KR100700928B1 - 반송차, 제조장치 및 반송시스템 - Google Patents

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Abstract

반송차 내부 및 제조장치 내부가 주위환경보다 청정화된 반송시스템에 있어서, 이동적재구에 부착된 이물 등에 의해 이동적재되는 피제조물이 오염되는 것을 방지함을 목적으로 한다.
이를 위해, 반송차가 소정의 반송경로를 주행하는 주행유닛(14)과, 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛(12)과, 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납하는 수납부(13)와, 수납부(13)에 대한 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 케이스 측면에 설치된 이동적재구(11)와, 이동적재구(11)측의 외부로 향하여 에어분출을 행하는 에어 분출부(19A)로 이루어진다.

Description

반송차, 제조장치 및 반송시스템{CARRIER, MANUFACTURING DEVICE AND CARRIER SYSTEM}
도 1은 본 발명의 실시형태1에 의한 자동반송시스템의 일구성예를 나타낸 개략도이다.
도 2는 도 1의 자동반송차(1A)를 진행방향으로부터 바라본 내부의 개략구성을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1의 자동 반송차(1A)를 진행방향에 대한 측면으로부터 바라본 경우의 외관도가 나타내져 있는 도면이다.
도01 4는 자동반송차(1A)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다.
도 5는 에어분출의 타이밍을 나타낸 설명도이다.
도 6은 자동반송차(1A) 및 반도체 제조장치(2) 간의 카세트 이동적재시의 형태를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시형태2에 의한 자동반송시스템의 일구성예를 나타낸 개략도이다.
도 8은 도 7의 자동반송차(1B)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시형태3에 의한 자동반송시스템의 일구성예를 나타낸 개략도이다.
도 10은 도 9의 자동반송차(1C)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시형태4에 의한 반도체 제조장치(2A)의 개략적인 구조를 나타낸 단면도이다.
도 12는 도 11의 반도체 제조장치(2A)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시형태5에 의한 반도체 제조장치의 개략적인 구조를 나타낸 단면도이다.
도 14는 도 13의 반도체 제조장치(2B)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다.
도 15는 본 발명의 실시형태6에 의한 자동반송차, 반도체 제조장치가 에어분출을 행하는 형태를 나타낸 도면이다.
도 16은 도 15의 반도체 제조장치(2C) 및 자동반송차(1) 간의 카세트 이동적재시의 형태를 나타낸 도면이다.
도 17은 일본 특개평11-238777호 공보에 개시된 종래의 자동반송시스템의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다.
도 18은 무인반송시스템(101)의 구성을 나타내는 개략적인 도면이다.
도 19는 스테이션(103)에 대향하는 반송차(102)를 나타내는 평면 단면도이 다.
도 20은 반송차(102)를 나타내는 사시도이다.
도 21은 반송차(102) 및 스테이션(103)의 정면 일부단면도이다.
도 22는 덕트(duct)(112)의 사시도이다.
도 23은 각 에어분출수단의 제어구성을 나타내는 블록도이다.
도 24는 이동적재준비시의 각 공기류의 흐름을 나타내는 평면도이다.
도 25는 셔터(110ㆍ110)의 개폐기구를 나타내는 사시도이다.
도 26은 셔터(110ㆍ110) 개방에서부터 이동적재동작 개시전까지의 과정을 나타내는 반송차(102) 및 스테이션(103)의 개략적인 평면도이다.
도 27은 이동적재동작 개시후로부터 셔터(110ㆍ110) 폐지까지의 과정을 나타내는 반송차(102) 및 스테이션(103)의 개략적인 평면도이다.
도 28은 실시형태8에 있어서의 각 에어분출수단의 제어구성을 나타내는 블록도이다.
도 29는 실시형태9의 반송차(52)를 나타내는 사시도이다.
도 30은 보조 에어분출수단을 나타내는 사시도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1,IA~ID … 자동반송차 2,2A~2C … 반도체 제조장치
3 … 스토커(stocker) 4 … 반송로
5 … 클린(clean)터널 11 … 이동적재구
12 … 청정화 유닛 13 … 수납부
14 … 주행유닛 15 … 송풍팬
16 … 청정화 필터 17 … 카세트
18A~18C … 에어노즐 19A~19C … 에어분출부
20 … 프로세스 처리부
21 … 예비실[로더(loader)/언로더(unloader)]
22 … 이동적재구 23 … 청정화 유닛
24 … 송풍팬 25 … 청정화 필터
본 발명은 반송차, 제조장치 및 반송시스템에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 피제조물을 청정화된 분위기 중에 유지하는 것이 요구되는 제조라인, 예컨대, 액정표시장치, PDP(Plasma Display Panel), 유기EL(Electro Luminescence), 그 외의 반도체장치의 제조라인의 국소클린(clean)화에 적합한 반송차, 제조장치, 반송시스템 등의 개량에 관한 것이다.
반도체장치의 제조는 Si웨이퍼나 평판유리 등으로 이루어지는 기판 상에 미크론단위 또는 그 이하의 미세가공을 실시하기 때문에 제조 중의 기판으로의 이물(예컨대, 분진입자)의 부착이 곧바로 제품수율을 저하시키는 원인으로 된다. 이 때문에 종래의 반도체장치의 제조라인은 라인 전체가 청정도(클린도)가 높은 환경으로 관리된 클린룸(clean room) 내에 설치되어 있다.
그러나, 제조라인 전체를 높은 청정도로 유지하도록 하면 다수의 청정화 유닛을 구비한 용량이 큰 클린룸이 필요하게 되고, 클린룸의 건설에 아주 많은 비용이 필요로 된다. 또한, 송풍팬 및 HEPA 필터 등으로 이루어지는 청정화 유닛은 송풍팬의 구동에 큰 동력을 필요로 하므로 많은 액수의 운전비용이 필요하게 된다. 또한, 넓은 클린룸 내에 있어서 청정도를 균일하게 유지하기 위해서는 압력제어 등에 의해 에어의 흐름제어를 행하는 기술이 요구되고, 그 유지관리는 용이하지 않았다.
이와 같은 문제를 해결하는 방법으로서, 제조라인 전체가 아니고, 제조라인의 일부만의 청정도를 높이는 국소 클린화 기술이 종래로부터 있었다. 국소 클린화 기술은 피제조물이 이동하는 공간에 관해서만 국소적으로 청정도를 높이는 기술이다. 예컨대, 제조 중의 반도체장치가 반송되는 통로 상의 청정도를 다른 공간보다 높이는 방법이다. 이 경우에 라인전체의 청정도를 높이는 경우에 비하면 비용을 저감할 수 있다.
또한, 일본 특개평11-238777호 공보에는 상기 국소 클린화 기술을 더욱 발전시킨 카세트 반송시스템에 관한 발명이 개시되어 있다. 이 시스템은 반도체 제조장치의 로더/언로더 내부와, 자동반송차 내부의 청정도를 클린룸의 청정도보다 높여서 클린룸의 유지관리를 위한 비용을 절감하도록 하는 것이다.
도 17은 상기 공보에 기재된 종래의 자동반송시스템의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다. 자동반송차(1)의 카세트 수납부(13) 및 반도체 제조장치(2)의 로더/언로더(21)에는 Si웨이퍼, 유리기판 등이 격납된 카세트(17)를 이동적재하기 위한 이동적재구(11,22)가 각각 설치되어 있다. 이동적재구(11,22)는 서로 동일 형상 및 동일 높이로 설치된 셔터가 부착된 개구부이다.
이와 같은 이동적재구(11,22)를 설치함으로써 자동반송차(1) 및 반도체 제조장치(2)의 내부를 높은 청정도로 유지하고 있으므로 반송경로 등의 청정도를 비교적 억제할 수 있고, 클린룸의 건설 및 유지관리를 위한 비용을 절감할 수 있다.
그러나, 제조 중의 반도체장치가 반송되는 통로 상의 청정도를 다른 공간보다 높이는 방법에서는 반송주행 시에 베드(bed)면 상의 이물을 말아올려서 반송차 (1) 자신 및 반도체 제조장치(2)의 이동적재구에 세트된 카세트 내의 반도체장치에 이물이 부착된다. 이 때문에, 통로 상의 다운플로우(down flow)를 강하게 하는, 통로부 주변의 칸막이벽의 형상을 변경하는 경우에 따라서는 반송차의 속도를 느리게 해야만 한다라는 문제가 있었다.
또한, 상기 공보에 기재된 종래의 자동반송시스템에서는 자동반송차(1)와, 반송차 제조장치(2) 사이에서 카세트(17)를 이동적재하는 경우, 자동반송차(1) 및 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(11,22)가 대향하는 위치까지 자동반송차(1)를 이동시켜 쌍방의 셔터가 개방한다. 이 때, 셔터의 외측에 부착되어 있는 이물이 날려 올라가고, 이동적재가 행해지는 자동반송차(1) 및 반도체 제조장치(2) 부근, 특히, 이동적재구(11,22) 부근이 날려 올라간 이물에 의해 오염된다라는 문제가 있었다.
또한, 자동반송차(1)가 주행함으로써 베드면 상에 있던 이물을 말아올려서 자동반송차(1) 자신 및 반도체 제조장치(2)의 셔터에 이물이 부착된다. 이 때문에, 생상성 향상을 위하여 자동반송차의 주행속도를 높이고자 하면 이동적재구 부근의 오염에 의한 영향이 보다 크게 되고, 수율이 저하한다라는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이고, 반송차 내부 및 제조장치 내부가 주위환경보다 청정화된 반송시스템에 있어서, 이동적재구에 부착된 이물 등에 의해 이동적재되는 피제조물이 오염되는 것을 방지하는 반송차, 제조장치 및 반송시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 반송차가 이동적재지점에 도착한 시점에서 이동적재동작을 개시가능하게 함으로써 반송시간을 단축하고, 반송시스템에 드는 비용을 삭감하고, 또한, 생산성을 향상시킬 수 있는 반송차, 제조장치 및 반송시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
청구항1에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 소정의 반송경로를 주행하는 주행유닛; 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납하는 수납부; 상기 수납부에 대한 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 케이스 측면에 설치된 이동적재구; 및 상기 이동적재구측의 외부의 제조장치를 향하여 에어를 분출하는 제1에어분출부를 구비하여 구성된다.
반송차의 이동적재구측의 측면은 반송차와의 사이에서 피제조물의 주고받음을 행하는 제조장치(예컨대, 반도체 제조장치나 스토커)의 앞면(이동적재구가 설치된 면)에 대향하는 면으로 되기 때문에 에어분출부를 반송차의 이동적재구측의 측면에 설치하여 에어를 분출시킴으로써 상기 제조장치의 앞면을 향하여 에어를 분출 하여 상기 제조장치의 앞면에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
또한, 청정화 유닛은 송풍팬 및 필터로 구성되고, 적어도 반송차가 사용되는 분위기 중의 에어보다 청정화된 에어를 공급하고 있다. 또한, 에어분출부로부터의 에어는 이동적재구측의 측면에 대해서 각도를 갖는 방향(상기 측면으로부터 떨어지는 방향)으로 분출된다. 예컨대, 개략적으로 측면의 법선방향으로 분출되거나, 또는, 보다 진행방향측으로 향하여 분출된다.
또한, 에어분출부는 반송차의 이동적재구측의 측면에 설치되면 이동적재구의 주변부이여도 좋고, 이동적재구에 셔터 등의 개폐수단이 설치되어 있는 경우에는 상기 개폐수단에 설치하여도 좋다.
청구항2에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 상기 제1에어분출부가 이동적재구보다 진행방향측에 설치되어 있다. 이러한 형태의 구성에 의해 반송차가 피제조물의 제조장치까지 주행하고, 피제조물의 주고받음을 행하는 경우에 반송차의 주행 중에 상기 제조장치의 이동적재구에 대한 에어의 분출을 행할 수 있으므로 반송차의 이동적재구가 상기 제조장치의 이동적재구에 대향하는 이동적재지점에 도달하여 반송차가 정지하기 전에 상기 제조장치의 이동적재구(셔터 등의 개폐수단이 설치되어 있으면 상기 개폐수단)에 대한 에어의 분출을 행할 수 있다.
청구항3에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 상기 제1에어분출부가 이동적재구의 주변부에 배치되고, 에어커텐을 형성하는 복수의 에어노즐로 구성된다. 이러한 형태의 구성에 의해 에어커텐을 형성하여 제조장치에 대한 에어의 분출을 행함으로써 보다 효과적으로 에어의 분출을 행할 수 있다.
청구항4에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 상기 제1에어분출부가 높이를 다르게 하여 배치되고, 에어커텐을 형성하는 복수의 에어노즐로 구성된다. 복수의 에어노즐에 의해서 연직방향으로 넓어지는 에어커텐을 형성한 상태로 반송차를 주행시키면 피제조물의 주고받음을 행하는 제조장치의 측면의 넓은 범위에 대해서 에어를 분출할 수 있다.
이 경우, 적은 수의 에어노즐을 이용하여 상기 제조장치의 넓은 범위에 대해서 에어를 분출할 수 있고, 또한, 효율적으로 에어를 분출할 수 있다. 예컨대, 제조장치의 이동적재구의 넓은 범위에 대해서 에어를 분출할 수 있다. 또한, 제조장치의 이동적재구의 전체면에 대해서 분출하는 것이 특히 바람직하다.
청구항5에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 상기 제1에어분출부가 이동적재구의 상방에서 수평방향의 위치를 다르게 하여 배치되고, 에어커텐을 형성하는 복수의 에어노즐로 구성된다. 이 때문에, 복수의 에어노즐에 의해서 수평방향으로 넓어지는 에어커텐을 형성할 수 있다.
청구항6에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 상기 주행유닛이 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재지점으로의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하고, 상기 에어분출부가 상기 접근신호에 기초하여 이동적재지점으로의 도착전에 에어분출을 개시하도록 구성된다.
이러한 형태의 구성에 의해 반송차의 주행 중에 피제조물의 이동적재가 행해지는 이동적재지점에 반송차가 접근하면 제1에어분출부가 에어의 분출을 개시하므로 반송차의 주행 중에 피제조물의 주고받음이 행해지는 제조장치에 대하여 에어의 분출을 행할 수 있다.
청구항7에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 이동적재구의 상방으로부터 에어를 분출하고, 이동적재구의 외표면에 다운플로우를 형성하는 제2에어분출부를 구비하여 구성된다.
제2에어분출부가 에어(보다 바람직하게는 청정화 에어)의 다운플로우를 자신(반송차)의 이동적재구의 외표면에 형성함으로써 자신의 이동적재구에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다. 예컨대, 이동적재구에 셔터 등의 개폐수단이 설치되어 있는 경우, 상기 개폐수단에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
청구항8에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 상기 주행유닛이 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재지점으로의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하고, 상기 제2에어분출부가 상기 접근신호에 기초하여 이동적재지점으로의 도착전에 에어의 분출을 개시하도록 구성된다.
이러한 형태의 구성에 의해 제조장치에 반송차가 접근한 경우에 제2에어분출부가 에어의 다운플로우를 자신(반송차)의 이동적재구의 외표면에 형성함으로써 자신의 이동적재구에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다. 예컨대, 이동적재구에 셔터 등의 개폐수단 등이 설치되어 있는 경우, 상기 개폐수단에 부착된 이물 등을 제거할 수 있고, 쓸데없는 에어의 분출을 방지할 수 있다.
청구항9에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납하는 수납부; 수납부에 대한 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 케이스 측면에 설치된 이동적재구; 및 이동 적재구의 상방으로부터 에어를 분출하고, 이동적재구의 외표면에 다운플로우를 형성하는 제2에어분출부를 구비하여 구성된다.
청구항10에 기재된 본 발명에 의한 반송차는 상기 주행유닛이 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재지점으로의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하고, 상기 제2에어분출부가 상기 접근신호에 기초하여 이동적재지점으로의 도착전에 에어의 분출을 개시하도록 구성된다.
청구항11에 기재된 본 발명에 의한 제조장치는 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 청정화된 에어가 공급되어 피제조물을 일시 수납하는 예비실; 예비실 및 외부 사이에서 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재구; 및 이동적재구측의 외부의 반송차를 향하여 에어의 분출을 행하는 제1에어분출부를 구비하여 구성된다.
제조장치의 앞면은 피제조물의 주고받음을 행하는 반송차(통상은 자동반송차)의 이동적재구측의 측면에 대향하는 면으로 되므로 에어분출부를 제조장치의 앞면에 설치하여 에어를 분출함으로써 상기 반송차의 이동적재구측의 측면을 향하여 에어가 분출되어 상기 반송차의 이동적재구측의 측면에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
또한, 청정화 유닛은, 예컨대, 송풍팬 및 필터로 구성되고, 적어도 제조장치가 설치된 분위기 중의 에어보다 청정화된 에어를 공급하고 있다. 또한, 제1에어분출부로부터의 청정화 에어는 앞면에 대해서 각도를 갖는 방향(상기 측면으로부터 떨어지는 방향)으로 분출된다. 예컨대, 측면의 법선방향으로 분출되거나, 또는, 보다 반송차가 도래하는 방향측을 향하여 분출된다.
또한, 제1에어분출부는 제조장치의 이동적재구측의 측면에 설치되면 이동적재구의 주변부이여도 좋고, 이동적재구에 셔터 등의 개폐수단이 설치되어 있는 경우에는 상기 개폐수단에 설치하여도 좋다.
청구항12에 기재된 본 발명에 의한 제조장치는 상기 제1에어분출부가 이동적재구의 주변부에 배치되고, 에어커텐을 형성하는 복수의 에어노즐로 구성된다. 이러한 형태의 구성에 의해 반송차가 제조장치까지 주행하고, 피제조물의 주고받음을 행하는 경우에 반송차의 주행 중에 상기 반송차의 이동적재구에 대한 에어의 분출을 행할 수 있다. 따라서, 반송차의 이동적재구가 상기 반도체 제조장치의 이동적재구에 대향하는 이동적재지점에 도달하여 반송차가 정지하기 전에 상기 반송차의 이동적재구(셔터 등의 개폐수단이 설치되어 있으면 그 개폐수단)에 대한 에어의 분출을 행할 수 있다.
청구항13에 기재된 본 발명에 의한 제조장치는 반송차의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하는 반송차 감시부를 구비하고, 상기 제1에어분출부는 상기 접근신호에 기초하여 반송차의 도착전에 에어의 분출을 개시하도록 구성된다.
청구항14에 기재된 본 발명에 의한 제조장치는 이동적재구의 상방으로부터 에어를 분출하고, 이동적재구의 외표면에 다운플로우를 형성하는 제2에어분출부를 구비하여 구성된다.
제2에어분출부가 청정화 에어의 다운플로우를 자신(제조장치)의 이동적재구의 외표면에 형성함으로써 자신의 이동적재구에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다. 예컨대, 이동적재구에 셔터 등의 개폐수단이 설치되어 있는 경우, 그 개폐수단에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
청구항15에 기재된 본 발명에 의한 제조장치는 반송차의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하는 반송차 감시부를 구비하고, 상기 제2에어분출부는 상기 접근신호에 기초하여 반송차의 도착전에 에어의 분출을 개시하도록 구성된다.
청구항16에 기재된 본 발명에 의한 제조장치는 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 일시 수납하는 예비실; 예비실 및 외부 사이에서 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재구; 및 이동적재구의 상방으로부터 에어(바람직하게는, 청정화 에어)를 분출하고, 이동적재구의 외표면에 다운플로우를 형성하는 제2에어분출부를 구비하여 구성된다.
청구항17에 기재된 본 발명에 의한 제조장치는 반송차의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하는 반송차 감시부를 구비하고, 상기 제2에어분출부는 상기 접근신호에 기초하여 반송차의 도착전에 에어의 분출을 개시하도록 구성된다.
이러한 형태의 구성에 의해 제조장치에 반송차가 접근한 경우에 제2의 에어분출부가 에어의 분출을 개시하므로 반송차의 주행중에 피제조물의 주고받음이 행해지는 반송차에 대해서 에어의 분출을 행할 수 있음과 아울러 쓸데없는 에어의 분출을 방지할 수 있다.
청구항18에 기재된 본 발명에 의한 반송시스템은 피제조물을 반송하는 반송차와, 정해진 위치에 설치되고, 피제조물을 수납하여 가공 또는 보관을 행하는 복수의 제조장치로 이루어진다. 상기 반송차는 제조장치 간을 주행하는 주행유닛; 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납 하는 수납부; 제조장치와의 사이에서 피제조물의 이동적재가 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구; 및 에어를 분출하는 제1에어분출부를 구비하여 구성된다. 또한, 제조장치는 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 청정화된 에어가 공급되어 피제조물을 수납하는 수납부; 및 반송차와의 사이에서 피제조물의 이동적재가 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구를 구비하여 구성된다. 또한, 상기 제1에어분출부가 제조장치의 이동적재구의 개폐수단에 대해서 에어를 분출하도록 구성된다.
이러한 형태의 구성에 의해 반송차의 제1에어분출부로부터 제조장치의 이동적재구의 개폐수단, 예컨대, 셔터와 같은 자동개폐수단에 에어를 분출하고, 상기 개폐수단에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
또한, 제조장치는 피제조물을 가공하기 위한 제조장치이여도 좋고, 피제조물을 보관하기 위한 보관장치이여도 좋다. 예컨대, 반도체 제조라인에 적용되는 경우에는 스토커도 포함한다.
청구항19에 기재된 본 발명에 의한 반송시스템은 상기 제1에어분출부가 반송차의 이동적재지점으로의 도착전에 에어분출을 개시하도록 구성된다. 이러한 형태의 구성에 의해 반송차의 주행중에 피제조물의 주고받음이 행해지는 제조장치에 대해서 에어의 분출을 행할 수 있다.
청구항20에 기재된 본 발명에 의한 반송시스템은 제조장치가 에어분출을 행하는 제2에어분출부를 구비하고, 상기 제2에어분출부가 반송차의 이동적재구의 개폐수단에 대해서 청정화된 에어를 분출하도록 구성된다.
이러한 형태의 구성에 의해 제조장치의 제2에어분출부로부터 반송차의 이동 적재구의 개폐수단, 예컨대, 셔터와 같은 자동개폐수단에 청정화 에어를 분출하여 상기 개폐수단에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
청구항21에 기재된 본 발명에 의한 반송시스템은 상기 제2에어분출부가 반송차의 이동적재지점으로의 도착전에 에어분출을 개시하도록 구성된다. 이러한 형태의 구성에 의해 반송차의 주행중에 상기 반송차에 대해서 에어의 분출을 행할 수 있다.
청구항22에 기재된 본 발명에 의한 반송시스템은 피제조물을 반송하는 반송차와, 정해진 위치에 설치되고, 피제조물을 수납하여 가공 또는 보관을 행하는 복수의 제조장치로 이루어진다. 상기 반송차는 제조장치 간을 주행하는 주행유닛; 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납하는 수납부; 및 제조장치와의 사이에서 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구를 구비하여 구성된다. 또한, 제조장치는 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납하는 수납부; 반송차와의 사이에서 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구; 및 에어를 분출하는 제1 및 제2에어분출부를 구비하여 구성된다. 상기 제1에어분출부가 반송차의 이동적재구의 개폐수단에 대해서 에어를 분출함과 아울러 상기 제2에어분출부가 제조장치의 이동적재구의 개폐수단의 외표면에 에어의 다운플로우를 형성하도록 구성된다.
이러한 형태의 구성에 의해 제조장치의 제1에어분출부로부터 반송차의 이동적재구의 개폐수단, 예컨대, 셔터와 같은 자동개폐수단에 청정화에어를 분출하고, 상기 개폐수단에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다. 또한, 제조장치의 제2에어분출부로부터 자신(제조장치)의 이동적재구의 개폐수단, 예컨대, 셔터와 같은 자동개폐수단의 외표면에 에어의 흐름을 형성하여 상기 개폐수단에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
청구항23에 기재된 본 발명에 의한 반송시스템은 상기 제2에어분출부가 반송차의 이동적재지점으로의 도착전에 에어의 분출을 개시하도록 구성된다. 이러한 형태의 구성에 의해 반송차의 주행중에 제조장치에 대해서 에어의 분출을 행할 수 있다.
청구항24에 기재된 본 발명에 의한 제조시스템은 피제조물을 반송하는 반송차와, 정해진 위치에 설치된 복수의 제조장치로 이루어지는 반송시스템이다. 반송차는 제조장치 사이를 주행하는 주행유닛; 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납하는 수납부; 및 제조장치와의 사이에서 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구를 구비하여 구성된다. 제조장치는 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납하는 수납부; 및 반송차와의 사이에서 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구를 구비하여 구성된다. 또한, 상기 반송차 또는 제조장치 중 적어도 어느 한쪽이 반송차 및 제조장치의 이동적재구 사이에 에어터널을 형성하는 에어분출부를 구비하여 구성된다.
청구항25에 있어서는 주행경로를 따라서 배치되는 스테이션과의 사이에서 물품의 주고받음을 행하는 물품수도구(物品受渡口)를 갖는 물품수납고를 구비한 반송 차로서, 상기 물품수도구의 주위에 배치되어서 스테이션으로 향하여 에어를 분출하는 제1에어분출수단을 구비한 것이다. 이러한 형태로 물품수도구의 주변으로부터 스테이션을 향하여 에어를 분출함으로써 물품수도구의 주위에 에어커텐을 형성하고, 상기 에어에 의해 스테이션에 부착되어 있는 진애를 불어 날려버림과 아울러 반송차가 스테이션과 대향하는 위치에서 정지하였을 때에 물품수도구와 스테이션 사이의 이동적재경로에 에어커텐을 형성할 수 있다. 이 때문에, 물품수도구를 폐쇄하는 문짝의 유무에 상관없이 진애가 물품수도구로부터 물품에 부착하는 것을 방지할 수 있고, 스테이션을 깨끗하게 하여 스테이션의 이동적재준비를 보조함과 아울러 이동적재중에 물품에 진애가 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 무인반송차가 스테이션에 부착됨과 동시에 이동적재를 개시시킬 수 있고, 생산효율을 향상시킬 수 있다.
청구항26에 있어서는 상기 제1에어분출수단보다 진행방향 앞측에 배치되는 흡인수단을 구비한 것이다. 이와 같이 구성한 것이므로 무인반송차의 주행에 의해 발생하는 진행방향 앞측으로부터의 에어를 흡인할 수 있고, 주행에 의해 발생한 에어가 에어커텐을 통과하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
청구항27에 있어서는 상기 제1에어분출수단보다 진행방향 앞측에 배치되는 보조 에어분출수단을 설치한 것이다. 이와 같이 구성한 것이므로 무인반송차의 주행에 의해 발생하는 진행방향 앞측으로부터의 에어에 대해서 에어의 벽을 설치할 수 있고, 주행에 의해 발생한 에어가 에어커텐을 통과하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
청구항28에 있어서는 상기 물품수도구 상측 가장자리부로부터 다운플로우로 되는 에어를 분출하는 제2에어분출수단을 설치한 것이다. 이러한 형태로 구성한 것이므로 제2에어분출수단의 구동에 의해 문짝의 외면에 클린에어(clean air)가 분출되어서 상기 외면에 부착된 진애를 제거할 수 있다. 따라서, 문짝의 개방전에 제2에어분출수단을 구동시킴으로써 문짝의 외면에 부착된 진애가 물품수납고 내에 침입하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 문짝의 개방시에 제2에어분출수단을 구동시킴으로써 물품수도구를 폐쇄하는 에어커텐을 형성할 수 있고, 물품수도구가 개방된 상태에서도 물품수납고 내로의 진애의 침입을 방지할 수 있다.
청구항29에 있어서는 물품을 주고받기 위한 물품수도구를 갖는 물품수납고를 구비한 반송차와, 반송차의 주행경로를 따라 배치되고, 제1문짝부에 의해서 개폐되어 반송차와의 사이에서 물품을 주고받는 물품수도구를 갖는 물품수납고를 설치한 스테이션을 구비하고, 스테이션의 물품수도구의 반송차의 진행방향 전후에 벽부재를 형성하고, 반송차에, 물품수도구의 주위에 스테이션을 향하여 에어커텐을 형성하도록 에어를 분출하는 에어분출수단이 배치되는 것이다. 이러한 형태로 구성한 것이므로 스테이션은 제1문짝부에 의해 물품수납고에 진애가 들어가는 것을 방지할 수 있고, 무인반송차는 에어분출수단으로 형성되는 에어커텐에 의해 물품수납고에 진애가 들어가는 것을 방지할 수 있다. 또한, 에어커텐을 형성함으로써 무인반송차의 주행중에 문짝의 유무에 상관없이 진애가 상기 물품수납고 내에 들어가는 것을 방지할 수 있고, 무인반송차가 스테이션에 정지하기 위한 이동에 의해 스테이션의 제1문짝부에 부착되어 있는 진애를 제거할 수 있다. 또한, 무인반송차가 스테이션 에 정지함으로써 무인반송차 및 스테이션의 양 물품수도구와의 사이에 형성되는 이동적재경로를 깨끗하게 할 수 있고, 이동적재중에 물품에 진애가 부착되는 것을 방지할 수 있다. 이 결과, 무인반송차가 스테이션에 도착하기 전에 무인반송차의 이동적재준비를 할 수 있음과 아울러 무인반송차의 도착에 수반하여 제1문짝부를 개방할 수 있게 되고, 반송효율을 향상시킬 수 있는데다가, 이동적재중에 물품에 진애가 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 벽을 형성함으로써 무인반송차와 벽 사이에 좁은 공간을 형성할 수 있고, 이 공간을 깨끗하게 하면 좋으므로 에어커텐을 확실하게 형성할 수 있다. 이 결과, 무인반송차의 물품수납고에 진애가 들어가는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있음과 아울러 이동중에 물품에 진애가 부착되는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
청구항30에 있어서는 상기 반송차의 물품수도구에 개폐가능한 제2문짝부가 배치되고, 상기 제1문짝부 및 제2문짝부는 반송차가 스테이션의 정차위치에 도착하기 전부터 개방되기 시작하여 정차위치를 벗어나고나서 폐쇄하며 종료하도록 제어되고, 제1문짝부가 개방하기 시작해서 폐쇄하며 종료될 때까지 제1문짝부의 개구가 상기 에어커텐 내에 위치하는 것이다. 이러한 형태로 구성한 것이므로 무인반송차에 제2문짝부를 설치함으로써 문짝이 폐쇄되어 있을 때에는 각 에어분출수단의 작동을 정지시킬 수 있다. 이 결과, 무인반송차의 소비전력을 감소시킬 수 있다. 또한, 제1문짝부 및 제2문짝부는 무인반송차가 스테이션에 정지하기 전부터 개방하기 시작하여 스테이션을 벗어나고나서 폐쇄하는 것이므로 생산효율을 더욱 높일 수 있다. 또한, 스테이션에 배치하는 제1문짝부의 개구가 항상 에어커텐 내에 있도록 함 으로써 무인반송차가 이동중에 제1문짝부를 개폐하여도 진애가 스테이션의 물품수납고에 침입하는 일이 없다.
실시형태1.
도 1은 본 발명의 실시형태1에 의한 자동반송시스템의 일구성예를 나타낸 개략적인 도면이고, 액정표시장치 등의 반도체장치를 제조하기 위한 제조라인에 적용되는 자동반송시스템이 나타내어져 있다. 도면 중의 1A는 자동반송차, 2는 반도체 제조장치, 3은 스토커, 4는 반송로, 11은 자동반송차의 이동적재구, 20은 프로세스 처리부, 21은 로더/언로더(loader/unloader), 22는 반도체 제조장치의 이동적재구이다.
상기 자동반송시스템은 자동반송차(1A), 복수의 반도체 제조장치(2) 및 복수의 스토커(3)로 구성되고, 청정도가 비교적 낮은 클린룸 내에서 사용된다. 자동반송차(1A), 반도체 제조장치(2) 및 스토커(3)의 내부는 클린룸보다 높은 청정도로 유지되어 있고, 국소적인 클린화에 의해서 피제조물을 청정도가 높은 분위기 내에서 유지하고 있다. 예컨대, 클린룸 내부가 클래스(class) 1만~10만정도로 되고, 자동반송차(1), 반도체 제조장치(2) 및 스토커(3)의 내부가 클래스 100정도로 된다.
반도체 제조장치(2)는 평판유리 등으로 이루어지는 기판에 대해서 성막, 에칭 등의 프로세스 처리를 행하기 위한 반도체 제조장치이고, 클린룸 내의 소정위치에 고정적으로 설치되어 있다. 상기 반도체 제조장치(2)는 프로세스 처리부(20) 및 로더/언로더(21)로 이루어진다.
프로세스 처리부(20)는 기판을 가공하기 위한 프로세스 처리를 행하는 기밀 실로 이루어진다. 로더/언로더(21)는 프로세스 처리부(20)에 대한 기판의 반입 또는 반출을 행할 때에 사용되는 예비실이고, 프로세스 처리전 또는 처리후의 기판이 일시 수납되므로 로더/언로더(21) 내부는 청정화 유닛(도시않함)에 의해 청정화된 에어가 공급됨과 아울러 청정화 에어로 가득 차서 주위환경(클린룸 내부)에 대해서 정압으로 유지되고, 주위환경보다 높은 청정도로 유지되어 있다.
이동적재구(22)는 로더/언로더(21)에 대한 기판의 반입 또는 반출을 행하기 위한 폐구부(閉口部)이고, 반송로(4)측의 케이스 앞면에 설치되어 있다. 상기 이동적재구(22)에는 자동제어에 의해 개폐되는 셔터가 설치되어 있다. 통상, 이동적재구(22)는 셔터에 의해 폐쇄되고, 기판의 반입시에만 폐구된다.
스토커(3)는 기판을 일시 보관하기 위한 보관장치이고, 그 내부는 로더/언로더와 마찬가지로 청정화 유닛(도시않함)에 의해 청정화 에어가 공급됨과 아울러 주위환경(클린룸 내)에 대해서 정압으로 유지되어서 주위환경보다 높은 청정도로 유지되어 있다.
자동반송차(1A)는 RGV(Rail Guided Vehicle), AGV(Auto Guided Vehicle), 트래버스(traverser) 등의 무인반송차이고, 반송로(4)를 자동제어에 의해 주행하고, 다른 반도체 제조장치(2) 간, 다른 스토커(3) 간, 또는, 반도체 제조장치(2) 및 스토커(3) 간에 있어서의 기판의 반송을 행하고 있다. 반송시에는, 통상, 복수의 기판이 카세트에 격납되고, 1 또는 2이상의 카세트가 1개의 자동반송차(1A) 내에 격납된다.
이동적재구(11)는 자동반송차(1A)에 대한 카세트의 반입 또는 반출을 위한 개구부이고, 진행방향으로부터 바라본 측면(진행방향에 평행한 꽃봉오리체면)으로서, 이동적재시에 있어서의 반도체 제조장치(2)측의 면에 설치되어 있다. 또한, 상기 이동적재구(11)는 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)와 동일한 형상으로 이루어지고, 또한, 동일 높이로 배치되어 있고, 반도체 제조장치(2)의 이동적재구 (22)와 일치하도록 대향시킬 수 있다.
또한, 이동적재구(11)에는 자동제어에 의해 개폐되는 셔터가 설치되고, 통상, 이동적재구(11)는 셔터에 의해 폐쇄되고, 카세트의 반입출시에만 폐구된다. 또한, 도 1에 나타낸 자동반송차(1A)는 양방향으로 이동적재가 행해지기 때문에 이동적재구(11)가 양측면에 설치되어 있지만 이동적재를 행하는 방향이 편측만인 경우는 이동적재구(11)가 상기 편방의 측면에만 설치되어 있으면 충분하다.
상기 자동반송차(1A)는 반도체 제조장치(2)에 대해서 청정화된 에어에 의한 에어분출을 행하면서 주행하고, 반도체 제조장치(2)의 앞면(이동적재구(22)측의 면)에 부착된 이물을 제거할 수 있다. 그 상세한 부분에 대해서 도 2~도 5를 이용하여 이하에 설명한다.
도 2 및 도 3은 도 1의 자동반송차(1A)를 보다 상세하게 나타낸 구성도이고, 도 2에는 진행방향으로부터 바라본 내부의 개략적인 구성이 나타나고, 도 3에는 진행방향에 대한 측면으로부터 바라본 경우의 외관도가 나타나 있다. 도면 중 1A는 자동반송차, 11은 이동적재구, 12는 청정화 유닛, 13은 수납부, 14는 주행유닛, 15는 송풍팬, 16은 청정화 필터, 17은 카세트, 18A는 에어노즐, 19A는 에어분출부이다.
청정화 유닛(12)은 청정화된 에어를 공급하는 FFU(Fan Filter Unit)로 칭해지는 에어청정화장치이고, 송풍팬(15)과 청정화필터(16)로 이루어진다. 청정화 필터(16)에는 HEPA(High Efficiency Particulate Air)필터, ULPA(Ultra low Particulate Air)필터 등이 이용된다.
외기나 수납부(13)로부터의 순환에어가 송풍팬(15)에 의해서 청정화 필터 (16)로 보내지고, 청정화 필터(16)에 의해 청정화된 후, 수납부(13) 및 에어노즐 (1A)에 보내진다. 수납부(13)는 청정화 에어가 공급됨과 아울러 주위환경(클린룸 내)에 대해서 정압으로 유지되고, 주위환경보다 높은 청정도로 유지되어 있다.
이동적재구(11)의 셔터와 그 주변에는 에어분출부(19A)를 구성하는 다수의 에어노즐(18A)이 배치되어 있고, 상기 셔터의 전체면과 그 주변으로부터 외측으로 향하여 에어분출이 행해진다. 주변부의 에어노즐(18A)은 이동적재구(11)의 둘레 가장자리부에 인접하도록 이동적재구(11)의 외측에 배치되어 있다. 또한, 이동적재구를 향하여 상방향, 좌방향 및 우방향으로 배치되고, 하방향(적어도 하방향의 일부, 예컨대, 중앙부)에는 배치되어 있지 않다. 즉, 하방향을 제외한 이동적재구(11)의 주위를 둘러싸도록 에어노즐(18A)이 배치되어 있다.
또한, 에어노즐(18A)로부터 분출되는 에어는 청정화 유닛(12)에 의해 청정화된 에어인 것이 바람직하다. 또한, 에어노즐(18A)로의 청정화 에어의 공급은 송풍팬(15)과는 다른 동력의 팬(도시않함)에 의해 행하여도 좋다. 또한, 에어분출부 (19A)는 자동반송차(1A)가 주행시에 받는 풍압을 이용하여 에어분출을 행할 수 있다. 예컨대, 자동반송차(1A)의 전방으로부터 에어를 받아들이고, 받아들인 에어를 노즐로부터 분출시키면 에어의 분출을 위한 동력을 경감시키거나, 또는, 불필요하게 할 수 있다.
주행유닛(14)은 소정의 반송경로를 주행하여 소정의 반도체 제조장치(2) 또는 스토커(3)까지 이동하고, 소정의 이동적재지점에 정지하도록 자동반송차(1A)의 주행제어를 행하고 있다.
도 4는 자동반송차(1A)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다. 자동반송차(1A)는 셔터의 전체면과 그 주변으로부터 케이스 측면에 대해서 개략적으로 법선방향에 외측으로 향하여 에어분출을 행하므로 상기 셔터에 부착된 이물 등이 제거됨과 아울러 자동반송차(1A)의 측면이 대향하는 반도체 제조장치(2)의 측면에 대해서 에어분출이 행해지고, 반도체 제조장치(2)의 앞면에 부착된 이물 등이 제거된다.
자동반송차(1A)의 이동적재구(11)는 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)와 동일한 형상으로 이루어지고, 동일 높이로 배치되어 있기 때문에 자동반송차(1A)의 이동적재구(11)의 전체면과 그 주변으로부터 에어분출을 행함으로써 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)의 전체면에 대해서 에어분출을 행할 수 있고, 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)의 셔터 등에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
도 5는 에어분출의 타이밍을 나타낸 설명도이고, 횡방향으로는 자동반송차 (1A)의 위치가 나타나고, 종방향으로는 시간경과가 나타나 있고,(a)에서부터(h)의 순서로 시간이 경과하고 있다.
우선, 자동반송차(1A)가 카세트의 이동적재를 행하는 반도체 제조장치(2)에 접근하면 주행유닛(14)이 상기 반도체 제조장치(2)로의 접근을 검지하여 접근신호를 출력한다. 에어분출부(19A)는 상기 접근신호에 기초하여 에어의 분출을 개시하고, 에어분출이 형성된다[도면 중의(a)]. 여기서, 자동반송차(1A)의 주행유닛(14)은 일반적으로 자동주행을 행하기 위한 정보로서 자차의 현재위치, 이동목적지, 주행경로 등의 정보를 갖고 있기 때문에 이들 정보에 기초하여 접근신호를 생성할 수 있지만 자동주행제어와는 별도로 반도체 제조장치(2)의 접근을 검지하는 검지수단을 이용하여 접근신호를 생성하여도 좋다.
이어서, 주행유닛(14)은 자동반송차(1A)를 감속시킨 후[도면 중(b)], 자동반송차(1A) 및 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(11,22)가 대향하는 이동적재지점에서 정지시킨다. 자동반송차(1A)는 이동적재지점에 도착하기 전에 에어분출을 개시하고, 반도체 제조장치(2)에 대해서 에어분출을 행하면서 주행하고 있기 때문에 이동적재지점에 도착하였을 때에는 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)에 대한 에어분출은 충분히 행해지고 있다.
또한, 상기 접근신호에 기초하여 자동반송차(1A)가 이동적재지점에 도착하기 전에 자동반송차(1A) 및 반도체 제조장치(2)의 셔터의 개방동작이 개시되고[도면 중(c)], 상기 셔터개방동작은 이동적재지점으로의 도착전에 완료한다. 따라서, 자동반송차(1A)가 이동적재지점에 정지하였을 때는 셔터가 완전히 개방된 상태로 되어 있고, 곧바로, 자동반송차(1A)로부터 반도체 제조장치(2)로[또는, 반도체 제조장치(2)로부터 자동반송차(1A)로] 카세트(17)의 이동적재가 행해진다[도면 중(d)]. 카세트(17)의 이동적재는 자동반송차(1A) 내에 설치된 이동적재용 포크에 의해서 행해진다.
카세트(17)의 이동적재가 완료하면 주행유닛(14)은 자동반송차를 다시 주행시킨다. 이 때, 주행개시와 동시에 자동반송차(1A) 및 반도체 제조장치(2)의 셔터의 폐쇄동작이 개시되고[도면 중(e)], 주행 중에 셔터가 완전히 폐쇄된다[도면 중(f)]. 그 후, 소정의 속도까지 가속하여 정속주행하면서 다음의 이동적재지점으로 향한다[도면 중(g)(h)].
도 6은 자동반송차(1A) 및 반도체 제조장치(2) 간의 카세트 이동적재시의 형태를 나타낸 도면이다. 도면 중 5는 클린터널이다. 이동적재지점에 있어서 자동반송차(1A)와 반도체 제조장치(2) 사이에서 이동적재를 행하는 경우, 대향하는 이동적재구(11,22)의 셔터가 함께 개방된다. 이 때, 자동반송차(1A)의 수납부(13) 내부 및 로더/언로더(21) 내부는 모두 주위환경에 비해서 정압(正壓)이기 때문에 이동적재구(11,22)에서 끼워진 공간에는 클린터널(5)이 형성된다.
상기 클린터널(5)은 청정화된 에어로 가득찬 청정도가 높은 공간이고, 카세트(17)는 상기 클린터널(5) 내부를 통해서 자동반송차(1A)로부터 반도체 제조장치 (2)로, 또는, 반도체 제조장치(2)로부터 자동반송차(1A)로 이동적재되므로 카세트 (17)는 청정도가 낮은 분위기 중을 통해서 이동적재되지 않는다.
본 실시형태에 의하면 자동반송차(1A)의 이동적재구(11)가 설치된 측면에 에어분출부를 설치하고, 반도체 제조장치(2)의 앞면을 향하여 에어분출을 행하고 있다. 이 때문에, 반도체 제조장치(2)의 앞면에 부착된 이물 등을 에어분출에 의해 제거할 수 있으므로 이동적재구(22)의 셔터를 개방하였을 때에 셔터, 또는, 그 주 변에 부착되어 있던 이물이 날려올라가는 것을 방지하거나, 또는, 억제할 수 있다.
또한, 자동반송차(1A)의 이동적재구(11)에 다수의 에어노즐(18A)을 설치하고, 이동적재구(11)의 전체면과 주변으로부터 에어분출을 행하고 있으므로 반도체 제조장치(2)의 측면으로서, 자동반송차(1A)의 이동적재구(11)에 대향하는 위치에 설치된 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)의 전체면과 주변에 대해서 에어분출을 행할 수 있다.
또한, 자동반송차(1A)가 이동적재가 행해지도록 하고 있는 반도체 제조장치 (2)에 접근하면 에어분출부(19A)가 에어의 분출을 개시하므로 자동반송차(1A)의 주행중에 에어분출이 행해지고, 이동적재지점에 도착하기 전에 에어분출이 완료하므로 이동적재에 필요한 시간을 단축할 수 있다.
또한, 자동반송차(1A)가 반도체 제조장치(2)에 접근하면 이동적재구(11)의 셔터의 개방동작이 행해지고, 이동적재지점으로의 도착전에 셔터의 개방동작을 완료하므로 이동적재지점으로의 도착시에 곧바로 이동적재를 개시할 수 있고, 이동적재에 필요한 시간을 단축할 수 있다. 이러한 형태로 하여 반송시간을 단축할 수 있으므로 제조라인에 적용한 경우이면 생산성을 향상시킬 수 있다.
실시형태2.
실시형태1에서는 에어분출부를 자동반송차의 이동적재구의 전체면에 설치한 경우의 예에 관해서 설명하였지만 본 실시형태에서는 에어분출부를 이동적재구보다 진행방향측에 설치하는 경우에 관해서 설명한다. 또한, 에어분출부가 연직방향으로 넓어지는 에어커텐을 형성하는 경우에 관해서 설명한다.
도 7은 본 발명의 실시형태2에 의한 자동반송시스템의 일구성예를 나타낸 개략도이다. 도면 중의 1B는 자동반송차, 2는 반도체 제조장치, 3은 스토커, 4는 반송로, 18B는 에어노즐, 19B는 에어분출부, 20은 프로세스 처리부, 21은 로더/언로더, 11 및 22는 이동적재구이다.
에어분출부(19B)는 자동반송차(1B)의 진행방향에 대한 측면 상으로서, 이동적재구(11)측의 면상에 설치된다. 또한, 상기 측면상에 있어서 이동적재구(11)보다 진행방향측에 설치된다. 상기 에어분출부(19B)는 측면으로부터 외측으로 향하여, 즉, 진행방향에 대해서 각도를 갖고, 측면으로부터 떨어지는 방향으로 에어분출을 행하고 있다. 전형적으로는 도 7에 나타낸 형태로 측면의 법선방향을 향하여 에어분출이 행해진다.
또한, 도 7에서는 에어분출부(19B)가 이동적재구(11)에 인접하는 주변부에 설치되어 있지만 이동적재구(11)로부터 떨어진 위치에 설치되어도 좋다. 또한, 도 7에서는 이동적재구(11) 및 에어분출부(19B)가 자동반송차(1B)의 양측면에 설치되어 있지만 이동적재구(11)가 편측(片側)에만 설치되고, 상기 편측에서만 이동적재가 행해지는 경우에는 에어분출부(19B)도 동일 측면에만 설치되면 좋다.
도 8은 도 7의 자동반송차(1B)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다. 자동반송차(1B)는 다음의 이동상태로 되는 반도체 제조장치(2)로의 접근을 검지하고, 이동적재지점으로의 도달전에, 진행방향측 또한 이동적재가 행해지는 이동적재구(11)측에 설치된 분출부(19B)로부터 에어분출을 형성한다.
에어분출부(19B)는 각각 높이를 다르게 하여 배치된 복수의 에어노즐(18B)로 이루어지고, 각 에어노즐(18B)로부터의 에어분출에 의해서 연직방향으로 넓어지는 에어커텐이 형성된다. 이 때문에 자동반송차(1B)의 주행중에 에어분출을 행하면 연직방향으로 넓어지는 에어커텐을 수평방향으로 이동시킬 수 있고, 반도체 제조장치 (2)의 앞면에 대해서 효율적으로 에어분출을 행할 수 있다.
여기서, 에어분출부(19B)를 구성하는 상단의 에어노즐(18B)이 자동반송차 (1B)의 이동적재구(11)의 상측 가장자리부 이상의 높이에 설치되고, 하단의 에어노즐(18B)이 이동적재구(11)의 하측 가장자리부 이하의 높이에 설치되는 것이 바람직하다. 분출부를 이와 같은 구성으로 하면 에어커텐에 의해 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)의 상부 가장자리부로부터 하부 가장자리부까지를 커버할 수 있고, 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)의 전체면에 대해서 에어분출을 행할 수 있다.
또한, 에어분출부(19B)가 다음의 이동적재상대로 되는 반도체 제조장치(2)로의 접근을 검지하고, 이동적재지점으로의 도달전에 에어분출을 개시함으로써 자동반송차가 이동적재기점으로 도달한 시점에서 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)로의 에어분출이 충분히 행해진다. 특히, 에어분출부(19B)가 이동적재상대로 되는 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)에 대향하기 전에 에어분출을 개시함으로써 이동적재지점으로 도달한 시점에서 이동적재구(22)의 전체면에 관해서 에어분출이 충분히 행해진다.
또한, 자동반송차(1B)가 쌍방향으로 주행할 수 있는 경우, 즉, 전진 및 후진이 가능한 경우에는 이동적재구(11)가 설치된 동일 측면상으로서, 이동적재구(11) 에 대해서 수평방향의 양측에 에어분출부(19B)를 설치함으로써 모든 방향으로 주행시키는 경우에 관해서도 상기 에어분출을 행할 수 있다.
실시형태3.
실시형태1,2에서는 에어분출부를 자동반송차의 측면에 설치한 경우의 예에 관해서 설명하였지만 본 실시형태에서는 자동반송차의 코너부에 설치된 경우에 관해서 설명한다. 또한, 에어분출부가 자동반송차(1A)의 측면의 법선방향에 비해서 보다 진행방향측으로 향하여 에어를 분출하는 경우에 관해서 설명한다.
도 9는 본 발명의 실시형태3에 의한 자동반송시스템의 일구성예를 나타낸 개략도이다. 도면 중의 1C는 자동반송차, 2는 반도체 제조장치, 3은 스토커, 4는 반송로, 18C는 에어노즐, 19C는 에어분출부, 20은 프로세스 처리부, 21은 로더/언로더, 22는 이창연정(移彰年丁)이다.
분출부(19C)는 자동반송차(1C)의 코너부에 설치되어 있다. 상기 분출부는 진행방향의 앞면측, 또한, 이동적재구(11)가 설치된 측면측의 코너부에 설치된다. 상기 에어분출부(19C)는 실시형태2의 경우와 마찬가지의 방향으로 에어분출을 형성시킬 수 있지만 여기서는 측면으로부터 외측을 향하여, 또한, 측면의 법선방향과 비교하여 보다 진행방향을 향하여 에어분출을 행하고 있다.
또한, 도 9에서는 이동적재구(11) 및 에어분출부(19C)가 자동반송차(1C)의 양측면에 설치되어 있지만 이동적재구(11)가 편측에만 설치되고, 상기 편측에만 이동적재가 행해지는 경우에는 에어분출부(19C)도 동일 측면에만 설치되면 좋다.
도 10은 도 9의 자동반송차(1C)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다. 자동반송차(1C)는 이동적재가 행해지는 반도체 제조장치(2)로의 접근을 검지하면 진행방향측 또한 상기 이동적재에 이용되는 이동적재구(11)측의 코너부에 설치된 분출부(19C)로부터 에어분출을 형성한다.
에어분출부(19C)는 실시형태2의 경우와 마찬가지로, 각각 설치되어 위치의 높이를 다르게 하여 배치된 복수의 에어노즐(18C)로 이루어지고, 각 에어노즐로부터의 에어분출에 의해서 연직방향으로 넓어지는 에어커텐이 형성된다.
각 에어노즐(18C)로부터는 측면의 법선방향보다 진행방향으로부터 에어가 분출되고, 에어분출부의 설치위치보다 전방에 있어서 반도체 제조장치(2)의 앞면에 에어를 분출하고 있다.
또한, 자동반송차(1C)가 쌍방향으로 주행할 수 있는 경우, 즉, 전진 및 후진이 가능한 경우에는 이동적재구(11)가 설치된 측면의 양측(전방 및 후방)의 코너부에 에어분출부(19C)를 설치함으로써 어떤 방향으로 주행하는 경우에 관해서도 상기 에어분출을 행할 수 있다.
실시형태4.
상기 각 실시형태에서는 자동반송차에 에어분출부를 설치하여 반도체 제조장치의 이동적재구에 부착된 이물 등을 제거하는 경우의 예에 관해서 설명하였지만 본 실시형태에서는 반도체 제조장치(2)에 에어분출부를 설치하여 상기 반도체 제조장치(2)의 이동적재구(22)에 부착된 이물 등을 제거하는 경우에 관해서 설명한다.
도 11은 본 발명의 실시형태4에 의한 반도체 제조장치(2A)의 개략적인 구조를 나타낸 단면도이고, 도 1과 마찬가지의 자동반송시스템에 적용되는 반도체 제조 장치(2A)를 측면측으로부터 바라본 도면이다. 도면 중의 2A는 반도체 제조장치, 17은 카세트, 20은 프로세스 처리부, 21은 로더/언로더, 22는 이동적재구, 23은 청정화 유닛, 24는 송풍팬, 25는 청정화 필터, 26A는 에어노즐, 27A는 에어분출부이다.
청정화 유닛(23)은 청정화된 에어를 공급하는 에어청정화 장치이고, 송풍팬 (24)과 필터(25)로 이루어진다. 필터(25)에는 HEPA필터, ULPA 필터 등이 이용된다. 외기 또는 로더/언로더(21)로부터 순환된 순환에어가 송풍팬(24)에 의해서 청정화 필터(25)로 보내지고, 청정화 필터(25)에서 청정화된 후, 로더/언로더(21) 및 에어노즐(26A)에 보내진다.
에어분출부(27A)는 이동적재구(22)의 상방에 설치된 복수의 에어노즐(26A)에 의해 구성된다. 각 에어노즐(26A)은 수평방향(앞면에 평행한 방향)의 위치를 다르게 하여 설치되고, 반도체 제조장치(2)의 앞면을 따라서 아래로 흐르는 에어커텐을 형성한다. 즉, 이동적재구(22)의 외표면에 다운플로우가 형성되고, 이동적재구(22)에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
또한, 에어노즐(26A)로의 청정화 에어의 공급은 송풍팬(24)과는 다른 동력의 팬(도시않함)에 의해 행하여도 좋다. 또한, 에어노즐(26A)로부터 분출되는 에어는 청정화 유닛(23)에 의해 청정화된 에어인 것이 바람직하지만 청정도가 낮은 주위환경 중의 에어여도 좋다.
도 12는 도 11의 반도체 제조장치(2A)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다. 반도체 제조장치(2A)는 이동적재상대인 자동반송차(1)를 감시하고, 상기 자동반송차(1)의 접근을 검지하는 반송차 감시부(도시않함)를 갖고 있다. 상기 반송차 감시부가 이동적재상대로 되는 자동반송차의 접근을 검지하면 검지신호를 출력한다. 또한, 반도체 제조장치(2A)가 반송차 감시부를 갖지 않고, 도시하지 않은 신호선 등에 의해서 접근신호가 외부로부터 입력되도록 구성하여도 좋다.
상기 검지신호에 기초하여 부이동적재지점으로의 도착전에 이동적재가 행해지는 이동적재구(22)의 상방에 설치된 분출부(27)로부터 에어를 분출하여 상기 이동적재구(22)의 외표면에 다운플로우를 형성한다. 이 때문에, 자동반송차가 이동적재지점에 도달하기까지 다운플로우에 의해 이동적재구(22)의 셔터에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
실시형태5.
상기 각 실시형태에서는 반도체 제조장치의 이동적재구에 부착된 이물을 에어분출에 의해 제거하는 경우의 예에 관해서 설명하였지만 본 실시형태에서는 자동반송차의 이동적재구에 부착된 이물 등을 제거하는 경우에 관해서 설명한다.
도 13은 본 발명의 실시형태5에 의한 반도체 제조장치의 개략적인 구조를 나타낸 단면도이고, 도 1과 마찬가지의 자동반송시스템에 적용되는 반도체 제조장치 (2B)를 측면측으로부터 바라본 도면이다. 또한, 도 14는 도 13의 반도체 제조장치 (2B)가 에어분출을 행하는 경우의 형태를 나타낸 도면이다. 도면 중 1은 자동반송차, 2B는 반도체 제조장치, 20은 프로세스 처리부, 21은 로더/언로더, 22는 이동적재구, 23은 청정화 유닛, 24는 송풍팬, 25는 청정화 필터, 28B는 에어노즐, 29B는 에어분출부이다.
반도체 제조장치(2B)의 이동적재구(22)의 셔터에는 실시형태1에 있어서의 자 동반송차(1A)와 마찬가지의 에어분출부가 설치되어 있다. 즉, 이동적재구(22)의 셔터에는 에어분출부(29B)를 구성하는 다수의 에어노즐(28B)이 배치되어 있고, 상기 셔터의 전체면 및 그 주변으로부터 외측을 향하여 에어분출이 행해진다.
반도체 제조장치(2B)는 셔터의 전체면 및 그 주변으로부터 케이스 앞면에 대해서 개략적인 법선방향의 외측을 향하여 에어분출을 행하므로 반도체 제조장치 (2B)의 이동적재구(22)에 부착된 이물 등이 제거됨과 아울러 반도체 제조장치(2B)의 앞면이 대향하는 자동반송차(1)의 측면에 대해서 에어분출이 행해지고, 자동반송차(1)의 측면에 부착된 이물 등이 제거된다.
반도체 제조장치(2B)의 이동적재구(22)는 자동반송차(1)의 이동적재구(11)에 대향하는 위치에 배치되어 있기 때문에 반도체 제조장치(2B)의 이동적재구(22)의 셔터 전체면으로부터 에어분출을 행함으로써 자동반송차(1)의 이동적재구(11) 전체면에 대해서 에어분출을 행할 수 있고, 자동반송차(1)의 이동적재구(11)의 셔터 등에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
반도체 제조장치(2B)는 이동적재상대로 되는 자동반송차의 접근을 검지하면 이동적재지점으로의 도착전에 이동적재가 행해지는 이동적재구(22)에 설치된 각 에어분출부(29B)에 의해 에어분출이 형성되고, 주행 중의 자동반송차(1)의 이동적재구(11)에 대해서 에어를 분출한다. 이 때문에, 자동반송차가 이동적재지점에 도달하기까지 이동적재구(11)의 셔터에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
본 실시형태에서는 자동반송차의 이동적재구에 부차된 이물을 제거하는 방법으로서, 반도체 제조장치(2B)의 이동적재구(22)의 셔터에 실시형태1에 있어서의 자 동반송차(1A)와 마찬가지의 에어분출부를 설치한 경우의 예를 나타내었지만 실시형태2와 같이 에어분출부를 이동적재구의 양측에 설치하고, 반송차가 접근하는 방향의 에어분출부로부터 에어분출을 행하여도 좋고, 실시형태3과 같이 에어분출부를 반도체 제조장치의 코너부에 설치하여도 좋다.
실시형태6.
실시형태4,5에서는 반도체 제조장치 또는 자동반송차의 이동적재구에 부착된 이물 등을 에어분출에 의해 제거하는 경우의 예에 관해서 설명하였지만 본 실시형태에서는 추가로 에어분출을 클린터널의 형성에 이용하는 경우의 예에 관해서 설명한다.
도 15는 본 발명의 실시형태6에 의한 반도체 제조장치가 에어분출을 행하는 형태를 나타낸 도면이고, 도 1과 마찬가지의 자동반송시스템에 적용되는 자동반송차(1D)와 반도체 제조장치(2C)가 나타나 있다. 도면 중의 1D는 자동반송차, 2C는 반도체 제조장치, 11 및 22는 이동적재구, 23은 청정화 유닛, 19C, 27A, 27B 및 29C는 에어분출부, 18C 및 28C는 에어노즐이다.
자동반송차(1D)가 이동적재가 행하고자 하고 있는 반도체 제조장치(2C)에 접근하면 이동적재지점으로의 도착전에 이동적재가 행해지는 이동적재구(11)의 상방에 설치된 에어분출부(27B)로부터의 에어분출이 개시됨과 아울러 이동적재구(11)의 주변부에 설치된 에어분출부(19C)로부터의 에어분출이 개시된다.
또한, 반도체 제조장치(2C)는 이동적재상대로 되는 자동반송차(1)의 접근을 검지하면 이동적재지점으로의 도착전에 이동적재가 행해지는 이동적재구(22)의 상 방에 설치된 에어분출부(27A)로부터의 에어분출이 개시됨과 아울러 이동적재구(22)의 주변부에 설치된 에어분출부(29C)로부터의 에어분출이 개시된다. 또한, 에어분출부(27A) 및(29C)로부터 동시에 에어분출을 행하면 서로를 제거하게 되므로, 우선, 에어분출부(27A)로부터의 에어분출을 행한 후에 에어분출부(29C)로부터의 에어분출을 행하는 것이 바람직하다.
에어분출부(27B)는 도 11, 12(실시형태4)에 나타낸 반도체 제조장치(2A)의 에어분출부(27A)와 동일한 것이지만 자동반송차(1D)에 설치되어 있는 점에서 다르다. 즉, 에어분출부(27B)는 이동적재구(11)의 상방에 설치된 복수의 에어노즐로 구성되고, 자동반송차의 이동적재구(11)측의 측면을 따라서 아래로 흐르는 에어커텐을 형성한다. 이 때문에, 이동적재구(11)의 외표면에 다운플로우가 형성되고, 이동적재구(11)에 부착된 이물 등을 제거할 수 있다.
에어분출부(19C)는 이동적재구(11)의 주변부에 설치되고, 외측을 향하여 청정화된 에어를 분출하는 복수의 에어노즐로 구성되고, 이동적재구(11)의 주변에 에어커텐을 형성한다. 에어노즐(18C)은 이동적재구(11)의 둘레 가장자리부에 인접시켜서 이동적재구(11)의 주위를 둘러싸도록 이동적재구(11)의 외측에 배치되고, 자동반송차(1D)의 케이스 앞면에 대해서 대략 법선방향의 외측을 향하여 에어분출을 행하고, 이동적재구(11)를 둘러싸는 통형상의 에어커텐이 형성된다.
또한, 도 15에 나타내는 바와 같이, 에어노즐(18C)은 이동적재구(11)를 향해서 상방향, 좌방향 및 우방향에 배치되고, 하방향(적어도 하방향의 일부, 예컨대, 중앙부)에는 배치하지 않아도 좋다. 즉, 하방향을 제외한 이동적재구(11)의 주위를 둘러싸도록 에어노즐(18C)을 배치하여도 좋다.
이 경우, 이동적재구(11)의 상방에서 위치를 다르게 하여 배치된 에어노즐 (18C)에 의해서 이동적재구(11)의 상방에서 수평방향으로 넓어지는 에어커텐이 형성된다. 또한, 이동적재구(11)의 좌우 양측에서 각각 연직방향으로 위치를 다르게 하여 배치된 에어노즐(18C)에 의해서 이동적재구(11)의 양측에서 연직방향으로 넓어지는 에어커텐이 형성된다. 이러한 형태로 하여 하방향을 제외하고, 이동적재구 (11)를 둘러싸는 통형상의 에어커텐이 형성된다.
에어분출부(27A)는 도 11, 12(실시형태4)에 나타낸 것과 동일한 것이다. 에어분출부(29C)는 이동적재구(22)의 주변부에 설치되고, 외측을 향하여 청정화된 에어를 분출하는 복수의 에어노즐로 구성되고, 이동적재구(22)의 주변에 에어커텐을 형성한다. 도 15에서는 이동적재구(22)의 주위를 둘러싸도록 이동적재구(22)의 외측에 에어노즐(28C)이 배치되고, 반도체 제조장치(2C)의 케이스 앞면에 대하여 개략 법선방향의 외측을 향하여 에어분출을 행하고, 이동적재구(22)를 둘러싸는 통형상의 에어커텐이 형성되어 있다.
도 16은 도 15의 반도체 제조장치(2C) 및 자동반송차(1D) 간의 카세트 이동적재시의 형태를 나타낸 도면이다. 도면 중의 5는 클린터널이다. 이동적재지점에 있어서 자동반송차(1D)와 반도체 제조장치(2C) 사이에서 이동적재를 행하는 경우, 대향하는 이동적재구(11,22)의 셔터가 함께 개방된다.
이 때, 이동적재구(11,22)에 끼워진 공간에는 로더/언로더(21) 및 자동반송차(1) 내의 정압에 의해서 클린터널(5)이 형성됨과 아울러 에어분출부(29C), 또는, 자동반송차(1D)의 에어분출부(19C) 중 적어도 어느 한쪽에 의해서 클린터널(5)이 형성되고, 자동반송장치, 제조장치 간의 간극부를 깨끗하게 유지하고, 주변부의 청정도가 낮은 에어가 클린터널 내에 유입되기 어렵게 된다. 카세트(17)는 이와 같이 하여 형성된 클린터널(5) 내부를 통해서 자동반송차(1A)로부터 반도체 제조장치(2)로, 또는, 반도체 제조장치(2)로부터 자동반송차(1A)로 이동적재된다.
상기 자동반송차 또는 제조장치 중 적어도 한쪽의 에어분출은 자동반송차 (1D)가 반도체 제조장치(2C)에 도착전부터 개시되고, 셔터 개방동작하여 반송차 정지후의 이동적재동작이 완료하고, 발진하면서 셔터가 폐쇄되기까지의 사이, 연속해서 분출된다.
이러한 형태로 하여 자동반송차(1D)는 반도체 제조장치(2C)의 이동적재구 (22)를 청정한 상태로 자동반송차(1D)가 소정의 위치에 정지하였을 때, 이동적재구 (11)와 이동적재구(22) 사이에 에어터널이 형성되고, 이동적재 중에 카세트에 진애가 부착하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 셔터가 각각 폐쇄되는 사이, 에어분출을 계속하고 있기 때문에 자동반송차(1D)가 발진할 때, 진애가 말려올라가더라도 이동적재구(11,22)로부터 주변부의 청정도가 낮은 에어가 클린터널 내에 유입되기 어렵게 할 수 있다.
또한, 상기 각 실시형태에서는 반도체장치 제조라인의 자동반송시스템의 예에 관해서 설명하였지만 본 발명의 적용대상은 이와 같은 것에 한정되지 않고, 피제조물을 청정화된 분위기로 유지하는 것이 요구되는 여러가지의 반송시스템에 적용할 수 있다. 또한, 피제조물 이외의 여러가지의 피반송물을 이들의 수용하는 2이 상의 수용장치 간에 있어서 반송하는 반송시스템에도 적용할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에 있어서의 반도체장치에는 전기신호를 입출력하기 위한 반도체장치뿐만 아니라, 액정, PDP, 유기EL 등의 표시장치도 포함되고, 본 발명은 이들 제조라인에서 이용되는 반송시스템에도 적용할 수 있는 것은 물론이다.
또한, 상기 각 실시형태에서는 반송시스템이 클린룸 내에서 사용되는 경우의 예에 관해서 설명하였지만 본 발명에 의한 자동반송시스템은 반드시 클린룸 내에서 사용되는 것에 한정되지 않는다. 자동반송차(1), 반도체 제조장치(2), 스토커(3) 내의 피제조물의 수납부의 청정도가 반송시스템의 사용되는 분위기의 청정도보다 높게 되어 있는 여러가지의 자동반송시스템에 적용할 수 있다.
또한, 상기 각 실시형태에서는 자동반송시스템의 예를 나타내었지만 본 발명의 적용범위는 자동반송시스템에 관한 것에 한정되지 않고, 수동으로 대차(臺車)를 반송하는 수동라인에 관해서도 마찬가지로 적용할 수 있다.
또한, 상기 각 실시형태는 적절히 조합시켜서 이용할 수 있다.
또한, 이하에 반송차 시스템의 다른 실시형태를 기재한다.
도 18은 무인반송시스템(101)의 구성을 나타내는 개략도이고, 도 19는 스테이션(103)에 대향하는 반송차(102)를 나타내는 평면 단면도이고, 도 20은 반송차 (102)를 나타내는 사시도이고, 도 21은 반송차(102) 및 스테이션(103)의 정면 일부 단면도이고, 도 22는 덕트(112)의 사시도이고, 도 23은 각 에어분출수단의 제어구성을 나타내는 블록도이고, 도 24는 이동적재준비시의 각 공기류의 흐름을 나타내는 평면도이고, 도 25는 셔터(110ㆍ110)의 개폐기구를 나타내는 사시도이고, 도 26 은 셔터(110ㆍ110) 개방에서부터 이동적재동작 개시전까지의 과정을 나타내는 반송차(102) 및 스테이션(103)의 개략적인 평면도이고, 도 27은 이동적재동작 개시후로부터 셔터(110ㆍ110) 폐지까지의 과정을 나타내는 반송차(102) 및 스테이션(103)의 개략적인 평면도이고, 도 28은 실시형태8에 있어서의 각 에어분출수단의 제어구성을 나타내는 블록도이고, 도 29는 실시형태9의 반송차(52)를 나타내는 사시도이고, 도 30은 보조 에어분출수단을 나타내는 사시도이다.
우선, 무인반송시스템(101)의 구성에 관해서 설명한다.
도 18~도 21에 나타내는 바와 같이, 무인반송시스템(101)에는 실시형태7의 무인반송차(이하, 반송차)(102)와, 스테이션(103)이 구비된다. 반송차(102)의 본체프레임(109)에는 주행용 차륜(135ㆍ135…)이 설치되어 있다.
스테이션(103)은, 예컨대, FPD(Flat Panel Display)용 유리기판이나 수지기판을 제조하기 위한 처리장치에 설치되는 것으로, 배면측에 도시하지 않은 처리장치 본체가 설치되어 있다. 또한, 처리장치에 한정되지 않고, 물품(105)을 일시적으로 수납하는 스토커나, 검사장치의 스테이션이여도 좋다.
상기 스테이션(103)은 반송차(120)에 의해 반송되는 물품(105)이 탑재되도록 되어 있고, 반송차(102)의 주행경로(104)를 따라서 상기 주행경로(104)의 양측에 복수개가 배치된다. 또한, 스테이션(103)을 주행경로(104)의 일측에만 배치하는 구성으로 하여도 좋다. 또한, 도 18에 나타내는 영역의 주행경로(104)는 직선경로로 하고 있지만 곡선경로를 접속하여 전체를 루프형상으로 하여도 좋다.
물품(105)은 FPD, 예컨대, 액정이나 플라즈마ㆍ디스플레이용 유리기판이나, 유기EL(Electro Luminescence)용 수지의 기판 등의 판형상물을 수납한 카세트로 하고 있고, 물품의 유지를 위하여 클린환경하에서 보존되는 것이 필요하다.
또한, 주행경로(104)의 양측에는 스테이션(103ㆍ103) 간에 패널(106ㆍ106…)이 세워설치되어서 주행경로(104)를 둘러싸도록 되어 있다.
이하에 있어서 반송차(102)의 주행경로(104)에 걸친 진행방향을 기준으로 하여 방향을 정의하는 것으로 한다. 즉, 반송차(120)의 진행방향을 전후방향으로 하고, 상기 진행방향과 수평면 내부에서 수직이 되는 방향을 좌우방향으로 한다.
또한, 반송차(102)는 주행경로(104)에 대해서 전후 어느 하나의 방향에 대해서도 주행가능하지만, 설명의 편의상, 도 18~도 19 등에 의해서 화살표F로 나타내는 방향을 반송차(102)의 진행방향 전방의 방향으로 한다.
도 19에 나타내는 바와 같이, 스테이션(103)에는 상기 스테이션(103)의 본체 프레임(107)의 내부에 물품수납고(107a)가 형성되고, 이 물품수납고(107a)에 물품을 주고받기 위한 물품수도구(107b)가 본체 프레임(107)에 형성된다. 또한, 본체 프레임(107)에 있어서 물품수도구(107b)가 형성되는 벽면을 개구측 정면벽(107c)으로 한다. 또한, 상기 물품수도구(107b)를 개폐하기 위한 한쌍의 셔터(108ㆍ108)가 구비된다.
한편, 반송차(102)에 있어서는 이 반송차(102)의 본체 프레임(109)의 내부에 물품수납고(109a)가 형성되고, 상기 본체 프레임(109)의 좌우 양측면에는 물품 (105)을 이동적재하기 위한 물품수도구(107bㆍ109b)가 형성된다. 또한, 좌우의 물품수도구(109b)를 개폐하기 위한 한쌍의 셔터(110ㆍ110)가 반송차(102)의 좌우 양 측에 각각 구비된다.
또한, 물품수도구(109bㆍ109b)의 개구의 크기는 거의 동일한 정도의 크기가 되도록 형성되고, 거의 동일한 높이위치에 있다. 또한, 셔터(108ㆍ108) 및 셔터 (110ㆍ110)는 동일한 기구를 이용하고 있다.
또한, 반송차(102)에는 물품(105)의 이동적재수단으로서 스칼라 암(scalar arm)식의 이동적재장치(111)가 구비되어 있다. 또한, 반송차(120)가 스테이션(103)에 도착하고, 물품수도구(107bㆍ109b)가 대향한 상태로 상기 셔터(108ㆍ108) 및 셔터(110ㆍ110)를 개방하면 물품수도구(107bㆍ109b) 사이에서 물품(105)의 이동적재가 가능하다.
물품수도구(107bㆍ109b) 사이는 이간하여 두고, 셔터(108ㆍ110)를 개방한 물품(105)의 이동적재시에는 어느 조치도 실시되지 않으면 이동적재되는 물품(105)에 반송차(102) 및 스테이션(103) 외부의 에어가 유입되어 접촉하여 버린다.
그래서, 반송차(102)에는 물품(105)과 반송차(102) 외부의 에어와의 접촉을 방지하는 수단으로서 스테이션(103)측[주행경로(104) 측방]으로 에어를 분사하는 제1에어분출수단이 물품수도구(107b)의 주위에 구비되어 있다. 상기 제1에어분출수단의 작동에 의해 에어커텐이 형성되어서 물품수도구(107bㆍ109b) 사이를 연결하는 물품 이동적재경로가 클린터널로 되도록 하고 있다. 또한, 상기 외부에어가 진애를 포함하는, 청정도가 낮은 에어여도 이 에어가 물품(105)에 접촉하는 일이 없도록 하고 있다.
제1에어분출수단의 구성에 관해서 설명한다.
도 20, 도 21에 나타내는 바와 같이, 반송차(102)의 좌우에는 측방 및 상방으로 돌출하는 덕트(112ㆍ112)가 설치되어 있다. 덕트(112)의 측방 돌출부(112a)는 물품수도구(109b)의 상방 및 전후를 둘러싸도록 역 오목형상으로 형성되어 있다.
도 20, 도 22에 나타내는 바와 같이, 측방 돌출부(112a)의 측단면에는 물품수도구(109b)를 둘러싸도록 다수의 에어노즐(113ㆍ113…)이 설치되어 있다.
에어노즐(113ㆍ113…)은 배치부위에 따라서 3개의 에어분출부로 분류된다. 물품수도구(109b)의 전후에 위치하는 에어노즐(113ㆍ113…)에 의해 각각 에어분출부(114Fㆍ114R)가 구성되고, 물품수도구(109b)의 상방에 위치하는 에어노즐 (113ㆍ113…)에 의해 에어분출부(115)가 구성된다.
도 20에 나타내는 바와 같이, 1개의 덕트(112)의 상방 돌출부(112b)에는 팬ㆍ필터ㆍ유닛(이하, FFU)(116)과 FFU(129ㆍ129)가 설치되어 있다. FFU (116ㆍ129ㆍ129)는 덕트(112)를 통해서 에어노즐(113ㆍ113…)에 양압(陽壓)의 에어를 공급하는 수단임과 아울러 에어필터를 구비하고 있고, 덕트(12)에 공급하는 에어는 깨끗하다. 여기서, 공급용 에어는 FFU(116)에 있어서는 반송차(102)의 상방으로부터 흡입하고, FFU(129ㆍ129)에 있어서는 반송차(102)의 측부에 설치하는 흡인덕트(119Fㆍ119F)(후술)로부터 흡인하는 구성이다.
즉, 제1에어분사수단은 물품수도구(109b)의 주위를 따라서 문형상으로 형성되고, 내부가 연통되어 있는 덕트(112)에 배치된 상기 각 에어분출부 (114Fㆍ114Rㆍ15)를 구비하고 있다. 제1에어분출수단의 에어공급원은 덕트(112) 상부에 배치한 FFU(116ㆍ129ㆍ129)이고, 각 FFU로부터 보내진 에어는 모두 덕트(112)에 모여진 후, 각 에어분출부(114Fㆍ114Rㆍ115)의 에어노즐(113)로부터 스테이션(103)을 향하여 분출된다. 또한, 덕트(112)를 각 분출부(114Fㆍ114Rㆍ115)마다 칸막이하여 FFU (116ㆍ129ㆍ129)를 각각 접속하도록 하여도 좋다.
도 23에 나타내는 바와 같이, 반송차(102)에는 상기 제1에어분출수단을 제어하는 제어수단(117)이 설치되어 있다. 제어수단(117)은 전자회로로 구성되어 있고, 상기 제어수단(117)과 신호전달가능하게 접속되는 각 장치를 제어한다.
또한, 제1에어분출수단을 구성하는 각 에어분출부와 FFU(116ㆍ129ㆍ129)는 에어배관을 통해서 연통접속된다.
제어수단(117)은 FFU(116ㆍ129ㆍ129)과 신호전달가능하게 접속되어서 FFU (116ㆍ129ㆍ129)의 구동을 제어한다. 또한, 제어수단(117)이 FFU(116ㆍ129ㆍ129)의 구동을 제어함으로써 각 에어분출부에 의한 에어분출량을 조정할 수 있다.
도 24에 나타내는 바와 같이, 반송차(102)는 이동적재 작업시간을 단축하기 위하여 스테이션(103)에 도달하기 전에 상기 셔터(110ㆍ110)을 개방하여 이동적재준비를 행한다. 이와 같이 하여 스테이션(103)으로의 도착후에 셔터(110ㆍ110)을 개방하는 경우에 비해서 이동적재 작업전반에 요하는 작업시간을 단축한다.
한편, 반송차(102)의 전방측의 에어는 반송차(102)의 주행에 의해 반송차 (102)에 대해서 양압으로서 작용한다. 셔터(110ㆍ110)를 개방한 상태로 반송차 (102)가 주행하면 상기 전방측 에어에 의한 공기류(A0)가 반송차(102)의 전체면을 향하여 흐름과 아울러 반송차(102)의 측면을 돌아들어가서 물품수납고(109a) 내에 침입하고자 한다.
상기 제1에어분출수단은 셔터(110ㆍ110)를 개방한 반송차(102)의 주행시에 있어서 반송차(102)의 외부의 에어가 물품수납고(109a) 내로 침입하는 것을 방지하는 수단으로서도 기능한다.
제1에어분출수단의 구동에 의해 물품수납고(109a)의 전후 및 상방에 있어서 스테이션(103)측[주행경로(104)의 외측]으로의 공기류가 각각 발생한다. 여기서 에어분출부(114F)로부터 발생하는 공기류를 A1으로 한다.
또한, 전방측 에어의 공기류(A0)는 상기 공기류(A1)에 의해 물품수납고 (109a) 내부에 침입하기 전에 주행경로(104)의 외측으로 밀려서 물품수납고(109a) 내부에 침입하는 것이 방지된다.
또한, 도 20, 도 23에 나타내는 바와 같이, 반송차(102)의 측면에 돌아들어갈 수 있던 공기류(A0)에 의한 영향을 제거하기 위하여 반송차(102)에는 에어의 흡인수단이 설치되어 있다.
에어흡인수단은 상기 물품수도구(109b)를 둘러싸도록 배치되어 있는 상기 덕트(112)로부터 진행방향 전방측으로 설치되는 것이지만 상기 반송차(102)는 왕복주행하기 위하여 진행방향 전후 양측에 배치되어 있다[덕트(119Fㆍ1119R)].
흡인덕트(119Fㆍ119R)는 각각 에어를 흡인하기 위한 다수의 에어흡인구멍 (119a)을 상하방향으로 갈짓자형상이 되도록 2열 형성함과 아울러 상기 FFU (129ㆍ129)의 흡인측에 각각 접속되고, 제1에어분출수단의 에어분출부로부터 클린에어가 분출된다. 또한, 에어 흡인구멍(119a)은 상하방향으로 긴 일체의 장공으로 하여도 좋다.
도 24에 나타내는 바와 같이, 물품수도구(109b)의 진행방향 전방측에 흡인부의 흡인덕트(119F)를 설치함으로써 반송차(102)의 측면에 돌아들어갈 수 있던 공기류(A0)를 유도하여 소실시킬 수 있다.
특히, 물품수도구(109b)의 진행방향 전방측에 설치하는 에어분출부(114F)의 전방측에는 흡인덕트(119F)를 설치함으로써 공기류(A0)가 에어분출부(114F)로부터의 공기류(A1)와 교차하기 전에 공기류(A0)를 약화시킬 수 있고, 공기류(A1)에 의해 에어커텐을 확실하게 형성시킬 수 있다.
또한, 도 22에 나타내는 바와 같이, 물품수도구(109b)의 진행방향 전방측에서 에어를 분출하는 제1에어분출수단은 에어분출방향이 진행방향 전방으로 경사지도록 되어 있다. 즉, 에어분출부(114F)를 구성하는 각 에어노즐(113)은 에어분출방향이 진행방향 전방으로 향하는 것으로 되어 있다.
이 때문에, 상기 에어분출부(114F)로부터 분출되는 에어에 의해 진행방향 전방으로도 에어의 흐름을 발생시켜서 상기 공기류(A0)의 후방측으로의 흐름을 제거하고, 공기류(A0)를 약화시키도록 하고 있다.
또한, 반송차(102)는 진행방향이 역회전할 수 있으므로 에어분출부(114R)을 구성하는 각 에어노즐(113)의 에어분출방향은 진행방향 후방으로 경사진 것으로 되어 있다.
또한, 물품수도구(109b)의 상방에서 에어를 분출하는 제1에어분출수단은 에어분출방향이 상방이 되도록 설치되어 있다.
도 22에 나타내는 바와 같이, 제1에어분출수단의 에어분출부 (114Fㆍ114Rㆍ115)로부터의 에어분출방향은 모두 이동적재시에 있어서의 물품수도구(107bㆍ109b) 간을 연결하는 경로와 평행하지 않고, 상기 경로보다 외측으로 넓어지는 방향으로 되어 있다.
또한, 제1에어분출수단에 의해 상기 경로를 보호하는 에어커텐을 형성할뿐만 아니라, 상기 경로의 외측으로 전달하는 양압을 발생시켜서 반송차(2) 및 스테이션 (103) 외부에어가 상기 경로로 침입하는 것을 방지하도록 하고 있다.
도 19, 도 24에 나타내는 바와 같이, 제1에어분출수단에 의한 에어의 분출목적지는 스테이션(103) 또는 상기 패널(106)로 되어 있다.
무인반송시스템(101)에 있어서는 스테이션(103ㆍ103) 사이에서 주행경로 (104)를 따라서 패널(106)이 배치되어서 반송차(102)와 스테이션(103)의 사이, 또는, 반송차(2)와 패널(106) 사이의 간극이 국한되도록 하고 있다. 패널(106)은 직사각형상의 평판부재이고, 스테이션(103ㆍ103) 사이에 간극없이 설치되어 있다.
스테이션(103)에는 본체 프레임(107)의 개구측 정면벽(107c)에 반송차(102)와 대향하는 물품수도구(107b)가 형성되어 있다. 즉, 개구측 정면벽(107c)은 반송차(102)와 대향하도록[반송차(102)의 진행방향을 따라서] 형성되어 있다. 또한, 상기 개구측 정면벽(107c)의 전후 양단에 패널(106)의 전후 일측단이 접촉하도록 패널(106)을 배치하여 주행경로(104)가 스테이션(103)과 패널(106)에 간극없이 둘러싸도록 한다.
즉, 스테이션(103)의 물품수도구(107b)의 전후에 본체 프레임(107)의 개구측 정면벽(107c) 또는 패널(106)에 의해 반송차(102)에 대향하는 벽부재를 형성하는 것이다.
또한, 상기 국한된 간극 내에서 제1에어분출수단이 스테이션(103) 또는 패널(106)을 향하여 에어를 분출한다.
반송차(102)와의 사이에 약간의 간극을 개방하여 패널(106)[또는, 스테이션(103)]을 배치함으로써 제1에서는 상기 전방측 공기류(A0)의 물품수납고 (109a)측으로의 돌아서 들어가는 양이 제한되고, 제2에서는 각 에어노즐(113)에 의해 형성되는 에어커텐의 길이를 단축할 수 있으므로 분사되는 에어의 압력이 반송차(102)로부터 패널(106)에 도달하기까지 압력이 저하되기 어렵게 된다.
따라서, 물품수납고(109a) 내로의 진애의 침입을 방지하기 위하여 요하는 에어의 분사량은 패널(106)을 설치하지 않은 경우에 비교해 저감할 수 있다.
또한, 개구측 정면벽(107c) 또는 패널(106)에 의해 형성되는 벽부재를 향하여 제1에어분출수단이 에어를 분사함으로써 상기 벽부재 및 셔터(108ㆍ108)에 부착된 진애를 제거하면서 반송차(102)가 주행한다. 따라서, 셔터(108ㆍ108)의 개방시에 말려올라가는 진애가 없기 때문에 물품수도구(107bㆍ109b) 사이에서 이동적재되는 물품(105)에 진애가 부착되는 일이 없다.
또한, 이상의 효과는 적어도 물품수도구(107b)의 전후에 벽부재가 형성되는 구성이면 좋다. 본 실시예에서는 패널(106)은 스테이션(103ㆍ103) 사이를 모두 매립하도록 전면적으로 배치하는 구성으로 하고 있지만 도중의 패널(106)을 생략하여 스테이션(103)의 적어도 전후위치에 적당수의 패널(106)를 배치하여 상기 개구측 정면벽(107c) 및 적당수의 패널(106)에 의해 벽부재가 형성되는 구성으로 하여도 좋다.
주행시, 특히, 상기 셔터(110ㆍ110)를 개방한 이동적재전의 준비상태에 있어서 반송차(102)의 진행방향 전방으로부터의 공기류(A0)의 영향을 제거하기 위해서는 적어도 상기 전방측에서 에어를 분출하는 제1에어분출수단[에어분출부(114F)]이 구동하고 있으면 좋다. 이 때에 가장 영향이 큰 것은 반송차(102)의 주행에 따라서 생기는 전방측으로부터의 공기류(A0)이지만 상기 전방측의 제1에어분출수단은 상기 공기류(A0)의 흐름방향을 교정하거나, 약화시키는 작용이 있고, 또한, 상기 스테이션(103)측의 셔터(108ㆍ108)의 진애를 제거하는 작용도 갖는다.
따라서, 상기 주행시에 있어서 제어수단(117)은 적어도 상기 전방측의 제1에어분출수단을 작동시킨다.
반송차(102)에는 물품(105)에 클린에어를 분출하여 물품수납고(109a) 내부를 양압으로 하는 물품수납고 내의 에어분출수단이 설치되어 있다.
도 20에 나타내는 바와 같이, 물품수납고 내의 에어분출수단은 차체 프레임 (109)의 상부에 설치한 팬ㆍ필터ㆍ유닛(이하, FFU)(118)과, 물품수납고(109a) 내부에 개구하는 도시하지 않은 에어노즐로 구성된다. FFU(118)는 에어필터를 구비하고 있고, 클린에어를 공급할 수 있다.
이 때문에, 물품수납고 내의 분출수단의 구동에 의해 물품수납고(109a) 내부가 항시 깨끗하게 보존된다.
또한, 물품수납고(109a) 내부가 양압이 되므로 셔터(110ㆍ110)를 개방한 상태로, 특히, 상기 이동적재전의 준비상태에 있어서 외부에어의 유입이 방지된다.
이어서, 상기 셔터(110ㆍ110)에 관해서 설명한다.
반송차(102)에는, 상기한 바와 같이, 물품수납고(109a)를 개폐하는 문짝으로서 1쌍의 셔터(110ㆍ110)가 차체 프레임(109)의 좌우에 각각 설치되어 있다.
이 때문에, 셔터(110ㆍ110)을 폐쇄시킴으로써 물품수납고(109a)로부터 진애가 물품수납고(109a) 내로 침입하는 것을 방지할 수 있다.
반송차(102)는 목적하는 스테이션(103)에 가까워지면 이동적재준비를 위하여 셔터(110ㆍ110)를 개방하면서 주행하지만 통상의 반송주행시에는 셔터(110ㆍ110)를 개방할 필요는 없으므로 필요에 따라서 셔터(110ㆍ110)를 폐쇄시킴으로써 상기 제1에어분출수단을 구동시키는 일없이 물품수납고(109a) 내부를 깨끗하게 보존할 수 있다.
도 25를 이용하여 셔터(110ㆍ110)의 개폐기구에 관해서 설명한다.
셔터(110ㆍ110)는 합성수지를 시트형상으로 형성하여 굴곡시키더라도 접힘흔적이 없는 부재로 되어 있다. 또한, 셔터(110ㆍ110)는 각각 중앙으로부터 좌우로 미닫이형상으로 물품수도구(109a)를 개폐하는 것으로 하고, 개방상태의 셔터 (110ㆍ110)의 각각이 직각으로 방향을 굴곡시켜서 반송차(102)의 좌우방향 내측에 수납되도록 하고 있다.
셔터(110ㆍ110)의 구동수단으로서 구동모터(120)와, コ자형상의 순환경로를 이동하는 구동벨트(121)가 설치되어 있다. 상기 순환경로를 따라서 구동모터(120)에 의해 구동되는 구동풀리(122) 및 종동풀리(123ㆍ123…), 텐션롤러(124ㆍ124…)가 배치되고, 구동벨트(121)가 구동모터(120)에 의해 구동되도록 하고 있다.
셔터(110)에는 이동방향의 양단에 가이드부(125aㆍ125b)가 고정설치되어 있고, 상기 가이드부(125aㆍ125b)가 구동벨트(121)와 연결부재(126ㆍ126)를 통해서 연결된다. 구동벨트(121)는 순환경로를 이동하도록 되어 있기 때문에 반송차(102)에 대한 외측부분(121a)과, 내측부분(121b)에서 이동방향이 역전하고 있다. 또한, 일측의 셔터(110)를 구동벨트(121)의 외측부분(121a)에 고정하고, 타측의 셔터 (110)를 구동벨트(21)의 내측부분(21b)에 고정함으로써 동일한 구동벨트(121)의 구동에 의해 양 셔터(110ㆍ110)를 동시에 개폐가능하게 하고 있다.
또한, 양 셔터(110ㆍ110)의 가이드부(125aㆍ125a)는 물품수도구(109a)의 상하에 설치하는 가이드(127ㆍ127)에 의해 전후방향[셔터(110ㆍ110)의 개폐방향]으로 안내된다. 가이드(127)는 가이드레일(127a)과, 이 가이드레일(127a))에 대해서 슬라이딩하는 가이드부재(127b)로 구성되고, 상하의 가이드부재(127bㆍ127b)에 셔터 (110)의 가이드부(125a)가 고정설치되어서 셔터(110)가 안내된다.
이와 같이 구성되어 있기 때문에 1쌍의 셔터(110ㆍ110)는 물품수도구(109b)를 따라서 동일 직선상을 접근ㆍ이간하도록 되어 있고, 셔터(110ㆍ110)의 가장자리와 가장자리를 밀착시킬 수 있다.
이상의 구성에 의해 셔터(110ㆍ110)는 미닫이형상으로 하면서도 굴곡시켜 수납하는 것이므로 수납이 생략된 공간으로 할 수 있다.
또한, 셔터(110ㆍ110)는 양측이 개방되어 있으므로 1개의 셔터에 의해 개폐를 행하는 경우와 비교해서 고속개폐가 가능하다. 또한, 양측 개방으로 함으로써 반송차(102)의 전후방향에서 대칭되어 있고, 반송차(102)가 전후 어느 측으로부터 스테이션(103)에 접근하여도 셔터(110ㆍ110)의 개방 타이밍을 동일하게 할 수 있다.
또한, 셔터(110ㆍ110)의 개폐기구는 상기 벨트식을 대신해서 구동축의 둘레를 감는 권취식으로 하여도 좋다.
도 20, 도 22를 이용하여 물품수도구(109b)의 상부 가장자리부로부터 다운플로우로 되는 에어를 분출하는 제2에어분출수단에 관해서 설명한다.
덕트(112)의 측방 연장부(112a)의 내측 상단, 즉, 물품수도구(109b)의 상부 가장자리부로 되는 부위에는 에어노즐이 설치된다. 이 에어노즐군으로 에어분출부 (128)가 구성된다.
또한, 상기 상부 가장자리부에 위치하는 에어분출부(128)와, 이 에어분출부 (128)로 덕트(112)를 통해서 클린에어를 공급할 수 있는 상기 FFU(116ㆍ129ㆍ129)로 제2에어분출수단이 구성된다. 또한, 도 23에 나타내는 바와 같이, 각 에어분출수단은 양압 발생원으로서의 FFU(116ㆍ129ㆍ129)를 각각 겸용하는 구성이다.
제2에어분출수단의 구동에 의해 셔터(110ㆍ110)의 외면에 클린에어가 분출되어서 상기 외면에 부착된 진애를 제거할 수 있다. 따라서, 셔터(110ㆍ110)의 개방전에 제2에어분출수단을 구동시킴으로써 셔터(110ㆍ110)의 외면에 부착된 진애가 물품수납고(109a) 내에 침입하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 셔터(110ㆍ110)의 개방시에 제2에어분출수단을 구동시킴으로써 물품수도구(109b)를 폐쇄하는 에어커텐을 형성할 수 있고, 물품수도구(109b)가 개방된 상태에서도 물품수납고(109a) 내로의 진애의 침입을 방지할 수 있다.
이어서, 도 26, 도 27을 이용하여 반송차(102)와 스테이션(103)의 사이에서의 이동적재작업의 각 과정의 일예에 관해서 설명한다.
도 26, 도 27에서는 물품(105)을 수용한 반송차(102)가 목적하는 스테이션 (103)을 향하여 주행하고, 목적하는 스테이션(103)에 도착한 후, 물품(105)을 스테이션(103)으로 이동적재한 후, 스테이션(103)으로부터 떨어져서 주행해 가는 과정을 나타내고 있다.
본 명세서에 있어서, 「이동적재작업」은 「이동적재동작」과 「이동적재전 예비동작」과 「이동적재후 예비동작」을 합친 것으로 한다.
「이동적재동작」은 물품수도구(107b)와 물품수도구(109b)가 대향한 후에 이동적재장치(111)에 의한 물품(105)의 이동적재에 관한 작업을 가리키는 것으로 한다.
또한, 「이동적재전 예비동작」은 물품수도구(107b)와 물품수도구(109b)가 대향하기 전에 있어서의, 셔터(110ㆍ110)의 개폐나 각 에어분출수단의 구동에 관한 작업을 가리키는 것으로 하고, 「이동적재후 예비동작」은 동일하게 상기 「이동적재동작」완료 후의 각종 작업을 가리킨다. 상기 「이동적재전 준비상태」는, 특히, 「이동적재전 예비동작」의 실행상태의 것을 가리킨다.
도 26(a)에 나타내는 바와 같이, 반송차(102)가 이동적재목적인 스테이션 (103)의 바로앞의 제1소정위치에 도달하면 「이동적재전 예비동작」이 개시된다. 「이동적재전 예비동작」의 개시시는 「이동적재작업」의 개시시이다.
즉, 반송차(102)는, 우선, 상기 각 에어분출수단 및 흡인수단의 구동을 개시 한다. 흡인수단인 흡인덕트(119F)에서 물품수납고(109a)의 물품수도구(109b)측으로 돌아들어가는 상기 공기류(A0)의 대부분을 흡인한다. 또한, 제1에어분출수단은 패널(6)을 향하여 역 오목형상의 에어커텐, 말하자면 에어의 벽을 만들어서 흡인수단에 의해 약해진 공기류(A0)가 물품수도구(109b)측으로 침입하는 것을 방지함과 아울러 개구측 정면벽(107c)에 부착된 진애를 제거한다. 물품수납고 내의 에어분출수단은 물품수납고(109a) 내를 양압으로 하여 셔터(110ㆍ110)의 개방시의 진애의 침입을 방지한다. 제2에어분출수단은 셔터(110ㆍ110)의 외면에 부착된 진애를 제거한다.
도 26(b)에 나타내는 바와 같이, 반송차(102)가 이동적재목적인 스테이션 (103)의 바로앞의 제2소정위치에 도달하면 셔터(110ㆍ110)의 개방이 개시된다.
여기서, 반송차(102)에 구비된 셔터(110ㆍ110)와 스테이션(103)에 구비된 셔터(108ㆍ108)가 동기하여 구동하도록 셔터(108ㆍ108)의 개방타이밍에 대응하여 셔터(110ㆍ110)의 개방타이밍이 설정되어 있다. 즉, 셔터(108ㆍ108)가 완전히 개방된 시점에서 셔터(110ㆍ110)도 동시에 완전히 개방되도록 하고 있다.
또한, 스테이션(103)에 구비된 셔터(108ㆍ108)도 중앙으로부터 좌우를 향하여 개폐하는 미닫이, 또는, 상기 셔터(110ㆍ110)와 마찬가지로 미닫이형상으로 되어 있다.
추가로, 도 26(c)에 나타내는 바와 같이, 셔터(108ㆍ108)와 셔터(110ㆍ110)의 개방이 완료한 시점에서 양 물품수도구(107bㆍ109b)가 중복되도록 하고 있다. 또한, 반송차(102)가 스테이션(103)의 바로 측방에 도착한 시점에서 물품수도구 (107b)와 물품수도구(109b)를 연결하는 이동적재 경로가 형성되도록 반송차(102)의 주행속도가 제어된다. 이 때문에, 상기 도착시점에서 「이동적재동작」이 곧바로 개시가능하다.
물품수납고(109a)는 「이동적재전 예비동작」의 개시시보다 상기 각 에어분출수단의 작동에 의해 에어커텐으로 보호되어 있으므로 셔터(110ㆍ110)의 개폐에 상관없이 진애가 침입하여 오는 일이 없다.
한편, 스테이션(103)의 물품수납고(107a)는 본 실시예에서는 외부로 에어를 분출하는 분출수단을 구비하는 구성이지만 반송차(102)에 구비된 제1에어분출수단에 의해 셔터(108ㆍ108)를 개방하였을 때에 물품수납고(107a) 내부가 보호되도록 하고 있다.
즉, 셔터(108ㆍ108)의 개방의 개시는 제1에어분출수단의 에어분출부(114F)에 의한 에어분출위치가 물품수도구(107b)의 전후 중앙위치를 초과한 시점이후에 행한다. 또한, 셔터(108ㆍ108)의 개구부분을 제1에어분출수단에 의해 분출되는 에어로 전후 및 상방을 둘러싸면서 반송차(102)가 주행한다. 이와 같이 하여 「이동적재전 예비동작」에 있어서 물품수납고(107aㆍ109a) 내의 에어가 셔터(108ㆍ108) 및 셔터(110ㆍ110)의 개폐도에 상관없이 깨끗하게 보존되도록 하고 있다.
또한, 개구측 정면벽(107c) 및 패널(106)으로 이루어지는 벽부재 상의 진애도, 제1에어분출수단의 에어분사에 의해 제거되는 것이므로 상기 벽부재 상의 진애가 셔터(108ㆍ108) 및 셔터(110ㆍ110)의 개구를 통해서 물품수납고(107aㆍ109a) 내에 침입하는 일이 없다.
도 26(c)에 나타내는 상태는 반송차(102)가 이동적재목적지인 스테이션(103)에 도착한 상태, 즉, 물품수도구(107bㆍ109b)가 중복하는 상태이다. 이 때의 반송차(102)의 정지위치를 제3소정위치로 한다.
반송차(102)는 제3소정위치에 도착하면 정지하여 「이동적재동작」을 개시한다. 이 시점이 「이동적재전 예비동작」의 종료시이고, 상기한 바와 같이, 셔터 (108ㆍ108) 및 셔터(110ㆍ110)의 개방이 완료하고 있다. 「이동적재동작」은, 구체적으로는, 상기 스칼라 암식 이동적재장치(111)를 구동시켜서 물품(105)을 스테이션(103)측으로 이동시켜서 행한다.
또한, 「이동적재동작」 중은 물품(105)에 진애가 부착되는 것을 방지하기 위하여 에어커텐을 계속해서 만들 필요가 있고, 에어분출수단은 계속적으로 동작시켜 둘 필요가 있지만 주행 중의 공기류가 물품수납고(109a)에 들어가는 것을 효과적으로 방지하기 위하여 이용되는 상기 흡인수단[흡인덕트(119F)]은 전력의 소비를 억제하기 위하여 정지시켜도 좋다. 흡인수단을 정지시킨 경우는 주행을 개시하는 「이동적재후 예비동작」으로 진행할 때에 다시 작동시키도록 한다.
도 27(d)에 나타내는 바와 같이, 이동적재장치(111)의 이동적재핸드(물품지지부)(111a)가 물품수도구(107bㆍ109b)를 통과하여 스테이션(103) 내에 삽입되어서 물품(105)이 물품수납고(109a)로부터 물품수납고(107a)로 이동적재된다.
도 27(e)에 나타내는 바와 같이 물품(105)의 스테이션(103)으로의 이동적재가 종료하면 상기 이동적재 핸드(hand)(111a)가 물품수납고(109a) 내에 수납되고, 「이동적재동작」이 완료한다.
「이동적재동작」이 완료하면 셔터(108ㆍ108) 및 셔터(110ㆍ110)의 폐지(廢止)가 개시된다. 동시에, 반송차(102)의 주행이 개시된다. 이 시점은 「이동적재동작」의 완료시점인 동시에 「이동적재후 예비동작」의 개시시점이다.
또한, 「이동적재동작」중은 상기 각 에어분출수단은 작동상태 그대로 되어 있고, 물품수도구(107bㆍ109b) 사이의 경로의 외측에 에어커텐이 형성된 그대로이고, 상기 경로 내 및 물품수납고(107aㆍ109a) 내에 진애를 포함한 외부에어가 침입하는 일이 없다.
또한, 「이동적재동작」이 완료한 반송차(102)는 이동을 개시하고, 도 27(f)에 나타내는 바와 같이, 반송차(102)가 스테이션(103)의 내측으로 되는 제4소정위치에 도달하면 셔터(108ㆍ108) 및 셔터(110ㆍ110)의 폐지가 완료한다. 셔터 (108ㆍ108) 및 셔터(110ㆍ110)의 폐지가 완료하면 상기 각 에어분출수단 및 흡인수단의 구동이 정지된다. 이 시점이 「이동적재후 예비동작」의 종료시이다.
셔터(108ㆍ108)의 폐지의 완료는 제1에어분출수단의 에어분출부(114R)에 의한 에어분출위치가 물품수도구(107b)의 전후 중앙위치를 넘는 시점 이전에 행한다. 이와 같이 셔터(108ㆍ108)의 폐지 완료를 제어함으로써 반송차(102)가 이동 중이여도 셔터(108ㆍ108)의 개구부분은 항상 제1에어분출수단에 의한 에어커텐으로 덮여져, 물품수납고(107a)에 진애가 침입하는 일이 없다.
「이동적재후 예비동작」이 종료하면 반송차(102)는 다음의 이동적재목적지로 되는 스테이션(103)까지 상기 각 에어분출수단을 정지시킨 채로 주행한다. 「이동적재후 예비동작」의 종료시는 「이동적재작업」의 종료시이다.
또한, 물품수납고(109a) 내부를 보다 깨끗하게 보존하기 위하여 물품수납고 내의 에어 분출수단은 항시 작동시켜 두어도 좋다. 또한, 스테이션(103)의 물품수납고(107b)의 셔터(108ㆍ108)는 그 개구가 에어커텐 내에 있으면 그 개폐하는 타이밍은 한정되는 것은 아니다.
이상과 같이 하여 「이동적재전 예비동작」, 「이동적재동작」, 「이동적재후 예비동작」으로 이루어지는 「이동적재작업」의 개시시부터 종료시까지의 사이는 상기 각 에어분출수단이 작동하도록 상기 제어수단(117)은 각 에어분출수단을 제어한다.
이 때문에, 물품(105)의 이동적재를 행함으로써 진애가 물품수납고 (107aㆍ109a)에 침입하거나 물품(105)에 부착되는 일이 없다.
또한, 반송차(102)에 구비하는 셔터(110ㆍ110)는 반송차(102)에서의 이상발생시에는 자동적으로 폐지되도록 구성되어 있다. 상기 이상발생은 반송차(102)에 구비되는 에어분출수단이나 전기계통의 고장이나, 반송차(102) 외부의 고장 등에 의해 반송차(102)로의 급전의 정지 등이 발생한 경우를 의미한다.
셔터(110ㆍ110)는 그 구동모터(120) 및 그 제어수단이 도시하지 않은 소형 예비전원에 접속되어 있고, 상기 이상시에는 항시 충전되어 있는 이차전지나 콘덴서 등의 소형예비전원으로부터의 전력에 의해 셔터(110ㆍ110)를 폐쇄하도록 구성되어 있다. 또한, 예비전원 등을 이용하지 않고 셔터(110ㆍ110)에 도시하지 않은 가압수단을 설치하고, 셔터(110ㆍ110)를 폐쇄하는 방향으로 힘을 가하도록 하여도 좋다.
이 때문에, 반송차(102)에 구비되는 에어분출수단이나 전기계통의 고장이나, 반송차(102) 외부의 고장 등에 의해 반송차(102)로의 급전의 정지 등이 발생하였을 때에 물품수납고(109a)를 문짝인 셔터(110ㆍ110)에 의해 밀봉하여 상기 각 에어분출수단의 작동이 정지하여도 물품수납고(109a) 내부를 깨끗하게 보존하는 것이 가능하다.
또한, 이상시에 셔터(110ㆍ110)를 폐쇄하는 구성으로 함으로써 통상은 셔터 (110ㆍ110)를 폐쇄하는 일없이 개방하여 두고, 이상시에만 셔터(110ㆍ110)를 폐쇄하는 반송차로 하여도 좋다. 이 경우, 상기 물품수납고(109a) 내에 진애가 들어가는 것을 방지하기 위하여 각 에어분출수단을 항시 작동시켜 둘 필요가 있고, 물품수도구(9b)의 주위에 에어커텐을 형성하여 두는 것이 바람직하다. 그 때문에 제1에어분출수단을 항시 작동시켜 두는 것이 바람직하다. 물품수납고(109a) 내에 진애가 들어가는 것을 보다 확실하게 방지하기 위해서는 추가로 물품수납고 내의 에어분출수단도 항시 작동시켜 두는 것이 바람직하고, 또한, 강력한 에어커텐을 만들기 위해서 제2에어분출수단을 작동시켜 두는 것이 바람직하다. 또한, 주행중은 진행방향 전방으로부터의 상기 공기류(A1)를 방지하기 위하여 제1에어분출수단에 추가로 상기 에어의 흡인수단을 동작시키도록 하는 것이 바람직하다.
이어서, 도 28을 이용하여 상기 제1에어분출수단 및 제2에어분출수단을 개별적으로 제어하는 제8실시예의 반송차의 제어구성에 관해서 설명한다.
제8실시예의 반송차는 제1에어분출수단 및 제2에어분출수단의 제어구성이 다를 뿐이고, 다른 것은 제1실시예의 반송차(102)와 동일하다. 따라서, 이하에 있어 서 동일부재에 관해서는 동일 부호를 이용함과 아울러 설명은 생략하고, 양 실시예에서 서로 다른 제어구성에 관해서만 설명한다.
도 28에 나타내는 바와 같이, 제1에어분출수단을 구성하는 각 에어분출수부와 FFU(116ㆍ129ㆍ129)는 에어배관을 통해서 연통접속된다. 상기 각 에어배관 상에는 전자밸브가 설치되어 있고, 각 에어분출부로의 에어공급량을 조정할 수 있다. FFU(116ㆍ129ㆍ129)로부터 에어분출부(114F)로의 에어배관 상에는 밸브(131)가 설치되고, 에어분출부(114R)로의 에어배관 상에는 밸브(132), 에어분출부(115)로의 에어배관 상에는 밸브(133)가 설치된다.
또한, 제2에어분출수단의 에어분출부(128)와 FFU(116ㆍ129ㆍ129)도 에어배관을 통해서 연통접속된다. 상기 각 에어배관 상에도 전자밸브가 설치되어 있고, 각 에어분출부로의 에어공급량을 조정할 수 있다. FFU(116ㆍ129ㆍ129)로부터 에어분출부(128)로의 에어배관 상에는 밸브(134)가 설치된다.
반송차(102)에는 제1에어분출수단을 제어하는 제어수단(137)이 설치되어 있다. 제어수단(137)은 전자회로로 구성되어 있고, 상기 제어수단(137)과 신호전달가능하게 접속되는 각 장치를 제어한다.
제어장치(137)에는 FFU(116ㆍ129ㆍ129), 상기 각 밸브(131ㆍ132ㆍ133ㆍ134)가 신호절단가능하게 접속되어 있고, 제어장치(137)는 이들 각 장치를 제어한다. 또한, 제어장치(137)가 FFU(116ㆍ129ㆍ129)의 구동이나 각 밸브 (131ㆍ132ㆍ133ㆍ134)의 개폐량을 제어함으로써 각 에어분출수단에 의한 에어분사량을 각각 조정할 수 있다.
상기한 바와 같이, 이동적재작업시간을 단축하기 위하여 반송차(102)는 이동적재목적지로 되는 스테이션(103)에 도달하기 전에 상기 셔터(110ㆍ110)를 개방하여 이동적재준비를 행한다. 셔터(110ㆍ110)를 개방한 상태로 주행하면 반송차(102)의 앞측의 에어가 반송차(102)에 대해서 양압으로서 작용하고, 물품수납고(109a) 내에 침입하고자 한다. 상기 이동적재 전의 준비상태에 있어서 에어분출부(114F)로부터의 에어분사량을 다른 에어분출부로부터의 에어분사량에 비해서 많게 함으로써 FFU(116ㆍ129ㆍ129)의 구동성능을 최대한 활용할 수 있다.
또한, 제어장치(137)에 의한 각 FFU(116ㆍ129ㆍ129)의 구동이나 각 밸브(131ㆍ132ㆍ133ㆍ134)의 개폐량의 제어에는 각 FFU(116ㆍ129ㆍ129)의 정지, 및 밸브(131ㆍ132ㆍ133ㆍ134)의 전체폐쇄가 포함되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는 제1에어분출수단에 의해 스테이션(103)측을 향하여 하방이 개방되어 있는 문형상의 에어커텐을 작성하고, 물품수납고 내의 에어분출수단 및 제2에어분출수단으로부터의 클린에어를 이용함으로써 상기 실시형태에 있어서 제1에어분출수단으로 완전히 커버할 수 없는 하방으로부터의 진애의 침입을 방지하도록 되어 있지만 물품수납고(109b)의 주위를 ロ자형상으로 둘러싸도록 에어노즐(113)을 배치하도록 하여도 좋다. 이와 같이, ロ자 형상으로 에어노즐(113)을 배치함으로써 이동적재중에 물품(5)에 진애가 부착되는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 제1에어분출수단의 각 에어노즐(113)은 넓은 방향으로 에어가 분출하도록 배치되어 있지만 진행방향에 대해서 법선방향이 되도록 에어를 바로 분출하도록 하여도 좋다. 또한, 제1에어분출수단의 에어분출부(114Fㆍ114Rㆍ115) 및 보조 에어분출수단의 에어분출부(145Fㆍ145R)(후술하는 도 29, 도 30에 도시)에 에어량 조정수단을 설치하고, 모두 균일하게 에어가 분출되도록 하여도 좋고, 코너부 등을 부분적으로 많이 분출하도록 하여도 좋다.
또한, 본 일실시형태에서는 주행에 수반하여 발생하는 진행방향 전방으로부터의 상기 공기류(A1)를 방지하기 위하여 제1에어분출수단에 추가로 상기 에어의 흡인수단을 동작시키도록 하고 있지만 상기 흡인수단을 대신해서 진행방향 전방으로 에어를 분사하는 보조 에어분출수단으로 하여도 좋다.
즉, 상기 흡인덕트(119F)(119R)와 동일 위치(제1에어분출수단의 에어분출부 (114F)(114R)로부터 주행방향 전방측)에 배치한 에어분출부로부터 진행방향 전방으로 에어를 분출한다. 상기 보조 에어분출수단에 의해 진행방향 전방측의 에어의 벽을 두껍게 함으로써 상기 공기류(A1)를 보다 확실하게 방지할 수 있다.
상기 보조 에어분출수단은 상기와 같이 분출부가 제1에어분출수단의 에어분출부(114F)(114R)보다 진행방향 전방측에 배치되는 것이지만 상기 분출부의 형상은 상하방향에 걸쳐서 에어를 진행방향 전방으로 분출할 수 있도록 한 것이면 좋고, 에어분출부와 팬은 일체 또는 별체로 구성할 수 있다. 또한, 에어분출부로 공급하는 에어는 상기 제1에어분출수단과 같이 클린에어로 하는 것도 고려되지만 오히려 필터가 설치되어 있지 않은 팬유닛으로부터의 에어를 이용하는 것이 보다 강한 에어를 공급할 수 있고, 상기 보조 에어분출수단의 제1목적인 상기 공기류(A1)의 침입을 방지하는 관점에서 보다 바람직하다.
도 29를 참조하면서 상기 보조 에어분출수단을 구비한 제9실시예의 무인 반 송차(152)에 관해서 설명한다.
무인 반송차(152)에 구비하는 보조 에어분출수단은 에어분출부와 팬이 일체로 된 크로스 플로우 팬(cross flow fan)으로 구성되어 있다. 크로스 플로우 팬 (140F)(140R)은 상기 제1에어분출수단의 에어분출부(114F)(114R)의 주행방향의 전방측 및 후방측에 설치되어 있다. 반송차(152)는 전후방향으로 주행하는 것이므로 에어분출부(114F)(114R)가 반송차(152)의 전후에 설치되어 있다.
도 30에 나타내는 바와 같이, 크로스 플로우 팬(140F)은 본체(141)와, 수평방향으로 회전하는 날개바퀴(142)를 구비하고 있다. 본체(141)는 날개바퀴(142)를 지지하기 위한 한쌍의 지지부(143ㆍ143)와 날개바퀴(142)에 의해 에어를 흡인하는 흡인덕트(144)와 흡인한 에어를 분출하는 에어분출부(145F)를 구비하고 있다. 날개바퀴(142)는 상하방향으로 회전축이 형성되고, 회전축을 따라서 대략 전체에 걸치는 날개(146)를 회전축으로부터 방사형상으로 다수 배치하고 있다. 흡인덕트(144)는 본체(141)의 대략 전체길이에 걸쳐서 설치된 개구로서, 개구를 덮도록 메시 (mesh)(148)가 배치된다. 에어분출부(145F)는 흡인덕트(144)와 인접하는 면에 형성되고, 흡인한 에어가 흡인방향과 직교하는 방향으로 배출되도록 되어 있고, 상기 분출방향을 바꾸기 위한 풍향판(147)이 본체(141)에 설치되어 있다.
도 29에 나타내는 바와 같이, 크로스 플로우 팬(140F)(140R)은 흡인덕트 (144)가 진행방향 전방측으로 향하여 배치되고, 에어분출부(145F)(145R)가 스테이션(103)측을 향하도록 되어 있고, 또한, 에어분출부(145F)(145R)로부터의 에어의 배출방향이 진행방향으로 경사진 전방이 되도록 풍향판(147)이 조정되어 있다. 이 와 같이, 보조 에어분출수단인 크로스 플로우 팬(140F)(140R)의 에어분출부 (145F)(140R)로부터 강한 에어가 분출됨으로써 상기 에어커텐의 외측의 진행방향 전방측에 형성되는 에어의 벽을 보다 강력한 것으로 할 수 있음과 아울러 스테이션 (103)의 물품수납고(107a)에 부착되어 있는 진애를 보다 확실하게 제거할 수 있다. 또한, 보조 에어분출수단은 깨끗한 에어의 에어커텐의 외측에 형성되고, 에어커텐 내부가 오염되는 일이 없기 때문에 보조 에어분출수단에 필터가 설치되어 있지 않아도 상관없다.
본 발명에 의하면 내부가 주위환경보다 청정화된 제조장치 간을 내부가 주위환경보다도 청정화된 자동반송차에 의해 피제조물을 반송하는 반송시스템에 있어서, 반송차, 제조장치의 이동적재구에 부착된 이물 등에 의해 이동적재되는 피제조물이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 이동적재에 요하는 시간을 단축하고, 반송시간을 단축할 수 있으므로 제조라인에 적용한 경우이면 그 제조시스템에 필요한 비용을 삭감할 수 있음과 아울러 생산성을 향상시킬 수 있다.

Claims (30)

  1. 소정의 반송경로를 주행하는 주행유닛; 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납하는 수납부; 상기 수납부에 대한 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 케이스 측면에 설치된 이동적재구; 및 상기 이동적재구측의 외부의 제조장치를 향하여 에어를 분출하는 제1에어분출부를 구비한 것을 특징으로 하는 반송차.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1에어분출부는 상기 이동적재구보다 진행방향측에 설치된 것을 특징으로 하는 반송차.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1에어분출부는 상기 이동적재구의 주변부에 배치되고, 에어커텐을 형성하는 복수의 에어노즐로 구성되는 것을 특징으로 하는 반송차.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1에어분출부는 높이를 다르게 하여 배치되고, 에어커텐을 형성하는 복수의 에어노즐로 구성되는 것을 특징으로 하는 반송차.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1에어분출부는 상기 이동적재구의 상방에서 수평방향의 위치를 다르게 하여 배치되고, 에어커텐을 형성하는 복수의 에어노즐로 구성되는 것을 특징으로 하는 반송차.
  6. 제1항에 있어서, 상기 주행유닛은 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재지점으로의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하고,
    상기 제1에어분출부는 상기 접근신호에 기초하여 이동적재지점으로의 도착전에 에어의 분출을 개시하는 것을 특징으로 하는 반송차.
  7. 제1항에 있어서, 상기 이동적재구의 상방으로부터 에어를 분출하고, 상기 이동적재구의 외표면에 다운플로우를 형성하는 제2에어분출부를 구비한 것을 특징으로 하는 반송차.
  8. 제7항에 있어서, 상기 주행유닛은 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재지점으로의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하고,
    상기 제2에어분출부는 상기 접근신호에 기초하여 상기 이동적재지점으로의 도착전에 에어의 분출을 개시하는 것을 특징으로 하는 반송차.
  9. 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 수납하는 수납부; 상기 수납부에 대한 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 케이스 측면에 설치된 이동적재구; 및 상기 이동적재구의 상방으로부터 에어를 분출하고, 상기 이동적재구의 외표면에 다운플로우를 형성하는 제2에어분출부를 구비한 것을 특징으로 하는 반송차.
  10. 제9항에 있어서, 상기 주행유닛은 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재지점으로의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하고,
    상기 제2에어분출부는 상기 접근신호에 기초하여 상기 이동적재지점으로의 도착전에 에어의 분출을 개시하는 것을 특징으로 하는 반송차.
  11. 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되어 피제조물을 일시 수납하는 예비실; 상기 예비실 및 외부 사이에서 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재구; 및 상기 이동적재구측의 외부의 반송차를 향하여 에어의 분출을 행하는 제1에어분출부를 구비한 것을 특징으로 하는 제조장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제1에어분출부는 상기 이동적재구의 주변부에 배치되고, 에어커텐을 형성하는 복수의 에어노즐로 구성되는 것을 특징으로 하는 제조장치.
  13. 제11항에 있어서, 반송차의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하는 반송차 감시부를 구비하고,
    상기 제1에어분출부는 상기 접근신호에 기초하여 상기 반송차의 도착전에 에어의 분출을 개시하는 것을 특징으로 하는 제조장치.
  14. 제11항에 있어서, 상기 이동적재구의 상방으로부터 에어를 분출하고, 상기 이동적재구의 외표면에 다운플로우를 형성하는 제2에어분출부를 구비한 것을 특징으로 하는 제조장치.
  15. 제14항에 있어서, 반송차의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하는 반송차 감시부를 구비하고,
    상기 제2에어분출부는 상기 접근신호에 기초하여 상기 반송차의 도착전에 에어의 분출을 개시하는 것을 특징으로 하는 제조장치.
  16. 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되고, 피제조물을 일시 수납하는 예비실; 상기 예비실 및 외부 사이에서 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 이동적재구; 및 상기 이동적재구의 상방으로부터 에어를 분출하고, 상기 이동적재구의 외표면에 다운플로우를 형성하는 제2에어분출부를 구비한 것을 특징으로 하는 제조장치.
  17. 제16항에 있어서, 반송차의 접근을 검지하여 접근신호를 출력하는 반송차 감시부를 구비하고,
    상기 제2에어분출부는 상기 접근신호에 기초하여 상기 반송차의 도착전에 에어의 분출을 개시하는 것을 특징으로 하는 제조장치.
  18. 피제조물을 반송하는 반송차와, 정해진 위치에 설치된 복수의 제조장치로 이루어지는 반송시스템에 있어서:
    상기 반송차는 상기 제조장치 간을 주행하는 주행유닛; 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되고, 상기 피제조물을 수납하는 수납부; 상기 제조장치와의 사이에서 상기 피제조물의 이동적재가 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구; 및 에어분출을 행하는 제1에어분출부를 구비하고;
    상기 제조장치는 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되어 피제조물을 수납하는 수납부; 및 상기 반송차와의 사이에서 상기 피제조물의 이동적재가 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구를 구비하고;
    상기 제1에어분출부는 상기 제조장치의 이동적재구의 개폐수단에 대해서 에어분출을 행하는 것을 특징으로 하는 반송시스템.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제1에어분출부는 상기 반송차의 이동적재지점으로의 도착전에 에어분출을 개시하는 것을 특징으로 하는 반송시스템.
  20. 제18항에 있어서, 상기 제조장치는 에어분출을 행하는 제2에어분출부를 구비하고,
    상기 제2에어분출부는 상기 반송차의 이동적재구의 개폐수단에 대해서 에어분출을 행하는 것을 특징으로 하는 반송시스템.
  21. 제20항에 있어서, 상기 제2에어분출부는 상기 반송차의 이동적재지점으로의 도착전에 에어분출을 개시하는 것을 특징으로 반송시스템.
  22. 피제조물을 반송하는 반송차와, 정해진 위치에 설치된 복수의 제조장치로 이루어지는 반송시스템에 있어서:
    상기 반송차는 상기 제조장치 간을 주행하는 주행유닛; 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되고, 상기 피제조물을 수납하는 수납부; 및 상기 제조장치와의 사이에서 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구를 구비하고;
    상기 제조장치는 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되고, 상기 피제조물을 수납하는 수납부; 상기 반송차와의 사이에서 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구; 및 에어를 분출하는 제1 및 제2에어분출부를 구비하고;
    상기 제1에어분출부는 상기 반송차의 이동적재구의 개폐수단에 대해서 에어분출을 행함과 아울러,
    상기 제2에어분출부는 상기 제조장치의 이동적재구의 개폐수단의 외표면에 에어의 다운플로우를 형성하는 것을 특징으로 하는 반송시스템.
  23. 제22항에 있어서, 상기 제2에어분출부는 상기 반송차의 이동적재지점으로의 도착전에 에어의 분출을 개시하는 것을 특징으로 하는 반송시스템.
  24. 피제조물을 반송하는 반송차와, 정해진 위치에 설치된 복수의 제조장치로 이루어지는 반송시스템에 있어서:
    상기 반송차는 상기 제조장치 사이를 주행하는 주행유닛; 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되고, 상기 피제조물을 수납하는 수납부; 및 상기 제조장치와의 사이에서 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구를 구비하고;
    상기 제조장치는 청정화된 에어를 공급하는 청정화 유닛; 상기 청정화된 에어가 공급되어 피제조물을 수납하는 수납부; 및 상기 반송차와의 사이에서 상기 피제조물의 반입 또는 반출이 행해지는 개폐수단을 갖는 이동적재구를 구비하고;
    상기 반송차 또는 제조장치 중 적어도 어느 한쪽은 상기 반송차 및 제조장치의 이동적재구 사이에 에어터널을 형성하는 에어분출부를 구비한 것을 특징으로 하는 반송시스템.
  25. 주행경로를 따라서 배치되는 스테이션과의 사이에서 물품의 주고받음을 행하는 물품수도구를 갖는 물품수납고를 구비한 반송차로서,
    상기 물품수도구의 주위에 배치되어서 스테이션으로 향하여 에어를 분출하는 제1에어분출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송차.
  26. 제25항에 있어서, 상기 제1에어분출수단보다 진행방향 앞측에 배치되는 흡인 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송차.
  27. 제25항에 있어서, 상기 제1에어분출수단보다 진행방향 앞측에 배치되는 보조 에어분출수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반송차.
  28. 제25항에 있어서, 상기 물품수도구 상측 가장자리부로부터 다운플로우로 되는 에어를 분출하는 제2에어분출수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반송차.
  29. 물품을 주고받기 위한 물품수도구를 갖는 물품수납고를 구비한 반송차와, 상기 반송차의 주행경로를 따라 배치되고, 제1문짝부에 의해서 개폐되어 상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고받는 물품수도구를 갖는 물품수납고를 설치한 스테이션을 구비하고,
    상기 스테이션의 물품수도구의 반송차의 진행방향 전후에 벽부재를 형성하고, 상기 반송차에, 상기 물품수도구의 주위에 상기 스테이션을 향하여 에어커텐을 형성하도록 에어를 분출하는 에어분출수단이 배치되는 것을 특징으로 하는 반송시스템.
  30. 제29항에 있어서, 상기 반송차의 물품수도구에 개폐가능한 제2문짝부가 배치되고, 상기 제1문짝부 및 제2문짝부는 상기 반송차가 상기 스테이션의 정차위치에 도착하기 전부터 개방되기 시작하여 정차위치를 벗어나고나서 폐쇄하며 종료하도록 제어되고, 상기 제1문짝부가 개방하기 시작해서 폐쇄하며 종료될 때까지 상기 제1문짝부의 개구가 상기 에어커텐 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 반송시스템.
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