JP2012089645A - 物品搬送車 - Google Patents

Abstract

【課題】クリーン度が低い環境で物品を搬送する際に、簡素な構成で物品を汚染することなく迅速に移載できるようにする。
【解決手段】物品搬送車４は、カセットＣを搬送可能である。物品搬送車４は、カセットＣを載置可能物品載置部１５と、カバー部材１７と、を備えている。カバー部材１７は、物品載置部１５を覆う。カバー部材１７は、開口３０と、取り込み口３２と、第１吹き出し口３４と、吸い込み口３６と、を有している。開口３０は、カセットＣを出し入れ可能である。取り込み口３２は、外の空気を取り込み可能である。第１吹き出し口３４は、開口３０の走行方向前側に設けられ、取り込み口３２から取り込んだ空気を、開口３０表面を覆うように吹き出し可能である。吸い込み口３６は、開口３０の走行方向後側に設けられ、第２ＦＦＵ４４により第１吹き出し口３４から吹き出した空気を吸い込み可能である。
【選択図】図４

Description

本発明は、搬送車、特に、基板を収納したカセット等の物品を搬送可能な物品搬送車に関する。

カセット（物品の一例）に収納される液晶基板等の基板に要求されるクリーン度より低いクリーン度の空間内で物品を搬送する物品搬送車では、従来、荷台にカバーを設けている（例えば、特許文献１参照）。従来の物品搬送車のカバーには、物品を処理装置との間で受け渡す開口に開閉可能なシャッタが設けられている。また、空気を処理装置に向けて空気を吹き出す第１空気噴出手段を開口の周囲に設けている。さらに、開口の上縁部にダウンフローエアを噴出する第１空気噴出手段を設けている。従来の物品搬送車では、処理装置の到着前に、第１空気噴出手段及び第２空気噴出手段により空気を噴出し、開口の周囲に汚染した空気が入らないようにしてシャッタをあけている。これにより、処理装置に到達するとすぐに物品を移載できるようになり、移載時間を短縮できる。

特開２００４−６０９５５号公報

前記従来の構成では、処理装置に到達する前にシャッタをあけているため、迅速に処理装置との間でカセットを移載できる。しかし、シャッタ及び２つの空気噴出手段を開口に設けているため、物品搬送車の構成が複雑になる。

本発明の課題は、クリーン度が低い環境で物品を搬送する物品搬送車において、簡素な構成で物品を汚染することなく迅速に移載できるようにすることにある。

以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。

本発明の一見地に係る物品搬送車は、物品を搬送可能な物品搬送車であって、物品載置部と、カバー部材と、を備えている。物品載置部は、物品を載置可能である。カバー部材は、物品載置部を覆う。カバー部材は、少なくとも一つの開口と、取り込み口と、第１吹き出し口と、吸い込み口と、を有している。少なくとも一つの開口は、物品を出し入れ可能である。取り込み口は、外側面に設けられ、外の空気を取り込み可能である。第１吹き出し口は、開口の走行方向前側に設けられ、取り込み口から取り込んだ空気を、開口の表面を覆うように吹き出し可能である。吸い込み口は、開口の走行方向後側に設けられ、吸い込みファンにより第１吹き出し口から吹き出した空気を吸い込み可能である。
この物品搬送車では、例えばガラス基板を複数枚収納可能なカセット等の物品が物品載置部に載置される。物品載置部は、カバー部材により覆われている。カバー部材は、物品を出し入れ可能な少なくとも一つの開口を有している。この開口を介して処理装置と物品の受け渡しを行える。開口の走行方向前側には取り込み口から取り込んだ空気が開口表面を覆うように吹き出す第１吹き出し口が設けられている。また、開口の走行方向後側に、吹き出した空気を吸い込みファンにより吸い込む吸い込み口が設けられている。これにより、吹き出した空気を積極的に吸い込んでエアーシャッタの能力を上げることができる。このため、開口に機械的なシャッタを設けなくても、カバー部材の外部から開口を通って内部の物品載置部に空気が流れ込みにくくなる。これにより、クリーン度が低い環境で物品を搬送しても、簡素な構成で物品を汚染することなく迅速に移載できるようになる。

カバー部材は、吸い込み口から吸い込んだ空気を吸い込みファンにより物品載置部に吹き出し可能な第２吹き出し口と、吸い込み口と第２吹き出し口との間に配置されたフィルタと、をさらに有してもよい。これにより、吸い込みファンにより吸い込んだ空気を、フィルタによりクリーン度を上げて物品載置部に吹き出すことができる。このため、吸い込んだ空気を利用して物品載置部に載置された物品の清浄化を行うことができる。

カバー部材は、開口の走行方向後部に設けられた空気巻き込み防止部をさらに有してもよい。これにより、搬送車が停止したときに慣性により後方から流入する汚染された空気の巻き込みを防止できる。このため、巻き込み流によるエアーシャッタの流れの乱れが生じにくくなる。

本発明によれば、開口の走行方向後側に、吹き出した空気を吸い込みファンにより吸い込む吸い込み口が設けられている。これにより、吹き出した空気を積極的に吸い込んでエアーシャッタの能力を上げることができる。このため、開口に機械的なシャッタを設けなくても、カバー部材の外部から開口を通って内部の物品載置部に空気が流れ込みにくくなる。これにより、クリーン度が低い環境で物品を搬送しても、簡素な構成で物品を汚染することなく迅速に移載できるようになる。

本発明の一実施形態による物品搬送車が走行する搬送システムの平面図。 物品搬送車の側面図。 物品搬送車の斜視図。 図２のIV−IV断面図。 他の実施形態の図４に相当する断面図。

（１）搬送システム
図１に示すように、搬送システム１は、例えば、複数枚の大型のガラス基板Ｓ（図２参照）を収納した物品としてのカセットＣ（図２参照）を、複数の処理装置、搬入口及び搬出口を含む複数のステーションの受け渡し部８の間で搬送する装置である。搬送システム１は、軌道２と、物品搬送車４と、を備えている。軌道２は、天井から吊り下げられている。軌道２の周囲は、例えばクリーン度がＦＥＤ２０９Ｄのクラス１０００程度の比較的浮遊微粒子が多い空間である。

軌道２は、例えば長円形のループ形状であり、物品搬送車４は、軌道２を例えば、白抜き矢符で示すように時計回りに走行する。軌道２は、２本の走行レール１１と走行レール１１に一体形成された走行ガイド１２とを有している。走行レール１１は、平坦面を有し、走行ガイド１２は、走行レール１１の外側端から上方に延びて形成されている。受け渡し部８は、ループ形状の軌道２の外周側に配置されている。受け渡し部８には、図示しないスカラー型の移載装置が設けられており、物品搬送車４に載置されたカセットＣを出し入れ可能である。

（２）物品搬送車
物品搬送車４は、図２、図３及び図４に示すように、カセットＣを載置可能な物品載置部１５と、走行部１６と、カバー部材１７と、を有している。

（２−１）物品載置部
物品載置部１５は、カバー部材１７の内部に形成された物品収納空間１７ａに設けられている。この実施形態では、物品載置部１５は、カバー部材１７の内部に設けられているが、走行部１６上に設けられていてもよい。

（２−２）走行部
走行部１６は、走行フレーム２０と、走行フレーム２０の下面に配置された駆動台車２２と、従動台車２４と、を有している。駆動台車２２及び従動台車２４はボギー台車である。駆動台車２２は、それぞれモータにより駆動される左右一対の駆動輪２２ａを有している。従動台車２４は、左右一対の従動輪２４ａを有している。駆動輪２２ａ及び従動輪２４ａの前後左右には、軌道２の走行ガイド１２を挟むように配置された外側ガイドローラ２５と内側ガイドローラ（図示せず）とがそれぞれ設けられている。内側ガイドローラは固定であり、外側ガイドローラ２５は走行ガイド１２に接触するガイド位置と、ガイド位置から上方に離反する退避位置とに揺動可能である。これにより、分岐合流等を制御する。

（２−３）カバー部材
カバー部材１７は、概ね矩形箱状の部材である。カバー部材１７は、カセットＣを出し入れ可能な開口３０と、取り込み口３２と、第１吹き出し口３４と、吸い込み口３６と、第２吹き出し口３８と、を有している。

開口３０は、カバー部材１７の走行方向外側の側面に形成されている。開口３０は、物品収納空間１７ａ全体を外側に露出可能な大きさで矩形に形成されている。
開口３０の上下には、走行中に開口３０から物品載置部１５に空気が侵入しないようにするための空気侵入防止部３１が、開口３０の走行方向の全長にわたって開口３０から側方に突出して形成されている。空気侵入防止部３１は、後方に傾いた概ね平行四辺形の形状の板状部材である。空気侵入防止部３１の後部には、物品搬送車４の停止時に、後方からの空気の巻き込みを防止するための空気巻き込み防止部３３が形成されている。空気巻き込み防止部３３は、上下の空気侵入防止部３１の後部をつなぐように、開口３０の後部から後方に斜めに傾斜して配置されている。

取り込み口３２は、カバー部材１７の走行方向の前側面に設けられた、例えば４つの第１ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）４０を有している。４つの第１ＦＦＵ４０は、例えば、２つずつ上下左右に並べて配置されており、外部の空気を取り込んで濾過する。取り込み口３２は第１吹き出し口３４に接続されている。取り込み口３２と第１吹き出し口３４とを接続するために、第１ＦＦＵ４０と第１吹き出し口３４との間には、第１ＦＦＵ４０が取り込んだ空気を第１吹き出し口３４に導く第１ダクト４２が設けられている。第１ダクト４２は、物品載置部１５と前壁１７ｂにより区画されて形成されている。
第１吹き出し口３４は、開口３０の走行方向前側に上下に細長いスリットの形態で形成されている。第１吹き出し口３４は、取り込み口３２から取り込んだ空気を、開口３０の表面を覆うように平面的に吹き出し可能である。

吸い込み口３６は、開口３０の走行方向後側に上下に細長いスリットの形態で形成されている。吸い込み口３６は、第１吹き出し口３４から吹き出した面状の空気を吸い込む、例えば４つの第２ＦＦＵ４４に接続されている。４つの第２ＦＦＵ４４は、例えば、２つずつ上下左右に並べて配置されている。吸い込み口３６と第２ＦＦＵ４４との間には、空気を第２ＦＦＵ４４のファンにより吸い込むための第２ダクト４６が設けられている。第２ダクト４６は、カバー部材１７の後壁１７ｃの内側面に沿うように形成されている。

第２吹き出し口３８は、吸い込み口３６から吸い込んだ空気を清浄化して後方から物品載置部１５に吹き出すために設けられている。第２吹き出し口３８から吹き出した空気は、ピン載置部１５に充満し、一部は開口３０からカバー部材１７の外部に流れ、さらに、一部は再度吸い込み口３６に吸い込まれる。第２吹き出し口３８は、第２ＦＦＵ４４を有している。第２ＦＦＵ４４は吸い込み口３６で空気を吸い込むための機能と、吸い込んだ空気をフィルタにより清浄化して物品載置部１５に吹き出す機能とを有している。

（３）物品搬送車の動作
搬送システム１では、カセットＣの搬送要求を受け付けると、所望のステーションの受け渡し部８に物品搬送車４を移動させる。物品搬送車４は、電源が投入されると、ただちに、第１ＦＦＵ４０及び第２ＦＦＵ４４が稼働する。第１ＦＦＵ４０及び第２ＦＦＵ４４は、カセットＣの搬送の有無にかかわらず、常に動作している。第１ＦＦＵ４０及び第２ＦＦＵ４４が稼働すると、取り込み口３２から外の空気が取り込まれ、それが第１吹き出し口３４から開口３０の表面を覆うように膜状に吹き出す。吹き出した空気は、第２ＦＦＵ４４のファンによって吸い込み口３６により強制的に吸い込まれ、エアーシャッタの能力が高くなる。これにより、開口３０から物品載置部１５に外の空気が流入しにくくなる。

また、開口３０の上下には、空気侵入防止部３１が設けられている。これにより、走行中に開口３０の上下から開口３０に空気が侵入しにくくなるとともに、第１吹き出し口３４から吹き出した空気が開口３０の上下方向に逃げにくくなる。

吸い込み口３６により吸い込まれた空気は、第２ＦＦＵ４４のフィルタにより清浄化され、第２吹き出し口３８を構成する第２ＦＦＵ４４のファンから物品載置部１５に吹き出される。吹き出された空気は、物品載置部１５に充満し、カセットＣ及びガラス基板に付着した異物を除去する。また、一部は、開口３０から外部に流出する。さらに、一部は、吸い込み口３６から吸い込まれる。

物品搬送車４が所望のステーションの受け渡し部８に到達して停止すると、慣性により物品搬送車４の後方からの空気の流れが発生する。しかし、開口３０の後部には、空気巻き込み防止部３３が形成され、後方から巻き込むように前方に移動する空気が空気巻き込み防止部３３により後方に戻され、開口３０に到達しにくくなる。これにより、汚染された空気が停止時に開口３０から物品載置部１５に侵入しにくくなる。停止が完了すると、受け渡し部８の移載装置によりカセットＣが荷下ろし又は荷積みされ、次のステーションの受け渡し部８に移動する。

（４）特徴
上記実施形態は、下記のように表現可能である

（Ａ）物品搬送車４は、物品としてのカセットＣを搬送可能である。物品搬送車４は、物品載置部１５と、カバー部材１７と、を備えている。物品載置部１５は、カセットＣを載置可能である。カバー部材１７は、物品載置部１５を覆う。カバー部材１７は、少なくとも一つの開口３０と、取り込み口３２と、第１吹き出し口３４と、吸い込み口３６と、を有している。少なくとも一つの開口３０は、カセットＣを出し入れ可能である。取り込み口３２は、カバー部材１７の外側面に設けられ、外の空気を取り込み可能である。第１吹き出し口３４は、開口３０の走行方向前側に設けられ、取り込み口３２から取り込んだ空気を、開口３０表面を覆うように吹き出し可能である。吸い込み口３６は、開口３０の走行方向後側に設けられ、第２ＦＦＵ４４（吸い込みファンの一例）により第１吹き出し口３４から吹き出した空気を吸い込み可能である。
この物品搬送車では、例えばガラス基板を複数枚収納可能なカセットＣが物品載置部１５に載置される。物品載置部１５は、カバー部材１７により覆われている。カバー部材１７は、カセットＣを出し入れ可能な少なくとも一つの開口３０を有している。この開口を介して処理装置の受け渡し部８とカセットＣの受け渡しを行える。開口３０の前側には取り込み口３２から取り込んだ空気が開口３０表面を覆うように吹き出す第１吹き出し口３４が設けられている。また、開口３０の後側に、吹き出した空気を第２ＦＦＵ４４により吸い込む吸い込み口３６が設けられている。これにより、吹き出した空気を積極的に吸い込んでエアーシャッタの能力を上げることができる。このため、開口３０に機械的なシャッタを設けなくても、カバー部材１７の外部から開口３０を通って内部の物品載置部１５に空気が流れ込みにくくなる。これにより、クリーン度が低い環境でカセットＣを搬送しても、簡素な構成でカセットＣを汚染することなく迅速に移載できるようになる。

（Ｂ）カバー部材１７は、吸い込み口３６から吸い込んだ空気を物品載置部１５に吹き出し可能な第２吹き出し口３８と、吸い込み口３６と第２吹き出し口３８との間に配置された第２ＦＦＵ４４（フィルタの一例）と、をさらに有している。これにより、第２ＦＦＵ４４により吸い込んだ空気を、クリーン度を上げて物品載置部１５に吹き出すことができる。このため、吸い込んだ空気を利用して物品載置部１５に載置されたカセットＣの清浄化を行うことができる。

（Ｃ）カバー部材１７は、開口３０の走行方向後部に設けられた空気巻き込み防止部３３をさらに有している。これにより、物品搬送車４が停止したときに慣性により後方から流入する汚染された空気の巻き込みを防止できる。このため、巻き込み流によるエアーシャッタの流れの乱れが生じにくくなる。

（５）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。

（ａ）前記実施形態では、物品搬送車４の第２吹き出し口３８を第２ＦＦＵ４４と兼用して物品載置部１５の後部に設け、物品載置部１５の後方から空気を吹き出したが、本発明はこれに限定されない。
図５では、物品搬送車１０４のカバー部材１１７の第２吹き出し口１３８を物品載置部１１５の右側部に設けている。一方、第２ＦＦＵ４４の位置は前記実施形態と同様である。このため、第２ＦＦＵ４４と、第２吹き出し口１３８と、を接続するための第３ダクト１４８を設けている。第３ダクト１４８は、物品載置部１５と中間壁１１７ｄにより区画されている。これにより、物品載置部１１５の右方から開口３０に向けて空気を吹き出すことができ、物品載置部１１５の空気の流れがスムーズになる。
なお、第２ＦＦＵ４４を物品載置部１１５の右方に配置してもよい。この場合、カバー部材の左右方向の長さ（幅）が大きくなり、搬送システムの設置面積が増大する。

（ｂ）前記実施形態では、カバー部材１７の片方にだけ開口３０を設けたが、本発明はこれに限定されない。例えば、カバー部材の両側方に開口を設け、左右の開口に第１吹き出し口及び吸い込み口を設けてもよい。

（ｃ）前記実施形態では、第１ＦＦＵ４０で吸い込んだ空気を全て第１吹き出し口に流したが、一部を物品載置部に流すようにしてもよい。

（ｄ）前記実施形態では、物品載置部１５をカバー部材１７の内部に設けたが、走行部１６に設けてもよい。

本発明は、カバー部材を有する物品搬送車に広く利用可能である。

１ 搬送システム
２ 軌道
４ 物品搬送車
８ 受け渡し部
１１ 走行レール
１２ 走行ガイド
１５ 物品載置部
１６ 走行部
１７ カバー部材
１７ａ 物品収納空間
１７ｂ 前壁
１７ｃ 後壁
２０ 走行フレーム
２２ 駆動台車
２２ａ 駆動輪
２４ 従動台車
２４ａ 従動輪
２５ 外側ガイドローラ
３０ 開口
３１ 空気侵入防止部
３２ 取り込み口
３３ 空気巻き込み防止部
３４ 第１吹き出し口
３６ 吸い込み口
３８ 第２吹き出し口
４０ 第１ＦＦＵ
４２ 第１ダクト
４４ 第２ＦＦＵ
４６ 第２ダクト
１０４ 物品搬送車
１１５ 物品載置部
１１７ カバー部材
１１７ｄ 中間壁
１３８ 第２吹き出し口
１４８ 第３ダクト

Claims (3)

1. 物品を搬送可能な物品搬送車であって、
   前記物品を載置可能な物品載置部と、
   前記物品載置部を覆うカバー部材と、を備え、
   前記カバー部材は、
   前記物品を出し入れ可能な少なくとも一つの開口と、
   外側面に設けられ、外の空気を取り込み可能な取り込み口と、
   前記開口の走行方向前側に設けられ、前記取り込み口から取り込んだ空気を、前記開口の表面を覆うように吹き出し可能な第１吹き出し口と、
   前記開口の前記走行方向後側に設けられ、吸い込みファンにより前記第１吹き出し口から吹き出した空気を吸い込み可能な吸い込み口と、を有する、物品搬送車。
2. 前記カバー部材は、
   前記吸い込み口から吸い込んだ空気を前記吸い込みファンにより前記物品載置部に吹き出し可能な第２吹き出し口と、
   前記吸い込み口と前記第２吹き出し口との間に配置されたフィルタと、をさらに有する、請求項１に記載の物品搬送車。
3. 前記カバー部材は、
   前記開口の走行方向後部に設けられた空気巻き込み防止部をさらに有する、請求項１又は２に記載の物品搬送車。

Images