CN1995991A - 使用虚拟查看的测试***和测试方法 - Google Patents
使用虚拟查看的测试***和测试方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1995991A CN1995991A CNA2006101682535A CN200610168253A CN1995991A CN 1995991 A CN1995991 A CN 1995991A CN A2006101682535 A CNA2006101682535 A CN A2006101682535A CN 200610168253 A CN200610168253 A CN 200610168253A CN 1995991 A CN1995991 A CN 1995991A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- defective
- testing apparatus
- master server
- situation
- base palte
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
- G09G3/36—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
- G09G3/3611—Control of matrices with row and column drivers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Pathology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本发明公开了一种使用虚拟查看的测试***和测试方法,其能够通过使操作者根据基板上的缺陷的捕捉图像进行查看和判断来驱动测试设备并减少操作者的数量。该使用虚拟查看的测试***包括:测试设备,用于拍摄阵列基板或滤色片基板上的缺陷的图像以获得捕捉图像,并且提供与缺陷相关的检查信息;主服务器,用于将来自测试设备的检查信息构建为数据库,并随后将其传送到查看主机;以及查看主机,用于根据来自主服务器的检查信息判断阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷以产生判断结果,并将判断结果再次发送到主服务器。
Description
技术领域
本发明涉及一种使用虚拟查看的测试***和测试方法,特别是涉及一种能够测试液晶显示器的薄膜晶体管基板或滤色片基板上是否有缺陷的使用虚拟查看的测试***和测试方法。
背景技术
随着近年来对信息显示器件的兴趣的增长,平板显示器(FPD)作为代替例如CRT的现有显示器件的手段已经被研究并商业化。在这些平板显示器当中,需要液晶的光学各向异性以显示图像的液晶显示器(LCD)由于其优异的分辨率、显示图像的能力、以及图像质量,被特别广泛地用作膝上型计算机、桌上型计算机等的监视器。
液晶显示器典型地包括阵列基板、滤色片基板、以及阵列基板和滤色片基板之间的液晶层。
阵列基板包括:栅线和数据线,两者沿水平和垂直方向设置在阵列基板上以限定出像素区;设置在栅线和数据线的交叉区域上的例如薄膜晶体管的开关元件;以及形成在像素区上的像素电极。
而且,滤色片基板包括:包含子滤色片R、G、B以显色的滤色片;以及在子滤色片之间分离以限定出像素区并且遮蔽透射液晶层的光的黑矩阵。在此,滤色片基板可以进一步包括可以设置在阵列基板上的透明公共电极以将电压施加到液晶层。
通过密封剂将如上构造的阵列基板和滤色片基板彼此粘接从而完成液晶面板。
通常通过阵列工序、滤色片工序、单元工序和模块工序来制造液晶显示器。
阵列工序是在作为第一基板的透明绝缘基板上通过重复地沉积、光刻和蚀刻而形成薄膜晶体管的阵列的工序,以及滤色片工序是形成黑矩阵以阻挡光穿过除像素区之外的区域并且使用染料或色素制造红、绿和蓝滤色片R、G、B的工序。
另一方面,在随后的单元工序之前,不可避免地需要额外的工序以通过测试阵列基板和滤色片基板上是否有缺陷来评价已制造的阵列基板和滤色片基板的状态,从而在单元工序中可以不包括有任何缺陷的基板。
单元工序是通过将由薄膜晶体管工序完成的第一基板和由滤色片基板工序完成的第二基板粘接以在两者之间留有固定间隙并且随后通过在其间注入或滴加液晶而形成液晶面板单元的工序。模块工序是通过提供用于信号处理的电路单元、通过公知的安装方案连接液晶面板和电路单元、并随后将它们粘接为部件从而形成模块的工序。
下面将更详细地描述上述单元工序。
首先,在每个由阵列工序形成的阵列基板以及由滤色片工序形成的滤色片基板上设置定向膜。随后,进行摩擦工序从而将固定力或表面粘附力提供给在阵列基板和滤色片基板之间设置的液晶层的液晶分子。此时,定向膜可以在涂敷、定向膜印刷、和定向膜测试之前进行清洗并且以上述顺序进行摩擦。
随后,清洗阵列基板和滤色片基板,在阵列基板上形成衬垫料以恒定地保持盒间隙,将密封材料涂敷到滤色片的周围,并随后对阵列基板和滤色片基板施压以将其彼此粘接。
最后,通过液晶注入口将液晶注入到各液晶面板并随后密封注入口以形成液晶层。
同时,在单元工序之前进行的工序是为了测试阵列基板和滤色片基板上是否有缺陷,特别是检查其外观和电线上是否有毛病。例如,进行工序以评价是否出现滤色片突起、倾斜线污点、摩擦带、针孔、栅线和数据线中的短路或断开等。
用于进行测试工序的测试***包括用于测试阵列基板和滤色片基板上是否有缺陷的一组测试设备和在基板上发生任何毛病的情况下用于修复基板的修复***。
测试设备组包括用于测试阵列基板和滤色片基板是否有任何缺陷的测试设备,用于驱动测试设备的***计算机,以及与***计算机相连接的监视器。在此,***计算机添加有键盘和鼠标以操作***计算机。此外,测试设备组还添加有查看监视器,操作者可以通过该查看监视器看到基板上是否有缺陷。
在现有技术的测试***中,一台查看监视器以一对一的方式与仅仅一个用于修复的计算机相连接,从而一个检验员仅能控制一个测试设备。因此,存在的问题是工作效率由于时间损失而下降,例如因为在检验员的用餐时间或休息时间中,测试设备不工作。此外,现有技术测试***的问题在于其需要与测试设备的数量一样多的检验员。
发明内容
因此,本发明的一个目的是提供一种能够根据基板的捕捉图像来虚拟地查看和判断阵列基板和滤色片基板上是否有缺陷的使用虚拟查看的测试***和测试方法。
本发明的另一个目的是提供一种能够在根据基板的捕捉图像测试阵列基板和滤色片基板上的缺陷的情况下,减少用于测试的PC和检验员数量的使用虚拟查看的测试***和测试方法。
本发明的又一个目的是提供一种能够减少测试阵列基板和滤色片基板上的缺陷所需的工作时间的使用虚拟查看的测试***和测试方法。
本发明不限于上述方面,并且从下面的详细说明中本领域技术人员将更全面地理解本发明的其他方面。
为了实现这些目的,根据本发明的测试***包括:测试设备,用于拍摄阵列基板或滤色片基板上的缺陷的图像以获得捕捉图像,并且提供与该缺陷相关的检查信息;主服务器,用于将来自测试设备的检查信息构建为数据库并随后将其传送到查看主机;以及查看主机,用于根据来自主服务器的检查信息判断阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷以产生判断结果,并将判断结果再次发送到主服务器。
与缺陷相关的检查信息包括:阵列基板或滤色片基板的ID,设置在阵列基板或滤色片基板上的多个面板的ID,根据检测顺序的缺陷数量,已捕捉缺陷的图像文件,以及检测出缺陷的测试设备的数量。
判断结果可以包括:缺陷需要修复的情况,缺陷状态为好的情况,缺陷状态为不好的情况,以及缺陷状态为难以判断的情况。
如果判断结果为缺陷需要修复的情况,则由主服务器向测试设备发出修复请求,并因此由测试设备修复该缺陷。
如果测试设备已修复该缺陷,那么产生修复区域的捕捉图像并且将该捕捉图像从测试设备传送到主服务器。
根据本发明的测试***可以进一步包括:质量管理主机,用于从主服务器接收捕捉图像,并根据缺陷状态判断阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷。
根据本发明的测试***可以进一步包括:复查主机,用于在缺陷状态为难以判断的情况下,根据实时捕捉的该缺陷的实时图像复查缺陷状态。
为了实现上述目的,根据本发明的测试***包括:测试设备,用于拍摄阵列基板或滤色片基板上的缺陷的图像以获得捕捉图像,并且提供与该缺陷相关的检查信息;主服务器,用于将来自测试设备的检查信息构建为数据库并随后将其传送到第一查看主机;第一查看主机,用于根据来自主服务器的检查信息判断在阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷以产生判断结果,并将判断结果再次发送到主服务器;以及第二查看主机,用于从主服务器接收捕捉图像并根据缺陷状态判断在阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷。
根据本发明的测试***可以进一步包括:警报主机,用于监控测试设备的状态从而呼叫操作者。
根据本发明的测试***可以进一步包括:从服务器,用于在主服务器不工作的情况下执行与主服务器相同的功能。
为了实现上述目的,根据本发明的测试方法包括:通过测试设备拍摄阵列基板或滤色片基板上的缺陷的图像以获得捕捉图像,并提供与该缺陷相关的检查信息;通过主服务器将来自测试设备的检查信息构建为数据库并随后传送它们;以及根据来自主服务器的检查信息判断在阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷以产生判断结果,并将判断结果再次发送到主服务器。
根据本发明的测试方法可以进一步包括:从主服务器接收捕捉图像,并根据缺陷状态判断在阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷。
根据本发明的测试方法可以进一步包括:在缺陷状态为难以判断的情况下,根据实时捕捉的该缺陷的实时图像来复查缺陷状态。
附图说明
图1示出了根据本发明第一实施方式的使用虚拟查看的测试***的结构图;
图2示出了根据本发明第一实施方式的使用虚拟查看的测试方法的操作流程图;
图3示出了根据本发明第二实施方式的使用虚拟查看的测试***的另一结构图;
图4示出了根据本发明第二实施方式的使用虚拟查看的测试方法的另一操作流程图;
图5示出了根据本发明第二实施方式的使用虚拟查看的测试***的信号流程图;
图6a示出了根据本发明第二实施方式产生的缺陷的捕捉图像,并且图6b示出了在ADR之后的状态的捕捉图像。
具体实施方式
其他实施方式的进一步详细说明将包含在所附详细的说明书和附图中。本发明的上述和/或其他方面和优点通过与附图结合的以下示例性实施方式的说明变得显而易见和更容易理解。相同的附图标记在全文中用于相同的元件。
以下,将参照附图详细说明使用虚拟查看的测试***和测试方法。
图1示出了根据本发明第一实施方式的使用虚拟查看的测试***的结构图。在图1中,虚线表示的信号流程表示已经传输的信息,并且实线表示的信号流程表示实际驱动测试设备的信号。
参照图1,根据本发明实施方式的测试***100包括测试设备110,复查主机(MPC:120),主服务器(RCS:130),查看主机(PRC:140),以及质量管理主机(QPC:150)。此时,测试设备110,查看主机140,以及质量管理主机150分别经由网络连接到主服务器130,并且复查主机120和测试设备110可以经由单独网络彼此相连。主机120,140,150可通过个人计算机,即PC来实现。
通常,测试设备110包括安装有用于检测显示在面板上的图案的摄像机的图像单元以及用于分析输入到摄像机的信号的计算机***。
此时,摄像机沿水平方向在面板上进行扫描以收集出现在阵列基板或滤色片基板上的测试图案并且将该图案传送到计算机***。可以通过将摄像机下降指定角度(例如,0°~70°,80°~100°,110°~160°)进行扫描可改善检测缺陷的能力,从而该检测能力可以通过根据视角检测不同的缺陷来补充。
同样地,可以通过将例如摄像机的图像设备提供给测试设备可补偿通过操作者眼睛测试所带来的限制,并且因而可以改善工作效率,这样提高了生产量。
另一方面,根据本发明的第一实施方式,测试设备110对缺陷进行自动检测修复(ADR)。
主服务器130接收由测试设备110捕捉的缺陷图像文件,阵列基板和滤色片基板的面板ID,玻璃基板的ID,缺陷数量,设备数量等,并且将它们做成数据库,并随后将该信息发送到查看主机140。此时,除了主服务器130以外可以提供辅助服务器,即从服务器131,用于预料之外的紧急情况的操作。也即,从服务器131可以在主服务器130故障的情况下代替主服务器130。
查看主机140用来使用捕捉的缺陷图像来查看缺陷状态,并且判断缺陷状态从而产生判断值。产生的判断值被传送到主服务器130并存储在数据库中。数据库可以在主服务器130内实现或者在主服务器130的外部独立地实现。
在测试设备110完成缺陷的自动修复之后,质量管理主机150根据已修复区域捕捉的图像信息来判断是否成功地修复了该缺陷。如果成功地修复了缺陷,那么阵列基板或滤色片基板进行用于判断是否有任何缺陷的测试。
复查主机120用来在查看主机140难以判断缺陷状态的情况下复查缺陷的状态。当查看主机140根据捕捉的缺陷图像进行查看和判断时,复查主机120根据由测试设备110的摄像机实时拍摄的实时图像执行复查。
同时,假设测试设备110的数量是50个,在现有技术中需要50台用于检测的检验员的PC,但是,因为测试由捕捉的图像而不是实时图像来执行所以,在本发明的实施方式中25个查看主机140就足以进行测试。并且,各主机120,140,150安装在远程地点从而能够从远程地点控制测试设备110。
图2示出了根据本发明第一实施方式的使用虚拟查看的测试方法的操作流程图。
参照图2,首先,如果装载了玻璃基板,那么由测试设备110判断阵列基板或滤色片基板上是否存在缺陷。此时,如果在阵列基板或滤色片基板上检测到任何缺陷,那么测试设备捕捉已检测到的缺陷的图像(S201)。
然后,测试设备110将包括GLS ID、PNL ID、缺陷序列号等的缺陷信息以及包括每个已检测的缺陷的缺陷图像文件和设备号的信息发送到主服务器130(S202)。在此,作为阵列基板或滤色片基板的玻璃基板的信息的GLS ID是指例如“7AA5D017510”的玻璃基板的ID,作为在玻璃基板上提供的信息的PNL ID是指例如“7AA5D017510A1”的面板的ID,并且缺陷序列号是指在一个玻璃基板上存在多个缺陷的情况下,顺序分配给每个缺陷的号码。
主服务器130将从测试设备110传送的缺陷信息和例如图像文件、设备号码等的信息存储在数据库,并随后将它们顺序发送到查看主机140(S203)。
如果缺陷信息和例如图像文件、设备号码等的信息从主服务器130传送到查看主机140,那么查看主机140根据捕捉的缺陷图像进行查看和判断(S204)。即,操作者打开捕捉的缺陷图像文件以查看缺陷并且判断该缺陷的状态。
此时,操作者可以获得多种判断值作为判断的结果,并且这些判断值被传送到主服务器130。下面的表1示出了这些判断值。
[表1]
判断值 | 说明 |
G | 好 |
N | 不好 |
P | 修复 |
Q | 不能判断 |
A | 不能判断 |
M | 不能判断 |
参照表1,判断值“Q”表示对于查看和判断需要摄像机的放大调整,因为通过捕捉的图像文件难以判断缺陷状态。判断值“A”表示仅通过捕捉的图像文件难以判断缺陷状态,因为摄像机的自动对焦工作不正常。判断值“M”表示由于较差的金属性不能通过查看主机140判断缺陷状态。判断值“G”表示缺陷状态良好,因为阵列基板或滤色片基板上没有缺陷,或者缺陷太少而不需要考虑,并且判断值“P”表示面板的缺陷需要修复。
换句话说,在步骤S205中判断是否可以评价出阵列基板或滤色片基板上的缺陷。此时,表示难以判断缺陷状态的判断值“Q”、“A”和“M”代表查看主机140难以判断缺陷状态的情况。
在产生“Q”、“A”和“M”的任意一个作为判断值的情况下,复查主机120对缺陷进行复查(S206)。当查看主机140根据捕捉的缺陷图像进行查看和判断时,复查主机120实时地根据由测试设备110的摄像机拍摄的阵列基板或滤色片基板的实时图像来执行查看和判断。
即,操作者通过使用可以多路访问各测试设备110的复查主机120内的PC对缺陷进行复查。此时,复查主机120和测试设备110的多路访问比是约3到8。
另一方面,在可以判断阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷的情况下,在步骤S207中判断判断值是否为表示“好”的“G”,并且如果判断值是“G”,那么阵列基板和滤色片基板被判断为好,并且执行后续工序(S208)。
除非判断值被判断为“好”,那么判断判断值是否表示为需要修复的“P”(S209)。
如果判断值是“P”,主服务器130将与缺陷相关的信息以及判断值是“P”的信息发送给检测出相应缺陷的测试设备110。如果测试设备110从主服务器130接收到判断值是“P”的信息,那么测试设备110自动修复相应的缺陷并捕捉修复区域的图像(S210)。此时,已捕捉的修复区域的图像被传送到主服务器130。
随后,主服务器130将从测试设备110传送的捕捉的修复区域的图像存储在数据库并随后将它们再次发送到质量管理主机150。
接下来,质量管理主机150使用从服务器130传送的已捕捉的修复区域的图像来判断是否成功地修复了缺陷,即ADR(自动缺陷修复)是否成功(S211)。
然后,如果ADR的结果显示缺陷被成功修复,更具体地,缺陷被成功修复并且判断阵列基板或滤色片基板上不存在缺陷,则继续上述步骤S208并且随后可以对下一个阵列基板或滤色片基板进行是否存在缺陷的测试。
同时,在尽管已经修复缺陷但仍存在缺陷的情况下,即ADR没有被判断为成功,那么测试设备110将该过程返回到修复缺陷的步骤S210。
如果判断值不是表示需要修复的“P”,那么阵列基板或滤色片基板被判断为具有缺陷并且进行后续工序(S212)。
在此,步骤S205、步骤S207和步骤S209可以改变其顺序。
图3示出了根据本发明第二实施方式的使用虚拟查看的测试***的另一结构图。
参照图3,根据本发明第二实施方式的使用虚拟查看的测试***300包括测试设备310,复查主机(MPC:320),主服务器(RCS:330),第一查看主机(PRC:340),质量管理主机(QPC:350),第二查看主机360,以及警报主机(ALPC:370)。
此时,测试设备310,第一查看主机340和第二查看主机360,以及质量管理主机350分别经由网络连接到主服务器330,并且复查主机320和测试设备310可以经由单独网络彼此相连。主机320,340,350,360和370可通过个人计算机,即PC来实现。
根据本发明第二实施方式的使用虚拟查看的测试***300具有与根据本发明第一实施方式的使用虚拟查看的测试***100相同的部件,除了测试***300还包括第二查看主机360和警报主机370。因此,将省略与测试***100相同的描述,并且以下仅描述与测试***100的区别。
根据本发明第二实施方式,测试设备310对缺陷进行自动检测修复(ADR)。主服务器330接收由测试设备310捕捉的缺陷图像文件,面板ID,玻璃基板的ID,缺陷数量,设备数量等,并且将它们做成数据库,并随后将该信息发送到查看主机340。此时,除了主服务器331之外还可以提供辅助服务器,即从服务器330以用于预料之外的紧急情况。第一查看主机340用于使用捕捉的缺陷图像来查看缺陷状态并且判断缺陷状态,从而产生判断值。产生的判断值被传送到主服务器330并被存储在数据库中。
在测试设备310完成缺陷的自动修复之后,第二查看主机360根据修复区域捕捉的图像信息判断是否成功修复了缺陷。如从上述说明可以看出的,在第一实施方式中的质量管理主机150实现的功能可以由第二实施方式中的第二查看主机360来执行。
复查主机320用来在第一查看主机340难以判断出缺陷状态的情况下复查缺陷状态。当第一查看主机340根据捕捉的缺陷图像进行查看和判断时,复查主机320根据由测试设备310的摄像机实时拍摄的实时图像进行复查。
警报主机370用来监控测试设备310的状态并当模式改变为另一个时呼叫操作者。
图4示出了根据本发明第二实施方式的使用虚拟查看的测试方法的另一操作流程图。
首先,如果装载了玻璃基板,那么由测试设备310判断阵列基板或滤色片基板上是否存在缺陷。此时,如果在阵列基板或滤色片基板上检测到任何缺陷,那么测试设备310捕捉检测到的缺陷图像(S401)。
然后,测试设备310将包括GLS ID、PNL ID、缺陷序列号等的缺陷信息以及包括每个检测到的缺陷的缺陷图像文件和设备号的信息发送到主服务器330(S402)。
接下来,主服务器330将从测试设备310传送的缺陷信息和例如捕捉的图像文件、设备号码等的信息存储在数据库,并随后将它们顺序发送到查看主机340(S403)。
然后,如果缺陷信息和例如捕捉的图像文件、设备号码等的信息从主服务器330传送到第一查看主机340,那么查看主机340根据捕捉的缺陷图像进行查看和缺陷代码的判断(S404)。即,操作者打开捕捉的缺陷图像文件以查看缺陷并且判断该缺陷的状态,并且将判断值传送到主服务器330。
接下来,在步骤S405中判断是否可以评价出阵列基板或滤色片基板上的缺陷。此时,在产生“Q”、“A”和“M”的任意一个作为判断值的情况下,复查主机320对缺陷进行复查(S406)。
此时,当第一查看主机340根据捕捉的缺陷图像进行查看和判断时,复查主机320根据由测试设备310的摄像机实时拍摄的阵列基板或滤色片基板的实时图像来执行查看和判断。
另一方面,在可以判断阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷的情况下,在步骤S407中判断判断值是否为表示“好”的“G”,并且如果判断值是“G”,那么阵列基板和滤色片基板被判断为好,并且执行后续工序(S408)。
除非判断值被判断为“好”,那么判断判断值是否为表示需要修复的“P”(S409)。
如果判断值是“P”,主服务器330将与缺陷相关的信息以及判断值是“P”的信息发送给检测出相应缺陷的测试设备310。
如果测试设备310从主服务器330接收判断值是“P”的信息,那么测试设备310自动修复相应的缺陷并捕捉修复区域的图像(S410)。
此时,已捕捉的修复区域的图像被传送到主服务器330。随后,主服务器330将从测试设备310传送的捕捉的修复区域的图像存储在数据库并随后将它们再次发送到第二查看主机360(S411)。
接下来,第二查看主机360使用从服务器330传送的捕捉的修复区域的图像来判断是否成功地修复了缺陷,即ADR(自动缺陷修复)是否成功(S412)。
然后,如果ADR的结果显示缺陷被成功修复,更具体地,缺陷被成功修复并且判断阵列基板或滤色片基板上不存在缺陷,则继续上述步骤S408并且随后可以对下一个阵列基板或滤色片基板进行是否存在缺陷的测试。
同时,在尽管已经修复缺陷但仍存在缺陷的情况下,即ADR没有被判断为成功,那么测试设备310将该过程返回到修复缺陷的步骤S410。
如果判断值不是表示需要修复的“P”,那么阵列基板或滤色片基板被判断为具有缺陷并且进行后续工序(S413)。
在此,步骤S405、步骤S407和步骤S409可以改变其顺序。
图5示出了根据本发明第二实施方式的使用虚拟查看的测试***的信号流程图,并且更具体地描述了各部件的操作。
参照图5,在根据本发明第二实施方式的使用虚拟查看的测试***中,测试设备310首先装载玻璃基板(S501),对阵列基板或滤色片基板上的缺陷拍摄图像(S502),并随后将缺陷的检查信息发送到主服务器330(S503)。
充分考虑负载量的情况下,主服务器330将检查信息再次发送到第一查看主机340(S504)。此时,第一查看主机340确认缺陷图像(S505),查看图案映射,并随后输入缺陷代码的判断值(S506)。然后,将判断值传送给主服务器330(S507)。
接下来,主服务器330将判断值再次发送给测试设备310(S508),并且在判断值是表示需要修复的“P”的情况下,测试设备310开始进行ADR(S509)。然后,测试设备310将ADR的结果发送到主服务器330(S510)。
充分考虑负载量的情况下,主服务器330将ADR的结果再次发送到第二查看主机360(S511)。因此,第二查看主机360确认ADR的结果,判断是否成功进行了ADR,并随后输入判断值(S512)。
接下来,第二查看主机360将是否成功进行了ADR的判断值发送到主服务器330(S513),并且主服务器330将该判断值再次发送到测试设备310(S514)。
另一方面,在判断为主服务器330不可能判断阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷的情况下,测试设备310切换到手动模式(S515)。
当切换到手动模式时,测试设备310将模式变化通知主服务器330(S516),并且主服务器330将该模式变化传输到警报主机370(S517)。
接下来,响应该模式变化,警报主机370呼叫手动PC的复查主机320的操作者(S518)。因此,操作者在复查主机320直接控制测试设备的情况下人工修复阵列基板或滤色片基板上的缺陷,这样允许测试设备310人工修复代码是“不能判断”的缺陷(S520)。
随后,卸载已修复缺陷的基板,然后装载下一基板,并随后对下一基板重复步骤S502至S520。
图6a示出了根据本发明第二实施方式产生的缺陷的捕捉图像,并且图6b示出了在ADR之后的状态的捕捉图像。
在图6a中可以看出,如果测试设备310捕捉了缺陷图像,那么捕捉的图像经由主服务器330传送到第一查看主机340,并且第一查看主机340查看捕捉的图像并判断其缺陷代码。
随后,测试设备310执行ADR并随后通过主服务器330将ADR的结果,即已捕捉的图像发送到第二查看主机360。图6b示出了缺陷消除后捕捉图像的状态。
上述本发明的示例性实施方式和方面仅是示例性的,并不应理解为限制本发明。本教导可以容易地应用于其他类型的装置。而且,本发明的示例性实施方式的说明旨在说明而不是限制权利要求的范围,并且许多可选方式、修改和变型对于本领域技术人员来说是显而易见的。
如上所述,本发明不同于一个操作者仅能控制一个测试设备的现有技术,使一个操作者根据由多个测试设备捕捉的基板上的缺陷图像来进行查看和判断,因而允许高效地驱动测试设备并且减少操作者的数量。所以,可以显著减少测试的工作时间。
Claims (22)
1、一种测试***包括:
测试设备,用于拍摄阵列基板或滤色片基板上的缺陷的图像以获得捕捉图像,并且提供与所述缺陷相关的检查信息;
主服务器,用于将来自所述测试设备的所述检查信息构建为数据库,并随后将其传送到查看主机;以及
查看主机,用于根据来自所述主服务器的检查信息判断阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷以产生判断结果,并将判断结果再次发送到所述主服务器。
2、根据权利要求1所述的测试***,其特征在于,与所述缺陷相关的检查信息包括:
所述阵列基板或滤色片基板的ID,设置在阵列基板或滤色片基板上的多个面板的ID,根据检测顺序的缺陷数量,已捕捉缺陷的图像文件,以及检测出缺陷的测试设备的数量。
3、根据权利要求1所述的测试***,其特征在于,所述的判断结果包括:
所述缺陷需要修复的情况,缺陷状态为好的情况,缺陷状态为不好的情况,以及缺陷状态为难以判断的情况。
4、根据权利要求3所述的测试***,其特征在于,如果所述判断结果为所述缺陷需要修复的情况,则由所述主服务器向所述测试设备发出修复请求,并因此由所述测试设备修复该缺陷。
5、根据权利要求4所述的测试***,其特征在于,如果所述测试设备已修复所述缺陷,那么产生已修复区域的捕捉图像并且将该捕捉图像从该测试设备传送到主服务器。
6、根据权利要求1所述的测试***,其特征在于,进一步包括:
质量管理主机,用于从主服务器接收捕捉图像并根据缺陷状态判断在阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷。
7、根据权利要求1所述的测试***,其特征在于,进一步包括:
复查主机,用于在缺陷状态为难以判断的情况下,根据实时捕捉的该缺陷的实时图像复查缺陷状态。
8、一种测试***包括:
测试设备,用于拍摄阵列基板或滤色片基板上的缺陷的图像以获得捕捉图像,并且提供与所述缺陷相关的检查信息;
主服务器,用于将来自所述测试设备的检查信息构建为数据库,并随后将其传送到第一查看主机;
第一查看主机,用于根据来自所述主服务器的检查信息判断在阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷以产生判断结果,并将所述判断结果再次发送到主服务器;以及
第二查看主机,用于从所述主服务器接收所述捕捉图像,并根据缺陷状态判断在阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷。
9、根据权利要求8所述的测试***,其特征在于,与所述缺陷相关的检查信息包括:
所述阵列基板或滤色片基板的ID,设置在阵列基板或滤色片基板上的多个面板的ID,根据检测顺序的缺陷数量,已捕捉缺陷的图像文件,以及检测出缺陷的测试设备的数量。
10、根据权利要求8所述的测试***,其特征在于,所述判断结果包括:
所述缺陷需要修复的情况,缺陷状态为好的情况,缺陷状态为不好的情况,以及缺陷状态为难以判断的情况。
11、根据权利要求10所述的测试***,其特征在于,如果所述判断结果为缺陷需要修复的情况:则
由所述主服务器向所述测试设备发出修复请求,并因此由测试设备修复该缺陷。
12、根据权利要求11所述的测试***,其特征在于,如果所述测试设备已修复所述缺陷,那么产生修复区域的捕捉图像并且将该捕捉图像从测试设备传送到主服务器。
13根据权利要求8所述的测试***,其特征在于,进一步包括:
复查主机,用于在缺陷状态为难以判断的情况下,根据实时捕捉的该缺陷的实时图像复查缺陷状态。
14、根据权利要求8所述的测试***,其特征在于,进一步包括:
警报主机,用于监控所述测试设备的状态从而呼叫操作者。
15、根据权利要求8所述的测试***,其特征在于,进一步包括:
从服务器,用于在主服务器不工作的情况下执行与主服务器相同的功能。
16、一种测试方法包括:
通过测试设备拍摄阵列基板或滤色片基板上缺陷的图像以获得捕捉图像,并提供与所述缺陷相关的检查信息;
通过主服务器将来自所述测试设备的检查信息构建为数据库并随后传送它们;以及
根据来自所述主服务器的检查信息判断在阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷以产生判断结果,并将该判断结果再次发送到所述主服务器。
17、根据权利要求16所述的测试方法,其特征在于,与所述缺陷相关的检查信息包括:
所述阵列基板或滤色片基板的ID,设置在阵列基板或滤色片基板上的多个面板的ID,根据检测顺序的缺陷的数量,已捕捉缺陷的图像文件,以及检测出缺陷的测试设备的数量。
18、根据权利要求16所述的测试方法,其特征在于,所述判断结果包括:
缺陷需要修复的情况,缺陷状态为好的情况,缺陷状态为不好的情况,以及缺陷状态为难以判断的情况。
19、根据权利要求18所述的测试***,其特征在于,如果所述判断结果为缺陷需要修复的情况,则
由所述主服务器向所述测试设备发出修复请求,并因此由所述测试设备修复该缺陷。
20、根据权利要求19所述的测试***,其特征在于,如果所述测试设备已修复所述缺陷,那么产生修复区域的捕捉图像并且将所述捕捉图像从测试设备传送到主服务器。
21、根据权利要求16所述的测试方法,其特征在于,进一步包括:
从主服务器接收捕捉图像,并根据缺陷状态判断阵列基板或滤色片基板上是否有缺陷。
22、根据权利要求16所述的测试方法,其特征在于,进一步包括:
在缺陷状态为难以判断的情况下,根据实时捕捉的所述缺陷的实时图像来复查缺陷状态。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20050135812 | 2005-12-30 | ||
KR1020050135812 | 2005-12-30 | ||
KR1020060114947 | 2006-11-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1995991A true CN1995991A (zh) | 2007-07-11 |
Family
ID=38251136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNA2006101682535A Pending CN1995991A (zh) | 2005-12-30 | 2006-12-28 | 使用虚拟查看的测试***和测试方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7509237B2 (zh) |
JP (1) | JP4762876B2 (zh) |
KR (1) | KR100926117B1 (zh) |
CN (1) | CN1995991A (zh) |
TW (1) | TWI328111B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101726951B (zh) * | 2008-10-22 | 2012-09-05 | 索尼株式会社 | 缺陷修复装置和缺陷修复方法 |
CN109387961A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-02-26 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板的检测方法和检测设备 |
CN110161729A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板测试方法及*** |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102028977B1 (ko) * | 2013-01-31 | 2019-10-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법 |
US9222895B2 (en) | 2013-02-25 | 2015-12-29 | Kla-Tencor Corp. | Generalized virtual inspector |
CN103278714B (zh) * | 2013-05-15 | 2015-10-28 | 江苏大学 | 一种混合制程的虚拟测量方法与*** |
CN105223914B (zh) * | 2014-06-30 | 2018-09-07 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 管控机台生产数据的***及其方法 |
US9816939B2 (en) | 2014-07-22 | 2017-11-14 | Kla-Tencor Corp. | Virtual inspection systems with multiple modes |
CN105676785B (zh) * | 2014-11-21 | 2018-07-10 | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司 | 半导体加工设备模拟仿真***及其工作方法 |
CN106206356B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-05-31 | 上海华力微电子有限公司 | 提高良率提升缺陷监测效率的方法 |
JP2018091771A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | 大日本印刷株式会社 | 検査方法、事前画像選別装置及び検査システム |
KR102038521B1 (ko) * | 2017-11-28 | 2019-10-30 | 주식회사 코세스 | 엘이디 기판의 재생 장치 및 방법 |
KR102552557B1 (ko) * | 2018-06-07 | 2023-07-06 | 윌코아게 | 검사 방법 |
CN111208365A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-29 | 平高集团有限公司 | 一种pcs测试*** |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06249795A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Mitsubishi Electric Corp | 缶検査装置 |
US6476913B1 (en) * | 1998-11-30 | 2002-11-05 | Hitachi, Ltd. | Inspection method, apparatus and system for circuit pattern |
US6721045B1 (en) * | 1999-09-07 | 2004-04-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus to provide embedded substrate process monitoring through consolidation of multiple process inspection techniques |
WO2002023480A1 (fr) * | 2000-09-18 | 2002-03-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Systeme et procede de gestion de fichiers de donnees d'image |
US6701259B2 (en) * | 2000-10-02 | 2004-03-02 | Applied Materials, Inc. | Defect source identifier |
JP3788279B2 (ja) * | 2001-07-09 | 2006-06-21 | 株式会社日立製作所 | パターン検査方法及び装置 |
JP3776768B2 (ja) * | 2001-08-01 | 2006-05-17 | エヌ・ティ・ティ・インフラネット株式会社 | 歪測定監視システム |
US7280883B2 (en) * | 2001-09-06 | 2007-10-09 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing system managing apparatus information of substrate processing apparatus |
KR100516620B1 (ko) * | 2002-04-10 | 2005-09-22 | 가부시끼가이샤 도시바 | 액정 셀의 검사방법 및 검사장치 |
JP2004257824A (ja) * | 2003-02-25 | 2004-09-16 | Shimadzu Corp | 液晶基板管理装置 |
JP4243500B2 (ja) * | 2003-03-12 | 2009-03-25 | 日本Cmo株式会社 | ディスプレイパネルの欠陥検査システム |
JP2005227201A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Nikke Kikai Seisakusho:Kk | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP2005338906A (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Toppan Printing Co Ltd | 基板の欠陥検出方法及びその欠陥検出システム |
JP4688525B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2011-05-25 | 株式会社 日立ディスプレイズ | パターン修正装置および表示装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-11-21 KR KR1020060114947A patent/KR100926117B1/ko active IP Right Grant
- 2006-12-15 JP JP2006338022A patent/JP4762876B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-15 TW TW095147288A patent/TWI328111B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-12-22 US US11/644,637 patent/US7509237B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-28 CN CNA2006101682535A patent/CN1995991A/zh active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101726951B (zh) * | 2008-10-22 | 2012-09-05 | 索尼株式会社 | 缺陷修复装置和缺陷修复方法 |
CN109387961A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-02-26 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板的检测方法和检测设备 |
CN109387961B (zh) * | 2018-11-07 | 2020-11-24 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板的检测方法和检测设备 |
CN110161729A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板测试方法及*** |
CN110161729B (zh) * | 2019-05-17 | 2021-08-03 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板测试方法及*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200734627A (en) | 2007-09-16 |
US7509237B2 (en) | 2009-03-24 |
JP4762876B2 (ja) | 2011-08-31 |
TWI328111B (en) | 2010-08-01 |
KR100926117B1 (ko) | 2009-11-11 |
KR20070072352A (ko) | 2007-07-04 |
JP2007183260A (ja) | 2007-07-19 |
US20070159179A1 (en) | 2007-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1995991A (zh) | 使用虚拟查看的测试***和测试方法 | |
CN106323600B (zh) | 一种级联分布式aoi缺陷检测***及其检测方法 | |
CN108594484A (zh) | 面板检测与修复一体化*** | |
CN107065247A (zh) | 一种显示面板检测方法、装置及*** | |
CN108646445B (zh) | 一种自适应背光的缺陷检测装置 | |
CN107564446A (zh) | 一种面板点灯机、面板点灯测试***及测试方法 | |
US7800568B2 (en) | Apparatus and method for inspecting liquid crystal display | |
JPH04208834A (ja) | 液晶パネルの検査方法 | |
CN109374632A (zh) | 一种显示面板的检测方法及*** | |
KR20040081392A (ko) | 디스플레이 패널 결함 검사 시스템 및 방법 | |
CN102100135A (zh) | 组件安装*** | |
CN108562843A (zh) | 一种交流电机e3控制器电路板检测***和方法 | |
CN208872678U (zh) | 一种用于检验显示面板的检验装置 | |
KR101286548B1 (ko) | 액정표시장치의 검사 시스템 및 방법 | |
US6850087B2 (en) | Method of testing liquid crystal display cells and apparatus for the same | |
WO2022104585A1 (zh) | 一种印刷电路板远程光学检修方法及*** | |
CN108197025A (zh) | 一种仪表压力测试***及仪表压力测试方法 | |
CN214201239U (zh) | 一种印刷电路板远程光学检修*** | |
CN207115971U (zh) | 一种面板点灯机及面板点灯测试*** | |
CN205812011U (zh) | 一种pon上行网关终端设备的测试平台 | |
US7330580B2 (en) | System and method for inspecting an LCD panel | |
CN216870414U (zh) | 一种用于检测整板元件外观缺陷的装置 | |
KR20040069853A (ko) | 반도체 웨이퍼 검사장비 및 검사방법 | |
CN109686157A (zh) | 一种兼具复判与考试功能的面板复检*** | |
TWI769688B (zh) | 一種印刷電路板遠程光學檢修方法及系統 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20070711 |