KR100914386B1 - 다관절 로봇 - Google Patents
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Abstract
Description
청구항 7 및 8에 기재의 발명에 의하면, 상기 지지 부재에 배치된 상기 회전 관절의 회전 중심과, 핸드부의 회전 중심과, 대좌의 회전 중심이 핸드부의 이동 방향의 축선 상에 일치하도록 오프셋하도록 형성됨으로써, 핸드(hand)가 액정 기판이나 반도체 웨이퍼를 인입한 위치에 오는 경우, 대좌의 회전 기능에 의해 선회해도 기판이나 웨이퍼의 선회 반경으로부터 돌출하는 일 없이 선회할 수 있으므로, 풋프린트를 작게 하여 공장에 배치하는 장치와의 간섭이 없도록 로봇을 배치할 수 있다.
Claims (11)
- 반송물을 재치하는 핸드부(8)와, 다관절 암(21,22)을 연결하는 지지 부재(10)와, 상기 핸드부(8)와 연결되고 적어도 2개 이상의 회전 관절(3,4,5)을 구비하고 상기 핸드부(8)를 한 방향으로 이동하도록 신축하고 상기 지지 부재(10)의 사이에 상하 방향으로 대향하도록 배치된 상기 다관절 암(21,22)과, 상하로 이동하도록 칼럼(12)에 장착된 상하 방향으로 이동하는 이동 기구(11)와, 상기 칼럼(12)의 하단부에 연결되고 상기 칼럼(12)에 장착된 상기 다관절 암(21,22)을 선회하는 대좌(13)로 이루어지는 다관절 로봇에 있어서,상기 핸드부(8)는 상기 칼럼(12)에의 상기 대좌(13)의 장착면과 평행한 방향과 상기 이동 기구(11)의 이동 방향과 직교하는 방향을 향하여, 상완(6)과 전완(7)을 다 펼친 신장 위치와 상기 상완과 상기 전완을 접은 상태로 한 오므린 위치와의 사이를 직선 이동하고, 상기 이동 기구(11)는 상기 핸드부(8)의 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 다 펼친 신장 방향과 같은 방향으로 상기 칼럼(12)에 배치되고, 상기 이동 기구(11)에 배치된 지지 부재(10)는 상기 핸드부(8)의 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 다 펼친 신장 방향에 직교하는 방향과 상기 핸드부(8)의 이동 방향으로 오프셋하고, 상기 다관절 암(21,22)과 연결되고 상기 이동 기구(11)에 의해 상기 칼럼(12)의 최하 위치로 이동되었을 때에 상기 대좌(13)를 간섭하지 않도록 상기 핸드부(8)의 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 다 펼친 신장 방향으로 오프셋한 위치에 배치되고,상기 지지 부재(10)에 배치된 상기 회전 관절(3,4,5)의 회전 중심과 상기 핸드부(8)의 회전 중심과 상기 대좌(13)의 회전 중심이, 서로 핸드부(8)의 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 다 펼친 신장 방향 및 상기 상완(6)과 상기 전완(7)을 접은 상태로 한 오므린 방향의 축선 상에 일치하도록 오프셋 하도록 형성된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 다관절 암의 기단의 상기 회전 관절의 위치가 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 다관절 암의 기단의 상기 회전 관절의 위치 중 어느 한쪽의 상기 회전 관절의 상기 위치가, 다른 한쪽의 회전 관절의 위치에 대해서 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상하에 배치된 상기 지지 부재의 상기 다관절 암의 기단의 하측에 배치된 상기 회전 관절의 위치가, 상측에 배치된 상기 회전 관절의 위치에 대해서 상기 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향으로 오프셋한 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상기 이동 기구는 보호 커버로 덮혀져 상기 칼럼으로부터의 발진을 억제하는 쉴드(shield) 기능을 가지는 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 회전 관절의 회전 중심과 핸드부의 회전 중심과 대좌의 회전 중심과의 위치 관계가, 상기 핸드부를 상기 상완과 상기 전완을 접은 상태로 한 오므린 위치로 이동시켰을 때에, 핸드부의 상기 상완과 상기 전완을 다 펼친 신장 방향 및 상기 상완과 상기 전완을 접은 상태로 한 오므린 방향에 관하여 상기 신장 방향 전방으로부터 상기 회전 관절의 회전 중심, 대좌의 회전 중심, 핸드부의 회전 중심의 순서로 배치되도록 형성된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제1항에 있어서,상기 칼럼은 복수 개의 블록이 연결된 구조로 된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제8항에 있어서,상기 칼럼의 블록은 상기 이동 기구의 안내 기구의 배치를 조정하는 개구부를 구비한 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 제8항에 있어서,상기 칼럼의 블록의 연결부에는 감합 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 다관절 로봇.
- 삭제
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