KR100816360B1 - 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구 - Google Patents
내모멘트 대책 정압기체 베어링기구 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100816360B1 KR100816360B1 KR1020060109323A KR20060109323A KR100816360B1 KR 100816360 B1 KR100816360 B1 KR 100816360B1 KR 1020060109323 A KR1020060109323 A KR 1020060109323A KR 20060109323 A KR20060109323 A KR 20060109323A KR 100816360 B1 KR100816360 B1 KR 100816360B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- rod
- gas bearing
- bearing
- static
- contact
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/007—Hybrid linear bearings, i.e. including more than one bearing type, e.g. sliding contact bearings as well as rolling contact bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/62—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions low pressure, e.g. elements operating under vacuum conditions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
- 베어링 하우징(9)의 내부를 축선방향으로 구동되는 로드(2)와, 상기 로드(2)의 축선방향의 2개소에 설치되고 상기 로드(2)를 공기층의 개재에 의해 비접촉으로 지지하는 제1 및 제2정압기체 베어링(31, 32)을 구비하고,상기 제1정압기체 베어링(31)은 상기 베어링 하우징(9)에 고정적으로 지지되고, 상기 제2정압기체 베어링(32)은 상기 베어링 하우징(9)에 가동지지기구(34)를 통해 변위가능하도록 지지되고,상기 가동지지기구(34)가 상기 제2정압기체 베어링(32)의 축심을 제1정압기체 베어링(31)에 대하여 변위시키는 엑츄에이터(35)와, 상기 엑츄에이터(35)를 구동하는 제어장치를 갖고 있고, 상기 로드(2)에 작용하는 부하에 따라 상기 제어장치로 상기 엑츄에이터(35)를 구동하고, 상기 제2정압기체 베어링(32)의 축심을 변위시킴으로써, 상기 로드(2)가 상기 양 정압기체 베어링(31, 32)과 접촉하는 것을 억제하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구.
- 제 1항에 있어서, 상기 로드(2)가 수평으로 배치되고 선단에 작업용기재를 갖는 작업용 로드이며,또한, 상기 제어장치가 상기 로드(2)의 제1정압기체 베어링(31)으로부터 돌출되는 부분의 중량과 상기 작업용기재에 작용하는 외력의 한쪽 또는 양쪽에 기인해서 상기 로드(2)에 작용하는 모멘트를 상기 부하로 하고, 이 부하를 상기 로드(2)의 구동 프로그램에 따라 연산하고, 그 연산결과에 기초해서 상기 엑츄에이터(35)를 구동하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 엑츄에이터(35)가 상기 제2정압기체 베어링(32)을 지지하는 수압부재(41)를 구비하고, 또한 상기 제어장치가 압력조정밸브로부터 상기 수압부재(41)의 양면측에 공급되는 유체압을 제어함으로써, 상기 수압부재(41)를 통해 상기 제2정압기체 베어링(32)의 위치를 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제1정압기체 베어링(31)의 양단부에 상기 로드(2)의 접촉을 검출하기 위한 접촉검출기(18)를 설치하고, 상기 제어장치에 상기 접촉검출기(18)로부터의 로드접촉신호에 기초해서 상기 로드(2)의 동작을 정지시키기 위한 제어기능을 갖게 한 것을 특징으로 하는 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 고정식의 상기 제1정압기체 베어링(31)이 로드(2)의 전방측에 설치되고, 변위식의 상기 제2정압기체 베어링(32)이 로드(2)의 후방측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제1 및 제2정압기체 베어링(31, 32)에 대하여 각각 공기층 형성용의 압축공기를 공급하기 위한 송기구(12, 38)와, 공급된 압축공기를 각 정압기체 베어링의 부근에 있어서 흡인에 의해 배출하기 위한 흡인구(13, 15)를 갖는 것을 특징으로 하는 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2005-00327822 | 2005-11-11 | ||
JP2005327822A JP4749123B2 (ja) | 2005-11-11 | 2005-11-11 | 耐モーメント対策静圧気体軸受機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070050823A KR20070050823A (ko) | 2007-05-16 |
KR100816360B1 true KR100816360B1 (ko) | 2008-03-24 |
Family
ID=38040881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060109323A KR100816360B1 (ko) | 2005-11-11 | 2006-11-07 | 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7802920B2 (ko) |
JP (1) | JP4749123B2 (ko) |
KR (1) | KR100816360B1 (ko) |
TW (1) | TWI300826B (ko) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1036794A1 (nl) | 2008-04-25 | 2009-10-27 | Asml Netherlands Bv | Robot for in-vacuum use. |
JP4876112B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2012-02-15 | 株式会社日立製作所 | すべり軸受装置 |
JP5805984B2 (ja) * | 2010-04-30 | 2015-11-10 | Thk株式会社 | 運動案内装置 |
KR100979479B1 (ko) | 2010-05-19 | 2010-09-02 | 윤계천 | 증기터빈 밸브용 정압 베어링 서보 실린더 |
JP6221549B2 (ja) * | 2013-09-19 | 2017-11-01 | 村田機械株式会社 | 接触検出部を備える磁気装置及び磁気装置のための接触検出方法 |
EP3376530B1 (en) | 2017-03-16 | 2019-08-14 | ATOTECH Deutschland GmbH | Automated substrate holder loading device |
JP7220556B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2023-02-10 | オイレス工業株式会社 | ワーク保持装置 |
US11566666B2 (en) * | 2019-03-20 | 2023-01-31 | Fanuc Corporation | Processing machine and pressure adjustment method |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6124817A (ja) | 1984-07-13 | 1986-02-03 | Disco Abrasive Sys Ltd | 静圧気体軸受装置 |
JPH0694033A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-04-05 | Yaskawa Electric Corp | 静圧気体軸受 |
JP2001140882A (ja) | 1999-11-09 | 2001-05-22 | Ntn Corp | 静圧気体軸受装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH343719A (fr) * | 1957-02-16 | 1959-12-31 | Genevoise Instr Physique | Dispositif pour compenser les déformations d'un élément de machine reposant sur des points fixes, sous l'effet de charges mobiles et de poids variables |
US3741247A (en) * | 1971-12-10 | 1973-06-26 | Automatic Switch Co | Fluidic pressure amplifier |
JPS5980520A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-10 | Canon Inc | 流体軸受装置 |
US4571129A (en) * | 1984-11-13 | 1986-02-18 | Erickson Tool Company | Mandrel assembly |
JP4091610B2 (ja) * | 1998-11-13 | 2008-05-28 | 特許機器株式会社 | 流体アクチュエータ及びこれを用いたハイブリッドアクチュエータ |
JP2002106563A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Toshiba Corp | 駆動装置 |
JP2002313885A (ja) * | 2001-04-13 | 2002-10-25 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
DE10106204A1 (de) * | 2001-02-10 | 2002-08-14 | Rieter Ingolstadt Spinnerei | Offenend-Spinnvorrichtung mit einem aerostatischen Radiallager für einen Spinnrotor |
JP3803070B2 (ja) * | 2002-05-09 | 2006-08-02 | 株式会社コガネイ | 流体圧シリンダ |
JP4479251B2 (ja) * | 2004-01-21 | 2010-06-09 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受装置 |
-
2005
- 2005-11-11 JP JP2005327822A patent/JP4749123B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-10-25 US US11/552,680 patent/US7802920B2/en active Active
- 2006-10-26 TW TW095139598A patent/TWI300826B/zh active
- 2006-11-07 KR KR1020060109323A patent/KR100816360B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6124817A (ja) | 1984-07-13 | 1986-02-03 | Disco Abrasive Sys Ltd | 静圧気体軸受装置 |
JPH0694033A (ja) * | 1992-09-07 | 1994-04-05 | Yaskawa Electric Corp | 静圧気体軸受 |
JP2001140882A (ja) | 1999-11-09 | 2001-05-22 | Ntn Corp | 静圧気体軸受装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070110347A1 (en) | 2007-05-17 |
US7802920B2 (en) | 2010-09-28 |
JP2007132466A (ja) | 2007-05-31 |
KR20070050823A (ko) | 2007-05-16 |
JP4749123B2 (ja) | 2011-08-17 |
TW200730740A (en) | 2007-08-16 |
TWI300826B (en) | 2008-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100816360B1 (ko) | 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구 | |
KR100825365B1 (ko) | 진공용 직선반송장치 | |
JP6636671B2 (ja) | バッファサポート機器なしで回転機器のシールを制御するための装置および方法 | |
JPH07111238A (ja) | 自重支持装置 | |
JP4170997B2 (ja) | 移送装置 | |
KR100526855B1 (ko) | 그라인더 가압장치 | |
EP1674198B1 (en) | Air balance structure | |
JP5050037B2 (ja) | 真空適用のための空気静力学的にガイドされたテーブル装置 | |
JP4182539B2 (ja) | 位置決め装置 | |
JP2001241439A (ja) | 静圧軸受を備えた移動装置 | |
US6279490B1 (en) | Epicyclic stage | |
JP2002303323A (ja) | 駆動装置 | |
US20020180159A1 (en) | Sealing device and positioning device using the same | |
JP3827495B2 (ja) | 静圧気体軸受装置 | |
JP4171666B2 (ja) | 直線運動及び回転運動可能なアクチュエータ | |
JP4268431B2 (ja) | 流体圧アクチュエータ | |
JP4106618B2 (ja) | 位置決め装置 | |
JP2007127160A (ja) | ロータリアクチュエータ | |
JP2002107479A (ja) | ステージ装置 | |
JP2005249079A (ja) | シールユニット | |
JP2004019760A (ja) | 静圧軸受 | |
JP2001219326A (ja) | 真空対応型スライド装置 | |
JP4859784B2 (ja) | ノズルユニット | |
JP2009121634A (ja) | エアシリンダ | |
JP4443778B2 (ja) | 流体圧アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130307 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140307 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150311 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160309 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170202 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180206 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190213 Year of fee payment: 12 |