JPH11347982A - 搬送ロボットの摺動部構造 - Google Patents
搬送ロボットの摺動部構造Info
- Publication number
- JPH11347982A JPH11347982A JP15261698A JP15261698A JPH11347982A JP H11347982 A JPH11347982 A JP H11347982A JP 15261698 A JP15261698 A JP 15261698A JP 15261698 A JP15261698 A JP 15261698A JP H11347982 A JPH11347982 A JP H11347982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- sliding part
- protective cover
- pulley
- carbon film
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- Pending
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- Sealing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送ロボットの摺動部における潤滑性及び撥
水性の向上を図るとともにクリーンルーム内での使用に
最適なものとすること。 【解決手段】 搬送ロボットの機台１の上面１１とアー
ム支持台２の下面との間に配設される伸縮保護カバー６
は、カーボン硬質膜がコーティングされてなるものであ
る。
水性の向上を図るとともにクリーンルーム内での使用に
最適なものとすること。 【解決手段】 搬送ロボットの機台１の上面１１とアー
ム支持台２の下面との間に配設される伸縮保護カバー６
は、カーボン硬質膜がコーティングされてなるものであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送ロボットの摺
動部構造に関する。
動部構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、搬送ロボットの旋回アームと他
の旋回アームとの連結部位、旋回アームと旋回ハンドと
の連結部位などの摺動部には、防水性を確保すべくＯリ
ングなどシール部材が配設される。
の旋回アームとの連結部位、旋回アームと旋回ハンドと
の連結部位などの摺動部には、防水性を確保すべくＯリ
ングなどシール部材が配設される。
【０００３】また、搬送ロボットの機台とこの機台内部
に昇降旋回可能に配設されるアーム支持台との連結部位
（本願においては摺動部に含める。）には、上記と同
様、防水性を確保すべく伸縮保護カバーが配設される。
に昇降旋回可能に配設されるアーム支持台との連結部位
（本願においては摺動部に含める。）には、上記と同
様、防水性を確保すべく伸縮保護カバーが配設される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
シール部材及び伸縮保護カバーは、いずれも高摩擦係
数、高摩耗により潤滑性に乏しく、また、撥水性が低
く、さらに、高発塵によりクリーンルーム内での使用に
問題があった。
シール部材及び伸縮保護カバーは、いずれも高摩擦係
数、高摩耗により潤滑性に乏しく、また、撥水性が低
く、さらに、高発塵によりクリーンルーム内での使用に
問題があった。
【０００５】本発明は、上記従来の問題点を解決し、摺
動部における潤滑性及び撥水性の向上を図るとともにク
リーンルーム内での使用に最適な搬送ロボットを提供す
ることを目的とする。
動部における潤滑性及び撥水性の向上を図るとともにク
リーンルーム内での使用に最適な搬送ロボットを提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による搬送ロボッ
トの摺動部構造は、摺動部にシール部材又は伸縮保護カ
バーが配設される搬送ロボットにおいて、前記シール部
材又は前記伸縮保護カバーはカーボン硬質膜がコーティ
ングされてなるものであることを特徴とする。
トの摺動部構造は、摺動部にシール部材又は伸縮保護カ
バーが配設される搬送ロボットにおいて、前記シール部
材又は前記伸縮保護カバーはカーボン硬質膜がコーティ
ングされてなるものであることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態に係
る搬送ロボットの正面図を示す。
る搬送ロボットの正面図を示す。
【０００８】図１において、本実施形態の搬送ロボット
は、機台１と、この機台１の内部に昇降旋回可能に配設
されるアーム支持台２と、アーム支持台２に対し旋回可
能に連結される第１アーム３と、第１アーム３に対し旋
回可能に連結される第２アーム４と、第２アーム４に対
し旋回可能に連結されるハンド５とを備える。また、機
台１の上面１１とアーム支持台２の下面２１との間に
は、伸縮保護カバー６が配設される。
は、機台１と、この機台１の内部に昇降旋回可能に配設
されるアーム支持台２と、アーム支持台２に対し旋回可
能に連結される第１アーム３と、第１アーム３に対し旋
回可能に連結される第２アーム４と、第２アーム４に対
し旋回可能に連結されるハンド５とを備える。また、機
台１の上面１１とアーム支持台２の下面２１との間に
は、伸縮保護カバー６が配設される。
【０００９】図２は、伸縮保護カバー６の取付構造を示
す断面図である。
す断面図である。
【００１０】図２において、アーム支持台２は、図示し
ない駆動機構によって昇降旋回可能とされている。アー
ム支持台２は、機台１の天板１２の開口１３内に挿通さ
れる円筒部２２を備え、この円筒部２２の上端から外方
向に向かって環状底壁部２３が突設されている。この環
状低壁部２３の下面（アーム支持台２の下面２１）に
は、環状ブラケット７が固定金具によって固定されてい
る。
ない駆動機構によって昇降旋回可能とされている。アー
ム支持台２は、機台１の天板１２の開口１３内に挿通さ
れる円筒部２２を備え、この円筒部２２の上端から外方
向に向かって環状底壁部２３が突設されている。この環
状低壁部２３の下面（アーム支持台２の下面２１）に
は、環状ブラケット７が固定金具によって固定されてい
る。
【００１１】一方、機台１の上面１１には、環状ゴムシ
ートパッキン８を介在させて円筒状の伸縮保護カバー６
の下端部６１が固定金具によって固定されている。伸縮
保護カバー６の上端部６２は、他の環状ゴムシートパッ
キン９を介在させて環状保持部材１０に固定金具によっ
て固定されている。
ートパッキン８を介在させて円筒状の伸縮保護カバー６
の下端部６１が固定金具によって固定されている。伸縮
保護カバー６の上端部６２は、他の環状ゴムシートパッ
キン９を介在させて環状保持部材１０に固定金具によっ
て固定されている。
【００１２】環状保持部材１０と上記環状ブラケット７
との間にはベアリング３０が配設され、環状保持部材１
０と環状ブラケット７が互いに旋回自在とされている。
また、環状ブラケット７の内周面と環状保持部材１０の
上面とで形成される環状空間には、ベアリング３０への
浸水を防止すべく環状のＶ型シール部材４０が配設され
ている。
との間にはベアリング３０が配設され、環状保持部材１
０と環状ブラケット７が互いに旋回自在とされている。
また、環状ブラケット７の内周面と環状保持部材１０の
上面とで形成される環状空間には、ベアリング３０への
浸水を防止すべく環状のＶ型シール部材４０が配設され
ている。
【００１３】伸縮保護カバー６は、蛇腹状のゴムにカー
ボン硬質膜をコーティングして構成される。ここで、カ
ーボン硬質膜は、通称ＤＬＣ（Diamond Like Carbon ）
と称されるものであり、コーティング方法は、イオン化
蒸着法又は高周波プラズマＣＶＤ法などによるものであ
る。カーボン硬質膜には、高潤滑性、高撥水性、低発塵
性等の作用効果があり、機台１とアーム支持台２との間
の摺動部における潤滑性及び撥水性が向上するとともに
クリーンルーム内での使用に最適なものとなる。なお、
伸縮保護カバー６の基材は、ゴムの代わりにプラスチッ
ク（ウレタン樹脂）を用いてもよい。
ボン硬質膜をコーティングして構成される。ここで、カ
ーボン硬質膜は、通称ＤＬＣ（Diamond Like Carbon ）
と称されるものであり、コーティング方法は、イオン化
蒸着法又は高周波プラズマＣＶＤ法などによるものであ
る。カーボン硬質膜には、高潤滑性、高撥水性、低発塵
性等の作用効果があり、機台１とアーム支持台２との間
の摺動部における潤滑性及び撥水性が向上するとともに
クリーンルーム内での使用に最適なものとなる。なお、
伸縮保護カバー６の基材は、ゴムの代わりにプラスチッ
ク（ウレタン樹脂）を用いてもよい。
【００１４】図３は、アーム支持台２の上端部２４、各
アーム３、４及びハンド５の概略断面構造図を示す。
アーム３、４及びハンド５の概略断面構造図を示す。
【００１５】図３において、アーム支持台２の上端部２
４は中空円筒状に形成され、その上面に第１プーリー５
０が固定されている。アーム支持台２の中空部及び第１
プーリー５０の中空部には、第１アーム３の回転軸部３
１が回転可能に挿通されている。なお、この回転軸部３
１は、図示しない駆動機構によって回転駆動される。
４は中空円筒状に形成され、その上面に第１プーリー５
０が固定されている。アーム支持台２の中空部及び第１
プーリー５０の中空部には、第１アーム３の回転軸部３
１が回転可能に挿通されている。なお、この回転軸部３
１は、図示しない駆動機構によって回転駆動される。
【００１６】第１アーム３の先端部内部には、第１固定
軸部３２が配設され、この第１固定軸部３２に第２プー
リー５１が回転可能に環装されている。
軸部３２が配設され、この第１固定軸部３２に第２プー
リー５１が回転可能に環装されている。
【００１７】そして、この第２プーリー５１と上記第１
プーリー５０との間に第１タイミングベルト５２が掛け
られている。
プーリー５０との間に第１タイミングベルト５２が掛け
られている。
【００１８】第２プーリー５１の上面側には、第２アー
ム４の元部が固定されている。また、上記第１固定軸部
３２の上面側には、第３プーリー５３が固定されてい
る。
ム４の元部が固定されている。また、上記第１固定軸部
３２の上面側には、第３プーリー５３が固定されてい
る。
【００１９】第２アーム４の先端部内部には、第２固定
軸部４１が配設され、この第２固定軸部４１に第４プー
リー５４が回転可能に環装されている。
軸部４１が配設され、この第２固定軸部４１に第４プー
リー５４が回転可能に環装されている。
【００２０】そして、この第４プーリー５４と上記第３
プーリー５３との間に第２タイミングベルト５５が掛け
られている。
プーリー５３との間に第２タイミングベルト５５が掛け
られている。
【００２１】第４プーリー５４の上面側にはハンド５が
固定されている。
固定されている。
【００２２】図３に示した構造において、第１アーム３
の回転軸部３１が回転駆動されると、この回転軸部３１
に対して第１プーリー５０が相対的に回転することとな
り、この第１プーリー５０の回転が第１タイミングベル
ト５２を介して第２プーリー５１に伝達され、これによ
り第２アーム４が第１アーム３の先端部を中心として回
転する。また、この第２アーム４の回転により、第２ア
ーム４に対して第３プーリー５３が相対的に回転するこ
ととなり、この第３プーリー５３の回転が第２タイミン
グベルト５５を介して第４プーリー５４に伝達され、こ
れによりハンド５が第２アーム４の先端部を中心として
回転する。なお、具体的な動作説明はしないが、公知の
ように、上記回転軸部３１の回転駆動によりハンド５は
直線軌道上を移動する。
の回転軸部３１が回転駆動されると、この回転軸部３１
に対して第１プーリー５０が相対的に回転することとな
り、この第１プーリー５０の回転が第１タイミングベル
ト５２を介して第２プーリー５１に伝達され、これによ
り第２アーム４が第１アーム３の先端部を中心として回
転する。また、この第２アーム４の回転により、第２ア
ーム４に対して第３プーリー５３が相対的に回転するこ
ととなり、この第３プーリー５３の回転が第２タイミン
グベルト５５を介して第４プーリー５４に伝達され、こ
れによりハンド５が第２アーム４の先端部を中心として
回転する。なお、具体的な動作説明はしないが、公知の
ように、上記回転軸部３１の回転駆動によりハンド５は
直線軌道上を移動する。
【００２３】図３において、アーム支持台２の上端部２
４と第１アーム３の回転軸部３１との間の摺動部、第１
アーム３と第２アーム４との間の摺動部、及び、第２ア
ーム４とハンド５との間の摺動部には、それぞれシール
部材５６、５７、５８が配設されている。
４と第１アーム３の回転軸部３１との間の摺動部、第１
アーム３と第２アーム４との間の摺動部、及び、第２ア
ーム４とハンド５との間の摺動部には、それぞれシール
部材５６、５７、５８が配設されている。
【００２４】各シール部材５６、５７、５８は、環状の
ゴムにカーボン硬質膜をコーティングして構成される。
なお、ゴムの代わりにプラスチックを基材としてもよ
い。上述した伸縮保護カバー６と同様、カーボン硬質膜
には、高潤滑性、高撥水性、低発塵性等の作用効果があ
り、上記各摺動部における潤滑性及び撥水性が向上する
とともにクリーンルーム内での使用に最適なものとな
る。
ゴムにカーボン硬質膜をコーティングして構成される。
なお、ゴムの代わりにプラスチックを基材としてもよ
い。上述した伸縮保護カバー６と同様、カーボン硬質膜
には、高潤滑性、高撥水性、低発塵性等の作用効果があ
り、上記各摺動部における潤滑性及び撥水性が向上する
とともにクリーンルーム内での使用に最適なものとな
る。
【００２５】なお、ＬＭガイドの防塵カバー、ボールね
じの防塵カバー、ロボットアームの防塵カバーなどにカ
ーボン硬質膜をコーティングするようにしても、上記と
同様、高潤滑性、高撥水性等の作用効果を発揮できる。
じの防塵カバー、ロボットアームの防塵カバーなどにカ
ーボン硬質膜をコーティングするようにしても、上記と
同様、高潤滑性、高撥水性等の作用効果を発揮できる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
シール部材又は伸縮保護カバーをカーボン硬質膜でコー
ティングすることにより、摺動部における潤滑性及び撥
水性が向上し、クリーンルーム内での使用に最適な搬送
ロボットを提供することができるようになる。
シール部材又は伸縮保護カバーをカーボン硬質膜でコー
ティングすることにより、摺動部における潤滑性及び撥
水性が向上し、クリーンルーム内での使用に最適な搬送
ロボットを提供することができるようになる。
【図１】本発明の一実施形態に係る搬送ロボットの正面
図を示す。
図を示す。
【図２】伸縮保護カバーの取付構造を示す断面図であ
る。
る。
【図３】アーム支持台の上端部、各アーム及びハンドの
概略断面構造図を示す。
概略断面構造図を示す。
６ 伸縮保護カバー ５６、５７、５８ シール部材
Claims (1)
- 【請求項１】 摺動部にシール部材又は伸縮保護カバー
が配設される搬送ロボットにおいて、前記シール部材又
は前記伸縮保護カバーはカーボン硬質膜がコーティング
されてなるものであることを特徴とする搬送ロボットの
摺動部構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15261698A JPH11347982A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | 搬送ロボットの摺動部構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15261698A JPH11347982A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | 搬送ロボットの摺動部構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11347982A true JPH11347982A (ja) | 1999-12-21 |
Family
ID=15544281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15261698A Pending JPH11347982A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | 搬送ロボットの摺動部構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11347982A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000069601A1 (en) * | 1999-05-19 | 2000-11-23 | Brooks Automation, Inc. | Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly |
| JP2005218641A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波プローブ |
| JP2007136596A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Yaskawa Electric Corp | 防水機構つきロボット |
| WO2008007516A1 (fr) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot à articulations multiples |
| JP2008018480A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボットおよびそのロボットの移送方法と設置方法 |
| WO2013156851A3 (en) * | 2012-02-08 | 2014-01-23 | Vanrx Pharmasystems, Inc. | Articulated arm apparatus and system |
| US10155309B1 (en) * | 2017-11-16 | 2018-12-18 | Lam Research Corporation | Wafer handling robots with rotational joint encoders |
-
1998
- 1998-06-02 JP JP15261698A patent/JPH11347982A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000069601A1 (en) * | 1999-05-19 | 2000-11-23 | Brooks Automation, Inc. | Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly |
| US6279412B1 (en) * | 1999-05-19 | 2001-08-28 | Brooks Automation, Inc. | Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly |
| JP2005218641A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波プローブ |
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| JP2008155361A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-07-10 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボット |
| JP2008018480A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボットおよびそのロボットの移送方法と設置方法 |
| WO2008007516A1 (fr) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot à articulations multiples |
| JP4596375B2 (ja) * | 2006-07-11 | 2010-12-08 | 株式会社安川電機 | 多関節ロボット |
| WO2013156851A3 (en) * | 2012-02-08 | 2014-01-23 | Vanrx Pharmasystems, Inc. | Articulated arm apparatus and system |
| EP2812163A4 (en) * | 2012-02-08 | 2016-09-21 | Vanrx Pharmasystems Inc | JOINT ARM DEVICE AND SYSTEM THEREWITH |
| EP2812163B1 (en) | 2012-02-08 | 2020-04-08 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Articulated arm apparatus and system |
| US10857666B2 (en) | 2012-02-08 | 2020-12-08 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Method of manipulating pharmaceutical products with an articulated arm apparatus and system |
| US11065759B2 (en) | 2012-02-08 | 2021-07-20 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Articulated arm apparatus |
| US10155309B1 (en) * | 2017-11-16 | 2018-12-18 | Lam Research Corporation | Wafer handling robots with rotational joint encoders |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20040916 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040916 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041117 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20041117 |