KR100913188B1 - 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널지지장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 디스플레이 패널의 불량유무를 검사하는데 사용되는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블에 관한 것으로서, 얼라인먼트 스테이지 상측의 베이스 플레이트에 장착되는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블에 있어서, 상기 베이스 플레이트의 x축 방향의 양측에 y축 길이 방향으로 설치되고 상기 베이스 플레이트의 평면상에서 x축 방향으로 이동되는 x축 이동 모듈; 상기 베이스 플레이트의 y축 방향의 양측에 x축 길이 방향으로 설치되고 상기 베이스 플레이트의 평면상에서 y축 방향으로 이동되되, 이동시 상기 x축 이동 모듈과 간섭되지 않게 상기 x축 이동모듈로부터 z축 방향으로 이격된 y축 이동 모듈; 및 상기 x축 이동 모듈과 y축 이동 모듈이 교차되면서 형성되는 네 모서리 부분의 내측에 상기 x축 이동 모듈과 y축 이동 모듈에 슬라이딩 되게 설치되는 제 1 픽스 블록, 제 2 픽스 블록, 제 3 픽스 블록 및 제 4 픽스 블록으로 구성된 픽스 블록;을 포함하는 것을 특징이며, 하나의 워크테이블을 사용하여 여러 크기의 디스플레이 패널을 검사할 수 있는 효과 및 워크테이블의 작업공간을 최소화하여 작업공간의 활용도를 높이는 효과가 있으며, 워크테이블에 발생되는 진동을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
디스플레이 패널, 워크테이블, 픽스 블록, x축 이동모듈, y축 이동모듈
Description
본 발명은 디스플레이 패널의 불량유무를 검사하는데 사용되는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 상이한 크기의 디스플레이 패널을 한 워크테이블에서 검사할 수 있도록 하여 장비의 활용성을 극대화하는 한편, 종래보다 신속하게 검사를 진행할 수 있게 하는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블 다규격 패널 지지장치에 관한 것이다.
근래에는 디스플레이장치 중 부피가 작고 무게가 가벼운 평판형 디스플레이장치(PDP: Plasma Display Panel, LCD: Liguid Crystal Display)가 대중화되고 있으며, 평판형 디스플레이장치는 기술의 발달로 인해 화면의 크기는 점차 커지고 두께와 무게는 점차 작아지고 있다.
상기 평판형 디스플레이장치의 디스플레이 패널은 여러 단계의 제조공정을 거쳐 제조되고, 각 제조 공정을 거치면서 제조되는 디스플레이 패널은 각 공정을 지날 때마다 소정의 점등 테스트를 진행하여 항상 일정 수준 이상의 점등 상태를 유지할 수 있는 양질의 제품만이 다음 공정으로 진행될 수 있도록 하여 불량품이 출하되는 것을 방지하고 있다.
이와 같은 디스플레이 패널의 테스트 과정을 살펴보면, 테스트를 받을 디스플레이 패널은 작업자에 의해 지면에 대해 수평을 이루는 공급부에 공급된다. 디스플레이 패널이 공급된 공급부는 지면에 대해 경사진 각도(작업자가 테스트부에서 테스트되는 디스플레이 패널을 가장 정확하게 볼 수 있는 각도)로 경사지게 회동된다. 이송부는 공급부에 공급된 디스플레이 패널을 테스트부로 이동시킨다. 테스트부에서는 디스플레이 패널과 테스트부가 전기적으로 접속되고, 디스플레이 패널은 전기신호를 송수신함과 함께 백라이드가 점등되어 외부로 그 빛을 발산하게 된다. 이 과정에서 작업자는 육안으로 디스플레이 패널을 검사하여 디스플레이 패널의 색상, 불량 화소 등을 확인하여 디스플레이 패널의 불량 여부를 판정하게 된다.
또한, 카메라가 장착되는 챔버의 내측을 흑암 처리한 뒤 자동화에 의해 카메라로서 워크테이블의 상측에 장착되는 패널을 검사하게 된다.
이와 같은 기술과 관련된 패널검사장치중 워크테이블은 도 11에 도시된 바와 같이, 얼라인먼트 스테이지(Alignment Stage:미 도시됨) 상측 내부 중앙에 홀을 갖는 베이스 플레이트(1)가 장착되고, 베이스 플레이트(1)의 홀에 워크테이블(1)이 장착되며, 워크테이블(10)은 검사를 받는 디스플레이 패널의 크기에 대응되는 상이한 규격으로 다수를 준비하여 각각의 패널을 장착하여 검사를 수행하는 구성으로 이루어져 있다.
그러나 이러한 종래의 워크테이블은 디스플레이 패널의 규격에 따라 각각 상이한 규격을 갖는 워크테이블을 장착하기 위해 얼라인먼트 스테이지 상측에 각각의 워크테이블 크기에 대응하는 각각의 아답터를 준비해야만 된다. 따라서 각각의 아답터를 준비하는데 따른 비용이 필요한 것은 물론 각각의 베이스 플레이트를 보관하기 위한 별도의 보관 장소를 마련해야만 하는 문제가 있었다.
또한, 워크테이블을 얼라인먼트 스테이지에 조립 및 분해하는데 많은 시간이 필요하며, 이로 인해 디스플레이 패널을 검사하기 위한 시간이 지연되는 문제가 있었다.
상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 디스플레이 패널을 지지하는 각 변을 가변시키는 방법이 제안되어 사용되고 있으며, 이러한 제안에는 대한민국 등록특허 제786631호 '디스플레이 패널 또는 프로브 블록의 지지틀'이 있다.
상기 제안된 종래특허의 경우에는 디스플레이 패널을 지지하는 틀을 이동시킴으로 여러 규격의 디스플레이 패널을 하나의 워크테이블에서 검사를 진행할 수 있는 장점이 있으나, 각 틀이 이동하는데 필요한 공간을 확보하기 위해 워크테이블의 베이스 플레이트를 일정 크기 이상으로 제작하여야 하는 문제점과, 각각의 틀이 이동되면서 일측 단부가 고정되지 않은 관계로 상기 단부에 진동이 발생되어 디스플레이 패널의 검사에 지장을 주는 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명은 워크테이블을 디스플레이 패널의 크기에 맞게 가변시키므로 하나의 워크테이블을 이용하여 여러 규격의 디스플레이 패널을 검사할 수 있도록 하는 것이 목적이다.
또한, 디스플레이 패널을 검사하는데 필요한 장비를 간소화함으로 워크테이블을 디스플레이 패널의 크기에 맞게 가변시키는데 사용되는 시간을 절약할 수 있게 하여 디스플레이 패널의 불량유무를 검사하는데 드는 비용을 절감하여 디스플레이 패널의 생산비용을 절감하는 것이 목적이다.
또한, 워크테이블의 작업공간을 최소화하여 작업공간의 활용도를 높이는 것이 목적이며, 가변된 워크테이블에 진동이 발생되는 것을 최소화하여 디스플레이 패널을 정확하게 검사할 수 있도록 하는 것이 목적이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장 치용 워크테이블의 다규격 패널지지장치는 얼라인먼트 스테이지 상측의 베이스 플레이트에 장착되는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블에 있어서, 상기 베이스 플레이트의 x축 방향의 양측에 y축 길이 방향으로 설치되고 상기 베이스 플레이트의 평면상에서 x축 방향으로 이동되는 x축 이동 모듈; 상기 베이스 플레이트의 y축 방향의 양측에 x축 길이 방향으로 설치되고 상기 베이스 플레이트의 평면상에서 y축 방향으로 이동되되, 이동시 상기 x축 이동 모듈과 간섭되지 않게 상기 x축 이동모듈로부터 z축 방향으로 이격된 y축 이동 모듈; 및 상기 x축 이동 모듈과 y축 이동 모듈이 교차되면서 형성되는 네 모서리 부분의 내측에 상기 x축 이동 모듈과 y축 이동 모듈에 슬라이딩 되게 설치되는 제 1 픽스 블록, 제 2 픽스 블록, 제 3 픽스 블록 및 제 4 픽스 블록으로 구성된 픽스 블록;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 x축 이동 모듈은 상기 베이스 플레이트의 x축 방향의 일측에 구비되는 제 1 이동부와 상기 제 1 이동부와 대응되게 베이스 플레이트의 x축 방향의 타측에 구비되는 제 2 이동부를 포함하고, 상기 제 1 이동부와 제 2 이동부는 서로 독립적으로 구동되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 1 이동부는 상기 베이스 플레이트의 일측에 y축의 길이방향으로 구비된 제 1 이동 플레이트, 상기 제 1 이동 플레이트를 상기 베이스 플레이트의 x축 방향으로 안내하는 제 1 엘엠가이드, 상기 제 1 이동 플레이트를 x축 방향으로 이동시키는 제 1 볼스크류 및 상기 제 1 볼스크류에 동력을 공급하는 제 1 구동모터를 포함하고, 상기 제 2 이동부는 상기 제 1 이동 플레이트와 대응되게 상기 베이스 플레이트의 타측에 구비된 제 2 이동 플레이트, 상기 제 2 이동 플레이트를 상기 베이스 플레이트의 x축 방향으로 안내하는 제 2 엘엠가이드, 상기 제 2 이동 플레이트를 x축 방향으로 이동시키는 제 2 볼스크류 및 상기 제 2 볼스크류에 동력을 공급하는 제 2 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 y축 이동 모듈은 상기 베이스 플레이트의 y축 방향의 일측에 x축의 길이방향으로 구비된 제 3 이동 플레이트, 상기 제 3 이동 플레이트와 대응되게 베이스 플레이트의 y축 방향의 타측에 구비된 제 4 이동 플레이트, 상기 제 3 이동 플레이트와 제 4 이동 플레이트의 y축 방향으로 양측에서 안내하는 제 3 엘엠가이드 및 제 4 엘엠가이드, 상기 제 3 이동 플레이트와 제 4 이동 플레이트의 양측에서 y축 방향으로 이동시켜 제 3 이동 플레이트와 제 4 이동 플레이트가 이격 또는 근접되게 하는 제 3 볼스크류 및 제 4 볼스크류, 상기 제 3 볼스크류와 제 4 볼스크류에 동력을 공급하는 제 3 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 3 볼스크류에는 제 1 기어박스가 구비되고, 상기 제 4 볼스크류에는 제 2 기어박스가 구비되며, 상기 제 1 기어박스와 상기 제 2 기어박스는 샤프트로 연결되고, 상기 제 3 구동모터에 의해 상기 샤프트가 회전되면서 상기 제 1 기어박스와 제 2 기어박스에 의해 제 3 볼스크류와 제 4 볼스크류가 동일한 방향과 동일한 속도로 회전되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 1 이동 플레이트 상측에는 z축 방향으로 일정높이로 제 1 레일 플레이트가 설치되고, 상기 제 1 레일 플레이트에는 제 7 러너와 제 8 러너가 양측에 구비된 제 5 엘엠가이드가 구비되고, 상기 제 2 이동 플레이트의 상측에는 z축 방향으로 일정높이 이격되게 제 2 레일 플레이트가 설치되고, 상기 제 2 레일 플레이트에는 상기 제 5 엘엠가이드와 대응되게 양측에 제 9 러너와 제 10 러너가 구비된 제 6 엘엠가이드가 구비되며, 상기 제 7 러너에는 제 1 픽스 블록이 체결되고, 제 8 러너에는 제 2 픽스 블록이 체결되며, 제 9 러너에는 제 3 픽스 블록이 체결되고, 제 10 러너에는 제 4 픽스 블록이 체결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 3 이동플레이트의 양측에는 x축의 길이방향을 따라 제 7 엘엠가이드와 제 8 엘엠가이드가 구비되고, 상기 제 4 이동플레이트의 양측에는 x축의 길이방향을 따라 제 9엘엠가이드와 제 10 엘엠가이드가 구비되며, 상기 제 7 엘엠가이드에는 제 1 픽스 블록이 체결되고, 상기 제 8 엘엠가이드에는 제 2 픽스 블록이 체결되고, 상기 제 9 엘엠가이드에는 제 3 픽스 블록이 체결되고, 상기 제 10 엘엠가이드에는 제 4 픽스 블록이 체결되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치는 검사할 디스플레이 패널의 크기에 맞게 워크테이블을 가변시키므로 하나의 워크테이블을 사용하여 여러 크기의 디스플레이 패널을 검사할 수 있는 효과가 있으며, 이로 인해 워크테이블의 제작비용을 절약할 수 있어 디스플레이 패널을 생산하는데 필요한 비용을 절감시키는 효과가 있다.
또한, 워크테이블의 작업공간을 최소화하여 작업공간의 활용도를 높이는 효과가 있으며, 워크테이블에 발생되는 진동을 최소화하여 디스플레이 패널을 정확하게 검사할 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블 다규격 패널 지지장치에 대해 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치를 도시한 사시도, 도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치를 도시한 평면도, 도 3은 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 x축 이동모듈을 도시한 평면도, 도 4는 도 3에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 x축 이동모듈을 도시한 사시도, 도 5는 도 4에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 x축 이동모듈에 픽스 블록이 설치된 것을 도시한 사시도, 도 6은 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 y축 이동모듈을 도시한 평면도, 도 7은 도 6에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 y축 이동모듈을 도시한 사시도, 도 8은 도 7에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 y축 이동모듈에 픽스 블록이 설치된 것을 도시한 사시도, 도 9는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 x축 이동모듈과 y축 이동모듈이 내부로 이동된 상태를 도시한 사시도, 도 10은 도 9에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 x축 이동모듈과 y축 이동모듈이 외부로 이동된 상태를 도시한 사시도이다.
도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블 다규격 패널 지지장치는 내부에 중공부가 형성된 베이스 플레이트(900)와 상기 베이스 플레이트(900)의 x축과 y축 방향으로 이동되면서 검사할 디스플레이 패널(미 도시됨)의 네 모서리를 고정하는 픽스 블록(800)과 상기 픽스 블록(800)을 x축 방향으로 이동시키는 x축 이동모듈(100) 및 상기 픽스 블록(800)을 y축 방향으로 이동시키는 y축 이동모듈(400)로 구성된다.
도 3과 도 4를 참조하면, 상기 x축 이동모듈(100)은 베이스 플레이트(900)의 좌측에 설치되는 제 1 이동부(200)와 우측에 설치되는 제 2 이동부(300)로 구성된다.
상기 제 1 이동부(200)는 상기 베이스 플레이트(900)의 좌측에 y축 방향으로 구비되는 제 1 이동 플레이트(210)와, 상기 제 1 이동 플레이트(210)를 베이스 플레이트(900)의 x축 방향으로 안내하는 제 1 엘엠가이드(230), 상기 제 1 이동 플레이트(210)를 베이스 플레이트(900)의 x축 방향으로 이동시키는 제 1 볼스크류(220) 및 상기 제 1 볼스크류(220)에 동력을 공급하는 제 1 구동모터(223)로 구성된다.
상기 제 1 엘엠가이드(230)는 상기 제 1 이동 플레이트(210)의 양측을 지지하는 것으로서 베이스 플레이트(900)의 양측에 x축 방향으로 설치되는 제 1 레일(231)과 상기 제 1 레일(231)을 따라 이동되는 제 1 러너(232)로 구성되고, 상기 제 1 러너(232)는 상기 제 1 이동 플레이트(210)의 양측 단부에 체결된다.
상기 제 1 볼스크류(220)는 베이스 플레이트(900)의 평면상의 좌측 하측에 설치되는 것으로서, 일방향으로 회전되게 나사산이 형성된 제 1 스크류(221)와 상기 제 1 스크류(221)의 나사산을 따라 이동되게 체결되는 제 1 베어링 블록(222)으로 구성된다.
상기 제 1 베어링 블록(222)은 일측이 상기 제 1 이동 플레이트(210)의 하단부와 체결되고, 제 1 스크류(221)는 좌측 단부가 상기 제 1 구동모터(223)와 체결되어 제 1 구동모터(223)가 정/역 회전함에 따라 제 1 베어링 블록(222)을 x축 방향의 좌측 또는 우측으로 이동시킨다.
상기 제 2 이동부(300)는 상기 제 1 이동부(200)와 대향되는 것으로서, 상기 베이스 플레이트(900)의 우측에 y축 방향으로 구비되는 제 2 이동 플레이트(310)와, 상기 제 2 이동 플레이트(310)를 베이스 플레이트(900)의 x축 방향으로 안내하는 제 2 엘엠가이드(330), 상기 제 2 이동 플레이트(310)를 베이스 플레이트(900)의 x축 방향으로 이동시키는 제 2 볼스크류(320) 및 상기 제 2 볼스크류(320)에 동력을 공급하는 제 2 구동모터(323)로 구성된다.
상기 제 2 엘엠가이드(330)는 상기 제 2 이동 플레이트(310)의 양측을 지지하는 것으로서 베이스 플레이트(900)의 양측에 x축 방향으로 설치되는 제 2 레일(331)과 상기 제 2 레일(331)을 따라 이동되는 제 2 러너(332)로 구성되고, 상기 제 2 러너(332)는 상기 제 2 이동 플레이트(310)의 양측 단부에 결합된다.
상기 제 2 볼스크류(320)는 베이스 플레이트(900)의 평면상의 좌측 하측에 설치되는 것으로서, 일방향으로 회전되게 나사산이 형성된 제 2 스크류(321)와 상기 제 2 스크류(321)의 나사산을 따라 이동되게 체결되는 제 2 베어링 블록(322)으 로 구성된다.
상기 제 2 베어링 블록(322)은 일측이 상기 제 2 이동 플레이트(310)의 단부와 결합되고, 제 2 스크류(321)는 좌측 단부가 상기 제 2 구동모터(323)와 체결되어 제 2 구동모터(323)가 정/역 회전함에 따라 제 2 베어링 블록(322)을 x축 방향의 좌측 또는 우측으로 이동시킨다.
도 5를 참조하면, 상기에서 제 1 이동 플레이트(210)와 제 2 이동 플레이트(310)의 상측에는 일정높이의 이격 블록(110)이 설치되고, 상기 이격 블록(110)의 상측에는 제 1 레일 플레이트(240)와 제 2 레일 플레이트(340)가 각각 설치된다. 즉, 제 1 이동 플레이트(210)의 상측에는 제 1 레일 플레이트(240)가 설치되고 제 2 이동 플레이트(310)의 상측에는 제 2 레일 플레이트(340)가 설치된다.
상기 제 1 레일 플레이트(240)에는 디스플레이 패널이 고정되는 방향의 측면에 y축 방향을 따라 제 5 엘엠가이드(250)가 설치된다. 상기 제 5 엘엠가이드(250)는 제 1 레일 플레이트(240)의 측면에 설치되는 제 5 레일(251)과 상기 제 5 레일(251)의 양측에 이동가능하게 설치되는 제 7 러너(252) 및 제 8 러너(253)로 구성된다.
상기 제 2 레일 플레이트(340)에는 상기 제 1 레일 플레이트(240)의 제 5 엘엠가이드(250)와 마주보는 방향으로 제 6 엘엠가이드(350)가 설치된다. 상기 제 6 엘엠가이드(350)는 제 2 레일 플레이트(340)의 측면에 설치되는 제 6 레일(351)과 상기 제 6 레일(351)의 양측에 이동가능하게 설치되는 제 9 러너(352) 및 제 10 러너(353)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 제 1 레일 플레이트(240)와 제 2 레일 플레이트(340)의 제 7 러너(252) 내지 제 10 러너(353)에는 디스플레이 패널을 고정하는 픽스 블록(800)이 체결된다.
상기 픽스 블록(800)은 디스플레이 패널의 네 모서리를 압박하여 디스플레이 패널이 고정되게 하는 것으로서, 대향되는 디스플레이 패널의 모서리에 맞게 'ㄱ'자 형태로 제작되는 제 1 픽스 블록(810), 제 2 픽스 블록(820), 제 3 픽스 블록(830) 및 제 4 픽스 블록(830)으로 구성된다.
상기와 같이 구성된 픽스 블록(800) 중 제 1 픽스 블록(810)은 좌측면이 제 7 러너(252)와 체결되어 제 5 레일(251)을 따라 이동되고, 제 2 픽스 블록(820)은 좌측면이 제 8 러너(253)와 체결되어 제 5 레일(251)을 따라 이동되며, 제 3 픽스 블록(830)은 우측면이 제 9 러너(352)와 체결되어 제 6 레일(351)을 따라 이동 되고, 제 4 픽스 블록(830)은 우측면이 제 10 러너(353)와 체결되어 제 6 레일(351)을 따라 이동된다.
즉, x축 이동모듈(100) 중 제 1 이동부(200)에는 제 1 픽스 블록(810)과 제 2 픽스 블록(820)이 y축 방향으로 이동되게 체결되고, 제 2 이동부(300)에는 제 3 픽스 블록(830)과 제 4 픽스 블록(830)이 y축 방향으로 이동되게 체결되며, 제 1 이동부(200)와 제 2 이동부(300)의 이동에 따라 픽스 블록(800)은 전체적으로 x축 방향으로 이동된다.
도 6과 도 7을 참조하면, y축 이동모듈(400)은 상기 베이스 플레이트(900)의 y축 방향의 상측에 구비된 제 3 이동 플레이트(510), 상기 제 3 이동 플레이 트(510)와 대향되게 베이스 플레이트(900)의 y축 방향의 하측에 구비된 제 4 이동 플레이트(610), 상기 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)의 양측에 구비되어 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)를 y축 방향으로 안내하는 제 3 엘엠가이드(530) 및 제 4 엘엠가이드(630), 상기 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)를 양측에서 y축 방향으로 이동시켜 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)가 서로 이격 또는 근접되게 하는 제 3 볼스크류(520) 및 제 4 볼스크류(620), 상기 제 3 볼스크류(520)와 제 4 볼스크류(620)에 동력을 공급하는 제 3 구동모터(430)로 구성된다.
상기, 제 3 이동 플레이트(510)는 베이스 플레이트(900)의 상의 상측에 설치되는 것으로서, x축 방향을 따라 좌우로 연장되게 설치된다. 상기 제 4 이동 플레이트(610) 역시 상기 제 3 이동 플레이트(510)와 같이 베이스 플레이트(900)의 상에 설치는 것으로서 베이스 플레이트(900)의 하측에 설치되고 x축 방향을 따라 좌우로 연장되며, 제 3 이동 플레이트(510)와 대향되게 설치된다.
상기 제 3 엘엠가이드(530)는 상기 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)의 우측 단부에 설치되는 것으로서, 베이스 플레이트(900) 우측의 y축 방향으로 제 3 레일(531)이 설치되고, 상기 제 3 레일(531)의 상측에는 제 3 러너(532)가 설치되며, 제 3 레일(531)의 하측에는 제 4 러너(533)가 설치된다.
상기에서 제 3 엘엠가이드(530)의 제 3 러너(532)는 제 3 이동 플레이트(510)의 우측 단부에 체결되고, 제 4 러너(533)는 제 4 이동 플레이트(610)의 우측 단부에 체결되어 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)가 y축 방 향으로 이동될 수 있게 한다.
상기 제 4 엘엠가이드(630)는 상기 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)의 좌측 단부에 설치되는 것으로서, 베이스 플레이트(900)의 좌측 y축 방향으로 제 4 레일(631)이 설치되고, 상기 제 4 레일(631)의 상측에는 제 5 러너(632)가 설치되며, 제 4 레일(631)의 하측에는 제 6 러너(633)가 설치된다.
상기와 같이 구성된 제 4 엘엠가이드(630)의 제 5 러너(632)는 제 3 이동 플레이트(510)의 좌측 단부에 체결되고, 제 6 러너(633)는 제 4 이동 플레이트(610)의 좌측 단부에 체결되어 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)가 y축 방향으로 이동될 수 있게 한다.
상기 제 3 볼스크류(520)는 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)의 우측에 인접하는 베이스 플레이트(900)의 상면에 설치되는 것으로서, y축 방향을 따라 설치되고 나사산이 형성된 제 3 스크류(521)와 상기 제 3 스크류(521)의 상하 양측에 설치되는 제 3 베어링 블록(522) 및 제 4 베어링 블록(523)으로 구성된다.
상기에서 제 3 스크류(521)에 형성되는 나사산은 제 3 스크류(521)를 y축 방향으로 등 분할하는 지점을 중심으로 상측과 하측의 나사산이 서로 역방향으로 회전되게 형성되고, 상기 제 3 스크류(521)의 회전됨에 따라 제 3 스크류(521)와 체결된 제 3 베어링 블록(522)과 제 4 베어링 블록(523)은 서로 근접되게 이동되거나 이격되게 이동된다.
상기 제 4 볼스크류(620)는 상기 제 3 볼스크류(520)와 대향되게 설치되고 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)의 좌측에 인접하는 베이스 플레이트(900)의 상면에 설치되는 것으로서, y축 방향을 따라 설치되고 나사산이 형성된 제 4 스크류(621)와 상기 제 4 스크류(621)의 상하 양측에 설치되는 제 5 베어링 블록(622)과 제 6 베어링 블록(623)으로 구성된다.
상기에서 제 4 스크류(621)에 형성된 나사산은 제 3 스크류(521)에 형성된 나사산과 같이 제 4 스크류(621)를 y축 방향으로 등 분할하는 지점을 중심으로 상측과 하측의 나사산이 서로 역방향으로 회전되게 형성되고, 상기 제 4 스크류(621)의 회전에 따라 제 5 베어링 블록(622)과 제 6 베어링 블록(623)은 서로 근접되게 이동되거나 이격되게 이동된다.
상기와 같이 구성된 제 3 볼스크류(520)와 제 4 볼스크류(620)는 제 3 구동모터(430)에 의해 구동되는 것으로서, 제 3 구동모터(430)의 동력은 제 3 구동모터(430)에 구비된 구동풀리(431)에 의해 벨트(432)에 전달되고, 벨트(432)는 종동풀리(433)를 회전시키며, 종동풀리(433)는 제 1 기어박스(410)에 동력을 전달한다.
상기 제 1 기어박스(410)는 인접한 제 3 볼스크류(520)를 회전시키는 한편, 베이스 플레이트(900)의 좌측에 구비된 제 2 기어박스(420)와 샤프트(411)에 의해 동력전달 가능하게 연결되어 상기 샤프트(411)를 통해 제 2 기어박스(420)에 동력을 전달한다.
상기와 같이 제 1 기어박스(410)로부터 동력을 전달받은 제 2 기어박스(420)는 하측에 연결된 제 4 볼스크류(620)를 회전시키게 된다.
이때, 상기 제 1 기어박스(410)와 제 2 기어박스(420)는 제 3 볼스크류(520) 와 제 4 볼스크류(620)를 동일한 회전방향과 회전속도로 회전시키게 되므로 제 3 베어링 블록(522)과 제 5 베어링 블록(622)은 항시 y축 상에서 동일한 지점에 위치하게 되고, 제 4 베어링 블록(523)과 제 5 베어링 블록(622) 역시 항시 y축 상에서 동일한 지점에 위치하게 되며, 제 3 스크류(521)와 제 4 스크류(621)의 회전방향에 따라 y축 상에서 이동하게 된다.
상기와 같이 이동되는 제 3 볼스크류(520)와 제 4 볼스크류(620)에는 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)가 체결된다. 먼저, 제 3 이동 플레이트(510)의 좌측은 제 5 베어링 블록(622)과 체결되고 우측은 제 3 베어링 블록(522)과 체결된다.
제 4 이동 플레이트(610)는 좌측이 제 6 베어링 블록(623)과 체결되고 우측이 제 4 베어링 블록(523)과 체결된다. 따라서, 제 3 볼스크류(520)와 제 4 볼스크류(620)가 작동됨에 따라 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)는 서로 근접되게 이동되거나 이격되게 이동하게 된다.
도 8을 참조하면, 상기 제 3 이동 플레이트(510)의 상측에는 x축 방향으로 좌측에 제 7 엘엠가이드(440)가 설치되고 우측에는 제 8 엘엠가이드(450)가 설치되며, 상기 제 4 이동 플레이트(610)의 상측에는 x축 방향으로 좌측에 제 9 엘엠가이드(460)가 설치되고 우측에는 제 10 엘엠가이드(470)가 설치된다.
먼저, 제 7 엘엠가이드(440)는 제 3 이동 플레이트(510)의 좌측 상측에 x축 방향으로 설치되는 제 7 레일(441)과 상기 제 7 레일(441)을 따라 이동되는 제 11 러너(442)로 구성된다. 제 8 엘엠가이드(450)는 제 3 이동 플레이트(510)의 우측 상측에 x축 방향으로 설치되는 제 8 레일(451)과 상기 제 8 레일(451)을 따라 이동되는 제 12 러너(452)로 구성된다.
상기에서 제 7 레일(441)과 제 8 레일(451)은 제 3 이동 플레이트(510)의 내측면에 설치되는 것이 바람직하다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며 경우에 따라서는 상부 평면에 설치되어도 무방하고 측면과 평면에 동시에 설치되어도 무방하다.
제 9 엘엠가이드(460)는 제 4 이동 플레이트(610)의 좌측 상측에 x축 방향으로 설치되는 제 9 레일(461)과 상기 제 9 레일(461)을 따라 이동되는 제 13 러너(462)로 구성된다. 제 10 엘엠가이드(470)는 제 4 이동 플레이트(610)의 우측 상부에 x축 방향으로 설치되는 제 10 레일과 상기 제 10 레일을 따라 이동되는 제 14 러너(472)로 구성된다.
상기에서 제 9 레일(461)과 제 10 레일은 상기 제 8 레일(451)과 제 10 레일과 같이 제 4 이동 플레이트(610)의 측면에 설치되는 것이 바람직하다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며 경우에 따라서는 상부 평면에 설치되어도 무방하고 측면과 평면에 동시에 설치되어도 무방하다.
상기와 같이 구성된 y축 이동모듈(400)의 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)의 제 11 러너(442) 내지 제 14 러너(472)에는 디스플레이 패널을 고정하는 픽스 블록(800)이 체결된다.
상기 픽스 블록(800)은 상술한 바와 같이 제 1 픽스 블록(810), 제 2 픽스 블록(820), 제 3 픽스 블록(830) 및 제 4 픽스 블록(830)으로 구성되고, 제 1 픽스 블록(810)은 제 11 러너(442)와 체결되고, 제 2 픽스 블록(820)은 제 13 러너(462)와 체결되고, 제 3 픽스 블록(830)은 제 12 러너(452)와 체결되고, 제 4 픽스 블록(830)은 제 14 러너(472)와 체결된다.
상기에서 제 1 픽스 블록(810)은 제 7 레일(441)을 따라 x축 방향으로 이동되고, 제 2 픽스 블록(820)은 제 9 레일(461)을 따라 x축 방향으로 이동되며, 제 3 픽스 블록(830)은 제 8 레일(451)을 따라 x축 방향으로 이동되고, 제 4 픽스 블록(830)은 제 10 레일을 따라 x축 방향으로 이동하게 된다.
도 9와 도 10을 참조하면, 상기 설명된 x축 이동모듈(100)과 y축 이동모듈(400)은 서로 간섭되지 않게 x축 이동모듈(100)의 제 1 이동 플레이트(210)와 제 2 이동 플레이트(310)의 상측에 y축 이동모듈(400)의 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)가 설치된다.
또한, x축 이동모듈(100)에 설치된 제 5엘엠가이드와 제 6 엘엠가이드(350)와 y축 이동모듈(400)에 설치된 제 7 엘엠가이드(440) 내지 제 10 엘엠가이드(470)가 z축 방향으로 서로 이격되게 설치되므로 x축 이동모듈(100)과 y축 이동모듈(400)이 서로 이동하면서도 간섭이 되지 않게 된다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블 다규격 패널 지지장치의 작동을 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 상세히 설명하도록 한다.
도 1 내지 10을 참조하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블 다규격 패널 지지장치는 디스플레이 패널의 네 모서리를 픽스 블록(800)을 사용하여 고정하게 된다.
특정 크기의 디스플레이 패널을 검사하기 위해 디스플레이 패널의 네 모서리를 픽스 블록(800)이 고정할 수 있게 하기 위해서는 x축 이동모듈(100)과 y축 이동모듈(400)을 작동시킨다. 먼저, x축 이동모듈(100)의 작동을 설명하며, 디스플레이 패널의 좌측에 제 1 픽스 블록(810)과 제 2 픽스 블록(820)이 위치되게 하기 위해서는 제 1 이동부(200)의 제 1 구동모터(223)를 회전시킨다.
제 1 구동모터(223)가 회전되면, 제 1 볼스크류(220)의 제 1 스크류(221)가 회전되고, 제 1 스크류(221)에 회동가능하게 체결된 제 1 베어링 블록(222)은 제 1 스크류(221)를 따라 이동하게 된다. 이때, 제 1 베어링 블록(222)과 연결된 제 1 이동 플레이트(210)는 양측에 설치된 제 1 엘엠가이드(230)에 안내되어 x축 방향으로 이동되고, 제 1 이동 플레이트(210)의 상부 제 1 레일 플레이트(240)에 설치된 제 5 엘엠가이드(250)에 결합된 제 1 픽스 블록(810)과 제 2 픽스 블록(820)은 내부 일측면이 디스플레이 패널의 좌측에 접하게 된다.
제 3 픽스 블록(830)과 제 4 픽스 블록(830) 역시 상기 제 1 이동부(200)가 작동되어 제 1 픽스 블록(810)과 제 2 픽스 블록(820)이 이동되는 것과 같이 제 2 이동부(300)가 작동되므로 이동하게 된다. 제 2 이동부(300)의 작동을 설명하면, 베이스 플레이트(900)의 좌측 하단부에 설치된 제 2 구동모터(323)가 작동하면서 제 2 볼스크류(320)의 제 2 스크류(321)를 회전시키게 된다.
상기 제 2 스크류(321)가 회전되면 제 2 스크류(321)에 회동가능하게 설치된 제 2 베어링 블록(322)은 제 2 스크류(321)를 따라 이동하게 되고, 제 2 베어링 블 록(322)과 연결된 제 2 이동 플레이트(310)는 양측에 설치된 제 2 엘엠가이드(330)에 안내되어 x축 방향으로 이동하게 된다.
이때, 제 2 이동 플레이트(310)의 상부 제 2 레일 플레이트(340)에 설치된 제 6 엘엠가이드(350)에 결합된 제 3 픽스 블록(830)과 제 4 픽스 블록(830)은 내부 일측면이 디스플레이 패널의 우측에 접하게 된다.
상기와 같이 제 1 이동부(200)와 제 2 이동부(300)가 작동되므로 인해 검사하고자 하는 디스플레이 패널은 제 1 픽스 블록(810) 내지 제 4 픽스 블록(830)에 의해 좌측과 우측의 측면이 고정된다.
y축 이동모듈(400)의 작동을 살펴보면, 제 3 구동모터(430)가 정역 회전함에 따라 구동풀리(431)와 벨트(432) 및 종동풀리(433)를 통해 제 3 구동모터(430)의 동력이 제 1 기어박스(410)로 전달되고, 제 1 기어박스(410)와 샤프트(411)에 의해 연결된 제 2 기어박스(420)에도 제 1 기어박스(410)와 동일한 동력이 전달된다.
상기와 같이 제 3 구동모터(430)에 의해 발생된 동력을 전달받은 제 1 기어박스(410)와 제 2 기어박스(420)는 베이스 플레이트(900)의 우측과 좌측에 설치된 제 3 볼스크류(520)와 제 4 볼스크류(620)의 제 3 스크류(521)와 제 4 스크류(621)를 회전시킨다.
상기 제 3 스크류(521)와 제 4 스크류(621)가 회전되면, 상기 제 3 스크류(521)와 제 4 스크류(621)에 각각 회전되게 설치된 제 3 베어링 블록(522)과 제 4 베어링 블록(523) 및 제 5 베어링 블록(622)과 제 6 베어링 블록(623)은 서로 근접되게 이동되거나 이격되게 이동하게 된다.
이때, 제 3 이동 플레이트(510)는 좌측이 제 4 볼스크류(620)의 제 5 베어링 블록(622)에 고정되고 우측이 제 3 볼스크류(520)의 제 3 베어링 블록(522)에 고정되어 있고, 제 4 이동 플레이트(610) 역시 좌측이 제 4 볼스크류(620)의 제 6 베어링 블록(623)에 고정되고 우측이 제 3 볼스크류(520)의 제 4 베어링 블록(523)에 고정되어 있으므로, 상기 제 3 볼스크류(520)와 제 4 볼스크류(620)가 작동되면 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)는 서로 이격되거나 근접되게 이동하게 된다.
이와 같이 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610)가 이동하게 되면, 제 3 이동 플레이트(510)에 구비된 제 7엘엠가이드에 설치된 제 1 픽스 블록(810)과 제 8 엘엠가이드(450)에 설치된 제 3 픽스 블록(830)은 디스플레이 패널의 상측에 접하게 되고, 제 4 이동 플레이트(610)의 제 9 엘엠가이드(460)에 설치되는 제 2 픽스 블록(820)과 제 10 엘엠가이드(470)에 설치되는 제 4 픽스 블록(830)은 디스플레이 패널의 하측에 접하게 된다.
따라서, 상기 x축 이동모듈(100)과 y축 이동모듈(400)의 이동에 따라 제 1 픽스 블록(810) 내지 제 4 픽스 블록(830)이 이동하여 디스플레이 패널을 고정하게 된다.
상기와 같이 작동되는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블 다규격 패널 지지장치는 베이스 플레이트(900)를 기준으로 x축 이동모듈(100)인 제 1 이동 플레이트(210)와 제 2 이동 플레이트(310)가 베이스 플레이트(900)의 외부로 벗어나지 않고 작동되며, 양측 단부가 제 1 엘엠가이드(230)와 제 2 엘엠가이 드(330)에 의해 지지되므로 이동시 진동이 발생되는 것을 방지하는 장점이 있다.
또한, 제 3 이동 플레이트(510)와 제 4 이동 플레이트(610) 상기 제 1 이동 플레이트(210)와 제 2 이동 플레이트(310)와 같이 베이스 플레이트(900)의 외부로 벗어나지 않고 작동되는 한편, 양단부가 제 3 엘엠가이드(530)와 제 4 엘엠가이드(630)에 의해 지지되므로 작동중에 진동이 발생되는 것을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
따라서 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치는 종래의 워크테이블에 비해 작은 크기로 제작할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치를 도시한 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치를 도시한 평면도,
도 3은 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 x축 이동모듈을 도시한 평면도,
도 4는 도 3에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 x축 이동모듈을 도시한 사시도,
도 5는 도 4에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 x축 이동모듈에 픽스 블록이 설치된 것을 도시한 사시도,
도 6은 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 y축 이동모듈을 도시한 평면도,
도 7은 도 6에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 y축 이동모듈을 도시한 사시도,
도 8은 도 7에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 y축 이동모듈에 픽스 블록이 설치된 것을 도시한 사시도,
도 9는 도 1에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치의 x축 이동모듈과 y축 이동모듈이 내부로 이동된 상태를 도시한 사시도,
도 10은 도 9에 도시된 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치를 도시한 평면도,
도 11은 종래기술에 따른 워크테이블을 도시한 사시도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100: x축 이동모듈 200: 제 1 구동부
210: 제 1 이동 플레이트 220: 제 1 볼스크류
230: 제 1 엘엠가이드 240: 제 2 레일 플레이트
250: 제 5 엘엠가이드 300: 제 2 구동부
310: 제 1 이동 플레이트 320: 제 2 볼스크류
330: 제 2 엘엠가이드 340: 제 2 레일 플레이트
350: 제 6 엘엠가이드 400: y축 이동모듈
410: 제 1 기어박스 420: 제 2 기어박스
430: 제 3 구동모터 440: 제7 엘엠가이드
450: 제 8 엘엠가이드 460: 제 9 엘엠가이드
470: 제 10 엘엠가이드 510: 제 3 이동 플레이트
520: 제 3 볼스크류 530: 제 3 엘엠가이드
610: 제4 이동 플레이트 620: 제 4 볼스크류
630: 제 4 엘엠가이드 800: 픽스 블록
Claims (7)
- 얼라인먼트 스테이지 상측의 베이스 플레이트에 장착되는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블에 있어서,상기 베이스 플레이트의 일측에 y축의 길이방향으로 구비된 제 1 이동 플레이트, 상기 제 1 이동 플레이트를 상기 베이스 플레이트의 x축 방향으로 안내하는 제 1 엘엠가이드, 상기 제 1 이동 플레이트를 x축 방향으로 이동시키는 제 1 볼스크류 및 상기 제 1 볼스크류에 동력을 공급하는 제 1 구동모터를 구비하는 제 1 이동부와, 상기 제 1 이동 플레이트와 대응되게 상기 베이스 플레이트의 타측에 구비된 제 2 이동 플레이트, 상기 제 2 이동 플레이트를 상기 베이스 플레이트의 x축 방향으로 안내하는 제 2 엘엠가이드, 상기 제 2 이동 플레이트를 x축 방향으로 이동시키는 제 2 볼스크류 및 상기 제 2 볼스크류에 동력을 공급하는 제 2 구동모터를 구비하는 제 2 이동부를 포함하고, 상기 제 1 이동부와 제 2 이동부는 서로 독립적으로 구동되는 x축 이동 모듈;상기 베이스 플레이트의 y축 방향의 양측에 x축 길이 방향으로 설치되고 상기 베이스 플레이트의 평면상에서 y축 방향으로 이동되되, 이동시 상기 x축 이동 모듈과 간섭되지 않게 상기 x축 이동모듈로부터 z축 방향으로 이격된 y축 이동 모듈; 및상기 x축 이동 모듈과 y축 이동 모듈이 교차되면서 형성되는 네 모서리 부분의 내측에 상기 x축 이동 모듈과 y축 이동 모듈에 슬라이딩 되게 설치되는 제 1 픽스 블록, 제 2 픽스 블록, 제 3 픽스 블록 및 제 4 픽스 블록으로 구성된 픽스 블록;을 포함하며,상기 제 1 이동 플레이트 상측에는 z축 방향으로 일정높이로 제 1 레일 플레이트가 설치되고, 상기 제 1 레일 플레이트에는 제 7 러너와 제 8 러너가 양측에 구비된 제 5 엘엠가이드가 구비되고, 상기 제 2 이동 플레이트의 상측에는 z축 방향으로 일정높이 이격되게 제 2 레일 플레이트가 설치되고, 상기 제 2 레일 플레이트에는 상기 제 5 엘엠가이드와 대응되게 양측에 제 9 러너와 제 10 러너가 구비된 제 6 엘엠가이드가 구비되며, 상기 제 7 러너에는 제 1 픽스 블록이 체결되고, 제 8 러너에는 제 2 픽스 블록이 체결되며, 제 9 러너에는 제 3 픽스 블록이 체결되고, 제 10 러너에는 제 4 픽스 블록이 체결되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치.
- 삭제
- 삭제
- 제 1항에 있어서,y축 이동모듈은 상기 베이스 플레이트의 y축 방향의 일측에 x축의 길이방향으로 구비된 제 3 이동 플레이트, 상기 제 3 이동 플레이트와 대응되게 베이스 플레이트의 y축 방향의 타측에 구비된 제 4 이동 플레이트, 상기 제 3 이동 플레이트와 제 4 이동 플레이트의 양측에 구비되어 제 3 이동 플레이트와 제 4 이동 플레이트를 y축 방향으로 안내하는 제 3 엘엠가이드 및 제 4 엘엠가이드, 상기 제 3 이동 플레이트와 제 4 이동 플레이트를 양측에서 y축 방향으로 이동시켜 제 3 이동 플레이트와 제 4 이동 플레이트가 서로 이격 또는 근접되게 하는 제 3 볼스크류 및 제 4 볼스크류, 상기 제 3 볼스크류와 제 4 볼스크류에 동력을 공급하는 제 3 구동모터로 구성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블 다규격 패널 지지장치.
- 제 4항에 있어서,상기 제 3 볼스크류에는 제 1 기어박스가 구비되고, 상기 제 4 볼스크류에는 제 2 기어박스가 구비되며, 상기 제 1 기어박스와 상기 제 2 기어박스는 샤프트로 연결되고, 상기 제 3 구동모터에 의해 상기 샤프트가 회전되면서 상기 제 1 기어박스와 제 2 기어박스에 의해 제 3 볼스크류와 제 4 볼스크류가 동일한 방향과 동일한 속도로 회전되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블 다규격 패널 지지장치.
- 삭제
- 제 4항에 있어서,상기 제 3 이동플레이트의 양측에는 x축의 길이방향을 따라 제 7 엘엠가이드와 제 8 엘엠가이드가 구비되고, 상기 제 4 이동플레이트의 양측에는 x축의 길이방향을 따라 제 9엘엠가이드와 제 10 엘엠가이드가 구비되며, 상기 제 7 엘엠가이드에는 제 1 픽스 블록이 체결되고, 상기 제 8 엘엠가이드에는 제 2 픽스 블록이 체결되고, 상기 제 9 엘엠가이드에는 제 3 픽스 블록이 체결되고, 상기 제 10 엘엠가이드에는 제 4 픽스 블록이 체결되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블 다규격 패널 지지장치.
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