KR100899135B1 - 기판 이송시스템 - Google Patents

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KR100899135B1
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Abstract

본 발명은 기판 이송시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 적재된 기판 사이의 간격을 최소화하여 기판의 적재에 대한 효율성을 높임과 더불어, 설비의 크기를 줄이고 기판에 대한 랜덤(random)이송이 가능하도록 한 기판 이송시스템에 관한 것이다.
이를 위해, 메인프레임;메인프레임의 일측 방향에 설치된 컨베이어;상기 메인프레임의 내부 양측에 설치된 승강축과, 이 승강축을 따라 승강되는 승강부를 포함하는 리프터;상기 승강부에 안착되며, 복수의 기판이 수평바에 상,하로 적재된 카세트;상기 메인프레임의 일측에 설치되며, 리프터에 의해 승강되는 카세트의 기판이 대응되었을 때, 상기 수평바를 회전하여 컨베이어를 향해 기판을 밀어내는 메인구동부:를 포함하되, 상기 수평바는 카세트에 지면에 대하여 수평으로 설치되며, 이 수평바에는 기판의 저면을 지지하는 복수의 롤러가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템을 제공한다.
기판,이송,카세트,승강,수평바,롤러,메인구동부,보조구동부,마그네틱

Description

기판 이송시스템{glass transporting system}
본 발명은 기판 이송시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 적재된 기판 사이의 간격을 최소화하여 기판의 적재에 대한 효율성을 높임과 더불어, 설비의 크기를 줄이고 기판에 대한 랜덤(random)이송이 가능하도록 한 기판 이송시스템에 관한 것이다.
최근 컴퓨터, 텔레비젼 등 전자기기의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라 이러한 전자기기에 필수적으로 사용되는 평판표시소자에 대한 수요도 증가하고 있다.
이러한 평판표시소자(Flat Panel Display)로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display) 등이 있으며, 평판표시소자의 제조에 있어서는 그 제조공정상의 효율성을 위하여 취급되는 기판의 크기가 점진적으로 대형화되는 추세이다.
특히, 최근 생산라인의 가동이 시작된 8세대에는 취급되는 기판의 크기가 2.2×2.5 m 정도까지 초대형화되는 실정이다.
이러한 대형 기판을 제조하는 평판표시소자 제조에 있어서는 필수적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 대형 기판을 적재하여 보관할 수 있는 카세트(cassette, 10)가 필요하다.
즉, 기판(G)에 특정의 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 기판(G)을 반입하고, 평판표시소자 제조장치에 의하여 처리된 기판(G)을 반출하는 경우, 반입될 새로운 기판(G)과 반출된 기판(G)을 임시로 보관할 수 있는 카세트가 평판표시소자 제조장치의 외부에 위치되어 있어서, 새로운 기판을 차례대로 평판표시소자 제조장치에 반입시키고, 처리된 기판(G)을 차례대로 다시 카세트(10)에 적재한다.
상술한 바와 같이 카세트(10)를 사용하는 이유는 기판(G) 하나하나를 운반하는 경우 기판(G) 운반에 매우 시간이 많이 소요되고, 또한 운반 과정에서 기판(G)이 파손될 가능성이 많이 있기 때문에 카세트(10)에 기판(G)을 복수 개 적재시킨 후 카세트(10) 자체를 운반하는 것이다. 이렇게 카세트 단위로 기판(G)을 운반하면, 운반 과정에서 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 작업의 효율성도 높일 수 있는 것이다.
여기서, 종래의 카세트(10)를 간단하게 살펴본다. 종래의 카세트(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 카세트의 전체적인 형상을 이루는 메인 프레임(11)과, 상기 메인 프레임(11)의 둘레를 따라 상, 하 수평하게 설치된 수평프레임(12)과, 상기 수평프레임(12)을 가로질러 배치된 지지프레임(13)과, 상기 지지프레임(13)의 상부에 일정한 간격으로 이격되어 다수개가 배치되는 지지핀(14)으로 구성된다.
이때, 상기 카세트(10)는 지지대(20)에 위치된다. 이때 카세트(10)와 지지대(20)는 별도로 마련되는 얼라이너(도면에 미도시)의 정확한 위치 조정에 의하여 결합된다.
그리고, 지지대(20)의 전방에는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(G)을 이동시키는 반송 로봇(30)이 배치되며, 이 반송 로봇(30)에 의하여 카세트(10)에 적재되어 있는 기판(G)이 외부로 반출되기도 하고, 외부에서 기판(G)이 이동되어 카세트에 적재되기도 한다.
하지만, 종래의 기판 이송시스템은 다음과 같은 문제가 발생하였다.
첫째, 기판(G)을 지지하기 위해 각 지지프레임(13)에 설치된 지지핀(14) 사이의 간격(pitch)은, 반송 로봇(30)의 핸드(32)가 삽입될 수 있도록 일정 이상 확보되어야 한다.
이와 같이, 지지핀(14) 사이의 간격(pitch)을 확보하기 위해, 지지핀(14)의 길이를 길게 할 경우, 상기 지지핀(14)에 지지된 기판(G)의 특정 부위는, 그 무게를 감당하지 못하여 하방으로 쳐지게 된다.
이에 따라, 반송 로봇(30)의 핸드(32)가 기판(G)을 이송하기 위해 기판(G)과 지지프레임(13) 사이로 진입하는 과정에서, 상기 기판(G)과 충돌하여 기판(G)을 파손시키는 문제가 발생하였다.
이때, 상기한 문제점을 해결하기 위하여 지지핀(14)의 높이를 더 높이게 되면, 지지프레(13)임 사이의 간격이 커지면서, 하나의 카세트(10)에 적재되는 기판(G)의 수가 적어지므로, 기판(G)에 대한 적재 효율성이 떨어지는 문제가 발생한다.
둘째, 반송 로봇(30)의 설치 및 상기 반송 로봇(30)의 작용을 위한 반경 확보가 되어야 함으로써, 설비 전체의 크기가 커지는 문제가 발생하였다.
이에 따라, 설비의 대형화가 이루어지며, 설비 공간에 대한 효율성이 떨어지는 문제가 있었다.
셋째, 기판(G)에 대한 이송이 순차적으로 이루어짐에 따라, 기판(G) 이송에 대한 효율성이 떨어지는 문제가 발생하였다.
본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 적재된 기판 사이의 간격을 최소화하여 기판의 적재에 대한 효율성을 높임과 더불어, 설비의 크기를 줄이고 기판에 대한 랜덤(random)이송이 가능하도록 한 기판 이송시스템을 제공하고자 한 것이다.
이를 위해, 메인프레임;메인프레임의 일측 방향에 설치된 컨베이어;상기 메인프레임의 내부 양측에 설치된 승강축과, 이 승강축을 따라 승강되는 승강부를 포함하는 리프터;상기 승강부에 안착되며, 복수의 기판이 수평바에 상,하로 적재된 카세트;상기 메인프레임의 일측에 설치되며, 리프터에 의해 승강되는 카세트의 기판이 대응되었을 때, 상기 수평바를 회전하여 컨베이어를 향해 기판을 밀어내는 메인구동부:를 포함하되, 상기 수평바는 카세트에 지면에 대하여 수평으로 설치되며, 이 수평바에는 기판의 저면을 지지하는 복수의 롤러가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치를 제공한다.
이때, 상기 수평바의 단부에는 각각 상기 메인구동부에 대응되는 보조구동부가 설치된 것이 바람직하다.
이때, 상기 메인구동부와 보조구동부는 마그네틱으로 이루어지며, 상호 간에 접촉되지 않은 상태로 자력에 의해 동력이 전달되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 메인구동부는, 메인프레임에 고정된 고정부와, 이 고정부로부터 수평바를 향해 왕복이동되는 이동부와, 상기 이동부에 설치된 메인 마그네틱을 포함하며, 상기 메인 마그네틱은 보조구동부 사이에 배치되어 상방의 수평바를 회전시키되, 메인 마그네틱의 위치는 하방의 수평바에 비해 상방의 수평바에 근접된 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 기판 이송 시스템에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 적재된 기판 사이의 간격이 최소화됨으로써, 기판에 대한 적재 효율성이 높아지는 효과가 있다.
둘째, 반송 로봇의 구성이 삭제됨으로써, 설비 전체의 크기가 줄어들게 된다.
이에 따라, 설비 공간에 대한 효율성이 높아지고, 경제성이 향상되는 효과가 있다.
셋째, 카세트가 승강되면서 기판에 대한 이송이 랜덤(random)하게 이루어짐에 따라 기판 이송에 대한 효율성이 높아지는 효과가 있다.
이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송시스템에 대해 설명하도록 한다.
첨부된 도면을 통해 알 수 있듯이, 기판 이송시스템은 메인프레임(100)과, 컨베이어(200)와, 리프터(300)와, 카세트(400)와, 메인구동부(500)를 포함하여 구성된다.
메인 프레임(100)은 카세트(400)가 리프터(300)에 의해 승강되는 공간을 제공하며, 카세트(400) 및 리프터(300) 등의 각종 장치가 보호되도록 복수의 틀이 결합되어 구성된다.
다음으로, 컨베이어(200)는 카세트(400)로부터 반출된 기판(G)을 공정 장치(미도시)에 이송시키거나, 공정 장치로부터 공정이 완료된 기판(G)을 카세트(400)에 이송시키는 역할을 하며, 메인프레임(100)의 일측 방향에 설치된다.
상기 컨베이어(200)는 지면에 지지된 지지프레임(210)과, 지지프레임(210)에 설치된 복수의 롤러(211)를 포함한다.
이때, 롤러(211)가 결합되기 위한 롤러바(211a)가 지지프레임(210) 사이에 설치되며, 상기 롤러(211)는 지지프레임(210) 상에 복수 개 설치된다.
이때, 롤러(211)의 위치는 카세트(400)로부터 반출되는 기판(G)의 저면에 대응된다.
다음으로, 리프터(300)는 카세트(400)를 승강시키며, 메인프레임(100)의 내측에 설치된다.
상기 리프터(300)는 메인프레임(100)의 내부 양측에 수직으로 설치된 승강축(310)과, 상기 승강축(310)을 따라 승강되며 카세트(400)가 안착된 승강부(320)와, 상기 승강부(320)를 승강시키는 동력장치(330)를 포함한다.
이때, 승강축(310)은 지면에 대하여 수직으로 설치되며, 그의 외주면은 스크류 형태로 이루어진다.
그리고, 승강부(320)의 양측은 상기 승강축(310)에 나사 결합될 수 있도록 이루어진다.
이때, 승강부(320)는 카세트(400)의 안착이 안정적으로 이루어지도록 플레이트 형태로 이루어짐이 바람직하다.
그리고, 동력장치(330)는 승강축(310)을 회전시키는 동력을 발생하며, 메인프레임(100)의 하부에 설치된다.
이때, 동력장치(330)는 모터(331)와, 모터(331)의 양측에 축 결합된 샤프트(332)와, 이 샤프트(332)와 승강축(310)을 연결하며 샤프트(332)의 수평회전을 승강축(310)의 수직 회전으로 변환시키는 기어부(333)를 포함한다.
다음으로, 카세트(400)는 복수의 기판을 적재하며, 승강부(320)에 안착된다.
상기 카세트(400)는 외관의 상부를 구성하는 상부프레임(410)과, 외관의 하부를 구성하는 하부프레임(420)과, 상부프레임(410)과 하부프레임(420)을 수직으로 연결하는 수직프레임(430)과, 상기 수직프레임(430) 사이를 가로지르며 설치된 복수의 수평바(440)와, 상기 수평바(440)에 설치된 복수의 롤러(450)를 포함한다.
이때, 카세트(400)의 외관은, 기판(G)의 형태가 사각 형태로 이루어진바, 이에 대응되는 육면체 형태로 이루어짐이 바람직하다.
그리고, 상기 수평바(440)는 수직프레임(430) 사이에서 회전 가능하게 설치되며, 수직프레임(430)의 높이 방향으로 복수 개 설치된다.
그리고, 수평바(440)에 설치된 롤러(450)는 기판(G)의 저면을 지지하며, 수평바(440)의 회전과 함께 회전된다.
이때, 롤러(450)의 재질은 기판(G)의 표면이 손상되지 않도록 연질임이 바람 직하다.
이때, 수평바(440) 각각에는 하나의 기판이 지지되는 것은 당연하다.
한편, 상기 수평바(440)의 단부에는 각각 보조구동부(441)가 설치된다.
상기 보조구동부(441)는 후술하는 메인구동부에 대응되었을 때, 수평바(440)가 회전되도록 하기 위한 것으로서, 마그네틱을 포함한다.
이와 같이 보조구동부(441)가 마그네틱으로 이루어지도록 한 것은, 비접촉식 마그네틱 기어구조로 구성시키기 위한 것이다.
이때, 비접촉식 마그네틱 기어구조라 함은, 서로 접촉되지 않은 상태에서 자력에 의해 동력을 전달하고 받는 구조를 말한다.
이때, 상기 마그네틱은 설명의 편의상, 보조 마그네틱이라 한다.
다음으로, 메인구동부(500)는 수평바(440)를 회전시키는 역할을 하며, 메인프레임(100) 중, 카세트(400)의 양측에 대응된 부위에 설치된다.
메인구동부(500)는 메인프레임(100)에 고정된 고정부(510)와, 상기 고정부(510)로부터 수평바(440)를 향해 왕복이동되는 이동부(520)와, 상기 이동부(520)를 이동시키는 모터(530)와, 상기 이동부(520)에 설치되며 수평바(440)에 설치된 보조마그네틱(441)에 대응되는 메인마그네틱(540)을 포함한다.
이하, 상기한 구성으로 이루어진 기판 이송 시스템의 작용에 대해 설명하도록 한다.
카세트(400)의 수평바(440)에 각각 기판(G)을 적재시킨다.
이때, 수평바(440)에는 각각 하나의 기판(G)이 적재되며, 기판(G)의 저면은 롤러(450)에 의해 지지된다.
다음으로, 상기 카세트(400)를 리프터(300)의 승강부(320)에 안착시킨다.
이후, 동력장치(330)의 모터(331)가 구동을 하면, 모터(331)의 양측에 설치된 샤프트(332)는 각각 회전된다.
이때, 모터(331)는 제어부(미도시)에 의해 정방향 또는 역방향으로 회전되며, 이에 따라 상기 샤프트(332) 역시 지면에 대하여 수평방향으로 정,역회전을 하게 된다.
이후, 기어부(333)는 상기 샤프트(332)의 수평 회전을 수직 회전으로 변환하여 승강축(310)을 회전시킨다.
이때, 승강축(310)에 나사 결합된 승강부(320)는 상기 승강축(310)의 회전에 따라 카세트(400)와 함께 상승을 하거나 하강을 하게 된다.
이때, 제어부에 의해 선택된 기판(G)의 위치가 도 4a에 도시된 바와 같이, 메인구동부(500)에 대응되면, 상기 승강부(320)의 승강작용은 정지된다.
이후, 도 4b에 도시된 바와 같이, 메인구동부(500)의 이동부(520)가 상기 기판(G)이 안착된 수평바(440)를 향해 이동되며, 상기 이동부(520)에 설치된 메인 마그네틱(540)은 상기 수평바(440)의 보조 마그네틱(441) 하방에 배치된다.
이때, 메인 마그네틱(540)의 위치는 하방에 배치된 보조 마그네틱(441)에 비해 상방의 보조 마그네틱(441)에 더 근접됨이 바람직하다.
이는, 선택된 수평바(440)만 회전시키기 위함이다.
이후, 메인 마그네틱(540)과 보조 마그네틱(441) 상호 간에 자력이 발생하 며, 상기 자력에 의해 수평바(440)는 컨베이어(200)를 향해 회전된다.
이에 따라, 롤러(450)에 지지되어 있던 기판(G)은 컨베이어(200)를 향해 이송되며, 상기 기판(G)은 컨베이어(200)에 의해 공정 장치로 이송된다.
이후, 카세트(400)에 적재된 나머지 기판(G)들은 제어부에 의해 랜덤(random)하게 메인 구동부(500)에 대응되며, 메인구동부(500)는 이를 컨베이어(20))로 이송시킨다.
지금까지 설명한 바와 같이, 카세트(400)로부터 기판(G)이 반출되는 수단이 로봇이 아니기 때문에, 기판(G) 사이의 간격을 최소화시킬 수 있게 된다.
이에 따라, 카세트(400)는 기판(G)에 대한 적재 효율성을 높일 수 있게 된다.
또한, 리프터(300)에 의해 승강부(320)가 승강되면서, 기판(G)들은 메인구동부(500)에 랜덤하게 대응되고, 메인구동부(500)에 의해 컨베이어(200)로 이송됨을 알 수 있다.
이와 같이, 기판에 대한 이송이 랜덤하게 이루어짐에 따라, 기판 이송에 대한 효율성이 높아지게 된다.
또한, 로봇의 구성이 삭제되어 설비 전체의 크기가 축소됨에 따라 공간에 대한 효율성 및 경제성이 향상될 수 있다.
도 1은 종래의 기판 이송시스템을 나타낸 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송시스템 중, 메인프레임에 카세트가 배치된 상태를 나타낸 정면도
도 3은 도 2의 "A"부 확대도
도 4a 및 도 4b는 도 2의 "B"부 확대도로서, 메인구동부의 작용을 나타낸 작용도
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송시스템을 나타낸 측면도.
*도면의 주요 부호에 대한 설명*
100 : 메인프레임 200 : 컨베이어
211 : 롤러 211a : 롤러바
300 : 리프터 310 : 승강축
320 : 승강부 330 : 동력장치
331 : 모터 332 : 샤프트
333 : 기어부 400 : 카세트
410 : 상부프레임 420 : 하부프레임
430 : 수직프레임 440 : 수평바
441 : 보조구동부 500 : 메인구동부
510 : 고정부 520 : 이동부
530 : 모터 540 : 메인마그네틱

Claims (4)

  1. 메인프레임;
    메인프레임의 일측 방향에 설치된 컨베이어;
    상기 메인프레임의 내부 양측에 설치된 승강축과, 이 승강축을 따라 승강되는 승강부를 포함하는 리프터;
    상기 승강부에 안착되며, 복수의 기판이 수평바에 상,하로 적재된 카세트;
    상기 메인프레임의 일측에 설치되며, 리프터에 의해 승강되는 카세트의 기판이 대응되었을 때, 상기 수평바를 회전하여 컨베이어를 향해 기판을 밀어내는 메인구동부: 및
    상기 메인구동부에 각각 대응되며 상기 수평바의 단부에 설치된 보조구동부; 를 포함하되,
    상기 수평바는 카세트에 지면에 대하여 수평으로 설치되며, 이 수평바에는 기판의 저면을 지지하는 복수의 롤러가 설치되며,
    상기 메인구동부는, 상기 메인프레임에 고정된 고정부와; 상기 고정부로부터 상기 수평바를 향해 왕복이동되는 이동부; 및 상기 이동부에 설치된 메인 마그네틱;을 포함하여 상기 메인 마그네틱이 상기 보조구동부 사이에 배치되어 상방의 상기 수평바를 회전시키되, 상기 메인 마그네틱의 위치는 하방의 상기 수평바에 비해 상방의 상기 수평바에 근접된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 메인구동부 및 상기 보조구동부는 마그네틱으로 이루어지며, 상호 간에 접촉되지 않은 상태로 자력에 의해 동력이 전달되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  4. 삭제
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101432701B1 (ko) * 2013-01-23 2014-08-25 태백하이텍 주식회사 기판 로딩 장치
KR101802973B1 (ko) * 2016-07-07 2017-12-28 주식회사 제일안전유리 롤러 컨베이어용 적재장치 및 이를 이용한 롤러 컨베이어 장치
CN107884964A (zh) * 2017-12-21 2018-04-06 武汉华星光电技术有限公司 具有升降功能的基板装载装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005159141A (ja) 2003-11-27 2005-06-16 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板搬送装置及び基板保管搬送装置
KR20070093845A (ko) * 2006-03-14 2007-09-19 도쿄 엘렉트론 가부시키가이샤 기판 버퍼 장치, 기판 버퍼링 방법, 기판 처리 장치 및컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
KR20080074275A (ko) * 2007-02-08 2008-08-13 박재홍 카세트 시스템

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005159141A (ja) 2003-11-27 2005-06-16 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板搬送装置及び基板保管搬送装置
KR20070093845A (ko) * 2006-03-14 2007-09-19 도쿄 엘렉트론 가부시키가이샤 기판 버퍼 장치, 기판 버퍼링 방법, 기판 처리 장치 및컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
KR20080074275A (ko) * 2007-02-08 2008-08-13 박재홍 카세트 시스템

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101432701B1 (ko) * 2013-01-23 2014-08-25 태백하이텍 주식회사 기판 로딩 장치
KR101802973B1 (ko) * 2016-07-07 2017-12-28 주식회사 제일안전유리 롤러 컨베이어용 적재장치 및 이를 이용한 롤러 컨베이어 장치
CN107884964A (zh) * 2017-12-21 2018-04-06 武汉华星光电技术有限公司 具有升降功能的基板装载装置

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