너 센서 기구의 상세한 횡단면의 평면 사시도이다.
도 35는 록킹 높이에서의 워크피스 컨테이너 센서 기구를 도시하는 커버가 제거된 그리퍼의 횡단면의 평면 사시도이다.
도 36은 록킹 높이에서의 그리퍼 워크피스 컨테이너 센서 기구의 상세한 횡단면의 평면 사시도이다.
도 37은 컨테이너가 그리핑(gripping)된 워크피스 컨테이너 센서 기구를 도시하는 커버가 제거된 그리퍼의 횡단면의 평면 사시도이다.
도 38은 컨테이너가 그리핑된 그리퍼 워크피스 컨테이너 센서 기구의 상세한 횡단면의 평면 사시도이다.
도 39는 오버 트래블(over travel)이 감지된 워크피스 컨테이너 센서 기구를 도시하는 커버가 제거된 그리퍼의 횡단면의 평면 사시도이다.
도 40은 오버 트래블이 감지된 그리퍼 워크피스 컨테이너 센서 기구의 상세한 횡단면의 평면 사시도이다.
도 41은 풀다운 위치(full down position)에서의 그리퍼의 머시룸 센서(mushroom sensor)의 횡단면 정면도이다.
도 42는 그립 위치에서의 그리퍼의 머시룸 센서의 횡단면 정면도이다.
도 43은 운반 위치에서의 그리퍼의 머시룸 센서의 횡단면 정면도이다.
도 44는 하이 다운(high down) 위치에서의 그리퍼의 머시룸 센서의 횡단면 정면도이다.
도 45는 그리퍼의 호이스트 벨트 클램프(hoist belt clamp)의 사시도이다.
도 46은 이송 장치 호이스트 벨트 권취 및 구동 기구의 사시도이다.
도 47은 2개 사이의 IRDA(InfraRed Data Association) 광학 통신을 도시하는 버퍼와 트랜스포터의 사시도이다.
도 48은 IRDA 트랜시버를 통해 버퍼에 무선으로 통신하도록 구성된 이송 장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 버퍼(01)의 정면도가 도시된다. 버퍼(01)는 워크피스 컨테이너의 스토리지에 사용된 장치이다. 도시된 실시예는 6개의 워크피스 컨테이너에 대한 스토리지 공간을 갖는다. Semi Standard OHT 전달 침니(delivery chimney) 내에 맞도록 설계된다. 즉, OHT(Over Head Transport) 차량이 워크피스 컨테이너를 하강 또는 상승시키게 되는 프로세스 툴의 로드 포트 위의 공간이다. 버퍼는 윈도우(05) 및 힌지(09)를 갖는 2개의 액세스 도어(02 및 03)를 갖는다. 도어는 워크피스 컨테이너를 수동 이동시키기 위해 버퍼를 개방하도록 이용된다. 전자 기기 및 기기 영역을 둘러싸는 유지 도어(04)를 갖는다. 버퍼의 상태가 라이트 패널(06) 상에 디스플레이된다. 버퍼는 이멀젼시 오프 인터록(emergency off interlock)(08)을 통해 로보틱스(robotics)로 신속하게 셧다운시키고 전원 회로 브레이커(07)를 통해 전원을 셧다운시키는 능력을 포함한다.
버퍼는 둘러싸여져 인간의 안전을 제공하고 워크피스 컨테이너의 내진 보호를 제공한다.
OHT 시스템에 대한 접속은 스토리지 선반으로서 이용될 수도 있는 2개의 양방향 포트(10 및 11)를 통해 제공된다. 이것들의 포트는 워크피스 컨테이너를 정확히 두기 위해 OHT에 대한 입력 포트뿐만 아니라 OHT가 워크피스 컨테이너를 회수할 수 있는 출력 포트의 역할을 한다.
다른 실시에서는 버퍼(01)가 예를 들면 2, 3, 또는 4의 다양한 수의 선반 레벨을 포함한다. 또 다른 실시는 도시한 바와 같이 단일 컬럼(column)의 선반대 2 컬럼의 선반을 갖는다.
도 2는 리어 패널이 제거된 버퍼(01)의 배면도를 예시한다. 이것은 프로세스 툴로부터 공정 통로를 바라보는 도면이다. 엘리베이터 캐리지(31)는 레벨로부터 트랜스포터(50)를 이동시키는 레벨로 이동시킨다. 여기에 도시된 버퍼는 4레벨을 갖는다. 중간의 2개의 레벨은 워크피스 컨테이너 스토리지를 위한 것이다. 상부 레벨은 워크피스 컨테이너 스토리지 및/또는 OHT로부터의 워크피스 컨테이너의 입력 또는 OHT로의 컨테이너의 출력을 위한 것이다. 하부 레벨은 프로세스 툴의 로드 포트로 그리고 프로세스 툴의 로드 포트로부터 워크피스 컨테이너의 이송을 위한 것이다.
레벨로부터 레벨로 트랜스포터(50)의 이동은 가이드 기기 상에서 이동하는 캐리지(31)로 구성되는 엘리베이터의 사용에 의해 달성되고, 다음 도면에 예시되는 동작 기구를 통해 수직 동작으로 구동된다.
캐리지는 각 레벨 상에서 트랜스포터 가이드 레일(21) 및 트랜스포터 지지 레일(24)과 일치하여 다른 위치에 엘리베이터 캐리지의 일부인 지지 레일과 이동가능 가이드로부터 트랜스포터가 이동하게 허용한다. 1개의 워크피스 컨테이너(45)는 각 스토리지 위치, 입/출력 위치, 또는 각 로드 포트 위치에 존재할 수 있다. 도시된 특정한 실시에서, 트랜스포터는 6개의 내부 위치＋엘리베이터 캐리지뿐만 아니라 하부 레일에 의해 제한된 외부 로드 포트 위치 중 어느 곳으로 이동할 수 있다.
엘리베이터 캐리지가 트랜스포터가 위치되는 레벨과 적절하게 일치되지 않을 때 통합된 안전 장치(30)는 트랜스포터가 레일로부터 엘리베이터 침니로 이동하는 것을 방지한다. OHT 차량은 워크피스 컨테이너를 상부 선반(10 및 11) 중 하나로 낮출 수 있다.
트랜스포터(50)는 레일(20 및 21)을 따라 좌우방향 또는 X방향으로 이동한다. 예컨대, 버퍼가 도 1에 도시된 정면도로부터 보일 때 X축은 버퍼의 폭을 따르는 방향을 포함한다. Y축은 버퍼의 깊이 방향을 포함한다. Z축은 높이 방향을 포함한다.
도 3은 리어 패널이 제거된 버퍼(01)의 배면도를 더 상세하게 예시한다. 엘리베이터 캐리지(31)는 트랜스포터(50)가 선반 아래 레일로부터 캐리지 상으로 이동하는 것을 허용하지 않는 중간 위치에 도시된다. 셔터(35)는 워크피스 컨테이너가 엘리베이터 컬럼을 통한 추락과 버퍼의 저면으로부터 벗어난 추락을 방지하는 추가 안전 장치로서 이용된다. 셔터가 폐쇄될 때 유지 및 다른 인간 작업은 안전 위험없이 버퍼 아래의 툴 및 로드 포트 상에서 진행될 수 있다.
엘리베이터 기구는 레벨 사이에서 엘리베이터 캐리지를 이동시키도록 선형 베어링 가이드(32) 및 엘리베이터 볼나사(33)를 갖는다. 엘리베이터(34)에 대한 구동 모터는 엘리베이터 컬럼의 상부에 위치되고, 엘리베이터 볼 크루(ball crew)를 회전시켜 엘리베이터 캐리지(31)가 레벨을 변경시키게 한다. 엘리베이터 캐리지(31)는 가이드(32)를 따라 Z방향 위/아래로 경로를 이동한다. 이 경로는 엘리베이터 채널로 불린다. 대안의 동작 기구와 Z축 동작 기구는 벨트 구동, 리드 나사, 리니어 모터, 랙과 피니언, 케이블, 체인 등을 포함하는 것이 가능하고, 뿐만 아니라 더블 "V" 베어링/블록 가이드, 선형 로드 가이드, 베어링리스 부싱 가이드(bearing-less bushing guide), 및 롤링 휠 가이드(rolling wheel guide)를 포함하는 대안의 가이드 기기도 가능하다.
통상적인 동작은 레일(20 및 21)과 일치하는 Z방향으로 이동되어 트랜스포터(50)를 X방향으로 사이드 위치로부터 캐리지 상으로 이동시키는 엘리베이터 캐리지(31)로 구성된다. 그 후, 엘리베이터 캐리지(31)는 이동을 위해 적절한 레벨로 Z방향으로 이동된다. 그 후, 트랜스포터(50)는 캐리지로부터 적절한 선반으로 X방향으로 이동한다. 그 후, 이 점에서 트랜스포터는 워크피스 컨테이너(45)를 상승하거나 정확히 두고, 엘리베이터 캐리지(31)를 뒤로 이동시킬 수 있다. 그 후, 캐리지는 적절한 레벨로 Z방향으로 이동되고, 트랜스포터(50)는 적절한 선반 또는 로드 포트 위치로 X방향으로 이동한다. 그 후, 트랜스포터(50)는 워크피스 컨테이너(45)를 선반 또는 로드 포트에 정확히두거나 상승시킨다.
셔터(35) 안전 장치는 워크피스 컨테이너(45)가 버퍼(01)로부터 이탈하는 것을 방지한다. 이 셔터는 트랜스포터(50)가 버퍼(01)로 진입하거나 이로부터 배출을 허용하도록 개방되거나 버퍼(01)로 진입하거나 이로부터 배출되는 것을 차단하도록 폐쇄된다.
도 4는 제자리에서 리어 패널(25) 및 사이드 패널(26)을 갖는 버퍼(01)의 배면도를 예시한다. 트랜스포터(50)는 좌측 로드 포트 하강/상승 위치 위에 위치된다. 캐리지(31)는 최상부 위치에 도시된다. 버퍼 입/출력 포트(10 및 11)가 도시된다.
도 5는 버퍼(01)를 배출할 수 있는 것으로부터 워크피스 컨테이너(46)와 트랜스포터를 차단하는 폐쇄 위치에서 셔터 기구(35)를 갖는 버퍼(01)의 저면도를 예시한다. 이 도면에서, 트랜스포터(50)는 엘리베이터 채널에서 워크피스 컨테이너(46) 위에 위치된다. 예컨대, 워크피스 컨테이너가 트랜스포터, 예컨대 워크피스 컨테이너 상에 상부 플랜지 파손으로 비접속되면 셔터는 버퍼(01)를 배출할 수 있는 것으로부터 이탈 워크피스 컨테이너를 차단한다.
도 6은 워크피스 컨테이너(46)와 트랜스포터가 버퍼(01)를 배출하거나 진입할 수 있게 허용하는 개방 위치에서 셔터 기구(35)를 갖는 버퍼(01)의 저면도를 예시한다.
도 7은 선반(64) 상에 장착된 배치 및 인체 감지 센서 어레이(70)를 예시한다. 센서 어레이(70)는 워크피스 컨테이너(61)의 존재뿐만 아니라 동적 핀(62) 상에 컨테이너의 적절한 배치를 감지하기 위해 이용된다. 워크피스 컨테이너에서 동적 소켓은 63으로 도시된 축을 따라 배치 동작 동안 동적 핀(62)으로 배치된다. 센서 어레이(70)는 3개의 감지기로 구성되고, 워크피스 컨테이너(61)를 지시하는 어떤 활성화가 나타내어 진다. 워크피스 컨테이너(61)가 적절한 배치를 지시하는 동적 핀(62) 상에 적절하게 배치될 때만 전체 3개의 감지기의 활성화가 발생할 수 있다.
이 센서 어레이(70)는 3개 영역에서 공작물의 현재 상태로부터 중요한 시작을 나타낸다. 먼저, 대략 19㎜ 높이인 공작물 센서의 현재 상태와 비교하여 1 내지 3㎜의 높이에 피팅된다. 두번째, 추가 장착 및 전기 접속을 제거한 단일 배치로 다수 센서를 통합한다. 제 3 영역은 부착을 위한 선반이나 다른 영역의 기계적인 하드웨어와 머시닝을 제거한 선반(64)에 부착하도록 접착 백킹(adhesive backing)을 이용하는 센서 어레이(70)이다. 이 낮은 장착 높이는 동일 수직 공간에 달성되는 워크피스 컨테이너의 큰 밀도를 허용한다. 이것은 선반의 다수 레벨이 있거나 공작물 컨테이너 높이가 짧은 곳에서의 높이가 큰 버퍼에서 점점 더 중요하게 된다.
도 8은 센서 어레이(70)의 실시예를 예시한다. 이 영역에서 실시는 3개 스위치를 갖는 멤브레인 스타일 스위치 어셈블리로 구성된다. 각 스위치는 적절한 포스 활성화 특성을 제공하는 스위치 기구의 상부 위에 압력 패드(71)를 갖는다. 센서 어레이(70)는 영역(70)에서의 각 스위치에 접촉시키도록 이용된 각 스위치 접속(72)을 갖는다.
워크피스 컨테이너는 스위치를 활성화시키는 압력 패드(71)에 물리 접촉을 하게 함으로써 압력 패드가 포스의 적절한 분포를 제공하는 견고한 재료, 탄성 재료, 또는 다수 탄성 재료일 수 있다.
도 9는 배치 및 인체 감지 센서 어레이(70)의 일실시에서 보다 상세하게 도시한다. 압력 패드(71)는 센서 어레이(70)에서 각 스위치 기구 위에 위치된다. 이 압력 패드(71)는 2개의 기능을 제공한다. 먼저, 스위치를 활성화시키는 스위치에 워크피스 컨테이너로부터 충분한 포스 전달을 제공한다. 둘째, 워크피스 컨테이너에서 워크피스로 유도되는 진동을 최소화하는 동적 핀 상에 배치되므로 워크피스 컨테이너로부터의 포스와 에너지 흡수를 제공한다.
도 10은 엘리먼트가 기계적인 멤브레인 스위치(75), 유연한 상부 멤브레인(76), 멤브레인 어셈블리 바디(78), 및 포스 전달 기구(73 및 74)로 구성되는 1개의 센서 어레이 엘리먼트(80)의 단면인 일실시형태를 예시한다. 센서 어레이의 이 실시에서, 워크피스 컨테이너에 접근으로부터 압력은 연장된 탄성 재료와 먼저 접촉하고 이 재료에 가압을 개시한다. 압축의 동일 지점에서, 멤브레인 스위치(75)가 활성화되고 워크피스 컨테이너의 존재나 배치의 버퍼에 전기 신호를 제공한다. 워크피스 컨테이너의 부하가 트랜스포터로부터 선반에 이송됨으로써 확대된 탄성중합체(73)는 워크피스 컨테이너가 확대되지 않은 탄성중합체(74)와 현재 접촉하는 포인트에 압축된다. 워크피스 컨테이너의 동작의 에너지는 이 점에서 대략 대등 높이이고 워크피스 컨테이너가 동적 핀 상에 레스팅될 때의 포인트에 더 압축되는 확대된 탄성중합체(73) 및 확대되지 않은 탄성중합체(74)에 의해 이제 흡수된다.
연장된 그리퍼(52)와 워크피스 컨테이너(51)를 유지하는 이송 장치(50)가 도 11에 도시된다. 이송 장치(50)는 트랜스포터(53) 및 그리퍼(52)로 구성된다. 이송 장치(50)는 구동 휠(56)을 통해 구동된 X축 방향으로 이동하고, 위치 피드백을 인코더 휠(55)로부터 제공한다. 동작이 정지되고 모터 드라이버와 모터를 고정 시간 프레임 동안 파워업되게 유지할 필요가 제거될 때 이 인코더 휠(55)은 위치를 유지하는 기계적인 브레이크도 하우징한다. 트랜스포터(53)는 이 도면에 도시되지 않은 55 및 56으로부터 반대측 상에 아이들러 휠도 갖는다.
그리퍼(52)는 트랜스포터로부터 한 세트의 호이스트 벨트(54)를 통해 올라가고 내려간다. 그리퍼(52)는 리트랙팅될 때 트랜스포터(53) 바디 내에 전체적으로 포함되고, 선반, 입/출력 선반, 또는 로드 포트에 도달될 수 있는 연장된 다양한 길이가 가능하다.
버퍼(01)는 오버헤드 이송 레일(101)로부터 120을 통해 매달린 도 12에 도시된다. 오버헤드 이송 차량(100)은 버퍼에서의 2개의 입/출력 위치 중 하나로부터 워크피스 컨테이너(104)에 이송하거나 회수할 수 있다. 워크피스 컨테이너(103)는 오버헤드 이송 차량(100)에 의해 버퍼(01)로부터 회수되는 위치에 있다[또는, 제 때에 이후 포인트에서의 오버헤드 이송 레일(101) 상의 버퍼(01)에 접근하는 차량일 수 있다].
버퍼(01)의 하부에서 이송 장치(도시 생략)에 의해 유지되는 워크피스 컨테이너(105)는 로드 포트(130) 위에 낮아지거나 그 로드 포트로부터 회수될 수 있다. 이송 장치는 워크피스 컨테이너를 이송하거나 회수하는 3개의 로드 포트 사이에 이동할 수 있다. 로드 포트(131) 상에 워크피스 컨테이너(106)는 이송 장치(도시 생략)에 의해 회수되도록 이용가능하다.
오버헤드 이송 레일(101)에 의해 또는 더 높은 승강 구조, 예컨대 천장, 지붕, 다른 빌딩 스틸 등에 다른 장착을 통해 지지된 메달린 구조물(120)은 도 13에 도시한 바와 같은 조정 기구(122)에 의해 Y방향(프로세스 툴을 향해서와 프로세스 툴로부터 멀어짐)으로 이동될 수 있는 평행사변형이다. 이 실시형태에서 조정 기구는 턴버클(turnbuckle)을 갖는 앞과 뒤의 로드쌍으로 구성된다. 짧은 프런트 로드와 긴 리어 로드를 조정하는 것은 버퍼(01)를 툴 또는 로드 포트로부터 멀리 이동시킨다. 긴 프런트 로드와 짧은 리어 로드를 조정하는 것은 버퍼를 툴 또는 로드 포트를 향해 이동시킨다.
버퍼(01)는 천장, 오버헤드 이송 레일, 프로세스 툴로부터 매달리거나 바닥 위에 장착가능하다. 도 14는 바닥 장착 위치에 버퍼(01)를 도시한다. 바닥 장착부(132)는 AGV[자동화된 가이드 차량(autoated guide vehicle)], 또는 RGV[바닥 장착 레일 가이드 차량(floor mounted rail guided vehicle)] 조작자 중 하나 아래의 로드 포트에 프리 액세스를 허용하는 측면으로부터 버퍼(01)를 지지한다. 로드 포트는, 예컨대 로드 포트 또는 툴의 EFEM(Equipment Front End Module)의 제공을 위한 버퍼(01)를 재이동하지 않고 프로세스 툴로부터 재이동될 수 있다.
버퍼(01)는 이송 장치(도시 생략)가 추가 로드 포트를 거쳐 버퍼(01)의 바닥을 따라 이동을 허용하는 선택적인 측면 날개(136)를 갖는다. 도 15에서, 도시된 프로세스 툴(640)은 넓은 5개의 로드 포트를 갖는다. 이송 장치가 각 로드 포트 위의 X방향뿐만 아니라 엘리베이터에 의해 상승되는 것을 허용하는 2개의 측면 날개(136)를 이용한다. 로드 포트(131) 상에 시팅되는 워크피스 컨테이너(106)를 클리어하는 이송 장치에 의해 운반되는 워크피스 컨테이너에 대해 충분한 수직 간극이 있다. 이것은 로드 포트 상에 모든 워크피스 컨테이너에 랜덤 액세스를 허용한다.
측면 날개(136)는 박스 내의 추가적인 워크피스 컨테이너를 유지할 수 있다. 그러나, 사이드 날개 박스 내의 이 워크피스 컨테이너를 액세스하는 것은 컨테이너가 최초로 이동되어야 하는 동일 레벨 상의 인접 선반을 요구할 것이다. 유사하게, 날개(136) 박스 내의 컨테이너를 배치하기 위해 상기 컨테이너가 존재하면 컨테이너를 동일 레벨의 인접 선반 상에 재이동시키는 것을 요구할 것이다.
도 16은 버퍼의 2개 구성을 도시한다. 우측의 버퍼(01)는 어떤 확대부도 없고, 1, 2, 또는 3 로드 포트를 갖는 툴과 피팅된다. 버퍼가 넓은 1 내지 5 로드 포트가 있는 툴에 로드 포트를 제공하는 버퍼를 허용하는 것이 도시된 좌측의 버퍼(19)는 좌측 연장부(137) 및 우측 연장부(139)의 2개의 연장부를 갖고, 대안으로 전체 5개의 로드 포트를 갖는 사이드 툴에 의해 2개가 나란히 제공될 수 있다. 버퍼는 날개 또는 연장부가 없고, 1개의 좌측 연장부, 1개의 우측 연장부, 또는 1개의 좌측 및 1개의 우측 연장부 양쪽을 지지한다.
버퍼는 사용가능한 제조 공정 통로를 연장하는 기구를 제공한다. 도 17은 통상적인 제조 공정 통로의 평면도를 도시한다. 프로세스 툴(372)은 전체 3개의 로드 포트가 도달가능한 오버헤드 이송 레일(381) 아래의 최후에 가능한 위치에 위치된다. 공정 통로에서 우측으로 더 멀리 위치하는 툴(372)[크로스 베이 오버헤드 이송 레일 커넥터(366)를 향해]을 배치하는 것은 하나 이상의 로드 포트(358, 357, 및 356)가 컨테이너를 OHT로부터 로드 포트에 하강하거나 상승이 가능하지 않은 오버헤드 이송 레일의 빗금친 영역(362) 아래일 수 있다.
툴(370)은 그것의 로드 포트(352, 353, 354) 위에 위치된 버퍼를 갖는다. 오직 하나의 로드 포트 위치(352)가 오버헤드 이송 레일(380) 아래에 있도록 툴이 이동되면, 버퍼는 다른 2개의 로드 포트 위치에 트랜스포터를 거쳐 이송할 수 있기 때문에 전체 3개의 로드 포트는 액세스가능하게 된다. 이것은 프로세스 툴링에 대해 미리 이용가능하지 않은 공정 통로 선형 바닥 공간의 사용을 허용하는 버퍼 기술의 중요 이점을 제공한다. 따라서, 더 많은 장비 이상의 시설 비용을 상환하는 제조 시설에서 고밀도로 달성할 수 있다.
사이드 날개 및 직선 단면으로 장착될 때 버퍼는 하강가능한 위치에 오버헤드 이송 레일의 단부 이상의 폭을 갖는 2, 3, 4 또는 다수 로드 포트의 이 공간에 연장될 수 있다.
버퍼(01 및 19)는 이송 장치(642)가 버퍼 사이를 이동할 수 있는 레일(138)과 함께 직선 단면을 이용함으로써 함께 접속될 수 있다. 추가적으로, 좌측 버퍼 연장부(137) 및 우측 버퍼 연장부(139)는 다수 버퍼와 연결되는 0 또는 하나 이상의 직선 단면(138)과 조합되어 이용될 수 있다. 다수 이송 장치는 버퍼 내의 또는 버퍼 베이스의 레일 상에 허용되어 버퍼 사이를 이동할 수 있다. 도 18은 버퍼 아래 하부 레일 상에 3개의 이송 장치를 도시한다. 좌측 이송 장치(644)는 워크피스 컨테이너(105)를 툴(650)로부터 호이스팅한다. 센터 이송 장치(642)는 워크피스 컨테이너와 함께 버퍼 사이에 이동한다. 제 3 이송 장치(646)는 툴(640)의 우측 대부분의 로드 포트 위의 워크피스 컨테이너를 유지한다.
도 19에 도시된 바와 같이, 엘리베이터 기구는 선형 베어링 가이드(32)에 의해 가이드되고 볼나사(33)에 의해 이동되는 엘리베이터 캐리지(31)로 구성된다. 볼나사(33)는 엘리베이터 모터 드라이브(34)에 의해 회전된다. 높이(Z방향)에서 엘리베이터 컬럼으로 캐리지의 위치는 적절한 전자장치의 이용을 통해 제어되고 엘리베이터 인코더(36)로부터 피드백된다.
엘리베이터 캐리지는 이송 장치가 그 레벨과 반대로 선반 상에 엘리베이터 캐리지에서 떨어지게 하는 버퍼에서의 적절한 레벨로 일치하는 이송 장치의 지지 프론트 레일(37) 및 후측 레일(38)을 포함한다.
이송 장치(180)는 도 20에 단면으로 도시되었다. 그리퍼(181)는 리트랙팅될 때 트랜스포터 내부에 피팅된다. 그리퍼(181)는 워크피스 캐리어를 캡춰링하는 2개의 죠(jaw)(183)를 갖는다. 워크피스 컨테이너의 존재, 부재, 적절한 캡춰링, 및 부적절한 캡춰링을 감지하기 위해 그리퍼(181)는 머시룸 형상 플런져(184)를 이용하는 센서도 포함한다. 이 구성에서 이송 장치는 중력의 센터가 워크피스 컨테이너와 함께 또는 워크피스 컨테이너 없이 유지되도록 위치된 배터리(182)를 갖는 배터리 전원 장치이다.
도 21은 장치의 밑면을 도시하기 위해, 특히 워크피스 컨테이너를 캡춰링하기 위해 낮아진 플랜지에 그리퍼의 적절한 배치를 보장하도록 사용되는 워크피스 컨테이너 로보틱스 핸들링 플랜지 가이드(185)를 도시하기 위해 틸트업된 이송 장치(180)를 도시한다.
워크피스 컨테이너의 로보틱스 핸들링 플랜지에 대한 개구는 플랜지가 가이드(185)에 의해 가이드된 그리퍼에 진입할 때 사이즈로 제한되고, X 및 Y방향[이것들의 방향은 이송 장치(180)의 상부에 평행한 평면을 형성한다]으로 계류된다. 그리퍼가 폐쇄될 때 이제 플랜지는 Z방향으로 계류된다. 리드 나사 나사산각은 적절하게 모터에 동력을 공급함없이 개방하도록 모터를 다시 구동함없이 죠를 방지하기에 충분하므로 폐쇄되면 어떠한 모터 전원도 플랜지의 계류를 유지하도록 요구되지 않는다.
도 22는 커버가 제거된 그리퍼 기구(190)를 도시한다. 그리퍼(190)는 워크피스 컨테이너 톱 헷(top hat)을 캡춰링하기 위해 폐쇄되는 한 쌍의 이동가능한 죠(191)로 구성된다. 죠는 죠 가이드(192)에 의해 가이드되고 리드 나사(193)를 통해 폐쇄되거나 개방되어 구동된다. 리드 나사(193)는 구동 벨트(194)를 통해 모터(195)에 의해 구동된다.
그리퍼의 각 코너에 위치되는 호이스트 벨트 클램프(196)를 통해 그리퍼(190)에 부착되는 4개의 평벨트를 통해 트랜스포터로부터 그리퍼가 매달린다.
그리퍼(190)의 보다 상세한 200의 도면이 도 23에 도시된다. 그리퍼는 수평적인 배치 외부의 그리퍼를 감지하는 2개의 X와 2개의 Y 틸트 센서(201)를 갖는다. 이것은 그리퍼의 일측이 워크피스 컨테이너 바디에 레스팅되고, 반대측은 그리퍼에 플랜지를 캡춰링하는 적절한 그리퍼 액션이 가능하지 않은 상황의 결과로 워크피스 컨테이너 로보틱스 핸들링 플랜지 상에 레스팅되는 워크피스 컨테이너 로보틱스 핸들링 플랜지에 부적절하게 낮아지는 그리퍼에 의해 기인될 수 있다. 워크피스 컨테이너가 그리퍼에 의해 캡춰를 위해 그것의 플랜지의 적절한 위치와 함께 배치의 외부가 되게 하는 로드 포트의 동적 핀 상에 부적절하게 배치될 때 이 동일 조건은 발생할 수 있다.
추가적으로, 틸트 센서(201)는 방해물로 이송 장치의 충격을 감지할 수 있다. 그리퍼는 워크피스 컨테이너의 적절한 캡춰링과 워크피스 컨테이너의 릴리징을 감지하는 2개의 센서(202 및 203)를 사용한다.
그리퍼 포스가 프리셋 제한에 도달할 때 죠 모터(195), 토크 리밋 플래그(torque limit flag)(207), 및 어셈블리가 정지 신호를 제공하는 모터 토크 제한 특성을 통합한다. 일실시예에서, 죠 모터(195)는 폐쇄된 그리퍼 죠(191)를 구동하므로 죠는 이동의 단부에서의 정지에 도달한다. 다른 실시예에서, 죠는 워크피스 캐리어 로보틱스 핸들링 플랜지 상에 클램핑될 것이다. 모터 토크는 상승을 지속하고, 따라서 모터 어셈블리는 리드 나사 축에 대해 회전을 개시한다. 이 토크는 조절가능한 카운터 포스 스프링 어셈블리(204)에 의해 반대된다. 모터 토크는 모터 어셈블리의 회전이 이 스프링을 압축하게 하고, 플래그(207)를 빔센서에 옵티컬 브레이크로 회전시키도록 포싱하고, 모터의 이동을 손상시키는 모터 컨트롤러에 적절한 신호를 제공한다. 따라서, 워크피스 컨테이너 로보틱스 핸들링 플랜지 상에 클램핑 포스는 플랜지를 캡춰링하는 적절한 클램핑을 제공하도록 제어될 수 있지만 Z 높이에서 작은 영역 위에 자유롭게 플로팅되게 한다. 그리퍼가 상승되므로 이것은 플랜지가 죠의 낮은 대부분의 표면에 하강하는 것을 허용하고, 이 동작은 워크피스 컨테이너의 적절한 캡춰링을 확인하도록 사용된다.
그리퍼 배터리를 변경하는 전력을 트랜스포터로부터 접촉 핀(208 및 209)을 통해 제공된다. 그리퍼가 이송 장치로부터 낮아지는 동안 접촉이 축적될 수 있는 어떠한 정전기를 방전하는 핀(209)을 통해 먼저 이루어진다.
이송 장치(50)는 각 축에 대해 홈 센서를 갖는다. 트랜스포터 바디(53) 상에 X축 홈 센서(59)는 도 24에 도시된다.
도 25에서 트랜스포터(50)는 한 세트의 4개의 호이스트 벨트(54), 호이스트 모터(60), 모터(60)를 호이스트 벨트 구동 샤프트에 연결시키는 송신 벨트(231), 맞물린 호이스트 벨트를 유지하는 느슨한 벨트 텐션 휠(92)(다은 도면에 도시됨)로 구성되는 호이스팅 기구를 하우징한다. 호이스트 벨트(54)는 워크피스 컨테이너(51)를 캡춰링하고 릴리징하는 그리퍼(52)에 접속된다. 호이스트 벨트(91)의 이완측(slack side)은 호이스트 벨트 텐셔너 하우징(230)의 내부에 하우징된 권취 메인 스프링(90)을 통해 스풀 상에 권취된다. 호이스트 인코더(93)는 Z-축(높이)으로 위치 정보를 제공하고, 호이스팅 기구는 호이스트 브레이크(94)를 통해 어떤 위치에 록킹될 수 있다. X-축 인코더와 브레이크 어셈블리(55)는 트랜스포터 X 위치 피드백을 제공하고, X-축으로 이동을 방지하는 기계적인 록킹을 제공한다.
트랜스포터 호이스팅 기구는 도 26에 도시된다. 메인 권취 스프링은 호이스트 벨트에서 느슨함(91)을 윈드업(wind up)하는 엔클로저(90)에 하우징된다. 2개의 텐셔너 휠(92)은 구동 스프로킷과 벨트 사이의 클램핑 포스를 제공한다. 이것은 어떠한 워크피스 컨테이너도 없는 그리퍼를 이동시키는데에 특히 중요하다. 호이스팅 기구는 브레이크(94)를 통한 위치에 록킹되고 그리퍼 높이의 정밀한 위치는 호이스트 인코더(93)에 의해 결정된다.
도 27에 도시된 바와 같이, 권취 메인 스프링 하우징(90), 권취 스프링(95), 권취 스프링 샤프트(96)를 갖는 느슨한 벨트 권취 기구는 호이스트 리프트 동안 호이스트 벨트(91)에서 느슨함을 윈드업하도록 이용된다.
엘리베이터 캐리지(410)를 갖는 버퍼(01)는 도 28에 도시된다. 트랜스포터가 선반 영역 위에 위치될 때 버퍼 전면 트랜스포터 휠 지지체(412)는 전면 트랜스포터 휠에 대한 지지체를 제공하고, 트랜스포터가 캐리지(410) 상에 있을 때 엘리베이터 캐리지 전면 트랜스포터 휠 지지체(414)는 지지체를 제공한다. 엘리베이터 캐리지가 적절한 레벨이 아닌 경우에 인터록 암(416)은 선반으로부터 엘리베이터 컬럼에 트랜스포터의 이동을 차단한다. 인터록 암(416)은 트랜스포터가 X축 이동 인터록 작동 캠(418)에 의해 캐리지 상으로 이동하도록 이동된다. 기구의 액션은 캠(418)과 맞물리는 인터록 암 캠 팔로어 롤러(420)에 의해 효과적이다.
엘리베이터 캐리지(410)가 X축 이동 인터록 암(416)에 의해 레벨되지 않을 때 트랜스포터는 선반과 그 레일을 이동하는 것으로부터 방지된다. 트랜스포터 휠은 전면 휠 지지체 레일(412)을 따라 이동한다. 인터록 암은 버퍼 프레임에 부착되는 캠(418)에 의해 구동된다. 엘리베이터가 인터록 암(416)을 이동시키는 특정한 레벨이 트랜스포터가 이전에 엘리베이터에서 구동하게 허용하는 위치에 도달하므로 캠 팔로어 롤러(420)는 캠(418)과 인게이지된다. 엘리베이터가 레벨에서 벗어나면 캠 팔로어 롤러(420)가 캠(418)에서 떨어지므로 인터록 암(416)은 위치로 다시 이동한다. 도 29는 선반 영역의 외부에 이동으로부터 트랜스포터를 방지하는 블록킹 포지션에서의 인터록 암을 도시한다. 도 30은 언블록킹 포지션에서 인터록 암을 도시한다.
도 31에 도시된 바와 같이 그리퍼(200)에서 하우징된 워크피스 컨테이너 센서 기구는 워크피스 컨테이너의 일부인 워크피스 컨테이너 로보틱스 핸들링 플랜지(254)를 캡춰링하는 2개의 죠(183) 및 워크피스 컨테이너의 부재 또는 존재를 감지하도록 사용되는 이미터/감지기 센서(256, 258) 및 이미터/감지기 센서(260, 262)를 활성화시키는 머시룸 형상 플런져(184)로 구성된다.
이미터/감지기 센서(260, 262)는 머시룸 플런져(184)의 스템에 의해 간섭될 수 있는 빔(432)을 제공한다. 유사하게, 이미터/감지기 센서(256, 258)는 머시룸 스템에 의해 간섭될 수 있는 빔(431)을 발생시킨다. 머시룸 스템(435)의 편평한 단부는 도 32에 도시된 바와 같이 빔 간섭 기구로서도 이용된다. 이 도면은 머시룸 플런져(184)와 접촉하기 바로 전의 리트랙팅될 위치에서 그리퍼 핑거(183)와 핸들링 플랜지(254)를 도시한다. 이 위치에서, 빔(431)과 빔(432)은 간섭하지 않는다.
그리퍼(200)는 워크피스 컨테이너의 로보틱스 핸들링 플랜지(254) 상에 낮으므로, 머시룸 돔은 로보틱스 핸들링 플랜지의 오목한 영역과 접촉하고 머시룸은 가압되기 시작한다. 도 34에 도시된 바와 같이 워크피스 컨테이너의 검출을 시그널링하므로 빔(432)이 차단된다.
머시룸 스템은 적절한 양으로 가압될 때 빔(432)이 재확립되도록 허용하는 노치(434)를 갖는다.
그리퍼(200)가 지속해서 더욱 낮아지므로 머시룸 플런저는 빔(431)이 간섭될때까지 더욱 가압되지만 빔(432)은 도 35 및 도 36에 도시된 바와 같이 간섭된다. 이것은 로보틱스 핸들링 플랜지(254)가 그리퍼(200)의 죠(183)에 인접한 적절한 위치에 있는 그리퍼에 시그널링한다.
죠(183)는 도 37 및 도 38에 상세하게 도시된다. 이 위치에서 로보틱스 핸들링 플랜지(254)는 죠(183)와 그리퍼 바디에 의해 전체적으로 캡춰링되고 워크피스 컨테이너가 리프팅되도록 준비된다.
그리퍼(200)가 지속해서 더욱 낮아지면 머시룸 플런져(184)는 결과적으로 간섭되는 빔(431)과 머시룸 플런져(184) 스템에서 주위 노치(434)를 통해 재확립되는 빔(434)을 더욱 가압하게 될 것이다. 이것은 도 39 및 도 40에서 볼 수 있는 바와 같은 높이에서 이동 위의 지시이다.
간단한 단면도에서, 도 41은 어떤 워크피스 컨테이너도 감지되지 않는 풀다운 위치에서 머시룸과 함께 빔(431 및 432)을 도시한다. 이 위치에서 양쪽 빔(431 및 432)이 확립된다. 폐쇄 위치에서 머시룸의 위치는 도 42에 도시된다. 이 위치에서 빔(431)은 간섭되고 빔(432)은 확립된다. 머시룸의 운반이나 리프트 워크피스 컨테이너 위치는 도 43에 도시된다. 이 위치에서 빔(431)은 확립되지만 빔(432)은 간섭된다. 그리퍼가 로보틱스 핸들링 플랜지 상에 너무 낮아진 최종 위치에서 머시룸 스템은 도 44에 도시된 바와 같이 너무 높이 오르게 된다. 이 위치에서 양쪽 빔(431 및 432)이 간섭된다. 이 기구는 느슨해지는 호이스트 벨트(54)를 감지하고 방지하도록 사용된다.
그리퍼는 호이스트 벨트 클램프(196)를 통해서 한 세트의 4개의 호이스트 벨트(251)에 부착된다. 클램프는 도 45에 도시된 바와 같이 클램프 블록 하우징(252), 벨트 투스 체결(belt tooth engagement), 및 조정 플레이트(274)로 구성된다. 조정 플레이트(274)는 벨트와 맞물리는 투스를 갖고, 플레이트와 벨트가 블록(252)에서 계류되게 한다. 이것은 벨트가 상측으로부터 클램프의 외부로 뽑혀질 수 있는 것으로부터 방지한다. 록킹 나사(253) 또는 벨트 조정 나사(276)는 느슨해지거나 빠지게 되면 벨트는 벨트 클램프 블록에서 계류된다. 그리퍼 어셈블리를 레벨링하기 위해, 록킹 나사(253)는 느슨해지고 4개 벨트의 각각의 조정 나사가 호이스트 벨트(251)를 균등한 텐션의 레벨로 조정한다. 레벨링되고 텐셔닝될 때 록킹 나사(253)는 조여지게 된다.
호이스트 벨트(251)는 도 46에서 벨트 권취 스풀(280) 상의 트랜스포터에서 벨트의 상단에 부착된다. 벨트는 권취 스풀(261) 상에 구동 스프로킷(282)과 압력 롤러(263) 사이의 벨트 가이드 아이들러 풀리(264) 위의 그리퍼로부터 위로 이동한다. 릴리징되는 것을 방지하는 권취 스풀 방지의 센터에서 어셈블리와 같은 스프로킷에 계류되는 벨트의 단부는 스풀(280)을 모든 느슨한 벨트를 구동하도록 되게 시도할 것이다.
그리퍼는 광학 통신 기구를 통해 트랜스포터와 통신한다. 그리퍼로부터 트랜스포터(571)에 광학 경로와 트랜스포터로부터 그리퍼(572)에 광학 경로는 동시의 양방향 통신을 하게 한다. 이것은 도 47에 도시된 바와 같이 그리퍼의 틸트 센서로부터 트랜스포터에의 실시간 정보와 트랜스포터로부터 그리퍼에의 실시간 통신을 제공한다.
이송 장치(50)는 도 48에 도시된 바와 같이 IRDA(InfraRed Data Association) 트랜시버(582)를 통해 버퍼와 무선으로 통신한다. 버퍼에 장착된 IRDA 트랜시버(580)를 통해 버퍼와 통신한다. 버퍼 내에 통신을 제공하는 버퍼의 각 레벨에 장착된 1개의 트랜시버(580)가 있다. 버퍼에서 트랜스폰더의 레벨은 그 레벨 상에 트랜스포터의 존재나 부재를 확인하도록 사용된다.

Claims (8)

  1. 제작 설비에서의 버퍼 내에서 워크피스 캐리어를 이송하도록 구성된 이송 기구로서:
    2개의 레일 상에서 이동하도록 구성되며, (i) 상기 워크피스 캐리어를 승강시키도록 구성된 호이스팅 기구, 및 (ⅱ) 상기 워크피스 캐리어를 캡춰링하고 릴리징하도록 구성된 그리퍼 기구를 포함하는 트랜스포터;
    하나 이상의 워크피스를 저장하도록 구성된 워크피스 컨테이너;
    상기 워크피스 컨테이너를 유지하도록 구성되고, 오버헤드 이송 차량과의 워크피스 컨테이너 교환을 위해 구성된 하나 이상의 스토리지 선반과,
    각 선반 위와 상기 트랜스포터가 이동하는 로드 포트 위의 베이스에 장착된 레일과,
    레벨 사이에서 상기 트랜스포터를 이동시키도록 구성된 엘리베이터를 갖는 둘러싸인 프레임으로서,
    상기 엘리베이터가 레벨 사이의 이동 동안 워크피스 컨테이너와 함께 트랜스포터를 지지하기 위해 2개의 레일을 갖는 캐리지를 구비하고, 각 선반 위와 로드 포트 위의 프레임의 베이스에 위치한 장착 레일과 캐리지 레일을 정렬하기 위한 배치 능력을 가지는, 둘러싸인 프레임;
    프로세스 툴의 하나 이상의 로드 포트 위에서 상기 둘러싸인 프레임을 승강시키도록 구성된 프레임 지지체; 및
    상기 트랜스포터에 명령하여 상기 워크피스 컨테이너를 이송시킨 상태에서 선반과 로드 포트 위치 사이에서 이동시키도록 하고,
    상기 엘리베이터에 명령하여 레벨로부터 레벨로 상기 트랜스포터를 이동시키도록 하고,
    엘리베이터, 트랜스포터, 및 워크피스 컨테이너의 이동을 동기화하고,
    상기 제작 설비 내에서 워크피스 컨테이너의 이동을 관리하는 워크피스 컨테이너 이동 시스템과 함께 명령을 교환하도록 구성된 제어 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 기구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 기구는,
    상기 트랜스포터에 시작 위치로 이동시키도록 명령하고,
    상기 호이스팅 기구에 상기 그리퍼 기구를 상기 워크피스 캐리어로 하강시키도록 명령하고,
    상기 그리퍼 기구에 상기 워크피스 캐리어를 캡춰링하도록 명령하고,
    상기 호이스팅 기구에 캡춰링된 워크피스 캐리어를 갖는 상기 그리퍼 기구를 도킹된 위치로 상승시키도록 명령하고,
    상기 트랜스포터에 목적 위치에 이동하도록 명령하고,
    상기 호이스팅 기구에 캡춰링된 워크피스 캐리어와 함께 상기 그리퍼 기구를 상기 목적 위치로 하강시키도록 명령하고,
    상기 그리퍼 기구에 캡춰링된 워크피스 캐리어를 릴리징하도록 명령하고,
    상기 호이스팅 기구에 상기 그리퍼 기구를 리트랙팅하기 위해 명령하도록 구성된 것을 특징으로 하는 이송 기구.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제작 설비는 반도체 제작 설비를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 기구.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제작 설비는 평면 패널 제작 설비를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 기구.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 트랜스포터는 내부 전원에 의해 구동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 이송 기구.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 그리퍼 기구는 내부 전원에 의해 구동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 이송 기구.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 내부 전원은 배터리 스토리지 전원을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 기구.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 트랜스포터는 저항성으로 연결된 전기 접속으로부터 외부 전원을 수신하도록 구성된 것을 특징으로 하는 이송 기구.
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