KR100473010B1

KR100473010B1 - 전기 광학 장치, 그 검사 방법 및 전자기기

Info

Publication number: KR100473010B1
Application number: KR10-2001-0067173A
Authority: KR
Inventors: 우에하라히데키
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2000-10-31
Filing date: 2001-10-30
Publication date: 2005-03-08
Also published as: JP3525918B2; TW594139B; KR20020033575A; CN100511364C; US20040156006A1; US6816228B2; US20020075439A1; JP2002202733A; US6760091B2; CN1351321A

Abstract

본 발명은 돌출 영역에 형성된 배선끼리의 간격이 좁은 경우에도 정확한 검사를 가능하게 하는 것으로, 전기 광학 물질을 유지하는 기판과, 상기 기판 중 상기 전기 광학 물질에 대향하는 영역 이외의 영역에 형성된 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선을 구비한다. 상기 각 배선의 라우팅 배선부는 제 1 부분과 당해 제 1 부분보다 폭이 좁은 제 2 부분을 갖는다. 이러한 구성을 갖는 액정 장치의 검사 공정에서는 각 배선에 소정의 구동 신호를 공급하기 위한 복수의 검사용 단자를 상기 각 배선의 제 2 부분에 접촉시킨다.

Description

전기 광학 장치, 그 검사 방법 및 전자기기{ELECTRO-OPTICAL DEVICE, INSPECTION METHOD THEREFOR, AND ELECTRONIC EQUIPMENT}

본 발명은 전기 광학 장치, 그 검사 방법 및 전자기기에 관한 것이다.

주지와 같이, 휴대 전화기 등의 각종 전자기기의 표시 장치에는 액정 장치가 널리 이용되고 있다. 이 액정 장치는 밀봉재를 거쳐서 접착된 한 쌍의 기판과, 양 기판 사이에 유지된 액정과, 액정에 대하여 전압을 인가하기 위한 복수의 전극을 갖는다. 보다 상세하게는, 기판 상에 실장된 드라이버 IC나 가요성 기판 등으로부터 출력된 구동 신호가 기판 상에 형성된 배선을 거쳐서 각 전극으로 공급되는 구성이 일반적이다.

그런데, 이러한 액정 장치의 제조 공정에서는 모든 화소가 정상으로 점등되는지 여부를 검사하는 소위 점등 검사를 실행하는 것이 일반적이다. 이 점등 검사를 실행하는 경우, 우선 기판 상에 형성된 배선에 검사 장치가 구비하는 복수의 검사용 단자를 접촉시킨다. 이어서, 이들 검사용 단자로부터 각 배선을 거쳐서 복수의 전극에 소정의 구동 신호를 공급한다. 그리고, 이 결과 표시된 화상을 육안 또는 CCD(Charge Coupled Device) 카메라 등에 의해 관찰함으로써 모든 화소가 정상적으로 점등되고 있는지 여부를 판정한다.

그러나, 기판 상에 형성된 각 배선끼리의 간격이 좁은 경우, 각 검사용 단자를 소기의 배선에 대하여 정확하게 접촉시키는 것은 매우 곤란하다. 즉, 인접하는 배선끼리의 간격이 좁으면, 한 개의 검사용 단자를 한 개의 배선에만 접촉시키는 것이 곤란하게 되어, 인접하는 배선의 쌍방에 걸쳐 접촉되어 버린다는 사태가 발생하는 결과, 정확한 검사를 실행할 수 없는 경우가 있다.

또, 표시의 고선명화를 도모하기 위해 전극의 개수를 증가시킨 경우에는 배선수도 증가하게 된다. 이 경우, 기판 상에서 인접하는 배선끼리의 간격을 좁게 할 필요가 있기 때문에 상기 문제는 특히 현저하게 나타난다. 또, COG(Chip On Glass) 기술을 이용함으로써, 기판 상에 드라이버 IC를 실장하는 경우, 돌출 영역(projecting region) 상의 배선을 드라이버 IC가 실장되는 영역에 집중시킬 필요가 있기 때문에, 이 영역의 근방에서 각 배선끼리의 간격을 좁게 하지 않을 수 없다. 따라서, 이 경우에도 상기 문제는 심각하게 된다. 또, 이들 문제는 전기 광학 물질로서 EL(Electro-Luminescence) 발광층을 이용한 EL 장치 등, 다른 전기 광학 장치에 있어서도 마찬가지로 발생할 수 있는 문제이다.

본 발명은 이상 설명한 사정을 감안해서 이루어진 것으로서, 기판에 형성된 배선끼리의 간격이 좁은 경우에도, 정확한 검사를 실행할 수 있는 전기 광학 장치의 검사 방법, 이 검사 방법의 대상으로 되는 전기 광학 장치 및 이 전기 광학 장치를 이용한 전자기기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 따른 전기 광학 장치는 전기 광학 물질을 유지하는 기판과, 상기 기판 중 상기 전기 광학 물질에 대향하는 영역 이외의 영역에 형성된 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선을 구비하고, 상기 각 배선의 라우팅 배선부는 제 1 부분과 이 제 1 부분보다 폭이 좁은 제 2 부분을 갖는 것을 특징으로 하고 있다. 바꾸어 말하면, 상기 각 배선의 라우팅 배선부는 제 1 부분과 제 2 부분을 갖고, 인접하는 라우팅 배선부의 제 2 부분의 간격은 제 1 부분의 간격보다 넓은 것을 특징으로 하고 있다.

일반적으로, 전기 광학 장치의 검사 공정에서는 기판 상에 노출된 배선(즉, 라우팅 배선부)에 검사용 단자를 접촉시킬 필요가 있다. 그러나, 배선의 간격이 매우 좁은 경우에는, 예컨대, 한 개의 검사용 단자가 2개의 배선에 걸쳐 접촉해 버린다고 하는 문제점이 발생할 수 있기 때문에 정확한 검사가 곤란하게 된다. 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 의하면, 라우팅 배선부 중 제 2 부분에서의 폭이 제 1 부분에서의 폭보다 좁게 되어 있다. 바꾸어 말하면, 인접하는 배선 중 제 2 부분에서의 간격이 제 1 부분에서의 간격보다 넓게 되어 있는 것이다. 따라서, 검사용 단자를 제 2 부분에 접촉시키면, 어느 하나의 배선에만 접촉시킬 검사용 단자의 위치가 약간 어긋난 경우에도 당해 검사용 단자가 다른 배선과 접촉하는 사태를 회피할 수 있다. 이 때문에, 본 발명에 따르면, 기판 상에 형성된 배선끼리의 간격(보다 엄밀하게는, 제 1 부분에서의 간격)이 매우 좁은 경우에도, 검사용 단자를 이용한 정확한 검사를 실행할 수 있다.

그런데, 이러한 작용을 실현하기 위해서는, 예컨대, 라우팅 배선부의 폭을 그의 전부에 걸쳐 좁게 하는 것도 고려된다. 그러나, 이 구성을 채용한 경우에는 배선 저항이 높아지는 것과 같은 문제나 배선이 단선되기 쉽게 되는 것과 같은 문제가 발생할 수 있다. 이것에 대해, 본 발명에 따르면 라우팅 배선부 중의 일부분(제 2 부분)에서만 폭이 좁게 되어 있으므로, 이들 문제의 발생을 억제할 수 있다.

상기 전기 광학 장치에 있어서는 상기 기판 중 상기 전기 광학 물질에 대향하는 영역 이외의 영역에 실장되고, 상기 각 배선에 출력 신호를 공급하는 드라이버 IC를 구비하는 구성이 바람직하다. 이와 같이, 드라이버 IC를 기판 상에 COG 기술을 이용하여 실장한 경우, 드라이버 IC가 실장되는 영역을 향해서 다수의 배선을 집중시킬 필요가 있기 때문에, 각 배선의 간격을 좁게 해야 한다. 따라서, 각 배선끼리의 간격이 좁은 경우에도 정확한 검사를 실행할 수 있는 본 발명에 따르면, 드라이버 IC를 기판 상에 실장한 전기 광학 장치에 적용한 경우에 특히 현저한 효과가 얻어진다.

또, 각각 다른 색에 대응하는 복수의 서브 화소로 구성되는 화소와, 상기 각 서브 화소에 대응한 색의 컬러 필터를 구비하는 구성도 바람직하다. 풀컬러 표시가 가능한 전기 광학 장치에 있어서는 다른 색에 대응한 복수의 서브 화소에 의해서 한 개의 화소가 구성된다. 따라서, 풀컬러 표시가 가능한 전기 광학 장치에 있어서는 이것과 동일 개수의 화소를 갖는 단색 표시(monochromic display)의 전기 광학 장치와 비교하여 배선의 개수가 많기 때문에, 각 배선끼리의 간격을 좁게 할 필요가 있다. 그러나, 본 발명에 따르면, 이와 같이 배선의 간격이 좁은 경우에도 정확한 검사를 실행할 수 있는 것이다.

또, 복수의 제 1 전극과, 상기 전기 광학 물질을 사이에 두고 상기 제 1 전극과는 반대측에 위치하며, 또한 상기 제 1 전극과 교차하는 방향으로 연장하는 복수의 제 2 전극을 구비하는 전기 광학 장치에 있어서는, 상기 배선을 상기 제 1 전극 또는 제 2 전극 중 전극수가 많은 것과 도통하는 배선으로 해도 좋다. 즉, 일반적으로 다수의 전극과 도통하는 배선은 그 간격이 좁기 때문에 정확한 검사가 곤란하다. 그러나, 이러한 배선을 제 1 부분과 제 2 부분을 갖는 것으로 하면, 정확한 검사를 실행할 수 있다.

또, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 있어서는 상기 배선을 제 1 층과 당해 제 1 층보다 저항값이 낮은 제 2 층을 갖는 것으로 하고, 상기 제 2 층을 상기 배선 중 적어도 제 2 부분에 대응하여 형성된 것으로 하는 것이 바람직하다. 제 2 부분의 폭을 제 1 부분의 폭보다 좁게 한 경우, 제 2 부분에서의 저항값이 높아지는 것이 고려된다. 그러나, 이 제 2 부분을 제 1 층과 당해 제 1 층보다 저항값이 낮은 제 2 층으로 구성하면, 폭의 협소화에 기인한 저항값의 상승을 억제할 수 있는 것이다. 구체적으로는, 제 1 층을 금속 산화막으로 하는 한편, 제 2 층을 금속막으로 하는 것이 고려된다. 또, 상기 기판 상에 형성되고, 또한 상기 전기 광학 물질에 전압을 인가하기 위한 전극을 구비하는 전기 광학 장치에 있어서는 상기 금속 산화막인 제 1 층을 상기 전극과 동일한 층으로 형성하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 제 1 층과 전극을 별개의 공정에 의해서 형성한 경우와 비교하여, 제조 공정의 간략화 및 제조 비용의 절감을 도모할 수 있다.

또, 제 1 층과 제 2 층을 갖는 배선을 채용한 경우, 당해 제 2 층을 상기 배선과 상기 드라이버 IC의 접속 부분을 피해서 형성하는 것이 바람직하다. 제 2 층을, 예컨대, 은이나 은을 주성분으로 하는 합금 등에 의해서 형성한 경우, 외력이 작용함으로써, 상기 제 2 층이 기판으로부터 박리되기 쉽다는 문제가 발생할 수 있다. 그러나, 제 2 층을 배선과 드라이버 IC의 접속 부분을 피해서 형성하면, 제 2 층에 대하여 드라이버 IC로부터의 힘이 작용하는 것을 회피할 수 있기 때문에, 이것이 기판으로부터 박리되는 사태를 방지할 수 있다.

또, 상기 제 2 부분이 상기 복수의 배선에 걸쳐 대략 1열을 이루는 구성도 역시 바람직하다. 이렇게 하면, 점등 검사에서 이용되는 검사 장치에 있어서, 상기 각 전극의 제 2 부분에 접촉시킬 복수의 검사용 단자를 대략 1열로 배열시킨 간이한 구성을 채용할 수 있다고 하는 이점이 있다.

여기서, 본 발명은 밀봉재를 거쳐서 접착된 상기 기판과 다른 기판 사이에 상기 전기 광학 물질인 액정을 갖는 액정 장치에 적용할 수 있다. 또, 본 발명을 적용한 액정 장치에 있어서, 상기 배선을 제 1 층과 당해 제 1 층보다 저항값이 낮은 제 2 층을 갖는 것으로 한 경우에는, 상기 제 2 층을 상기 배선 중 적어도 제 2 부분에 대응하여 형성하고, 또한 상기 기판 중 상기 밀봉재가 형성되는 영역을 피해서 형성하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 제 2 부분에서 배선의 폭을 좁게 하는 것에 의해서 발생할 수 있는 저항값의 상승을 억제할 수 있다. 또, 제 2 층을, 예컨대, 은합금 등에 의해서 형성한 경우, 당해 제 2 층이 기판으로부터 박리되기 쉬운 것과 같은 문제가 발생할 수 있다. 그러나, 제 2 층을 밀봉재가 형성된 영역을 피해서 형성하면, 제 2 층에 대하여 밀봉재로부터의 압력이 작용하는 것을 회피할 수 있기 때문에 기판으로부터 박리되는 사태를 방지할 수 있다.

또한, 액정 장치 이외에도 상기 전기 광학 물질로서 EL 발광층을 이용한 EL 장치 등 각종 전기 광학 장치에 본 발명을 적용할 수 있다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 따른 전자기기는 상술한 전기 광학 장치를 표시부로서 구비하는 것을 특징으로 하고 있다. 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 의하면, 각 배선의 간격이 좁은 경우에도 정확한 점등 검사를 실행할 수 있기 때문에, 이것이 조립된 전자기기에 있어서 전기 광학 장치가 표시 불량을 일으키는 것과 같은 가능성을 감소시킬 수 있다. 또한, 기판 상에 드라이버 IC가 실장된 구성이나 제 2 부분이 복수의 배선에 걸쳐 대략 1열을 이루는 구성을 채용한 경우에는 본 발명에 따른 효과가 특히 현저하게 나타난다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 전기 광학 물질을 유지하는 기판과, 당해 기판 중 상기 전기 광학 물질에 대향하는 영역 이외의 영역에 형성된 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선을 구비하고, 상기 각 배선의 라우팅 배선부가 제 1 부분과 당해 제 1 부분보다 폭이 좁은 제 2 부분을 갖는 전기 광학 장치의 검사 방법에 있어서, 상기 각 배선에 있어서의 라우팅 배선부 중 상기 제 2 부분에 검사용 단자를 접촉시키는 공정과, 상기 검사용 단자를 거쳐서 상기 배선에 소정의 구동 신호를 공급하는 공정과, 상기 구동 신호의 공급에 의해서 표시된 화상에 따라 당해 전기 광학 장치의 양부를 판정하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하고 있다.

이 검사 방법의 대상으로 되는 전기 광학 장치에 있어서는 각 배선의 간격을 매우 좁게 해야 하는 경우에도 제 2 부분에 있어서는 각 배선의 간격을 비교적 넓게 확보할 수 있다. 따라서, 각 배선에 접촉시킨 검사용 단자가 본래 접촉해야 할 배선으로부터 약간 어긋난 경우에도 그 배선에 인접하는 다른 배선과 접촉하는 것과 같은 사태를 회피할 수 있다. 따라서, 각 배선의 간격이 매우 좁은 경우에도 정확한 검사를 실행할 수 있는 것이다.

또한, 이 검사 방법 중 상기 라우팅 배선부에 검사용 단자를 접촉시키는 공정에서는, 복수의 상기 검사용 단자 각각과 상기 각 배선의 제 2 부분을 일괄해서 접촉시키는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 다수의 배선의 단선이나 단락의 유무를 일괄해서 판정할 수 있기 때문에, 효율적으로 검사를 실행할 수 있다. 또, 상기 라우팅 배선부에 검사용 단자를 접촉시키는 공정에서는, 대략 평판 형상의 상기 검사용 단자를 배선에 접촉시켜 당해 검사용 단자를 휘게 하고, 당해 검사용 단자와 상기 배선을 면접촉시키는 것도 바람직하다. 이와 같이, 검사용 단자와 제 2 부분을 면접촉시키면, 소정의 구동 신호를 확실하게 배선에 부여할 수 있기 때문에 검사의 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.

(발명의 실시예)

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다. 이러한 실시예는 본 발명의 일형태를 나타내는 것으로서 본 발명을 한정하는 것은 아니며, 본 발명의 범위 내에서 임의로 변경할 수 있다. 또한, 이하에 나타내는 각 도면에서는 각 층이나 각 부재를 도면 상에서 인식할 수 있는 정도의 크기로 하기 위해서 각 층이나 각 부재마다 축척을 달리하고 있다.

(A : 실시예 1)

우선, 본 발명에 따른 전기 광학 장치로서 전기 광학 물질에 액정을 이용한 액정 장치를 예시한다. 본 실시예에 있어서는 배면 측으로부터 입사된 광을 관찰 측에 투과시켜 표시를 행하는 소위 투과형의 액정 장치를 예시하지만, 본 발명의 적용 범위를 이것에 한정하는 취지는 아니다.

(A-1 : 액정 장치의 구성)

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 장치 중 액정 패널의 전체 구성을 도시한 사시도이며, 도 2는 도 1에 있어서의 A-A'선 단면의 일부를 도시한 도면이다. 이들 도면에 도시하는 바와 같이, 이 액정 패널(100)은 프레임 형상의 밀봉재(40)를 거쳐서 접착된 배면측 기판(10)과 관찰측 기판(20) 사이에 액정(30)이 봉입된 구성으로 되어 있다. 배면측 기판(10)은 관찰측 기판(20)으로부터 돌출된 영역(즉, 관찰측 기판(20)과 대향하지 않는 영역이다. 이하, 이 영역을 「돌출 영역(projecting region)」이라고 표기함)(10A)을 갖는다. 돌출 영역(10A)에는 상기 액정 패널(100)을 구동하기 위한 드라이버 IC(50)가 COG 기술을 이용하여 실장되어 있다. 또, 돌출 영역(10A)의 가장자리 근방에는 FPC(Flexible Printed Circuit) 기판(54)이 접합되어 있다. 또한, 실제로는 액정 패널(100)의 배면 측에 백라이트 유닛이 배치되지만, 본 발명과는 직접 관계가 없기 때문에, 그 도시 및 설명을 생략한다. 이 구성 하에서 백라이트 유닛에 의한 조사광이 배면측 기판(10), 액정(30) 및 관찰측 기판(20)을 투과하여 관찰자에게 시각적으로 인식된다.

배면측 기판(10)의 내측(액정(30)측) 표면에는 도 1에 도시되는 Y방향으로 연장하는 복수의 세그먼트 전극(111)이 형성되어 있다. 이 세그먼트 전극(111)은, 예컨대, ITO(Indium Tin Oxide) 등의 투명 도전 재료에 의해서 형성된다. 또한, 도 1에 있어서는 도면이 번잡하게 되는 것을 방지하기 위해서, 각 세그먼트 전극(111)은 한 개의 직선으로서 도시되어 있지만, 실제의 세그먼트 전극(111)은 소정의 폭을 갖는 띠형상의 전극이다(후술하는 공통 전극(112)에 관해서도 마찬가지임).

각 세그먼트 전극(111)은 배면측 기판(10) 상에서 관찰측 기판(20)과 대향하는 영역(밀봉 프레임 내의 영역)으로부터 돌출 영역(10A)에 이르도록 형성되어 있다. 보다 구체적으로는, 세그먼트 전극(111)은 밀봉재(40)의 프레임 외부로 인출되고, 또한 드라이버 IC(50)가 실장되는 영역을 향해 연장한다. 이하에서는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 세그먼트 전극(111) 중 돌출 영역(10A) 내에 형성된 부분을 「라우팅 배선부(routing wire portions)(111A)」라고 표기한다. 그리고, 이 라우팅 배선부(111A)의 일단은 당해 드라이버 IC(50)의 출력측 범프(돌기 전극)(51)에 접속된다. 보다 구체적으로는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 드라이버 IC(50)가 배면측 기판(10) 상에 접착제(56)를 거쳐서 접합된 상태에서, 드라이버 IC(50)의 출력 단자에 형성된 출력측 범프(51)와 라우팅 배선부(111A)의 단부가 당해 접착제(56) 내에 분산된 도전성 입자(57)를 거쳐서 도통된다.

한편, 관찰측 기판(20)의 내측 표면 중 배면측 기판(10)과 대향하는 영역에는 세그먼트 전극(111)과 직교하는 방향(즉, 도 1에 도시되는 X방향)으로 연장하는 복수의 공통 전극(112)이 형성되어 있다. 각 공통 전극(112)은 ITO 등의 투명 도전 재료에 의해서 형성된 띠형상의 전극으로서, 관찰측 기판(20) 중 돌출 영역(10A)과 접하는 가장자리 근방에 도달하도록 형성된다. 그리고, 이 가장자리 근방에 도달한 부분은 배면측 기판(10)과 관찰측 기판(20) 사이에 삽입된 이방성 도전막(도시 생략)을 거쳐서 배면측 기판(10) 상에 형성된 라우팅 배선부(112A)와 전기적으로 접속된다. 라우팅 배선부(112A)는 배면측 기판(10) 상의 세그먼트(111)(및 라우팅 배선부(111A))와 동일한 층으로 형성된 것이다. 각 라우팅 배선부(112A)는 드라이버 IC(50)가 실장될 영역에 도달하도록 연장하고, 또한, 그의 단부가 상기 드라이버 IC(50)의 출력측 범프에 접속된다. 즉, 라우팅 배선(111A)와 마찬가지로 라우팅 배선(112A)의 단부는 접착제(56) 중 도전성 입자(57)를 거쳐서 드라이버 IC(50)의 출력측 범프(51)와 도통한다.

또한, 실제로는 세그먼트 전극(111)이 형성된 배면측 기판(10)의 표면 및 공통 전극(112)이 형성된 관찰측 기판(20)의 표면은 소정의 방향으로 러빙 처리가 실시된 배향막에 의해서 덮여 있지만, 도시는 생략되어 있다. 또, 배면측 기판(10) 및 관찰측 기판(20)의 외측 표면에는 편광판이나 위상차 판이 접착되지만, 이들에 관해서도 도시는 생략되어 있다.

다음에, 도 3은 돌출 영역(10A) 내에 형성된 라우팅 배선부(111A)의 형상을 확대하여 도시한 평면도이다. 동 도에 도시하는 바와 같이, 각 라우팅 배선부(111A)는 당해 라우팅 배선부(111A)의 양단 부분을 포함하는 제 1 부분(113)과 상기 라우팅 배선부(111A)의 연장 방향에서의 중앙부 근방에 위치하는(즉, 양측이 제 1 부분(113)에 의해 샌드위치됨) 제 2 부분(114)을 갖는다. 그리고, 제 2 부분(114)에 있어서의 폭 W1은 제 1 부분(113)에서의 폭 W2와 비교하여 좁게 되어 있다. 예컨대, 폭 W1이 23㎛정도이며, 폭 W2가 34㎛정도이다. 바꾸어 말하면, 인접하는 라우팅 배선부(111A)에 있어서의 제 2 부분(114) 끼리의 간격 W3은 제 1 부분(113) 끼리의 간격 W4와 비교하여 넓게 되어 있다. 예컨대, 간격 W3이 28㎛정도이며, 간격 W4가 16㎛정도이다. 또, 본 실시예에 있어서는 도 3에 도시하는 바와 같이, 라우팅 배선부(111A) 중의 제 2 부분(114)이 복수의 라우팅 배선부(111A)에 걸쳐 대략 1열을 이루고 있다. 즉, 제 2 부분(114)은 각 라우팅 배선부(111A)의 연장 방향에 있어서 대략 동일한 위치에 형성되어 있다.

또한, 여기서는 라우팅 배선부(111A)에 대하여 설명했지만, 공통 전극(112)에 접속되는 라우팅 배선부(112A)도 마찬가지 구성이다. 즉, 이 라우팅 배선부(112A)도 제 1 부분(113)과 제 2 부분(114)을 갖고, 제 2 부분(114)은 제 1 부분(113)보다 폭이 좁게 되어 있다. 또, 각 라우팅 배선부(111A)의 제 2 부분(114)과 각 라우팅 배선부(112A)의 제 2 부분(114)은 대략 1열을 이루도록 되어 있다. 또한, 이하에서는 세그먼트 전극(111)에 연결되는 라우팅 배선부(111A) 및 공통 전극(112)에 접속되는 라우팅 배선부(112A) 중 어느 하나를 특별히 구별할 필요가 없는 경우에는 단지 「라우팅 배선부(11)」이라고 표기한다.

한편, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 돌출 영역(10A)에는 이 돌출 영역(10A)의 가장자리로부터 드라이버 IC(50)가 실장되는 영역에 도달하도록 배선(115)이 형성되어 있다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 이들 배선(115)의 일단은 접착제(56) 중 도전성 입자(57)를 거쳐서 드라이버 IC(50)의 입력 단자에 형성된 입력측 범프(52)와 도통한다.

한편, FPC 기판(54)은 기재(base member)(541)와 복수의 배선(542)을 갖는다. 기재(541)는 폴리이미드 등으로 이루어지는 필름 형상의 부재이다. 각 배선(542)은 도시하지 않는 외부 기기로부터 출력된 신호를 드라이버 IC(50)의 입력 단자에 공급하기 위한 것이고, 기재(541)의 표면에 형성되어 있다. 도 2에 도시하는 바와 같이, FPC 기판(54)의 기재(541)는 접착제(58)를 거쳐서 배면측 기판(10)에 접합된다. 그리고, 기재(541) 상의 배선(542)은 상기 접착제(58) 내에 분산된 도전성 입자(59)를 거쳐서 배면측 기판(10) 상의 배선(115)과 도통한다.

이상의 구성하에서 드라이버 IC(50)는 외부 기기로부터 FPC 기판(54) 및 배선(115)을 거쳐서 표시 화상에 관한 각종 신호(예컨대, 클럭 신호 등)를 수신하면, 이 신호에 따른 구동 신호를 생성한다. 이 구동 신호는 라우팅 배선부(111A, 112A)를 거쳐서 세그먼트 전극(111) 및 공통 전극(112)에 각각 인가된다. 그리고, 배면측 기판(10) 및 관찰측 기판(20)에 의해서 샌드위치된 액정(30)은 세그먼트 전극(111)과 공통 전극(112) 사이에 구동 신호에 따른 전압이 인가되는 것에 의해서 그 배향 방향이 변화된다. 즉, 세그먼트 전극(111)과 공통 전극(112)이 교차하는 영역이 화소로서 기능하는 것이다.

(A-2 : 검사 장치의 구성)

다음에, 액정 장치의 점등 검사 시에 이용되는 검사 장치의 구성에 대하여 설명한다. 도 4는 검사 장치의 외관을 도시한 평면도 및 측면도이다. 동 도에 도시하는 바와 같이, 검사 장치(60)는 본체부(61), 회로 기판(62) 및 복수의 검사용 단자(63)를 갖는다. 본체부(61)는 대략 장방형의 판형상 부재로서, 한쪽의 가장자리(도 4에서의 상측의 가장자리)의 근방이 다른 부분에서 보아 경사진 형상으로 성형되어 있다.

한편, 회로 기판(62) 및 복수의 검사용 단자(63)는 본체부(61)의 한쪽의 면에 마련되어 있다. 회로 기판(62)은 복수의 검사용 단자(63)에 대하여 검사용 구동 신호를 공급하기 위한 각종 회로를 갖는다. 각 검사용 단자(63)는 도전성 재료에 의해 형성된 긴 형상의 부재이다. 각 검사용 단자(63)의 일단은 회로 기판(62)에 접속된다. 또, 각 검사용 단자(63)의 타단 근방의 부분은 본체부(61)의 경사에 따라 절곡되고, 그 선단 부분이 본체부(61)의 가장자리로부터 돌출한다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 각 검사용 단자(63)의 선단 부분은 다른 부분과 비교하여 가늘게 되어 있고, 본체부(61)의 가장자리를 따라 대략 1열을 이루도록 되어 있다.

(A-3 : 액정 장치의 검사 방법)

계속해서, 검사 장치(60)를 이용하여 액정 장치의 점등 검사를 실행할 때의 구체적인 수순을 설명한다. 또한, 이 검사의 대상으로 되는 것은 배면측 기판(10)의 돌출 영역(10A)에 드라이버 IC(50)가 실장되기 전(前) 단계의 액정 패널이다.

우선, 도 5에 도시하는 바와 같이, 검사 장치(60)가 구비하는 복수의 검사용 단자(63)의 각각을 돌출 영역(10A)에 형성된 라우팅 배선부(11)((111A, 112A)) 중 제 2 부분(114)에 접촉시킨다. 상술한 바와 같이, 제 2 부분(114)은 모든 라우팅 배선부(111A, 112A)에 걸쳐 1열을 이루도록 형성되어 있다. 따라서, 복수의 검사용 단자(63)의 각각을 모든 라우팅 배선부(11)의 제 2 부분에 일괄해서 접촉시킬 수 있다.

또, 검사용 단자(63)를 라우팅 배선부(11)에 접촉시킴으로써 휘게 한다. 이 결과, 각 검사용 단자(63)의 선단 근방은 각 라우팅 배선부(11)와 면접촉하게 된다. 또한, 도 5에 있어서는 검사용 단자(63)와 라우팅 배선부(11)가 면접촉하고 있는 부분에 사선이 부가되어 있다. 여기서, 본 실시예에 있어서는 휜 검사용 단자(63)가 라우팅 배선부(11)와 면접촉하는 경우에도, 당해 검사용 단자(63)는 라우팅 배선부(11) 중 제 2 부분(114)에만 접촉하고 제 1 부분(113)에는 접촉하지 않도록 되어 있다. 바꾸어 말하면, 라우팅 배선부(11)의 연장 방향에 있어서의 제 2 부분(114)의 위치 및 길이 L은 검사용 단자(63)가 면접촉하는 영역에 따라 결정되어 있다. 또한, 길이 L의 구체적인 수치로서는, 예컨대, 1㎜ 정도로 하는 것이 고려된다.

다음에, 검사용 단자(63)를 각 라우팅 배선부(11)의 제 2 부분(114)과 접촉시킨 상태에서 각 검사용 단자(63)에 대하여 회로 기판(62)으로부터 소정의 시험용 구동 신호를 공급한다. 이 시험용 구동 신호는 각 검사용 단자(63)를 거쳐서 각 세그먼트 전극(111) 및 공통 전극(112)으로 공급된다. 여기서, 시험용 구동 신호의 신호 레벨 및 이 시험용 구동 신호를 공급할 전극은 모든 화소가 점등하도록 미리 결정되어 있다.

시험용 구동 신호의 공급에 의해서 당해 액정 장치의 모든 화소가 점등하면 작업원의 눈으로 직접 표시면을 관찰하고, 정상적으로 점등하고 있지 않은 화소가 있는지 여부를 판정한다. 이 결과, 모든 화소가 정상적으로 점등하고 있는 경우에는 양품이라고 판정하는 반면, 어느 하나의 화소가 점등하고 있지 않은 경우에는, 예컨대, 전극의 단선 등의 어떠한 불량이 발생하고 있다고 고려되기 때문에 불량품이라고 판정한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 있어서는 돌출 영역(10A)에 형성된 라우팅 배선부(11) 중 검사용 단자(63)가 접촉할 부분(제 2 부분(114))의 폭이 다른 부분(제 1 부분(113))의 폭과 비교하여 좁게 되어 있다. 바꾸어 말하면, 인접하는 라우팅 배선부(11)끼리의 간격은 검사용 단자(63)가 접촉할 부분에서, 다른 부분의 간격과 비교하여 넓게 되어 있다. 따라서, 예컨대, 도 5에 도시하는 상태에서 검사 장치(61)가 도면 중 화살표 B로 나타내는 방향으로 약간 어긋난 경우나, 검사용 단자(63)를 라우팅 배선부(11)에 접촉시킬 때 검사용 단자(63)의 위치가 약간 어긋나 있는 경우에도 임의의 라우팅 배선부(11)과 접촉시킬 검사용 단자(63)가 상기 라우팅 배선부(11)에 인접하는 다른 라우팅 배선부(11)와 접촉되어 버리는 것과 같은 사태를 회피할 수 있다. 이와 같이, 본 실시예에 따르면 돌출 영역(10A)에 형성된 각 라우팅 배선부(11)의 간격(보다 엄밀하게는, 라우팅 배선부(11)의 제 1 부분(113)에서의 간격)이 매우 좁은 경우에도 정확한 검사를 실행할 수 있는 것이다.

또, 도 5에 예시한 바와 같이, 선단 부분이 가늘게 성형된 검사용 단자(63)를 휘게 한 상태에서 라우팅 배선(11)에 면접촉시키면, 선단 부분 이외의 부분, 즉 상기 선단 부분과 비교하여 폭이 넓은 부분도 라우팅 배선부(11)와 접촉하게 된다. 여기서, 본 실시예에 있어서는 검사용 단자(63)의 선단 부분이 접촉하는 부분뿐만 아니라, 당해 검사용 단자(63)의 폭이 넓은 부분이 접촉하는 부분도 라우팅 배선부(11) 내의 제 2 부분(114)으로 되어 있다. 따라서, 검사용 단자(63)에 있어서의 폭이 넓은 부분이 라우팅 배선부(11)와 접촉하는 경우에도, 당해 부분이 다른 라우팅 배선부(11)와 접촉하는 것을 효과적으로 피해서 정확한 검사를 실행할 수 있다.

그런데, 검사용 단자(63)가 소기의 라우팅 배선부(11) 이외의 라우팅 배선부(11)와 접촉하는 것을 회피하기 위한 구성으로서는 각 라우팅 배선부(11)의 모든 부분의 폭을 좁게 하는(예컨대, 본 실시예에 있어서의 제 2 부분(114)의 폭과 동일한 폭으로 함) 구성도 일단 고련된다. 그러나, 이러한 경우 라우팅 배선부(11)에서의 배선 저항이 높아져 액정 장치의 표시 품질이 저하하거나, 당해 라우팅 배선부(11)가 단선되기 쉽게 되는 것과 같은 문제가 발생할 수 있다. 이것에 대해, 본 실시예에 따르면, 라우팅 배선부(11) 중 검사용 단자(63)가 접촉할 일부분의 폭만이 좁게 되어 있기 때문에, 이들 문제가 발생하는 것을 억제할 수 있다고 하는 이점이 있다.

(B : 실시예 2)

다음에, 본 발명의 실시예 2에 따른 액정 장치에 대하여 설명한다. 이 액정 장치는 외광이 충분한 경우에는 반사형으로서 기능하는 한편, 외광이 불충분한 경우에는 백라이트 유닛을 점등시킴으로써, 주로 투과형으로서 기능하는 반투과 반사형의 것이 있다.

(B-1 : 액정 장치의 구성)

도 6은 이 액정 장치 중 액정 패널의 전체 구성을 도시한 사시도이다. 동 도에 도시하는 바와 같이, 액정 장치를 구성하는 액정 패널(101)은 관찰측 기판(200)과 배면측 기판(300)이 프레임 형상의 밀봉재를 거쳐서 서로 접착되고, 또한, 이 간극에, 예컨대, TN(Twisted Nematic)형의 액정(160)이 봉입되어 있다. 보다 상세하게는, 밀봉재(110)의 일부에 개구부가 마련되어 있고, 액정의 주입 후에 이 개구부가 봉지재(1101)에 의해서 봉지되어 있다.

관찰측 기판(200) 중 배면측 기판(300)과의 대향면에는 복수의 공통 전극(214)이 X방향으로 연장해서 형성되어 있다. 한편, 배면측 기판(300) 중 관찰측 기판(200)과의 대향면에는 복수의 세그먼트 전극(314)이 Y방향으로 연장해서 형성되어 있다. 즉, 공통 전극(214)과 세그먼트 전극(314)이 서로 대향하는 영역에서, 양 전극에 의해서 액정(160)에 전압이 인가되므로, 이 교차 영역이 서브 화소로서 기능하게 된다.

또, 배면측 기판(300) 중 관찰측 기판(200)으로부터 돌출된 두 변에는 공통 전극(214)을 구동하기 위한 드라이버 IC(122)와, 세그먼트 전극(314)을 구동하기 위한 드라이버 IC(124)가 각각 COG 기술에 의해서 실장되어 있다. 또, 이 두 변 중 드라이버 IC(124)가 실장되는 영역의 외측에는 FPC 기판(150)이 접합되어 있다.

여기서, 관찰측 기판(200)에 형성된 공통 전극(214)은 밀봉재(110)에 혼입된 도전성 입자를 거쳐서, 배면측 기판(300)에 형성된 배선(350)의 일단에 접속되어 있다. 한편, 배선(350)의 타단은 드라이버 IC(122)의 출력측 범프에 접속되어 있다. 즉, 드라이버 IC(122)로부터 출력된 공통 신호는 배선(350) 및 도전성 입자를 거쳐서 공통 전극(214)에 인가된다. 또, 드라이버 IC(122)의 입력측 범프와 FPC 기판(150) 사이는 배선(360)에 의해 접속되어 있다.

또, 배면측 기판(300)에 형성된 세그먼트 전극(314)은 드라이버 IC(124)의 출력측 범프에 접속되어 있다. 따라서, 드라이버 IC(124)로부터 출력된 세그먼트 신호는 세그먼트 전극(314)에 직접 인가된다. 또, 드라이버 IC(124)의 입력측 범프와 FPC 기판(150) 사이는 배선(370)에 의해 접속되어 있다.

다음에, 도 7 내지 도 9를 참조하여 액정 패널(101)의 보다 상세한 구성을 설명한다. 도 7은 이 액정 패널(101)을 도 6에서의 X방향을 따라 절단한 경우의 구성을 도시한 부분 단면도이며, 도 8은 이 액정 패널(101)을 도 6에서의 Y방향을 따라 절단한 경우의 구성을 도시한 부분 단면도이다. 또, 도 9는 밀봉재(110)가 형성되는 영역 중 드라이버 IC(122)가 실장되는 변의 근방에서의 배선의 상세한 구성을 관찰 측에서 투시하여 도시한 평면도이다.

도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 관찰측 기판(200)의 외면에는 위상차판(123) 및 편광판(121)이 부착된다. 한편, 관찰측 기판(200)의 내면에는 차광막(202)이 형성되어 서브 화소간의 혼색을 방지하고, 또한 표시 영역을 규정하는 프레임으로서 기능한다. 또, 공통 전극(214)과 세그먼트 전극(314)이 교차하는 영역에 대응하여(차광막(202)의 개구 영역에 대응하여) 컬러 필터(204)가 소정의 배열로 마련되어 있다. 또한, 본 실시예에서는 R(적색), G(녹색) 및 B(청색)의 컬러 필터(204)가 1열을 이루는 스트라이프 배열을 채용한 경우가 예시되어 있다. 따라서, R, G, B에 대응하는 3개의 서브 화소마다 대략 정방형 형상의 한 개의 화소가 구성된다. 다만, 각 색의 서브 화소의 배열 형태는 이것에 한정되는 것은 아니다.

다음에, 절연재로 이루어지는 평탄화막(205)은 차광층(202) 및 컬러 필터(204)에 의한 단차를 평탄화하는 것이다. 이 평탄화막의 면상에는 상술한 복수의 공통 전극(214)이 형성되어 있다. 각 공통 전극(214)은 ITO 등의 투명 도전 재료로 이루어지는 띠형상의 전극이다. 그리고, 평탄화막(205)이나 공통 전극(214)의 표면에는 폴리이미드로 이루어지는 배향막(208)이 형성되어 있다. 이 배향막(208)에는 소정의 방향으로 러빙 처리가 실시되어 있다. 여기서, 차광막(202), 컬러 필터(204) 및 평탄화막(205)은 표시 영역 밖에서는 불필요한 것이다. 이 때문에, 도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 이들 요소는 밀봉재(110)의 내주 가장자리 근방보다 외측에는 마련되어 있지 않다.

한편, 배면측 기판(300)의 외면에는 위상차판(133) 및 편광판(131)이 부착되어 있다. 또, 배면측 기판(300)의 내면은 그의 전면에 걸쳐 하지막(301)에 의해서 덮여 있다. 이 하지막(301)의 표면에는 반사막(302)이 형성되어 있다. 하지막(301)은 반사막(302)의 기판 밀착성을 향상시키기 위한 막이다. 반사막(302)은 은 단체(單體) 또는 은을 주성분으로 하는 합금 등에 의해서 형성된다. 관찰측 기판(200) 측으로부터 액정 패널(101)에 입사된 광은 이 반사막(302)의 표면에 있어서 반사되어 관찰 측으로 출사하고, 이것에 의해 반사형 표시가 실현된다. 또, 도 7 내지 도 9에 도시하는 바와 같이, 반사막(302)에는 한 개의 서브 화소당 2개의 개구부(309)가 마련되어 있다. 백라이트 유닛으로부터의 출사광은 이 개구부(309)를 통과하여 관찰측으로 출사하고, 이것에 의해 투과형 표시가 실현된다.

다음에, 액정 패널(101) 중 밀봉재(110)가 형성되는 영역 근방의 구성에 대하여 설명한다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 공통 전극(214)은 관찰측 기판(200) 중 밀봉재(110)가 형성되는 영역까지 연장해서 마련된다. 한편, 배면측 기판(300)의 면상에는 배선(350)을 구성하는 투명 도전막(354)이 공통 전극(214)과 대향하도록 밀봉재(110)가 형성되는 영역까지 연장해서 마련되어 있다. 따라서, 관찰측 기판(200) 상의 공통 전극(214)과 배면측 기판(300) 상의 투명 도전막(354)은 밀봉재(110)에 분산된 도전성 입자(1102)를 거쳐서 전기적으로 접속되게 된다. 또한, 도 7 및 도 8에 있어서는 편의적으로 도전성 입자(1102)가 실제보다 매우 크게 도시되어 있기 때문에, 밀봉재(110)의 폭 방향으로 한 개의 도전성 입자(1102)가 배치된 것처럼 도시되어 있다. 그러나, 실제로는 도 9에 도시하는 바와 같이, 밀봉재(110)의 폭 방향으로 다수의 도전성 입자(1102)가 배치된 구성으로 된다.

여기서, 배선(350)은 공통 전극(214)과 드라이버 IC(122)의 출력 단자를 전기적으로 접속하는 것이며, 반사성 도전막(352)과 투명 도전막(354)이 적층된 구성으로 되어 있다. 이 중, 본 실시예에 있어서의 반사성 도전막(352)은 고온 스퍼터링 등에 의해 성막된 은 단체 또는 은을 주성분으로 하는 은합금으로 이루어지는 도전층을 패터닝한 것이다. 또, 투명 도전막(354)은 세그먼트 전극(314)과 동일한 ITO 등으로 이루어지는 도전층을 반사성 도전막(352)보다 한층 넓게 되도록 패터닝한 것이다. 여기서, 도 10은 도 9에 있어서의 C-C'선에서 본 단면도이다. 도 10에 도시하는 바와 같이, 투명 도전막(354)은 반사성 도전막(352)으로부터 돌출한 에지 부분이 보호막(303)과 접하도록 형성되어 있다. 단, 도 7 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 밀봉재(110)가 형성된 영역에서는 반사성 도전막(352)은 형성되지 않고 투명 도전막(354)만이 형성되어 있다.

한편, 세그먼트 전극(314)은, 도 8에 도시하는 바와 같이, 배면측 기판(300) 상에서 밀봉재(110)의 프레임 외부로 인출되고, 또한 반사성 도전막(312)에 적층되어, 배선(310)으로서 드라이버 IC(124)의 출력측 범프까지 인출되어 있다. 보다 상세하게는, 밀봉재(110)의 프레임 외부로 인출된 세그먼트 전극(314)은 도 10 중 괄호 안의 참조 번호(parenthesized reference number)로 도시하는 바와 같이, 반사성 도전막(312)보다 한층 크게 되도록 형성되고, 상기 반사성 도전막(312)으로부터 돌출된 에지 부분이 보호막(303)과 접하게 되어 있다.

계속해서, 배면측 기판(300) 중 드라이버 IC(122) 또는 드라이버 IC(124)가 실장되는 영역이나, FPC 기판(150)이 실장되는 영역의 구성에 대하여 설명한다. 도 11은 이들 영역의 구성을 도시한 단면도이며, 도 12는 드라이버 IC(122)가 실장되는 영역의 근방을 관찰 측에서 본 경우의 구성을 도시한 평면도이다. 또한, 상술한 바와 같이, 배면측 기판(300)에는 세그먼트 전극(314) 이외에 배선(350, 360, 370)이 마련되지만, 여기서는 드라이버 IC(122)에 관련된 배선(350, 360)을 예로 들어 설명한다.

이들 도면에 도시하는 바와 같이, 드라이버 IC(122)는 에폭시 등의 접착제(130)에 도전성 입자(134)를 균일하게 분산시킨 이방성 도전막을 거쳐서 배면측 기판(300) 상에 COG 실장된다. 즉, 드라이버 IC(122)가 접착제(130)에 의해서 배면측 기판(300) 상에 접합된 상태에서 당해 드라이버 IC(122)의 출력측 범프(129a)는 배선(350)을 구성하는 투명 도전막(354)에, 또한 FPC 기판(150)으로부터의 신호를 입력하는 입력측 범프(129b)는 배선(360)을 구성하는 투명 도전막(364)에 각각 접착제(130) 중의 도전성 입자(134)를 거쳐서 전기적으로 접속된다.

상술한 바와 같이, 드라이버 IC(122)로부터 출력된 공통 신호를 공통 전극(214)에 공급하기 위한 배선(350)은 반사성 도전막(352)과 투명 도전막(354)이 적층된 구성으로 되어 있다. 단, 도 11 및 도 12에 도시하는 바와 같이, 배선(350) 중 드라이버 IC(122)가 실장되는 영역에 도달한 부분은 밀봉재(110)의 형성 영역과 마찬가지로 반사성 도전막(352)이 마련되지 않고 투명 도전막(354)으로만 되어 있다. 바꾸어 말하면, 반사성 도전막(352)은 배선(350)과 드라이버 IC(122)의 접속 부분을 피해서 형성되어 있다.

또, 도 12에 도시하는 바와 같이, 배선(350)은 상기 배선(350)의 양단부를 포함하는 제 1 부분(113)과 당해 제 1 부분(113)보다 폭이 좁은 제 2 부분(114)을 갖는다. 제 2 부분(114)은 상기 실시예 1과 마찬가지로 점등 검사 시에 검사용 단자(63)를 접촉시킬 부분이다. 상술한 바와 같이, 본 실시예에 있어서는 배선(350) 중 밀봉재(110)에 의해서 덮이는 부분 및 드라이버 IC(122)와의 접속 부분을 제외하고 투명 도전막(354)과 반사성 도전막(352)이 적층된 구성으로 되어 있다. 따라서, 도 12에 도시하는 바와 같이, 배선(350) 중 제 2 부분(114)에 관해서도 투명 도전막(354)과 반사성 도전막(352)이 적층된 구성으로 되어 있다.

한편, FPC 기판(150)으로부터 공급되는 각종 신호를 드라이버 IC(122)에 공급하기 위한 배선(360)도 배선(350)과 마찬가지 구성으로 되어 있다. 즉, 배선(360)은 도 10의 괄호 안의 참조 번호로 도시하는 바와 같이, 반사성 도전막(362)과 투명 도전막(364)이 적층된 구성으로 되어 있다. 단, 도 12에 도시하는 바와 같이, 배선(360) 중 드라이버 IC(122)가 실장되는 부분 및 FPC 기판(150)이 접합되는 부분(도 12에서는 도시 생략)은 반사성 도전막(362)이 마련되지 않고 투명 도전막(364)으로만 되어 있다.

또한, 여기서는 드라이버 IC(122)에 관련된 배선(350, 360)을 예로 들어 설명했지만, 드라이버 IC(124)에 관련된 배선(310, 370)에 관해서도 각각 도 11에서 괄호 안의 참조 번호로 도시하는 바와 같이, 배선(350, 360)과 마찬가지 구성으로 되어 있다.

즉, 드라이버 IC(124)로부터 출력된 세그먼트 신호를 세그먼트 전극(314)에 공급하기 위한 배선(310)은 배선(350)과 마찬가지로 당해 배선(310)의 양단부를 포함하는 제 1 부분(113)과 당해 제 1 부분(113)보다 폭이 좁은 제 2 부분(114)을 갖는다. 그리고, 배선(310) 중 제 2 부분(114)을 포함하는 대부분에 걸쳐서 반사성 도전막(312)과 투명 도전막인 세그먼트 전극(314)이 적층된 구성으로 되어 있다. 단, 반사성 도전막(312)은 배선(310) 중 드라이버 IC(124)가 실장되는 부분을 회피하도록 마련되어 있다.

한편, FPC 기판(150)으로부터 공급되는 각종 신호를 드라이버 IC(124)에 공급하기 위한 배선(370)은 배선(360)과 마찬가지로 반사성 도전막(372)과 투명 도전막(374)이 적층된 구성으로 되어 있다. 단, 배선(370) 중 드라이버 IC(124)가 실장되는 부분 및 FPC 기판(150)이 접합되는 부분은 반사성 도전막(374)이 마련되지 않고 투명 도전막(374)으로만 되어 있다.

그리고, 드라이버 IC(124)는 드라이버 IC(122)와 마찬가지로 이방성 도전막을 거쳐서 배면측 기판(300) 상에 실장된다. 또, 배선(360, 370)에 대하여 FPC 기판(150)을 접합하는 경우에도 마찬가지로 이방성 도전막이 이용된다. 즉, 도 11에 도시하는 바와 같이, FPC 기판(150)의 기재(152)가 접착제(140)를 거쳐서 배면측 기판(300) 상에 접합되고, 또한, 당해 기재(152) 상에 형성된 배선(154)은 배선(360)을 구성하는 투명 도전막(364) 및 배선(370)을 구성하는 투명 도전막(374)과 각각 접착제(140) 내의 도전성 입자(144)를 거쳐서 전기적으로 접속된다.

(B-2 : 제조 프로세스)

다음에, 도 13 및 도 14를 참조하여 상술한 액정 장치의 제조 프로세스, 특히 배면측 기판에 관한 제조 프로세스에 대해서 설명한다. 또한, 여기서는 세그먼트 전극(314)과 배선(350)을 중심으로 밀봉재의 프레임 내(표시 영역), 밀봉재 및 밀봉재의 프레임 외부로 나누어 설명한다.

우선, 도 13(a)에 도시하는 바와 같이, 기판(300)의 내면 전체에 Ta₂O₅나 SiO₂등을 스퍼터 등에 의해서 퇴적하여 하지막(301)을 형성한다. 계속해서, 동 도(b)에 도시하는 바와 같이, 은 단체 또는 은을 주성분으로 하는 반사성의 도전층(302')을 비교적 저온도(약 200℃ 정도)에서 스퍼터링 등에 의해서 성막한다. 계속해서, 동 도(c)에 도시하는 바와 같이, 도전층(302')을 포토리소그래피 기술 및 에칭 기술을 이용하여 패터닝해서 개구부(309)를 갖는 반사막(302)을 형성한다.

이 후, 동 도(d)에 도시하는 바와 같이, 반사막(302)을 덮도록, 예컨대, 산화 티탄을 포함한 보호막(303)을 기판 전면에 형성한다. 그리고, 동 도(e)에 도시하는 바와 같이, 이 보호막(303) 상에 은 단체 또는 은을 주성분으로 하는 반사성의 도전막(352')을 비교적 고온도(약 400℃ 정도)에서 스퍼터링 등에 의해서 성막한다. 이 도전층(352')으로서는 반사막(302)을 구성하는 도전층(302')과 마찬가지로 은·팔라듐·구리의 APC 합금이나 은·구리·금의 합금 또는 은·루테늄(Ru)·구리의 합금 등이 바람직하다.

다음에, 도 14(f)에 도시하는 바와 같이, 도전층(352')을 포토리소그래피 기술이나 에칭 기술을 이용하여 패터닝하고, 배선(350)을 구성하는 반사성 도전막(352) 이외에 배선(310, 360, 370)을 구성하는 반사성 도전막(312, 362, 372)을 형성한다. 이 후, 동 도(g)에 도시하는 바와 같이, ITO 등의 투명 도전층(314')을 스퍼터링이나 이온 도금법 등을 이용하여 성막한다.

계속해서, 동 도(h)에 도시하는 바와 같이, 도전층(314')을 포토리소그래피 기술 및 에칭 기술을 이용하여 패터닝한다. 이것에 의해, 밀봉 프레임 내에는 세그먼트 전극(314)이, 밀봉 프레임 외부에는 투명 도전막(354, 364, 374)이 각각 형성된다. 이 때, 도 10에 도시한 바와 같이, 세그먼트 전극(314) 및 투명 도전막(354, 364, 374)은 에지 부분이 보호막(303)과 접하도록 형성된다. 이 때문에, 도전막(314')의 성막 후에는 반사성 도전막(312, 352, 362, 372)이 외기에 노출되는 것을 회피할 수 있기 때문에, 이들의 부식이나 박리가 방지된다. 다음에, 동 도(i)에 도시하는 바와 같이, 배면측 기판(300)의 면상에, 예컨대, 폴리이미드 용액을 도포·소성하여 배향막(308)을 형성한다. 그리고, 이 배향막(308)에 러빙 처리를 실시한다.

이 후, 상기 공정에 의해 얻어진 배면측 기판(300)과 배향막(308)에 러빙 처리를 실시한 관찰측 기판(200)을 밀봉재(110)를 거쳐서 접합한다. 그리고, 밀봉재(110)의 개구 부분으로부터 액정을 주입한 후, 당해 개구 부분을 봉지제(1101)에 의해 봉지한다. 이 후, 상기 실시예 1에 있어서 도 5를 예로 설명한 것과 마찬가지의 점등 검사를 실행한다. 즉, 본 실시예에 있어서도 검사 장치(60)가 구비하는 복수의 검사용 단자(63)의 각각을 배선(350) 또는 배선(360)의 제 2 부분(114)과 각각 면접촉시킨 상태에서 공통 전극(214) 및 세그먼트 전극(214)으로 시험용 구동 신호를 공급하고, 이 결과 표시된 화상에 따라 액정 패널의 양부를 판정하는 것이다. 이러한 검사 공정 후에 드라이버 IC(122, 124) 및 FPC 기판(150)을 실장함으로써 도 6에 도시한 액정 패널(101)이 얻어진다.

이와 같이, 본 실시예에 있어서도 상기 실시예 1과 마찬가지로 밀봉 프레임 외부에 형성된 배선(310, 350) 중 제 2 부분(114)의 폭이 제 1 부분(113)의 폭보다 좁게 되어 있다. 따라서, 배선 간격이 좁은 경우에도 제 2 부분(114)에 검사용 단자(63)를 접촉시킴으로써 정확한 검사를 실행할 수 있다.

또, 본 실시예에 따른 액정 장치는 각각 다른 색에 대응하는 복수의 서브 화소에 의해서 한 개의 화소가 구성되도록 되어 있다. 이러한 종류의 풀컬러 표시가 가능한 액정 장치를 이것과 동일한 화소수를 갖는 단색 표시의 액정 장치와 비교하면, 1화소가 3개의 서브 화소에 의해서 구성되는 분량만큼 배선수가 많아 기판 상의 배선 간격이 좁다. 이 때문에, 본 발명은 풀컬러 표시가 가능한 액정 장치에 적용한 경우에 특히 현저한 효과를 얻을 수 있다고 할 수 있다. 다만, 상기 실시예 1에서 설명한 바와 같이, 단색 표시의 액정 장치에도 효과적으로 적용할 수 있는 것은 물론이다.

또, 본 실시예에 있어서 배선(310, 350, 360, 370)은 각각 세그먼트 전극(314), 투명 도전막(354, 364, 374)과 반사성 도전막(312, 352, 362, 372)이 적층된 구성으로 되어 있다. 이 때문에, 어느 하나의 단일층으로 배선을 형성하는 경우와 비교하여 저저항화가 도모된다. 특히, 배선(310, 350) 중의 제 2 부분(114)은 다른 부분(제 1 부분(113))과 비교하여 폭이 좁아 배선 저항이 높아질 수 있다. 이 때문에, 비교적 저항값이 낮은 반사성 도전막(314, 352)을 제 2 부분(114)에 형성함으로써 배선 저항의 상승을 억제하는 효과가 특히 현저하게 나타난다.

또한, 본 실시예에 있어서는 배선(310, 350)의 대부분에 걸쳐 반사성 도전막(352, 312)을 각각 형성했다. 그러나, 배선(310, 350) 중 제 2 부분(114)을 협소하게 함에 따라 발생하는 저항값의 상승을 억제한다고 하는 관점에서 보면, 배선(310, 350)의 대부분에 걸쳐 반사성 도전막(352, 312)을 반드시 형성할 필요는 없고, 배선(310, 350) 중 적어도 제 2 부분(114)에만 대응하여 반사성 도전막을 형성하는 구성으로 해도 좋다.

또, 본 실시예에 있어서 배선(350)을 구성하는 반사성 도전막(352)은 밀봉재(110)가 형성되는 영역 및 드라이버 IC(122)가 실장되는 영역을 피해서 형성되어 있다. 마찬가지로, 배선(310)을 구성하는 반사성 도전막(312)은 드라이버 IC(122)가 실장되는 영역을 피해서 형성되어 있다. 이것은 은합금 등으로 이루어지는 반사성 도전막(352)은 ITO 등으로 이루어지는 투명 도전막와 비교하여 다른 재료와의 밀착성이 낮아, 외력이 가해지는 부분에 마련하는 것은 바람직하지 못하기 때문이다. 즉, 배선의 저저항화를 우선시키면 세그먼트 전극 또는 투명 도전막의 하층 전역에 걸쳐 반사성 도전막을 형성하는 구성이 바람직하다. 그러나, 이러한 구성을 채용하면, 반사성 도전막과 배면측 기판(300)의 밀착성이 낮기 때문에, 예컨대, 드라이버 IC에 외력이 작용한 경우에 상기 드라이버 IC가 실장된 영역에 위치하는 반사성 도전막이 배면측 기판(300)으로부터 박리될 가능성이 높다. 이 때문에, 본 실시예에 있어서는 배선 중 외력이 작용할 수 있는 영역 즉 밀봉재(110)가 형성되는 영역, 드라이버 IC가 실장되는 영역 및 FPC 기판이 실장되는 영역에는 반사성 도전막을 형성하지 않고, ITO 등으로 이루어지는 투명 도전막으로만 반사성 도전막의 박리를 미연에 방지하고 있는 것이다.

(C : 실시예 3)

실시예 2에 있어서는 반사막(302)이 형성된 배면측 기판(300)의 전면을 덮도록 보호막(303)을 형성한 후, 이 보호막(303)의 면상에 반사성 도전막(312, 352, 362, 372)을 형성하는 것으로 했다. 이것에 대해, 본 실시예에 있어서는 반사막(302)과 반사성 도전막(312, 352, 362, 372)이 동일층으로 형성되는 구성으로 되어 있다. 상세하게 기술하면 이하와 같다.

본 실시예에 따른 액정 장치 중 액정 패널의 전체 구성에 대해서는 실시예 2(도 6 참조)와 거의 마찬가지이다. 그러나, 본 실시예에 있어서의 액정 패널(101')은, 도 15 및 도 16에 도시하는 바와 같이, 보호막(303)이 밀봉 프레임 내에만 형성되어 있는 점에서 실시예 2에 따른 액정 패널(101)과는 다르다(도 7 및 도 8 참조). 또한, 도 15 및 도 16은 각각 상기 실시예 2에 있어서의 도 7 및 도 8에 대응하는 도면이다.

이와 같이, 본 실시예에 있어서는 보호층(303)이 밀봉 프레임 외부에 형성되어 있지 않기 때문에, 배선(310, 350, 360, 370)은 보호막(303) 상이 아니라 하지막(301) 상에 마련되어 있다. 즉, 투명 도전막(314, 354, 364, 374)의 가장자리 부분 및 반사성 도전막(312, 352, 362, 372)이 하지층(301)과 접하게 된다. 또한, 배선의 형태와 같은 그 밖의 구성에 대해서는 실시예 2에서 설명한 것과 마찬가지이기 때문에 그 설명을 생략한다.

본 실시예에 따른 액정 패널(101')은 이하의 공정에 의해 제조된다. 즉, 도 13(b)에 도시되는 공정에 있어서, 하지막(301)이 형성된 배면측 기판(300)을 덮도록 도전막(302')을 형성한 후, 이 도전막(302')을 포토리소그래피 기술 및 에칭 기술을 이용한 패터닝을 실시함으로써, 밀봉 프레임 내에는 개구부(309)를 갖는 반사막(302)을, 밀봉 프레임 외부에는 반사성 도전막(352, 312, 362, 372)을 각각 동시에 형성한다. 계속해서, 배면측 기판(300) 중 밀봉 프레임 내에 반사막(302)을 덮도록, 예컨대, 산화 티탄 등에 의해서 보호막(303)을 형성한다. 이 후의 공정에 대해서는 실시예 1과 마찬가지이기 때문에 설명을 생략한다.

이와 같이, 본 실시예에 따르면 반사막(302)과 반사성 도전막(352, 312, 362, 372)이 공통의 공정에서 형성되기 때문에, 이들을 별개의 공정(스퍼터링에 의한 성막 및 패터닝)에 의해서 형성하는 경우와 비교하여 제조 공정의 간략화 및 제조 비용의 절감을 도모할 수 있다.

(D : 실시예 4)

상기 실시예 1 내지 실시예 3에 있어서는 전기 광학 물질로서 액정을 이용한 액정 장치를 예시했다. 이것에 대해, 본 실시예에 있어서는 전기 광학 물질로서 EL 발광층을 이용한 EL 장치에 본 발명을 적용한 경우를 예시한다.

도 17은 본 실시예에 따른 EL 장치의 외관을 도시한 사시도이며, 도 18은 도 17에서의 D-D'선 단면도이다. 이들 도면에 도시하는 바와 같이, EL 장치는 EL 패널(102)을 구성하는 기판(401)에 드라이버 IC(411, 412)와 FPC 기판(421, 422)이 실장된 구성으로 되어 있다.

EL 패널(102)은 유리나 석영, 플라스틱 등의 광투과성을 갖는 기판(401)을 갖는다. 이 기판(401)의 표면에는 복수의 세그먼트 전극(402)이 형성되어 있다. 각 세그먼트 전극(402)은 도면 중 Y방향으로 연장하는 띠형상의 전극으로서, 예컨대, ITO 등의 투명 도전 재료에 의해서 형성되어 있다. 또, 세그먼트 전극(402)이 형성된 기판(401)의 면상에는 균일한 두께의 EL 발광층(403)이 적층된다. 또, EL 발광층(403) 중 세그먼트 전극(402)과는 반대측의 면상에는 복수의 공통 전극(404)이 형성되어 있다. 각 공통 전극(404)은 세그먼트 전극(402)과 교차하는 방향으로 연장하는 띠형상의 전극이다. 이 공통 전극(404)은, 예컨대, 알루미늄이나 은과 같은 단체 금속 또는 이들을 주성분으로서 포함하는 합금에 의해서 형성되어 광 반사성을 갖는다. 또, 기판(401)의 면상에는 EL 발광층(403)을 둘러싸도록 프레임형상의 밀봉재(405)가 형성되고, 또한, 이 밀봉재(405)를 거쳐서 커버(406)가 장착된다.

또, 도 17에 도시하는 바와 같이, 기판(401) 표면 중 밀봉재(405)의 외측의 영역에는 드라이버 IC(411, 412)가 COG 기술을 이용하여 실장되어 있다. 도 18에 도시하는 바와 같이, 공통 전극(404)은 밀봉재(405)를 횡단해서 당해 밀봉재(405)의 외측에 도달하고, 그 단부가 드라이버 IC(412)의 출력측 범프에 접속된다. 마찬가지로, 세그먼트 전극(402)은 밀봉재(405)의 외측에 도달하도록 연장되고, 그 단부가 드라이버 IC(411)의 출력측 범프에 접속되어 있다. 여기서, 공통 전극(404) 중 밀봉 프레임 외부에 도달한 부분(404a) 및 세그먼트 전극(402) 중 밀봉 프레임 외부에 도달한 부분(402a)은 상술한 도 1에 도시한 실시예 1에 따른 액정 패널의 라우팅 배선부(11)와 마찬가지로 제 1 부분(113)과 이 제 1 부분(113)보다 폭이 좁은 제 2 부분(114)을 갖는다. 제 2 부분(114)은 점등 검사 시에 검사용 단자(63)를 접촉시킬 부분이다.

한편, 기판(401)의 주연부 근방에는 패널 단자(407, 408)가 형성되어 있다. 이 중 패널 단자(408)는, 도 18에 도시하는 바와 같이, 드라이버 IC(412)의 입력측 범프에 접속되어 있다. 마찬가지로, 패널 단자(407)는 드라이버 IC(411)의 입력측 범프에 접속되어 있다. 그리고, FPC 기판(421, 422)은 이방성 도전막을 거쳐서 패널 단자(407, 408)가 형성된 기판(401)의 둘레가장자리 근방에 각각 접합된다. 이것에 의해, FPC 기판(421)의 기재(421a) 상에 형성된 배선은 패널 단자(407)와 도통하는 한편, FPC 기판(422)의 기재(422a) 상에 형성된 배선은 패널 단자(408)와 도통한다. 이러한 구성하에서 도시하지 않은 외부 회로로부터 FPC 기판(421, 422)을 거쳐서 공급되는 신호에 의해서 드라이버 IC(411, 412)가 각각 구동된다. 이 결과, 세그먼트 전극(402)과 공통 전극(404) 사이에 소정의 전압이 인가되어, 양 전극 사이에 개재하는 EL 발광층(403)을 발광시킬 수 있다. 이 때, 공통 전극(404)은 반사막으로서도 기능한다.

본 실시예에 따른 EL 장치에 있어서도 상기 실시예 1과 마찬가지의 효과가 얻어진다. 즉, 본 실시예에 있어서도 밀봉 프레임 외부에 도달한 세그먼트 전극(402) 및 공통 전극(404) 중 제 2 부분(114)의 폭이 제 1 부분(113)의 폭보다 좁게 되어 있다. 이 때문에, EL 패널(102)에 드라이버 IC(411, 412) 등을 실장하기 전에 점등 검사를 실행하는 경우, 도 5에 도시한 방법과 마찬가지로 제 2 부분(114)에 검사용 단자(63)를 면접촉시킴으로써 배선 간격이 좁은 경우에도 정확한 검사를 실행할 수 있다.

(E : 변형예)

이상 본 발명의 일실시예에 대하여 설명했지만 상기 실시예는 어디까지나 예시이며, 상기 실시예에 대해서는 본 발명의 취지로부터 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형을 가할 수 있다. 변형예로서는, 예컨대, 이하와 같은 것이 고려된다.

(E-1 : 변형예 1)

드라이버 IC가 기판 상에 실장된 전기 광학 장치에 있어서는 기판 상에 형성된 배선을 상기 드라이버 IC가 실장되는 영역에 도달하도록 집중시킬 필요가 있기 때문에, 특히 배선의 간격을 좁게 할 필요가 있다. 따라서, 본 발명은 드라이버 IC가 기판 상에 실장되는 전기 광학 장치에 적용한 경우에 특히 현저한 효과를 얻을 수 있다. 그러나, 본 발명의 적용 범위는 이것에 한정되는 것은 아니다. 즉, 표시의 고선명도화의 요구에 응답하도록 전극수를 늘린 경우 등에는 각 배선끼리의 간격을 좁게 하지 않을 수 없다는 사정을 고려하면, 예컨대, 드라이버 IC가 FPC 기판 상에 실장된 구성의 전기 광학 장치에도 본 발명을 유효하게 적용할 수 있다. 보다 구체적으로는, 도 19에 도시하는 바와 같이, 드라이버 IC를 기판 상에 실장하지 않는 전기 광학 장치(여기서는 액정 장치)에도 적용할 수 있다. 즉, 이 도면에 도시되는 액정 장치에 있어서는 드라이버 IC(126)가 플립 칩 등의 기술에 의해서 FPC 기판(150)에 실장되어 있다. 이 경우, 상기 각 실시예와 마찬가지로 FPC 기판(150)과 공통 전극(214) 또는 세그먼트 전극(314)을 접속하기 위한 배선(310, 350)을 제 1 부분(113)과 당해 제 1 부분(113)보다 폭이 좁은 제 2 부분(114)을 갖는 것으로 하면 좋다. 또, TAB(Tape Automated Bonding) 기술을 이용하여 드라이버 IC(126)를 그 내부 리드로 접합하는 반면, 액정 패널(100)과는 그 외부 리드로 접합하는 구성으로 해도 좋다.

(E-2 : 변형예 2)

상기 실시예 1 내지 실시예 3에 있어서는 수동 매트릭스 방식의 액정 장치를 예시했지만, 능동 매트릭스 방식의 액정 장치에도 본 발명을 적용할 수 있다. 능동 매트릭스 방식의 액정 장치로서는, 예컨대, TFD(Thin Film Diode)로 대표되는 2단자형 스위칭 소자 또는 TFT(Thin Film Transistor)로 대표되는 3단자형 스위칭 소자를 구비한 것이 고려된다.

(E-3 : 변형예 3)

상술한 실시예 1 내지 실시예 3에 있어서는 액정을 사이에 유지하는 1쌍의 기판 중 한쪽 기판만이 다른쪽의 기판으로부터 돌출된 영역을 갖는 경우를 예시했지만, 본 발명을 적용할 수 있는 것은 이러한 액정 장치에 한정되지 않는다. 즉, 1쌍의 기판 중 어느 한쪽이 다른쪽의 기판으로부터 돌출된 영역을 갖고, 각 기판의 영역에 배선이 형성된 구성의 액정 장치에도 본 발명을 적용할 수 있다. 이와 같이, 본 발명을 액정 장치에 적용하는 경우에는 액정을 유지하는 1쌍의 기판 중 적어도 한쪽의 기판이 다른쪽의 기판으로부터 돌출된 영역을 갖고 있으면 좋다.

(E-4 : 변형예 4)

상술한 각 실시예에 있어서는 기판에서의 전기 광학 장치와 대향하는 영역 이외의 영역에 형성된 배선의 중앙 부분을 그 양단 부분에 위치하는 제 1 부분보다 폭이 좁은 제 2 부분으로 한 경우를 예시했지만, 제 2 부분의 위치는 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 당해 배선 중 한쪽의 단부(예컨대, 드라이버 IC의 단자와 접속되는 부분)의 근방의 폭을 좁게하여 제 2 부분으로 해도 좋다. 중요한 것은 기판에 있어서의 전기 광학 장치와 대향하는 영역 이외의 영역에 형성된 배선(라우팅 배선부) 중 어느 하나의 부분(제 2 부분)에 있어서의 폭이 다른 부분(제 1 부분)의 폭보다 좁게 되어 있으면 좋은 것이다.

(E-5 : 변형예 5)

상술한 실시예에 있어서는 공통 전극에 접속된 배선과 세그먼트 전극에 접속된 배선의 쌍방을 제 1 부분(113)과 제 2 부분(114)을 갖는 것으로 했지만, 어느 한쪽만을 제 1 부분(113)과 제 2 부분(114)을 갖는 것으로 해도 좋다. 본 발명은 배선의 간격이 좁은 경우에 특히 현저한 효과를 얻을 수 있는 것을 고려하면, 공통 전극 또는 세그먼트 전극 중 전극수가 많은 것에 접속되는 배선을 제 2 부분(114)을 갖는 것으로 하는 것이 바람직하다. 예컨대, 일반적인 전기 광학 장치에 있어서는 공통 전극의 개수보다 세그먼트 전극의 개수 쪽이 많다. 따라서, 공통 전극에 접속된 배선수보다 세그먼트 전극에 접속된 배선수쪽이 많은 것을 고려하면, 세그먼트 전극에 접속된 배선을 제 1 부분(113)과 제 2 부분(114)을 갖는 배선으로 하는 것이 바람직하다.

(E-6 : 변형예 6)

상술한 각 실시예에 있어서는 전기 광학 장치에 표시된 화상을 작업원이 시각적으로 인식하여 양부를 판정하도록 했지만, 양부를 판정하는 수법은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, CCD 카메라 등에 의해서 표시 화상을 촬상하고, 이 화상에 대하여 퍼스널 컴퓨터 등을 이용한 화상 처리를 실시하는 것에 의해서 점등하고 있지 않은 화소의 존재 여부 판정 및 이 결과에 따른 전기 광학 장치의 양부의 판정을 실행하도록 해도 좋다. 또, 상기 각 실시예에 있어서는 검사 공정에서 모든 화소를 점등시키도록 했지만, 이것에 한정되지 않고, 화소를 선택적으로 점등시켜 소정의 테스트 패턴을 표시시키도록 해도 좋다.

(E-7 : 변형예 7)

상기 각 실시예에 있어서는 전기 광학 물질로서 액정을 이용한 액정 장치와 전기 광학 물질로서 EL 발광층을 이용한 EL 장치를 예시했지만, 본 발명을 적용할 수 있는 것은 이들 장치에 한정되지 않는다. 예컨대, 플라즈마 디스플레이(PDP)와 같은 각종 전기 광학 장치의 점등 검사 시에도 본 발명에 따른 검사 방법을 적용할 수 있다. 즉, 본 발명은 기판 상에 복수의 배선이 밀집하여 형성된 구성을 채용하는 각종 전기 광학 장치에 적용할 수 있다.

(F : 전자기기)

다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치를 전자기기에 적용한 구체예에 대하여 설명한다.

(F-1 : 휴대형 컴퓨터)

우선, 상기 실시예 2에서 설명한 액정 장치를 휴대형의 퍼스널 컴퓨터에 적용한 예에 대하여 설명한다. 도 20은 이 퍼스널 컴퓨터의 구성을 도시한 사시도이다. 동 도에 있어서 퍼스널 컴퓨터(600)는 키보드(601)를 구비한 본체부(602)와 액정 표시 유닛(603)으로 구성되어 있다. 이 액정 표시 유닛(603)은 실시예 2에서 설명한 액정 패널(101)과 이 액정 패널(101)의 배면에 배치된 백 라이트(도시 생략)를 갖는다. 이것에 의해, 외광이 있으면 반사형으로서, 외광이 불충분하면 백 라이트를 점등시킴으로써 투과형으로서 표시가 시각적으로 인식되게 된다.

(F-2 : 휴대 전화기)

다음에, 액정 장치를 휴대 전화기의 표시부에 적용한 예에 대하여 설명한다. 도 21은 이 휴대 전화기의 구성을 예시하는 사시도이다. 동 도에 있어서, 휴대 전화기(610)는 복수의 조작 버튼(611) 이외에 수화구(612) 및 송화구(613)와 동시에 상기 실시예 1 내지 실시예 3에서 설명한 액정 패널(100)을 구비하는 것이다.

(F-3 : 디지털 스틸 카메라)

또, 액정 장치를 파인더에 이용한 디지털 스틸 카메라에 대하여 설명한다. 도 22는 이 디지털 스틸 카메라의 구성을 도시한 사시도이다. 또한, 동 도에 있어서는 디지털 스틸 카메라와 외부 기기의 접속의 형태에 대해서도 간략하게 도시되어 있다.

통상의 카메라는 피사체의 광상에 의해서 필름을 감광하는데 비해, 디지털 스틸 카메라(620)는 피사체의 광상을 CCD 등의 촬상 소자에 의해 광전 변환하여 촬상 신호를 생성하는 것이다. 여기서, 디지털 스틸 카메라(620)에 있어서의 케이스(621)의 배면에는 상기 실시예 2에 따른 액정 패널(101)이 마련되고, CCD에 의한 촬상 신호에 근거하여 표시를 실행하는 구성으로 되어 있다. 이 때문에, 액정 패널(101)은 피사체를 표시하는 파인더로서 기능한다. 또, 케이스(621)의 앞면측(도면에서는 이면측)에는 광학 렌즈나 CCD 등을 포함한 수광 유닛(622)이 마련되어 있다.

여기서, 촬영자가 액정 패널(101)에 표시된 피사체상을 확인하여 셔터 버튼(623)을 누르면, 그 시점에서의 CCD의 촬상 신호가 회로 기판(624)의 메모리로 전송되어 저장된다. 또, 이 디지털 스틸 카메라(620)에 있어서는 케이스(621)의 측면에 비디오 신호 출력 단자(625)와, 데이터 통신용의 입출력 단자(626)가 마련되어 있다. 그리고, 도면에 도시하는 바와 같이, 비디오 신호 출력 단자(625)에는 텔레비전 모니터(630)가, 데이터 통신용의 입출력 단자(626)에는 퍼스널 컴퓨터(640)가 각각 필요에 따라서 접속된다. 그리고, 소정의 조작이 이루어지면 회로 기판(624)의 메모리에 저장된 촬상 신호가 텔레비전 모니터(630)나 퍼스널 컴퓨터(640)로 출력된다.

또한, 본 발명에 따른 전기 광학 장치를 사용할 수 있는 전자기기로서는 도 20에 도시한 퍼스널 컴퓨터나 도 21에 도시한 휴대 전화기, 도 22에 도시한 디지털 스틸 카메라 이외에도 액정 텔레비전이나 뷰파인더형·모니터 직시형의 비디오 테이프 리코더, 차량 항법 장치, 호출기, 전자 수첩, 전자 계산기, 워드 프로세서, 워크 스테이션, 화상 전화(picturephone), POS 단말 또는 본 발명에 따른 전기 광학 장치를 광밸브로서 이용한 프로젝터 등을 들 수 있다. 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 의하면, 기판 상에 형성된 배선의 간격이 좁은 경우에도 정확한 검사를 실행할 수 있기 때문에, 이것이 조립된 전자기기에 있어서 전기 광학 장치가 표시 불량을 일으키는 바와 같은 가능성을 감소시킬 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 기판 상에 형성된 배선끼리의 간격이 좁은 경우에도 정확한 검사를 실행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 액정 장치의 전체 구성을 도시한 평면도,

도 2는 도 1에서의 A-A'선 단면도,

도 3은 동(同) 액정 장치의 라우팅 배선부를 확대하여 도시한 평면도,

도 4는 동 액정 장치의 점등 검사에 이용되는 검사 장치의 외관 구성을 도시한 평면도 및 측면도,

도 5는, 동 검사 장치를 이용한 검사에 있어서, 검사 장치의 검사용 단자와 액정 장치의 라우팅 배선부가 접촉하고 있는 상태를 도시한 사시도,

도 6은 본 발명의 실시예 2에 따른 액정 장치의 전체 구성을 도시한 사시도,

도 7은 동 액정 장치를 구성하는 액정 패널을 X방향을 따라 절단한 경우의 구성을 도시한 부분 단면도,

도 8은 동일 액정 패널을 Y방향을 따라 절단한 경우의 구성을 도시한 부분 단면도,

도 9는 동일 액정 패널에 있어서의 화소의 구성 및 밀봉재 근방의 구성을 도시한 평면도,

도 10은 도 9에 있어서의 C-C'선 단면도,

도 11은, 동일 액정 패널에 있어서, 드라이버 IC가 실장되는 영역의 근방을 도시한 부분 단면도,

도 12는, 동일 액정 패널의 배면측 기판에 있어서, 드라이버 IC의 실장 영역 근방을 도시한 부분 평면도,

도 13(a) 내지 도 13(e)는 각각 동일 액정 패널에 있어서의 배면측 기판의 제조 프로세스를 도시한 단면도,

도 14(f) 내지 도 14(i)는 각각 동일 액정 패널에 있어서의 배면측 기판의 제조 프로세스를 도시한 단면도,

도 15는 본 발명의 실시예 3에 따른 액정 장치의 액정 패널을 X방향을 따라 절단한 경우의 구성을 도시한 부분 단면도,

도 16은 동 액정 패널을 Y방향을 따라 절단한 경우의 구성을 도시한 부분 단면도,

도 17은 본 발명의 실시예 4에 따른 EL 장치의 전체 구성을 도시한 사시도,

도 18은 도 17에 있어서의 D-D'선 단면도,

도 19는 본 발명의 변형예에 따른 액정 장치의 전체 구성을 도시한 사시도,

도 20은 본 발명에 따른 전기 광학 장치를 이용한 전자기기의 일례인 퍼스널 컴퓨터의 구성을 도시한 사시도,

도 21은 본 발명에 따른 전기 광학 장치를 이용한 전자기기의 일례인 휴대 전화기의 구성을 도시한 사시도,

도 22는 본 발명에 따른 전기 광학 장치를 이용한 전자기기의 일례인 디지털 스틸 카메라의 배면 측의 구성을 도시한 사시도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

100, 101, 101', 101" : 액정 패널

20, 200 : 관찰측 기판 10, 300 : 배면측 기판(기판)

30, 160 : 액정(전기 광학 물질) 40, 110, 405 : 밀봉재

50, 122, 124, 126, 411, 412 : 드라이버 IC

54, 150, 421, 422 : FPC 기판 111, 314, 402 : 세그먼트 전극

112, 214, 404 : 공통 전극

11, 111A, 112A, 402A, 404A : 라우팅 배선부

310, 350 : 배선(라우팅 배선부)

312, 352, 362, 372 : 반사성 도전막

354, 364, 374 : 투명 도전막 113 : 제 1 부분

114 : 제 2 부분 400 : EL 패널

401 : 기판 403 : EL 발광층(전기 광학 물질)

60 : 검사 장치 61 : 본체부

62 : 회로 기판 63 : 검사용 단자

600 : 퍼스널 컴퓨터 610 : 휴대 전화기

620 : 디지털 스틸 카메라

Claims

전기 광학 물질과 기판을 갖는 전기 광학 장치로서,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되어 이루어지고,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분 보다도 폭이 좁고, 양측이 상기 제 1 부분의 사이에 끼워진 제 2 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 기판 중 상기 전기 광학 물질에 대향하는 영역 이외의 영역에 실장되고 상기 각 배선에 출력 신호를 공급하는 드라이버 IC를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 1 항에 있어서,

복수의 제 1 전극과,

상기 전기 광학 물질을 사이에 두고 상기 제 1 전극과는 반대측에 위치하고, 또한 상기 제 1 전극과 교차하는 방향으로 연장되는 복수의 제 2 전극을 더 구비하고,

상기 배선은 상기 제 1 전극 또는 제 2 전극 중 전극수가 많은 것과 도통하는 배선인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 1 항에 있어서,

각각 다른 색에 대응하는 복수의 서브 화소로 구성되는 화소와,

상기 각 서브 화소에 대응한 색의 컬러 필터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 배선은 제 1 층과 당해 제 1 층보다 저항값이 낮은 제 2 층을 갖고,

상기 제 2 층은 상기 배선 중 적어도 제 2 부분에 대응하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 5 항에 있어서,

상기 제 1 층은 금속 산화물막이며, 상기 제 2 층은 금속막인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 6 항에 있어서,

상기 기판 상에 형성되고, 또한 상기 전기 광학 물질에 전압을 인가하기 위한 전극을 갖고,

상기 금속 산화막인 제 1 층은 상기 전극과 동일한 층으로 형성된 것인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 5 항에 있어서,

상기 제 2 층은 상기 배선과 상기 드라이버 IC의 접속 부분을 피해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제 2 부분은 하나 이상의 배선에 걸쳐 대략 1열을 이루는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 기판은 밀봉재를 거쳐서 접착된 다른 기판과의 사이에 상기 전기 광학 물질인 액정을 유지하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 10 항에 있어서,

상기 배선은 제 1 층과 당해 제 1 층보다 저항값이 낮은 제 2 층을 갖고,

상기 제 2 층은 상기 배선 중 적어도 제 2 부분에 대응하여 형성되고, 또한 상기 기판 중 상기 밀봉재가 형성되는 영역을 피해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 전기 광학 물질은 EL 발광층인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
전기 광학 물질과 기판을 갖는 전기 광학 장치로서,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되어 이루어지고,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 양측이 상기 제 1 부분의 사이에 끼워진 제 2 부분을 가지며,

인접하는 라우팅 배선부의 제 2 부분에서의 간격은, 제 1 부분에서의 간격보다도 넓은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
전기 광학 장치를 표시부로서 구비하는 전자기기에 있어서,

상기 전기 광학 장치는, 전기 광학 물질과 기판을 가지며,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되어 이루어지고,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분보다도 폭이 좁고, 양측이 상기 제 1 부분의 사이에 끼워진 제 2 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 전자기기.
제 14 항에 있어서,

상기 기판 중 상기 전기 광학 물질에 대향하는 영역 이외의 영역에 실장되고, 상기 각 배선에 출력 신호를 공급하는 드라이버 IC를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자기기.
제 14 항에 있어서,

상기 제 2 부분은 하나 이상의 배선에 걸쳐 대략 1열을 이루는 것을 특징으로 하는 전자기기.
전기 광학 장치를 표시부로서 구비하는 전자기기에 있어서,

상기 전기 광학 장치는, 전기 광학 물질과 기판을 가지며,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되어 이루어지고,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 양측이 상기 제 1 부분의 사이에 끼워진 제 2 부분을 가지며,

인접하는 라우팅 배선부의 제 2 부분에서의 간격은, 제 1 부분에서의 간격보다도 넓은 것을 특징으로 하는 전자기기.
전기 광학 물질과, 기판과, 당해 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에 형성된 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선을 구비하는 전기 광학 장치의 검사 방법에 있어서,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분보다도 폭이 좁고, 양측이 상기 제 1 부분의 사이에 끼워진 제 2 부분을 가지며,

상기 각 배선에서의 라우팅 배선부 중 상기 제 2 부분에 검사용 단자를 접촉시키는 공정과,

상기 검사용 단자를 거쳐서 상기 배선에 소정의 구동 신호를 공급하는 공정과,

상기 구동 신호의 공급에 의해서 표시된 화상에 따라 당해 전기 광학 장치의 양부를 판정하는 공정

을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사 방법.
제 18 항에 있어서,

상기 라우팅 배선부에 검사용 단자를 접촉시키는 공정에서는, 복수의 검사용 단자 각각과 상기 각 배선을 일괄해서 접촉시키는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사 방법.
제 18 항에 있어서,

상기 라우팅 배선부에 검사용 단자를 접촉시키는 공정에서는 대략 평판 형상의 상기 검사용 단자를 배선에 접촉시켜 상기 검사용 단자를 휘게 하여, 당해 검사용 단자와 당해 배선을 면접촉시키는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사 방법.
전기 광학 물질과 기판을 갖는 전기 광학 장치로서,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되어 이루어지고,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분보다도 폭이 좁고, 검사시에 검사용 단자를 거쳐서 화상을 표시시키는 소정의 구동 신호가 공급되는 제 2 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
전기 광학 물질과 기판을 갖는 전기 광학 장치로서,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되어 이루어지고,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 검사시에 검사용 단자를 거쳐서 화상을 표시시키는 소정의 구동 신호가 공급되는 제 2 부분을 가지며,

인접하는 라우팅 배선부의 제 2 부분에서의 간격은, 제 1 부분에서의 간격보다도 넓은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
전기 광학 장치를 표시부로서 구비하는 전자기기에 있어서,

상기 전기 광학 장치는, 전기 광학 물질과 기판을 가지며,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되어 이루어지고,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분 보다도 폭이 좁고, 검사시에 검사용 단자를 거쳐서 화상을 표시시키는 소정의 구동 신호가 공급되는 제 2 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 전자기기.
전기 광학 장치를 표시부로서 구비하는 전자기기에 있어서,

상기 전기 광학 장치는, 전기 광학 물질과 기판을 가지며,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되어 이루어지고,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 점등 검사시에 검사용 단자를 거쳐서 화상을 표시시키는 소정의 구동 신호가 공급되는 제 2 부분을 가지며,

인접하는 라우팅 배선부의 제 2 부분에서의 간격은, 제 1 부분에서의 간격보다도 넓은 것을 특징으로 하는 전자기기.
전기 광학 물질과, 기판과, 당해 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에 형성된 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선을 구비하는 전기 광학 장치의 검사 방법에 있어서,

상기 각 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분보다도 폭이 좁은 제 2 부분을 가지며,

상기 각 배선에서의 라우팅 배선부 중 상기 제 2 부분에 검사용 단자를 접촉시키는 공정과,

상기 검사용 단자를 거쳐서 상기 배선에 소정의 구동 신호를 공급하는 공정과,

상기 구동 신호의 공급에 의해서 표시된 화상에 따라 당해 전기 광학 장치의 양부를 판정하는 공정

을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사 방법.
전기 광학 물질과 기판을 갖는 전기 광학 장치로서,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에는, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되고 또한, 상기 복수의 배선에 출력 신호를 공급하는 드라이버 IC가 실장되어 이루어지고,

상기 복수의 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분보다도 폭이 좁은 제 2 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
전기 광학 물질과 기판을 갖는 전기 광학 장치로서,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에는, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되고 또한, 상기 복수의 배선에 출력 신호를 공급하는 드라이버 IC가 실장되어 이루어지고,

상기 복수의 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과 제 2 부분을 가지며,

인접하는 라우팅 배선부의 제 2 부분에서의 간격은, 제 1 부분에서의 간격보다도 넓은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
전기 광학 물질과 기판을 갖는 전기 광학 장치로서,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에 형성된 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선을 구비하고,

상기 복수의 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분보다도 폭이 좁은 제 2 부분을 가지며,

상기 배선은, 제 1 층과 당해 제 1 층보다도 저항값이 낮은 제 2 층을 갖고

상기 제 2 층은 상기 배선 중 적어도 제 2 부분에 대응하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
전기 광학 물질과 기판을 갖는 전기 광학 장치로서,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에는, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되고 또한, 상기 복수의 배선에 출력 신호를 공급하는 드라이버 IC가 실장되어 이루어지고,

상기 복수의 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분보다도 폭이 좁은 제 2 부분을 가지며,

상기 기판은, 밀봉재를 거쳐서 접착된 다른 기판과의 사이에 상기 전기 광학 물질인 액정을 유지하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
전기 광학 장치를 표시부로서 구비하는 전자 기기에 있어서,

상기 전기 광학 장치는, 전기 광학 물질과 기판을 가지며,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에는, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되고 또한, 상기 복수의 배선에 출력 신호를 공급하는 드라이버 IC가 실장되어 이루어지고,

상기 복수의 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과, 당해 제 1 부분보다도 폭이 좁은 제 2 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
전기 광학 장치를 표시부로서 구비하는 전자 기기에 있어서,

상기 전기 광학 장치는, 전기 광학 물질과 기판을 가지며,

상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에는, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되고 또한, 상기 복수의 배선에 출력 신호를 공급하는 드라이버 IC가 실장되어 이루어지고,

상기 복수의 배선의 라우팅 배선부는, 제 1 부분과 제 2 부분을 가지며,

인접하는 라우팅 배선부의 제 2 부분에서의 간격은, 제 1 부분에서의 간격보다도 넓은 것을 특징으로 하는 전자 기기.
전기 광학 물질과, 기판과, 상기 기판의 상기 전기 광학 물질이 배치되는 영역 이외의 영역에는, 라우팅 배선부를 갖는 복수의 배선이 형성되고 또한, 상기 복수의 배선에 출력 신호를 공급하는 드라이버 IC가 실장되어 이루어지고, 상기 복수의 배선의 라우팅 배선부가 제 1 부분과 당해 제 1 부분보다도 폭이 좁은 제 2 부분을 갖는 전기 광학 장치의 검사 방법에 있어서,

상기 복수의 배선에서의 라우팅 배선부 중의 상기 제 2 부분에 검사용 단자를 접촉시키는 공정과,

상기 검사용 단자를 거쳐서 상기 배선에 소정의 구동 신호를 공급하는 공정과,

상기 구동 신호의 공급에 의해서 표시된 화상에 따라 당해 전기 광학 장치의 양부를 판정하는 공정

을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사 방법.