KR100366092B1 - 감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의제조방법 - Google Patents

Abstract

감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은 복수개의 전극이 형성된 전면 기판과 배면 기판이 상호 봉착되어 화상을 구현하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것으로, 배면 기판상에 격벽용 원소재를 도포하고, 상기 원소재상에 부착될 다수개의 오목부가 형성된 감광성 필름을 준비하고, 상기 원소재상에 감광성 필름을 정렬하고, 배면 기판과 감광성 필름을 복수개의 롤러 사이로 인입하여 상호 라미네이팅시키고, 상기 감광성 필름상에 격벽의 패턴을 노광하고, 상기 감광성 필름을 현상하고, 상기 감광성 필름이 부착되어 있지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하고, 배면 기판상에 존재하는 원소재의 윗면에 잔류하는 감광성 필름을 박리하고, 상기 격벽용 원소재를 소성하여 격벽을 완성하게 된다.

Description

감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법{Dry film resist and the fabrication method for plasma display panel using the same}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 감광성 필름의 구조와, 이를 이용하여 격벽을 형성시키는 제조 방법이 개선된 감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것이다.

통상적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전극이 형성된 두 기판 사이에 밀봉된 가스를 방전시키고, 이로 인하여 발생되는 자외선에 의하여 형광체층을 여기시켜 소망하는 숫자, 문자 또는 그래픽을 구현하는 표시장치이다.

플라즈마 디스플레이 패널은 방전 셀에 인가하는 구동 전압의 형식, 예컨대 방전 형식에 따라 직류형과 교류형으로 분류하고, 전극들의 구성 형태에 따라 대향 방전형 및 면 방전형으로 구분할 수 있다.

직류형 플라즈마 디스플레이 패널은 모든 전극들이 방전 공간에 노출되는 구조로서, 대응 전극들 사이에 전하의 이동이 직접적으로 이루어진다. 반면에, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 적어도 한 전극이 유전체층에 매립되고, 대응하는 전극들 사이에 직접적인 전하의 이동이 이루어지지 않는 대신에, 유전체층 표면에 방전에 의하여 생성된 이온과 전자가 부착하여 벽전압(wall voltage)을 형성하고, 유지 전압(sustaing voltage)에 의하여 방전 유지가 가능하다.

한편, 대향 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 단위 화소마다 어드레스 전극과 주사 전극이 대향하여 마련되고, 두 전극간에 어드레싱 방전 및 유지 방전이 일어나는 방식이다. 반면에, 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 각 단위 화소마다 어드레스 전극과 그에 해당되는 공통 및 주사 전극이 마련되어 어드레싱 방전과 유지 방전이 발생하게 되는 방식이다.

도 1은 종래의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(10)을 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 전면 기판(11)과, 배면 기판(12)이 상호 대향하도록 마련된다.

상기 전면 기판(11)의 아랫면에는 스트립 형상의 공통 전극(13)과, 주사 전극(14)이 교대로 형성되어 있다. 상기 공통 및 주사 전극(13)(14)의 아랫면에는 상기 전극들(13)(14)의 라인 저항을 줄이기 위하여 버스 전극(15)이 형성되어 있다. 상기 전면 기판(11)의 아랫면에는 상기 공통 및 주사 전극(13)(14)과 버스 전극(15)을 매립하도록 제1 유전체층(16)이 형성되어 있다. 상기 제1 유전체층(16)의 아랫면에는 예컨대 산화마그네슘(MgO)막과 같은 보호막층(17)이 형성되어 있다.

한편, 상기 배면 기판(12) 상에는 상기 공통 및 주사 전극(13)(14)과 교차하도록 어드레스 전극(18)이 스트립 형태로 형성되어 있다. 상기 어드레스 전극(18)은 배면 기판(12)위에 도포된 제2 유전체층(19)에 의하여 매립되어 있다. 상기 제2 유전체층(19) 상에는 상기 전극(18)과 나란한 방향으로 스트립 형상의 격벽(100)이 형성되어 있다. 상기 격벽(100)의 내측으로는 적,녹,청색의 형광체층(110)이 도포되어 있다.

상기와 같은 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 상기 주사 전극(14)과 어드레스 전극(18) 사이에 전압이 인가되면, 예비 방전이 일어나 벽전하가 충전된다. 이상태에서, 상기 공통 및 주사 전극(13)(14) 사이에 전압이 인가되면 글로우 방전이 일어나 플라즈마가 형성되고, 이로부터 방사되는 자외선이 상기 형광체층(110)을 여기시켜 화상을 구현하게 된다.

여기서, 상기 투명 전극으로 사용되는 공통 및 주사 전극(13)(14)과 어드레스 전극(18)이나 격벽(100)은 여러 가지 방법으로 제조가 가능하다. 이중에서 감광성 필름(dry film resistor)을 이용하여 상기 언급한 기능층의 패턴을 형성시키는 방식은 비교적 정밀한 패턴화가 가능하여 여러 가지 점에서 유리하다고 할 수 있다.

도 2는 도 1의 격벽(100)이 형성되도록 기능층을 부착시킨 상태를 도시한 것이고, 도 3은 도 1의 격벽(100)의 완성된 상태를 도시한 것이다.

여기서, 상기 배면 기판(12) 상에 형성되는 어드레스 전극(18)이나 제2 유전체층(19)은 배제하고 설명하기로 한다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 배면 기판(12) 상에는 격벽(100)을 형성시키기 위한 격벽용 원소재(22)가 균일하게 도포된다. 상기 원소재(22)의 윗면에는 감광성 필름(21)이 부착된다.

그리고, 도면에는 도시되어 있지 않지만, 상기 감광성 필름(21) 상에 포토 마스크를 정렬하고, 상기 격벽(100)의 패턴을 자외선 노광 및 현상하고, 상기 감광성 필름(21)이 부착되지 않은 부분의 격벽용 원소재(22)를 제거한다. 다음으로, 상기 기판(12) 상에 형성되는 원소재(22) 상의 감광성 필름(21)을 박리하고, 상기 원소재(22)를 소성처리한다. 이에 따라, 배면 기판(12) 상에는 도 3에 도시된 바와같이 소정 간격 이격되게 격벽(100)이 형성된다.

그런데, 상기 격벽(100)을 형성시키기 위하여 감광성 필름(21)을 부착하는데에는 다음과 같은 문제점이 있다.

상기 격벽용 원소재(22) 상에 감광성 필름(21)을 부착시키기 위해서는 상기 원소재(22)가 도포된 배면 기판(12) 상에 상기 필름(21)을 정렬하고, 복수개의 롤러사이에 이들을 통과시켜 원소재(22) 상에 감광성 필름(21)을 라미네이팅시킴으로써 가능하다.

이때, 롤러에 가해지는 압력이 상기 감광성 필름(21)에 균일하게 전달되지 않게 되면, 상기 원소재(22)의 윗면에 감광성 필름(21)이 제대로 부착되지 않고, 국부적으로 기포(23)를 발생시킨다.

이러한 기포(23)는 노광 및 현상시 격벽(100)용 패턴을 정확하게 패턴화시키지 못하게 되어 소망하는 형상의 격벽(100)을 형성시킬 수 없게 되어 플라즈마 디스플레이 패널(10)의 방전 공간을 한정하거나 크로스 토크를 방지하는데 악영향을 끼치게된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 공기 통로부가 형성된 감광성 필름을 이용하여 격벽의 형성이 가능한 감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 일부를 개략적으로 도시한 단면도,

도 2는 도 1의 격벽을 형성시키도록 기능층이 적층된 상태를 도시한 단면도,

도 3은 도 1의 격벽이 완성된 상태를 도시한 단면도,

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 일부 절제 도시한 분리 사시도,

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 감광성 필름을 도시한 사시도,

도 6a 내지 도 6g는 도 4의 격벽을 형성시키는 제조 공정을 도시한 것으로서,

도 6a는 배면 기판상에 격벽재가 인쇄된 이후의 상태를 도시한 단면도,

도 6b는 6a의 격벽재상에 감광성 필름을 안착된 이후의 상태를 도시한 단면도,

도 6c는 도 6b의 격벽재상에 감광성 필름이 부착된 이후의 상태를 도시한 단면도,

도 6d는 도 6c의 감광성 필름상에 노광하는 상태를 도시한 단면도,

도 6e는 도 6d의 감광성 필름을 현상한 이후의 상태를 도시한 단면도,

도 6f는 도 6e의 기판상에 샌드 블라스트 공정을 수행한 이후의 상태를 도시한 단면도,

도 6g는 도 4의 격벽이 완성된 상태를 도시한 단면도,

도 7은 도 6c의 감광성 필름이 격백재에 부착되는 상태를 확대 도시한 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명>

10,40...플라즈마 디스플레이 패널

11,41...전면 기판 12,42...배면 기판

13,43...공통 전극 14,44...주사 전극

15,45...버스 전극 16,46...제1 유전체층

17,47...보호막층 18,48...어드레스 전극

19,49...제2 유전체층 21,50...감광성 필름

22,62...격벽용 원소재 23...기포

51...오목부 51a...윗부분

51b...바닥면 51c...구배부

61,63...롤러 64...포토 마스크

100,400...격벽 110,410...형광체층

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 감광성 필름은,

평판표시장치의 격벽과 같은 형상의 패턴을 형성시키기 위한 필름에 관한 것으로,

상기 필름의 일 표면으로부터 소정 깊이를 가진 다수개의 오목부가 형성된 것을 구비하는 것을 특징으로 한다. ]

또한, 상기 오목부는 상기 필름의 표면으로부터 오목부가 형성된 바닥면에 이르기까지 소정 각도 경사지게 구배져 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 측면에 의하면,

복수개의 전극이 형성된 전면 기판과 배면 기판이 상호 봉착되어 화상을 구현하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것으로,

배면 기판상에 격벽용 원소재를 균일하게 도포하는 단계;

상기 격벽용 원소재상에 부착될 다수개의 오목부가 형성된 감광성 필름을 준비하는 단계;

상기 격벽용 원소재상에 상기 감광성 필름을 정렬하는 단계;

상기 격벽용 원소재가 형성된 배면 기판과 감광성 필름을 복수개의 롤러 사이로 인입하여 상호 라미네이팅하는 단계;

상기 감광성 필름상에 포토 마스크를 설치하여 격벽의 패턴을 노광하는 단계;

상기 감광성 필름을 현상하는 단계;

상기 감광성 필름이 부착되어 있지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하는단계;

상기 배면 기판상에 존재하는 격벽용 원소재의 윗면에 잔류하는 감광성 필름을 박리하는 단계; 및

상기 격벽용 원소재를 소성하여 격벽을 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 필름을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공한다.

또한, 상기 격벽용 원소재상에 부착될 감광성 필름을 준비하는 단계에서는,

상기 롤러의 가압력으로 상기 격벽용 원소재에 접촉하는 감광성 필름에 형성된 오목부가 확장시 그 내부에 존재하는 공기의 흐름이 원할하도록 상기 감광성 필름의 표면에 해당되는 오목부의 윗부분부터 그 바닥면까지 소정 각도 경사지게 구배부를 형성하는 것을 특징으로 한다.

더욱이, 상기 격벽용 원소재상에 상기 감광성 필름을 정렬하는 단계에서는,

상기 감광성 필름의 오목부가 상기 원소재의 표면에 대향되도록 정렬하는 것을 특징으로 한다.

게다가, 상기 감광성 필름을 롤러 사이로 라미네이팅하는 단계에서는,

상기 오목부가 롤러의 회전력에 의하여 확장되어 롤러를 통과한 이후에는 그 내부에 존재하는 공기가 완전 제거되어 상기 격벽용 원소재상에 완전 밀착가능하게 롤러의 가압시 상기 감광성 필름과 격벽용 원소재가 접촉하는 면에는 공기 통로부가 형성되는 것을 특징으로 한다.

나아가, 상기 감광성 필름이 부착되어 있지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하는 단계에서는,

그 전면에 고압의 연마제를 내뿜는 샌드 블라스트법으로 상기 격벽용 원소재를 제거하는 것을 특징으로 한다.

이하에서 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시예에 따른 감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 상세하게 설명하고자 한다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(40)을 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(40)은 전면 기판(41)과, 배면 기판(42)이 마련된다.

상기 전면 기판(41)의 아랫면에는 스트립 형태로 된 공통 전극(43)과, 주사 전극(44)이 교대로 형성된다. 상기 공통 및 주사 전극(43)(44)의 아랫면 일 측에는 상기 전극(43)(44)들의 라인 저항을 줄이기 위하여 상기 전극(43)(44)들보다 폭이 좁도록 금속재로 된 버스 전극(45)이 형성된다. 상기 전면 기판(41)의 아랫면에는 상기 공통 및 주사 전극(43)(44)과, 버스 전극(45)을 매립하기 위하여 투명한 제1 유전체층(46)이 형성된다. 상기 제1 유전체층(46)의 아랫면에는 이를 보호하기 위하여 산화마그네슘막과 같은 보호막층(47)이 덮혀져 있다.

한편, 상기 전면 기판(41)과 대향되게 설치되는 배면 기판(42) 상에는 상기 공통 및 주사 전극(43)(44)들과 직교하는 형태로 된 어드레스 전극(48)이 스트립 형태로 설치된다. 상기 어드레스 전극(48)은 제2 유전체층(49)에 의하여 매립될 수도 있다.

그리고, 상기 제2 유전체층(49)의 윗면에는 소정 간격 이격되게 설치되어 방전 공간을 구획하고, 전극들간의 크로스 토크를 방지하기 위하여 격벽(400)이 설치된다. 상기 격벽(400)의 내측으로는 적,녹,청색의 형광체층(410)이 형성된다.

본 발명의 특징에 따르면, 투명 전극으로 사용되는 공통 및 주사 전극(43)(44)과, 어드레스 전극(48)이나 격벽(400)은 공기 통로부를 가지는 감광성 필름을 이용하여 형상의 손상없이 형성시키는 것이 가능하다.

도 5는 본 발명의 일 예에 따른 감광성 필름(50)을 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 감광성 필름(50)은 박막의 필름형태이고, 그 일면에는 전면에 걸쳐서 다수개의 오목부(51)가 소정 간격 이격되게 형성되어 있다. 이때, 상기 오목부(51)는 여러 가지 형상으로 형성이 가능하다.

여기서는, 상기 오목부(51)가 원형을 이루고 있다.

보다 상세하게는, 상기 필름(50)의 표면(50a)에 해당되는 오목부(51)의 윗부분(51a)으로부터 상기 오목부(51)의 바닥면(51b)에 이르기까지 소정의 경사를 지닌 구배부(51c)를 가지고 있다. 이는 추후 기술될 라미네이팅시 공기의 흐름을 보다 원할하게 하기 위해서이다.

도 6a 내지 도 6g는 이러한 감광성 필름(50)을 이용하여 도 4의 격벽(400)을 형성시키는 제조 공정을 단계별로 도시한 것이다.

이를 참조하여, 격벽(400)을 형성시키는 과정을 설명하면 다음과 같다.

여기서는, 상기 배면 기판(42,도 4참조) 상에 형성되는 어드레스 전극(48)이나 제2 유전체층(49)의 형성이 배제된 상태에서 설명하기로 한다.

우선, 투명한 유리로 된 배면 기판(42)이 마련된 다음에, 상기 배면 기판(42)의 윗면에는 소정 두께를 가지는 페이스트 형태의 격벽용 원소재(62)를 균일하게 도포한다.(도 6a)

다음으로, 상기 격벽용 원소재(62) 상에는 격벽(400)을 형성시키기 위하여 패턴을 형성시킬 감광성 필름(50)을 부착하게 된다.

즉, 상기 원소재(62)가 형성된 배면 기판(42) 상에 감광성 필름(50)을 정렬하고, 이를 복수개의 롤러(61)(63) 사이를 통과시켜 상호 라미네이팅 시킨다(도 6b,도 6c)

이때, 상기 롤러(61)(63)는 라미네이팅시 상기 감광성 필름(50)과 원소재(62)와의 경계면으로부터 기포의 발생을 방지하기 위하여 소정의 온도로 가열된 상태를 유지하고 있다.

도 6b에 도시된 것처럼, 상기 감광성 필름(50)이 격벽재(62)의 윗면에 부착하여 인입되기 전에는 상술한 바와 같이 상기 격벽재(62)의 대응되는 필름(50)면에는 오목부(51,도 5참조)가 형성되어 있는 상태이다.

이어서, 회전하는 롤러(61)(63) 사이를 통과한 이후에는 도 6c에서 보는 바와 같이 상기 필름(50)에 형성된 오목부(51)는 상기 롤러(61)(63)로부터 가해지는 회전력에 의하여 완전히 제거되고, 상기 감광성 필름(50)은 상기 격벽재(62)의 표면에 기포 발생없이 완전 밀폐되어 부착된다. 이에 대한 것은 도 7에서 보다 상세하게 언급될 것이다.

다음으로, 상기 감광성 필름(50) 상에 포토 마스크(64)를 정렬하고, 상기 필름(50)에 상기 격벽(400)의 패턴을 자외선 노광하게 된다.(도 6d) 노광된 부분은 화학적으로 안정화가 된다.

노광이 완료되면, 상기 감광성 필름(50)을 현상하여 격벽(400)의 패턴이 상기 필름(50)에 형성된다.(도 6e)

이어서, 현상이 완료된 기판(42) 상에는 예컨대 샌드 블라스트법(sand blast method) 공정을 수행하게 된다.

즉, 상기 기판(42)의 상부에서 샌드 블라스트 장치를 이용하여 그 전면에 고압으로 연마제를 내뿜으면 그 압력으로 인하여 상기 감광성 필름(50)이 부착되지 않은 부분의 격벽용 원소재(62)는 제거되고, 상기 필름(50)이 부착된 부분은 그대로 존재하게 된다.(도 6f)

다음으로, 상기 존재하는 격벽용 원소재(62)의 상면에 부착되어 있는 감광성 필름(50)을 박리하고, 상기 격벽용 원소재(62)를 소성하면 소정 간격 이격되게 형성된 격벽(400)이 완성된다.(도 6g)

도 7은 상기 감광성 필름(50)이 격벽용 원소재(62) 상에 라미네이팅되는 상태를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 감광성 필름(50)이 상기 격벽용 원소재(62)와 접촉하는 표면에 해당되는 부위에는 상술한 바와 같이 다수개의 오목부(51)가 형성되어 있다.

감광성 필름(50)이 원소재(62)와 면접촉된 상태에서 롤러(61)를 통과하게 되면, 상기 오목부(51)는 롤러(61)의 회전력에 의하여 상기 롤러(61)를 통과한 이후에는 완전하게 제거가 된다.

보다 상세하게는, 상기 감광성 필름(50)은 롤러(61)에 인접하게 되면 상기 롤러(61)의 회전력에 의하여 가압력을 받게 되고, 이에 따라, 상기 격벽용 원소재(62)에 대응되는 면에 형성되어 있는 오목부(51)는 그 윗면으로부터 압축력을 받게 되어 늘어지게 된다.

이때, 상기 오목부(51) 내에는 소정의 공기가 포함되어 있는 상태인데, 이 공기는 압축력에 의하여 도면에 도시된 A처럼 오목부(51)로부터 빠져나와 필름(50)의 표면으로 이동하여 오목부(51)를 확장시켜 최종적으로는 오목부(51) 내로부터 완전 제거된다. 이에 따라, 상기 롤러(61)를 통과한 이후의 감광성 필름(50)은 상기 격벽용 원소재(62) 상에 완전 밀폐가능하게 부착이 가능하게 된다.

또한, 상기 오목부(51)는 그 윗부분(51a)으로부터 바닥면(51b)에 이르기까지 소정의 경사가 진 구배부(51c)를 가지고 있기 때문에 공기의 흐름이 보다 원할하게 이루어질 수 있는 공기 통로부를 제공하게 된다.

이상의 설명에서와 같이 본 발명의 감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은 다수개의 오목부가 형성된 감광성 필름을 사용하여 격벽이나 투명 전극을 형성시키게 됨으로써, 격벽이나 투명 전극의 원소재상에 부착시 기포의 발생없이 완전 밀폐된 상태에서 부착이 가능하게 되어 소망하는 형상의 손상없이 제조가 가능하다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

1. 평판표시장치의 격벽과 같은 형상의 패턴을 형성시키기 위한 필름에 관한 것으로서,

   상기 필름의 일표면에 해당되는 윗부분으로부터 바닥면까지 구배진 오목부가 형성된 것을 특징으로 하는 감광성 필름.
2. 삭제
3. 복수개의 전극이 형성된 전면 기판과 배면 기판이 상호 봉착되어 화상을 구현하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것으로서,

   배면 기판상에 격벽용 원소재를 균일하게 도포하는 단계;

   상기 격벽용 원소재상에 부착될 오목부가 형성된 감광성 필름을 준비하는 단계;

   상기 감광성 필름의 오목부가 원소재의 표면에 대향하도록, 상기 격벽용 원소재상에 상기 감광성 필름을 정렬하는 단계;

   상기 격벽용 원소재가 형성된 배면 기판과 감광성 필름을 복수개의 롤러 사이로 인입하여 상호 라미네이팅하는 단계;

   상기 감광성 필름상에 포토 마스크를 설치하여 격벽의 패턴을 노광하는 단계;

   상기 감광성 필름을 현상하는 단계;

   상기 감광성 필름이 부착되어 있지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하는 단계;

   상기 배면 기판상에 존재하는 격벽용 원소재의 윗면에 잔류하는 감광성 필름을 박리하는 단계; 및

   상기 격벽용 원소재를 소성하여 격벽을 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 필름을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
4. 제3항에 있어서,

   상기 격벽용 원소재상에 부착될 감광성 필름을 준비하는 단계에서는,

   상기 롤러의 가압력으로 상기 격벽용 원소재에 접촉하는 감광성 필름에 형성된 오목부가 확장시 그 내부에 존재하는 공기의 흐름이 원할하도록 상기 감광성 필름의 표면에 해당되는 오목부의 윗부분부터 그 바닥면까지 경사진 구배부를 형성하는 것을 특징으로 하는 감광성 필름을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
5. 삭제
6. 제3항에 있어서,

   상기 감광성 필름을 롤러 사이로 라미네이팅하는 단계에서는,

   상기 오목부가 롤러의 회전력에 의하여 확장되어 롤러를 통과한 이후에는 그 내부에 존재하는 공기가 완전 제거되어 상기 격벽용 원소재상에 완전 밀착가능하게 롤러의 가압시 상기 감광성 필름과 격벽용 원소재가 접촉하는 면에는 공기 통로부가 형성되는 것을 특징으로 하는 감광성 필름을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
7. 제3항에 있어서,

   상기 감광성 필름이 부착되어 있지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하는 단계에서는,

   그 전면에 고압의 연마제를 내뿜는 샌드 블라스트법으로 상기 격벽용 원소재를 제거하는 것을 특징으로 하는 감광성 필름을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.