KR101380375B1 - 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치 - Google Patents

평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101380375B1
KR101380375B1 KR1020130045974A KR20130045974A KR101380375B1 KR 101380375 B1 KR101380375 B1 KR 101380375B1 KR 1020130045974 A KR1020130045974 A KR 1020130045974A KR 20130045974 A KR20130045974 A KR 20130045974A KR 101380375 B1 KR101380375 B1 KR 101380375B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stopper
rotating member
panel
rotational
main pcb
Prior art date
Application number
KR1020130045974A
Other languages
English (en)
Inventor
성정임
Original Assignee
성정임
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 성정임 filed Critical 성정임
Priority to KR1020130045974A priority Critical patent/KR101380375B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101380375B1 publication Critical patent/KR101380375B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733Geometry aspects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G01R31/2806Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 LCD 및 PDP와 같은 평판 디스플레이 패널의 불량 여부를 검사하기 위하여 패널상에 형성된 전극들에 동시에 컨택하여 일괄적으로 검사를 수행할 수 있도록 된 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치에 관한 것이다.
본 발명은 검사 대상이 되는 평판 디스플레이 패널(A)이 놓여지는 베이스(110)와, 상기 베이스의 일측에 힌지결합된 회동부재(120)와, 상기 회동부재의 회동을 제한하는 스토퍼(130)와, 상기 회동부재의 회동단(121)에 회동부재의 두께방향으로 이동가능하게 결합된 자성체로 이루어진 가이드부재(150)와, 상기 가이드부재의 저면에 장착된 메인PCB(160)와, 패널의 모든 전극에 대응되도록 상기 메인PCB와 전기적으로 연결된 포고핀(170)과, 상기 회동부재에 설치되어 상기 가이드부재를 회동부재에 부착시키는 제1마그넷(191)과, 상기 베이스에 설치되어 상기 스토퍼에 의해 회동부재의 회동이 제한된 상태에서 포고핀과 패널의 전극이 컨택될 수 있도록 상기 가이드부재를 회동부재로부터 이격시키는 제2마그넷(192)을 포함한다.

Description

평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치{Probe unit for inspectinon of flat display pannel}
본 발명은 LCD 및 PDP와 같은 평판 디스플레이 패널의 불량 여부를 검사하기 위하여 패널상에 형성된 전극들에 동시에 컨택하여 일괄적으로 검사를 수행할 수 있도록 된 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 및 PDP와 같은 평판 디스플레이 패널의 불량 여부를 검사하기 위한 장치로서 프로브 장치가 사용된다.
상기 프로브 장치는 평판 디스플레이 패널의 검사공정에서 패널 상에 형성된 데이터/게이트 라인을 이루는 모든 전극에 컨택하여 전원 및 영상 신호를 패널에 인가함으로써, 패널 상의 전기적 특성 및 전등상태 또는 각종 얼룩, 이물 등 패널 제조 공정에서 발생하는 모든 불량에 대한 검사 등을 수행한다.
이러한 프로브 장치로는 블레이드형, 니들형, 포고형 및 반도체 MEMS 공정 기술을 이용한 MEMS 형이 있으며, 이 중에서 가장 널리 이용되고 있는 것은 패널상에 형성된 모든 전극에 동시에 컨택하여 일괄적으로 검사를 수행할 수 있도록 된 블레이드형 프로브 장치이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브 장치(1)는 협소한 공간에서 패널과 컨택이 가능하도록 패널이 놓여지는 베이스(10)와, 상기 베이스(10)의 일측에 힌지결합되어 일정구간 회동하는 회동부재(20)과, 상기 회동부재(20)의 회동단 저면에 고정된 메인PCB(30)와, 상기 메인PCB(30)의 저면에 전기적으로 연결된 포고PCB(40)와, 상기 포고PCB(40)에 전기적으로 연결된 포고핀블럭(50)과, 패널의 모든 전극에 일대일로 대응되도록 상기 포고핀블럭(50)에 끼워져 상기 포고핀블럭(50)을 매개로 포고PCB(40)과 전기적으로 연결된 다수의 포고핀(60)으로 구성된다.
그리고 상기 회동부재(20)는 저면에 설치된 스토퍼(70)에 의해 일정각도로 회전하도록 제한된다.
또한, 상기 메인PCB(30)는 메인PCB(30)를 통해 패널의 데이터를 전달받아 이를 분석하여 불량을 판정하는 제어부(미도시)가 연결된다.
이와 같은 구성의 종래의 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브 장치(1)는, 베이스(10)에 검사대상이 되는 패널이 올려지면 회동부재(20)가 베이스(10)측으로 회동하여 포고핀(60)이 패널의 전극들에 동시 접촉되면서 패널의 전극들의 전기적 신호가 포고핀(60)을 통해 포고핀PCB(40)를 거쳐 메인PCB(30)로 전달되므로 제어부에서 각종 검사를 원활하게 진행할 수 있게 된다.
그러나, 종래의 블레이드형 프로브 장치(1)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 검사대상이 되는 평판 디스플레이 패널의 길이가 커질수록 회동부재(20)의 길이도 커지므로 회동부재(20)가 전구간에 걸쳐 평탄도를 유지하기가 매우 힘들게 된다. 이는 회동부재(20)의 중량 및 회동동작시 회동부재(20)에 발생하는 관성하중에 기인한 것으로서 회동부재(20)는 미세하게 벤딩된다. 이와 같이 회동부재(20)가 벤딩되어 평탄도가 불량해지면, 구간별로 프로빙 높이와 컨택 압력이 달라지면서 정상적인 패널검사가 이루어지지 못하게 되는 문제가 발생된다.
뿐만 아니라, 컨택 과정에서 패널의 일측 구간 및 일측 지점에서 과도한 하중이 인가되면서 포고핀(60)은 물론 패널 및 패널에 형성된 전극자체가 손상될 수도 있다.
본 발명은 상기한 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 검사대상이 되는 평판디스플레이 패널의 장단 여부에 상관없이 항상 우수한 평탄도를 유지하면서 높은 컨택신뢰도를 갖게 되는 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치는 검사 대상이 되는 평판 디스플레이 패널이 놓여지는 베이스와, 상기 베이스의 일측에 힌지결합된 회동부재와, 상기 회동부재의 회동을 제한하는 스토퍼와, 상기 회동부재의 회동단에 회동부재의 두께방향으로 이동가능하게 결합된 자성체로 이루어진 가이드부재와, 상기 가이드부재의 저면에 장착된 메인PCB와, 패널의 모든 전극에 대응되도록 상기 메인PCB와 전기적으로 연결된 포고핀과, 상기 회동부재에 설치되어 상기 가이드부재를 회동부재에 부착시키는 제1마그넷과, 상기 베이스에 설치되어 상기 스토퍼에 의해 회동부재의 회동이 제한된 상태에서 포고핀과 패널의 전극이 컨택될 수 있도록 상기 가이드부재를 회동부재로부터 이격시키는 제2마그넷을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 스토퍼는 중앙으로 수렴하는 단부를 가지면서 회동부재의 저면에 고정된 돌출부재이고, 상기 베이스의 일측에는 상기 스트퍼의 단부 양측을 지지해 주는 한 쌍의 가이드편이 설치되는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 스토퍼는 단부에 볼이 장착된 볼플런저일 수 있다.
또한, 상기 메인PCB의 저면에는 포고핀과 메인PCB를 전기적으로 연결해 주는 인터포저가 실장되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 가이드부재는 회동부재의 회동선단과 나란하게 형성된 연장부와, 상기 연장부에 회동부재의 두께방향으로 형성된 장공과, 상기 장공에 끼워져 회동부재의 회동선단에 체결된 스토퍼 핀을 통해 회동부재로부터 일정범위 이상 이격되지 않도록 제한될 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명은 회동부재의 회동단에 상하로 자유롭게 이동하도록 설치된 경량의 가이드부재가 자력에 의해 패널의 단자측으로 하향이동하면서 컨택이 자연스럽게 이루어게 된다. 따라서 컨택구간이 길다 하더라도 가이드부재에는 벤딩과 같은 변형이 발생되지 않게 되므로 항상 우수한 평탄도를 유지할 수 있게 되고 그 결과 프로브장치의 컨택신뢰도가 크게 향상되는 효과가 있다.
도 1은 종래의 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 사용상태사시도
도 2는 도 1의 포고핀 결합요부 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 사용상태사시도.
도 4는 본 발명을 구성하는 스토퍼가 가이드편에 의해 지지된 상태를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 사용상태 단면도로서, 회동부재가 회동되기 전 초기상태를 나타내는 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 사용상태 단면도로서, 가이드부재가 회동부재로부터 이격되면서 포고핀과 패널의 단자가 컨택된 상태를 나타내는 도면.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 바람직한 실시예에 대한 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
이하, 본 발명의 일 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명함에 있어, 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 사용하며, 명료성을 위하여 가능한 중복되지 않게 상이한 부분만을 주로 설명한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명은 검사 대상이 되는 평판 디스플레이 패널(A)이 놓여지는 베이스(110)와, 상기 베이스(110)의 일측에 힌지결합된 회동부재(120)와, 상기 회동부재(120)의 회동을 제한하는 스토퍼(130)를 기본적으로 구비한다.
상기 스토퍼(130)는 회동부재(120)의 저면에 고정된 돌출부재로서, 돌출단부가 베이스(110)의 상면에 접촉되면 회동부재(120)의 회동이 중지된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 스토퍼(130)의 돌출단부는 중앙으로 수렴하도록 형성되고 상기 베이스(110)의 일측에는 상기 스토퍼(130)의 단부 양측을 지지해 주는 한 쌍의 가이드편(140)이 설치되는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 스토퍼(130)는 단부에 볼이 장착된 볼플런저일 수 있다. 따라서, 상기 스토퍼(130)가 상기 가이드편(140)에 의해 항상 일정한 자리에 위치되도록 얼라인되므로 회동부재(120)의 회동동작은 매우 정밀하게 이루어질 수 있게 된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 회동부재(120)의 회동단(121)을 따라 회동부재(120)의 두께방향으로 이동가능하도록 판상의 자성체로 이루어진 가이드부재(150)가 설치된다. 따라서 상기 가이드부재(150)는 회동부재(120)에 비해 경량체이다. 상기 회동단(121)에는 회동단(121)과 가이드부재(150)가 단차지지 않도록 자리홈(122)이 형성되는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 가이드부재(150)는 회동부재(120)의 회동선단과 나란하게 형성된 연장부(151)를 가진 "L"자 형상으로 제작될 수 있다. 그리고 상기 연장부(151)에는 회동부재(120)의 두께방향으로 장공(152)이 형성된다. 즉, 장공(152)은 회동부재(120)의 두께방향에 직교하는 방향으로 통공되되, 회동부재(120)의 두께방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖는 홀을 의미한다. 상기 장공(152)에는 회동부재(120)의 회동선단에 체결되는 스토퍼핀(153)이 결합된다. 상기 스토퍼핀(153)은 가이드부재(150)가 회동부재(120)로부터 이격될 때 장공(152)과 간섭되면서 가이드부재(150)가 일정범위 이상 이격되지 않도록 제한한다.
한편, 상기 가이드부재(150)의 저면에는 메인PCB(160)가 장착된다. 상기 메인PCB(160)는 가이드부재(150)의 저면에 볼트로써 고정되나 도시된 바와 같이 크기가 클 경우에 회동부재(120)의 저면에도 고정될 수도 있다.
그리고 상기 메인PCB(160)의 저면에는 패널(A)의 전극과 컨택되는 포고핀(170)이 설치된다. 상기 포고핀(170)은 패널(A)의 모든 전극에 대응되도록 배치된 상태에서 상기 메인PCB(160)에 실장되어 패널(A)의 전극들의 전기적 신호를 메인PCB(160)로 전달하는 매개체 역할을 수행한다.
한편, 상기 포고핀(170)은 인터포저(180)를 매개로 하여 메인PCB(160)와 전기적으로 연결될 수도 있다. 상기 인터포저(180)는 박판형상으로서 전면과 후면에는 메인PCB(160)와 포고핀(170)을 전기적으로 연결해 주기 위한 접촉단자들이 형성되어 있다. 물론 메인PCB(160)의 저면에는 인터포저(180)의 단자에 대응되는 단자들이 형성되어 있다. 상기 인터포저(180)는 필요에 따라 교체가 가능하도록 메인PCB(160)의 저면에 볼트로써 조립된다.
따라서, 상기 인터포저(180)로 인해 종래에 사용되었던 포고PCB를 생략할 수 있게 되고 메인PCB(160)와 포고PCB를 전기적으로 연결하기 위한 별도의 커넥터를 구비하거나 메인PCB(160)와 포고PCB의 단자간 용접과 같은 접속작업이 요구되지 않아 구조가 간단해지고 작업성이 크게 향상된다.
그리고 상기 회동부재(120)에는 제1마그넷(191)이 설치된다. 따라서, 검사가 이루어지지 않는 상태에서는 상기 가이드부재(150)는 상기 제1마그넷(191)의 자력에 의해 회동부재(120)의 회동단(121) 저면에 부착되어 있다.
아울러, 상기 제1마그넷(191)에 대응되는 상기 베이스(110)에는 제2마그넷(192)이 설치된다. 상기 제2마그넷은 스토퍼(130)에 의해 회동부재(120)의 회동이 제한된 상태에서 포고핀(170)과 패널(A)의 전극이 컨택될 수 있도록 상기 가이드부재(150)를 회동부재(120)로부터 이격시킨다. 그리고 이러한 동작이 원활하게 이루어지기 위해서는 상기 제1마그넷(191)의 자력이 제2마그넷(192)의 자력보다 강해서는 안된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 평판 디스플레이 패널(A) 검사용 프로브장치는 도 5에 도시된 바와 같은 초기상태로 대기하고 있다가 검사대상이 되는 패널(A)이 베이스(110)에 올려지면 회동부재(120)가 아래로 회동한다. 이때, 가이드부재(150)는 제1마그넷(191)의 자력에 의해 회동단(121)에 부착된 상태이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 회동부재(120)는 스토퍼(130)에 의해 회동이 중단될 때까지 베이스(110)측으로 하향회동한다. 이때, 상기 회동부재(120)는 베이스(110) 상면에 이격 형성된 한 쌍의 가이드편(140)에 스토퍼(130)의 돌출하단이 안내를 받아 정확한 지점에 위치되므로 좌우로 유동됨 없이 항상 정확한 위치로 회동된다. 상기 회동부재(120)가 스토퍼(130)에 의해 회동이 중단된 상태에서는 포고핀(170)이 패널(A)의 단자 사이에 일정한 갭이 유지하고 있는 상태로서, 상호컨택이 이루어지지 않은 상태이다. 상기 갭은 가이드에 형성된 장공(152)의 상단과 스토퍼핀(153)의 외주면과의 거리와 동일하다.
그리고 회동부재(120)의 회동이 중단됨과 동시에 가이드부재(150)와 베이스(110)에 설치된 제2마그넷(192)의 자력에 의해 하강하게 되면서 상기 가이드부재(150)는 회동부재(120)의 회동단(121)부로부터 이격된다. 이때의 이격거리는 포고핀(170)과 패널(A)의 단자 사이의 갭과 동일하다. 따라서, 상기 가이드부재(150)가 장공(152)의 안내를 받아 수직으로 하강하다가 스토퍼핀(153)이 장공(152)의 상단에 간섭되면서 더 이상의 하강이 제한되면, 베이스(110) 상면에 부착됨과 동시에 포고핀(170)과 패널(A)의 단자의 컨택이 무리없이 자연스럽게 이루어진다.
이와 같이 가이드부재(150)는 회동부재(120)에 비해 경량체이며 상하로 자유롭게 이동하면서 패널(A)의 단자에 정밀하게 컨택되므로 컨택구간이 길다하더라도 벤딩과 같은 변형이 발생되지 않아 항상 우수한 평탄도를 유지할 수 있다. 따라서 컨택신뢰도가 매우 높다.
이 상태에서 패널(A)의 단자로부터 발생된 전기적신호는 포고핀(170)을 통해 인터포저(180)를 거쳐 메인PCB(160)로 전달되며 메인PCB(160)에 연결된 제어부는 이를 분석하여 패널(A)의 불량을 판정한다.
검사가 완료되면, 회동부재(120)는 상향회동하여 원래 위치로 복귀하며 이 과정에서 제2마그넷(192)의 자력을 제공받지 못한 가이드부재(150)는 제1마그넷(191)의 자력에 의해 다시 회동부재(120)의 저면에 자동으로 부착되면서 초기상태를 유지하게 된다.
이와 같이, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상술하였으나 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자가 본 발명의 사상을 벗어나지 않고 변형 가능하며, 이러한 변형은 본 발명의 권리범위에 속할 것이다.
110...베이스 120...회동부재
130...스토퍼 140...가이드편
150...가이드부재 151...연장부
152...장공 153...스토퍼핀
160...메인PCB 170...포고핀
180...인터포저 191...제1마그넷
192...제2마그넷 A...패널

Claims (5)

  1. 검사 대상이 되는 평판 디스플레이 패널이 놓여지는 베이스;
    상기 베이스의 일측에 힌지결합된 회동부재;
    상기 회동부재의 회동을 제한하는 스토퍼;
    상기 회동부재의 회동단에 회동부재의 두께방향으로 이동가능하게 결합된 자성체로 이루어진 가이드부재;
    상기 가이드부재의 저면에 장착된 메인PCB;
    패널의 모든 전극에 대응되도록 상기 메인PCB와 전기적으로 연결된 포고핀;
    상기 회동부재에 설치되어 상기 가이드부재를 회동부재에 부착시키는 제1마그넷; 및
    상기 베이스에 설치되어 상기 스토퍼에 의해 회동부재의 회동이 제한된 상태에서 포고핀과 패널의 전극이 컨택될 수 있도록 상기 가이드부재를 회동부재로부터 이격시키는 제2마그넷을 포함하는 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스토퍼는 중앙으로 수렴하는 단부를 가지면서 회동부재의 저면에 고정된 돌출부재이고,
    상기 베이스의 일측에는 상기 스토퍼의 단부 양측을 지지해 주는 한 쌍의 가이드편이 설치된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 스토퍼는 단부에 볼이 장착된 볼플런저인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 메인PCB의 저면에는 포고핀과 메인PCB를 전기적으로 연결해 주는 인터포저가 실장된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부재는
    회동부재의 회동선단과 나란하게 형성된 연장부와, 상기 연장부에 회동부재의 두께방향으로 형성된 장공과, 상기 장공에 끼워져 회동부재의 회동선단에 체결된 스토퍼핀을 통해 회동부재로부터 일정범위 이상 이격되지 않도록 제한된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치.
KR1020130045974A 2013-04-25 2013-04-25 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치 KR101380375B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130045974A KR101380375B1 (ko) 2013-04-25 2013-04-25 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130045974A KR101380375B1 (ko) 2013-04-25 2013-04-25 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101380375B1 true KR101380375B1 (ko) 2014-04-02

Family

ID=50656293

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130045974A KR101380375B1 (ko) 2013-04-25 2013-04-25 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101380375B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101619360B1 (ko) 2015-06-24 2016-05-10 주식회사 공간정밀 디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 스토퍼
CN106896537A (zh) * 2017-02-23 2017-06-27 京东方科技集团股份有限公司 一种点灯治具
US9904422B2 (en) 2014-09-02 2018-02-27 Samsung Display Co., Ltd. Mother substrate for a touch screen panel and array test method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09257834A (ja) * 1996-03-22 1997-10-03 Sharp Corp コンタクトユニット
JP2002184823A (ja) 2000-12-13 2002-06-28 Sony Corp プローブ装置
JP2008224379A (ja) 2007-03-12 2008-09-25 Adtex:Kk 基板検査装置
JP2009060037A (ja) 2007-09-03 2009-03-19 Tokyo Electron Ltd プローブ装置及びプローブ方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09257834A (ja) * 1996-03-22 1997-10-03 Sharp Corp コンタクトユニット
JP2002184823A (ja) 2000-12-13 2002-06-28 Sony Corp プローブ装置
JP2008224379A (ja) 2007-03-12 2008-09-25 Adtex:Kk 基板検査装置
JP2009060037A (ja) 2007-09-03 2009-03-19 Tokyo Electron Ltd プローブ装置及びプローブ方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9904422B2 (en) 2014-09-02 2018-02-27 Samsung Display Co., Ltd. Mother substrate for a touch screen panel and array test method thereof
KR101619360B1 (ko) 2015-06-24 2016-05-10 주식회사 공간정밀 디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 스토퍼
CN106896537A (zh) * 2017-02-23 2017-06-27 京东方科技集团股份有限公司 一种点灯治具

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101439343B1 (ko) 포고핀용 탐침부재
US10205279B2 (en) Interface apparatus, interface unit, probe apparatus, and connection method
KR20180052314A (ko) 스크럽 현상이 저감된 수직형 프로브 카드용 니들유닛 및 이를 이용한 프로브 카드
US10996242B2 (en) Probe card and test apparatus including the same
JP2016038207A (ja) ポゴピン用プローブ部材
CN207556496U (zh) 一种检测连接器导电端子高度的机构
KR101380375B1 (ko) 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치
JP2007285882A (ja) 基板検査用接触子、基板検査用治具および基板検査装置
JP2008034173A (ja) 検査用ソケット
KR20130109063A (ko) 프로브 장치
KR20100069300A (ko) 프로브 카드와, 이를 이용한 반도체 디바이스 테스트 장치 및 방법
KR102047665B1 (ko) 프로브 카드 및 이를 포함하는 테스트 장치
JP6000046B2 (ja) プローブユニットおよび検査装置
KR101707853B1 (ko) 반도체 디바이스 검사용 마이크로 컨택 어레이 구조체
JP2010043957A (ja) プローブカード
KR102193447B1 (ko) 테스트 소켓
KR100879456B1 (ko) 포고 핀을 구비한 프로브 유닛 및 이를 이용한기판리페어장치.
KR101242372B1 (ko) 패널 테스트용 글라스 범프 타입 프로브 블록
KR101619360B1 (ko) 디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 스토퍼
JP4919050B2 (ja) フローティング機構
KR20210013822A (ko) 단자 및 회로의 파손을 방지하기 위한 프로브 및 이를 이용한 핀 블록구조
KR100992930B1 (ko) 프로브 블록 검사 장치 및 검사 방법
JPH05264654A (ja) バーンイン・ボード検査装置
KR101312079B1 (ko) 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의검사 방법
KR102663052B1 (ko) 테스트 소켓

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee