KR101142744B1 - 회로 기판 검사 방법 및 회로 기판 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

(과제)기생 다이오드의 유무에 관계없이, 회로 기판에 실장된 집적 회로의 이 회로 기판의 배선 패턴으로의 접속 상태를 검사한다.
(해결 수단)집적 회로(12)에 있어서의 전원 단자(13h) 및 그라운드 단자(13d)에 각각 접속되는 배선 패턴(14h, 14d) 사이에 전원 전압(Vcc)을 공급하는 전원 프로브(2) 및 그라운드 프로브(3)와, 집적 회로(12)의 소정의 단자(13a~13c, 13e~13g)로 구성되는 단자조에 각각 접속되는 배선 패턴(14a~14c, 14e~14g)에 접촉되는 검사용 프로브(4a~4f)와, 전압값이 미리 규정된 규정 전압(Va~Vf)을 검사용 프로브(4a~4f)에 공급하는 전압 공급부(6)와, 양 프로브(2, 3)를 개재하여 집적 회로(12)에 공급되는 소비 전류(Icc)를 측정하는 전류계(7)와, 측정된 소비 전류(Icc)와 기준 소비 전류(Ir)를 비교하여 집적 회로(12)에 대한 접속 상태를 검사하는 처리부(8)를 구비하고 있다.

Description

회로 기판 검사 방법 및 회로 기판 검사 장치{METHOD OF TESTING CIRCUIT BOARD AND CIRCUIT BOARD TESTING APPARATUS}
본 발명은, 회로 기판에 실장된 집적 회로의 이 회로 기판의 배선 패턴으로의 접속 상태를 검사하는 회로 기판 검사 방법, 및 이 회로 기판 검사 방법을 실행 가능하게 구성된 회로 기판 검사 장치에 관한 것이다.
이런 종류의 회로 기판 검사 방법으로서, 본원 출원인은 하기 특허 문헌 1에 개시된 회로 기판 검사 방법을 이미 제안하고 있다. 이 회로 기판 검사 방법에서는, 집적 회로의 신호용 단자와 그라운드 단자의 사이, 및 신호용 단자와 전원 단자의 사이에 기생 다이오드(내부 다이오드)가 각각 존재하는 것에 주목하여, 이 기생 다이오드에 교류 성분이 중첩된 직류를 공급하고, 이 상태에 있어서 집적 회로를 가열 또는 냉각했을 때의 교류 성분 파형의 왜곡율을 측정함으로써, 집적 회로의 단자 들뜸(단자의 배선 패턴으로의 접속 상태)을 검사하고 있다.
(특허 문헌 1)일본국 특허제4040741호 공보(제5-8페이지, 제1 도)
그런데, 근래에는, 예를 들면, 고속 동작 가능한 집적 회로에 있어서, 신호용 단자(입력?출력 단자)와 전원 단자간, 및 신호용 단자와 그라운드 단자간의 적어도 한쪽에 기생 다이오드가 존재하지 않는 구성이 채용되어 있다. 이 때문에, 기생 다이오드를 이용한 종래의 회로 기판 검사 방법에서는, 이러한 고속의 집적 회로가 실장된 회로 기판에 대해 검사를 실시할 수 없다는 해결해야 할 과제가 발생했다.
본 발명은, 이러한 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 기생 다이오드의 유무에 관계없이, 회로 기판에 실장된 집적 회로의 이 회로 기판의 배선 패턴으로의 접속 상태를 검사할 수 있는 회로 기판 검사 방법, 및 회로 기판 검사 장치를 제공하는 것을 주목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 1에 기재된 회로 기판 검사 방법은, 회로 기판의 배선 패턴에 각 단자가 접속되어 당해 회로 기판에 실장된 검사 대상의 집적 회로에 있어서의 당해 각 단자와 당해 배선 패턴의 접속 상태를 검사하는 회로 기판 검사 방법으로서, 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 있어서의 전원 단자 및 기준 전위 단자에 각각 접속되는 상기 배선 패턴간에 전원 전압을 공급하고 있는 상태에 있어서, 당해 집적 회로의 상기 각 단자 중의 상기 전원 단자 및 상기 기준 전위 단자를 제외한 다른 단자로부터 선택된 소정의 단자로 구성되는 단자조(組)에 각각 접속되는 상기 배선 패턴에 전압값이 미리 규정된 규정 전압을 공급했을 때의 당해 집적 회로의 소비 전류를 측정하고, 당해 측정한 소비 전류와 기준 소비 전류를 비교하여 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사한다.
또, 청구항 2에 기재된 회로 기판 검사 방법은, 청구항 1에 기재된 회로 기판 검사 방법에 있어서, 상기 단자조에 접속되는 상기 배선 패턴 개개에 공급하는 상기 규정 전압의 조합을 바꾸어 상기 소비 전류를 측정하고, 당해 조합마다 측정한 당해 소비 전류를 당해 조합마다의 상기 기준 소비 전류와 비교하여 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사한다.
또, 청구항 3에 기재된 회로 기판 검사 방법은, 청구항 1 또는 2에 기재된 회로 기판 검사 방법에 있어서, 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 있어서의 상기 전원 단자 및 상기 기준 전위 단자를 제외한 모든 상기 단자를 상기 단자조로 하여, 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사한다.
또, 청구항 4에 기재된 회로 기판 검사 장치는, 회로 기판의 배선 패턴에 각 단자가 접속되어 당해 회로 기판에 실장된 검사 대상의 집적 회로에 있어서의 당해 각 단자와 당해 배선 패턴의 접속 상태를 검사하는 회로 기판 검사 장치로서, 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 있어서의 전원 단자 및 기준 전위 단자에 각각 접속되는 배선 패턴간에 전원 전압을 공급하는 전원 공급 프로브와, 상기 검사 대상의 상기 집적 회로의 상기 각 단자 중의 상기 전원 단자 및 상기 기준 전위 단자를 제외한 다른 단자로부터 선택된 소정의 단자로 구성되는 단자조에 각각 접속되는 상기 배선 패턴에 접촉되는 검사용 프로브와, 전압값이 미리 규정된 규정 전압을 상기 검사용 프로브에 공급하는 전압 공급부와, 상기 전원 공급 프로브를 개재하여 상기 집적 회로에 공급되는 소비 전류를 측정하는 측정부와, 상기 측정된 소비 전류와 기준 소비 전류를 비교하여 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사하는 처리부를 구비하고 있다.
또, 청구항 5에 기재된 회로 기판 검사 장치는, 청구항 4에 기재된 회로 기판 검사 장치에 있어서, 상기 전압 공급부는, 상기 배선 패턴 개개에 공급하는 상기 규정 전압을 변경 가능하게 구성되고, 상기 처리부는, 상기 전압 공급부에 대해서 상기 단자조에 접속되는 각 배선 패턴에 대한 상기 개개의 규정 전압의 조합을 변경시키면서, 당해 조합마다 상기 측정부에서 측정되는 상기 소비 전류를 당해 조합마다의 상기 기준 소비 전류와 비교하여 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사한다.
또, 청구항 6에 기재된 회로 기판 검사 장치는, 청구항 4 또는 5에 기재된 회로 기판 검사 장치에 있어서, 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 있어서의 상기 전원 단자 및 상기 기준 전위 단자를 제외한 모든 상기 단자가 상기 단자조로서 규정되어 있다.
청구항 1에 기재된 회로 기판 검사 방법 및 청구항 4에 기재된 회로 기판 검사 장치에서는, 검사 대상으로서의 집적 회로의 단자(전원 단자 및 기준 전위 단자를 제외한 다른 단자) 중의 소정의 단자로 구성되는 단자조에 각각 접속되는 배선 패턴에 전압값이 미리 규정된 규정 전압을 공급했을 때의 집적 회로의 소비 전류를 측정하고, 측정한 소비 전류와 기준 소비 전류를 비교하여, 집적 회로의 모든 단자에 대한 배선 패턴으로의 접속 상태를 검사한다.
따라서, 이 회로 기판 검사 방법 및 회로 기판 검사 장치에 의하면, 기생 다이오드의 유무에 관계없이, 회로 기판에 실장된 집적 회로의 각 단자(모든 단자)에 대한 배선 패턴으로의 접속 상태를 검사할 수 있다.
청구항 2에 기재된 회로 기판 검사 방법 및 청구항 5에 기재된 회로 기판 검사 장치에서는, 단자조에 접속되는 배선 패턴 개개에 공급하는 규정 전압의 조합을 바꾸어 소비 전류를 측정하고, 조합마다 측정한 소비 전류를 조합마다의 기준 소비 전류와 비교하여 집적 회로에 대한 접속 상태를 검사한다. 따라서, 이 회로 기판 검사 방법 및 회로 기판 검사 장치에 의하면, 1개의 전압 패턴에서는 소비 전류와 기준 소비 전류의 차가 미세한 차이며 접속 상태의 검사가 곤란한 집적 회로에 대해서도, 다른 전압 패턴에서의 검사에 의해 접속 상태를 양호하게 검사할 수 있는 가능성을 높일 수 있기 때문에, 기생 다이오드의 유무에 관계없이, 집적 회로의 모든 단자에 대한 배선 패턴으로의 접속 상태를 한층 정밀도 좋게 검사할 수 있다.
청구항 3에 기재된 회로 기판 검사 방법 및 청구항 6에 기재된 회로 기판 검사 장치에 의하면, 집적 회로의 전원 단자 및 기준 전위 단자를 제외한 모든 단자를 단자조로서 규정한 것으로 인해, 각 규정 전압의 전압 패턴을 변경함으로써, 집적 회로 내의 각 단자에 접속되는 모든 회로의 동작 상태를 변경했을 때의 소비 전류를 측정하여 기준 소비 전류와 비교하는 검사를 실행할 수 있기 때문에, 회로 기판에 실장된 집적 회로의 모든 단자에 대한 배선 패턴으로의 접속 상태를, 한층 더 높은 정밀도로 검사할 수 있다.
도 1은 검사 장치(1)의 구성을 나타내는 구성도이다.
도 2는 전압 패턴마다의 각 규정 전압(Va~Vf)과 기준 소비 전류값(Ir)을 나타내는 설명도이다.
도 3은 검사 장치(1)에 의한 기판 검사 처리를 설명하기 위한 플로차트이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 회로 기판 검사 방법 및 회로 기판 검사 장치의 실시의 형태에 대해서 설명한다.
회로 기판 검사 장치(이하, 「검사 장치」라고도 한다)(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 전원 프로브(2), 기준 전위(본 예에서는 그라운드) 프로브(3), 검사용 프로브(4)(본 예에서는, 검사용 프로브(4a~4c, 4d~4f)), 전원 공급부(5), 전압 공급부(6), 측정부로서의 전류계(7), 처리부(8), 기억부(9) 및 출력부(10)를 구비하고, 회로 기판(11)에 실장된 검사 대상으로서의 집적 회로(12)의 각 단자(13)(본 예에서는 일례로서 8개의 단자(13a~13h))에 대한 배선 패턴(14)(본 예에서는 일례로서, 각 단자(13a~13h)에 대응하는 8개의 배선 패턴(14a~14h))으로의 접속 상태를 검사 가능하게 구성되어 있다.
전원 프로브(2)는, 그라운드 프로브(3)와 함께, 전원 공급 프로브를 구성한다. 또, 전원 프로브(2)는, 후술하는 바와 같이 케이블을 개재하여 전원 공급부(5)의 전원 출력 단자에 접속되어, 전원 공급부(5)로부터 출력된 전원 전압(Vcc)을 집적 회로(12)의 전원 단자(8번 단자)(13h)에 공급한다. 그라운드 프로브(3)는, 후술하는 바와 같이 케이블을 개재하여 전원 공급부(5)의 기준 전위 단자(그라운드 단자)에 접속되어, 집적 회로(12)의 기준 전위 단자(본 예에서는 그라운드 단자)에 접속된다. 또, 이 전원 공급부(5)의 그라운드 단자는 검사 장치(1) 내의 기준 전위(그라운드 전위)에 규정된 부위에 접속되어 있다. 검사용 프로브(4)는, 집적 회로(12)의 전원 단자(13h) 및 그라운드 단자(13d)(4번 단자)를 제외한 입력 단자 및 출력 단자 중에서 선택한 소정의 단자로 구성되는 단자조에 접속된다. 본 예에서는, 일례로서 전원 단자(13h) 및 그라운드 단자(13d)를 제외한 모든 단자(13a~13c(1번 내지 3번 단자), 13e~13g(5번 내지 7번 단자))를 선택하여, 이 소정의 단자로서 규정하고 있다. 이 때문에, 본 예에서는, 6개의 단자(13a~13c, 13e~13f)가 접속되는 6개의 배선 패턴(14a~14c, 14e~14g)에 대응시켜, 검사용 프로브(4)로서 6개의 검사용 프로브(4a~4c, 4d~4f)(이하, 특별히 구별하지 않을 때에는 「검사용 프로브(4)」라고도 한다)가 설치되어 있다.
전원 공급부(5)에는, 전원 프로브(2) 및 그라운드 프로브(3)가 케이블을 개재하여 접속되어 있다. 또, 전원 공급부(5)는, 처리부(8)에 의해 제어되어, 집적 회로(12)를 작동시키기 위한 전원 전압(Vcc)을 발생시킴과 더불어, 발생시킨 전원 전압(Vcc)을 전원 프로브(2) 및 그라운드 프로브(3)간에 공급(출력)한다. 전압 공급부(6)에는, 검사용 프로브(4)가 케이블을 개재하여 접속되어 있다. 또, 전압 공급부(6)는, 접속된 각 검사용 프로브(4a, 4b, 4c, 4d, 4e, 4f)에 대해서, 처리부(8)로부터 출력되는 전압 설정 데이터(D1)에 의해 검사용 프로브(4a, 4b, 4c, 4d, 4e, 4f)마다 규정되는 전압(이하 「규정 전압」이라고도 하는, 전압값이 고정인 직류 전압)(Va, Vb, Vc, Vd, Ve, Vf)을 생성하여 공급한다.
전류계(7)는, 일례로서 전원 공급부(5)와 전원 프로브(2)의 사이에 설치되어, 전원 공급부(5)로부터 집적 회로(12)에 대해서, 전원 프로브(2)를 개재하여 공급되는 전원 전류(즉, 집적 회로(12)의 소비 전류)(Icc)의 전류값(I1)을 측정하고, 처리부(8)에 출력한다. 또한, 그라운드 프로브(3)와 전원 공급부(5)의 사이에 전류계(7)를 설치하는 구성을 채용하는 것도 가능하다. 처리부(8)는, CPU 등으로 구성되어, 전원 공급부(5) 및 전압 공급부(6)에 대한 제어 처리와, 기판 검사 처리와, 기판 검사 처리에서의 결과를 출력부(10)에 출력하는 출력 처리를 실행한다.
기억부(9)는, ROM 및 RAM으로 구성되어, 처리부(8)의 동작을 규정하는 동작 프로그램, 검사용 프로브(4)마다의 규정 전압(Va~Vf), 및 기준 소비 전류(Ir)가 미리 기억되어 있다. 본 예에서는, 각 검사용 프로브(4a~4f)에 공급되는 규정 전압(Va~Vf)은, 일례로서 도 2에 나타내는 바와 같이, 전압값이 미리 규정된 규정 전압을 조합한 제1 전압 패턴으로부터 제4 전압 패턴까지의 4종류로 규정되어 있다. 또, 본 예에서는, 이 도면 중의 「H」는 집적 회로(12)의 각 단자(13)에 대한 정격 전압의 최대값이 규정 전압으로서 출력되는 것을 나타내고, 「L」은 그 최소값이 규정 전압으로서 출력되는 것을 나타내고 있지만, 규정 전압으로서 출력되는 2개의 전압값으로서는, 이것에 한정되는 것은 아니며, 도 2의 각 전압 패턴으로 각 단자(13)에 규정 전압(Va~Vf)이 공급되었을 때에, 집적 회로(12)의 동작 상태가 전압 패턴마다 변화하는 전압값이면, 임의의 전압(집적 회로(12)에 있어서의 정격 전압의 최대값과 최소값의 사이의 임의의 전압)으로 할 수 있다. 또, 제1 전압 패턴으로부터 제4 전압 패턴까지의 4종류의 각 전압 패턴을 공급했을 때의 기준 소비 전류(Ir)에 대해서도, 도 2에 나타내는 바와 같이, 전압 패턴마다 기억되어 있다. 또한, 본 예에 있어서 기준 소비 전류(Ir)란, 접속 상태가 양호한 집적 회로(12)에 대해서 도 2에 나타내는 전압 패턴의 규정 전압(Va~Vf)을 공급했을 때에 측정되는 소비 전류(Icc)의 존재 범위를 나타내는 것, 즉 판정 기준값(판정 기준 범위)이며, 본 예에서는 일례로서 제1 전압 패턴에서는, 기준 소비 전류(Ir)는 A(암페어) 이상으로 규정되고, 제2 전압 패턴에서는 B(암페어) 이상 C(암페어) 이하로 규정되고, 제3 전압 패턴에서는 D(암페어) 이상 E(암페어) 이하로 규정되고, 제4 전압 패턴에서는 F(암페어) 이하로 규정되어 있다. 또, 기억부(9)는, 처리부(8)의 워크메모리로서 기능하여, 처리부(8)가 전류계(7)로부터 취득한 전류값(I1)을 기억한다. 출력부(10)는, 일례로서 디스플레이 장치(예를 들면 LCD) 등의 표시 장치로 구성되어, 처리부(8)가 실시한 기판 검사 처리의 결과를 출력(표시)한다.
다음에, 검사 장치(1)의 동작과 더불어, 회로 기판(11)에 대한 검사 방법(회로 기판 검사 방법)에 대해서, 도 1~도 3을 참조하여 설명한다.
우선, 검사의 준비 단계로서, 회로 기판(11)에 실장된 집적 회로 중 검사 대상으로서의 집적 회로(12)의 각 단자(13a~13h)가 접속되는 각 배선 패턴(14a~14h)에 대해서, 도 1에 나타내는 바와 같이, 전원 프로브(2), 그라운드 프로브(3) 및 각 검사용 프로브(4)를 각각 접촉시킨다.
다음에, 검사 장치(1)를 작동시켜, 도 3에 나타내는 기판 검사 처리(50)를 실행시킨다. 이 기판 검사 처리(50)에서는, 처리부(8)는, 우선, 전원 공급부(5)에 대한 제어를 실행하여, 전원 프로브(2)로의 전원 전압(Vcc)의 공급을 개시시킨다(단계 51). 이로 인해, 집적 회로(12)의 전원 단자(13h)가 대응하는 배선 패턴(14h)에 정상으로 접속되고, 또한 그라운드 단자(13d)가 대응하는 배선 패턴(14d)에 정상으로 접속되어 있는 상태에서는, 집적 회로(12)는 동작 상태로 이행한다. 한편, 전원 단자(13h) 및 배선 패턴(14h)과, 그라운드 단자(13d) 및 배선 패턴(14d)의 적어도 한쪽의 접속 상태가 정상이지 않을 때에는, 집적 회로(12)는 비동작 상태로 유지된다. 전류계(7)는, 전원 공급부(5)로부터 집적 회로(12)에 공급되는 전원 전류(집적 회로(12)의 소비 전류)(Icc)의 전류값(I1)을 반복하여 측정하고, 측정마다, 측정한 전류값(I1)을 처리부(8)에 출력한다.
계속해서, 처리부(8)는, 1개의 전압 패턴(일례로서 제1 전압 패턴)에 대한 규정 전압(Va~Vf)을 독출하여, 이 규정 전압(Va~Vf)을 나타내는 전압 설정 데이터(D1)를 전압 공급부(6)에 대해서 출력한다. 이로 인해, 전압 공급부(6)는, 입력한 전압 설정 데이터(D1)에서 특정되는 규정 전압(Va~Vf)을 생성하고, 생성한 규정 전압(Va~Vf)의 대응하는 검사용 프로브(4a~4f)로의 공급을 개시한다(단계 52).
다음에, 처리부(8)는, 전압 공급부(6)로부터 각 검사용 프로브(4a~4f)에 대해서 규정 전압(Va~Vf)이 공급되고 있는 상태에서의 집적 회로(12)의 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)을 입력(측정)하여, 독출한 전압 패턴에 대응시켜 기억부(9)에 기억시킨다(단계 53). 처리부(8)는, 기억부(9)에 기억되어 있는 모든 전압 패턴의 독출이 완료되었는지의 여부를 판별하면서(단계 54), 독출하지 않은 전압 패턴이 존재하고 있을 때에는, 상기의 단계 52~단계 53을 반복함으로써, 도 2에 나타나 있는 모든 전압 패턴에 대한 규정 전압(Va~Vf)을 검사용 프로브(4a~4f)로부터 공급하고 있을 때, 즉 규정 전압의 조합을 바꾸었을 때의 집적 회로(12)에 대한 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)을 측정하여, 기억부(9)에 기억시킨다.
처리부(8)는, 단계 54에 있어서, 모든 전압 패턴의 독출이 완료되었다고 판별했을 때에는, 전원 공급부(5)에 대한 제어를 실행하여, 전원 프로브(2)로의 전원 전압(Vcc)의 공급을 정지시킴과 더불어, 전압 공급부(6)에 대한 제어를 실행하여, 각 검사용 프로브(4)로의 규정 전압(Va~Vf)의 공급을 정지시킨다(단계 55).
다음에, 처리부(8)는, 전압 패턴마다, 기억부(9)에 기억되어 있는 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)과 기준 소비 전류(Ir)를 독출하여 비교함으로써, 집적 회로(12)의 각 단자(13)와 각 배선 패턴(14)의 접속 상태를 판별한다(단계 56). 이 경우, 모든 단자(13)와 배선 패턴(14)의 접속 상태가 양호할 때에는, 각 전압 패턴에 있어서 측정된 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)은, 모두, 대응하는 기준 소비 전류(Ir)의 범위 내가 된다.
한편, 단자(13a~13c, 13e~13g) 중 적어도 1개의 단자(13)와, 배선 패턴(14a~14c, 14e~14g) 중의 대응하는 배선 패턴(14)의 접속 상태가 불량일 때(단자 들뜸이 발생되어 있을 때)에는, 이 접속 불량의 단자(13)로부터 집적 회로(12) 내의 회로에 규정 전압이 공급되지 않는 결과, 이 회로의 동작 상태는, 단자(13)와 배선 패턴(14)의 접속 상태가 양호할 때(규정 전압이 공급되어 있을 때)와는 상위하다. 이 때문에, 이 접속 상태가 불량 상태로 측정되는 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)은, 단자(13a~13c, 13e~13g)가, 모두, 대응하는 배선 패턴(14a~14c, 14e~14g)과 양호하게 접속되어 있을 때(접속 상태가 양호할 때)의 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)과는 상위하다. 이 결과, 적어도 1개의 전압 패턴에 있어서, 기준 소비 전류(Ir)의 범위 외가 된다. 또, 전원 단자(13h) 및 그라운드 단자(13d) 중 적어도 한쪽에 있어서, 대응하는 배선 패턴(14h, 14d)과의 접속 상태가 양호하지 않을 때에도, 집적 회로(12)가 작동하지 않기 때문에, 이 때의 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)은 기준 소비 전류(Ir)의 범위 외가 된다.
따라서, 처리부(8)는, 각 전압 패턴에서 측정된 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)이, 모두 대응하는 기준 소비 전류(Ir)의 범위 내로 되어 있을 때는, 집적 회로(12)의 전체 단자(13)의 배선 패턴(14)으로의 접속 상태가 정상이라고 판별하고, 적어도 1개의 전압 패턴에 있어서 측정된 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)이, 대응하는 기준 소비 전류(Ir)의 범위 외로 되어 있을 때는, 집적 회로(12)의 단자(13)의 배선 패턴(14)으로의 접속 상태에 이상이 발생하고 있다고 판별하고, 이 판별 결과를 집적 회로(12)에 대응시켜 기억부(9)에 기억시킨다. 처리부(8)는, 회로 기판(11)에 복수의 집적 회로(12)가 실장되어 있을 때에는, 검사 대상으로 하는 모든 집적 회로(12)에 대해서 상술한 기판 검사 처리(50)를 실행하여, 집적 회로(12)마다 그 판별 결과를 기억부(9)에 기억시킨다. 마지막으로, 처리부(8)는, 검사를 실행한 집적 회로(12)에 대한 판별 결과를 기억부(9)로부터 독출하여, 출력부(10)에 출력한다(단계 57). 이로 인해, 회로 기판(11)에 있어서의 각 집적 회로(12)에 대한 검사(기판 검사 처리)가 완료된다.
이와 같이, 이 검사 장치(1) 및 회로 기판 검사 방법에서는, 검사 대상으로 서의 집적 회로(12)의 단자(13)(입력 단자 및 출력 단자) 중 소정의 단자(13a~13c, 13e~13g)로 구성되는 단자조에 각각 접속되는 배선 패턴(14a~14c, 14e~14g)에 접촉하는 검사용 프로브(4a~4f)에 대해서 이 배선 패턴(14a~14c, 14e~14g) 개개에 미리 규정된 규정 전압(Va~Vf)을 전압 공급부(6)로부터 공급하고 있을 때의 집적 회로(12)의 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)을 전류계(7)에서 측정하고, 처리부(8)가, 이 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)과 기준 소비 전류(Ir)(미리 측정된 접속 상태가 양호한 집적 회로(12)에 관한 소비 전류)를 비교하여, 집적 회로(12)의 각 단자(13a~13h)에 대한 배선 패턴(14a~14h)으로의 접속 상태를 검사한다.
따라서, 이 검사 장치(1) 및 회로 기판 검사 방법에 의하면, 기생 다이오드(집적 회로(12) 내에 있어서, 각 단자(13)와 전원 라인의 사이, 및 각 단자(13)와 그라운드 라인의 사이에 형성되는 다이오드)의 유무에 관계없이, 회로 기판(11)에 실장된 집적 회로(12)의 모든 단자(13a~13h)에 대한 배선 패턴(14a~14h)으로의 접속 상태를 검사할 수 있다.
또, 이 검사 장치(1) 및 회로 기판 검사 방법에서는, 배선 패턴(14a~14c, 14e~14g) 개개에 공급하는 규정 전압(Va~Vf)을 변경 가능하게 전압 공급부(6)를 구성하고, 처리부(8)가, 전압 공급부(6)에 대해서 단자조(단자(13a~13c, 13e~13g)에 접속되는 각 배선 패턴(14a~14c, 14e~14g)에 대한 개개의 규정 전압(Va~Vf)의 전압 패턴(조합)을 변경시키면서, 전압 패턴마다의 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)을 전류계(7)에서 측정하고, 전압 패턴마다 측정한 전류값(I1)을 미리 측정한 전압 패턴마다의 기준 소비 전류(Ir)와 비교한다. 따라서, 이 검사 장치(1) 및 회로 기판 검사 방법에 의하면, 1개의 전압 패턴에서는 소비 전류(Icc)의 전류값(I1)과 기준 소비 전류(Ir)의 차가 미세한 차이며 접속 상태의 검사가 곤란한 집적 회로(12)에 대해서도, 다른 전압 패턴에서의 검사에 의해 접속 상태를 양호하게 검사할 수 있을 가능성을 높일 수 있기 때문에, 기생 다이오드의 유무에 관계없이, 회로 기판(11)에 실장된 집적 회로(12)의 모든 단자(13a~13h)에 대한 배선 패턴(14a~14h)으로의 접속 상태를 한층 정밀도 좋게 검사할 수 있다.
또, 이 검사 장치(1) 및 회로 기판 검사 방법에 의하면, 집적 회로(12)의 전원 단자(13h) 및 그라운드 단자(13d)를 제외한 모든 단자(13a~13c, 13e~13g)를 단자조로서 규정한 것으로 인해, 규정 전압(Va~Vf)의 전압 패턴을 변경함으로써, 집적 회로(12) 내의 각 단자(13a~13c, 13e~13g)에 접속되는 모든 회로의 동작 상태를 변경했을 때의 소비 전류(Icc)를 측정해 기준 소비 전류(Ir)와 비교하는 검사를 실행할 수 있기 때문에, 회로 기판(11)에 실장된 집적 회로(12)의 모든 단자(13a~13h)에 대한 배선 패턴(14a~14h)으로의 접속 상태를, 한층 더 높은 정밀도로 검사할 수 있다.
또한, 1개의 전원 단자(13h)를 구비한 집적 회로(12)를 예로 들어 설명했지만, 복수의 전원 단자(13h)를 구비한 집적 회로(12)에 대해서는, 전원 공급부(5)에 전원 단자(13h)와 동수의 전원 프로브(2)를 접속하여, 각 전원 단자(13h)에 각 전원 전압(Vcc)을 공급함으로써, 복수의 전원 단자(13h)를 구비한 집적 회로(12)에 대한 접속 상태를 검사할 수도 있다. 또, 전원 공급부(5)를 복수 구비한 구성으로 함으로써, 전원 전압(Vcc)이 다른 복수의 전원 단자(13h)를 구비한 집적 회로(12)에 대한 검사를 실행 가능하게 구성할 수도 있다.
또, 규정 전압(Va~Vf)에 대해 4종류의 전압 패턴을 규정하여 공급하는 구성에 대해서 상기했지만, 전압 패턴의 수는 1종류 이상의 임의가 수로 할 수 있다. 또, 모든 단자(13) 중 전원 단자(13h) 및 그라운드 단자(13d)를 제외한 모든 단자(13a~13c, 13e~13g)를 단자조의 단자로서 규정하는 가장 바람직한 예에 대해서 상기했지만, 단자조로서 규정하는 단자의 수는 1 이상이면, 임의가 수로 할 수 있다.
1:검사 장치 2:전원 프로브
3:그라운드 프로브 4:검사용 프로브
5:전원 공급부 6:전압 공급부
7:전류계 8:처리부
11:회로 기판 12:집적 회로
13:단자 13d:그라운드 단자
13h:전원 단자 14:배선 패턴
Icc:소비 전류 Ir:기준 소비 전류
Va~Vf:규정 전압 Vcc:전원 전압

Claims (6)

  1. 회로 기판의 배선 패턴에 각 단자가 접속되어 당해 회로 기판에 실장된 검사 대상의 집적 회로에 있어서의 당해 각 단자와 당해 배선 패턴의 접속 상태를 검사하는 회로 기판 검사 방법으로서,
    상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 있어서의 전원 단자 및 기준 전위 단자에 각각 접속되는 상기 배선 패턴간에 전원 전압을 공급하고 있는 상태에 있어서, 당해 집적 회로의 상기 각 단자 중의 상기 전원 단자 및 상기 기준 전위 단자를 제외한 다른 단자로부터 선택된 소정의 복수의 단자로 구성되는 단자조(組)에 각각 접속되는 복수의 상기 배선 패턴 개개에 전압값이 미리 규정된 규정 전압을 공급했을 때의 당해 집적 회로의 소비 전류를 측정하고, 당해 측정한 소비 전류와 기준 소비 전류를 비교하여 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사하는, 회로 기판 검사 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 단자조에 접속되는 상기 배선 패턴 개개에 공급하는 상기 규정 전압의 조합을 바꾸어 상기 소비 전류를 측정하고, 당해 조합마다 측정한 당해 소비 전류를 당해 조합마다의 상기 기준 소비 전류와 비교하여 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사하는, 회로 기판 검사 방법.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 있어서의 상기 전원 단자 및 상기 기준 전위 단자를 제외한 모든 상기 단자를 상기 단자조로 하여, 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사하는, 회로 기판 검사 방법.
  4. 회로 기판의 배선 패턴에 각 단자가 접속되어 당해 회로 기판에 실장된 검사 대상의 집적 회로에 있어서의 당해 각 단자와 당해 배선 패턴의 접속 상태를 검사하는 회로 기판 검사 장치로서,
    상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 있어서의 전원 단자 및 기준 전위 단자에 각각 접속되는 배선 패턴간에 전원 전압을 공급하는 전원 공급 프로브와,
    상기 검사 대상의 상기 집적 회로의 상기 각 단자 중의 상기 전원 단자 및 상기 기준 전위 단자를 제외한 다른 단자로부터 선택된 소정의 복수의 단자로 구성되는 단자조에 각각 접속되는 복수의 상기 배선 패턴 개개에 접촉되는 검사용 프로브와,
    전압값이 미리 규정된 규정 전압을 상기 검사용 프로브에 공급하는 전압 공급부와,
    상기 전원 공급 프로브를 개재하여 상기 집적 회로에 공급되는 소비 전류를 측정하는 측정부와,
    상기 측정된 소비 전류와 기준 소비 전류를 비교하여 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사하는 처리부를 구비하고 있는, 회로 기판 검사 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 전압 공급부는, 상기 배선 패턴 개개에 공급하는 상기 규정 전압을 변경 가능하게 구성되고,
    상기 처리부는, 상기 전압 공급부에 대해서 상기 단자조에 접속되는 각 배선 패턴에 대한 상기 개개의 규정 전압의 조합을 변경시키면서, 당해 조합마다 상기 측정부에서 측정되는 상기 소비 전류를 당해 조합마다의 상기 기준 소비 전류와 비교하여 상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 대한 상기 접속 상태를 검사하는, 회로 기판 검사 장치.
  6. 청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
    상기 검사 대상의 상기 집적 회로에 있어서의 상기 전원 단자 및 상기 기준 전위 단자를 제외한 모든 상기 단자가 상기 단자조로서 규정되어 있는, 회로 기판 검사 장치.
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