JP6221549B2 - 接触検出部を備える磁気装置及び磁気装置のための接触検出方法 - Google Patents
接触検出部を備える磁気装置及び磁気装置のための接触検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6221549B2 JP6221549B2 JP2013193776A JP2013193776A JP6221549B2 JP 6221549 B2 JP6221549 B2 JP 6221549B2 JP 2013193776 A JP2013193776 A JP 2013193776A JP 2013193776 A JP2013193776 A JP 2013193776A JP 6221549 B2 JP6221549 B2 JP 6221549B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- shaped member
- contact
- magnetic
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 64
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 17
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 9
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 9
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
前記可動部と前記固定部は非接触に配置され、
前記可動部と前記固定部間の接触を検出する接触検出部を備え、
前記可動部と前記固定部の一方は、非磁性の絶縁体上に配置された磁気素子から成るヘッドであり、
前記可動部と前記固定部の他方は、永久磁石の列もしくは磁性体と非磁性体との列から成る棒状部材であり、
前記接触検出部は、
前記ヘッドの前記絶縁体の少なくとも両端に取り付けられている導電性部材と、
前記導電性部材と前記棒状部材間に電圧を加えると共に、前記導電性部材と前記棒状部材間を流れる電流からヘッドと棒状部材の接触を検出する接触検出回路、
とから成り、
前記接触検出回路は入力の一方に前記導電性部材が、他方に前記棒状部材が接続され、
前記導電性部材は、前記接触検出回路以外とは電気的に絶縁されており、
かつ前記導電性部材と前記棒状部材間のクリアランスが、前記ヘッドと前記棒状部材間のクリアランスの最小値となるようにされていることを特徴とする。
前記可動部と前記固定部間の接触を接触検出部により検出する接触検出方法であって、
前記可動部と前記固定部の一方は、非磁性の絶縁体上に配置された磁気素子から成るヘッドであり、
前記可動部と前記固定部の他方は、永久磁石の列もしくは磁性体と非磁性体との列から成る棒状部材であり、
前記接触検出部は、
前記ヘッドの前記絶縁体の少なくとも両端に取り付けられている導電性部材と、
入力の一方に前記導電性部材が、他方に前記棒状部材が接続されている接触検出回路とから成り、
前記導電性部材は、前記接触検出回路以外とは電気的に絶縁されており、
かつ前記導電性部材と前記棒状部材間のクリアランスが、前記ヘッドと前記棒状部材間のクリアランスの最小値となるようにされ、
前記導電性部材と前記棒状部材間に電圧を加えると共に、前記導電性部材と前記棒状部材間を流れる電流から、前記接触検出回路により、ヘッドと棒状部材の接触を検出する、磁気装置のための接触検出方法にある。
・ ヘッドを、前記棒状部材との相対位置を検出する検出ヘッドとすると、位置センサとなり、
・ ヘッドに、前記棒状部材と相対移動させる駆動コイルを設けると、リニアアクチュエータとなる。
前記可動部と前記固定部の他方は、永久磁石の列もしくは磁性体と非磁性体との列から成る棒状部材であり、
前記接触検出部は、
前記絶縁体に取り付けられている導電性部材と、
前記導電性部材と前記棒状部材間に電圧を加えると共に、前記導電性部材と前記棒状部材間を流れる電流からヘッドと棒状部材の接触を検出する接触検出回路、
とから成り、
前記導電性部材は、前記接触検出回路以外とは電気的に絶縁されており、
かつ前記導電性部材と前記棒状部材間のクリアランスが、前記ヘッドと前記棒状部材間のクリアランスの最小値となるようにされている。
前記可動部と前記固定部は非接触に配置され、
前記可動部と前記固定部間の接触を検出する接触検出部を備え、
前記可動部と前記固定部の一方は、非磁性で円筒状のボビンである絶縁体上に配置された磁気素子から成るヘッドであり、
前記可動部と前記固定部の他方は、永久磁石の列もしくは磁性体と非磁性体との列から成る、丸棒状でかつ前記ボビン内に挿通されている棒状部材であり、
前記接触検出部は、
前記ボビンの内面に設けられている非磁性の導電性膜から成る導電性部材と、
前記導電性部材と前記棒状部材間に電圧を加えると共に、前記導電性部材と前記棒状部材間を流れる電流からヘッドと棒状部材の接触を検出する接触検出回路、
とから成り、
前記導電性部材は、前記接触検出回路以外とは電気的に絶縁されており、
かつ前記導電性部材と前記棒状部材間のクリアランスが、前記ヘッドと前記棒状部材間のクリアランスの最小値となるようにされていることを特徴とする、磁気装置にある。この場合、無電解メッキ等で簡単に導電性膜を成膜できる。また導電性膜は非磁性なので、ヘッドのコイル、ホール素子等と、棒状部材との磁気相互作用を妨げない。非磁性の導電性膜は例えばAl膜、Cu膜等がある。導電性膜はボビンの内面全体に設けても良いが、コイル状、リング状等のパターンとしても良い。
・ ヘッド4等とロッド6等の接触を未然に検出でき、位置センサ2の摩耗と性能の低下及び故障を防止できる。
・ 金属リング20あるいは導電性膜40を設けることにより、簡単かつ正確にヘッド4等とロッド6等の接触を検出できる。
・ エアベアリング22を用いることにより、ヘッド4等とロッド6等を非接触で支持できる。
・ フォトカプラ38を用いることにより、ヘッド4等とロッド6等の接触による電流を正確に検出できる。
4 検出ヘッド
6 被検出ロッド
7,8 磁気マーク
10 駆動回路
12 接触検出回路
14 ボビン
16 励磁コイル
18 検出コイル
20 金属リング
22 エアベアリング
24 ハウジング
26 空気源
28 励磁回路
30 信号処理回路
32 出力部
34 直流電源
36 抵抗
38 フォトカプラ
40 導電性膜
41 リニアアクチュエータ
42 ロッド
43,44 永久磁石
45 駆動コイル
46 駆動回路
47 ヘッド
48 支柱
50 位置センサ
51 ベース
52 励磁コイル
54 磁石列
56 永久磁石
C1,C2 クリアランス
Claims (8)
- 可動部と固定部とを備え、かつ可動部と固定部間の磁気相互作用を用いる磁気装置であって、
前記可動部と前記固定部は非接触に配置され、
前記可動部と前記固定部間の接触を検出する接触検出部を備え、
前記可動部と前記固定部の一方は、非磁性の絶縁体上に配置された磁気素子から成るヘッドであり、
前記可動部と前記固定部の他方は、永久磁石の列もしくは磁性体と非磁性体との列から成る棒状部材であり、
前記接触検出部は、
前記ヘッドの前記絶縁体の少なくとも両端に取り付けられている導電性部材と、
前記導電性部材と前記棒状部材間に電圧を加えると共に、前記導電性部材と前記棒状部材間を流れる電流からヘッドと棒状部材の接触を検出する接触検出回路、
とから成り、
前記接触検出回路は入力の一方に前記導電性部材が、他方に前記棒状部材が接続され、
前記導電性部材は、前記接触検出回路以外とは電気的に絶縁されており、
かつ前記導電性部材と前記棒状部材間のクリアランスが、前記ヘッドと前記棒状部材間のクリアランスの最小値となるようにされていることを特徴とする、磁気装置。 - 前記絶縁体は円筒状のボビンであり、
前記棒状部材は丸棒状で、前記ボビン内に挿通され、
前記導電性部材は、前記ボビンの両端に設けられている金属リングである、ことを特徴とする、請求項1の磁気装置。 - 可動部と固定部とを備え、かつ可動部と固定部間の磁気相互作用を用いる磁気装置であって、
前記可動部と前記固定部は非接触に配置され、
前記可動部と前記固定部間の接触を検出する接触検出部を備え、
前記可動部と前記固定部の一方は、非磁性で円筒状のボビンである絶縁体上に配置された磁気素子から成るヘッドであり、
前記可動部と前記固定部の他方は、永久磁石の列もしくは磁性体と非磁性体との列から成る、丸棒状でかつ前記ボビン内に挿通されている棒状部材であり、
前記接触検出部は、
前記ボビンの内面に設けられている非磁性の導電性膜から成る導電性部材と、
前記導電性部材と前記棒状部材間に電圧を加えると共に、前記導電性部材と前記棒状部材間を流れる電流からヘッドと棒状部材の接触を検出する接触検出回路、
とから成り、
前記導電性部材は、前記接触検出回路以外とは電気的に絶縁されており、
かつ前記導電性部材と前記棒状部材間のクリアランスが、前記ヘッドと前記棒状部材間のクリアランスの最小値となるようにされていることを特徴とする、磁気装置。 - 前記接触検出回路は、前記導電性部材と前記棒状部材間の電流により発光するフォトカプラを備えている、ことを特徴とする、請求項1〜3のいずれかの磁気装置。
- 前記ボビンの両外側に、空気流により前記ヘッドと前記棒状部材とのクリアランスを保つエアベアリングが設けられている、ことを特徴とする、請求項1〜4のいずれかの磁気装置。
- 前記ヘッドは、前記棒状部材に対するヘッドの位置を検出する検出ヘッドで、
磁気装置は位置センサである、ことを特徴とする、請求項1〜5のいずれかの磁気装置。 - 前記ヘッドは、ヘッドと前記棒状部材とを相対移動させる駆動コイルを備え、
磁気装置はリニアアクチュエータである、ことを特徴とする、請求項1〜5のいずれかの磁気装置。 - 可動部と固定部とを備え、可動部と固定部間の磁気相互作用を用い、かつ可動部と固定部は非接触に配置されている磁気装置に対して、
前記可動部と前記固定部間の接触を接触検出部により検出する接触検出方法であって、
前記可動部と前記固定部の一方は、非磁性の絶縁体上に配置された磁気素子から成るヘッドであり、
前記可動部と前記固定部の他方は、永久磁石の列もしくは磁性体と非磁性体との列から成る棒状部材であり、
前記接触検出部は、
前記ヘッドの前記絶縁体の少なくとも両端に取り付けられている導電性部材と、
入力の一方に前記導電性部材が、他方に前記棒状部材が接続されている接触検出回路とから成り、
前記導電性部材は、前記接触検出回路以外とは電気的に絶縁されており、
かつ前記導電性部材と前記棒状部材間のクリアランスが、前記ヘッドと前記棒状部材間のクリアランスの最小値となるようにされ、
前記導電性部材と前記棒状部材間に電圧を加えると共に、前記導電性部材と前記棒状部材間を流れる電流から、前記接触検出回路により、ヘッドと棒状部材の接触を検出することを特徴とする、磁気装置のための接触検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013193776A JP6221549B2 (ja) | 2013-09-19 | 2013-09-19 | 接触検出部を備える磁気装置及び磁気装置のための接触検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013193776A JP6221549B2 (ja) | 2013-09-19 | 2013-09-19 | 接触検出部を備える磁気装置及び磁気装置のための接触検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015059835A JP2015059835A (ja) | 2015-03-30 |
JP6221549B2 true JP6221549B2 (ja) | 2017-11-01 |
Family
ID=52817483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013193776A Active JP6221549B2 (ja) | 2013-09-19 | 2013-09-19 | 接触検出部を備える磁気装置及び磁気装置のための接触検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6221549B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104792254A (zh) * | 2015-04-13 | 2015-07-22 | 中国核动力研究设计院 | 一种全密封泵推力轴承磨损量的在线监测装置及方法 |
JP6893819B2 (ja) * | 2017-04-06 | 2021-06-23 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2936359B2 (ja) * | 1991-08-21 | 1999-08-23 | 株式会社日立製作所 | 円筒型リニアモータおよびそれを搭載したエレベータ装置 |
DE20105050U1 (de) * | 2000-05-27 | 2001-06-28 | Papst Motoren Gmbh & Co Kg | Motoranordnung |
JP2005278359A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Rikogaku Shinkokai | スピンドルモータおよびスピンドルモータ装置 |
JP4749123B2 (ja) * | 2005-11-11 | 2011-08-17 | Smc株式会社 | 耐モーメント対策静圧気体軸受機構 |
WO2009041185A1 (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 円筒形リニアモータとその固定子製造方法 |
-
2013
- 2013-09-19 JP JP2013193776A patent/JP6221549B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015059835A (ja) | 2015-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9479134B2 (en) | Position detecting system | |
JP6014040B2 (ja) | リニアモータ装置、及び制御方法 | |
JP6305639B2 (ja) | 電流検出装置 | |
JP2015531461A5 (ja) | ||
JP6221549B2 (ja) | 接触検出部を備える磁気装置及び磁気装置のための接触検出方法 | |
JP2019002835A (ja) | ポジションセンサ | |
JP4787601B2 (ja) | 位置検出装置 | |
KR102071660B1 (ko) | 측정 물체의 비접촉 거리 및/또는 위치 결정을 위한 장치 및 센서 | |
JP6395942B2 (ja) | 位置センサー | |
JP2013055281A5 (ja) | ||
CN107112876B (zh) | 线性电机 | |
KR101402331B1 (ko) | 전자기유도 방식을 이용한 선형변위센서 및 이를 이용한 가동물체의 선형변위 측정시스템 | |
WO2019049652A1 (ja) | 変位検出装置 | |
CN112005122B (zh) | 电流传感器 | |
JP6778339B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP5409972B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP2009264992A (ja) | 誘導型近接センサ | |
JP2014163726A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2009225654A (ja) | 位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法 | |
JP2021043003A (ja) | 磁気式位置検出装置 | |
US11650081B2 (en) | Linear position sensing components | |
JP2016125940A (ja) | 位置検出装置 | |
JP7255196B2 (ja) | 移動体検出装置 | |
JP2010259205A (ja) | リニアモータ及びリニアモータユニット | |
JP5889766B2 (ja) | 入力装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170316 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170905 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170918 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6221549 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |