JPH11347982A - 搬送ロボットの摺動部構造 - Google Patents
搬送ロボットの摺動部構造Info
- Publication number
- JPH11347982A JPH11347982A JP15261698A JP15261698A JPH11347982A JP H11347982 A JPH11347982 A JP H11347982A JP 15261698 A JP15261698 A JP 15261698A JP 15261698 A JP15261698 A JP 15261698A JP H11347982 A JPH11347982 A JP H11347982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- sliding part
- protective cover
- pulley
- carbon film
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送ロボットの摺動部における潤滑性及び撥
水性の向上を図るとともにクリーンルーム内での使用に
最適なものとすること。 【解決手段】 搬送ロボットの機台1の上面11とアー
ム支持台2の下面との間に配設される伸縮保護カバー6
は、カーボン硬質膜がコーティングされてなるものであ
る。
水性の向上を図るとともにクリーンルーム内での使用に
最適なものとすること。 【解決手段】 搬送ロボットの機台1の上面11とアー
ム支持台2の下面との間に配設される伸縮保護カバー6
は、カーボン硬質膜がコーティングされてなるものであ
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送ロボットの摺
動部構造に関する。
動部構造に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、搬送ロボットの旋回アームと他
の旋回アームとの連結部位、旋回アームと旋回ハンドと
の連結部位などの摺動部には、防水性を確保すべくOリ
ングなどシール部材が配設される。
の旋回アームとの連結部位、旋回アームと旋回ハンドと
の連結部位などの摺動部には、防水性を確保すべくOリ
ングなどシール部材が配設される。
【0003】また、搬送ロボットの機台とこの機台内部
に昇降旋回可能に配設されるアーム支持台との連結部位
(本願においては摺動部に含める。)には、上記と同
様、防水性を確保すべく伸縮保護カバーが配設される。
に昇降旋回可能に配設されるアーム支持台との連結部位
(本願においては摺動部に含める。)には、上記と同
様、防水性を確保すべく伸縮保護カバーが配設される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
シール部材及び伸縮保護カバーは、いずれも高摩擦係
数、高摩耗により潤滑性に乏しく、また、撥水性が低
く、さらに、高発塵によりクリーンルーム内での使用に
問題があった。
シール部材及び伸縮保護カバーは、いずれも高摩擦係
数、高摩耗により潤滑性に乏しく、また、撥水性が低
く、さらに、高発塵によりクリーンルーム内での使用に
問題があった。
【0005】本発明は、上記従来の問題点を解決し、摺
動部における潤滑性及び撥水性の向上を図るとともにク
リーンルーム内での使用に最適な搬送ロボットを提供す
ることを目的とする。
動部における潤滑性及び撥水性の向上を図るとともにク
リーンルーム内での使用に最適な搬送ロボットを提供す
ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による搬送ロボッ
トの摺動部構造は、摺動部にシール部材又は伸縮保護カ
バーが配設される搬送ロボットにおいて、前記シール部
材又は前記伸縮保護カバーはカーボン硬質膜がコーティ
ングされてなるものであることを特徴とする。
トの摺動部構造は、摺動部にシール部材又は伸縮保護カ
バーが配設される搬送ロボットにおいて、前記シール部
材又は前記伸縮保護カバーはカーボン硬質膜がコーティ
ングされてなるものであることを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施形態に係
る搬送ロボットの正面図を示す。
る搬送ロボットの正面図を示す。
【0008】図1において、本実施形態の搬送ロボット
は、機台1と、この機台1の内部に昇降旋回可能に配設
されるアーム支持台2と、アーム支持台2に対し旋回可
能に連結される第1アーム3と、第1アーム3に対し旋
回可能に連結される第2アーム4と、第2アーム4に対
し旋回可能に連結されるハンド5とを備える。また、機
台1の上面11とアーム支持台2の下面21との間に
は、伸縮保護カバー6が配設される。
は、機台1と、この機台1の内部に昇降旋回可能に配設
されるアーム支持台2と、アーム支持台2に対し旋回可
能に連結される第1アーム3と、第1アーム3に対し旋
回可能に連結される第2アーム4と、第2アーム4に対
し旋回可能に連結されるハンド5とを備える。また、機
台1の上面11とアーム支持台2の下面21との間に
は、伸縮保護カバー6が配設される。
【0009】図2は、伸縮保護カバー6の取付構造を示
す断面図である。
す断面図である。
【0010】図2において、アーム支持台2は、図示し
ない駆動機構によって昇降旋回可能とされている。アー
ム支持台2は、機台1の天板12の開口13内に挿通さ
れる円筒部22を備え、この円筒部22の上端から外方
向に向かって環状底壁部23が突設されている。この環
状低壁部23の下面(アーム支持台2の下面21)に
は、環状ブラケット7が固定金具によって固定されてい
る。
ない駆動機構によって昇降旋回可能とされている。アー
ム支持台2は、機台1の天板12の開口13内に挿通さ
れる円筒部22を備え、この円筒部22の上端から外方
向に向かって環状底壁部23が突設されている。この環
状低壁部23の下面(アーム支持台2の下面21)に
は、環状ブラケット7が固定金具によって固定されてい
る。
【0011】一方、機台1の上面11には、環状ゴムシ
ートパッキン8を介在させて円筒状の伸縮保護カバー6
の下端部61が固定金具によって固定されている。伸縮
保護カバー6の上端部62は、他の環状ゴムシートパッ
キン9を介在させて環状保持部材10に固定金具によっ
て固定されている。
ートパッキン8を介在させて円筒状の伸縮保護カバー6
の下端部61が固定金具によって固定されている。伸縮
保護カバー6の上端部62は、他の環状ゴムシートパッ
キン9を介在させて環状保持部材10に固定金具によっ
て固定されている。
【0012】環状保持部材10と上記環状ブラケット7
との間にはベアリング30が配設され、環状保持部材1
0と環状ブラケット7が互いに旋回自在とされている。
また、環状ブラケット7の内周面と環状保持部材10の
上面とで形成される環状空間には、ベアリング30への
浸水を防止すべく環状のV型シール部材40が配設され
ている。
との間にはベアリング30が配設され、環状保持部材1
0と環状ブラケット7が互いに旋回自在とされている。
また、環状ブラケット7の内周面と環状保持部材10の
上面とで形成される環状空間には、ベアリング30への
浸水を防止すべく環状のV型シール部材40が配設され
ている。
【0013】伸縮保護カバー6は、蛇腹状のゴムにカー
ボン硬質膜をコーティングして構成される。ここで、カ
ーボン硬質膜は、通称DLC(Diamond Like Carbon )
と称されるものであり、コーティング方法は、イオン化
蒸着法又は高周波プラズマCVD法などによるものであ
る。カーボン硬質膜には、高潤滑性、高撥水性、低発塵
性等の作用効果があり、機台1とアーム支持台2との間
の摺動部における潤滑性及び撥水性が向上するとともに
クリーンルーム内での使用に最適なものとなる。なお、
伸縮保護カバー6の基材は、ゴムの代わりにプラスチッ
ク(ウレタン樹脂)を用いてもよい。
ボン硬質膜をコーティングして構成される。ここで、カ
ーボン硬質膜は、通称DLC(Diamond Like Carbon )
と称されるものであり、コーティング方法は、イオン化
蒸着法又は高周波プラズマCVD法などによるものであ
る。カーボン硬質膜には、高潤滑性、高撥水性、低発塵
性等の作用効果があり、機台1とアーム支持台2との間
の摺動部における潤滑性及び撥水性が向上するとともに
クリーンルーム内での使用に最適なものとなる。なお、
伸縮保護カバー6の基材は、ゴムの代わりにプラスチッ
ク(ウレタン樹脂)を用いてもよい。
【0014】図3は、アーム支持台2の上端部24、各
アーム3、4及びハンド5の概略断面構造図を示す。
アーム3、4及びハンド5の概略断面構造図を示す。
【0015】図3において、アーム支持台2の上端部2
4は中空円筒状に形成され、その上面に第1プーリー5
0が固定されている。アーム支持台2の中空部及び第1
プーリー50の中空部には、第1アーム3の回転軸部3
1が回転可能に挿通されている。なお、この回転軸部3
1は、図示しない駆動機構によって回転駆動される。
4は中空円筒状に形成され、その上面に第1プーリー5
0が固定されている。アーム支持台2の中空部及び第1
プーリー50の中空部には、第1アーム3の回転軸部3
1が回転可能に挿通されている。なお、この回転軸部3
1は、図示しない駆動機構によって回転駆動される。
【0016】第1アーム3の先端部内部には、第1固定
軸部32が配設され、この第1固定軸部32に第2プー
リー51が回転可能に環装されている。
軸部32が配設され、この第1固定軸部32に第2プー
リー51が回転可能に環装されている。
【0017】そして、この第2プーリー51と上記第1
プーリー50との間に第1タイミングベルト52が掛け
られている。
プーリー50との間に第1タイミングベルト52が掛け
られている。
【0018】第2プーリー51の上面側には、第2アー
ム4の元部が固定されている。また、上記第1固定軸部
32の上面側には、第3プーリー53が固定されてい
る。
ム4の元部が固定されている。また、上記第1固定軸部
32の上面側には、第3プーリー53が固定されてい
る。
【0019】第2アーム4の先端部内部には、第2固定
軸部41が配設され、この第2固定軸部41に第4プー
リー54が回転可能に環装されている。
軸部41が配設され、この第2固定軸部41に第4プー
リー54が回転可能に環装されている。
【0020】そして、この第4プーリー54と上記第3
プーリー53との間に第2タイミングベルト55が掛け
られている。
プーリー53との間に第2タイミングベルト55が掛け
られている。
【0021】第4プーリー54の上面側にはハンド5が
固定されている。
固定されている。
【0022】図3に示した構造において、第1アーム3
の回転軸部31が回転駆動されると、この回転軸部31
に対して第1プーリー50が相対的に回転することとな
り、この第1プーリー50の回転が第1タイミングベル
ト52を介して第2プーリー51に伝達され、これによ
り第2アーム4が第1アーム3の先端部を中心として回
転する。また、この第2アーム4の回転により、第2ア
ーム4に対して第3プーリー53が相対的に回転するこ
ととなり、この第3プーリー53の回転が第2タイミン
グベルト55を介して第4プーリー54に伝達され、こ
れによりハンド5が第2アーム4の先端部を中心として
回転する。なお、具体的な動作説明はしないが、公知の
ように、上記回転軸部31の回転駆動によりハンド5は
直線軌道上を移動する。
の回転軸部31が回転駆動されると、この回転軸部31
に対して第1プーリー50が相対的に回転することとな
り、この第1プーリー50の回転が第1タイミングベル
ト52を介して第2プーリー51に伝達され、これによ
り第2アーム4が第1アーム3の先端部を中心として回
転する。また、この第2アーム4の回転により、第2ア
ーム4に対して第3プーリー53が相対的に回転するこ
ととなり、この第3プーリー53の回転が第2タイミン
グベルト55を介して第4プーリー54に伝達され、こ
れによりハンド5が第2アーム4の先端部を中心として
回転する。なお、具体的な動作説明はしないが、公知の
ように、上記回転軸部31の回転駆動によりハンド5は
直線軌道上を移動する。
【0023】図3において、アーム支持台2の上端部2
4と第1アーム3の回転軸部31との間の摺動部、第1
アーム3と第2アーム4との間の摺動部、及び、第2ア
ーム4とハンド5との間の摺動部には、それぞれシール
部材56、57、58が配設されている。
4と第1アーム3の回転軸部31との間の摺動部、第1
アーム3と第2アーム4との間の摺動部、及び、第2ア
ーム4とハンド5との間の摺動部には、それぞれシール
部材56、57、58が配設されている。
【0024】各シール部材56、57、58は、環状の
ゴムにカーボン硬質膜をコーティングして構成される。
なお、ゴムの代わりにプラスチックを基材としてもよ
い。上述した伸縮保護カバー6と同様、カーボン硬質膜
には、高潤滑性、高撥水性、低発塵性等の作用効果があ
り、上記各摺動部における潤滑性及び撥水性が向上する
とともにクリーンルーム内での使用に最適なものとな
る。
ゴムにカーボン硬質膜をコーティングして構成される。
なお、ゴムの代わりにプラスチックを基材としてもよ
い。上述した伸縮保護カバー6と同様、カーボン硬質膜
には、高潤滑性、高撥水性、低発塵性等の作用効果があ
り、上記各摺動部における潤滑性及び撥水性が向上する
とともにクリーンルーム内での使用に最適なものとな
る。
【0025】なお、LMガイドの防塵カバー、ボールね
じの防塵カバー、ロボットアームの防塵カバーなどにカ
ーボン硬質膜をコーティングするようにしても、上記と
同様、高潤滑性、高撥水性等の作用効果を発揮できる。
じの防塵カバー、ロボットアームの防塵カバーなどにカ
ーボン硬質膜をコーティングするようにしても、上記と
同様、高潤滑性、高撥水性等の作用効果を発揮できる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
シール部材又は伸縮保護カバーをカーボン硬質膜でコー
ティングすることにより、摺動部における潤滑性及び撥
水性が向上し、クリーンルーム内での使用に最適な搬送
ロボットを提供することができるようになる。
シール部材又は伸縮保護カバーをカーボン硬質膜でコー
ティングすることにより、摺動部における潤滑性及び撥
水性が向上し、クリーンルーム内での使用に最適な搬送
ロボットを提供することができるようになる。
【図1】本発明の一実施形態に係る搬送ロボットの正面
図を示す。
図を示す。
【図2】伸縮保護カバーの取付構造を示す断面図であ
る。
る。
【図3】アーム支持台の上端部、各アーム及びハンドの
概略断面構造図を示す。
概略断面構造図を示す。
6 伸縮保護カバー 56、57、58 シール部材
Claims (1)
- 【請求項1】 摺動部にシール部材又は伸縮保護カバー
が配設される搬送ロボットにおいて、前記シール部材又
は前記伸縮保護カバーはカーボン硬質膜がコーティング
されてなるものであることを特徴とする搬送ロボットの
摺動部構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15261698A JPH11347982A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | 搬送ロボットの摺動部構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15261698A JPH11347982A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | 搬送ロボットの摺動部構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11347982A true JPH11347982A (ja) | 1999-12-21 |
Family
ID=15544281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15261698A Pending JPH11347982A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | 搬送ロボットの摺動部構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11347982A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000069601A1 (en) * | 1999-05-19 | 2000-11-23 | Brooks Automation, Inc. | Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly |
JP2005218641A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波プローブ |
JP2007136596A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Yaskawa Electric Corp | 防水機構つきロボット |
WO2008007516A1 (fr) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot à articulations multiples |
JP2008018480A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボットおよびそのロボットの移送方法と設置方法 |
WO2013156851A3 (en) * | 2012-02-08 | 2014-01-23 | Vanrx Pharmasystems, Inc. | Articulated arm apparatus and system |
US10155309B1 (en) * | 2017-11-16 | 2018-12-18 | Lam Research Corporation | Wafer handling robots with rotational joint encoders |
-
1998
- 1998-06-02 JP JP15261698A patent/JPH11347982A/ja active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000069601A1 (en) * | 1999-05-19 | 2000-11-23 | Brooks Automation, Inc. | Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly |
US6279412B1 (en) * | 1999-05-19 | 2001-08-28 | Brooks Automation, Inc. | Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly |
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JP4596375B2 (ja) * | 2006-07-11 | 2010-12-08 | 株式会社安川電機 | 多関節ロボット |
WO2013156851A3 (en) * | 2012-02-08 | 2014-01-23 | Vanrx Pharmasystems, Inc. | Articulated arm apparatus and system |
EP2812163A4 (en) * | 2012-02-08 | 2016-09-21 | Vanrx Pharmasystems Inc | JOINT ARM DEVICE AND SYSTEM THEREWITH |
EP2812163B1 (en) | 2012-02-08 | 2020-04-08 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Articulated arm apparatus and system |
US10857666B2 (en) | 2012-02-08 | 2020-12-08 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Method of manipulating pharmaceutical products with an articulated arm apparatus and system |
US11065759B2 (en) | 2012-02-08 | 2021-07-20 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Articulated arm apparatus |
US10155309B1 (en) * | 2017-11-16 | 2018-12-18 | Lam Research Corporation | Wafer handling robots with rotational joint encoders |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20040916 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040916 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041117 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20041117 |