JPH10111257A - Equipment and method for surface inspection and manufacture of liquid crystal display device - Google Patents
Equipment and method for surface inspection and manufacture of liquid crystal display deviceInfo
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- JPH10111257A JPH10111257A JP8331803A JP33180396A JPH10111257A JP H10111257 A JPH10111257 A JP H10111257A JP 8331803 A JP8331803 A JP 8331803A JP 33180396 A JP33180396 A JP 33180396A JP H10111257 A JPH10111257 A JP H10111257A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子デバイス用素
子、半導体素子、液晶表示装置などの表面状態を検査す
る際に適する表面検査装置及びその方法と、この方法を
用いた液晶表示装置の製造方法に関する。更に詳しくい
えば、この発明はこの検査における検出感度を向上する
光学系に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface inspection apparatus and method suitable for inspecting the surface condition of an element for an electronic device, a semiconductor element, a liquid crystal display, and the like, and a method of manufacturing a liquid crystal display using the method. About the method. More specifically, the present invention relates to an optical system for improving the detection sensitivity in this inspection.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示装置の表示面（以下、被検査体
と記す）を例に、特開平6-43127 号公報に示されている
表面検査装置の説明をする。以下に説明する装置におい
ては、披検査体表面に純水の水蒸気を結露させ、被検査
体表面の僅かな汚れや表面状態の違いである欠陥を、こ
の結露状態の相違により検出するところの、いわゆる呼
気像法を採用している。2. Description of the Related Art A surface inspection apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-43127 will be described with reference to a display surface of a liquid crystal display device (hereinafter referred to as an object to be inspected) as an example. In the device described below, pure water vapor is condensed on the surface of the inspection object, and a defect that is a slight dirt on the surface of the inspection object or a difference in the surface state is detected based on the difference in the condensation state. The so-called breath image method is adopted.
【０００３】図５７及び図５８を用いて、この呼気像法
の原理を説明する。図５７において、検査すべき被検査
体６１は、ノズル６２から放出される純水の水蒸気６３
にさらされ、その結果曇り６４の像である呼気像を生じ
る。図５８は図５７における曇りの一部を拡大して示し
ている。被検査体３１の表面に汚れ、傷、その他の表面
状態のムラがあると、曇り６４におけるムラのある部位
６５での水滴６６の存在密度と、その他の部分での水滴
６６の存在密度とは、わずかに異なる。The principle of the breath image method will be described with reference to FIGS. 57 and 58. In FIG. 57, the inspection object 61 to be inspected is pure water vapor 63 discharged from the nozzle 62.
, Resulting in a breath image which is a cloudy 64 image. FIG. 58 shows a part of the fogging in FIG. 57 in an enlarged manner. If the surface of the inspection object 31 has dirt, scratches, or other irregularities in the surface state, the density of the water droplets 66 at the uneven portion 65 in the cloudiness 64 and the density of the water droplets 66 in the other portions are as follows. , Slightly different.
【０００４】そこで、ムラのある部位６５とその他の部
分とでの水滴６６の存在密度が異なることを利用して観
察を行う。即ち、ムラのある部位６５を全体として観察
した場合には、光の透過率、光の散乱の状態が、その他
の部分と異なるために、ムラのある部位６５とその他の
部分とは目視によって明確に区別することができる。そ
して前記の結露を生じさせること無く被検査体６１の表
面での光の反射や散乱によって被検査体６１の表面を観
察するよりも、遥かに高感度で被検査体６１の表面の汚
れ、傷や斑点等の表面状態のムラを検出することができ
る。Therefore, observation is performed by utilizing the fact that the density of water droplets 66 is different between a portion 65 having unevenness and another portion. That is, when the uneven portion 65 is observed as a whole, the light transmittance and the light scattering state are different from those of the other portions. Therefore, the uneven portion 65 and the other portions are clearly visible. Can be distinguished. Dirt and scratches on the surface of the test object 61 are much more sensitive than observation of the surface of the test object 61 by reflection or scattering of light on the surface of the test object 61 without causing the aforementioned dew condensation. Unevenness of the surface state such as spots and spots can be detected.
【０００５】以上のような現象を用いて、被検査体６１
の表面を検査する表面検査装置を図５９及び図６０に示
す。図５９は、この従来の技術における分解斜視図であ
り、図６０は、その縦断面図である。ここでは被検査体
６１を液晶表示装置に用いられる、ガラス基板の例で説
明をする。By using the above-described phenomena, the inspection object 61
FIGS. 59 and 60 show a surface inspection apparatus for inspecting the surface of FIG. FIG. 59 is an exploded perspective view of this conventional technique, and FIG. 60 is a longitudinal sectional view thereof. Here, the test object 61 will be described using an example of a glass substrate used for a liquid crystal display device.
【０００６】ローラコンベア６７は、図５９の矢印の方
向に被検査体６１を搬送する。そして、内部を高湿度に
保持した蒸気室６８には、その下面に被検査体６１の観
察領域とほぼ一致する形状の開口部６９がローラコンベ
ア６７により搬送される被検査体６１の上面の上方に設
けられている。The roller conveyor 67 conveys the test object 61 in the direction of the arrow in FIG. An opening 69 having a shape substantially coincident with the observation area of the inspection object 61 is provided on the lower surface of the steam chamber 68 whose inside is kept at a high humidity above the upper surface of the inspection object 61 conveyed by the roller conveyor 67. It is provided in.
【０００７】蒸気室６８の内部には、温度センサ７０、
湿度センサ７１、ヒータ７２がそれぞれ設けてある。ヒ
ータ７２で蒸気室６８の内部を加熱したときの温度セン
サ７０、湿度センサ７１の出力に基づき、水蒸気供給量
や蒸気室６８の内部の湿度及び温度を制御する。そし
て、被検査体６１の表面温度より高温で、且つ飽和蒸気
圧近傍で、蒸気圧を安定させるようにしている。[0007] Inside the steam chamber 68, a temperature sensor 70,
A humidity sensor 71 and a heater 72 are provided. Based on the outputs of the temperature sensor 70 and the humidity sensor 71 when the inside of the steam chamber 68 is heated by the heater 72, the steam supply amount and the humidity and temperature inside the steam chamber 68 are controlled. The vapor pressure is stabilized at a temperature higher than the surface temperature of the test object 61 and near the saturated vapor pressure.
【０００８】図６０には、蒸気を蒸気室６８に供給する
ための機構の一例を示す。純水７４を収納している蒸気
発生源である蒸気発生器７５の内部には、赤外線ランプ
７６が設置されている。この赤外線ランプ７６の出力を
調整することによって、超微小（平均３０μｍ以下、好
ましくは平均１μｍ以下）の直径を有する水蒸気を発生
させることができる。この水蒸気は、送風口７７からの
空気の導入によって、空気の流れ方向を調節するための
調節板７８を介して蒸気室６８に導入される。再加熱板
７９は、蒸気の導入経路において、水蒸気の直径が望ま
しい範囲を越えるのを防ぐように蒸気を再加熱するため
に設置されている。そして蒸気室６８に設けられた排気
口７３は、余剰な蒸気を蒸気室６８の外に排出すること
により、蒸気室６８の中の蒸気の状態を一層安定に保
つ。FIG. 60 shows an example of a mechanism for supplying steam to the steam chamber 68. An infrared lamp 76 is provided inside a steam generator 75 which is a steam generation source containing the pure water 74. By adjusting the output of the infrared lamp 76, it is possible to generate water vapor having a very small diameter (30 μm or less on average, preferably 1 μm or less on average). The water vapor is introduced into the steam chamber 68 via an adjusting plate 78 for adjusting the flow direction of the air by introducing air from the air outlet 77. The reheating plate 79 is provided to reheat the steam so that the diameter of the steam does not exceed a desired range in the steam introduction path. The exhaust port 73 provided in the steam chamber 68 discharges surplus steam to the outside of the steam chamber 68 to keep the state of the steam in the steam chamber 68 more stable.
【０００９】また、蒸気室６８の天井面には、画像を取
込むための透光性を有する部材で塞がれた観測窓８０が
設けられている。蒸気室６８の内部には、被検査体６１
の表面を照明するための光源８１が設けられている。更
に観察窓８０の上方には、被検査体６１を撮像するため
のカメラ、ラインセンサやエリアセンサ等の画像入力装
置８２が設けられている。On the ceiling of the steam chamber 68, an observation window 80 is provided which is closed by a translucent member for taking in an image. The test object 61 is provided inside the steam chamber 68.
Is provided with a light source 81 for illuminating the surface. Further, above the observation window 80, an image input device 82 such as a camera for capturing an image of the inspection object 61, a line sensor, an area sensor, or the like is provided.
【００１０】この様な構成の表面検査装置により、被検
査体６１の検査は次のようにして行われる。まず、ロー
ラコンベア６７は定速で運転するように制御されている
ために、被検査体６１は蒸気室６８の下面に設けられて
いる開口部６９がローラコンベア６７の運転速度で定め
られる一定時間の間に通過する。The inspection of the inspection object 61 is performed as follows by the surface inspection apparatus having such a configuration. First, since the roller conveyor 67 is controlled so as to operate at a constant speed, the inspection object 61 has an opening 69 provided on the lower surface of the steam chamber 68 for a predetermined time determined by the operation speed of the roller conveyor 67. Pass between.
【００１１】一方蒸気室６８の内部は、上述したように
所定の温度及び湿度に制御されることにより、ほぼ飽和
蒸気圧に保たれている。この蒸気室６８の下面に設けら
れている開口部６９をローラコンベア６７上の被検査体
６１が通過するとき、被検査体６１は、当初は表面の温
度がほぼ室温に保たれているために、被検査体６１の表
面付近の蒸気雰囲気は過飽和状態となる。その結果、被
検査体６１の表面には呼気像８３が形成される。On the other hand, the inside of the steam chamber 68 is maintained at a substantially saturated vapor pressure by controlling the temperature and the humidity to the predetermined values as described above. When the test object 61 on the roller conveyor 67 passes through the opening 69 provided on the lower surface of the steam chamber 68, the test object 61 initially has a surface temperature substantially maintained at room temperature. Then, the steam atmosphere near the surface of the test object 61 becomes supersaturated. As a result, a breath image 83 is formed on the surface of the subject 61.
【００１２】ここで呼気像８３の形成速度は、蒸気室６
８の内部の湿度や温度に依存する。この表面検査装置に
おいては数秒で被検査体６１の観察領域全面が結露し、
呼気像８３は徐々に濃くなる。しかしやがて被検査体６
１の温度が上昇して蒸気雰囲気の過飽和状態を脱し、今
度は呼気像８３が徐々に消滅していくこととなる。Here, the formation speed of the breath image 83 depends on the steam chamber 6
8 depends on the humidity and temperature inside. In this surface inspection apparatus, the entire observation area of the inspection object 61 is dewed in a few seconds,
The breath image 83 gradually becomes darker. However, the object 6 to be inspected soon
The temperature of 1 rises to escape the supersaturated state of the vapor atmosphere, and this time the breath image 83 gradually disappears.
【００１３】この過程は画像入力装置８２によって撮像
される。そして画像入力装置７２により得られた画像
は、画像処理装置７４に送られる。呼気像８３がムラを
持つのか否かは、画像処理装置８４での処理結果に基づ
いて判断される。This process is imaged by the image input device 82. The image obtained by the image input device 72 is sent to the image processing device 74. Whether or not the breath image 83 has unevenness is determined based on the processing result of the image processing device 84.
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような構成の従来の表面検査装置では、以下に述べる
ような問題点が発生してくる。図６１は従来の表面検査
装置に用いられている、光源からの光を照射する光学装
置の一例である。上述した従来例では、光源８１から直
接に被検査体６１を照明しているが、光ファイバで光を
導いて照明すると局部的に照明できるため、光ファイバ
を用いることが度々なされてきた。ここでは、説明を簡
単にするために、画像入力装置８２、光源８１と被検査
体６１のみを図６１に示す。However, the conventional surface inspection apparatus having the above-described structure has the following problems. FIG. 61 shows an example of an optical device for irradiating light from a light source used in a conventional surface inspection apparatus. In the above-described conventional example, the test object 61 is illuminated directly from the light source 81. However, if light is guided and illuminated by an optical fiber, local illumination can be performed. Therefore, an optical fiber is often used. Here, in order to simplify the description, FIG. 61 shows only the image input device 82, the light source 81, and the inspection object 61.
【００１５】光源８１から出射した光は、導光手段であ
る光ファイバアレイ８５を通して被検査体８１に照射さ
れ、呼気像法によりムラのある部位６５を判別するため
に用いられる。従来は光ファイバアレイ８５からの光
は、矢印で示す被検査体６１の進行方向に対して平行の
角度から被検査体６１に光を照射していた。The light emitted from the light source 81 is applied to the test object 81 through an optical fiber array 85 as a light guide means, and is used to determine a portion 65 having unevenness by a breath image method. Conventionally, light from the optical fiber array 85 irradiates the test object 61 from an angle parallel to the traveling direction of the test object 61 indicated by an arrow.
【００１６】しかし、液晶表示装置に用いられるガラス
基板において、特に配向膜が形成された基板８６（ラビ
ングがなされた膜）のような、表面に溝を有する物体に
ついては、この溝の欠陥の検査をする必要がある。この
際に従来の装置を用いて、呼気像法によりこの溝の欠陥
の検査を行う場合には、微細な欠陥を検出することがで
きないために正確な検査を行うことができなかった。欠
陥からの反射光と正常部分からの反射光との強度の違い
が無かったことにより欠陥の検出ができなかったからで
ある。この検査では、図６２に示すように、配向膜が形
成された基板８６（ラビングがなされた膜）の表面に対
して直接に光を照射する。However, in the case of a glass substrate used for a liquid crystal display device, particularly for an object having a groove on its surface, such as a substrate 86 (rubbed film) on which an alignment film is formed, inspection for defects in the groove is performed. Need to do. At this time, when a defect of the groove is inspected by a breath image method using a conventional apparatus, an accurate inspection cannot be performed because a minute defect cannot be detected. This is because the defect could not be detected because there was no difference in intensity between the light reflected from the defect and the light reflected from the normal part. In this inspection, as shown in FIG. 62, light is directly applied to the surface of the substrate 86 (rubbed film) on which the alignment film is formed.
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記したよう
な技術的課題を解決するためになされたものであり請求
項１乃至請求項１１、請求項１８乃至請求項２４及び請
求項２９乃至請求項３４によると、光を出射する照明手
段と、この照明手段からの光を前記被検査体に導びく導
光手段と、前記被検査体を容器内に搬入する搬入手段
と、前記被検査体の表面温度に対して過飽和な湿度をも
つ蒸気を発生し前記容器内に導入する蒸気発生手段と、
前記被検査体の表面に前記気体に引き起こされた結露に
より形成される像を受光して撮像する撮像手段と、前記
撮像の結果に基づき前記被検査体の表面の欠陥を検査す
る検査手段とを具備する表面検査装置において、前記導
光手段は、前記撮像手段における受光面に垂直で且つ前
記被検査体に垂直な平面に対して０度より大きく３６０
度より小さい所定角度で前記被検査体に光を照射するこ
とを特徴とすることを特徴とする表面検査装置及びこの
表面検査装置に具現化された表面検査方法、並びにこの
表面検査方法を工程中に具備する液晶表示装置の製造方
法を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned technical problems, and has been made in claims 1 to 11, 18 to 24 and 29 to 29. According to Claim 34, an illuminating means for emitting light, a light guiding means for guiding light from the illuminating means to the object to be inspected, a carrying means for carrying the object to be inspected into a container, and the inspecting means Steam generating means for generating steam having a supersaturated humidity with respect to the body surface temperature and introducing the steam into the container;
Imaging means for receiving and imaging an image formed on the surface of the inspection object by the dew caused by the gas, and inspection means for inspecting a defect on the surface of the inspection object based on a result of the imaging. In the surface inspection apparatus provided, the light guide means is greater than 0 degrees by 360 degrees with respect to a plane perpendicular to the light receiving surface of the imaging means and perpendicular to the inspection object.
Irradiating the object to be inspected with a light at a predetermined angle smaller than degree, a surface inspection apparatus, a surface inspection method embodied in the surface inspection apparatus, and a method for performing the surface inspection method. The present invention provides a method for manufacturing a liquid crystal display device provided in the above.
【００１８】このような表面検査装置、表面検査方法及
び液晶表示装置の製造方法によると呼気像からの散乱光
を確実に受光することができる。よって高いＳ／Ｎで呼
気像法による被検査体の良好な検査をすることができ、
その結果正確な検査が可能となるため、最終製品たる液
晶表示装置の歩留まりの向上に寄与できる。According to such a surface inspection apparatus, a surface inspection method, and a method of manufacturing a liquid crystal display device, scattered light from a breath image can be reliably received. Therefore, it is possible to perform a good inspection of the test object by the breath image method at a high S / N,
As a result, accurate inspection becomes possible, which can contribute to an improvement in the yield of the liquid crystal display device as a final product.
【００１９】そして、特に請求項３乃至請求項６による
と光ファイバアレイを用いることによって、均一な強度
分布を持つ光を被検査体に照射することにより、正確な
検査を実現している。According to the third to sixth aspects of the present invention, accurate inspection is realized by irradiating the object to be inspected with light having a uniform intensity distribution by using the optical fiber array.
【００２０】また、本発明は請求項１２乃至請求項１
７、請求項２５乃至請求項２８及び請求項３５乃至請求
項４０によると、光を出射する照明手段と、この照明手
段からの光を平面を有する被検査体に導びく導光手段
と、前記被検査体を容器内に搬入する搬入手段と、蒸気
を発生し前記容器内に導入する蒸気発生手段と、前記被
検査体の表面に前記蒸気が結露することによって形成さ
れる像を受光して撮像する撮像手段と、前記撮像の結果
に基づき前記被検査体の表面の欠陥を検査する検査手段
とを具備する表面検査装置において、前記撮像手段は、
前記導光手段により集光がなされている集光点を含む、
前記被検査体に垂直な平面に対して０度より大きく１８
０度より小さい所定角度又は１８０度より大きく３６０
度より小さい所定角度で、前記像の形成された前記被検
査体を撮像することを特徴とする表面検査装置及びこの
表面検査装置に具現化された表面検査方法、並びにこの
表面検査方法を工程中に具備する液晶表示装置の製造方
法を提供するものである。Further, the present invention relates to claims 12 to 1.
According to the seventh, twenty-fifth to twenty-eighth and thirty-fifth to forty-fourth aspects, an illuminating means for emitting light, a light guiding means for guiding light from the illuminating means to an object having a flat surface, Carrying-in means for carrying the test object into the container, steam generating means for generating vapor and introducing the vapor into the container, and receiving an image formed by condensation of the vapor on the surface of the test object. In a surface inspection apparatus that includes an imaging unit that captures an image and an inspection unit that inspects a defect on a surface of the inspection object based on a result of the imaging, the imaging unit includes:
Including a light-collecting point where light is condensed by the light-guiding means,
18 degrees greater than 0 degrees with respect to a plane perpendicular to the test object
A predetermined angle smaller than 0 degrees or 360 larger than 180 degrees
A surface inspection apparatus characterized in that the object to be inspected on which the image is formed is imaged at a predetermined angle smaller than a degree; a surface inspection method embodied in the surface inspection apparatus; The present invention provides a method for manufacturing a liquid crystal display device provided in the above.
【００２１】このような表面検査装置、表面検査方法及
び液晶表示装置の製造方法によると呼気像からの散乱光
を確実に受光することができる。よって高いＳ／Ｎで呼
気像法による被検査体の良好な検査をすることができ、
その結果正確な検査が可能となるため、最終製品たる液
晶表示装置の歩留まりの向上に寄与できる。According to the surface inspection apparatus, the surface inspection method, and the method for manufacturing the liquid crystal display device, it is possible to reliably receive the scattered light from the breath image. Therefore, it is possible to perform a good inspection of the test object by the breath image method at a high S / N,
As a result, accurate inspection becomes possible, which can contribute to an improvement in the yield of the liquid crystal display device as a final product.
【００２２】そして、特に請求項１４によると光ファイ
バアレイを用いることによって、均一な強度分布を持つ
光を被検査体に照射することにより、正確な検査を実現
している。According to the fourteenth aspect of the present invention, an accurate inspection is realized by irradiating the inspection object with light having a uniform intensity distribution by using the optical fiber array.
【００２３】[0023]
＜第１の実施の形態＞以上のような現象を用いて、被検
査体１の表面を検査する表面検査装置を図１及び図２に
示す。図１は、本発明の第１の実施の形態における概略
構成図であり、図２は、その縦断面図である。ここでは
被検査体１を液晶表示装置に用いる配向膜が形成された
基板などの表面に微小な溝を有する物体とした例で説明
をする。<First Embodiment> FIGS. 1 and 2 show a surface inspection apparatus for inspecting the surface of a device under test 1 using the above-described phenomena. FIG. 1 is a schematic configuration diagram according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view thereof. Here, an example in which the inspection object 1 is an object having minute grooves on the surface such as a substrate on which an alignment film used for a liquid crystal display device is formed will be described.
【００２４】Ｘステージ２は、図１の矢印の方向に被検
査体１を搬送し、内部を高湿度に保持した容器である蒸
気室３の内部へ開口部４を通して搬入する。蒸気室３の
内部には、温度センサ５及び湿度センサ６が設けてあ
る。また、蒸気室３の上部には結露防止ヒータ７が設け
てある。加湿器８内部の加熱された蒸気は、蒸気室３の
内部を加熱する。その際の温度センサ５、湿度センサ６
の出力に基づき、水蒸気供給量や蒸気室３内の湿度及び
温度を制御する。これにより被検査体１の表面での温度
より高温でしかも飽和蒸気圧近傍で、蒸気室３の内部の
蒸気圧を安定させる。また蒸気室３に設けられた排気口
９から、余剰な蒸気は蒸気室３の外に排出されて、そし
て加湿器８に再び循環される。その結果、蒸気室３の中
の蒸気の状態は一層安定に保たれる。結露防止ヒータ７
は観測窓１０の蒸気による結露を防止するためのもので
ある。なお、ここで加湿器８は、水、アルコール等を加
熱して蒸発させることで、蒸気室３の内部に導入するた
めの蒸気を発生する。The X stage 2 conveys the test object 1 in the direction of the arrow in FIG. 1 and carries it through the opening 4 into the steam chamber 3 which is a container whose inside is kept at a high humidity. A temperature sensor 5 and a humidity sensor 6 are provided inside the steam chamber 3. Further, a dew condensation prevention heater 7 is provided in an upper part of the steam chamber 3. The heated steam inside the humidifier 8 heats the inside of the steam chamber 3. Temperature sensor 5 and humidity sensor 6 at that time
And the humidity and the temperature in the steam chamber 3 are controlled based on the output of the steam chamber 3. Thus, the vapor pressure inside the vapor chamber 3 is stabilized at a temperature higher than the temperature on the surface of the test object 1 and near the saturated vapor pressure. Excess steam is discharged from the steam chamber 3 through an exhaust port 9 provided in the steam chamber 3, and is circulated again to the humidifier 8. As a result, the state of the steam in the steam chamber 3 is kept more stable. Dew condensation prevention heater 7
Is for preventing dew condensation due to steam in the observation window 10. Here, the humidifier 8 generates steam to be introduced into the steam chamber 3 by heating and evaporating water, alcohol, and the like.
【００２５】蒸気室３の天井面には、画像入力用の透光
性を有する観測窓１０が設けられている。この観測窓１
０は、蒸気室３の外部に設置した光源１２及び光ファイ
バアレイ２０ａからの入射光を、被検査体１に透過する
ものである。この入射光は大面積の被検査体１を照射す
る、均一な強度の白色光である。この光源１２は、図２
に示すガイド１３により被検査体１に対する照射角度を
変えることができる。更に観測窓１０の上方には、被検
査体１の像を反射鏡１１を介して撮像するカメラやライ
ンセンサ等の画像入力装置１４ａが設けられている。こ
の画像入力装置１４ａも、図２に示すガイド１５により
被検査体１に対する撮像角度を変えることができる。A transparent observation window 10 for inputting an image is provided on the ceiling surface of the steam chamber 3. This observation window 1
Numeral 0 indicates that the incident light from the light source 12 and the optical fiber array 20a installed outside the steam chamber 3 is transmitted to the test object 1. The incident light is white light of a uniform intensity, which irradiates the test object 1 having a large area. This light source 12 is shown in FIG.
The irradiation angle with respect to the test object 1 can be changed by the guide 13 shown in FIG. Further, above the observation window 10, there is provided an image input device 14 a such as a camera or a line sensor that captures an image of the object 1 through the reflecting mirror 11. This image input device 14a can also change the imaging angle with respect to the test object 1 by the guide 15 shown in FIG.
【００２６】この様な構成の表面検査装置により、被検
査体１の検査は次のようにして行われる。まず図２に示
すホルダ１６が被検査体１を搭載し、Ｘステージ２に被
検査体１を降下させる。ガイド１７に沿って、Ｘテーブ
ル２により被検査体１は蒸気室３の側面に設けられてい
る開口部４から蒸気室３の内部に搬入される。この後、
蒸気室３の開口部４に設けてあるシャッタが閉じられ
る。The inspection of the inspection object 1 is performed as follows by the surface inspection apparatus having such a configuration. First, the test object 1 is mounted on the holder 16 shown in FIG. 2, and the test object 1 is lowered on the X stage 2. The test object 1 is carried into the steam chamber 3 through the opening 4 provided on the side surface of the steam chamber 3 by the X table 2 along the guide 17. After this,
The shutter provided at the opening 4 of the steam chamber 3 is closed.
【００２７】一方蒸気室３の内部は、上述したように所
定の温度、湿度に制御されており、蒸気口１８からの蒸
気によりほぼ飽和蒸気圧に保たれている。この様な状態
に保たれた蒸気室３の内部に被検査体１が侵入すると
き、被検査体１は、その表面の温度がほぼ室温に保たれ
ているために、被検査体１の表面付近の蒸気雰囲気は過
飽和状態となる。その結果、被検査体１の表面には呼気
像１９が形成される。On the other hand, the inside of the steam chamber 3 is controlled to a predetermined temperature and humidity as described above, and is maintained at a substantially saturated vapor pressure by the steam from the steam port 18. When the test object 1 enters the inside of the steam chamber 3 maintained in such a state, the test object 1 has a surface temperature of substantially room temperature, and thus the test object 1 has a surface. The surrounding steam atmosphere becomes supersaturated. As a result, a breath image 19 is formed on the surface of the subject 1.
【００２８】ここで、呼気像１９の形成速度は、蒸気室
３の内部の湿度や温度に依存する。この第１の実施の形
態における表面検査装置では、数秒で被検査体１の観察
領域全面が結露し、その後呼気像１９は徐々に濃くな
る。この呼気像１９はカメラ、ラインセンサやエリアセ
ンサ等の画像入力装置１４ａによって撮像される。この
撮像の際には、光源１２から光ファイバアレイ２０ａを
通して被検査体１の照明を行う。そして、図３に示す様
に画像入力装置１４ａの内部には平面の受光部分を持つ
受光素子１４ｂが配置されており、受けた光を画像信号
に変換する。この受光素子１４ｂは自身に垂直に入射す
る平行な光を受光するのが好ましい。この場合が一番強
度の大きい光による画像信号を得ることができる。この
第１の実施の形態における表面検査装置では、受光素子
１４ｂにほぼ垂直で平行な入射光を得るために、図１に
示す反射鏡１１を用いることによって、被検査体１から
画像入力装置１４ａまでの光学距離を長くしている。Here, the speed of forming the breath image 19 depends on the humidity and temperature inside the steam chamber 3. In the surface inspection apparatus according to the first embodiment, dew condensation occurs on the entire observation area of the inspection subject 1 in a few seconds, and thereafter the breath image 19 gradually becomes darker. This breath image 19 is captured by an image input device 14a such as a camera, a line sensor or an area sensor. At the time of this imaging, the inspection object 1 is illuminated from the light source 12 through the optical fiber array 20a. As shown in FIG. 3, a light receiving element 14b having a flat light receiving portion is arranged inside the image input device 14a, and converts the received light into an image signal. It is preferable that the light receiving element 14b receives parallel light perpendicularly incident on itself. In this case, it is possible to obtain an image signal by the light having the highest intensity. In the surface inspection apparatus according to the first embodiment, the reflecting mirror 11 shown in FIG. 1 is used to obtain incident light substantially perpendicular and parallel to the light receiving element 14b. The optical distance to is increased.
【００２９】この際、画像入力装置１４ａの内部の受光
素子１４ｂの受光面１４ｃに垂直で、且つ被検査体１に
垂直な平面Ｈに対して、一定の角度を持つ斜め方向か
ら、被検査体１に対して光を照射することによりＳ／Ｎ
を高めることができることを、本願の発明者は実験的に
確かめた。これは、被検査体１の表面に付着した水滴に
よって発生させられる反射光が一定の角度で散乱するた
めであると考えられる。この結果、より感度の良い検査
が可能となる。ここで図４には被検査体１と、光ファイ
バアレイ２０ａと、この一定の角度αとの関係を表した
上面図を示す。At this time, the object to be inspected is inclined from a plane H perpendicular to the light receiving surface 14c of the light receiving element 14b inside the image input device 14a and perpendicular to the object to be inspected 1 at a fixed angle. S / N by irradiating light to 1
The inventors of the present application have experimentally confirmed that can be improved. It is considered that this is because reflected light generated by water droplets attached to the surface of the test object 1 is scattered at a certain angle. As a result, a more sensitive inspection can be performed. FIG. 4 is a top view showing the relationship between the test object 1, the optical fiber array 20a, and the fixed angle α.
【００３０】なお、本発明における表面検査装置では、
画像入力装置１４ａと被検査体１と光ファイバアレイ２
０ａとの角度の関係は、図１及び図５に示す座標系にお
いてα＝１０゜〜５０゜としている。また特にこの第１
の実施の形態においては、β＝３０゜〜５０゜、γ＝４
０゜〜６０゜としている。ここでは、光ファイバアレイ
２０ａからの光によりライン状に照明されている部分を
線Ｉとし、線Ｉと平面Ｈとの交点を点Ｊとして、以下に
β及びγの定義をする。βは被検査体１上の点Ｊに対す
る光ファイバアレイ２０ａの仰角を示し、γは被検査体
１上の点Ｊに対する画像入力装置１４ａの仰角を示す。
従来の技術においては、α＝０゜としていたが、被検査
体１が配向膜が形成された基板の場合には、図６に示す
様にα＝１０゜〜５０゜がＳ／Ｎの良い検査には望まし
い。In the surface inspection apparatus according to the present invention,
Image input device 14a, device under test 1, and optical fiber array 2
The angle relationship with 0a is α = 10 ° to 50 ° in the coordinate systems shown in FIGS. In particular, this first
In the embodiment, β = 30 ° to 50 ° and γ = 4
It is 0 ° to 60 °. Here, β and γ are defined below, where a portion illuminated in a line by the light from the optical fiber array 20a is a line I, and an intersection between the line I and the plane H is a point J. β indicates the elevation angle of the optical fiber array 20a with respect to the point J on the inspection object 1, and γ indicates the elevation angle of the image input device 14a with respect to the point J on the inspection object 1.
In the related art, α = 0 °. However, when the inspection object 1 is a substrate on which an alignment film is formed, α = 10 ° to 50 ° is good in S / N as shown in FIG. Desirable for inspection.
【００３１】ここで、図７の様に光ファイバアレイ２０
ａの全体を斜めにして照明した場合には、照射光の強度
分布が一定では無くなってしまいノイズの少ない正確な
像を得ることが困難になる。なぜならば、被検査体１の
照明に要する光学距離が、被検査物１の表面における部
位により異なり、被検査体１への入射光量が異なるから
である。Here, as shown in FIG.
When the whole of a is illuminated obliquely, the intensity distribution of the irradiation light is not constant, and it is difficult to obtain an accurate image with less noise. This is because the optical distance required for illuminating the test object 1 differs depending on the site on the surface of the test object 1 and the amount of light incident on the test object 1 differs.
【００３２】次に、図８の様に光源１２から直接に拡散
光を斜めから照射した場合でも、被検査体１の照明に要
する光学距離が、被検査物１の表面における部位により
異なるために被検査体１への光の入射光量が異なる。ま
た、被検査物１の表面における部位により、光の被検査
体１に対する入射角度が異なる。これらの原因のために
被検査物１の表面から、一様な強度をもつ反射光を得る
ことができない。Next, as shown in FIG. 8, even when the diffused light is directly irradiated from the light source 12 obliquely, the optical distance required for illuminating the inspection object 1 varies depending on the portion on the surface of the inspection object 1. The amount of light incident on the device under test 1 is different. In addition, the incident angle of the light on the inspection object 1 varies depending on the portion on the surface of the inspection object 1. Due to these causes, reflected light having a uniform intensity cannot be obtained from the surface of the inspection object 1.
【００３３】そこで、この第１の実施の形態において
は、以上の問題を解決するための光学系を採用した。そ
の光学系の第１の例を図９に示す。ここでは、光ファイ
バ２０ｂを一本毎に斜めに角度α（ここでは約３０度）
傾けて配列している。そうすることによって、被検査体
１における呼気像１９に対する角度αをもって照明で
き、且つ照明の明るさの均一化を図ることができる。照
明の明るさの均一化を図ることができるのは、光ファイ
バ２０ｂをアレイ状に配置することにより、個々の光フ
ァイバ２０ｂからの照明の明るさが足し合わされた強度
分布を、被検査体１に対する照明光が有するからであ
る。Therefore, in the first embodiment, an optical system for solving the above problem is employed. FIG. 9 shows a first example of the optical system. Here, the optical fiber 20b is inclined obliquely at an angle α (here, about 30 degrees).
They are arranged at an angle. By doing so, it is possible to illuminate the subject 1 at an angle α with respect to the breath image 19 and to achieve uniform illumination brightness. The brightness of the illumination can be made uniform because, by arranging the optical fibers 20b in an array, the intensity distribution obtained by adding the brightness of the illuminations from the individual optical fibers 20b can be obtained. This is because illumination light with respect to.
【００３４】そして配向膜が形成された基板の場合で
も、被検査体１の呼気像１９に基づいて、その表面の欠
陥の検査を行う。この場合、異常なラビングが行われた
結果、被検査体１の表面の溝が深くなってしまったとき
には、異常なラビングが行われた部位での水滴の存在密
度が多くなる。その結果この部位の水滴からの散乱に起
因する反射光が多く画像入力装置１４ａに検出される。
この場合の呼気像の様子を図１０に示す。この図におい
て、背景よりも相対的に白い部分が欠陥部分である。Then, even in the case of the substrate on which the alignment film is formed, the inspection of the surface defect is performed based on the breath image 19 of the inspection object 1. In this case, when the groove on the surface of the test object 1 becomes deep as a result of the abnormal rubbing, the density of water droplets at the site of the abnormal rubbing increases. As a result, a large amount of reflected light due to scattering from water droplets at this portion is detected by the image input device 14a.
The state of the breath image in this case is shown in FIG. In this figure, a portion relatively white than the background is a defective portion.
【００３５】また、ラビングの際に油が付着した場合に
は、油は水をはじくために、油が付着した部位での水滴
の存在密度が極端に少くなる。その結果この水滴からの
散乱に起因する反射光は殆ど画像入力装置１４ａに検出
されない。この場合の呼気像の様子を図１１に示す。こ
の図において、背景よりも相対的に黒い部分が欠陥部分
である。図１０及び図１１に示す様に欠陥が生じている
場合には、画像はムラを生じたものとなっている。If oil adheres during rubbing, the oil repels water, and the density of water droplets at the site where the oil adheres becomes extremely low. As a result, the reflected light resulting from the scattering from the water droplet is hardly detected by the image input device 14a. FIG. 11 shows the state of the breath image in this case. In this figure, a portion relatively darker than the background is a defective portion. When a defect occurs as shown in FIG. 10 and FIG. 11, the image has unevenness.
【００３６】この第１の例の変形例として、図１２に示
す様な何本かの光ファイバ２０ｂの束の単位毎に光ファ
イバ２０ｂを斜めに角度α（ここでは約３０度）だけ傾
けて配列するものもある。この構造を採用すると、光フ
ァイバ２０ｂが束ねられた光ファイバアレイ２０ａの製
作の容易化を図ることができる。As a modification of the first example, the optical fiber 20b is inclined obliquely by an angle α (here, about 30 degrees) for each bundle unit of several optical fibers 20b as shown in FIG. Some are arranged. By employing this structure, it is possible to easily manufacture the optical fiber array 20a in which the optical fibers 20b are bundled.
【００３７】また、第１の例と同様の効果は第２の例と
して、図１３に示す様な光ファイバ２０ｂの先端を軸心
方向に対して斜めに角度α1 （ここでは約６０度）だけ
傾けて切断したものを配列した場合にも得られる。ここ
で、α1 ＝４０゜〜８０゜が好ましい。このような加工
を光ファイバ２０ｂに施すことによって、光ファイバ２
０ｂの軸心方向に対して角度α（ここでは約３０度）で
被検査体１へ光の照射を行うようにしている。As a second example, the same effect as the first example is obtained by obliquely setting the tip of the optical fiber 20b at an angle α 1 (about 60 degrees here) with respect to the axial direction as shown in FIG. It can also be obtained by arranging the pieces that are cut only at an angle. Here, α 1 = 40 ° to 80 ° is preferable. By performing such processing on the optical fiber 20b, the optical fiber 2
Light irradiation is performed on the DUT 1 at an angle α (here, about 30 degrees) with respect to the axis direction of 0b.
【００３８】この第２の例の変形例として、図１４に示
す様な何本かの光ファイバ２０ｂの束の単位毎に光ファ
イバ２０ｂの先端を軸心方向に対して斜めに角度α1
（ここでは約６０度）傾けて切断したものを配列し、光
ファイバ２０ｂの軸心方向に対して角度α（ここでは約
３０度）で被検査体１へ光の照射をするものもある。こ
の構造を採用すると、光ファイバ２０ｂが束ねられた光
ファイバアレイ２０ａの製作の容易化を図ることができ
る。As a modification of the second example, the tip of the optical fiber 20b is inclined at an angle α 1 with respect to the axial direction for each bundle unit of several optical fibers 20b as shown in FIG.
There is also an arrangement in which the cut pieces are arranged at an angle (here, about 60 degrees), and the object 1 is irradiated with light at an angle α (here, about 30 degrees) with respect to the axial direction of the optical fiber 20b. By employing this structure, it is possible to easily manufacture the optical fiber array 20a in which the optical fibers 20b are bundled.
【００３９】そして、上に述べた２つの例と同様の効果
は第３の例として、図１５に示す様な光ファイバ２０ｂ
の先端にプリズム２１を装着したものを配列した場合に
も得られる。これらのプリズム２１は光を屈折させる。
この性質を利用することによって、光ファイバ２０ｂの
軸心方向に対して角度α（ここでは約３０度）で被検査
体１へ光の照射を行うようにしている。なお、図１６に
示す様にプリズム２１における光の出射面２２ａの対面
２２ｂは光を吸収し、他の照射角度での照射光を遮るも
のである。As a third example, the same effect as the above-described two examples is obtained by using an optical fiber 20b as shown in FIG.
Can also be obtained when the prisms 21 are arranged at the tip of. These prisms 21 refract light.
By utilizing this property, the object 1 is irradiated with light at an angle α (here, about 30 degrees) with respect to the axial direction of the optical fiber 20b. As shown in FIG. 16, the opposite surface 22b of the light emitting surface 22a of the prism 21 absorbs light and blocks irradiation light at other irradiation angles.
【００４０】更には、上に述べた３つの例と同様の効果
は第４の例として、図１７に示す様な光ファイバ２０ｂ
の先端に鏡２３を装着したものを配列した場合にも得ら
れる。ここで鏡２３は反射部材として働く。これらの鏡
２３は、光ファイバ２０ｂの端面に対して、角度α2
（ここでは約７５度）の傾き角を持つ。ここで、α2＝
６５゜〜８５゜が好ましい。この鏡の反射を用いること
によって、光ファイバ２０ｂの軸心方向に対して角度α
（ここでは約３０度）で被検査体１へ光の照射を行うよ
うにしている。なお、図１８に示す様に鏡２３における
反射面２４ａの裏面２４ｂは光を吸収し、他の照射角度
における照射光を遮るものである。Further, the same effect as in the three examples described above is obtained as a fourth example, as shown in FIG.
Can also be obtained when a mirror 23 is mounted at the tip of the array. Here, the mirror 23 functions as a reflection member. These mirrors 23 have an angle α 2 with respect to the end face of the optical fiber 20b.
(Here, about 75 degrees). Where α 2 =
65 ° to 85 ° is preferred. By using the reflection of the mirror, the angle α with respect to the axial direction of the optical fiber 20b is obtained.
At this time (approximately 30 degrees), the object 1 is irradiated with light. As shown in FIG. 18, the back surface 24b of the reflection surface 24a of the mirror 23 absorbs light and blocks irradiation light at other irradiation angles.
【００４１】そして、図１に示す様に画像入力装置１４
ａにより得られた画像信号は、画像処理装置２５に送ら
れる。呼気像１５にムラがあるのか否かは、画像処理装
置２５において検出される。この画像処理装置２５にお
いては、フィルタリングや２値化等の所定の画像処理を
行う。Then, as shown in FIG.
The image signal obtained by a is sent to the image processing device 25. The image processing device 25 detects whether or not the breath image 15 has unevenness. The image processing device 25 performs predetermined image processing such as filtering and binarization.
【００４２】一枚の被検査物１の検査が終わると、Ｘス
テージ２によって蒸気室３の外へ搬出される。そして次
の被検査物１を受け入れて同様の検査をする。しかし、
図１９に示す第１の実施の形態によっても、図２０に示
すように、端部Ａから端部Ｂへ移るにしたがって暗くな
る状態で撮像されてしまう。画像入力装置１４ａによっ
て撮像される部位が端部Ｍから端部Ｎに移るに従って、
画像入力装置１４ａに取り込まれる被検査体１からの反
射光が少なくなるためである。但し、ここで問題となる
反射光は水滴による散乱の影響をほとんど受けていない
正反射光が主である。結局、画像入力装置１４ａによっ
て撮像される部位が端部Ｍから端部Ｎに移るに従って、
画像入力装置１４ａの受光強度が少なくなる。これは、
特に被検査体１が大面積である場合に顕著である。When the inspection of one inspection object 1 is completed, the inspection object 1 is carried out of the steam chamber 3 by the X stage 2. Then, the next inspection object 1 is received and the same inspection is performed. But,
According to the first embodiment shown in FIG. 19 as well, as shown in FIG. 20, an image is captured in a darker state from the end A to the end B. As the part imaged by the image input device 14a moves from the end M to the end N,
This is because the amount of reflected light from the test object 1 that is taken into the image input device 14a is reduced. However, the reflected light which is a problem here is mainly specularly reflected light which is hardly affected by scattering by water droplets. Eventually, as the part imaged by the image input device 14a moves from the end M to the end N,
The light receiving intensity of the image input device 14a decreases. this is,
This is particularly noticeable when the test object 1 has a large area.
【００４３】＜第２の実施の形態＞この現象を防ぐため
の本発明の第２の実施の形態を以下に示す。まず、図２
１には、本発明を実施する際に利用する水滴からの光の
散乱の性質を示す。図２１（ａ）に示す通り、水滴２６
によって入射光は散乱される。図２１（ｂ）及び（ｃ）
に示す通り、光が角度αで水滴２６に入射する場合に
は、水滴２６の右側或いは左側から入射しても散乱され
た反射光の分布は同様となる。図２１では、矢印の向き
は水滴２６により散乱された反射光の向きを示し、矢印
の大きさは水滴２６により散乱された反射光の強度を示
すものである。<Second Embodiment> A second embodiment of the present invention for preventing this phenomenon will be described below. First, FIG.
1 shows the nature of light scattering from water droplets used in carrying out the present invention. As shown in FIG.
Incident light is scattered. FIG. 21 (b) and (c)
As shown in (2), when light is incident on the water droplet 26 at an angle α, the distribution of the scattered reflected light is the same even if the light is incident from the right or left side of the water droplet 26. In FIG. 21, the direction of the arrow indicates the direction of the reflected light scattered by the water droplet 26, and the size of the arrow indicates the intensity of the reflected light scattered by the water droplet 26.
【００４４】図２２乃至図２５は本発明の第２の実施の
形態における第１の例を示すものである。この実施の形
態は複数の光ファイバアレイを設けて被検査体１の照明
を行う。この第１の例は、２つの光ファイバアレイ２７
ａ，２７ｂを設けて、それぞれから被検査体１に対して
光を照射するものである。これらの照明に照らされた被
検査体１の像は、画像入力装置２８によって撮像され
る。FIGS. 22 to 25 show a first example of the second embodiment of the present invention. In this embodiment, a plurality of optical fiber arrays are provided to illuminate the device under test 1. In this first example, two optical fiber arrays 27
a and 27b are provided to irradiate light to the device under test 1 from each. The image of the test object 1 illuminated by these lights is captured by the image input device 28.
【００４５】図２５に示すように、図２１で説明された
水滴からの光の散乱の性質を利用することによって、画
像入力装置２８の受光強度を増している。平面Ｈに対し
て右側と左側から光ファイバアレイ２７ａ，２７ｂの光
を入射させることによって、水滴から散乱された反射光
を画像入力装置２８で受光するのである。As shown in FIG. 25, the light receiving intensity of the image input device 28 is increased by utilizing the property of light scattering from water droplets described with reference to FIG. The light from the optical fiber arrays 27a and 27b is incident on the plane H from the right and left sides, so that the reflected light scattered from the water droplets is received by the image input device 28.
【００４６】なお、この第１の例においては、光学系全
体の幅Ｄが大きくなってしまう。光学系全体の幅Ｄが大
きくなると、本発明の表面検査装置全体も大きくなって
しまう。このことは、本発明の表面検査装置を例えば液
晶表示装置の製造ラインに導入する際に非常に不都合で
ある。そこで、図２６乃至図２８に示す光学系を採用す
ることで、表面検査装置の小形化を図ることができる。
これを第２の例とする。光ファイバアレイ２７ａ，２７
ｂからそれぞれ出射する光を交差させることによって、
光学系の小形化を図っている。In the first example, the width D of the entire optical system becomes large. When the width D of the entire optical system increases, the entire surface inspection apparatus of the present invention also increases. This is very inconvenient when introducing the surface inspection apparatus of the present invention into, for example, a production line of a liquid crystal display device. Therefore, the size of the surface inspection apparatus can be reduced by employing the optical system shown in FIGS.
This is a second example. Optical fiber arrays 27a, 27
b by intersecting the light emitted from
The optical system is downsized.
【００４７】光ファイバアレイ２７ａ，２７ｂを被検査
体１に近付けることで、更に光学系全体の幅Ｄを短くす
ることができる。しかし蒸気室３があるために光ファイ
バアレイ２７ａ，２７ｂを被検査体１に近付けることに
は限度がある。蒸気室３は一定の容積を持つ必要があ
る。なぜならば、蒸気室３の内部は、一様な蒸気の分布
を得るために十分な分量の蒸気で満たされることが必要
だからである。By bringing the optical fiber arrays 27a and 27b closer to the device under test 1, the width D of the entire optical system can be further reduced. However, since the steam chamber 3 is provided, there is a limit in bringing the optical fiber arrays 27a and 27b closer to the test object 1. The steam chamber 3 needs to have a certain volume. This is because the inside of the steam chamber 3 needs to be filled with a sufficient amount of steam in order to obtain a uniform steam distribution.
【００４８】また、蒸気室３の内部において被検査体１
を観察窓１０の近傍まで近付けることで、光ファイバア
レイ２７ａ，２７ｂと被検査体１との距離を短くするこ
とができる。それで、光学系全体の幅Ｄを短くすること
ができる。しかし蒸気は、循環されていても蒸気室３の
上部では蒸気室３の下部に比べて存在密度が小さい。蒸
気は大気よりも比重が大きいからである。よって豊富で
一様な分布をもつ蒸気により発生される、鮮明な呼気像
１９を得るために、被検査体１は蒸気室３の下部に存在
するほうが望ましい。The object 1 to be inspected inside the steam chamber 3
Is brought closer to the vicinity of the observation window 10, the distance between the optical fiber arrays 27a and 27b and the DUT 1 can be shortened. Thus, the width D of the entire optical system can be reduced. However, even if the steam is circulated, its density is lower at the upper part of the steam chamber 3 than at the lower part of the steam chamber 3. This is because steam has a higher specific gravity than the atmosphere. Therefore, in order to obtain a clear breath image 19 generated by the vapor having abundant and uniform distribution, it is desirable that the test object 1 be present in the lower part of the vapor chamber 3.
【００４９】加えて、角度αの大きさを小さくすること
によって光学系全体の幅Ｄを狭めることも避けた方が良
い。最適な角度αの大きさを小さくすることによって、
検査におけるＳ／Ｎが低下してしまうからである。In addition, it is better not to reduce the width D of the entire optical system by reducing the size of the angle α. By reducing the size of the optimal angle α,
This is because the S / N in the inspection decreases.
【００５０】被検査体１の位置を蒸気室３の下部に保
ち、角度αの大きさを最適値に保ったまま、光ファイバ
アレイ２７ａ，２７ｂと被検査体１との距離を大きくと
り、光学系全体の幅Ｄを短くする光学系を以下に示す。
図２９乃至図３１に示す鏡を用いた光学系を採用するこ
とで、更に光学系の小形化を図ることができる。鏡２９
ａ，２９ｂを用いることで光学系全体の幅Ｄを短くする
ことができる。これを第３の例とする。The distance between the optical fiber arrays 27a and 27b and the test object 1 is increased while maintaining the position of the test object 1 at the lower portion of the steam chamber 3 and maintaining the angle α at an optimum value. An optical system for reducing the width D of the entire system will be described below.
By employing the optical system using the mirror shown in FIGS. 29 to 31, the size of the optical system can be further reduced. Mirror 29
By using a and 29b, the width D of the entire optical system can be reduced. This is a third example.
【００５１】また、図３２乃至図３４には光ファイバア
レイ２７ａ，２７ｂからそれぞれ出射する光を鏡２９
ａ，２９ｂを介して交差させることによって、光学系全
体の幅Ｄを更に短くしている例を示す。これを第４の例
とする。なお、この第２の実施の形態においても、角度
α，β，γは第１の実施の形態と同様にする。FIGS. 32 to 34 show the light emitted from the optical fiber arrays 27a and 27b, respectively.
An example is shown in which the width D of the entire optical system is further shortened by intersecting via a and 29b. This is a fourth example. Note that, also in the second embodiment, the angles α, β, and γ are the same as in the first embodiment.
【００５２】＜第３の実施の形態＞第２の実施の形態で
は複数の光ファイバアレイと単数の画像入力装置を用い
たが、図３６乃至図３８に示す第３の実施の形態では、
単数の光ファイバアレイと複数の画像入力装置を用いる
ものである。<Third Embodiment> In the second embodiment, a plurality of optical fiber arrays and a single image input device are used. However, in the third embodiment shown in FIGS.
It uses a single optical fiber array and a plurality of image input devices.
【００５３】図３５には単数の光ファイバアレイ２０ａ
から出射された光と画像入力装置１４ａとの関係を示
す。光ファイバアレイ２０ａは実際には図３５に示す様
に異なった位置にある複数の光ファイバ２０ｃ，２０ｄ
から光を出射するものである。また画像入力装置１４ａ
も、大きな絞り角を持ちながら被検査体１の画像を取り
込むものである。平面Ｈ1 ，Ｈ2 は、光ファイバ２０
ｃ，２０ｄからの光が角度αで入射する、先に示した平
面Ｈに対して平行な平面である。そして画像入力装置１
４ａは平面Ｈ1 と平面Ｈ2 との中間に存在するものとす
る。また先に示した線Ｉと平面Ｈ1 との交点を点Ｊ1 と
おき、線Ｉと平面Ｈ2 との交点を点Ｊ2 とおく。する
と、点Ｊ1 からの反射光は画像入力装置１４ａに入射す
るが、点Ｊ2からの反射光は画像入力装置１４ａに入射
しない。この現象は先に図１９を用いて説明した場合と
同様の理由で発生する。FIG. 35 shows a single optical fiber array 20a.
The relationship between the light emitted from the device and the image input device 14a. The optical fiber array 20a actually has a plurality of optical fibers 20c and 20d at different positions as shown in FIG.
Out of the light. Also, the image input device 14a
This also captures an image of the test object 1 while having a large aperture angle. The planes H 1 and H 2 correspond to the optical fiber 20.
This is a plane parallel to the plane H shown above, where light from c and 20d enters at an angle α. And the image input device 1
4a shall be present in the middle of the plane H 1 and the plane H 2. The line I and the plane H 1 and the point J 1 Distant intersection of the previously shown, put the intersection of the line I and the plane between H 2 point J 2. Then, the light reflected from the point J 1 is incident on the image input device 14a, the reflected light from the point J 2 is not incident to the image input device 14a. This phenomenon occurs for the same reason as described with reference to FIG.
【００５４】即ち、θ2 ＞θ1 のために点Ｊ2 からの反
射光は画像入力装置１４ａに入射しないのである。ここ
で、θ1 は画像入力装置１４ａから点Ｊ1 への直線が平
面Ｈ1 となす角度から、光ファイバ２０ｃから出射され
た光の被検査体１による正反射光が平面Ｈ1 となす角度
を引いたものである。また、θ2 は画像入力装置１４ａ
から点Ｊ2 への直線が平面Ｈ2 となす角度に、光ファイ
バ２０ｄから出射された光の被検査体１による正反射光
が平面Ｈ2 となす角度を足したものである。更に、γ＞
γ1 であることによっても点Ｊ1 及び点Ｊ2 からの反射
光を受光することが阻害される。ここで、γ1 は点Ｊ
1 ，Ｊ2 に対する画像入力装置１４ａの仰角とする。そ
こで、画像を取り込むためには画像入力装置１４ａの絞
り角を小さくし、点Ｊ2 からの反射光を受光し易くする
ことが必要である。同時に点Ｊ１からの反射光について
も画像入力装置１４ａの受光量が多くなる。That is, since θ 2 > θ 1 , the reflected light from the point J 2 does not enter the image input device 14a. Here, θ 1 is the angle between the line formed by the straight line from the image input device 14a to the point J 1 and the plane H 1, and the angle formed by the regular reflection of the light emitted from the optical fiber 20 c by the device 1 and the plane H 1. Is subtracted. Θ 2 is the image input device 14a
The angle which the straight line makes with the plane of H 2 from the point J 2, regularly reflected light of the light emitted from the optical fiber 20d by the inspection object 1 is determined by adding the angle between the plane H 2. Furthermore, γ>
Receiving the reflected light from the points J 1 and J 2 is also inhibited by γ 1 . Where γ 1 is the point J
1, the elevation of the image input device 14a for J 2. Therefore, in order to capture the image to reduce the aperture angle of the image input device 14a, it is necessary to facilitate receiving light reflected from the point J 2. At the same time the greater the amount of light received even image input device 14a for reflecting light from the point J 1.
【００５５】そこで、第３の実施の形態では画像入力装
置を複数設けることとした。図３６に示す通り２台の画
像入力装置３０ａ，３０ｂを設けることにより、点Ｊ１
及び点Ｊ2 からの反射光をできるだけ取り込む。画像
処理は複雑になるが、単数の光ファイバアレイ２０ａの
みを設けたので光学系全体の幅Ｄは小さくできる。Therefore, in the third embodiment, a plurality of image input devices are provided. An image input device 30a of the two as shown in FIG. 36, by providing the 30b, point J 1
And as far as possible taking the reflected light from the point J 2. Although image processing becomes complicated, the width D of the entire optical system can be reduced because only a single optical fiber array 20a is provided.
【００５６】なお、この第３の実施の形態においても、
角度α，β，γは第１の実施の形態と同様にする。ま
た、第２の実施の形態と第３の実施の形態とを組み合わ
せても本発明の効果を得ることができる。即ち、複数の
光ファイバアレイと複数の画像入力装置とを用いる表面
検査装置である。第２の実施の形態と第３の実施の形態
における光ファイバアレイと画像入力装置とは複数存在
すれば良く、２つには限られない。Incidentally, also in the third embodiment,
The angles α, β, and γ are the same as in the first embodiment. Further, the effects of the present invention can be obtained by combining the second embodiment and the third embodiment. That is, it is a surface inspection apparatus using a plurality of optical fiber arrays and a plurality of image input devices. The plurality of optical fiber arrays and image input devices in the second and third embodiments may be present, and are not limited to two.
【００５７】そして、第２の実施の形態及び第３の実施
の形態では、第１の実施の形態で用いられた４つの例の
光ファイバ２０ｂを用いるものとする。更には、光ファ
イバアレイによる照明を上に述べた本発明の実施の形態
における角度α＝０゜の方向から行い、画像入力装置の
撮像を例えば角度α＝３０゜の斜め方向から行うことで
相対的に光が斜め方向から照射されるようにしてもよ
い。即ち、相対的に角度αだけ光ファイバアレイと画像
入力装置とがずれていれば良い。水滴による散乱の影響
を受けた被検査体からの反射光を画像入力装置ができる
だけ受光すればよいからである。但しこの場合には、画
像入力装置の採取した像が歪んでしまうため、この像の
歪みを無くす画像処理が必要となる。In the second embodiment and the third embodiment, the four examples of the optical fiber 20b used in the first embodiment are used. Further, the illumination by the optical fiber array is performed from the direction of the angle α = 0 ° in the above-described embodiment of the present invention, and the imaging of the image input device is performed from the oblique direction at the angle α = 30 °, for example. Light may be radiated from an oblique direction. That is, it is only necessary that the optical fiber array and the image input device are relatively shifted by the angle α. This is because the image input device only needs to receive the reflected light from the test object affected by the scattering of the water droplets as much as possible. However, in this case, the image taken by the image input device is distorted, so that image processing for eliminating this image distortion is required.
【００５８】また、以上の説明ではα＝１０゜〜５０゜
を例としているが、光ファイバアレイと画像入力装置と
が正対しない角度、即ち０゜＜α＜３６０゜であれば良
い。画像入力装置に被検査体からの正反射光ができるだ
け入射しないようにすれば良いからである。上述した本
発明の実施の形態では、被検査体にラビングされたポリ
イミド薄膜等の有機薄膜を用い、蒸気には水を用いてい
るために、角度αの範囲はα＝１０゜〜５０゜となる。
しかし、本発明の要旨は、呼気像からの散乱光に基づく
画像を得ることにある。従って被検査体及び蒸気の材質
の種類により、本発明の表面検査装置によって検出され
る反射光の散乱角も異なり、その結果角度αのとり得る
範囲も変動する。In the above description, α = 10 ° to 50 ° is taken as an example, but the angle may be any angle at which the optical fiber array and the image input device do not face each other, that is, 0 ° <α <360 °. This is because specular reflection light from the object to be inspected should be prevented from entering the image input device as much as possible. In the above-described embodiment of the present invention, an organic thin film such as a rubbed polyimide thin film is used for an object to be inspected, and water is used for steam. Therefore, the range of the angle α is α = 10 ° to 50 °. Become.
However, the gist of the present invention is to obtain an image based on scattered light from a breath image. Accordingly, the scattering angle of the reflected light detected by the surface inspection apparatus of the present invention varies depending on the type of the material to be inspected and the vapor, and as a result, the possible range of the angle α also varies.
【００５９】また、フレネルレンズ、カライドスイコー
プ、ビームホモジナイザ、フライアイレンズやシリンド
リカルレンズ等を組み合わせた、光ファイバアレイより
も複雑な光学系を用いて照射光の強度の均一化を図るこ
とによっても本発明の効果は得られる。Further, the intensity of irradiation light is made uniform by using an optical system which is more complicated than an optical fiber array, which combines a Fresnel lens, a carbide scoop, a beam homogenizer, a fly-eye lens, a cylindrical lens, and the like. The effect of the present invention can also be obtained.
【００６０】＜第４の実施の形態＞また、本発明は、呼
気像からの散乱光に基づく画像を得ることができれば良
いのであるから、反射光に限られず図３９に示す本発明
の第４の実施の形態のように透過光を用いても良好な結
果が得られるのである。この実施の形態でも上記と同様
の理由により０゜＜α＜３６０゜であれば良い。画像入
力装置に被検査体からの正反射光ができるだけ入射しな
いようにすれば良いからである。また、光ファイバアレ
イ２０ａや画像入力装置１４ａの構成については第１の
実施の形態乃至第３の実施の形態と同様としている。<Fourth Embodiment> Further, the present invention is only required to be able to obtain an image based on the scattered light from the breath image. Therefore, the present invention is not limited to the reflected light and the fourth embodiment of the present invention shown in FIG. Good results can be obtained even when transmitted light is used as in the embodiment. In this embodiment, it is sufficient if 0 ° <α <360 ° for the same reason as described above. This is because specular reflection light from the object to be inspected should be prevented from entering the image input device as much as possible. The configurations of the optical fiber array 20a and the image input device 14a are the same as those of the first to third embodiments.
【００６１】＜第５の実施の形態＞以上の説明による第
１の実施の形態乃至第４の実施の形態によると被検査体
である液晶基板に対して収束していない光を照射してい
る。その照射によって得られた配向膜からの光によりラ
ビング不良の箇所を検出している。しかし、液晶基板に
対する収束光によっても呼気像を用いてラビング不良の
箇所を検出することができる。<Fifth Embodiment> According to the first to fourth embodiments described above, the non-converged light is applied to the liquid crystal substrate as the object to be inspected. . The rubbing defect is detected by the light from the alignment film obtained by the irradiation. However, it is possible to detect the rubbing defect using the breath image even by the convergent light to the liquid crystal substrate.
【００６２】図４０には本発明の第５の実施の形態の光
学系、被検査体、画像入力装置の位置関係を示す。この
第５の実施の形態は、集光点Ｏを有する光学系におい
て、集光点Ｏを含み被検査体１に垂直な平面Ｋに対して
角度αの位置から画像を入力して検査を行うというもの
である。即ち０゜＜α＜３６０゜となる。なお、表面検
査装置及びその光学系に関する概略の構成を第５の実施
の形態として図４１乃至図４６に示す。図４１に基づい
て、この実施の形態に係る表面検査装置の作用に関する
説明を以下に行う。FIG. 40 shows the positional relationship between the optical system, the device under test, and the image input device according to the fifth embodiment of the present invention. In the fifth embodiment, in an optical system having a converging point O, an image is inputted from a position at an angle α with respect to a plane K including the converging point O and perpendicular to the object 1 to be inspected. That is. That is, 0 ° <α <360 °. A schematic configuration relating to the surface inspection apparatus and its optical system is shown in FIGS. 41 to 46 as a fifth embodiment. The operation of the surface inspection apparatus according to this embodiment will be described below with reference to FIG.
【００６３】大部分の構成は第１の実施の形態乃至第３
の実施の形態と同様であるが、この第５の実施の形態に
おいては、被検査体１を介して照明された光をカメラ等
の画像入力装置１４ａに取り込んでラビング不良の箇所
を検出することが異なるところである。これは第４の実
施の形態も同様である。ここでも被検査体１を液晶表示
装置に用いる、配向膜が形成された基板などの表面に微
小な溝を有する物体とした例で説明をする。また、装置
構成において第１の実施の形態乃至第３の実施の形態と
同じものは同一の符号を付するものとする。Most of the configuration is based on the first to third embodiments.
In the fifth embodiment, the light illuminated via the device under test 1 is taken into an image input device 14a such as a camera to detect a rubbing defect. Is different. This is the same in the fourth embodiment. Here, an example in which the test object 1 is used for a liquid crystal display device and is an object having minute grooves on a surface such as a substrate on which an alignment film is formed will be described. In the apparatus configuration, the same components as those in the first to third embodiments are denoted by the same reference numerals.
【００６４】Ｘステージ２は、被検査体１を内部を高湿
度に保持した容器である蒸気室３の下に設けてある開口
部４へ図４１の矢印の方向に搬送する。蒸気室３の内部
には、温度センサ５及び湿度センサ６が設けてある。ま
た、蒸気室３の上部には観測窓１０の蒸気による結露を
防止するための結露防止ヒータ７が設けてある。加湿器
８内部の加熱された蒸気は、蒸気室３の内部を加熱す
る。その際の温度センサ５、湿度センサ６の出力に基づ
き、水蒸気供給量や蒸気室３内の湿度及び温度を制御す
る。これにより被検査体１の表面での温度より高温でし
かも飽和蒸気圧近傍で、蒸気室３の内部の蒸気圧を安定
させる。また蒸気室３に設けられた排気口９から、余剰
な蒸気は蒸気室３の外に排出されて、そして加湿器８に
再び循環される。The X stage 2 conveys the test object 1 to the opening 4 provided below the steam chamber 3 which is a container holding the inside at high humidity in the direction of the arrow in FIG. A temperature sensor 5 and a humidity sensor 6 are provided inside the steam chamber 3. Further, a dew condensation prevention heater 7 for preventing dew condensation due to the steam in the observation window 10 is provided above the steam chamber 3. The heated steam inside the humidifier 8 heats the inside of the steam chamber 3. Based on the outputs of the temperature sensor 5 and the humidity sensor 6 at that time, the steam supply amount and the humidity and temperature in the steam chamber 3 are controlled. Thus, the vapor pressure inside the vapor chamber 3 is stabilized at a temperature higher than the temperature on the surface of the test object 1 and near the saturated vapor pressure. Excess steam is discharged from the steam chamber 3 through an exhaust port 9 provided in the steam chamber 3, and is circulated again to the humidifier 8.
【００６５】蒸気室３の天井面には、画像入力用の透光
性を有する観測窓１０が設けられている。この観測窓１
０は、蒸気室３の外部に設置した光源１２から出射さ
れ、被検査体１に入射して、被検査体１を透過した光を
通過させるものである。この入射光は大面積の被検査体
１を照射する、均一な強度の白色光である。更に観測窓
１０の上方には、被検査体１の像を撮像するカメラ、エ
リアセンサやラインセンサ等の画像入力装置１４ａが設
けられている。On the ceiling surface of the steam chamber 3, there is provided a light-transmitting observation window 10 for image input. This observation window 1
Numeral 0 denotes light that is emitted from the light source 12 installed outside the vapor chamber 3, enters the device under test 1, and passes light transmitted through the device under test 1. The incident light is white light of a uniform intensity, which irradiates the test object 1 having a large area. Further, above the observation window 10, an image input device 14a such as a camera that captures an image of the inspection object 1 and an area sensor or a line sensor is provided.
【００６６】この第５の実施の形態においても、水によ
る光の散乱を利用して光源１２から被検査体１への入射
光を直接に画像入力装置１４ａで取り込まないようにし
ている。即ち、図４２に示すように水滴２６の中心に対
して角度αにて入射させたとき、被検査体１に対して鉛
直方向に強く散乱光が生じる性質を水滴２６は持ってい
る。この第５の実施の形態では被検査体１により透過さ
れた光のうちの水滴２６によって散乱された光を画像入
力装置１４ａで取り込むようにしている。このように水
滴２６によって散乱された光で、被検査体１の欠陥の検
出を行うことからＳ／Ｎの良い検査を行うことができ
る。なお、図４２では、矢印の向きは水滴２６により散
乱された反射光の向きを示し、矢印の大きさは水滴２６
により散乱された反射光の強度を示すものである。Also in the fifth embodiment, the light input from the light source 12 to the device under test 1 is prevented from being directly taken in by the image input device 14a by utilizing the scattering of light by water. That is, as shown in FIG. 42, the water droplet 26 has such a property that when it is made incident on the center of the water droplet 26 at an angle α, scattered light is strongly generated in the vertical direction with respect to the test object 1. In the fifth embodiment, the light scattered by the water droplets 26 out of the light transmitted by the test object 1 is taken in by the image input device 14a. As described above, the defect scattered by the water droplet 26 is used to detect a defect in the inspection object 1, so that an inspection with a good S / N can be performed. In FIG. 42, the direction of the arrow indicates the direction of the reflected light scattered by the water droplet 26, and the size of the arrow indicates the direction of the water droplet 26.
3 shows the intensity of the reflected light scattered by.
【００６７】図４３に示すのは本発明の第５の実施の形
態の第１の例である。この例では光ファイバアレイ３１
ａから出射した光が一点（集光点Ｏ）に集光されるよう
に、光ファイバアレイ３１ａを構成する各々の光ファイ
バ３１ｂの端部が弧を描くように傾けて配列されてい
る。FIG. 43 shows a first example of the fifth embodiment of the present invention. In this example, the optical fiber array 31
The ends of the respective optical fibers 31b constituting the optical fiber array 31a are arranged so as to be inclined so as to draw an arc so that the light emitted from the optical fiber 31a is collected at one point (condensing point O).
【００６８】図４４に示すのは本発明の第５の実施の形
態の第２の例である。この例では光ファイバアレイ３２
ａから出射した光が一点（集光点Ｏ）に集光されるよう
に、光ファイバアレイ３２ａを構成する各々の光ファイ
バ３２ｂの端部が弧を描くように斜めに研磨され配列さ
れている。FIG. 44 shows a second example of the fifth embodiment of the present invention. In this example, the optical fiber array 32
The ends of the optical fibers 32b constituting the optical fiber array 32a are obliquely polished and arranged so as to draw an arc so that the light emitted from a is converged to one point (condensing point O). .
【００６９】図４５に示すのは本発明の第５の実施の形
態の第３の例である。この例では２枚のフレネルレンズ
３３ａ，３３ｂを用いる。被検査体１に対して光源１２
からフレネルレンズ３３ａを通して平行光が照射され
て、被検査体１上に形成された呼気像にて光の散乱が起
こる。そしてフレネルレンズ３３ｂから出射した光が一
点（集光点Ｏ）に集光されるように光学系が設定されて
いる。しかし、被検査体１と同程度の面積のフレネルレ
ンズが２枚必要になってしまい、光学系が大形化してし
まう。FIG. 45 shows a third example of the fifth embodiment of the present invention. In this example, two Fresnel lenses 33a and 33b are used. The light source 12 with respect to the test object 1
Is irradiated through the Fresnel lens 33a, and light is scattered in the breath image formed on the test subject 1. The optical system is set so that the light emitted from the Fresnel lens 33b is condensed at one point (condensing point O). However, two Fresnel lenses having the same area as the test object 1 are required, and the optical system becomes large.
【００７０】この第３の例を小形化したのが図４６に示
す本発明の第５の実施の形態の第４の例である。ここで
は１枚のフレネルレンズ３４のみを用いる。被検査体１
は画像入力装置１４ａに正対するように角度αだけ傾け
られている。この例では、第３の例における平行光とは
異なり収束光を用いているために、被検査体１上に形成
された呼気像からの散乱光を画像入力装置１４ａへ完全
に取り込むことができないという問題がある。しかし、
画像入力装置１４ａは被検査体１からの光を近似的に全
て取り込むと見なせる角度で取り込んでいる。従ってこ
の問題は、無視できる程度のものである。FIG. 46 shows a fourth example of the fifth embodiment of the present invention in which the third example is downsized. Here, only one Fresnel lens 34 is used. Inspection object 1
Are tilted by an angle α so as to face the image input device 14a. In this example, since the convergent light is used unlike the parallel light in the third example, the scattered light from the breath image formed on the subject 1 cannot be completely taken into the image input device 14a. There is a problem. But,
The image input device 14a captures light from the subject 1 at an angle that can be considered to capture substantially all of the light. The problem is therefore negligible.
【００７１】なお、上記第３の例及び第４の例において
はフレネルレンズを用いる場合で説明したが、もちろん
同様の作用をするレンズを用いてもよい。また、図４７
に本発明の第５の実施の形態の第５の例として示すよう
に被検査体１に対する透過光でなく反射光を用いた検査
でももちろん良い。この第５の実施の態様の要旨とする
ところは集光点からずらしたところに画像入力装置を配
置し、水滴２６からの散乱光を高いＳ／Ｎにて得ること
である。ただこの場合は、角度αを最適な大きさに保ち
ながら、画像入力装置１４ａによって被検査体１からの
透過光が遮られないようにするために光学系の設計に工
夫を凝らなければならない。また、この第５の実施の形
態においては被検査体にラビングされたポリイミド薄膜
等の有機薄膜を用い、蒸気には水を用いた場合、角度α
は１０°〜５０°の間が好ましいことが実験的に確認さ
れた。In the third and fourth examples, the case where the Fresnel lens is used has been described, but a lens having the same effect may be used. FIG.
As shown in the fifth example of the fifth embodiment of the present invention, the inspection using the reflected light instead of the transmitted light to the device under test 1 may of course be performed. The gist of the fifth embodiment is that an image input device is arranged at a position shifted from the converging point, and scattered light from the water droplet 26 is obtained with a high S / N. In this case, however, it is necessary to devise an optical system design so that the transmitted light from the test object 1 is not blocked by the image input device 14a while maintaining the angle α at an optimum size. In the fifth embodiment, when an organic thin film such as a polyimide thin film rubbed on the test object is used, and when water is used for steam, the angle α
It has been experimentally confirmed that the angle is preferably between 10 ° and 50 °.
【００７２】＜第６の実施の形態＞さて以上第１の実施
の形態乃至第５の実施の形態で示した表面検査装置を用
い液晶表示装置を製造する方法、即ち本発明の第６の実
施の形態に関して以下に説明する。図４８に示すのは液
晶表示装置（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）の斜視
断面図である。このＬＣＤは光（バックライト）の入射
側から順番に、第１の偏光板３５，第１のガラス板３
６，画素電極（第１の電極）３７，薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ：Thin Film Transistor）３８，ゲート電極線
（走査線）３９，ソース電極線（信号線）４０，第１の
配向膜４１（途中省略），第２の配向膜４２，対向電極
（第２の電極）４３，カラーフィルタ４４，第２のガラ
ス板４５，第２の偏光板４６で形成されている。画素電
極３７及び対向電極４３は透明であり、ＩＴＯ（Indium
Tin Oxide）膜により形成されている。一般に画素電極
３７が設けられている側の基板はアレイ基板、対向電極
４３が設けられている側の基板は対向基板と称されてい
る。<Sixth Embodiment> A method of manufacturing a liquid crystal display device using the surface inspection apparatus shown in the first to fifth embodiments, that is, the sixth embodiment of the present invention. The form will be described below. FIG. 48 is a perspective sectional view of a liquid crystal display (LCD). This LCD includes a first polarizing plate 35 and a first glass plate 3 in this order from the light (backlight) incident side.
6. Pixel electrode (first electrode) 37, thin film transistor (TFT: Thin Film Transistor) 38, gate electrode line (scanning line) 39, source electrode line (signal line) 40, first alignment film 41 (omitted midway) , A second alignment film 42, a counter electrode (second electrode) 43, a color filter 44, a second glass plate 45, and a second polarizing plate 46. The pixel electrode 37 and the counter electrode 43 are transparent, and are made of ITO (Indium).
Tin Oxide) film. Generally, the substrate on which the pixel electrode 37 is provided is called an array substrate, and the substrate on which the counter electrode 43 is provided is called a counter substrate.
【００７３】図４９にはＬＣＤの横断面図を示す。第１
の配向膜４１と第２の配向膜４６との間は液晶材４７で
満たされており、その内部にはスペーサ４８が配置され
ている。液晶材４７はシール剤４９で封止されている。
またカラーフィルタ４４の間には遮光膜（ＢＭ：Black
Matrix）５０と保護膜５１とが形成されている。FIG. 49 is a cross sectional view of the LCD. First
The space between the alignment film 41 and the second alignment film 46 is filled with a liquid crystal material 47, and a spacer 48 is disposed inside the liquid crystal material 47. The liquid crystal material 47 is sealed with a sealant 49.
A light-shielding film (BM: Black) is provided between the color filters 44.
Matrix) 50 and a protective film 51 are formed.
【００７４】ゲート電極線３９及びソース電極線４０か
らの電圧でＴＦＴ３８が駆動する。そうして画素電極３
７と対向電極４３との間に電界が生じ，液晶材４７に変
化が起こる。この現象により第１の偏光板３５及び第１
のガラス板３６を通過した光の透過と遮断が行われる。
透過した光はカラーフィルタ４４、第２のガラス板４５
及び第２の偏光板４６を通りカラーの画像を形成する。The TFT 38 is driven by the voltage from the gate electrode line 39 and the source electrode line 40. Then the pixel electrode 3
An electric field is generated between the counter electrode 7 and the counter electrode 43, and the liquid crystal material 47 changes. Due to this phenomenon, the first polarizing plate 35 and the first
The transmission and blocking of the light passing through the glass plate 36 are performed.
The transmitted light passes through the color filter 44 and the second glass plate 45.
And a color image is formed through the second polarizing plate 46.
【００７５】以上で述べた液晶材４７の変化について説
明する。図５０に示す通り第１の配向膜４１と第２の配
向膜４２の間には液晶材４７を形成する液晶分子５２が
満たされている。液晶分子５２は分極しているため電界
をかけると、例えば第１の配向膜４１に対する垂直方向
といった一定の方向に配列される。第１の配向膜４１に
は第１のラビング溝５３が形成されており、第２の配向
膜４２には第２のラビング溝５４が形成されている。The change of the liquid crystal material 47 described above will be described. As shown in FIG. 50, the liquid crystal molecules 52 forming the liquid crystal material 47 are filled between the first alignment film 41 and the second alignment film. Since the liquid crystal molecules 52 are polarized, they are arranged in a certain direction such as a direction perpendicular to the first alignment film 41 when an electric field is applied. A first rubbing groove 53 is formed in the first alignment film 41, and a second rubbing groove 54 is formed in the second alignment film 42.
【００７６】しかし第１のラビング溝５３と第２のラビ
ング溝５４とが９０°方向を違えた場合には、液晶分子
５２に電界をかけない状態で第１のラビング溝５３と第
２のラビング溝５４とに沿って並ぶ。そして液晶分子５
２は第１の配向膜４１と第２の配向膜４２の間では螺旋
状に配列される。この現象を配向と称している。この配
向により、第１の偏光板３５を通過した直線偏光は液晶
分子５２の間をすり抜け、偏光軸を回転させながらなが
ら通過する。この現象を旋光という。なお、第１の偏光
板３５によって引き起こされる直線偏光の偏光方向と液
晶分子５２の長軸方向とは一致するように設定されてい
る。However, when the first rubbing groove 53 and the second rubbing groove 54 are oriented at 90 ° different from each other, the first rubbing groove 53 and the second rubbing groove 53 are not applied with an electric field. It is arranged along the groove 54. And liquid crystal molecules 5
2 are arranged spirally between the first alignment film 41 and the second alignment film 42. This phenomenon is called orientation. With this alignment, the linearly polarized light that has passed through the first polarizing plate 35 passes through between the liquid crystal molecules 52 and passes while rotating the polarization axis. This phenomenon is called optical rotation. The direction of polarization of linearly polarized light caused by the first polarizing plate 35 and the major axis direction of the liquid crystal molecules 52 are set to match.
【００７７】その結果、ノーマリーブラックモードのと
きは第２の偏光板４２によって光は遮断され、ノーマリ
ーホワイトモードのときは第２の偏光板４２により光は
透過される。しかし、第１のラビング溝５３，第２のラ
ビング溝５４の形成がうまく行われていない場合には、
液晶分子５２が適切に配向されないので画像の表示が不
良となる。以上では、ＴＮモード(Twisted Nematic Mod
e)を例に説明したが、配向膜と液晶分子とを利用した動
作原理には変らないのでＳＴＮモード(SuperTwisted Ne
matic Mode) 、ＤＳＴＮモード(Double Twisted Nemati
c Mode) 及びＴＳＴＮモード(Triple Super Twisted Ne
matic Mode) 等にも適用できるのはもちろんである。As a result, in the normally black mode, the light is blocked by the second polarizing plate 42, and in the normally white mode, the light is transmitted by the second polarizing plate 42. However, when the formation of the first rubbing groove 53 and the second rubbing groove 54 is not performed properly,
Since the liquid crystal molecules 52 are not properly oriented, display of an image becomes poor. In the above, the TN mode (Twisted Nematic Mod
e) was described as an example, but the operation principle using the alignment film and the liquid crystal molecules is not changed, so that the STN mode (Super Twisted Nematic) is used.
matic Mode), DSTN mode (Double Twisted Nemati
c Mode) and TSTN mode (Triple Super Twisted Ne
Of course, it can also be applied to matic Mode).
【００７８】ここでラビングの方法について図５１を用
いて以下に説明する。ポリイミド等の有機分子で構成さ
れた配向膜５５が形成されたガラス基板５６をバフ布と
呼ばれる毛足（直径数μｍ）が２ｍｍ程度のナイロン布
５７で、ラビングローラ５８を回転させながら一定方向
に擦る。その結果、有機分子の方向が揃えられることに
よって、液晶分子の方向を揃える配向を行うことができ
る。なお、配向膜５５は厚さが５００〜８００オングス
トローム程度であり、溶媒に溶かしたポリイミドをガラ
ス基板５６に塗布した後に１５０〜１８０℃の熱を加え
て溶媒を気化させることによって形成できる。さて、ナ
イロン布５７はラビングローラ５８に巻き付けられてい
る。このラビングローラ５８が偏心を起こしていたりナ
イロン布５７が弛んでいる場合にはラビング溝の形成に
関する不良がおこるのである。なお、バフ布にはナイロ
ンに限らず、木綿やレーヨンも用いることができる。ま
た、第１のラビング溝５３及び第２のラビング溝５４は
実際には図５０に示すような大きな窪みを有するもので
はないと考えられている。ラビングによって各配向膜の
分子と液晶分子５２とがエネルギー的に安定になるよう
に長軸方向を一致させることで溝が形成されたような振
る舞いをするものと考えられている。しかし、上述した
ラビングの不良によって、各分子の長軸方向一致が損な
われることも事実であるので本検査方法は有効なもので
ある。The rubbing method will be described below with reference to FIG. A glass substrate 56 on which an alignment film 55 composed of an organic molecule such as polyimide is formed is coated with a buff cloth (a few μm in diameter) of a nylon cloth 57 having a length of about 2 mm while rotating a rubbing roller 58 in a certain direction. rub. As a result, the alignment of the directions of the liquid crystal molecules can be performed by aligning the directions of the organic molecules. The alignment film 55 has a thickness of about 500 to 800 Å, and can be formed by applying polyimide dissolved in a solvent to the glass substrate 56 and then applying heat at 150 to 180 ° C. to vaporize the solvent. The nylon cloth 57 is wound around the rubbing roller 58. If the rubbing roller 58 is eccentric or the nylon cloth 57 is loose, a defect relating to the formation of the rubbing groove occurs. The buff cloth is not limited to nylon, but may be cotton or rayon. Also, it is considered that the first rubbing groove 53 and the second rubbing groove 54 do not actually have a large depression as shown in FIG. It is considered that by aligning the major axis directions so that the molecules of each alignment film and the liquid crystal molecules 52 are stable in terms of energy by rubbing, the liquid crystal molecules 52 behave as if grooves were formed. However, it is also true that the rubbing defect described above impairs the alignment of each molecule in the long axis direction, so this inspection method is effective.
【００７９】この不良を検出して、ＬＣＤを製造する工
程について図５２（ａ）乃至図５４（ｄ）に示す。まず
図５２（ａ）はＴＦＴ３８等を第１のガラス板３６上に
フォトリソグラフィ技術等を用いて作成する工程であ
る。図５２（ｂ）はＴＦＴ３８等の形成された第１のガ
ラス板３６上に第１の配向膜４２を形成する工程であ
る。図５２（ｃ）は図５０で示したラビングローラ５８
を用いて第１の配向膜４２をラビングする工程である。
図５２（ｄ）はスペーサ５９を第１のガラス板３６上に
散布する工程である。FIGS. 52 (a) to 54 (d) show the steps of manufacturing the LCD by detecting this defect. First, FIG. 52A shows a step of forming the TFT 38 and the like on the first glass plate 36 by using a photolithography technique or the like. FIG. 52B shows a step of forming the first alignment film 42 on the first glass plate 36 on which the TFT 38 and the like are formed. FIG. 52C shows the rubbing roller 58 shown in FIG.
This is a step of rubbing the first alignment film 42 using the method described above.
FIG. 52D shows a step of spraying the spacers 59 on the first glass plate 36.
【００８０】次に図５３（ａ）はカラーフィルタ４４を
第２のガラス基板４５上に顔料分散技術や染色技術等を
用いて形成する工程である。図５３（ｂ）はカラーフィ
ルタ４４の形成された第２のガラス基板４５上に第２の
配向膜４２を形成する工程である。図５３（ｃ）は図４
９で示したラビングローラ５８を用いて第２の配向膜４
２をラビングする工程である。図５３（ｄ）はシール剤
４９を塗布によって形成する工程である。このシール剤
４９はエポキシ樹脂もしくは紫外線硬化性樹脂等により
構成されている。Next, FIG. 53A shows a step of forming a color filter 44 on a second glass substrate 45 by using a pigment dispersion technique, a dyeing technique, or the like. FIG. 53B shows a step of forming the second alignment film 42 on the second glass substrate 45 on which the color filters 44 are formed. FIG. 53 (c) shows FIG.
9 using the rubbing roller 58 shown in FIG.
2 is a step of rubbing. FIG. 53D shows a step of forming the sealant 49 by coating. The sealing agent 49 is made of an epoxy resin or an ultraviolet curable resin.
【００８１】さて、続けて第１のガラス基板３６と第２
のガラス基板４５とを張り合わせて液晶セル５９を形成
する工程について説明する。図５４（ａ）は第１のガラ
ス基板３６と第２のガラス基板４５とをシール剤４９を
介して張り合わせる工程である。図５４（ｂ）は図５５
に示すように注入口６０を有するシール剤４９によって
液晶セル５９が多数形成されている第１のガラス基板３
６及び第２のガラス基板４５について、液晶セル５９毎
に切り離す工程である。図５４（ｃ）は内部が空の液晶
セル５９を真空下に置くことによって、液晶材４７を注
入口６０から液晶セル５９の内部に導入する工程であ
る。図５４（ｄ）は第１の偏光板３５及び第２の偏光板
４６を第１のガラス板３６及び第２のガラス板４５に張
り付ける工程である。これでＬＣＤは、液晶セル５９を
駆動回路に接続することによって動作が可能となる。Now, the first glass substrate 36 and the second glass substrate 36
The step of forming the liquid crystal cell 59 by bonding the glass substrate 45 to the glass substrate 45 will be described. FIG. 54A shows a step of bonding the first glass substrate 36 and the second glass substrate 45 with a sealant 49 interposed therebetween. FIG. 54B shows FIG.
As shown in FIG. 1, the first glass substrate 3 in which a large number of liquid crystal cells 59 are formed by a sealant 49 having an injection port 60.
This is a step of separating the liquid crystal cell 59 from the sixth glass substrate 45. FIG. 54C shows a step of introducing the liquid crystal material 47 into the liquid crystal cell 59 from the injection port 60 by placing the empty liquid crystal cell 59 under vacuum. FIG. 54 (d) shows a step of attaching the first polarizing plate 35 and the second polarizing plate 46 to the first glass plate 36 and the second glass plate 45. This allows the LCD to operate by connecting the liquid crystal cell 59 to the drive circuit.
【００８２】本発明の第１の実施の形態乃至第５の実施
の形態は、以上の工程のどこで用いられるのかを説明す
る。図５６は第１のガラス基板３６及び第２のガラス基
板４５の上面図である。まず本発明の第１の実施の形態
乃至第３の実施の形態について説明する。これらの実施
の形態では被検査物に対する反射光を用いて検査を行う
ものであるので、第１のガラス基板３６側及び第２のガ
ラス基板４５側に関して検査を行うことができる。なぜ
ならば図５６（ａ）に示すようなカラーフィルタ４４で
の着色の影響があっても配向膜の欠陥からの散乱光を拾
うだからである。実際には、この検査は図５２（ｃ）や
図５３（ｃ）の工程が終わった直後に行うものである。The first to fifth embodiments of the present invention will be described where the above steps are used. FIG. 56 is a top view of the first glass substrate 36 and the second glass substrate 45. FIG. First, the first to third embodiments of the present invention will be described. In these embodiments, since the inspection is performed using the reflected light on the inspection object, the inspection can be performed on the first glass substrate 36 side and the second glass substrate 45 side. This is because light scattered from a defect in the alignment film is picked up even if the color filter 44 is affected by coloring as shown in FIG. Actually, this inspection is performed immediately after the steps of FIGS. 52 (c) and 53 (c) are completed.
【００８３】それに対して本発明の第４の実施の形態及
び第５の実施の形態については、被検査物に対する透過
光を用いている。従って、カラーフィルタ４４での着色
の影響があるために第２のガラス基板４５側に関しては
検査を行うことができない。Ｒ，Ｇ，Ｂの各着色層を通
った光は各々の色によって減衰の程度が変わるので水滴
からの散乱光も影響を受けてしまうからである。実際に
は、この検査は図５２（ｃ）の工程が終わった直後に行
うものである。On the other hand, in the fourth and fifth embodiments of the present invention, light transmitted through the inspection object is used. Therefore, the second glass substrate 45 cannot be inspected due to the influence of coloring in the color filter 44. This is because the light passing through each of the R, G, and B colored layers varies in the degree of attenuation depending on each color, so that the scattered light from water droplets is also affected. Actually, this inspection is performed immediately after the step of FIG.
【００８４】なお、これらの検査についてはＬＣＤ製造
工程中の全ガラス基板に対して行っても良いが、製造工
程中のガラス基板の一部を抜き取って検査しても統計的
に品質管理は可能である。更には、本発明の第４の実施
の形態及び第５の実施の形態のようにガラス基板に対す
る透過光を用いる場合にも、第２のガラス基板４５側に
関するラビング溝５４の検査は、試験用被検査体として
ガラス基板上にポリイミドの薄膜を形成したものを用い
ることによって、ここに形成されたラビング溝５４の検
査を行い、そしてラビングが良好に行われていると判断
した後にカラーフィルタ４４等の形成された第２のガラ
ス基板４５をラビングして、製造工程へ乗せることも可
能である。Note that these inspections may be performed on all the glass substrates during the LCD manufacturing process, but the quality can be statistically controlled even if a part of the glass substrate is extracted during the manufacturing process and inspected. It is. Furthermore, even in the case where the transmitted light to the glass substrate is used as in the fourth and fifth embodiments of the present invention, the inspection of the rubbing groove 54 on the second glass substrate 45 side is performed by a test. By using a glass substrate on which a polyimide thin film is formed as an object to be inspected, the rubbing groove 54 formed here is inspected, and after it is determined that rubbing is performed well, the color filter 44 or the like is determined. It is also possible to rub the second glass substrate 45 on which is formed, and to carry it to the manufacturing process.
【００８５】なお、上述の例ではスイッチング素子とし
てのＴＦＴを有するアクティブマトリクス型の液晶表示
装置で説明をしたが、スイッチング素子を有しない単純
マトリクス型の液晶表示装置に適用できるのはもちろん
である。そしてカラーフィルタがアレイ基板上に形成さ
れた場合には、第２のガラス基板４５側に関するラビン
グ溝５４の検査は、前記の試験用被検査体を用いなくと
も可能である。この場合は第１のガラス基板３６側の検
査を前記の試験用被検査体を用いて行う。また、カラー
フィルタを必要としないＬＣＤの場合には第１のガラス
基板３６及び第２のガラス基板４５の検査を前記の試験
用被検査体を用いなくとも行うことができる。In the above example, an active matrix type liquid crystal display device having a TFT as a switching element has been described. However, the present invention can be applied to a simple matrix type liquid crystal display device having no switching element. When the color filter is formed on the array substrate, the inspection of the rubbing groove 54 on the second glass substrate 45 side is possible without using the test object. In this case, the inspection on the first glass substrate 36 side is performed using the test object to be tested. In the case of an LCD that does not require a color filter, the first glass substrate 36 and the second glass substrate 45 can be inspected without using the test object.
【００８６】更に、本発明の表面検査方法はラビング工
程の不良だけに限られず、有機洗浄剤等による基板表面
の洗浄の後に、洗浄ムラを検査する方法に用いることも
できる。従って、プラズマディスプレイパネル（ＰＤ
Ｐ：Plasma Display Panel）、フィールドエミッション
ディスプレイ（ＦＥＤ：Field Emission Display）、エ
レクトロルミネセンスパネル（ＥＬＰ：Electro Lumine
scence Panel）、バキュームフルオレセントディスプレ
イ（ＶＦＤ：Vaccum Fluorescent Display）等の平面デ
ィスプレイに適用することもできる。Further, the surface inspection method of the present invention is not limited to the defect in the rubbing step, and can be used for a method of inspecting unevenness of cleaning after cleaning the substrate surface with an organic cleaning agent or the like. Therefore, the plasma display panel (PD
P: Plasma Display Panel, Field Emission Display (FED), Electroluminescence Panel (ELP: Electro Lumine)
The present invention can also be applied to flat displays such as a scence panel and a vacuum fluorescent display (VFD).
【００８７】[0087]
【発明の効果】まず、請求項１乃至請求項１１、請求項
１８乃至請求項２４及び請求項２９乃至請求項３４に記
載の本発明に係る表面検査装置、表面検査方法及び液晶
表示装置の製造方法によると、被検査体表面に対して平
行にずれをもった方向からの均一な強度分布を持つ光の
照射によって引き起こされる像を撮像することで、ラビ
ング不良等に起因する微小な欠陥を有する被検査体につ
いても呼気像法を用いてＳ／Ｎの良い検査が可能とな
る。その結果正確な検査が可能となるため、最終製品た
る液晶表示装置の歩留まりの向上に寄与できる。First, the surface inspection apparatus, the surface inspection method, and the manufacture of the liquid crystal display device according to the present invention according to claims 1 to 11, 18 to 24 and 29 to 34. According to the method, by capturing an image caused by irradiation of light having a uniform intensity distribution from a direction shifted in parallel to the surface of the test object, the device has a minute defect due to a rubbing defect or the like. Inspection of a subject can be performed with good S / N using the breath image method. As a result, accurate inspection becomes possible, which can contribute to an improvement in the yield of the liquid crystal display device as a final product.
【００８８】また、請求項１２乃至請求項１７、請求項
２５乃至請求項２８及び請求項３５乃至請求項４０に記
載の本発明に係る表面検査装置、表面検査方法及び液晶
表示装置の製造方法によると、均一な強度分布を持つ光
の被検査体への照射によって引き起こされる像を被検査
体表面に垂直な面に対して斜め方向から撮像すること
で、ラビング不良等に起因する微小な欠陥を有する被検
査体についても呼気像法を用いてＳ／Ｎの良い検査が可
能となる。その結果正確な検査が可能となるため、最終
製品たる液晶表示装置の歩留まりの向上に寄与できる。The surface inspection apparatus, the surface inspection method, and the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention described in claim 12 to claim 17, claim 25 to claim 28, and claim 35 to claim 40. By imaging the image caused by the irradiation of the object to be inspected with light having a uniform intensity distribution from an oblique direction with respect to a plane perpendicular to the surface of the object to be inspected, minute defects caused by rubbing defects and the like can be eliminated. With respect to the subject to be inspected, an inspection with good S / N can be performed using the breath image method. As a result, accurate inspection becomes possible, which can contribute to an improvement in the yield of the liquid crystal display device as a final product.
【図１】本発明の第１の実施の形態乃至第４の実施の形
態の表面検査装置の概略断面図。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a surface inspection apparatus according to first to fourth embodiments of the present invention.
【図２】本発明の第１の実施の形態乃至第４の実施の形
態の表面検査装置の縦断面図。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the surface inspection apparatus according to the first to fourth embodiments of the present invention.
【図３】（ａ）は画像入力装置の縦断面図、（ｂ）は受
光素子の受光面に垂直な平面Ｈを示す斜視図。3A is a longitudinal sectional view of the image input device, and FIG. 3B is a perspective view showing a plane H perpendicular to a light receiving surface of a light receiving element.
【図４】本発明の第１の実施の形態における被検査体と
光ファイバアレイとの角度の関係の概略を示す上面図。FIG. 4 is a top view schematically showing the relationship between the angle of the test object and the optical fiber array according to the first embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第１の実施の形態における光学系と被
検査体と画像入力装置との位置関係を示す概略図。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a positional relationship among an optical system, a device under test, and an image input device according to the first embodiment of the present invention.
【図６】光学系と被検査体との角度とＳ／Ｎとの関係を
表すグラフ。FIG. 6 is a graph showing the relationship between the angle between the optical system and the test object and S / N.
【図７】光ファイバを斜めから照射した場合の被検査体
と光学系との関係を示す模式図。FIG. 7 is a schematic diagram showing a relationship between an inspection object and an optical system when an optical fiber is irradiated obliquely.
【図８】光源の拡散光を斜めから照射した場合の被検査
体と光学系との関係を示す模式図。FIG. 8 is a schematic diagram showing a relationship between an object to be inspected and an optical system when diffused light from a light source is irradiated obliquely.
【図９】本発明の表面検査装置の第１の実施の形態の第
１の例の概略を示す上面図。FIG. 9 is a top view schematically showing a first example of the first embodiment of the surface inspection apparatus of the present invention.
【図１０】被検査体に対してのラビングが不良である場
合の本発明の表面検査装置で得られる被検査体の画像を
示すディスプレイ上の中間調画像。FIG. 10 is a halftone image on a display showing an image of the inspection object obtained by the surface inspection apparatus of the present invention when rubbing on the inspection object is defective.
【図１１】被検査体に対して油が付着した場合の本発明
の表面検査装置で得られる被検査体の画像を示すディス
プレイ上の中間調画像。FIG. 11 is a halftone image on a display showing an image of the inspection object obtained by the surface inspection apparatus of the present invention when oil adheres to the inspection object.
【図１２】本発明の表面検査装置の第１の実施の形態の
第１の例の変形例の概略を示す上面図。FIG. 12 is a top view schematically showing a modification of the first example of the first embodiment of the surface inspection apparatus of the present invention.
【図１３】本発明の表面検査装置の第１の実施の形態の
第２の例の概略を示す上面図。FIG. 13 is a top view schematically showing a second example of the first embodiment of the surface inspection apparatus of the present invention.
【図１４】本発明の表面検査装置の第１の実施の形態の
第２の例の変形例の概略を示す上面図。FIG. 14 is a top view schematically showing a modification of the second example of the first embodiment of the surface inspection apparatus of the present invention.
【図１５】本発明の表面検査装置の第１の実施の形態の
第３の例の概略を示す上面図。FIG. 15 is a top view schematically showing a third example of the first embodiment of the surface inspection apparatus of the present invention.
【図１６】本発明の表面検査装置の第１の実施の形態の
第３の例におけるプリズムの拡大図。FIG. 16 is an enlarged view of a prism in a third example of the first embodiment of the surface inspection apparatus of the present invention.
【図１７】本発明の表面検査装置の第１の実施の形態の
第４の例の概略を示す上面図。FIG. 17 is a top view schematically showing a fourth example of the first embodiment of the surface inspection apparatus of the present invention.
【図１８】本発明の表面検査装置の第１の実施の形態の
第４の例における鏡の拡大図。FIG. 18 is an enlarged view of a mirror in a fourth example of the first embodiment of the surface inspection apparatus of the present invention.
【図１９】本発明の第１の実施の形態における被検査体
と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を示す斜視
図。FIG. 19 is a perspective view schematically showing the relationship between the angle between the test object and the optical fiber array according to the first embodiment of the present invention.
【図２０】（ａ）は、本発明の第１の実施の形態におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す上面図、（ｂ）は、（ａ）の正面図。FIG. 20A is a top view schematically showing the relationship between the angle between the test object and the optical fiber array according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 20B is a front view of FIG.
【図２１】（ａ）は、水滴から反射した光の散乱を表す
縦断面図、（ｂ）及び（ｃ）は、（ａ）の上面図。21A is a longitudinal sectional view illustrating scattering of light reflected from a water droplet, and FIGS. 21B and 21C are top views of FIG.
【図２２】本発明の第２の実施の形態の第１の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す斜視図。FIG. 22 is a perspective view schematically showing a relationship between an angle between an object to be inspected and an optical fiber array in a first example of the second embodiment of the present invention.
【図２３】本発明の第２の実施の形態の第１の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す上面図。FIG. 23 is a top view schematically showing an angle relationship between a test object and an optical fiber array in a first example of the second embodiment of the present invention.
【図２４】本発明の第２の実施の形態の第１の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す正面図。FIG. 24 is a front view showing the outline of the relationship between the angle between the test object and the optical fiber array in the first example of the second embodiment of the present invention.
【図２５】本発明の第２の実施の形態における光学系と
被検査体と画像入力装置との位置関係を示す概略図。FIG. 25 is a schematic diagram illustrating a positional relationship among an optical system, a device under test, and an image input device according to a second embodiment of the present invention.
【図２６】本発明の第２の実施の形態の第２の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す斜視図。FIG. 26 is a perspective view schematically showing a relationship between an angle between an object to be inspected and an optical fiber array in a second example of the second embodiment of the present invention.
【図２７】本発明の第２の実施の形態の第２の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す上面図。FIG. 27 is a top view schematically showing a relationship between an angle between an object to be inspected and an optical fiber array in a second example of the second embodiment of the present invention.
【図２８】本発明の第２の実施の形態の第２の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す正面図。FIG. 28 is a front view showing the outline of the angle relationship between the test object and the optical fiber array in the second example of the second embodiment of the present invention.
【図２９】本発明の第２の実施の形態の第３の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す斜視図。FIG. 29 is a perspective view schematically showing a relationship between an angle between an object to be inspected and an optical fiber array in a third example of the second embodiment of the present invention.
【図３０】本発明の第２の実施の形態の第３の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す上面図。FIG. 30 is a top view schematically showing the relationship between the angle between an object to be inspected and an optical fiber array in a third example of the second embodiment of the present invention.
【図３１】本発明の第２の実施の形態の第３の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す正面図。FIG. 31 is a front view schematically showing an angle relationship between a test object and an optical fiber array in a third example of the second embodiment of the present invention.
【図３２】本発明の第２の実施の形態の第４の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す斜視図。FIG. 32 is a perspective view schematically showing an angle relationship between a test object and an optical fiber array in a fourth example of the second embodiment of the present invention.
【図３３】本発明の第２の実施の形態の第４の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す上面図。FIG. 33 is a top view schematically showing an angle relationship between a test object and an optical fiber array in a fourth example of the second embodiment of the present invention.
【図３４】本発明の第２の実施の形態の第４の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す正面図。FIG. 34 is a front view showing the outline of the relationship between the angle between the test object and the optical fiber array in the fourth example of the second embodiment of the present invention.
【図３５】本発明の第１の実施の形態での欠点を示す光
学系と被検査体と画像入力装置との位置関係を示す概略
図。FIG. 35 is a schematic diagram showing a positional relationship between an optical system showing a defect in the first embodiment of the present invention, an object to be inspected, and an image input device.
【図３６】本発明の第３の実施の形態における光学系と
被検査体と画像入力装置との位置関係を示す概略図。FIG. 36 is a schematic diagram illustrating a positional relationship among an optical system, a device to be inspected, and an image input device according to a third embodiment of the present invention.
【図３７】本発明の第３の実施の形態における被検査体
と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を示す斜視
図。FIG. 37 is a perspective view schematically showing a relationship between an angle between an object to be inspected and an optical fiber array according to a third embodiment of the present invention.
【図３８】本発明の第３の実施の形態における被検査体
と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を示す上面
図。FIG. 38 is a top view schematically showing an angle relationship between an object to be inspected and an optical fiber array according to the third embodiment of the present invention.
【図３９】本発明の第４の実施の形態における光学系と
被検査体と画像入力装置との位置関係を示す概略図。FIG. 39 is a schematic diagram showing a positional relationship among an optical system, a device to be inspected, and an image input device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図４０】本発明の第４の実施の形態における光学系と
被検査体と画像入力装置との位置関係を示す概略図。FIG. 40 is a schematic diagram showing a positional relationship among an optical system, a device under test, and an image input device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図４１】本発明の第５の実施の形態の表面検査装置の
概略断面図。FIG. 41 is a schematic sectional view of a surface inspection apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.
【図４２】水滴を介して透過した光の散乱を示す縦断面
図。FIG. 42 is a longitudinal sectional view showing scattering of light transmitted through a water droplet.
【図４３】本発明の第５の実施の形態の第１の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す正面図。FIG. 43 is a front view showing the outline of the relationship between the angle between the test object and the optical fiber array in the first example of the fifth embodiment of the present invention.
【図４４】本発明の第５の実施の形態の第２の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す正面図。FIG. 44 is a front view showing the outline of the relationship between the angle between the test object and the optical fiber array in the second example of the fifth embodiment of the present invention.
【図４５】本発明の第５の実施の形態の第３の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す正面図。FIG. 45 is a front view showing the outline of the relationship between the angle between the test object and the optical fiber array in the third example of the fifth embodiment of the present invention.
【図４６】本発明の第５の実施の形態の第４の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す正面図。FIG. 46 is a front view schematically showing a relationship between an angle between an object to be inspected and an optical fiber array in a fourth example of the fifth embodiment of the present invention.
【図４７】本発明の第５の実施の形態の第５の例におけ
る被検査体と光ファイバアレイとの角度の関係の概略を
示す正面図。FIG. 47 is a front view showing the outline of the relationship between the angle between the test object and the optical fiber array in the fifth example of the fifth embodiment of the present invention.
【図４８】液晶表示装置の斜視断面図。FIG. 48 is a perspective sectional view of a liquid crystal display device.
【図４９】液晶表示装置の横断面図。FIG. 49 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device.
【図５０】配向膜と液晶分子との関係を示す概略斜視
図。FIG. 50 is a schematic perspective view showing the relationship between an alignment film and liquid crystal molecules.
【図５１】ラビングの様子を示す概略斜視図。FIG. 51 is a schematic perspective view showing rubbing.
【図５２】（ａ）はＴＦＴ形成工程、（ｂ）は、配向膜
形成工程、（ｃ）は、ラビング工程、（ｄ）は、スペー
サ散布工程を示す横断面図。52A is a cross-sectional view showing a TFT forming step, FIG. 52B is an alignment film forming step, FIG. 52C is a rubbing step, and FIG.
【図５３】（ａ）はカラーフィルタ形成工程、（ｂ）
は、配向膜形成工程、（ｃ）は、ラビング工程、（ｄ）
は、シール剤塗布工程を示す横断面図。FIG. 53 (a) is a color filter forming step, and (b)
Is an alignment film forming step, (c) is a rubbing step, and (d)
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a sealant application step.
【図５４】（ａ）はアレイ基板と対向基板の張り合わせ
工程、（ｂ）は、液晶セル分離工程、（ｃ）は、液晶材
注入工程、（ｄ）は、偏光板張り付け工程を示す横断面
図。54A is a cross-sectional view showing a bonding step of an array substrate and a counter substrate, FIG. 54B is a liquid crystal cell separating step, FIG. 54C is a liquid crystal material injecting step, and FIG. FIG.
【図５５】複数の液晶セルが形成されたガラス基板を示
す上面図。FIG. 55 is a top view illustrating a glass substrate provided with a plurality of liquid crystal cells.
【図５６】（ａ）は、第２のガラス基板（対向基板）を
示す上面図、（ｂ）は、第１のガラス基板（アレイ基
板）を示す上面図。FIG. 56 (a) is a top view showing a second glass substrate (counter substrate), and FIG. 56 (b) is a top view showing a first glass substrate (array substrate).
【図５７】呼気像法の原理を説明する概略図。FIG. 57 is a schematic view illustrating the principle of the breath image method.
【図５８】図５７の拡大図。FIG. 58 is an enlarged view of FIG. 57.
【図５９】従来の表面検査装置の分解斜視図。FIG. 59 is an exploded perspective view of a conventional surface inspection device.
【図６０】従来の表面検査装置の概略を示す縦断面図。FIG. 60 is a longitudinal sectional view schematically showing a conventional surface inspection apparatus.
【図６１】従来の表面検査装置における光学装置の概略
構成図。FIG. 61 is a schematic configuration diagram of an optical device in a conventional surface inspection device.
【図６２】配向膜が形成された基板の検査における入射
光と反射光との関係を示す模式図。FIG. 62 is a schematic view showing a relationship between incident light and reflected light in inspection of a substrate on which an alignment film is formed.
１…被検査体 ２…Ｘステージ ３…蒸気室 ４…開口部 ５…温度センサ ６…湿度センサ ７…結露防止ヒータ ８…加湿器 ９…排気口 １０…観測窓 １１…反射鏡 １２…光源 １３…ガイド １４ａ…画像入力装置 １４ｂ…受光素子 １４ｃ…受光面 １５…ガイド １６…ホルダ １７…ガイド １８…蒸気口 １９…呼気像 ２０ａ…光ファイバアレイ ２０ｂ…光ファイバ ２０ｃ…光ファイバ ２０ｄ…光ファイバ ２１…プリズム ２２ａ…出射面 ２２ｂ…対向面 ２３…鏡 ２４ａ…反射面 ２４ｂ…裏面 ２５…画像処理装置 ２６…水滴 ２７ａ…光ファイバアレイ ２７ｂ…光ファイバアレイ ２８…画像入力装置 ２９ａ…鏡 ２９ｂ…鏡 ３０ａ…画像入力装置 ３０ｂ…画像入力装置 ３１ａ…光ファイバアレイ ３１ｂ…光ファイバ ３２ａ…光ファイバアレイ ３２ｂ…光ファイバ ３３ａ…フレネルレンズ ３３ｂ…フレネルレンズ ３４…フレネルレンズ ３５…第１の偏光板 ３６…第１のガラス基板 ３７…画素電極 ３８…薄膜トランジスタ ３９…ゲート線 ４０…ソース線 ４１…第１の配向膜 ４２…第２の配向膜 ４３…対向電極 ４４…カラーフィルタ ４５…第２のガラス基板 ４６…第２の偏光板 ４７…液晶材 ４８…スペーサ ４９…シール剤 ５０…遮光膜 ５１…保護膜 ５２…液晶分子 ５３…第１のラビング溝 ５４…第２のラビング溝 ５５…配向膜 ５６…ガラス基板 ５７…ナイロン布 ５８…ラビングローラ ５９…注入口 ６０…液晶セル ６１…被検査体 ６２…ノズル ６３…水蒸気 ６４…曇り ６５…ムラのある部位 ６６…水滴 ６７…ローラコンベア ６８…蒸気室 ６９…開口部 ７０…温度センサ ７１…湿度センサ ７２…ヒータ ７３…排気口 ７４…純水 ７５…蒸気発生器 ７６…赤外線ランプ ７７…送風口 ７８…調節板 ７９…再加熱板 ８０…観測窓 ８１…光源 ８２…画像入力装置 ８３…呼気像 ８４…画像処理装置 ８５…光ファイバアレイ ８６…配向膜が形成された基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inspection object 2 ... X stage 3 ... Steam room 4 ... Opening 5 ... Temperature sensor 6 ... Humidity sensor 7 ... Dew condensation prevention heater 8 ... Humidifier 9 ... Exhaust port 10 ... Observation window 11 ... Reflecting mirror 12 ... Light source 13 ... Guide 14a ... Image input device 14b ... Light receiving element 14c ... Light receiving surface 15 ... Guide 16 ... Holder 17 ... Guide 18 ... Steam port 19 ... Expiration image 20a ... Optical fiber array 20b ... Optical fiber 20c ... Optical fiber 20d ... Optical fiber 21 ... Prism 22a ... Outgoing surface 22b ... Opposing surface 23 ... Mirror 24a ... Reflective surface 24b ... Back surface 25 ... Image processing device 26 ... Waterdrop 27a ... Optical fiber array 27b ... Optical fiber array 28 ... Image input device 29a ... Mirror 29b ... Mirror 30a ... image input device 30b ... image input device 31a ... optical fiber array 31b ... optical fiber 32a ... optical fiber A 32b Optical fiber 33a Fresnel lens 33b Fresnel lens 34 Fresnel lens 35 First polarizing plate 36 First glass substrate 37 Pixel electrode 38 Thin film transistor 39 Gate line 40 Source line 41 First Alignment film 42 Second alignment film 43 Counter electrode 44 Color filter 45 Second glass substrate 46 Second polarizing plate 47 Liquid crystal material 48 Spacer 49 Sealant 50 Light-shielding film 51 Protection Film 52: Liquid crystal molecules 53: First rubbing groove 54: Second rubbing groove 55: Alignment film 56: Glass substrate 57: Nylon cloth 58: Rubbing roller 59: Injection port 60: Liquid crystal cell 61: Test object 62 ... Nozzle 63 ... Water vapor 64 ... Cloudy 65 ... Uneven part 66 ... Water drop 67 ... Roller conveyor 68 ... Steam chamber 69 ... Opening 70 ... Degree sensor 71 ... Humidity sensor 72 ... Heater 73 ... Exhaust port 74 ... Pure water 75 ... Steam generator 76 ... Infrared lamp 77 ... Blow-out port 78 ... Adjusting plate 79 ... Reheating plate 80 ... Observation window 81 ... Light source 82 ... Image input Device 83: Expiration image 84: Image processing device 85: Optical fiber array 86: Substrate on which alignment film is formed
Claims (40)
段からの光を平面を有する被検査体に導びく導光手段
と、前記被検査体を容器内に搬入する搬入手段と、蒸気
を発生し前記容器内に導入する蒸気発生手段と、前記被
検査体の表面に前記蒸気が結露することによって形成さ
れる像を受光して撮像する撮像手段と、前記撮像の結果
に基づき前記被検査体の表面の欠陥を検査する検査手段
とを具備する表面検査装置において、前記導光手段は、
前記撮像手段における受光面に垂直で且つ前記被検査体
の平面に垂直な平面に対して０度より大きく３６０度よ
り小さい所定角度で前記被検査体に光を照射することを
特徴とする表面検査装置。An illumination unit that emits light; a light guide unit that guides light from the illumination unit to a test object having a flat surface; a carry-in unit that carries the test object into a container; Vapor generating means for generating and introducing the vapor into the container; imaging means for receiving and imaging an image formed by condensation of the vapor on the surface of the inspection object; and inspecting the inspection object based on the imaging result. In a surface inspection apparatus comprising inspection means for inspecting defects on the surface of the body, the light guide means,
A surface inspection method comprising: irradiating the inspection object with light at a predetermined angle greater than 0 degrees and less than 360 degrees with respect to a plane perpendicular to a light receiving surface of the imaging unit and perpendicular to a plane of the inspection object. apparatus.
とを特徴とする請求項１記載の表面検査装置。2. The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the predetermined angle is 10 degrees to 50 degrees.
垂直で且つ被検査体に垂直な平面に対して所定角度傾け
た光ファイバアレイを具備することを特徴とする請求項
１記載の表面検査装置。3. The surface inspection according to claim 1, wherein the light guiding means includes an optical fiber array inclined at a predetermined angle with respect to a plane perpendicular to the light receiving surface of the imaging means and perpendicular to the object to be inspected. apparatus.
研磨した光ファイバアレイを具備し、この光ファイバア
レイから撮像手段における受光面に垂直で且つ被検査体
に垂直な平面に対して所定角度で被検査体に光を照射す
ることを特徴とする請求項１記載の表面検査装置。4. The light guide means comprises an optical fiber array whose tip is polished obliquely with respect to an axis, and the optical fiber array is arranged on a plane perpendicular to the light receiving surface of the imaging means and perpendicular to the object to be inspected. The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the object is irradiated with light at a predetermined angle.
光ファイバアレイを具備し、このプリズムを通して撮像
手段における受光面に垂直で且つ被検査体の平面に垂直
な平面に対して所定角度で被検査体に光を照射すること
を特徴とする請求項１記載の表面検査装置。5. The light guide means includes an optical fiber array having a prism at a tip thereof, and the light guide means is provided at a predetermined angle with respect to a plane perpendicular to a light receiving surface of the image pickup means and a plane perpendicular to a plane of the object through the prism. The surface inspection device according to claim 1, wherein the inspection object is irradiated with light.
光ファイバアレイを具備し、この反射部材を通して撮像
手段における受光面に垂直で且つ被検査体の平面に垂直
な平面に対して所定角度で被検査体に光を照射すること
を特徴とする請求項１記載の表面検査装置。6. The light guide means includes an optical fiber array having a reflection member at a tip, and a predetermined angle with respect to a plane perpendicular to the light receiving surface of the imaging means and perpendicular to the plane of the object through the reflection member. 2. The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the object is irradiated with light.
垂直で且つ被検査体の平面に垂直な平面に対して所定角
度で被検査体にこの平面の片側より光を照射することを
特徴とする請求項１記載の表面検査装置。7. The light guide means irradiates light to the object to be inspected from one side of the plane at a predetermined angle with respect to a plane perpendicular to the light receiving surface of the imaging means and perpendicular to the plane of the object to be inspected. The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein
垂直で且つ被検査体の平面に垂直な平面に対して所定角
度で被検査体にこの平面の両側より光を照射することを
特徴とする請求項１記載の表面検査装置。8. The light guide means irradiates light to the object to be inspected from both sides of the plane at a predetermined angle with respect to a plane perpendicular to the light receiving surface of the imaging means and perpendicular to the plane of the object to be inspected. The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein
る請求項１記載の表面検査装置。9. The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein a plurality of imaging means are provided.
平面に対して異なる側に配置されていることを特徴とす
る請求項１記載の表面検査装置。10. The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the light guide means and the imaging means are arranged on different sides with respect to the plane of the inspection object.
平面に対して同じ側に配置されていることを特徴とする
請求項１記載の表面検査装置。11. The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the light guide means and the imaging means are arranged on the same side with respect to the plane of the inspection object.
手段からの光を平面を有する被検査体に導びく導光手段
と、前記被検査体を容器内に搬入する搬入手段と、蒸気
を発生し前記容器内に導入する蒸気発生手段と、前記被
検査体の表面に前記蒸気が結露することによって形成さ
れる像を受光して撮像する撮像手段と、前記撮像の結果
に基づき前記被検査体の表面の欠陥を検査する検査手段
とを具備する表面検査装置において、前記撮像手段は、
前記導光手段により集光がなされている集光点を含む、
前記被検査体に垂直な平面に対して０度より大きく１８
０度より小さい所定角度又は１８０度より大きく３６０
度より小さい所定角度で、前記像の形成された前記被検
査体を撮像することを特徴とする表面検査装置。12. Lighting means for emitting light, light guiding means for guiding the light from the lighting means to a test object having a flat surface, carrying means for carrying the test object into a container, and steam. Vapor generation means for generating and introducing the vapor into the container; imaging means for receiving and imaging an image formed by condensation of the vapor on the surface of the inspection object; and inspecting the inspection object based on a result of the imaging. In a surface inspection apparatus including inspection means for inspecting a defect on the surface of the body, the imaging means,
Including a light-collecting point where light is condensed by the light-guiding means,
18 degrees greater than 0 degrees with respect to a plane perpendicular to the test object
A predetermined angle smaller than 0 degrees or 360 larger than 180 degrees
A surface inspection apparatus, wherein the object to be inspected on which the image is formed is imaged at a predetermined angle smaller than a degree.
ことを特徴とする請求項１２記載の表面検査装置。13. The surface inspection apparatus according to claim 12, wherein the predetermined angle is 10 degrees to 50 degrees.
することを特徴とする請求項１２記載の表面検査装置。14. The surface inspection apparatus according to claim 12, wherein the light guiding means includes an optical fiber array.
特徴とする請求項１２記載の表面検査装置。15. The surface inspection apparatus according to claim 12, wherein the light guiding means includes a lens.
平面に対して異なる側に配置されていることを特徴とす
る請求項１２記載の表面検査装置。16. The surface inspection apparatus according to claim 12, wherein the light guide means and the imaging means are arranged on different sides with respect to the plane of the inspection object.
平面に対して同じ側に配置されていることを特徴とする
請求項１２記載の表面検査装置。17. The surface inspection apparatus according to claim 12, wherein the light guide means and the imaging means are arranged on the same side with respect to the plane of the inspection object.
工程にて得られた光を平面を有する被検査体に導びく導
光工程と、前記被検査体を容器内に搬入する搬入工程
と、蒸気を発生し前記容器内に導入する蒸気発生工程
と、前記被検査体の表面に前記蒸気が結露することによ
って形成される像を受光して撮像する撮像工程と、前記
撮像の結果に基づき前記被検査体の表面の欠陥を検査す
る検査工程とを具備する表面検査方法において、前記導
光工程では、前記撮像工程における受光面に垂直で且つ
前記被検査体の平面に垂直な平面に対して０度より大き
く３６０度より小さい所定角度から前記被検査体に光を
照射することを特徴とする表面検査方法。18. An illumination step of emitting light, a light guiding step of guiding the light obtained in the illumination step to a test object having a flat surface, and a loading step of loading the test object into a container. A steam generating step of generating steam and introducing the steam into the container, an imaging step of receiving and imaging an image formed by the condensation of the steam on the surface of the inspection object, and based on a result of the imaging. An inspection step of inspecting a defect on the surface of the object to be inspected, wherein in the light guiding step, a plane perpendicular to the light receiving surface in the imaging step and perpendicular to the plane of the object to be inspected is provided. Irradiating the inspection object with light from a predetermined angle that is greater than 0 degrees and less than 360 degrees.
ことを特徴とする請求項１８記載の表面検査方法。19. The surface inspection method according to claim 18, wherein the predetermined angle is 10 degrees to 50 degrees.
工程を有することを特徴とする請求項１８記載の表面検
査方法。20. The surface inspection method according to claim 18, wherein the light guiding step includes a light reflecting step by a reflecting member.
に垂直で且つ被検査体の平面に垂直な平面に対して所定
角度で被検査体にこの平面の片側より光を照射すること
を特徴とする請求項１８記載の表面検査方法。21. The light guide step includes irradiating the test object with light from one side of this plane at a predetermined angle with respect to a plane perpendicular to the light receiving surface in the imaging step and perpendicular to the plane of the test object. 19. The surface inspection method according to claim 18, wherein
に垂直で且つ被検査体の平面に垂直な平面に対して所定
角度で被検査体にこの平面の両側より光を照射すること
を特徴とする請求項１８記載の表面検査方法。22. The light guide step includes irradiating the object to be inspected with light from both sides of the plane at a predetermined angle with respect to a plane perpendicular to the light receiving surface in the imaging step and perpendicular to the plane of the object. 19. The surface inspection method according to claim 18, wherein
により行うことを特徴とする請求項１８記載の表面検査
方法。23. The surface inspection method according to claim 18, wherein the imaging step is performed by light reflected on the inspection object.
により行うことを特徴とする請求項１８記載の表面検査
方法。24. The surface inspection method according to claim 18, wherein the imaging step is performed by light transmitted through the inspection object.
工程にて得られた光を被検査体に導びく導光工程と、前
記被検査体を容器内に搬入する搬入工程と、蒸気を発生
し前記容器内に導入する蒸気発生工程と、前記被検査体
の表面に前記蒸気が結露することによって形成される像
を受光して撮像する撮像工程と、前記撮像の結果に基づ
き前記被検査体の表面の欠陥を検査する検査工程とを具
備する表面検査方法において、前記撮像工程では、前記
導光工程にて集光がなされている集光点を含む前記被検
査体に垂直な平面に対して０度より大きく１８０度より
小さい所定角度又は１８０度より大きく３６０度より小
さい所定角度で、前記像の形成された前記被検査体を撮
像することを特徴とする表面検査方法。25. An illuminating step of emitting light, a light guiding step of guiding the light obtained in the illuminating step to an object to be inspected, a carrying-in step of carrying the object to be inspected into a container, and A vapor generating step of generating and introducing the vapor into the container; an imaging step of receiving and imaging an image formed by condensation of the vapor on the surface of the inspection object; and performing the inspection based on a result of the imaging. An inspection step of inspecting a defect on the surface of the body, wherein in the imaging step, a plane perpendicular to the object to be inspected including a converging point where light is condensed in the light guiding step. A surface inspection method characterized by taking an image of the object on which the image is formed at a predetermined angle greater than 0 degree and smaller than 180 degrees or a predetermined angle larger than 180 degrees and smaller than 360 degrees.
ことを特徴とする請求項２５記載の表面検査方法。26. The surface inspection method according to claim 25, wherein the predetermined angle is 10 degrees to 50 degrees.
により行うことを特徴とする請求項２５記載の表面検査
方法。27. The surface inspection method according to claim 25, wherein the imaging step is performed by light reflected on the object to be inspected.
により行うことを特徴とする請求項２５記載の表面検査
方法。28. The surface inspection method according to claim 25, wherein the imaging step is performed by light transmitted through the inspection object.
の形成された第１基板をラビングする工程と、少なくと
も第２電極及び第２配向膜の形成された第２基板をラビ
ングする工程と、前記第１基板又は前記第２基板のうち
の少なくとも一方の表面へ結露により像を形成する呼気
像形成工程と、前記像の形成された前記第１の基板又は
前記第２基板の少なくとも一方に対して光を照射する導
光工程と前記像を受光して撮像する撮像工程と、前記撮
像の結果に基づき前記第１基板又は前記第２基板のうち
の少なくとも一方の表面の欠陥を検査する検査工程と、
前記第１の基板と前記第２の基板との間隙に液晶を介在
させて封止する封止工程とを具備する液晶表示装置の製
造方法において、前記導光工程では、前記撮像工程にお
ける受光面に垂直で且つ前記像の形成された前記第１基
板又は前記第２基板のうちの少なくとも一方に垂直な平
面に対して０度より大きく３６０度より小さい所定角度
から前記第１基板又は前記第２基板のうちの少なくとも
一方に光を照射することを特徴とする液晶表示装置の製
造方法。29. A step of rubbing at least a first substrate provided with a first electrode and a first alignment film, a step of rubbing at least a second substrate provided with a second electrode and a second alignment film, A breath image forming step of forming an image by condensation on at least one surface of the first substrate or the second substrate, and at least one of the first substrate and the second substrate on which the image is formed. A light guiding step of irradiating light, an imaging step of receiving and imaging the image, and an inspection step of inspecting at least one surface of the first substrate or the second substrate for a defect based on a result of the imaging. ,
A method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a sealing step of sealing with a liquid crystal interposed in a gap between the first substrate and the second substrate. A predetermined angle greater than 0 degree and smaller than 360 degrees with respect to a plane perpendicular to at least one of the first substrate and the second substrate on which the image is formed. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising irradiating at least one of the substrates with light.
ことを特徴とする請求項２９記載の液晶表示装置の製造
方法。30. The method according to claim 29, wherein the predetermined angle is 10 degrees to 50 degrees.
うちの少なくとも一方に対する反射光により行うことを
特徴とする請求項２９記載の液晶表示装置の製造方法。31. The method according to claim 29, wherein the imaging step is performed by reflected light on at least one of the first substrate and the second substrate.
うちの少なくとも一方に対する透過光により行うことを
特徴とする請求項２９記載の液晶表示装置の製造方法。32. The method according to claim 29, wherein the imaging step is performed by transmitting light to at least one of the first substrate and the second substrate.
示装置を対象にして行うことを特徴とする請求項２９記
載の液晶表示装置の製造方法。33. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 29, wherein the inspection step is performed for all the liquid crystal display devices to be manufactured.
示装置を対象にして行うことを特徴とする請求項２９記
載の液晶表示装置の製造方法。34. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 29, wherein the inspection step is performed on a part of the liquid crystal display devices to be manufactured.
の形成された第１基板をラビングする工程と、少なくと
も第２電極及び第２配向膜の形成された第２基板をラビ
ングする工程と、前記第１基板又は前記第２基板のうち
の少なくとも一方の表面へ結露により像を形成する呼気
像形成工程と、前記像の形成された前記第１の基板又は
前記第２基板の少なくとも一方に対して光を照射する導
光工程と前記像を受光して撮像する撮像工程と、前記撮
像の結果に基づき前記第１基板又は前記第２基板のうち
の少なくとも一方の表面の欠陥を検査する検査工程と、
前記第１の基板と前記第２の基板との間隙に液晶を介在
させて封止する封止工程とを具備する液晶表示装置の製
造方法において、前記撮像工程では、前記導光工程によ
り集光がなされている集光点を含む、前記像の形成され
た前記第１基板又は前記第２基板のうちの少なくとも一
方に垂直な平面に対して０度より大きく１８０度より小
さい所定角度又は１８０度より大きく３６０度より小さ
い所定角度で、前記第１基板又は前記第２基板のうちの
少なくとも一方を撮像することを特徴とする液晶表示装
置の製造方法。35. A step of rubbing at least a first substrate provided with a first electrode and a first alignment film, a step of rubbing at least a second substrate provided with a second electrode and a second alignment film, A breath image forming step of forming an image by condensation on at least one surface of the first substrate or the second substrate, and at least one of the first substrate and the second substrate on which the image is formed. A light guiding step of irradiating light, an imaging step of receiving and imaging the image, and an inspection step of inspecting at least one surface of the first substrate or the second substrate for a defect based on a result of the imaging. ,
A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a sealing step of sealing with a liquid crystal interposed in a gap between the first substrate and the second substrate. A predetermined angle or 180 degrees greater than 0 degree and less than 180 degrees with respect to a plane perpendicular to at least one of the first substrate and the second substrate on which the image is formed, including a converging point where A method of manufacturing a liquid crystal display device, wherein at least one of the first substrate and the second substrate is imaged at a predetermined angle larger than 360 degrees.
ことを特徴とする請求項３５記載の液晶表示装置の製造
方法。36. The method according to claim 35, wherein the predetermined angle is 10 degrees to 50 degrees.
うちの少なくとも一方に対する反射光により行うことを
特徴とする請求項３５記載の液晶表示装置の製造方法。37. The method according to claim 35, wherein the imaging step is performed by reflected light on at least one of the first substrate and the second substrate.
うちの少なくとも一方に対する透過光により行うことを
特徴とする請求項３５記載の液晶表示装置の製造方法。38. The method according to claim 35, wherein the imaging step is performed by transmitting light to at least one of the first substrate and the second substrate.
示装置を対象にして行うことを特徴とする請求項３５記
載の液晶表示装置の製造方法。39. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 35, wherein the inspection step is performed for all manufactured liquid crystal display devices.
示装置を対象にして行うことを特徴とする請求項３５記
載の液晶表示装置の製造方法。40. The method according to claim 35, wherein the inspection step is performed on a part of the liquid crystal display devices to be manufactured.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8331803A JPH10111257A (en) | 1995-12-14 | 1996-12-12 | Equipment and method for surface inspection and manufacture of liquid crystal display device |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-325307 | 1995-12-14 | ||
| JP8-210758 | 1995-12-14 | ||
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