KR100445278B1 - Apparatus for transferring flat glass used in flat panel display - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 평판 글라스 기판 반송장치에 관한 것으로서, 특히 기판의 검사와 측정 등과 같이 정밀한 위치제어 및 정속(定速)성능이 요구되는 곳에 적합한 평판 글라스 기판 반송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat glass substrate transfer apparatus, and more particularly, to a flat glass substrate transfer apparatus suitable for a place where precise position control and constant speed performance are required, such as inspection and measurement of a substrate.
최근 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기전계발광 표시장치(Organic Electroluminescence Display, OELD), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel, PDP) 등의 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 장치가 각광을 받고 있다.Recently, flat panel display (FPD) devices such as liquid crystal display (LCD), organic electroluminescence display (OELD), plasma display panel (PDP), etc. I am getting it.
FPD 장치는 기판으로서 평판 글라스를 사용하는데 기판에 하자가 있으면 좋은 화면이 구현되지 못하기 때문에 결함이 없으면서 평평한 기판이 요구된다. 특히, 기판이 대형화됨에 따라 결함이 없으면서 평평한 기판을 얻기가 더욱 어려워지고 있다.The FPD device uses a flat glass as a substrate, but since a good screen is not realized if there is a defect in the substrate, a flat substrate without a defect is required. In particular, as the substrate becomes larger, it is more difficult to obtain a flat substrate without defects.
이처럼 하자 없는 글라스 기판을 얻는 것이 매우 중요하기 때문에 기판의 검사 및 측정 등과 같은 곳에 사용되는 기판 반송장치는 매우 정밀한 제어가 요구되어진다.Since it is very important to obtain such a defect-free glass substrate, the substrate conveying apparatus used in such places as inspection and measurement of the substrate requires very precise control.
도 1a 및 도 1b는 종래의 평판 글라스 기판 검사기용 기판 반송장치를 설명하기 위한 도면들이다.1A and 1B are diagrams for explaining a substrate transfer apparatus for a conventional flat glass substrate inspector.
도 1a를 참조하면, 평판 글라스 기판(1)은 지지 프레임(10)에 설치되는 복수개의 롤러(11) 위에 놓여지고, 롤러(11)의 회전에 의해 수평이동 된다. 이 때, 롤러(11)로는 회전시의 마찰을 줄이기 위하여 구름베어링 등을 사용한다. 통상 기판(1) 검사를 위한 카메라(미도시)는 기판(1) 윗 공간에 위치한다.Referring to FIG. 1A, the flat glass substrate 1 is placed on a plurality of rollers 11 installed on the support frame 10 and horizontally moved by the rotation of the rollers 11. At this time, rolling rollers and the like are used as the roller 11 to reduce friction during rotation. Typically, a camera (not shown) for inspecting the substrate 1 is located in a space above the substrate 1.
이러한 종래의 기판 반송장치는 몇가지 문제점을 가지고 있다. 이를 도 1b를 참조하여 설명하면, 다른 롤러에 비하여 약간 내려간 롤러(11a) 부분에서는 기판(1)이 처지고, 약간 올라간 롤러(11b) 부분에서는 기판(1)이 위로 휘는 현상이 발생한다. 이러한 현상은 전체적인 기판 반송 특성에 영향을 주게 되어 상기 카메라로 스캐닝할 때에 검사부위에 대한 상이 균일하고 뚜렷하게 맺히지 못하게 된다.This conventional substrate transfer apparatus has some problems. Referring to FIG. 1B, the substrate 1 sags at the portion of the roller 11a that is slightly lower than the other rollers, and the substrate 1 is bent upward at the portion of the roller 11b that is slightly raised. This phenomenon affects the overall substrate transfer characteristics such that the image on the inspection site is not uniformly and clearly formed when scanning with the camera.
이를 방지하기 위하여, 롤러(11)의 높이를 적어도 오차가 0.05mm 이하가 되게 해 주어야 하는데, 이를 위해서는 매우 엄격한 가공 및 조립 기술이 필요하다. 따라서, 비용이 많이 들 뿐만 아니라 실제 조립작업이 매우 어렵다.In order to prevent this, the height of the roller 11 should be at least an error of 0.05 mm or less, which requires very strict processing and assembly techniques. Therefore, not only is it expensive, but the actual assembly work is very difficult.
한편, FPD 장치에 사용되는 평판 글라스 기판(1)은 0.01mm 정도의 이물이 묻기만 하여도 심각한 제품 결함이 되어 버리기 때문에 매우 청결한 상태가 유지되어야만 한다. 그러나, 종래의 반송장치는 복수개의 롤러(11)의 회전속도가 모두 똑같지는 않기 때문에 기판(1)이 롤러(11)에 접촉된 상태에서 미끄러지는 현상이 종종 발생한다. 이로 인해 원하지 않게 기판(11)에 이물질이 묻거나 롤러 자국이나 스크래치 등이 생기게 되는 문제가 있다.On the other hand, the flat glass substrate 1 used in the FPD device must be maintained in a very clean state because it becomes a serious product defect even if foreign matters of about 0.01 mm are buryed. However, in the conventional conveying apparatus, since the rotation speeds of the plurality of rollers 11 are not all the same, the phenomenon in which the substrate 1 slides in a state in which the substrate 1 is in contact with the roller 11 often occurs. As a result, there is a problem that undesired foreign matters on the substrate 11, roller marks, scratches, or the like.
상술한 바와 같이 종래의 평판 글라스 반송장치는, 롤러 컨베이어를 이용하여 기판을 반송하기 때문에 기판(1)에 이물질이 묻거나 스크래치 등이 생기고, 롤러(11)의 원주면이 기판(1)에 직접 닿기 때문에 기판(1)이 떨리는 문제가 생긴다.As described above, in the conventional flat glass conveying apparatus, since the substrate is conveyed by using a roller conveyor, foreign matter gets on the substrate 1 or scratches occur, and the circumferential surface of the roller 11 directly contacts the substrate 1. Since it touches, the board | substrate 1 will shake.
또한, 도시되지는 않았지만 기판(1)의 양쪽을 클램핑하여 기판(1)을 반송하기 때문에 기판(1)이 완전히 반송된 후에야 비로소 다른 기판을 반송시킬 수 있게 되어 반송주기가 길다.In addition, although not shown, the substrate 1 is conveyed by clamping both sides of the substrate 1, so that the other substrate can be conveyed only after the substrate 1 is completely conveyed, and thus the conveying cycle is long.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 롤러 컨베이어가 아닌 에어슬라이딩 방식을 채택하여 기판을 반송함으로써 상술한 종래의 문제를 해결할 수 있는 평판 글라스 기판 반송장치를 제공하는 데 있다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a flat glass substrate transfer apparatus that can solve the above-mentioned conventional problems by conveying the substrate by adopting an air sliding method rather than a roller conveyor.
도 1a 및 도 1b는 종래의 평판 글라스 기판 검사기용 기판 반송장치를 설명하기 위한 도면들;.1A and 1B are views for explaining a substrate transport apparatus for a conventional flat glass substrate inspector.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 평판 글라스 기판 반송장치를 설명하기 위한 도면들;2A and 2B are views for explaining a flat glass substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention;
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 평판 글라스 기판 반송장치의 변형예를 설명하기 위한 도면들이다.3A and 3B are views for explaining a modification of the flat glass substrate transport apparatus according to the embodiment of the present invention.
< 도면의 주요 부분에 대한 참조번호의 설명 ><Description of Reference Numbers for Main Parts of Drawings>
1: 평판 글라스 기판 10: 지지 프레임1: flat glass substrate 10: support frame
11, 11a, 11b: 롤러 20: 반송 테이블11, 11a, 11b: roller 20: conveyance table
21: 에어홀 22: 진공홀21: air hole 22: vacuum hole
23: 리니어 모터 24a, 24b: 기판척23: linear motor 24a, 24b: substrate chuck
50: 가이드 라인50: guidelines
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판 글라스 기판 반송장치는, 위로 공기를 분사하는 에어홀과 위의 공기를 흡입하는 진공홀이 마련되며 가로로 길게 형성된 직사각형의 반송 테이블, 상기 반송 테이블의 두개의 가로 방향의 외곽을 따라 서로 평행하게 마주보도록 마련되되, 상기 반송 테이블을 관통하여 설치되는 두개의 가이드라인, 상기 두개의 가이드라인에 수직하게 삽입 설치되고 그 위에 평판 글라스 기판이 올려놓여지며, 상하운동과 가로방향의 수평이동이 가능하도록 기판척 및 상기 기판척을 수평이동시키는 리니어 모터등의 이송장치를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In accordance with one aspect of the present invention, there is provided a flat glass substrate conveying apparatus including a rectangular conveying table which is formed to be horizontally elongated and provided with an air hole for injecting air thereon and a vacuum hole for sucking the air thereon. It is provided to face each other in parallel along the two horizontal direction, two guide lines installed through the conveying table, inserted into the two guide lines perpendicular to the plate glass substrate is placed thereon, It characterized in that it comprises a substrate chuck and a transfer device such as a linear motor for horizontally moving the substrate chuck so that vertical movement and horizontal movement in the horizontal direction.
여기서, 상기 에어홀과 상기 진공홀은 서로 번갈아 가면서 이웃하도록 배치되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 반송 테이블은 중간부분만 따로 분리되어 설치되는 것이 바람직하고, 상기 중간부분은 상기 반송 테이블의 중간부분 이외의 나머지 양쪽 부분보다 더 평탄한 것이 바람직하다.Here, the air hole and the vacuum hole is preferably disposed so as to alternate with each other. Preferably, the conveying table is provided separately from the middle portion, and the intermediate portion is preferably flatter than both other portions except the middle portion of the conveying table.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 평판 글라스 기판 반송장치를 설명하기 위한 도면들이다.2A and 2B are views for explaining a flat glass substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 가로로 긴 모양을 하는 반송 테이블(20)에는 위로 공기를 분사하는 에어홀(21)과 위의 공기를 흡입하는 진공홀(22)이 뚫려 있다. 에어홀(21)과 진공홀(22)은 서로 번갈아 가면서 이웃하도록 배치된다.2A and 2B, an air hole 21 for injecting air upwards and a vacuum hole 22 for sucking air above are bored in the transversely long conveying table 20. The air holes 21 and the vacuum holes 22 are alternately arranged to alternate with each other.
반송 테이블(20)의 가로 방향의 외곽을 따라서 반송 테이블(20)을 관통하는 가이드라인(50)이 서로 평행하게 마주보도록 마련된다. 기판척(24a, 24b)은 가이드 라인(50)에 수직하게 삽입되어 반송 테이블(20)의 양쪽 가로방향에 서로 마주보도록 설치되며 상하운동이 가능하도록 설치된다. 그리고, 서로 마주보고 있는 기판척(24a, 24b)은 리니어 모터(23)에 의해 서로 평행하게 수평이동 가능하도록 설치된다.A guideline 50 penetrating the conveyance table 20 along the horizontal direction of the conveyance table 20 is provided to face each other in parallel. The substrate chucks 24a and 24b are inserted perpendicular to the guide line 50 so as to face each other in both transverse directions of the conveying table 20 and are installed to enable vertical movement. The substrate chucks 24a and 24b facing each other are provided by the linear motor 23 so as to be able to move horizontally in parallel with each other.
기판척(24a, 24b)의 위 끝단에는 평판 글라스 기판(1)을 흡착할 수 있는 진공 패드(미도시)가 마련되며, 기판(1)은 상기 진공 패드에 흡착되어 기판척(24a, 24b)에 올려놓여진다. 반송 테이블(20) 윗 공간에는 CCD 카메라와 같은 기판 검사장치(미도시)가 설치된다.At the upper ends of the substrate chucks 24a and 24b, a vacuum pad (not shown) capable of absorbing the flat glass substrate 1 is provided, and the substrate 1 is absorbed by the vacuum pads so that the substrate chucks 24a and 24b are provided. Put on. In the space above the conveyance table 20, a substrate inspection apparatus (not shown) such as a CCD camera is provided.
마주보는 기판척(24a, 24b) 중에서 어느 하나의 기판척(24b)에 기판(1)을 흡착시키고 오른쪽 방향으로 기판(1)을 반송할 때에, 에어홀(21)에서 나온 공기가 진공홀(22)로 흡입되어 들어가면서 기판(1)과 반송 테이블(20) 사이에 에어갭이 형성되기 때문에, 에어베어링과 같은 원리에 의해 기판(1)이 직접 반송 테이블(20)에 접촉되지 않고 반송된다.When the substrate 1 is attracted to any one of the opposing substrate chucks 24a and 24b and the substrate 1 is conveyed in the right direction, air from the air hole 21 is discharged into the vacuum hole ( Since the air gap is formed between the board | substrate 1 and the conveyance table 20 by being sucked into 22, the board | substrate 1 is conveyed without contacting the conveyance table 20 directly by the same principle as air bearing.
이 때, 나머지 기판척(24a)은 반송되고 있는 기판(1)과 닿지 않도록 아래로 내려와 왼쪽에 그냥 머물러 있는 상태로 있는다. 기판(1)이 오른쪽 방향으로 완전히 반송된 상태에서 비로소 왼쪽에 있던 기판척(24a)은 위로 올라오고 여기에 새로운 기판이 올려놓여진다. 그리고, 반송작업이 끝나 오른쪽에 있는 기판척(24b)은 아래로 하강한 후에 다시 왼쪽으로 이동하여 다음 기판이 올려놓여질 때까지 대기한다.At this time, the remaining substrate chuck 24a descends downward so as not to come into contact with the substrate 1 being conveyed and remains just on the left side. Only when the substrate 1 is completely conveyed in the right direction, the substrate chuck 24a on the left side rises up and a new substrate is placed thereon. After the transfer operation, the substrate chuck 24b on the right side is lowered and then moved back to the left side and waits until the next substrate is placed.
이렇게 기판척(24a, 24b)을 독립적으로 구동시켜서 한번 반송시에 어느 하나의 기판척(24a 또는 24b)만을 사용하고, 어느 하나의 기판척이 위로 올라온 동안에는 나머지 어느 하나가 아래로 내려가도록 함으로써 반송주기를 줄일 수 있게 된다.In this way, by driving the substrate chucks 24a and 24b independently, only one of the substrate chucks 24a or 24b is used at the time of conveyance, and while any one of the substrate chucks is raised, the other one is lowered. The cycle can be reduced.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 평판 글라스 기판 반송장치의 변형예를 설명하기 위한 도면들이다.3A and 3B are views for explaining a modification of the flat glass substrate transport apparatus according to the embodiment of the present invention.
반송 테이블(20) 전체를 일체형으로 제작하는데는 가공성 및 평탄도 문제가 있기 때문에 도 3a와 같이 반송 테이블(20)을 중간부분(20b)이 따로 분리된 상태로 설치한다. 또한, 상기 중간부분(20b)과 상기 중간부분(20b) 이외의 상기 반송 테이블(20)의 나머지 부분(20a)을 분리되도록 설치하여 각 부분마다 평탄도의 정도를 다르게 하는 것이 바람직하다.Since the whole conveyance table 20 is integrally manufactured, there exists a workability and flatness problem, and the conveyance table 20 is installed in the state which the intermediate part 20b isolate | separated separately like FIG. 3A. In addition, it is preferable that the remaining portion 20a of the conveying table 20 other than the intermediate portion 20b and the intermediate portion 20b is provided to be separated so that the degree of flatness is different for each portion.
즉, 기판을 검사하는 위치에 해당하는 중요지점인 중간부분(20b)에는 평탄도가 50㎛이하가 되도록 하고, 상기 중간부분(20b) 이외의 반송 테이블(20)의 나머지 부분(20a)은 반송에 이상이 없는 정도, 예컨대 300㎛ 정도의 평탄도가 되도록 하면 더 경제적이고 작업률을 좋게 할 수 있다.That is, flatness is 50 micrometers or less in the intermediate part 20b which is an important point corresponding to the position which examines a board | substrate, and the remaining part 20a of the conveyance table 20 other than the said intermediate part 20b is conveyed. When the flatness of about 300 μm is maintained, the more economical and the work rate can be improved.
중간부분(20b)의 가로방향의 길이가 반송 테이블(20)의 양쪽 나머지 부분(20a)보다 넓지 않더라도 상기 카메라를 반송 테이블의 중간부분(20b)에 포커싱시킨 다음에 중간부분(20b)을 거쳐가는 기판(1)을 스캔하면 평탄도가 높은 중간부분(20b)에서 검사가 충분히 이루어질 수 있다.Although the length of the transverse direction of the intermediate portion 20b is not wider than both of the remaining portions 20a of the conveying table 20, the camera is focused on the intermediate portion 20b of the conveying table and then passes through the intermediate portion 20b. When the substrate 1 is scanned, the inspection may be sufficiently performed at the middle portion 20b having high flatness.
조사장치를 이용하여 반송 테이블(20) 밑 공간에서 윗 방향으로 광을 조사하여 기판(1)을 투과하여 나오는 광을 입력받아 기판(1)을 검사하는 경우에는 광이 반송테이블(20)을 통과하여 위로 올라올 수 있도록 도 3b와 같이 중간부분(20a)을 둘(20c, 20d)로 분리하여 그 사이에 틈을 만들어 주는 것이 좋다.When irradiating light upward from the space under the conveyance table 20 using an irradiation device to receive light passing through the substrate 1 and inspecting the substrate 1, the light passes through the conveyance table 20. It is good to separate the middle portion (20a) into two (20c, 20d) as shown in Figure 3b so as to rise up to make a gap therebetween.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 롤러(11)의 원주면이 직접 기판(1)에 닿는 종래의 경우와 달리 에어베어링 방식을 사용하기 때문에, 기판(1)이 떨리는 문제가 생기지 않아 기판검사능력이 향상될 뿐만 아니라 이물이 묻거나 스크래치가 생기는 것을 방지할 수 있다.As described above, according to the present invention, since the air bearing method is used unlike the conventional case in which the circumferential surface of the roller 11 directly touches the substrate 1, the substrate 1 does not have a problem of shaking, and thus the substrate inspection ability Not only can this be improved, but foreign matters and scratches can be prevented.
또한, 종래의 경우에는 다수의 롤러를 정밀하게 제작하여 높이가 동일하도록 조립하여야 했기 때문에 많은 시간과 노력이 필요했지만 본 발명에 의하면 이런 노력이 많이 줄어든다. 그리고, 본 발명의 경우는 종래와 달리 기계적 접촉없이 에어슬라이딩 방식으로 기판(1)이 반송되기 때문에 부하가 거의 걸리지 않아 정밀한 제어가 가능하다.In addition, in the conventional case, since a number of rollers were manufactured to be precisely assembled and assembled to have the same height, much time and effort were required, but according to the present invention, such efforts are greatly reduced. In addition, in the case of the present invention, since the substrate 1 is conveyed by an air sliding method without mechanical contact unlike in the related art, a load is hardly applied and precise control is possible.
한편, 본 발명에 의하면 검사위치에 해당하는 반송 테이블(200)의 평탄도만을 별도로 관리함으로써 기판 검사능력을 더욱 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 양쪽 클램핑 방식을 사용하는 종래의 경우와 달리 본 발명은 마주보는 기판척(24a, 24b)을 하나씩 서로 번갈아 가면서 반송에 이용하기 때문에 반송주기가 짧다.On the other hand, according to the present invention, it is possible to further improve the substrate inspection ability by separately managing only the flatness of the conveyance table 200 corresponding to the inspection position. In addition, unlike the conventional case in which both clamping methods are used, the present invention uses the substrate chucks 24a and 24b facing each other alternately, so that the transfer cycle is short.
본 발명은 상기 실시예에만 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 명백하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and it is apparent that many modifications are possible by those skilled in the art within the technical spirit of the present invention.
Claims (13)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020030011750A KR100445278B1 (en) | 2003-02-25 | 2003-02-25 | Apparatus for transferring flat glass used in flat panel display |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1020030011750A KR100445278B1 (en) | 2003-02-25 | 2003-02-25 | Apparatus for transferring flat glass used in flat panel display |
Publications (1)
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|---|---|
| KR100445278B1 true KR100445278B1 (en) | 2004-08-21 |
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Family Applications (1)
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| KR1020030011750A KR100445278B1 (en) | 2003-02-25 | 2003-02-25 | Apparatus for transferring flat glass used in flat panel display |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100746833B1 (en) | 2005-11-23 | 2007-08-07 | 주식회사 엔씨비네트웍스 | Noncontact conveying plate |
| KR101083110B1 (en) * | 2004-08-30 | 2011-11-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | Sputtering apparatus with gas injection nozzle assemblly |
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2003
- 2003-02-25 KR KR1020030011750A patent/KR100445278B1/en active IP Right Grant
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR101083110B1 (en) * | 2004-08-30 | 2011-11-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | Sputtering apparatus with gas injection nozzle assemblly |
| KR100746833B1 (en) | 2005-11-23 | 2007-08-07 | 주식회사 엔씨비네트웍스 | Noncontact conveying plate |
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