KR100918588B1 - 파티클 배출 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치 - Google Patents

파티클 배출 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치

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KR100918588B1
KR100918588B1 KR1020070095160A KR20070095160A KR100918588B1 KR 100918588 B1 KR100918588 B1 KR 100918588B1 KR 1020070095160 A KR1020070095160 A KR 1020070095160A KR 20070095160 A KR20070095160 A KR 20070095160A KR 100918588 B1 KR100918588 B1 KR 100918588B1
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Abstract

파티클 배출 유닛은 하우징, 격벽, 제1 내지 제4 게이트 및 압력 변화 부재를 포함한다. 격벽은 하우징 내부를 제1 공간 및 제2 공간으로 구분한다. 제1 게이트 및 제2 게이트는 제1 공간을 형성하는 상부 부위 및 하부 부위 하우징에 각각 구비되어 제1 공간과 외부 공간을 연통 및 차단한다. 제3 게이트 및 제4 게이트는 상부 부위 및 하부 부위의 격벽에 각각 구비되며, 제1 공간과 제2 공간을 연통 및 차단한다. 압력 변화 부재는 제1 공간에 상하 이동하도록 구비되며, 상하 이동에 의해 제1 공간의 압력을 변화시켜 제1 내지 제4 게이트들을 통해 제2 공간에서 발생하는 파티클을 외부로 배출하기 위한 기류를 형성한다.

Description

파티클 배출 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치{Unit for exhausting particles and apparatus for transferring a substrate having the unit}
본 발명은 파티클 배출 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 기판 이송시 상기 기판을 오염시키는 파티클을 외부로 배출하는 파티클 배출 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치를 제공한다.
일반적으로 반도체 소자는 반도체 기판 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(fabrication; Fab) 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 소자들의 전기적인 특성을 검사하는 EDS(electrical die sorting)공정과, 상기 반도체 소자들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 공정을 통해 제조된다.
상기 팹 공정은 다양한 단위 공정들을 포함하며, 상기 단위 공정들은 각 공정 장치에서 수행된다. 상기 공정 장치들이 적층되어 배치되는 경우, 상기 기판들은 기판 이송 장치에 의해 상하 방향으로 이송된다.
상기 기판 이송 장치는 상기 기판들을 지지하는 지지부 및 상기 지지부를 상하 방향으로 직선 왕복이동시키는 구동부를 포함한다. 상기 구동부의 예로는 볼 스크류, LM 가이드, 벨트 등을 들 수 있다. 상기 구동부의 구동시 마찰 등에 의해 파티클이 발생할 수 있고, 상기 파티클은 상기 기판들을 오염시킬 수 있다. 따라서, 상기 반도체 소자에 결함이 발생할 수 있다.
본 발명은 기판을 오염시키는 파티클을 외부로 배출하는 파티클 배출 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 파티클 배출 유닛을 포함하는 기판 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 파티클 배출 유닛은 하우징과, 상기 하우징 내부에 상하로 구비되며, 상기 하우징 내부를 제1 공간 및 제2 공간으로 구분하는 격벽과, 상기 제1 공간을 형성하는 상부 부위 및 하부 부위 하우징에 각각 구비되며, 상기 제1 공간과 외부 공간을 연통 및 차단하는 제1 및 제2 게이트와, 상부 부위 및 하부 부위의 격벽에 각각 구비되며, 상기 제1 공간과 상기 제2 공간을 연통 및 차단하는 제3 및 제4 게이트 및 상기 제1 공간에 상하 이동하도록 구비되며, 상기 상하 이동에 의해 상기 제1 공간의 압력을 변화시켜 상기 제1 내지 제4 게이트들을 통해 상기 제2 공간에서 발생하는 파티클을 외부로 배출하기 위한 기류를 형성하는 압력 변화 부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 압력 변화 부재의 상승시 상기 제1 게이트 및 상기 제4 게이트는 개방되고 상기 제2 게이트 및 상기 제3 게이트는 차단되며, 상기 압력 변화 부재의 하강시 상기 제1 게이트 및 상기 제4 게이트는 차단되고 상기 제2 게이트 및 상기 제3 게이트는 개방될 수 있다.
상기 제1 내지 제4 게이트들은 상기 제1 공간의 압력 변화에 따라 개폐될 수 있다. 상기 제1 게이트 및 상기 제2 게이트는 상기 압력 변화 부재의 상하 이동에 의해 발생하는 양압(positive pressure)에 의해 개방되며, 상기 제3 게이트 및 상기 제4 게이트는 상기 압력 변화 부재의 상하 이동에 의해 발생하는 음압(negative pressure)에 의해 개방될 수 있다. 상기 제1 게이트 및 상기 제2 게이트는 상기 하우징에 힌지 결합되어 상기 외부 공간을 향해 개방되며, 상기 제3 게이트 및 상기 제4 게이트는 상기 격벽에 힌지 결합되어 상기 제1 공간을 향해 개방될 수 있다.
상기 제1 내지 제4 게이트들은 구동부의 구동력에 의해 개폐될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는 하우징과, 상기 하우징 내부에 상하로 구비되며, 상기 하우징 내부를 제1 공간 및 제2 공간으로 구분하는 격벽과, 상기 제1 공간을 형성하는 상부 부위 및 하부 부위 하우징에 각각 구비되며, 상기 제1 공간과 외부 공간을 연통 및 차단하는 제1 및 제2 게이트와, 상부 부위 및 하부 부위의 격벽에 각각 구비되며, 상기 제1 공간과 상기 제2 공간을 연통 및 차단하는 제3 및 제4 게이트와, 상기 제2 공간에 상하 이동하도록 구비되며, 상기 기판을 이송하는 기판 지지부재 및 상기 제1 공간에 상하 이동하도록 구비되며, 상기 상하 이동에 의해 상기 제1 공간의 압력을 변화시켜 상기 제1 내지 제4 게이트들을 통해 상기 기판 지지부재의 이동에 의해 발생하는 파티클을 외부로 배출하기 위한 기류를 형성하는 압력 변화 부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 기판 지지부재가 상승할 때 상기 압력 변화 부재가 하강하고, 상기 기판 지지부재가 하강할 때 상기 압력 변화 부재가 상승하도록 상기 기판 지지부재와 상기 압력 변화 부재를 이동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 구동부는 상기 제1 공간 및 제2 공간의 상하부에 각각 구비되는 풀리(pulley)들 및 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간에 위치하도록 상기 풀리들에 장착되며, 상기 기판 지지부재 및 상기 압력 변화 부재를 상하 왕복 이동시키는 벨트를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 기판 지지부재가 상승할 때 상기 압력 변화 부재도 상승하고, 상기 기판 지지부재가 하강할 때 상기 압력 변화 부재도 하강하도록 상기 기판 지지부재와 상기 압력 변화 부재를 이동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 압력 변화 부재의 상승시 상기 제1 게이트 및 상기 제4 게이트는 개방되고 상기 제2 게이트 및 상기 제3 게이트는 차단되며, 상기 압력 변화 부재의 하강시 상기 제1 게이트 및 상기 제4 게이트는 차단되고 상기 제2 게이트 및 상기 제3 게이트는 개방될 수 있다.
상기 제1 내지 제4 게이트들은 상기 제1 공간의 압력 변화에 따라 개폐될 수 있다. 상기 제1 게이트 및 상기 제2 게이트는 상기 압력 변화 부재의 상하 이동에 의해 발생하는 양압(positive pressure)에 의해 개방되며, 상기 제3 게이트 및 상기 제4 게이트는 상기 압력 변화 부재의 상하 이동에 의해 발생하는 음압(negative pressure)에 의해 개방될 수 있다.
상기 제1 내지 제4 게이트들은 구동부의 구동력에 의해 개폐될 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1 공간의 압력 변화 부재를 상승 또는 하강시켜 제2 공간의 파티클을 상기 제1 공간을 통해 외부로 배출할 수 있다. 따라서, 상기 제2 공간의 파티클에 의해 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 게이트들이 상기 압력 변화 부재의 이동시 발생하는 압력에 의해 개방되므로, 상기 게이트를 개방하기 위한 구동부가 불필요하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 배출 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 파티클 배출 유닛의 동작을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 기판 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 단면도들이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 파티클 배출 유닛 110 : 하우징
120 : 격벽 130 : 압력 변화 부재
140 : 제1 게이트 150 : 제2 게이트
160 : 제3 게이트 170 : 제4 게이트
S1 : 제1 공간 S2 : 제2 공간
Sa : 상부 공간 Sb : 하부 공간
W : 기판
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 파티클 배출 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 배출 유닛(100)을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 파티클 배출 유닛(100)은 하우징(110), 격벽(120), 압력 변화 부재(130), 제1 게이트(140), 제2 게이트(150), 제3 게이트(160) 및 제4 게이트(170)를 포함한다.
상기 하우징(110)은 내부 공간을 가지며, 상하로 연장된 형태를 갖는다. 일 예로, 상기 하우징(110)은 중공의 직육면체 형태 또는 중공의 실린더 형태를 가질 수 있다.
상기 격벽(120)은 상기 하우징(110)의 내부에 상하로 구비되며, 상기 하우징(110) 내부를 제1 공간(S1) 및 제2 공간(S2)으로 구분한다. 상기 제2 공간(S2)은 다양한 장치들을 수용할 수 있다. 상기 제2 공간(S2)은 상기 제1 공간(S1)보다 넓은 면적을 가질 수 있다. 따라서, 상기 제2 공간(S2)으로부터 상기 제1 공간(S1)으로 기류가 용이하게 발생할 수 있다.
상기 압력 변화 부재(130)는 상기 제1 공간(S1)에 구비되며, 상기 제1 공간(S1)을 상부 공간(Sa)과 하부 공간(Sb)으로 구분한다. 상기 압력 변화 부재(130)는 상기 제1 공간(S1)을 따라 상승 및 하강한다. 상기 압력 변화 부재(130)는 구동부(미도시)에 의해 상하 왕복 이동하며, 상기 구동부의 예로는 볼 스크류, LM 가이드, 벨트 등을 들 수 있다.
상기 압력 변화 부재(130)의 상승 및 하강에 따라 상기 제1 공간(S1)의 압력이 변화한다. 상기 압력 변화 부재(130)가 상승하는 경우, 상기 상부 공간(Sa)의 부피가 감소하고 상기 하부 공간(Sb)의 부피가 증가한다. 따라서, 상기 상부 공간(Sa)에서는 압력이 증가하여 양압(positive pressure)이 발생하고 상기 하부 공간(Sb)에서는 압력이 감소하여 음압(negative pressure)이 발생한다. 상기 압력 변화 부재(130)가 하강하는 경우, 상기 상부 공간(Sa)의 부피가 증가하고 상기 하부 공간(Sb)의 부피가 감소한다. 따라서, 상기 상부 공간(Sa)에서는 압력이 감소하여 음압이 발생하여 상기 하부 공간(Sb)에서는 압력이 증가하여 양압이 발생한다.
상기 제1 게이트(140)는 상기 제1 공간(S1)을 형성하는 하우징(110)의 상부 부위에 구비된다. 상기 제1 게이트(140)는 상기 하우징(110)에 힌지 결합되며, 상기 하우징(110)의 외측 방향을 향해 개방된다. 상기 제1 게이트(140)는 상기 제1 공간(S1)의 상부 공간(Sa)과 외부 공간을 연통하거나 차단한다. 일 예로, 상기 제1 게이트(140)는 상기 상부 공간(Sa)의 양압에 의해 개방되며, 상기 상부 공간(Sa)의 압력이 낮아지면 탄성 부재에 의해 차단될 수 있다. 상기 탄성 부재의 예로는 스프링을 들 수 있다. 다른 예로, 상기 제1 게이트(140)는 별도의 구동부의 구동에 의해 개폐될 수 있다.
상기 제2 게이트(150)는 상기 제1 공간(S1)을 형성하는 하우징(110)의 하부 부위에 구비된다. 상기 제1 게이트(140)와 상기 제2 게이트(150)는 상하로 일정 간격 이격된다. 상기 제2 게이트(150)는 상기 하우징(110)에 힌지 결합되며, 상기 하우징(110)의 외측 방향을 향해 개방된다. 상기 제2 게이트(150)는 상기 제1 공간(S1)의 하부 공간(Sb)과 외부 공간을 연통하거나 차단한다. 일 예로, 상기 제2 게이트(150)는 상기 하부 공간(Sb)의 양압에 의해 개방되며, 상기 상부 공간(Sa)의 압력이 낮아지면 탄성 부재에 의해 차단될 수 있다. 다른 예로, 상기 제2 게이트(150)는 별도의 구동부의 구동에 의해 개폐될 수 있다.
상기 제3 게이트(160)는 상기 격벽(120)의 상부 부위에 구비된다. 상기 제3 게이트(160)는 상기 격벽(120)에 힌지 결합되며, 상기 제1 공간(S1)의 상부 공간(Sa)을 향해 개방된다. 상기 제3 게이트(160)는 상기 상부 공간(Sa)과 상기 제2 공간(S2)을 연통하거나 차단한다. 일 예로, 상기 제3 게이트(160)는 상기 상부 공간(Sa)의 음압에 의해 개방되며, 상기 상부 공간(Sa)의 압력이 상승하면 탄성 부재에 의해 차단될 수 있다. 다른 예로, 상기 제3 게이트(160)는 별도의 구동부의 구동에 의해 개폐될 수 있다.
상기 제4 게이트(170)는 상기 격벽(120)의 하부 부위에 구비된다. 상기 제3 게이트(160)와 상기 제4 게이트(170)는 상하로 일정 간격 이격된다. 상기 제4 게이트(170)는 상기 격벽(120)에 힌지 결합되며, 상기 제1 공간(S1)의 하부 공간(Sb)을 향해 개방된다. 상기 제4 게이트(170)는 상기 하부 공간(Sb)과 상기 제2 공간(S2)을 연통하거나 차단한다. 일 예로, 상기 제3 게이트(160)는 상기 상부 공간(Sa)의 음압에 의해 개방되며, 상기 상부 공간(Sa)의 압력이 상승하면 탄성 부재에 의해 차단될 수 있다. 다른 예로, 상기 제4 게이트(170)는 별도의 구동부의 구동에 의해 개폐될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 내지 제4 게이트(140, 150, 160, 170) 중 상기 제1 게이트(140) 및 상기 제3 게이트(160)만 구비되거나, 상기 제2 게이트(150) 및 상기 제4 게이트(170)만 구비될 수도 있다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 파티클 배출 유닛(100)의 동작을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 2를 참조하면, 상기 압력 변화 부재(130)가 하강하는 경우, 상기 상부 공간(Sa)에 음압이 발생하고, 상기 하부 공간(Sb)에는 양압이 발생한다. 상기 상부 공간(Sa)의 음압에 의해 상기 제3 게이트(160)가 개방되며, 상기 상부 공간(Sa)의 압력이 상기 제2 공간(S2)의 압력보다 낮으므로 상기 제3 게이트(160)를 통해 상기 제2 공간(S2)에서 상기 상부 공간(Sa)으로 제1 기류가 발생한다. 따라서, 상기 제2 공간(S2)에 구비된 장치에서 발생된 파티클이 상기 제1 기류를 따라 상기 상부 공간(Sa)으로 이동한다. 상기 제1 기류에 의해 상기 상부 공간(Sa)의 압력과 상기 제2 공간(S2)의 압력이 비슷해지면 상기 제3 게이트(160)는 탄성 부재에 의해 차단된다.
상기 하부 공간(Sb)의 양압에 의해 상기 제2 게이트(150)가 개방되며, 상기 하부 공간(Sb)의 압력이 상기 외부 공간의 압력보다 높으므로 상기 제2 게이트(150)를 통해 상기 하부 공간(Sb)에서 상기 외부 공간으로 제2 기류가 발생한다. 따라서, 상기 제2 기류를 따라 상기 하부 공간(Sb)에 존재하는 파티클이 상기 외부 공간으로 배출된다. 상기 제2 기류에 의해 상기 하부 공간(Sb)의 압력과 상기 외부 공간의 압력이 비슷해지면 상기 제2 게이트(150)는 탄성 부재에 의해 차단된다.
도 3을 참조하면, 상기 압력 변화 부재(130)가 상승하는 경우, 상기 상부 공간(Sa)에 양압이 발생하고, 상기 하부 공간(Sb)에는 음압이 발생한다. 상기 상부 공간(Sa)의 양압에 의해 상기 제1 게이트(140)가 개방되며, 상기 상부 공간(Sa)의 압력이 상기 외부 공간의 압력보다 높으므로 상기 제1 게이트(140)를 통해 상기 상부 공간(Sa)에서 상기 외부 공간으로 제3 기류가 발생한다. 따라서, 상기 상부 공간(Sa)에 존재하는 파티클이 상기 제3 기류를 따라 상기 외부 공간으로 배출된다. 상기 제3 기류에 의해 상기 상부 공간(Sa)의 압력과 상기 외부 공간의 압력이 비슷해지면 상기 제1 게이트(140)는 탄성 부재에 의해 차단된다.
상기 하부 공간(Sb)의 음압에 의해 상기 제4 게이트(170)가 개방되며, 상기 하부 공간(Sb)의 압력이 상기 제2 공간(S2)의 압력보다 낮으므로 상기 제4 게이트(170)를 통해 상기 제2 공간(S2) 공간에서 상기 하부 공간(Sb)으로 제4 기류가 발생한다. 따라서, 상기 제4 기류를 따라 상기 제2 공간(S2)에서 발생한 파티클이 상기 하부 공간(Sb)으로 배출된다. 상기 제4 기류에 의해 상기 하부 공간(Sb)의 압력과 상기 제2 공간(S2)의 압력이 비슷해지면 상기 제4 게이트(170)는 탄성 부재에 의해 차단된다.
상기 제2 공간(S2)의 파티클은 상기 압력 변화 부재(130)의 하강시 상기 제3 게이트(160)를 통해 상기 상부 공간(Sa)으로 이동된 후, 상기 압력 변화 부재(130)의 상승시 상기 제1 게이트(140)를 통해 외부 공간으로 배출된다. 또한, 상기 제2 공간(S2)의 파티클은 상기 압력 변화 부재(130)의 상승시 상기 제4 게이트(170)를 통해 상기 하부 공간(Sb)으로 이동된 후, 상기 압력 변화 부재(130)의 하강시 제2 게이트(150)를 통해 상기 외부 공간으로 배출된다. 따라서, 상기 제2 공간(S2)의 파티클을 외부 공간으로 용이하게 배출할 수 있다.
한편, 상기 제1 게이트(140)가 상기 압력 변화 부재(130)의 최대 상승 높이보다 낮게 위치하는 경우, 상기 압력 변화 부재(130)의 상승시 상기 제1 게이트(140)가 음압이 발생하는 상기 하부 공간(Sb)에 위치하므로 상기 제1 게이트(140)가 개방되지 않는다. 상기 제2 게이트(150)가 상기 압력 변화 부재(130)의 최대 하강 높이보다 높게 위치하는 경우, 상기압력 변화 부재(130)의 하강시 상기 제2 게이트(150)가 음압이 발생하는 상기 상부 공간(Sa)에 위치하므로 상기 제2 게이트(150)가 개방되지 않는다.
상기 제3 게이트(160)가 상기 압력 변화 부재(130)의 최대 상승 높이보다 낮게 위치하는 경우, 상기 압력 변화 부재(130)의 상승시 상기 제3 게이트(160)가 음압이 발생하는 상기 하부 공간(Sb)에 위치하므로 상기 제4 게이트(170)뿐만 아니라 상기 제3 게이트(160)도 개방된다. 상기 제4 게이트(170)가 상기 압력 변화 부재(130)의 최대 하강 높이보다 높게 위치하는 경우, 상기 압력 변화 부재(130)의 하강시 상기 제4 게이트(170)가 음압이 발생하는 상기 상부 공간(Sa)에 위치하므로 상기 제3 게이트(160)뿐만 아니라 상기 제4 게이트(170)도 개방된다. 상기 제3 게이트(160) 및 상기 제4 게이트(170)가 개방되면, 상기 상부 공간(Sa)의 압력 또는 상기 하부 공간(Sb)의 압력이 상기 제2 공간(S2)의 압력과 같아지는 시간이 짧아 상기 제1 기류 또는 상기 제4 기류가 거의 발생하지 않을 수 있다.
그러므로, 상기 제1 게이트(140) 및 상기 제3 게이트(160)는 상기 압력 변화 부재(130)의 최대 상승 높이보다 높게 위치하며, 상기 제2 게이트(150) 및 상기 제4 게이트(170)는 상기 압력 변화 부재(130)의 최대 하강 높이보다 낮게 위치한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(200)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 기판 이송 장치(200)는 하우징(210), 격벽(220), 압력 변화 부재(230), 제1 게이트(240), 제2 게이트(250), 제3 게이트(260), 제4 게이트(270), 기판 지지부재(280) 및 구동부(290)를 포함한다.
상기 하우징(210), 격벽(220), 압력 변화 부재(230), 제1 게이트(240), 제2 게이트(250), 제3 게이트(260) 및 제4 게이트(270)에 대한 설명은 도 1 내지 도 3을 참조한 하우징(110), 격벽(120), 압력 변화 부재(130), 제1 게이트(140), 제2 게이트(150), 제3 게이트(160) 및 제4 게이트(170)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 기판 지지부재(280)는 평판 형태를 가지며, 상기 하우징(210)의 제2 공간(S2)에 구비된다. 상기 기판 지지부재(280)는 기판(W) 또는 상기 기판(W)이 적재된 카세트를 지지한다. 상기 기판 지지부재(280)는 상기 제2 공간(S2)을 따라 상승 및 하강한다. 상기 기판(W)은 상기 기판 지지부재(280)에 의해 상방 또는 하방으로 이송된다.
상기 구동부(290)는 상기 압력 변화 부재(230) 및 상기 기판 지지부재(280)를 상하 이동시킨다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 구동부(290)는 상기 압력 변화 부재(230) 및 상기 기판 지지부재(280)를 동일한 속도로 상하 이동시킨다.
상기 압력 변화 부재(230)와 상기 기판 지지부재(280)는 서로 반대 방향으로 상하 이동할 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 구동부(290)는 다수의 풀리들(292) 및 벨트(294)를 포함할 수 있다. 상기 풀리들(292)은 상기 상부 공간(Sa)의 상측, 상기 하부 공간(Sb)의 하측, 상기 제2 공간(S2)의 상측과 하측에 각각 구비된다. 상기 벨트(294)는 상기 풀리들(292)을 따라 구비된다. 상기 격벽(220)은 상기 벨트(294)가 지나는 통로(미도시)를 갖는다. 상기 압력 변화 부재(230) 및 상기 기판 지지부재(280)는 상기 벨트(294)에 고정된다. 따라서, 상기 벨트(294)가 반시계 방향으로 회전하면, 상기 기판 지지부재(280)는 상승하고 상기 압력 변화 부재(230)는 하강한다. 상기 벨트(294)가 시계 방향으로 회전하면, 상기 기판 지지부재(280)는 하강하고 상기 압력 변화 부재(230)는 상승한다.
상기 압력 변화 부재(230)와 상기 기판 지지부재(280)는 동일한 방향으로 상하 이동할 수 있다. 즉, 상기 압력 변화 부재(230)가 상승할 때 상기 기판 지지부재(280)도 상승하고, 상기 압력 변화 부재(230)가 하강할 때 상기 기판 지지부재(280)도 하강한다. 상기 구동부(290)의 예로는 직선 왕복 운동을 위한 실린더, 볼 스크류, LM가이드 등을 들 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 구동부(290)는 상기 압력 변화 부재(230) 및 상기 기판 지지부재(280)를 서로 다른 속도로 상하 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 압력 변화 부재(230)의 이동 방향과 상기 기판 지지부재(280)의 이동 방향은 같을 수도 있고 다를 수도 있다. 상기 구동부(290)는 두 개가 구비되며, 상기 구동부(290)는 상기 압력 변화 부재(230) 및 상기 기판 지지부재(280)를 각각 상하 이동시킨다. 상기 구동부(290)의 예로는 실린더, 볼 스크류, LM가이드 등을 들 수 있다.
도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 기판 이송 장치(200)의 동작을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 5를 참조하면, 상기 벨트(294)를 반시계 방향으로 회전시키는 경우, 상기 기판(W)을 지지하는 상기 기판 지지부재(280)는 상승한다. 따라서, 상기 기판(W)을 상방으로 이송할 수 있다. 상기 기판 지지부재(280)가 상승할 때, 상기 압력 변화 부재(230)는 하강한다.
상기 압력 변화 부재(230)가 하강하는 경우, 상기 제3 게이트(260) 및 상기 제2 게이트(250)가 개방된다. 상기 제3 게이트(260)를 통해 상기 제2 공간(S2)에서 상기 상부 공간(Sa)으로 제1 기류가 발생한다. 따라서, 상기 기판 지지부재(280) 및 구동부(290)에서 발생된 파티클이 상기 제1 기류를 따라 상기 상부 공간(Sa)으로 이동한다. 상기 제1 기류에 의해 상기 상부 공간(Sa)의 압력과 상기 제2 공간(S2)의 압력이 비슷해지면 상기 제3 게이트(260)는 탄성 부재에 의해 차단된다.
상기 제2 게이트(250)를 통해 상기 하부 공간(Sb)에서 상기 외부 공간으로 제2 기류가 발생한다. 따라서, 상기 제2 기류를 따라 상기 하부 공간(Sb)에 존재하는 파티클이 상기 외부 공간으로 배출된다. 상기 제2 기류에 의해 상기 하부 공간(Sb)의 압력과 상기 외부 공간의 압력이 비슷해지면 상기 제2 게이트(250)는 탄성 부재에 의해 차단된다.
도 6을 참조하면, 상기 벨트(294)를 시계 방향으로 회전시키는 경우, 상기 기판(W)을 지지하는 상기 기판 지지부재(280)는 하강한다. 따라서, 상기 기판(W)을 하방으로 이송할 수 있다. 상기 기판 지지부재(280)가 하강할 때, 상기 압력 변화 부재(230)는 상승한다.
상기 압력 변화 부재(230)가 상승하는 경우, 상기 제1 게이트(240) 및 상기 제4 게이트(270)가 개방된다. 상기 제1 게이트(240)를 통해 상기 상부 공간(Sa)에서 상기 외부 공간으로 제3 기류가 발생한다. 따라서, 상기 상부 공간(Sa)에 존재하는 파티클이 상기 제3 기류를 따라 상기 외부 공간으로 배출된다. 상기 제3 기류에 의해 상기 상부 공간(Sa)의 압력과 상기 외부 공간의 압력이 비슷해지면 상기 제1 게이트(240)는 탄성 부재에 의해 차단된다.
상기 제4 게이트(270)를 통해 상기 제2 공간(S2) 공간에서 상기 하부 공간(Sb)으로 제4 기류가 발생한다. 따라서, 상기 제4 기류를 따라 상기 제2 공간(S2)에서 발생한 파티클이 상기 하부 공간(Sb)으로 배출된다. 상기 제4 기류에 의해 상기 하부 공간(Sb)의 압력과 상기 제2 공간(S2)의 압력이 비슷해지면 상기 제4 게이트(270)는 탄성 부재에 의해 차단된다.
상기 기판 지지부재(280)가 반복하여 상승 및 하강하는 경우, 상기 압력 변화 부재(230)도 반복하여 하강 및 상승한다. 상기 압력 변화 부재(230)의 상승 및 하강에 따라 상기 제1 내지 제4 기류가 지속적으로 발생한다. 상기 제1 내지 제4 기류는 상기 기판 지지부재(280) 및 상기 구동부(290)에 동작에 의해 발생하는 파티클을 외부 공간으로 배출한다. 따라서, 상기 기판(W)이 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따르면, 압력 변화 부재를 상승 또는 하강시켜 하우징 내부의 파티클을 외부로 배출할 수 있다. 따라서, 상기 파티클에 의해 하우징 내부의 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (15)

  1. 하우징;
    상기 하우징 내부에 상하로 구비되며, 상기 하우징 내부를 제1 공간 및 제2 공간으로 구분하는 격벽;
    상기 제1 공간을 형성하는 상부 부위 및 하부 부위 하우징에 각각 구비되며, 상기 제1 공간과 외부 공간을 연통 및 차단하는 제1 및 제2 게이트;
    상부 부위 및 하부 부위의 격벽에 각각 구비되며, 상기 제1 공간과 상기 제2 공간을 연통 및 차단하는 제3 및 제4 게이트; 및
    상기 제1 공간에 상하 이동하도록 구비되며, 상기 상하 이동에 의해 상기 제1 공간의 압력을 변화시켜 상기 제1 내지 제4 게이트들을 통해 상기 제2 공간에서 발생하는 파티클을 외부로 배출하기 위한 기류를 형성하는 압력 변화 부재를 포함하고,
    상기 압력 변화 부재의 상승시 상기 제1 게이트 및 상기 제4 게이트는 개방되고 상기 제2 게이트 및 상기 제3 게이트는 차단되며,
    상기 압력 변화 부재의 하강시 상기 제1 게이트 및 상기 제4 게이트는 차단되고 상기 제2 게이트 및 상기 제3 게이트는 개방되는 것을 특징으로 하는 파티클 배출 유닛.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 게이트들은 상기 제1 공간의 압력 변화에 따라 개폐되는 것을 특징으로 하는 파타클 배출 유닛.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 게이트 및 상기 제2 게이트는 상기 압력 변화 부재의 상하 이동에 의해 발생하는 양압(positive pressure)에 의해 개방되는 것을 특징으로 하는 파티클 배출 유닛.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제3 게이트 및 상기 제4 게이트는 상기 압력 변화 부재의 상하 이동에 의해 발생하는 음압(negative pressure)에 의해 개방되는 것을 특징으로 하는 파티클 배출 유닛.
  6. 제3항에 있어서, 상기 제1 게이트 및 상기 제2 게이트는 상기 하우징에 힌지 결합되어 상기 외부 공간을 향해 개방되며, 상기 제3 게이트 및 상기 제4 게이트는 상기 격벽에 힌지 결합되어 상기 제1 공간을 향해 개방되는 것을 특징으로 하는 파티클 배출 유닛.
  7. 제3항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 게이트들은 구동부의 구동력에 의해 개폐되는 것을 특징으로 하는 파타클 배출 유닛.
  8. 하우징;
    상기 하우징 내부에 상하로 구비되며, 상기 하우징 내부를 제1 공간 및 제2 공간으로 구분하는 격벽;
    상기 제1 공간을 형성하는 상부 부위 및 하부 부위 하우징에 각각 구비되며, 상기 제1 공간과 외부 공간을 연통 및 차단하는 제1 및 제2 게이트;
    상부 부위 및 하부 부위의 격벽에 각각 구비되며, 상기 제1 공간과 상기 제2 공간을 연통 및 차단하는 제3 및 제4 게이트;
    상기 제2 공간에 상하 이동하도록 구비되며, 상기 기판을 이송하는 기판 지지부재; 및
    상기 제1 공간에 상하 이동하도록 구비되며, 상기 상하 이동에 의해 상기 제1 공간의 압력을 변화시켜 상기 제1 내지 제4 게이트들을 통해 상기 기판 지지부재의 이동에 의해 발생하는 파티클을 외부로 배출하기 위한 기류를 형성하는 압력 변화 부재를 포함하고, '
    상기 압력 변화 부재의 상승시 상기 제1 게이트 및 상기 제4 게이트는 개방되고 상기 제2 게이트 및 상기 제3 게이트는 차단되며,
    상기 압력 변화 부재의 하강시 상기 제1 게이트 및 상기 제4 게이트는 차단되고 상기 제2 게이트 및 상기 제3 게이트는 개방되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 기판 지지부재가 상승할 때 상기 압력 변화 부재가 하강하고, 상기 기판 지지부재가 하강할 때 상기 압력 변화 부재가 상승하도록 상기 기판 지지부재와 상기 압력 변화 부재를 이동시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 구동부는,
    상기 제1 공간 및 제2 공간의 상하부에 각각 구비되는 풀리(pulley)들; 및
    상기 제1 공간 및 상기 제2 공간에 위치하도록 상기 풀리들에 장착되며, 상기 기판 지지부재 및 상기 압력 변화 부재를 상하 왕복 이동시키는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 기판 지지부재가 상승할 때 상기 압력 변화 부재도 상승하고, 상기 기판 지지부재가 하강할 때 상기 압력 변화 부재도 하강하도록 상기 기판 지지부재와 상기 압력 변화 부재를 이동시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  12. 삭제
  13. 제8항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 게이트들은 상기 제1 공간의 압력 변화에 따라 개폐되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1 게이트 및 상기 제2 게이트는 상기 압력 변화 부재의 상하 이동에 의해 발생하는 양압(positive pressure)에 의해 개방되며, 상기 제3 게이트 및 상기 제4 게이트는 상기 압력 변화 부재의 상하 이동에 의해 발생하는 음압(negative pressure)에 의해 개방되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 게이트들은 구동부의 구동력에 의해 개폐되는 것을 특징으로 하는 파타클 배출 유닛.
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