KR100926117B1 - 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
상기 검사 정보는, 상기 기판의 식별 번호, 상기 결함들에 대한 결함 번호, 및 상기 결함들을 검출한 검사 장비들의 장비 번호를 더 포함한다.
상기 판정 결과 정보에는, 결함의 상태가 양호한 것을 지시하는 제2 판정 결과 정보, 결함의 상태가 불량인 것을 지시하는 제3 판정 결과 정보, 및 결함의 상태가 판정 곤란한 것을 지시하는 제4 판정 결과 정보를 더 포함된다.
상기 특정 검사 장비는, 상기 리페어 공정을 통해 상기 특정 결함을 수리한 후, 이 수리된 부분을 촬영하여 제2 캡쳐 이미지를 획득한 다음, 상기 제2 캡쳐 이미지를 상기 메인 서버로 전송한다.
이 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 상기 메인 서버로부터 전송된 상기 제2 캡쳐 이미지를 표시하고, 상기 표시된 제2 캡쳐 이미지에 대한 리페어 판정 결과 정보를 입력받아 상기 메인 서버에 전송하는 품질 관리 호스트를 더 포함한다.
이 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 상기 제3 판정 결과 정보에 대응하여, 상기 결함들을 실시간으로 촬영한 라이브 이미지를 표시하고, 상기 표시되는 라이브 이미지에 대한 판정 결과 정보를 각각 입력받아 상기 메인 서버에 전송하는 재검 호스트를 더 포함한다.
이 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 상기 검사 장비들의 상태를 모니터링하여 작업자를 호출하기 위한 알람 호스트를 추가로 포함한다.
이 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 상기 메인 서버가 동작하지 않을 경우에 상기 메인 서버와 동일한 기능을 수행하는 서브 서버를 추가로 포함한다.
Claims (22)
- 기판 상의 결함(defect)들 각각을 촬영하여 제1 캡쳐 이미지를 획득하고, 이 제1 캡쳐 이미지를 포함한 검사 정보를 제공하는 다수의 검사 장비들;상기 검사 장비들로부터의 검사 정보를 저장하는 메인 서버; 및상기 메인 서버로부터 전송된 검사 정보를 표시하고, 상기 표시된 검사 정보에 대한 판정 결과 정보를 각각 입력받아 상기 메인 서버에 전송하는 다수의 리뷰(review) 호스트들을 구비하고;상기 판정 결과 정보에는 상기 결함들 중 특정 결함에 대해 수리 요청을 지시하는 제1 판정 결과 정보가 포함되며;상기 특정 결함을 촬영한 특정 검사 장비는, 상기 메인 서버로부터 전송받은 상기 제1 판정 결과 정보에 응답하여 상기 특정 결함에 대해 리페어 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 검사 정보는,상기 기판의 식별 번호, 상기 결함들에 대한 결함 번호, 및 상기 결함들을 검출한 검사 장비들의 장비 번호를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 판정 결과 정보에는,결함의 상태가 양호한 것을 지시하는 제2 판정 결과 정보, 결함의 상태가 불량인 것을 지시하는 제3 판정 결과 정보, 및 결함의 상태가 판정 곤란한 것을 지시하는 제4 판정 결과 정보를 더 포함되는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
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- 제 1 항에 있어서,상기 특정 검사 장비는,상기 리페어 공정을 통해 상기 특정 결함을 수리한 후, 이 수리된 부분을 촬영하여 제2 캡쳐 이미지를 획득한 다음, 상기 제2 캡쳐 이미지를 상기 메인 서버로 전송하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
- 제 5 항에 있어서,상기 메인 서버로부터 전송된 상기 제2 캡쳐 이미지를 표시하고, 상기 표시된 제2 캡쳐 이미지에 대한 리페어 판정 결과 정보를 입력받아 상기 메인 서버에 전송하는 품질 관리 호스트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
- 제 3 항에 있어서,상기 제3 판정 결과 정보에 대응하여, 상기 결함들을 실시간으로 촬영한 라이브 이미지를 표시하고, 상기 표시되는 라이브 이미지에 대한 판정 결과 정보를 각각 입력받아 상기 메인 서버에 전송하는 재검 호스트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
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- 제 1 항에 있어서,상기 검사 장비들의 상태를 모니터링하여 작업자를 호출하기 위한 알람 호스트를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 메인 서버가 동작하지 않을 경우에 상기 메인 서버와 동일한 기능을 수행하는 서브 서버를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
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KR102028977B1 (ko) * | 2013-01-31 | 2019-10-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법 |
US9222895B2 (en) * | 2013-02-25 | 2015-12-29 | Kla-Tencor Corp. | Generalized virtual inspector |
CN103278714B (zh) * | 2013-05-15 | 2015-10-28 | 江苏大学 | 一种混合制程的虚拟测量方法与*** |
CN105223914B (zh) * | 2014-06-30 | 2018-09-07 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 管控机台生产数据的***及其方法 |
US9816939B2 (en) | 2014-07-22 | 2017-11-14 | Kla-Tencor Corp. | Virtual inspection systems with multiple modes |
CN105676785B (zh) * | 2014-11-21 | 2018-07-10 | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司 | 半导体加工设备模拟仿真***及其工作方法 |
CN106206356B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-05-31 | 上海华力微电子有限公司 | 提高良率提升缺陷监测效率的方法 |
JP2018091771A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | 大日本印刷株式会社 | 検査方法、事前画像選別装置及び検査システム |
KR102038521B1 (ko) * | 2017-11-28 | 2019-10-30 | 주식회사 코세스 | 엘이디 기판의 재생 장치 및 방법 |
CA3101489A1 (en) * | 2018-06-07 | 2019-12-12 | Wilco Ag | Inspection process |
CN109387961B (zh) * | 2018-11-07 | 2020-11-24 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板的检测方法和检测设备 |
CN110161729B (zh) * | 2019-05-17 | 2021-08-03 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板测试方法及*** |
CN111208365A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-29 | 平高集团有限公司 | 一种pcs测试*** |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040081392A (ko) * | 2003-03-12 | 2004-09-21 | 치 메이 옵토일렉트로닉스 코포레이션 | 디스플레이 패널 결함 검사 시스템 및 방법 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06249795A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Mitsubishi Electric Corp | 缶検査装置 |
US6476913B1 (en) * | 1998-11-30 | 2002-11-05 | Hitachi, Ltd. | Inspection method, apparatus and system for circuit pattern |
US6721045B1 (en) * | 1999-09-07 | 2004-04-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus to provide embedded substrate process monitoring through consolidation of multiple process inspection techniques |
WO2002023480A1 (fr) * | 2000-09-18 | 2002-03-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Systeme et procede de gestion de fichiers de donnees d'image |
US6701259B2 (en) * | 2000-10-02 | 2004-03-02 | Applied Materials, Inc. | Defect source identifier |
JP3788279B2 (ja) * | 2001-07-09 | 2006-06-21 | 株式会社日立製作所 | パターン検査方法及び装置 |
JP3776768B2 (ja) * | 2001-08-01 | 2006-05-17 | エヌ・ティ・ティ・インフラネット株式会社 | 歪測定監視システム |
US7280883B2 (en) * | 2001-09-06 | 2007-10-09 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing system managing apparatus information of substrate processing apparatus |
TWI221540B (en) * | 2002-04-10 | 2004-10-01 | Toshiba Corp | Method of testing liquid crystal display cells and apparatus for the same |
JP2004257824A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Shimadzu Corp | 液晶基板管理装置 |
JP2005227201A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Nikke Kikai Seisakusho:Kk | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP2005338906A (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Toppan Printing Co Ltd | 基板の欠陥検出方法及びその欠陥検出システム |
JP4688525B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2011-05-25 | 株式会社 日立ディスプレイズ | パターン修正装置および表示装置の製造方法 |
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---|---|---|---|---|
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