KR101277069B1 - Apparatus for inspecting gravure roll - Google Patents

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Abstract

그라비아 롤 검사장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 그라비아 롤 검사장치는, 장치본체; 장치본체에 상호 이격되게 한 쌍으로 마련되며, 레지스트가 도포되는 패턴(pattern)과 다수의 얼라인 마크(align mark)가 외면에 형성되는 그라비아 롤(gravure roll)이 회전 가능하게 그립핑되는 롤 그립퍼(roll gripper); 및 롤 그립퍼와 이격된 위치에서 장치본체에 마련되어 그라비아 롤의 패턴 또는 얼라인 마크를 촬영하는 검사 카메라를 포함한다.A gravure roll inspection device is disclosed. Gravure roll inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, the device body; Roll grippers are provided in pairs to be spaced apart from each other in the apparatus body, and rotatably gripped with a pattern to which a resist is applied and a gravure roll having a plurality of alignment marks formed on an outer surface thereof. (roll gripper); And an inspection camera provided on the apparatus main body at a position spaced apart from the roll gripper to photograph a pattern or an alignment mark of the gravure roll.

Description

그라비아 롤 검사장치{Apparatus for inspecting gravure roll}Gravure roll inspection device {Apparatus for inspecting gravure roll}

본 발명은, 그라비아 롤 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 마스터 기판(master glass)을 사용하지 않더라도 그라비아 롤의 패턴(pattern) 가공정도 또는 얼라인 마크(align mark) 위치 등의 다양한 검사를 선택적으로 또는 일괄적으로 진행할 수 있어 공정 로스(loss) 발생을 감소시킬 수 있는 그라비아 롤 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gravure roll inspection device, and more particularly, to inspect various inspections such as pattern processing degree or alignment mark position of a gravure roll without using a master glass. The present invention relates to a gravure roll inspection apparatus that can selectively or collectively reduce the process loss.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다. 평판디스플레이는 TV나 컴퓨터의 모니터, 혹은 핸드폰(mobile phone), PDA, 디지털 카메라 등과 같은 기기의 표시장치로 많이 사용된다. 평판디스플레이의 종류에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.Recently, as the electronic display industry has developed rapidly among the semiconductor industry, flat panel displays (FPDs) have started to appear. Flat panel displays are commonly used as monitors for TVs or computers, or as display devices for devices such as mobile phones, PDAs, and digital cameras. Types of flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting diodes (OLEDs).

평판디스플레이에는 통상적으로 칼라(color) 구현을 위한 칼라필터층이 형성되어 있는데, 화상표시 영역 이외의 영역으로 광이 누설되어 표시장치의 화질이 저하되는 것을 방지하기 위한 블랙매트릭스가 형성되어 있는 칼라필터가 구비된다.A flat panel display typically has a color filter layer for realizing color. A color filter having a black matrix for preventing light from leaking to areas other than the image display area and degrading the image quality of the display device is formed. It is provided.

이러한 칼라필터를 갖는 대표적인 평판디스플레이가 전술한 LCD이다. LCD는 박막트랜지스터가 형성된 박막트랜지스터 기판과, 칼라필터층이 형성된 칼라필터 기판과, 이들 기판 사이에 충전되는 액정을 구비한다.A typical flat panel display having such a color filter is the LCD described above. The LCD includes a thin film transistor substrate on which a thin film transistor is formed, a color filter substrate on which a color filter layer is formed, and a liquid crystal filled between these substrates.

칼라필터층에는, 각각 R, G, B 패턴이 인쇄된 칼라필터층의 2 종류 구조를 도시한 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 통상적으로 R(Red), G(Green), B(Blue) 패턴의 색소를 갖는 화소가 형성된다. 각 화소는 R, G, B를 갖는 서브화소(sub-pixel)로 이루어질 수도 있지만, 일반적으로 각 화소가 하나의 색소를 갖는 것이 보통이다.In the color filter layer, as shown in Figs. 1A and 1B showing two types of color filter layers in which R, G, and B patterns are printed, respectively, R (Red), G (Green), and B (Blue) are typically used. A pixel having a pigment of the pattern is formed. Each pixel may consist of sub-pixels having R, G, and B, but in general, each pixel has one pigment.

칼라필터층을 형성함에 있어, 도 1a에 도시된 바와 같이, 동일한 열에 R, G, B 패턴이 각각 배열되도록 R, G, B 패턴을 일렬로 규칙적으로 배열할 수도 있고, 혹은 도 1b에 도시된 바와 같이, 동일한 행에 R, G, B 패턴을 반복적으로 배열할 수도 있다. R, G, B 패턴의 배열에 따라 해상도의 차이를 다양하게 구현할 수 있다.In forming the color filter layer, as shown in FIG. 1A, the R, G, and B patterns may be regularly arranged in a line such that the R, G, and B patterns are arranged in the same column, respectively, or as shown in FIG. 1B. Similarly, R, G, and B patterns may be repeatedly arranged in the same row. The difference in resolution can be realized in various ways according to the arrangement of the R, G, and B patterns.

이러한 칼라필터층은 다양한 방법, 예를 들어, 염색법, 인쇄법, 전착법, 안료분산법 등의 방법에 의해 제작될 수 있다. 종래의 수동 매트릭스 방식 중 하나인 STN(Super Twisted Nematic) 방식의 LCD에서는 주로 염색법, 인쇄법 및 점착법 등에 의해 칼라필터층을 제작했지만, 정교성이 뛰어나고 재현성이 좋으며 대면적 액정에 적용 가능한 능동 매트릭스 방식인 TFT(Thin Film Transistor) LCD에서는 주로 안료분산법이 사용된다.Such a color filter layer can be produced by various methods, for example, dyeing, printing, electrodeposition, pigment dispersion. STN (Super Twisted Nematic) LCD, which is one of the conventional passive matrix methods, mainly produces color filter layers by dyeing, printing, and adhesive methods, but it is an active matrix method that has excellent elaboration, good reproducibility, and is applicable to large-area liquid crystals. In TFT (Thin Film Transistor) LCD, pigment dispersion method is mainly used.

안료분산법에서는 감광성의 칼라레지스트(이하, 레지스트라 함)를 일반적인 포토공정에 의해 패턴을 형성함으로써 칼라필터층을 제작한다. 즉, 감광성의 레지스트를 기판 상에 도포하고 마스크를 이용하여 광을 조사한 후 현상액을 작용시켜 원하는 패턴을 형성함으로써 칼라필터층을 완성한다.In the pigment dispersion method, a color filter layer is produced by forming a pattern of photosensitive color resist (hereinafter referred to as a resist) by a general photo process. That is, a color filter layer is completed by applying a photosensitive resist onto a substrate, irradiating light with a mask, and then applying a developer to form a desired pattern.

이와 같이 안료분산법에 의해 칼라 필터를 형성하기 위해서는 포토공정이 필요하게 되는데, 이러한 포토공정은 공정이 복잡할 뿐만 아니라 제조비용이 많이 소요되는 문제점을 야기한다. 더욱이 R, G, B 패턴의 색소에 대응하는 화소를 형성하기 위해서는 포토공정을 3회 반복해야만 하기 때문에 공정이 더욱 복잡해진다.As such, a photo process is required to form a color filter by the pigment dispersion method, and this photo process causes a problem that the process is not only complicated but also expensive to manufacture. Furthermore, the process is further complicated since the photo process must be repeated three times in order to form pixels corresponding to the dyes of the R, G, and B patterns.

이러한 안료분산법의 문제점을 극복하기 위하여 최근에는 인쇄법을 TFT LCD 분야에서도 사용하는 방안이 제시되고 있다.Recently, a method of using the printing method in the TFT LCD field has been proposed to overcome the problems of the pigment dispersion method.

인쇄법은 레지스트가 도포되어 있는 그라비아(Gravure)와 이에 대응하는 롤(roll)을 구비하여 해당 색소의 레지스트 패턴을 롤의 작용에 의해 기판에 형성하고 이어서 또 다른 롤에 의해 다른 색의 레지스트를 순차적으로 형성하는 방식이다.The printing method includes a gravure to which a resist is applied and a corresponding roll to form a resist pattern of the corresponding dye on the substrate by the action of a roll, and subsequently, a resist of another color is sequentially formed by another roll. Form.

이러한 인쇄법이 실용화될 수 있다면 기판에 R, G, B 패턴을 인쇄하여 칼라필터층을 제작하는 공정을 보다 빠르고 효과적으로 수행할 수 있을 것이나, 아직 이러한 인쇄법으로 칼라필터층을 제작할 수 있는 장치가 실용화되지 못한 상태이다.If such a printing method can be put into practical use, the process of manufacturing color filter layers by printing R, G, and B patterns on a substrate can be performed more quickly and effectively. However, an apparatus for producing a color filter layer by such printing method has not been put to practical use. It is not.

따라서 이러한 장치에 대한 연구 개발이 활발히 진행 중이다. 이러한 연구 개발의 일환으로 본 출원인은 인쇄법을 이용하여 기판에 R, G, B 패턴을 형성하기 위한 다양한 기능을 갖는 인쇄장치를 기출원한 바 있다.Therefore, research and development on such a device is actively in progress. As part of such research and development, the present applicant has previously filed a printing apparatus having various functions for forming R, G, and B patterns on a substrate using a printing method.

한편, 전술한 것처럼 LCD의 경우에는 그 표면에 R, G, B의 레지스트가 적절한 배열 구조를 가지면서 인쇄되어야 하는데 반해, EMI 필터 등의 필름에 대해서는 마치 바둑판과 같은 배열을 갖는 단색 혹은 다색 레지스트 패턴이 인쇄될 수 있다.On the other hand, as described above, in the case of LCD, R, G, and B resists should be printed on the surface with an appropriate arrangement, whereas for films such as EMI filters, a monochromatic or multicolor resist pattern having an array like a checkerboard. Can be printed.

전자의 경우는 인쇄의 정도가 상당히 높아야 하기 때문에 잉크젯 프린터나 롤 프린터와 같은 전자 인쇄장치를 사용하는 것을 고려할 수 있으나, 후자의 경우는 인쇄의 정도가 상대적으로 낮아도 되기 때문에 고정도가 어려운 스크린 프린터나 롤투롤(Roll to Roll) 인쇄장치를 사용하는 것을 고려할 수 있다.In the former case, it is possible to consider using an electronic printing device such as an inkjet printer or a roll printer because the printing degree should be considerably high. In the latter case, a screen printer or a roll that is difficult to fix because the printing degree may be relatively low. One may consider using a roll to roll printing apparatus.

필름 인쇄를 위해 스크린 프린터를 사용하는 경우에는 구조상 생산성 저하의 문제가 있어 대안으로 롤투롤 인쇄장치를 사용하는 방안이 연구되고 있다.In case of using a screen printer for printing a film, there is a problem of deterioration in productivity due to structural problems. Therefore, a method of using a roll-to-roll printing apparatus has been studied.

롤투롤 인쇄장치는 다수의 하부 롤 상에 배치되는 인쇄 대상의 필름을 스테이지 상으로 피딩(feeding)시킨 후에 스테이지 상에서 블랭킷 롤(blanket roll)을 통해 필름의 상면인 인쇄면에 인쇄를 하는 방식으로서 스크린 프린터에 비해 고속 인쇄가 가능하다는 이점이 있다.The roll-to-roll printing apparatus is a method in which a film to be printed on a plurality of lower rolls is fed onto a stage and then printed on the printing surface, which is the upper surface of the film, through a blanket roll on the stage. The advantage is that high-speed printing is possible over printers.

LCD 등의 제조를 위한 인쇄장치의 경우를 비롯하여 롤투롤 인쇄장치의 경우, 블랭킷 롤이 기판이나 필름(이하, 기판으로 통일함)의 인쇄면에 인쇄를 하려면 블랭킷 롤이 그라비아 롤(gravure roll)로부터 레지스트를 전이 받아야 한다. 다시 말해, 블랭킷 롤이 그라비아 롤로부터 레지스트 패턴을 전이 받고, 이를 스테이지 상의 기판으로 재전이 시키는 일련의 과정을 통해 기판에 대한 인쇄 작업이 진행될 수 있다.In the case of a roll-to-roll printing apparatus, including a printing apparatus for manufacturing LCDs or the like, in order to print on a printing surface of a substrate or a film (hereinafter referred to as a substrate), a blanket roll may be formed from a gravure roll. The resist must be transferred. In other words, the printing operation on the substrate may proceed through a series of processes in which the blanket roll transfers the resist pattern from the gravure roll and retransmits it to the substrate on the stage.

이때, 그라비아 롤의 가공 품질은 기판에 대한 인쇄 품질에 많은 영향을 미친다. 즉 그라비아 롤이 공정에서 요구되는 정도로 가공되지 못했을 경우, 특히 그라비아 롤의 외면 패턴(pattern) 가공정도가 요구되는 품질이 미치지 못하거나 그라비아 롤의 외면에 형성되는 다수의 얼라인 마크(align mark) 위치가 맞지 않게 그라비아 롤이 장착되는 경우라면 인쇄 품질이 저하될 수밖에 없다.At this time, the processing quality of the gravure roll has a great influence on the printing quality on the substrate. That is, when the gravure roll is not processed to the extent required in the process, in particular, the number of alignment mark positions formed on the outer surface of the gravure roll does not meet the required quality or the degree of pattern processing of the outer surface of the gravure roll. If the gravure roll is loaded incorrectly, the print quality will deteriorate.

따라서 기판에 대한 실질적인 인쇄 작업을 진행하고자 할 때는 그라비아 롤에 대한 전반적인 검사를 먼저 수행하게 된다. 즉 그라비아 롤의 외면에는 다수의 얼라인 마크가 형성되므로 별도의 마스터 기판(master glass)을 준비하고, 이 마스터 기판에 이상적인 얼라인 마크를 표시해 놓은 후, 마스터 기판으로 인쇄를 진행하여 그라비아 롤과 마스터 기판 간의 얼라인 마크를 비교하면서 얼라인 위치를 수정하고, 또한 인쇄된 마스터 기판을 보면서 그라비아 롤의 패턴 가공정도를 검사하게 된다.Therefore, when the actual printing operation on the substrate is to be carried out, the overall inspection of the gravure roll is first performed. That is, since a plurality of alignment marks are formed on the outer surface of the gravure roll, a separate master substrate is prepared, an ideal alignment mark is displayed on the master substrate, and then printing is performed on the master substrate to produce a gravure roll and master. The alignment position is corrected by comparing the alignment marks between the substrates, and the degree of pattern processing of the gravure roll is examined while looking at the printed master substrate.

종래기술에서 마스터 기판을 사용하어 그라비아 롤의 패턴 가공정도를 검사하거나 얼라인 마크 위치를 검사하는 까닭은 이를 검사하기 위한 검사장치가 아직 개발된 바 없기 때문이다.The reason for inspecting the pattern processing degree of the gravure roll or the alignment mark position by using the master substrate in the prior art is that the inspection apparatus for inspecting this has not been developed yet.

이와 같이, 종래기술의 경우, 그라비아 롤을 검사하기 위한 별도의 검사장치가 개발되거나 적용된 바 없기 때문에 불가피하게 마스터 기판을 사용해야 하며, 이에 따라 마스터 기판을 사용하는 데 따른 비용적인 로스(loss) 혹은 그만큼 공정이 지연되는 시간적인 로스(loss) 등 다양한 공정 로스를 발생시키고 마스터 기판 없이도 그라비아 롤의 패턴 가공정도 또는 얼라인 마크 위치 등을 비롯한 다양한 검사를 효율적으로 진행할 수 있는 그라비아 롤 검사장치의 개발이 요구된다.As described above, in the prior art, since a separate inspection apparatus for inspecting gravure rolls has not been developed or applied, it is inevitable to use a master substrate, and accordingly, a cost loss or the amount corresponding to using the master substrate is inevitably used. It is necessary to develop a gravure roll inspection device that generates various process losses such as time-loss, which delays the process, and can efficiently perform various inspections such as pattern processing degree or alignment mark position of gravure roll without a master board. do.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 마스터 기판(master glass)을 사용하지 않더라도 그라비아 롤의 패턴(pattern) 가공정도 또는 얼라인 마크(align mark) 위치 등의 다양한 검사를 선택적으로 또는 일괄적으로 진행할 수 있어 공정 로스(loss) 발생을 감소시킬 수 있는 그라비아 롤 검사장치를 제공하는 것이다.Accordingly, the technical problem to be achieved by the present invention is to selectively or collectively perform various inspections such as pattern processing degree or alignment mark position of gravure roll without using a master glass. It is possible to provide a gravure roll inspection apparatus that can reduce the occurrence of process losses.

본 발명의 일 측면에 따르면, 장치본체; 상기 장치본체에 상호 이격되게 한 쌍으로 마련되며, 레지스트가 도포되는 패턴(pattern)과 다수의 얼라인 마크(align mark)가 외면에 형성되는 그라비아 롤(gravure roll)이 회전 가능하게 그립핑되는 롤 그립퍼(roll gripper); 및 상기 롤 그립퍼와 이격된 위치에서 상기 장치본체에 마련되어 상기 그라비아 롤의 패턴 또는 얼라인 마크를 촬영하는 검사 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, Rolls are provided in a pair to be spaced apart from each other in the apparatus main body, and a gravure roll rotatably gripped with a pattern on which a resist is applied and a plurality of alignment marks formed on an outer surface thereof. Roll grippers; And an inspection camera provided on the apparatus main body at a position spaced apart from the roll gripper to photograph a pattern or an alignment mark of the gravure roll.

상기 장치본체에 마련되어 상기 장치본체 상에서 상기 그라비아 롤의 길이 방향인 X축 방향을 따라 이동되는 X축 이동 베드; 및 상기 X축에 교차되는 Y축 방향을 따라 상기 검사 카메라를 미세 구동시키는 제1 Y축 미세 구동부와, 상하 방향인 Z축 방향을 따라 상기 검사 카메라를 미세 구동시키는 제1 Z축 미세 구동부를 구비하며, 상기 X축 이동 베드 상에 상기 검사 카메라를 연결시키는 카메라 연결부를 더 포함할 수 있다.An X-axis moving bed provided in the apparatus main body and moving along the X-axis direction in the longitudinal direction of the gravure roll on the apparatus main body; And a first Y-axis fine driver for finely driving the inspection camera along a Y-axis direction crossing the X-axis, and a first Z-axis fine driver for finely driving the inspection camera along a Z-axis direction that is up and down. The apparatus may further include a camera connecting portion connecting the inspection camera to the X-axis moving bed.

상기 검사 카메라는, 상기 그라비아 롤의 패턴을 촬영하는 비전 카메라(vision camera); 및 상기 비전 카메라와는 별개로 마련되고, 상기 그라비아 롤의 얼라인 마크를 촬영하는 얼라인 카메라(align camera)를 포함할 수 있다.The inspection camera, a vision camera for photographing the pattern of the gravure roll (vision camera); And an alignment camera provided separately from the vision camera and photographing an alignment mark of the gravure roll.

상기 비전 카메라에는 상기 얼라인 카메라에 비해 상대적으로 고화소의 렌즈가 적용될 수 있다.The vision camera may have a relatively high pixel lens compared to the alignment camera.

상기 롤 그립퍼에 그립핑된 상기 그라비아 롤을 기준으로 하여 상기 검사 카메라의 반대편 위치에 배치되어 그라비아 롤에 대한 원통도를 측정하는 원통도 측정모듈을 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a cylindricalness measuring module disposed at a position opposite to the inspection camera based on the gravure roll gripped by the roll gripper to measure the cylindricalness of the gravure roll.

상기 Y축 방향을 따라 상기 원통도 측정모듈을 미세 구동시키는 제2 Y축 미세 구동부와, 상기 Z축 방향을 따라 상기 원통도 측정모듈을 미세 구동시키는 제2 Z축 미세 구동부를 구비하며, 상기 X축 이동 베드 상에 상기 원통도 측정모듈을 연결시키는 원통도 측정모듈 연결부를 더 포함할 수 있다.A second Y-axis fine driver for finely driving the cylindricalness measurement module along the Y-axis direction, and a second Z-axis fine driver for finely driving the cylindricality degree measurement module along the Z-axis direction; The cylinder may further include a cylindrical measuring module connecting portion for connecting the cylindrical measuring module on the moving bed.

상기 그라비아 롤의 하부 영역에 배치되며, 상기 그라비아 롤이 상기 롤 그립퍼에 그립핑된 때 상기 그라비아 롤의 초기 영점(zero setting) 위치를 측정하는 롤 세팅용 측정모듈을 더 포함할 수 있다.The gravure roll may further include a measurement module for setting a roll, the roll setting unit configured to measure an initial zero setting position of the gravure roll when the gravure roll is gripped by the roll gripper.

상기 X축 이동 베드 상에 상기 롤 세팅용 측정모듈을 연결시키는 롤 세팅용 측정모듈 연결부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a roll setting measuring module connecting unit connecting the roll setting measuring module to the X-axis moving bed.

상기 롤 세팅용 측정모듈 연결부는, 상기 Z축 방향을 따라 상기 롤 세팅용 측정모듈을 미세 구동시키는 제3 Z축 미세 구동부; 및 상기 롤 세팅용 측정모듈 연결부는 θ축 방향으로 상기 롤 세팅용 측정모듈을 미세 구동시키는 θ축 미세 구동부를 포함할 수 있다.The roll setting measurement module connection unit may further include: a third Z axis fine driver configured to finely drive the roll setting measurement module along the Z axis direction; And the θ-axis fine driver for finely driving the roll setting measurement module in the θ-axis direction.

상기 제3 Z축 미세 구동부는, 상기 X축 이동 베드에 고정되는 Z축 고정체; 및 X축 핸들의 조작에 기초하여 상기 Z축 고정체에 대해 Z축 방향으로 이동되는 Z축 이동체를 포함할 수 있으며, 상기 θ축 미세 구동부는, 상기 Z축 이동체에 고정되는 θ축 고정체; 및 θ축 핸들의 조작에 기초하여 상기 θ축 고정체에 대해 θ축 방향으로 이동되는 θ축 이동체를 포함할 수 있다.The third Z-axis fine drive unit, the Z-axis fixed body fixed to the X-axis moving bed; And a Z-axis moving body which is moved in the Z-axis direction with respect to the Z-axis fixing body based on the manipulation of the X-axis handle, wherein the θ-axis fine driving unit comprises: a θ-axis fixing body fixed to the Z-axis moving body; And a θ-axis moving body that is moved in the θ-axis direction with respect to the θ-axis fixed body based on the manipulation of the θ-axis handle.

상기 롤 세팅용 측정모듈은 상기 그라비아 롤을 사이에 두고 양측에 한 쌍으로 배치되되 하나의 롤 세팅용 측정모듈은 발광용이고, 다른 하나의 롤 세팅용 측정모듈은 수광용일 수 있다.The roll setting measurement module may be disposed in pairs on both sides with the gravure roll interposed therebetween, one roll setting measurement module for light emission, and the other roll setting measurement module for light reception.

상기 한 쌍의 롤 그립퍼 중 어느 한 쪽에 연결되어 상기 롤 그립퍼에 그립핑된 상기 그라비아 롤을 회전구동시키는 롤 회전구동부를 더 포함할 수 있다.It may further include a roll rotation driving unit connected to any one of the pair of roll grippers to rotate the gravure roll gripped to the roll gripper.

본 발명에 따르면, 마스터 기판(master glass)을 사용하지 않더라도 그라비아 롤의 패턴(pattern) 가공정도 또는 얼라인 마크(align mark) 위치 등의 다양한 검사를 선택적으로 또는 일괄적으로 진행할 수 있어 공정 로스(loss) 발생을 감소시킬 수 있다.According to the present invention, even if a master glass is not used, various inspections, such as pattern processing degree or alignment mark position, of gravure roll can be selectively or collectively performed. loss can be reduced.

도 1a 및 도 1b는 각각 R, G, B 패턴이 인쇄된 칼라필터층에 대한 2 종류의 구조를 나타낸 도면들이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 그라비아 롤 검사장치의 측면 구도도이다.
도 3은 도 2의 정면 구조도이다.1A and 1B are diagrams showing two types of structures of color filter layers printed with R, G, and B patterns, respectively.
Figure 2 is a side view of the gravure roll inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a front structural diagram of FIG. 2.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

참고로, 이하에서 설명될 기판이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 FPD(Flat Panel Display) 기판, 혹은 평판디스플레이 산업이나 혹은 그와 유사한 IT 산업에서 요구되는 필름, 예컨대 EMI(electromagnetic interference) 필터를 비롯하여 플랙서블한 터치 스크린 패널 등을 포함할 수 있는데, 본 실시예에서는 이들을 구분하지 않고 기판이라 하여 설명한다.For reference, the substrate to be described below is a flat panel display (FPD) substrate or a flat panel display industry or the like, including a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), organic light emitting diodes (OLED), and the like. It may include a film required in the IT industry similar to, for example, an electromagnetic interference (EMI) filter, a flexible touch screen panel and the like, in the present embodiment will be described as a substrate without distinguishing them.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 그라비아 롤 검사장치의 측면 구도도이고, 도 3은 도 2의 정면 구조도이다.2 is a side view of the gravure roll inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a front structural view of FIG.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 그라비아 롤 검사장치는, 장치본체(100)와, 장치본체(100)에 마련되어 그라비아 롤(110, gravure roll)이 회전 가능하게 그립핑되는 롤 그립퍼(120, roll gripper)와, 장치본체(100)에 마련되어 장치본체(100) 상에서 그라비아 롤(110)의 길이 방향인 X축 방향(도 3 참조)을 따라 이동되는 X축 이동 베드(130)와, 그라비아 롤(110)의 패턴(pattern, 도 2 참조) 또는 얼라인 마크(align mark, 도 3 참조)를 촬영하는 검사 카메라(140)와, 그라비아 롤(110)에 대한 원통도를 측정하는 원통도 측정모듈(160)과, 그라비아 롤(110)의 초기 영점(zero setting) 위치를 측정하는 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)을 포함한다.As shown in these figures, the gravure roll inspection apparatus of the present embodiment, the device body 100, the roll gripper 120 is provided on the device body 100, the gravure roll 110 is gripped rotatably. and a roll gripper and an X-axis moving bed 130 provided on the apparatus main body 100 and moving along the X-axis direction (see FIG. 3), which is a longitudinal direction of the gravure roll 110, on the apparatus main body 100, and gravure. Inspection camera 140 photographing the pattern (refer to Fig. 2) or alignment mark (refer to Fig. 3) of the roll 110, and the cylindricalness measurement to measure the cylindricality for the gravure roll 110 The module 160 and the roll setting measuring modules 180a and 180b for measuring the initial zero setting position of the gravure roll 110 are included.

그라비아 롤(110)에 대해 먼저 설명하면, 그라비아 롤(110)은, 전술한 도 1a 및 도 1b와 관련하여 설명한 R, G, B 레지스트 중에서 선택된 어느 한 레지스트를 실질적인 인쇄 롤인 블랭킷 롤(blanket roll, 미도시)의 외면으로 전이시키는 역할을 한다. 따라서 그라비아 롤(110)은 블랭킷 롤과 실질적으로 거의 유사한 부피를 갖도록 제조될 수 있다.Referring to the gravure roll 110, the gravure roll 110 is a blanket roll (rollet roll, which is a substantially printing roll of any one selected from the R, G, B resist described with reference to FIGS. 1A and 1B described above). (Not shown) to the outer surface. Thus, the gravure roll 110 may be manufactured to have a volume substantially similar to that of the blanket roll.

전술한 도 1a 및 도 1b와 같이, 기판에 R, G, B 패턴을 인쇄함에 있어 레지스트를 도포하는 디스펜서(dispenser, 미도시)가 R, G, B 중에서 선택된 어느 한 레지스트(잉크)를 그라비아 롤(110)의 외면으로 도포하게 되는데, 이를 위해 그라비아 롤(110)의 외면에는 도 2의 확대 A 및 B처럼 레지스트가 도포되는, 즉 묻는 패턴(pattern)이 형성된다.As shown in FIGS. 1A and 1B, in the printing of R, G, and B patterns on a substrate, a dispenser (not shown) for applying a resist is a gravure roll selected from one of R, G, and B. It is applied to the outer surface of the 110, for this purpose, a resist is applied to the outer surface of the gravure roll 110, that is, a pattern (pattern) is formed as shown in the enlarged A and B of FIG.

이러한 패턴은 양각 혹은 음각의 형태가 모두 가능하다. 양각의 형태라면 돌출된 요철부(10b)의 외면에 레지스트가 도포되어 블랭킷 롤로 전이되고, 음각의 형태라면 함몰된 요홈부(10a)의 내부에 레지스트가 도포되어 블랭킷 롤로 전이된다.These patterns can be embossed or engraved. In the embossed form, a resist is applied to the outer surface of the protruding convex-concave portion 10b to be transferred to the blanket roll, and in the engraved form, the resist is applied to the inside of the recessed concave portion 10a to be transferred to the blanket roll.

다만, 블랭킷 롤이 그라비아 롤(110)의 외면에서 레지스트를 전이 받아 이를 기판에 재전이(인쇄)하여 도 1a 및 도 1b와 같은 형상의 R, G, B 패턴을 인쇄함에 있어, 기판의 표면으로부터 R, G, B 패턴의 두께를 균일하게 유지하기 위해서는 그라비아 롤(110)의 외면에 형성된 패턴이 음각의 형태 즉, 요홈부(10a)의 형태인 것이 유리할 수 있다. 물론, 이러한 사항은 하나의 실시예에 불과하므로 이러한 사항에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.However, when the blanket roll transfers the resist from the outer surface of the gravure roll 110 and retransfers (prints) it onto the substrate to print the R, G, and B patterns having the shapes as shown in FIGS. 1A and 1B, from the surface of the substrate In order to maintain the thickness of the R, G, and B patterns uniformly, it may be advantageous that the pattern formed on the outer surface of the gravure roll 110 is in the form of an intaglio, that is, in the form of the recess 10a. Of course, since these matters are only one embodiment, the scope of the present invention is not limited to these matters.

결과적으로 그라비아 롤(110)의 외면에는 패턴(도 2 참조)과, 도 3처럼 다수의 얼라인 마크(align mark)가 형성되는데, 본 실시예의 그라비아 롤 검사장치는 이러한 패턴과 얼라인 마크의 검사를 위해 마련된다.As a result, a pattern (see FIG. 2) and a plurality of alignment marks are formed on the outer surface of the gravure roll 110, and the gravure roll inspection apparatus of this embodiment inspects the pattern and the alignment marks. Is prepared for.

특히, 본 실시예의 그라비아 롤 검사장치는 종래처럼 마스터 기판(master glass)을 사용하지 않더라도 그라비아 롤(110)의 얼라인 마크 위치 또는 패턴 등을 비롯하여 다양한 검사를 선택적으로 또는 일괄적으로 진행할 수 있어 공정 로스(loss) 발생을 감소시킬 수 있다. 이하, 그라비아 롤 검사장치의 각 구성에 대해 하나씩 살펴보도록 한다.In particular, the gravure roll inspection apparatus of the present embodiment can selectively or collectively perform various inspections, including the alignment mark position or pattern of the gravure roll 110 even without using a master glass as in the prior art. It is possible to reduce the occurrence of losses. Hereinafter, one look at each configuration of the gravure roll inspection device.

우선, 장치본체(100)는 본 실시예의 그라비아 롤 검사장치에서 외관을 형성한다.First, the apparatus main body 100 forms an appearance in the gravure roll inspection apparatus of this embodiment.

도면에는 장치본체(100)가 단순히 박스(box) 형태로 개략적으로 도시되어 있지만 장치본체(100)에는 지면에는 지지되는 푸트(foot, 미도시)를 비롯하여 외관 케이싱(미도시)이 더 장착될 수 있다. 뿐만 아니라 장치본체(100)에는 진동을 저지시키는 제진수단 등이 더 갖춰질 수도 있다. 제진수단은 고무 패킹이나 현가 스프링 장치일 수 있다.Although the apparatus body 100 is schematically illustrated in a box form in the drawing, the apparatus body 100 may be further equipped with an exterior casing (not shown) including a foot (not shown) supported on the ground. have. In addition, the device body 100 may be further provided with a vibration damping means for preventing vibration. The vibration damping means may be a rubber packing or a suspension spring device.

롤 그립퍼(120)는 장치본체(100)에 상호 이격되게 한 쌍으로 마련된다. 한 쌍의 롤 그립퍼(120)는 그라비아 롤(110)의 양쪽 롤 샤프트(111)를 회전 가능하게 그립핑한다.The roll grippers 120 are provided in pairs to be spaced apart from each other in the apparatus main body 100. The pair of roll grippers 120 rotatably grips both roll shafts 111 of the gravure roll 110.

그라비아 롤(110)의 양쪽 롤 샤프트(111)가 롤 그립퍼(120)에 그립핑되거나 그립핑 해제될 수 있도록 롤 그립퍼(120)는 회전식 혹은 덮개식의 착탈 구조를 가질 수 있다. 롤 그립퍼(120)에는 그라비아 롤(110)의 원활한 회전 운동을 유도하는 베어링(B)이 장착된다.The roll gripper 120 may have a rotary or cover type detachable structure such that both roll shafts 111 of the gravure roll 110 may be gripped or released from the roll gripper 120. The roll gripper 120 is equipped with a bearing B for inducing a smooth rotational movement of the gravure roll 110.

한 쌍의 롤 그립퍼(120) 중 어느 일측에는 도 3에 도시된 바와 같이, 롤 회전구동부(125)가 연결된다.As shown in FIG. 3, the roll rotation driving unit 125 is connected to any one side of the pair of roll grippers 120.

롤 회전구동부(125)는 롤 그립퍼(120)에 그립핑된 그라비아 롤(110)을 회전구동시키는 역할을 한다. 롤 회전구동부(125)는 모터(125a)와, 모터(125a)와 그라비아 롤(110)의 롤 샤프트(111)를 연결하는 커플링(125b)을 포함할 수 있다.The roll rotation driver 125 serves to rotate the gravure roll 110 gripped on the roll gripper 120. The roll rotation driver 125 may include a motor 125a and a coupling 125b connecting the motor 125a and the roll shaft 111 of the gravure roll 110.

X축 이동 베드(130)는 장치본체(100)에 마련되어 장치본체(100) 상에서 그라비아 롤(110)의 길이 방향인 X축 방향(도 3 참조)을 따라 이동되는 구조체이다.The X-axis moving bed 130 is a structure which is provided in the apparatus body 100 and moves along the X-axis direction (see FIG. 3), which is the longitudinal direction of the gravure roll 110, on the apparatus body 100.

X축 이동 베드(130)는 실린더 등의 액추에이터로 적용될 수도 있고, 아니면 본 실시예처럼 리니어 모터(linear motor)로 적용될 수 있다. 속도 제어 등이 좀 더 세밀하고 정확해지기 위해서는 본 실시예처럼 리니어 모터로 X축 이동 베드(130)가 적용되는 것이 바람직하다.The X-axis moving bed 130 may be applied to an actuator such as a cylinder, or may be applied to a linear motor as in the present embodiment. In order for the speed control and the like to be more precise and accurate, the X-axis moving bed 130 is preferably applied to the linear motor as in the present embodiment.

본 실시예의 경우, X축 이동 베드(130)에 검사 카메라(140), 원통도 측정모듈(160) 및 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)이 모두 연결되어 X축 방향을 따라 이동되면서 해당 기능을 수행한다.In the present embodiment, the inspection camera 140, the cylindrical measuring module 160 and the roll setting measuring module (180a, 180b) are all connected to the X-axis moving bed 130 and moved along the X-axis direction, the corresponding function Do this.

본 실시예처럼 하나의 X축 이동 베드(130) 상에 검사 카메라(140), 원통도 측정모듈(160) 및 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)을 모두 연결시켜 함께 구동되는 경우, 한번의 동작으로 다양한 검사 요소들, 예컨대, 그라비아 롤(110)의 패턴 가공정도 또는 얼라인 마크 위치, 그라비아 롤(110)의 원통도 및 초기 영점(zero setting) 위치 등을 일괄적으로 검사할 수 있어 검사의 편의성이 증대되고 효율이 높아질 수 있다.When the inspection camera 140, the cylindricalness measuring module 160 and the roll setting measuring module (180a, 180b) are all driven together on one X-axis moving bed 130 as in this embodiment, In operation, various inspection elements, for example, the degree of pattern processing or alignment mark of the gravure roll 110, the cylindrical degree and the initial zero setting position of the gravure roll 110, etc. can be inspected in a batch. The convenience of can be increased and the efficiency can be increased.

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되지 않는다. 즉 검사 카메라(140), 원통도 측정모듈(160) 및 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)이 개별적으로 혹은 몇몇끼리 연결되어 동작될 수도 있는데, 이러한 경우라면 그라비아 롤(110)의 패턴 가공정도 또는 얼라인 마크 위치, 그라비아 롤(110)의 원통도 및 초기 영점(zero setting) 위치 등을 선택적으로 검사할 수 있을 것이다.However, the scope of the present invention is not limited thereto. That is, the inspection camera 140, the cylindrical measuring module 160 and the measuring module for setting the roll (180a, 180b) may be operated individually or connected to each other, in this case, the pattern processing degree of the gravure roll 110 Alternatively, the alignment mark position, the cylinder degree of the gravure roll 110 and the initial zero setting position may be selectively inspected.

검사 카메라(140)는 그라비아 롤(110)의 패턴(pattern, 도 2 참조)과 얼라인 마크(align mark, 도 3 참조)를 촬영하는 역할을 한다. 물론, 촬영된 영상은 별도의 제어부(미도시)로 전송되고 제어부를 통한 모니터링을 통해 그 위치가 검출될 수 있는데, 이러한 사항에 대해서는 도시를 생략하였다.The inspection camera 140 photographs a pattern of the gravure roll 110 and an alignment mark (see FIG. 3). Of course, the photographed image may be transmitted to a separate control unit (not shown) and its position may be detected by monitoring through the control unit.

검사 카메라(140)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 그라비아 롤(110)의 패턴을 촬영하는 비전 카메라(141, vision camera)와, 비전 카메라(141)와는 별개로 마련되고, 그라비아 롤(110)의 얼라인 마크를 촬영하는 얼라인 카메라(142, align camera)를 포함한다.As shown in FIG. 3, the inspection camera 140 is provided separately from the vision camera 141 for photographing the pattern of the gravure roll 110 and the vision camera 141, and the gravure roll 110. And an align camera 142 for photographing the align mark.

물론, 하나의 카메라를 이용하여 그라비아 롤(110)의 패턴과 얼라인 마크 모두를 촬영하는 것을 고려해볼 수도 있고, 충분히 적용될 수도 있다.Of course, it may be considered to photograph both the pattern and the alignment mark of the gravure roll 110 using one camera, or may be sufficiently applied.

하지만, 얼라인 마크에 비해 패턴의 형상은 매우 미세하기 때문에 통상적인 일반 카메라를 통해서는 패턴의 가공정도, 즉 품질을 명확하게 검사하기 곤란하다.However, since the shape of the pattern is very fine compared to the alignment mark, it is difficult to clearly check the processing accuracy, that is, the quality, of the pattern through a general general camera.

따라서 본 실시예의 경우, 비전 카메라(141)와 얼라인 카메라(142)를 개별적으로 마련하여 이들이 그라비아 롤(110)의 패턴 가공정도와 그라비아 롤(110)의 얼라인 마크 위치를 개별적으로 촬영하도록 하고 있는 것이다.Therefore, in the present embodiment, the vision camera 141 and the alignment camera 142 are separately provided so that they can separately photograph the pattern processing degree of the gravure roll 110 and the alignment mark position of the gravure roll 110. It is.

이러한 점으로 미루어 볼 때, 비전 카메라(141)에는 얼라인 카메라(142)에 비해 상대적으로 고화소의 렌즈가 적용될 수 있으며, 오토 포커싱(auto focusing)이 좀 더 세밀한 고가의 장비일 수 있다.In view of this, the lens of the high pixel may be applied to the vision camera 141 as compared to the alignment camera 142, and may be expensive equipment with more precise auto focusing.

비전 카메라(141)와 얼라인 카메라(142)가 개별적으로 마련되기 때문에 이들을 개별적으로 X축 구동시키는 것을 고려해볼 수도 있지만 본 실시예의 경우, 효율을 고려하여 이들이 함께 X축 방향을 따라 이동되도록 하고 있다.Since the vision camera 141 and the alignment camera 142 are provided separately, it may be considered to drive them separately in the X-axis, but in the present embodiment, in consideration of efficiency, they are moved along the X-axis direction together. .

이를 위해, 본 실시예의 그라비아 롤 검사장치에는 카메라 연결부(150)가 마련된다.To this end, a camera connecting portion 150 is provided in the gravure roll inspection apparatus of this embodiment.

카메라 연결부(150)는 X축 이동 베드(130) 상에 검사 카메라(140)를 연결시키는 역할을 하며, 이에 따라 검사 카메라(140)는 X축 이동 베드(130)에 의해 X축을 따라 이동되면서 그라비아 롤(110)의 패턴과 얼라인 마크를 촬영할 수 있다.Camera connection portion 150 serves to connect the inspection camera 140 on the X-axis moving bed 130, accordingly, the inspection camera 140 is moved along the X-axis by the X-axis moving bed 130, gravure The pattern of the roll 110 and the alignment mark may be photographed.

이러한 카메라 연결부(150)는 도 2에 도시된 바와 같이, X축에 교차되는 Y축 방향(도 2 참조)을 따라 검사 카메라(140)를 미세 구동시키는 제1 Y축 미세 구동부(151)와, 상하 방향인 Z축 방향(도 2 참조)을 따라 검사 카메라(140)를 미세 구동시키는 제1 Z축 미세 구동부(152)를 포함한다.As shown in FIG. 2, the camera connection unit 150 includes a first Y-axis fine driver 151 for finely driving the inspection camera 140 along the Y-axis direction (see FIG. 2) crossing the X-axis, A first Z-axis fine driver 152 for finely driving the inspection camera 140 along the Z-axis direction (see FIG. 2), which is an up-down direction.

제1 Y축 미세 구동부(151)는 X축 이동 베드(130) 상에서 핸들(151a)의 조작 시 카메라 연결부(150) 전체를 지지하는 지지체(151b)를 Y축 방향으로 이동시키는 역할을 한다. 제1 Z축 미세 구동부(152)는 핸들(152a)의 조작 시 제1 Y축 미세 구동부(151)의 지지체(151b)에 연결된 슬라이더(152b)를 Z축으로 이동시키는 역할을 한다. 이러한 구조에서 비전 카메라(141)와 얼라인 카메라(142)는 슬라이더(152b)의 상부 영역에 착탈식으로 마련될 수 있다.The first Y-axis fine driver 151 serves to move the support 151b supporting the entire camera connecting portion 150 in the Y-axis direction when the handle 151a is manipulated on the X-axis moving bed 130. The first Z-axis fine driver 152 serves to move the slider 152b connected to the support 151b of the first Y-axis fine driver 151 to the Z axis when the handle 152a is operated. In this structure, the vision camera 141 and the alignment camera 142 may be detachably provided in the upper region of the slider 152b.

원통도 측정모듈(160)은 롤 그립퍼(120)에 그립핑된 그라비아 롤(110)을 기준으로 하여 검사 카메라(140)의 반대편 위치에 배치되어 그라비아 롤(110)에 대한 원통도를 측정한다.The cylindricalness measuring module 160 is disposed at a position opposite to the inspection camera 140 on the basis of the gravure roll 110 gripped on the roll gripper 120 to measure the cylindricalness of the gravure roll 110.

여기서, 원통도란 진직 또는 진원을 모두 포함하는 용어일 수 있다. 예컨대, 그라비아 롤(110)의 측벽에 수평 라인(line)을 그라비아 롤(110)의 길이 방향인 X축 방향을 따라 긋는 경우, 수평 라인이 비뚤어지지 않게 그려진다면 진직 또는 진원이 규격에 맞는, 다시 말해 원통도가 규격에 맞는 상태라 할 수 있다.Here, the cylinder degree may be a term including both straight or round. For example, when a horizontal line is drawn on the sidewall of the gravure roll 110 along the X-axis direction, which is the longitudinal direction of the gravure roll 110, if the horizontal line is drawn unevenly, then the straight or the roundness meets the standard. In other words, the cylinder can be said to meet the standard.

원통도 측정모듈(160)은 그라비아 롤(110)의 측벽에 레이저를 조사하는 레이저 센서일 수 있으며, 이러한 레이저를 그라비아 롤(110)의 측벽에서 그라비아 롤(110)의 길이 방향인 X축 방향을 따라 조사함으로써 그라비아 롤(110)의 원통도 검사를 진행할 수 있다.Cylindrical degree measurement module 160 may be a laser sensor for irradiating a laser on the side wall of the gravure roll 110, the laser in the longitudinal direction of the gravure roll 110 in the X-axis direction on the side wall of the gravure roll 110 By inspection along, the cylindricalness inspection of the gravure roll 110 can be advanced.

이때, 좀 더 정확한 원통도 검사가 진행되려면 그라비아 롤(110)의 쿼터 라인수평 지름 축선으로 레이저를 조사하는 것이 유리하다. 따라서 원통도 측정모듈(160) 역시 X축 이동 베드(130) 상에 연결될 때, 원통도 측정모듈(160)이 Y축 방향 또는 Z축 방향으로 이동될 수 있도록 원통도 측정모듈 연결부(170)가 더 갖춰질 수 있다.At this time, it is advantageous to irradiate the laser with the quarter line horizontal diameter axis of the gravure roll 110 in order to proceed a more accurate cylindrical inspection. Therefore, when the cylindricalness measuring module 160 is also connected to the X-axis moving bed 130, the cylindricalness measuring module connecting portion 170 is so that the cylindricalness measuring module 160 can be moved in the Y-axis direction or Z-axis direction Can be equipped more.

이러한 원통도 측정모듈 연결부(170)는 도 2에 도시된 바와 같이, Y축 방향을 따라 원통도 측정모듈(160)을 미세 구동시키는 제2 Y축 미세 구동부(171)와, Z축 방향을 따라 원통도 측정모듈(160)을 미세 구동시키는 제2 Z축 미세 구동부(172)를 구비한다.As shown in FIG. 2, the cylindrical measuring module connecting unit 170 includes a second Y-axis fine driver 171 for finely driving the cylindrical measuring module 160 along the Y-axis direction and the Z-axis direction. A second Z-axis fine driver 172 for finely driving the cylinder degree measurement module 160 is provided.

원통도 측정모듈 연결부(170) 역시, 앞서 설명한 카메라 연결부(150)와 유사한 구조를 가질 수 있다. 즉 제2 Y축 미세 구동부(171)는 X축 이동 베드(130) 상에서 핸들(171a)의 조작 시 원통도 측정모듈(160) 전체를 지지하는 지지체(171b)를 Y축 방향으로 이동시키는 역할을 하고, 제2 Z축 미세 구동부(172)는 핸들(172a)의 조작 시 제2 Y축 미세 구동부(171)의 지지체(171b)에 연결된 슬라이더(172b)를 Z축으로 이동시키는 역할을 할 수 있다. 이러한 구조에서 원통도 측정모듈(160)은 슬라이더(172b)의 상부 영역에 착탈식으로 마련될 수 있다.Cylindrical degree measurement module connection unit 170 may also have a structure similar to the camera connection unit 150 described above. That is, the second Y-axis fine drive unit 171 serves to move the support 171b supporting the entire cylinder degree measurement module 160 in the Y-axis direction when the handle 171a is operated on the X-axis moving bed 130. In addition, the second Z-axis fine driver 172 may serve to move the slider 172b connected to the support 171b of the second Y-axis fine driver 171 to the Z axis when the handle 172a is operated. . In this structure, the cylindricality measuring module 160 may be detachably provided in the upper region of the slider 172b.

마지막으로, 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)은 그라비아 롤(110)의 하부 영역에 배치되며, 그라비아 롤(110)이 롤 그립퍼(120)에 그립핑된 때 그라비아 롤(110)의 초기 영점(zero setting) 위치를 측정하는 역할을 한다.Finally, the measurement module for roll setting (180a, 180b) is disposed in the lower region of the gravure roll 110, the initial zero point of the gravure roll 110 when the gravure roll 110 is gripped to the roll gripper 120 (zero setting) Measures the position.

본 실시예에서 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b) 역시 레이저 센서로 적용되고 있다. 따라서 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)은 그라비아 롤(100)을 사이에 두고 양측에 한 쌍으로 배치되며, 하나의 롤 세팅용 측정모듈(180a)은 광(빛)이 발광되는 발광용으로, 다른 하나의 롤 세팅용 측정모듈(180b)은 발광된 광이 수광되는 수광용으로 적용될 수 있다.In this embodiment, the measurement module for setting the roll (180a, 180b) is also applied as a laser sensor. Therefore, the roll setting measurement modules 180a and 180b are disposed in pairs on both sides with the gravure roll 100 interposed therebetween, and one roll setting measurement module 180a is used for light emission of light. In addition, the other roll setting measurement module 180b may be applied to the light-receiving light emitted from the light.

이처럼 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b) 중 하나가 광의 발광용이고 다른 하나가 수광용임에 따라 그라비아 롤(110)의 하단부 영역으로 X축 방향을 따라 레이저를 조사하여 수광함으로써 가상의 이상적인 수평면에 대한 그라비아 롤(110)의 배치 정도를 검사할 수 있다.As one of the roll setting measuring modules 180a and 180b is for emitting light and the other is for receiving light, the laser is irradiated to the lower end region of the gravure roll 110 along the X axis to receive the light. The degree of placement of the gravure roll 110 can be inspected.

물론, 이러한 검사는 그라비아 롤(110)을 롤 그립퍼(120)에 그립핑시키는 초기에 행해질 수 있다. 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)에 의해서는 그라비아 롤(110)의 마모 정도도 함께 검사될 수 있다.Of course, such an inspection can be done early on to grip the gravure roll 110 to the roll gripper 120. The degree of wear of the gravure roll 110 may also be inspected by the roll setting measuring modules 180a and 180b.

이러한 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b) 역시, 롤 세팅용 측정모듈 연결부(190)에 의해 X축 이동 베드(130) 상에서 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동 가능하게 연결된다.The roll setting measuring modules 180a and 180b are also connected to the roll setting measuring module 190 so as to be movable along the Y-axis direction and the Z-axis direction on the X-axis moving bed 130.

롤 세팅용 측정모듈 연결부(190)는 도 2에 도시된 바와 같이, Z축 방향을 따라 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)을 미세 구동시키는 제3 Z축 미세 구동부(191)와, θ축 방향으로 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)을 미세 구동시키는 θ축 미세 구동부(192)를 구비한다.As shown in FIG. 2, the roll setting measurement module connection unit 190 includes a third Z-axis fine driver 191 for finely driving the roll setting measurement modules 180a and 180b along the Z-axis direction, and a θ-axis. And a θ-axis fine driver 192 for finely driving the roll setting measurement modules 180a and 180b in the direction.

본 실시예의 경우, 롤 세팅용 측정모듈 연결부(190)에 Y축 미세 구동부가 마련되지 않았으나 전술한 제1 및 제2 Y축 미세 구동부(151,172)와 유사한 구조로 적용될 수도 있을 것이며, 이러한 사항은 본 발명의 권리범위에 속한다 하여야 할 것이다.In the present embodiment, although the Y-axis fine drive unit is not provided in the measurement module connection unit 190 for roll setting, the first and second Y-axis fine drive units 151 and 172 may be applied in a similar structure. It should be said that it belongs to the scope of the invention.

제3 Z축 미세 구동부(191)는 X축 이동 베드(130)에 고정되는 Z축 고정체(191a)와, X축 핸들(191b)의 조작에 의해 Z축 고정체(191a)에 대해 Z축 방향으로 이동되는 Z축 이동체(191c)를 구비한다. 이에, X축 핸들(191b)을 돌리면 X축 이동 베드(130)에 고정되어 있는 Z축 고정체(191a)에 대해 Z축 이동체(191c)가 Z축 방향으로 이동되면서 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)의 Z축 높이를 미세 조정할 수 있다.The third Z-axis fine drive unit 191 has a Z-axis fixed body 191a fixed to the X-axis moving bed 130 and a Z-axis with respect to the Z-axis fixed body 191a by manipulating the X-axis handle 191b. And a Z-axis moving body 191c moved in the direction. Accordingly, when the X-axis handle 191b is turned, the Z-axis moving body 191c is moved in the Z-axis direction with respect to the Z-axis fixing body 191a fixed to the X-axis moving bed 130, and thus the measurement module 180a for roll setting is performed. , 180b) can be finely adjusted.

θ축 미세 구동부(192) 역시, 제3 Z축 미세 구동부(191)와 유사한 구성을 가질 수 있다. 즉 θ축 미세 구동부(192)는 Z축 이동체(191c)에 고정되는 θ축 고정체(192a)와, θ축 핸들(192b)의 조작에 의해 θ축 고정체(192a)에 대해 θ축 방향으로 이동되는 θ축 이동체(192c)를 구비한다. 이에, θ축 핸들(192b)을 돌리면 Z축 이동체(191c)에 고정되어 있는 θ축 고정체(192a)에 대해 θ축 이동체(192c)가 θ축 방향으로 이동되면서 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b)의 θ축 방향을 미세 조정할 수 있다.The θ-axis fine driver 192 may also have a configuration similar to that of the third Z-axis fine driver 191. That is, the θ-axis fine drive unit 192 is in the θ-axis direction with respect to the θ-axis fixing body 192a by manipulation of the θ-axis fixing body 192a fixed to the Z-axis moving body 191c and the θ-axis handle 192b. And a θ-axis moving body 192c to be moved. Accordingly, when the θ-axis handle 192b is turned, the θ-axis movable body 192c is moved in the θ-axis direction with respect to the θ-axis fixed body 192a fixed to the Z-axis movable body 191c, and thus the measurement module 180a for roll setting is performed. The direction of the θ axis of 180b) can be finely adjusted.

이러한 구성을 갖는 그라비아 롤 검사장치의 작용에 대해 설명한다.The operation of the gravure roll inspection device having such a configuration will be described.

우선, 검사 대상의 그라비아 롤(110)의 양쪽 롤 샤프트(111)가 한 쌍의 롤 그립퍼(120)에 그립핑되도록 한다. 그리고는 롤 회전구동부(125)의 모터(125a)를 동작시킨다. 그러면 롤 회전구동부(125)의 모터(125a)가 동작됨으로써 모터(125a)의 회전력이 커플링(125b)을 통해 그라비아 롤(110)로 전달됨으로써 그라비아 롤(110)이 회전한다.First, both roll shafts 111 of the gravure roll 110 to be inspected are gripped by a pair of roll grippers 120. Then, the motor 125a of the roll rotation driver 125 is operated. Then, the motor 125a of the roll rotation driving unit 125 is operated so that the rotational force of the motor 125a is transmitted to the gravure roll 110 through the coupling 125b so that the gravure roll 110 rotates.

다음, 롤 세팅용 측정모듈 연결부(190)를 위치별로 미세 조정한 후에, X축 이동 베드(130)를 X축 방향으로 이동시킨다.Next, after fine-adjusting the measurement module connection unit 190 for the roll setting for each position, the X-axis moving bed 130 is moved in the X-axis direction.

그러면 롤 세팅용 측정모듈(180a,180b) 중 하나가 광의 발광용으로 다른 하나가 수광용으로 적용되어 있으므로 그라비아 롤(110)의 하단부 영역으로 X축 방향을 따라 광이 조사되어 수광됨으로써 가상의 이상적인 수평면에 대한 그라비아 롤(110)의 배치 정도를 검사할 수 있다. 즉 그라비아 롤(110)에 대한 초기 영점(zero setting) 위치를 측정할 수 있다. 이때는 그라비아 롤(110)의 마모 정도도 함께 검사될 수 있다.Then, since one of the roll setting measuring modules 180a and 180b is applied for light emission and the other is used for light reception, light is irradiated and received along the X-axis direction to the lower end region of the gravure roll 110, thereby providing a virtual ideal. The degree of placement of the gravure roll 110 with respect to the horizontal plane can be inspected. That is, the initial zero setting position of the gravure roll 110 may be measured. In this case, the degree of wear of the gravure roll 110 may also be checked.

이처럼 X축 이동 베드(130)가 X축 방향으로 이동되면, X축 이동 베드(130)에 연결되어 있는 비전 카메라(141)와 얼라인 카메라(142)가 함께 X축으로 이동되면서 그라비아 롤(110)의 패턴(pattern, 도 2 참조) 가공정도와 얼라인 마크(align mark, 도 3 참조) 위치를 촬영한다. 촬영된 정보는 제어부로 전송되어 신호 처리됨에 따라 패턴 가공정도 및 얼라인 마크의 위치가 검사될 수 있다.As such, when the X-axis moving bed 130 is moved in the X-axis direction, the gravure roll 110 is moved along the X-axis while the vision camera 141 and the alignment camera 142 connected to the X-axis moving bed 130 are moved together. ) Process the pattern (see Fig. 2) and the position of the alignment mark (see Fig. 3). The photographed information may be transmitted to the controller to process the signal to check the degree of pattern processing and the position of the alignment mark.

그라비아 롤(110)의 패턴과 얼라인 마크의 촬영 시 그라비아 롤(110)의 반대편에서는 원통도 측정모듈(160)이 X축 이동 베드(130)를 따라 X축 방향으로 이동되면서 그라비아 롤(110)로 레이저를 조사하여 그라비아 롤(110)의 원통도를 검사하게 된다.When the pattern of the gravure roll 110 and the alignment mark are photographed on the opposite side of the gravure roll 110, the cylindrical measuring module 160 is moved in the X-axis direction along the X-axis moving bed 130 and thus the gravure roll 110 The cylindricalness of the gravure roll 110 is inspected by irradiating a laser with a laser.

이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예의 그라비아 롤 검사장치에 따르면, 종래처럼 마스터 기판(master glass)을 사용하지 않더라도 그라비아 롤(110)의 얼라인 마크(align mark) 위치 또는 패턴(pattern) 가공정도 등의 다양한 검사를 선택적으로 또는 일괄적으로 진행할 수 있어 공정 로스(loss) 발생을 감소시킬 수 있게 된다.According to the gravure roll inspection apparatus of this embodiment having such a structure and operation, the alignment mark position or pattern processing degree of the gravure roll 110 even without using a master glass as conventionally Various inspections, such as or the like, may be performed selectively or collectively, thereby reducing process loss.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100 : 장치본체 110 : 그라비아 롤
120 : 롤 그립퍼 125 : 롤 회전구동부
130 : X축 이동 베드 140 : 검사 카메라
141 : 비전 카메라 142 : 얼라인 카메라
150 : 카메라 연결부 151 : 제1 Y축 미세 구동부
152 : 제1 Z축 미세 구동부 160 : 원통도 측정모듈
170 : 원통도 측정모듈 연결부 171 : 제2 Y축 미세 구동부
172 : 제2 Z축 미세 구동부 180a,180b : 롤 세팅용 측정모듈
190 : 롤 세팅용 측정모듈 연결부 191 : 제3 Z축 미세 구동부
192 : θ축 미세 구동부100: device body 110: gravure roll
120: roll gripper 125: roll rotation driving unit
130: X axis moving bed 140: inspection camera
141: vision camera 142: alignment camera
150: camera connection unit 151: first Y-axis fine drive unit
152: first Z-axis fine drive unit 160: cylindricalness measurement module
170: cylindricalness measurement module connection portion 171: second Y-axis fine drive unit
172: second Z-axis fine drive unit 180a, 180b: measurement module for roll setting
190: Measurement module connection unit for roll setting 191: Third Z-axis fine drive unit
192: θ-axis fine drive unit

Claims (12)

장치본체;
상기 장치본체에 상호 이격되게 한 쌍으로 마련되며, 레지스트가 도포되는 패턴(pattern)과 다수의 얼라인 마크(align mark)가 외면에 형성되는 그라비아 롤(gravure roll)이 회전 가능하게 그립핑되는 롤 그립퍼(roll gripper);
상기 롤 그립퍼와 이격된 위치에서 상기 장치본체에 마련되어 상기 그라비아 롤의 패턴 또는 얼라인 마크를 촬영하는 검사 카메라;
상기 장치본체에 마련되어 상기 장치본체 상에서 상기 그라비아 롤의 길이 방향인 X축 방향을 따라 이동되는 X축 이동 베드;
상기 X축에 교차되는 Y축 방향을 따라 상기 검사 카메라를 미세 구동시키는 제1 Y축 미세 구동부와, 상하 방향인 Z축 방향을 따라 상기 검사 카메라를 미세 구동시키는 제1 Z축 미세 구동부를 구비하며, 상기 X축 이동 베드 상에 상기 검사 카메라를 연결시키는 카메라 연결부; 및
상기 롤 그립퍼에 그립핑된 상기 그라비아 롤을 기준으로 하여 상기 검사 카메라의 반대편 위치에 배치되어 그라비아 롤에 대한 원통도를 측정하는 원통도 측정모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.A device body;
Rolls are provided in a pair to be spaced apart from each other in the apparatus main body, and a gravure roll rotatably gripped with a pattern on which a resist is applied and a plurality of alignment marks formed on an outer surface thereof. Roll grippers;
An inspection camera provided in the apparatus main body at a position spaced apart from the roll gripper to photograph a pattern or an alignment mark of the gravure roll;
An X-axis moving bed provided in the apparatus main body and moving along the X-axis direction in the longitudinal direction of the gravure roll on the apparatus main body;
A first Y-axis fine driver for finely driving the inspection camera along the Y-axis direction intersecting the X-axis, and a first Z-axis fine driver for finely driving the inspection camera along the Z-axis direction that is up and down; A camera connection part connecting the inspection camera to the X-axis moving bed; And
Gravity roll inspection device, characterized in that it comprises a cylindrical measuring module for measuring the degree of cylindricalness for the gravure roll disposed on the opposite side of the inspection camera on the basis of the gravure roll gripped by the roll gripper. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 검사 카메라는,
상기 그라비아 롤의 패턴을 촬영하는 비전 카메라(vision camera); 및
상기 비전 카메라와는 별개로 마련되고, 상기 그라비아 롤의 얼라인 마크를 촬영하는 얼라인 카메라(align camera)를 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.The method of claim 1,
The inspection camera,
A vision camera for photographing the pattern of the gravure roll; And
A gravure roll inspection apparatus, which is provided separately from the vision camera and includes an align camera for photographing an align mark of the gravure roll. 제3항에 있어서,
상기 비전 카메라에는 상기 얼라인 카메라에 비해 상대적으로 고화소의 렌즈가 적용되는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.The method of claim 3,
Gravure roll inspection device, characterized in that the lens of the high-resolution lens is applied to the vision camera relative to the alignment camera. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 Y축 방향을 따라 상기 원통도 측정모듈을 미세 구동시키는 제2 Y축 미세 구동부와, 상기 Z축 방향을 따라 상기 원통도 측정모듈을 미세 구동시키는 제2 Z축 미세 구동부를 구비하며, 상기 X축 이동 베드 상에 상기 원통도 측정모듈을 연결시키는 원통도 측정모듈 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.The method of claim 1,
A second Y-axis fine driver for finely driving the cylindricalness measurement module along the Y-axis direction, and a second Z-axis fine driver for finely driving the cylindricality degree measurement module along the Z-axis direction; Gravity roll inspection device further comprises a cylindrical measuring module connecting portion for connecting the cylindrical measuring module on the shaft moving bed. 제1항에 있어서,
상기 그라비아 롤의 하부 영역에 배치되며, 상기 그라비아 롤이 상기 롤 그립퍼에 그립핑된 때 상기 그라비아 롤의 초기 영점(zero setting) 위치를 측정하는 롤 세팅용 측정모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.The method of claim 1,
Gravure disposed in the lower region of the gravure roll, characterized in that it further comprises a measuring module for setting the roll to measure the initial zero setting position of the gravure roll when the gravure roll is gripped to the roll gripper Roll inspection device. 제7항에 있어서,
상기 X축 이동 베드 상에 상기 롤 세팅용 측정모듈을 연결시키는 롤 세팅용 측정모듈 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.The method of claim 7, wherein
Gravure roll inspection device further comprises a roll setting measurement module connecting portion for connecting the roll setting measurement module on the X-axis moving bed. 제8항에 있어서,
상기 롤 세팅용 측정모듈 연결부는,
상기 Z축 방향을 따라 상기 롤 세팅용 측정모듈을 미세 구동시키는 제3 Z축 미세 구동부; 및
상기 롤 세팅용 측정모듈 연결부는 θ축 방향으로 상기 롤 세팅용 측정모듈을 미세 구동시키는 θ축 미세 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.9. The method of claim 8,
The measurement module connecting portion for setting the roll,
A third Z-axis fine driver for finely driving the roll setting measurement module along the Z-axis direction; And
The gravure roll inspection device, characterized in that for connecting the roll setting measurement module comprises a θ-axis fine drive for finely driving the roll setting measurement module in the θ axis direction. 제9항에 있어서,
상기 제3 Z축 미세 구동부는,
상기 X축 이동 베드에 고정되는 Z축 고정체; 및
X축 핸들의 조작에 기초하여 상기 Z축 고정체에 대해 Z축 방향으로 이동되는 Z축 이동체를 포함하며,
상기 θ축 미세 구동부는,
상기 Z축 이동체에 고정되는 θ축 고정체; 및
θ축 핸들의 조작에 기초하여 상기 θ축 고정체에 대해 θ축 방향으로 이동되는 θ축 이동체를 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.10. The method of claim 9,
The third Z-axis fine driver,
A Z-axis fixture fixed to the X-axis moving bed; And
A Z-axis moving body which is moved in the Z-axis direction with respect to the Z-axis fixed body based on the manipulation of the X-axis handle,
The θ-axis fine drive unit,
A θ-axis fixing body fixed to the Z-axis moving body; And
A gravure roll inspection apparatus comprising a θ-axis moving body that is moved in the θ-axis direction with respect to the θ-axis fixed body based on an operation of the θ-axis handle. 제7항에 있어서,
상기 롤 세팅용 측정모듈은 상기 그라비아 롤을 사이에 두고 양측에 한 쌍으로 배치되되 하나의 롤 세팅용 측정모듈은 발광용이고, 다른 하나의 롤 세팅용 측정모듈은 수광용인 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.The method of claim 7, wherein
The roll setting measurement module is disposed in a pair on both sides with the gravure roll in between, one roll setting measurement module is for light emission, and the other roll setting measurement module is for light reception. Inspection device. 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 롤 그립퍼 중 어느 한 쪽에 연결되어 상기 롤 그립퍼에 그립핑된 상기 그라비아 롤을 회전구동시키는 롤 회전구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아 롤 검사장치.The method of claim 1,
A gravure roll inspection apparatus further comprises a roll rotation driving unit connected to any one of the pair of roll grippers to rotate the gravure roll gripped to the roll gripper.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101462599B1 (en) * 2013-04-22 2014-11-18 주식회사 에스에프에이 Printing device having a inspecting apparatus and inspecting method for printing device
KR20140139285A (en) * 2013-05-27 2014-12-05 네오뷰코오롱 주식회사 Organic light emitting device with dummy electrode
KR101446747B1 (en) * 2014-03-27 2014-11-04 주식회사엠시스 Apparatus for pattern-roll checking for printable electronics
CN110095080A (en) * 2018-12-11 2019-08-06 上海大学 A kind of small parts fast two-dimensional overall size measuring device
KR102359863B1 (en) * 2021-12-22 2022-02-09 나노스코프시스템즈 주식회사 Auto-focusing Raman spectrometer and measuring method with the same Raman spectrometer

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008051673A (en) 2006-08-25 2008-03-06 Dainippon Printing Co Ltd Cylindrical body inspecting device and cylindrical body inspection method
KR20080049386A (en) * 2006-11-30 2008-06-04 한국전기연구원 Wide area high-precision roll patterning machine
JP2009528561A (en) * 2006-02-28 2009-08-06 マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット Platform, apparatus, system and method for processing and analyzing substrates
JP2010243494A (en) 2009-04-07 2010-10-28 Xerox Corp Contactless system and method for electrostatic sensing with high spatial resolution

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009528561A (en) * 2006-02-28 2009-08-06 マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット Platform, apparatus, system and method for processing and analyzing substrates
JP2008051673A (en) 2006-08-25 2008-03-06 Dainippon Printing Co Ltd Cylindrical body inspecting device and cylindrical body inspection method
KR20080049386A (en) * 2006-11-30 2008-06-04 한국전기연구원 Wide area high-precision roll patterning machine
JP2010243494A (en) 2009-04-07 2010-10-28 Xerox Corp Contactless system and method for electrostatic sensing with high spatial resolution

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220169257A (en) 2021-06-18 2022-12-27 주식회사메리츠엔지니어링 Label device
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