KR100366092B1 - Dry film resist and the fabrication method for plasma display panel using the same - Google Patents
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Abstract
감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은 복수개의 전극이 형성된 전면 기판과 배면 기판이 상호 봉착되어 화상을 구현하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것으로, 배면 기판상에 격벽용 원소재를 도포하고, 상기 원소재상에 부착될 다수개의 오목부가 형성된 감광성 필름을 준비하고, 상기 원소재상에 감광성 필름을 정렬하고, 배면 기판과 감광성 필름을 복수개의 롤러 사이로 인입하여 상호 라미네이팅시키고, 상기 감광성 필름상에 격벽의 패턴을 노광하고, 상기 감광성 필름을 현상하고, 상기 감광성 필름이 부착되어 있지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하고, 배면 기판상에 존재하는 원소재의 윗면에 잔류하는 감광성 필름을 박리하고, 상기 격벽용 원소재를 소성하여 격벽을 완성하게 된다.A photosensitive film and a method of manufacturing a plasma display panel using the same are disclosed. The present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel in which a front substrate and a back substrate on which a plurality of electrodes are formed are sealed to each other to realize an image. A photosensitive film having two recesses formed thereon, aligning the photosensitive film on the raw material, introducing the back substrate and the photosensitive film through a plurality of rollers, laminating each other, exposing a pattern of a partition on the photosensitive film, and exposing the photosensitive film. The film is developed, the partition material of the part where the photosensitive film is not attached is removed, the photosensitive film remaining on the upper surface of the raw material present on the back substrate is peeled off, and the partition material is baked. Complete the bulkhead.
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 감광성 필름의 구조와, 이를 이용하여 격벽을 형성시키는 제조 방법이 개선된 감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a photosensitive film having an improved structure of a photosensitive film, a manufacturing method for forming a partition wall using the same, and a method of manufacturing a plasma display panel using the same.
통상적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전극이 형성된 두 기판 사이에 밀봉된 가스를 방전시키고, 이로 인하여 발생되는 자외선에 의하여 형광체층을 여기시켜 소망하는 숫자, 문자 또는 그래픽을 구현하는 표시장치이다.In general, a plasma display panel is a display device that discharges a sealed gas between two substrates on which electrodes are formed, and excites a phosphor layer by ultraviolet rays generated thereby to implement desired numbers, letters, or graphics.
플라즈마 디스플레이 패널은 방전 셀에 인가하는 구동 전압의 형식, 예컨대 방전 형식에 따라 직류형과 교류형으로 분류하고, 전극들의 구성 형태에 따라 대향 방전형 및 면 방전형으로 구분할 수 있다.The plasma display panel may be classified into a direct current type and an alternating current type according to a type of driving voltage applied to a discharge cell, for example, a discharge type, and may be classified into a counter discharge type and a surface discharge type according to the configuration of the electrodes.
직류형 플라즈마 디스플레이 패널은 모든 전극들이 방전 공간에 노출되는 구조로서, 대응 전극들 사이에 전하의 이동이 직접적으로 이루어진다. 반면에, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 적어도 한 전극이 유전체층에 매립되고, 대응하는 전극들 사이에 직접적인 전하의 이동이 이루어지지 않는 대신에, 유전체층 표면에 방전에 의하여 생성된 이온과 전자가 부착하여 벽전압(wall voltage)을 형성하고, 유지 전압(sustaing voltage)에 의하여 방전 유지가 가능하다.The DC plasma display panel has a structure in which all electrodes are exposed to a discharge space, and charges are directly transferred between corresponding electrodes. On the other hand, in the AC plasma display panel, at least one electrode is embedded in the dielectric layer, and instead of direct charge transfer between the corresponding electrodes, the ions and electrons generated by the discharge adhere to the surface of the dielectric layer to form a wall. A wall voltage is formed and discharge can be maintained by a sustaining voltage.
한편, 대향 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 단위 화소마다 어드레스 전극과 주사 전극이 대향하여 마련되고, 두 전극간에 어드레싱 방전 및 유지 방전이 일어나는 방식이다. 반면에, 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 각 단위 화소마다 어드레스 전극과 그에 해당되는 공통 및 주사 전극이 마련되어 어드레싱 방전과 유지 방전이 발생하게 되는 방식이다.On the other hand, in the opposite discharge type plasma display panel, an address electrode and a scan electrode are provided to face each unit pixel, and addressing discharge and sustain discharge are generated between the two electrodes. On the other hand, in the surface discharge plasma display panel, an address electrode and a common and scan electrode corresponding to each unit pixel are provided to generate addressing discharge and sustain discharge.
도 1은 종래의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(10)을 도시한 것이다.1 illustrates a plasma display panel 10 according to an exemplary embodiment.
도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 전면 기판(11)과, 배면 기판(12)이 상호 대향하도록 마련된다.Referring to the drawings, the plasma display panel 10 is provided such that the front substrate 11 and the rear substrate 12 face each other.
상기 전면 기판(11)의 아랫면에는 스트립 형상의 공통 전극(13)과, 주사 전극(14)이 교대로 형성되어 있다. 상기 공통 및 주사 전극(13)(14)의 아랫면에는 상기 전극들(13)(14)의 라인 저항을 줄이기 위하여 버스 전극(15)이 형성되어 있다. 상기 전면 기판(11)의 아랫면에는 상기 공통 및 주사 전극(13)(14)과 버스 전극(15)을 매립하도록 제1 유전체층(16)이 형성되어 있다. 상기 제1 유전체층(16)의 아랫면에는 예컨대 산화마그네슘(MgO)막과 같은 보호막층(17)이 형성되어 있다.On the lower surface of the front substrate 11, strip-shaped common electrodes 13 and scan electrodes 14 are alternately formed. Bus electrodes 15 are formed on the lower surfaces of the common and scan electrodes 13 and 14 to reduce the line resistance of the electrodes 13 and 14. The first dielectric layer 16 is formed on the bottom surface of the front substrate 11 to fill the common and scan electrodes 13 and 14 and the bus electrode 15. On the lower surface of the first dielectric layer 16, a protective film layer 17, such as a magnesium oxide (MgO) film, is formed.
한편, 상기 배면 기판(12) 상에는 상기 공통 및 주사 전극(13)(14)과 교차하도록 어드레스 전극(18)이 스트립 형태로 형성되어 있다. 상기 어드레스 전극(18)은 배면 기판(12)위에 도포된 제2 유전체층(19)에 의하여 매립되어 있다. 상기 제2 유전체층(19) 상에는 상기 전극(18)과 나란한 방향으로 스트립 형상의 격벽(100)이 형성되어 있다. 상기 격벽(100)의 내측으로는 적,녹,청색의 형광체층(110)이 도포되어 있다.On the other hand, the address electrode 18 is formed in a strip shape on the rear substrate 12 so as to intersect the common and scan electrodes 13 and 14. The address electrode 18 is embedded by a second dielectric layer 19 coated on the back substrate 12. A strip-shaped partition wall 100 is formed on the second dielectric layer 19 in a direction parallel to the electrode 18. The phosphor layer 110 of red, green, and blue is coated inside the partition wall 100.
상기와 같은 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 상기 주사 전극(14)과 어드레스 전극(18) 사이에 전압이 인가되면, 예비 방전이 일어나 벽전하가 충전된다. 이상태에서, 상기 공통 및 주사 전극(13)(14) 사이에 전압이 인가되면 글로우 방전이 일어나 플라즈마가 형성되고, 이로부터 방사되는 자외선이 상기 형광체층(110)을 여기시켜 화상을 구현하게 된다.When the voltage is applied between the scan electrode 14 and the address electrode 18 in the plasma display panel 10, preliminary discharge occurs to charge the wall charge. In this state, when a voltage is applied between the common and scan electrodes 13 and 14, a glow discharge occurs to form a plasma, and the ultraviolet rays emitted therefrom excite the phosphor layer 110 to implement an image.
여기서, 상기 투명 전극으로 사용되는 공통 및 주사 전극(13)(14)과 어드레스 전극(18)이나 격벽(100)은 여러 가지 방법으로 제조가 가능하다. 이중에서 감광성 필름(dry film resistor)을 이용하여 상기 언급한 기능층의 패턴을 형성시키는 방식은 비교적 정밀한 패턴화가 가능하여 여러 가지 점에서 유리하다고 할 수 있다.Here, the common and scan electrodes 13 and 14, the address electrode 18, and the partition wall 100 used as the transparent electrode may be manufactured by various methods. The method of forming the pattern of the above-mentioned functional layer by using a dry film resistor in the above can be said to be advantageous in many ways because it can be relatively precise patterning.
도 2는 도 1의 격벽(100)이 형성되도록 기능층을 부착시킨 상태를 도시한 것이고, 도 3은 도 1의 격벽(100)의 완성된 상태를 도시한 것이다.2 illustrates a state in which a functional layer is attached to form the partition wall 100 of FIG. 1, and FIG. 3 illustrates a completed state of the partition wall 100 of FIG. 1.
여기서, 상기 배면 기판(12) 상에 형성되는 어드레스 전극(18)이나 제2 유전체층(19)은 배제하고 설명하기로 한다.Here, the address electrode 18 or the second dielectric layer 19 formed on the back substrate 12 will be omitted.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 배면 기판(12) 상에는 격벽(100)을 형성시키기 위한 격벽용 원소재(22)가 균일하게 도포된다. 상기 원소재(22)의 윗면에는 감광성 필름(21)이 부착된다.2 and 3, on the rear substrate 12, a partition material 22 for forming the partition wall 100 is uniformly coated. The photosensitive film 21 is attached to the upper surface of the raw material 22.
그리고, 도면에는 도시되어 있지 않지만, 상기 감광성 필름(21) 상에 포토 마스크를 정렬하고, 상기 격벽(100)의 패턴을 자외선 노광 및 현상하고, 상기 감광성 필름(21)이 부착되지 않은 부분의 격벽용 원소재(22)를 제거한다. 다음으로, 상기 기판(12) 상에 형성되는 원소재(22) 상의 감광성 필름(21)을 박리하고, 상기 원소재(22)를 소성처리한다. 이에 따라, 배면 기판(12) 상에는 도 3에 도시된 바와같이 소정 간격 이격되게 격벽(100)이 형성된다.And although not shown in the figure, the photomask is aligned on the photosensitive film 21, the pattern of the partition wall 100 is exposed to ultraviolet rays and developed, and the partition wall of the portion where the photosensitive film 21 is not attached. The raw material material 22 is removed. Next, the photosensitive film 21 on the raw material 22 formed on the said board | substrate 12 is peeled off, and the raw material 22 is baked. Accordingly, the partition wall 100 is formed on the rear substrate 12 to be spaced apart by a predetermined interval as shown in FIG. 3.
그런데, 상기 격벽(100)을 형성시키기 위하여 감광성 필름(21)을 부착하는데에는 다음과 같은 문제점이 있다.However, there are the following problems in attaching the photosensitive film 21 to form the partition wall 100.
상기 격벽용 원소재(22) 상에 감광성 필름(21)을 부착시키기 위해서는 상기 원소재(22)가 도포된 배면 기판(12) 상에 상기 필름(21)을 정렬하고, 복수개의 롤러사이에 이들을 통과시켜 원소재(22) 상에 감광성 필름(21)을 라미네이팅시킴으로써 가능하다.In order to attach the photosensitive film 21 on the partition material 22, the film 21 is aligned on the back substrate 12 to which the material 22 is coated, and the film 21 is interposed between the plurality of rollers. It is possible by passing through and laminating the photosensitive film 21 on the raw material 22.
이때, 롤러에 가해지는 압력이 상기 감광성 필름(21)에 균일하게 전달되지 않게 되면, 상기 원소재(22)의 윗면에 감광성 필름(21)이 제대로 부착되지 않고, 국부적으로 기포(23)를 발생시킨다.At this time, when the pressure applied to the rollers is not uniformly transmitted to the photosensitive film 21, the photosensitive film 21 is not properly adhered to the upper surface of the raw material 22, and bubbles 23 are generated locally. Let's do it.
이러한 기포(23)는 노광 및 현상시 격벽(100)용 패턴을 정확하게 패턴화시키지 못하게 되어 소망하는 형상의 격벽(100)을 형성시킬 수 없게 되어 플라즈마 디스플레이 패널(10)의 방전 공간을 한정하거나 크로스 토크를 방지하는데 악영향을 끼치게된다.Such bubbles 23 do not accurately pattern the pattern for the barrier rib 100 during exposure and development, and thus cannot form the barrier rib 100 having a desired shape to limit or cross the discharge space of the plasma display panel 10. This will adversely affect the torque.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 공기 통로부가 형성된 감광성 필름을 이용하여 격벽의 형성이 가능한 감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a photosensitive film that can form a partition wall using a photosensitive film having an air passage and a method of manufacturing a plasma display panel using the same.
도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 일부를 개략적으로 도시한 단면도,1 is a cross-sectional view schematically showing a part of a conventional plasma display panel;
도 2는 도 1의 격벽을 형성시키도록 기능층이 적층된 상태를 도시한 단면도,FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a state in which functional layers are stacked to form the partition of FIG. 1;
도 3은 도 1의 격벽이 완성된 상태를 도시한 단면도,3 is a cross-sectional view showing a state in which the partition of FIG. 1 is completed;
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 일부 절제 도시한 분리 사시도,4 is an exploded perspective view illustrating a partial ablation of the plasma display panel according to an embodiment of the present invention;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 감광성 필름을 도시한 사시도,5 is a perspective view showing a photosensitive film according to an embodiment of the present invention,
도 6a 내지 도 6g는 도 4의 격벽을 형성시키는 제조 공정을 도시한 것으로서,6A to 6G illustrate a manufacturing process for forming the partition wall of FIG. 4.
도 6a는 배면 기판상에 격벽재가 인쇄된 이후의 상태를 도시한 단면도,6A is a cross-sectional view illustrating a state after a partition wall material is printed on a rear substrate;
도 6b는 6a의 격벽재상에 감광성 필름을 안착된 이후의 상태를 도시한 단면도,6B is a cross-sectional view showing a state after the photosensitive film is seated on the partition wall material of 6a;
도 6c는 도 6b의 격벽재상에 감광성 필름이 부착된 이후의 상태를 도시한 단면도,6C is a cross-sectional view illustrating a state after the photosensitive film is attached to the partition member of FIG. 6B;
도 6d는 도 6c의 감광성 필름상에 노광하는 상태를 도시한 단면도,6D is a cross-sectional view showing a state of exposure on the photosensitive film of FIG. 6C;
도 6e는 도 6d의 감광성 필름을 현상한 이후의 상태를 도시한 단면도,6E is a cross-sectional view illustrating a state after developing the photosensitive film of FIG. 6D;
도 6f는 도 6e의 기판상에 샌드 블라스트 공정을 수행한 이후의 상태를 도시한 단면도,6F is a cross-sectional view showing a state after performing a sand blast process on the substrate of FIG. 6E;
도 6g는 도 4의 격벽이 완성된 상태를 도시한 단면도,6G is a cross-sectional view illustrating a state in which the partition wall of FIG. 4 is completed;
도 7은 도 6c의 감광성 필름이 격백재에 부착되는 상태를 확대 도시한 단면도.7 is an enlarged cross-sectional view illustrating a state in which the photosensitive film of FIG. 6C is attached to the diaphragm.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명><Brief description of symbols for main parts of the drawings>
10,40...플라즈마 디스플레이 패널10,40 ... plasma display panel
11,41...전면 기판 12,42...배면 기판11,41 ... front substrate 12,42 ... back substrate
13,43...공통 전극 14,44...주사 전극13,43 ... common electrode 14,44 ... scan electrode
15,45...버스 전극 16,46...제1 유전체층15,45 ... bus electrode 16,46 ... first dielectric layer
17,47...보호막층 18,48...어드레스 전극17,47 ... Protective layer 18,48 ... Address electrode
19,49...제2 유전체층 21,50...감광성 필름19,49 ... second dielectric layer 21,50 ... photosensitive film
22,62...격벽용 원소재 23...기포22, 62.Bulk bulk material 23 ... Bubble
51...오목부 51a...윗부분51 concave part 51a upper part
51b...바닥면 51c...구배부51b ... bottom 51c ... slope
61,63...롤러 64...포토 마스크61,63 ... Roller 64 ... Photo Mask
100,400...격벽 110,410...형광체층100,400 ... bulk 110,410 ... phosphor layer
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 감광성 필름은,In order to achieve the above object, the photosensitive film according to an aspect of the present invention,
평판표시장치의 격벽과 같은 형상의 패턴을 형성시키기 위한 필름에 관한 것으로,The present invention relates to a film for forming a pattern having the same shape as a partition wall of a flat panel display device.
상기 필름의 일 표면으로부터 소정 깊이를 가진 다수개의 오목부가 형성된 것을 구비하는 것을 특징으로 한다. ]And a plurality of recesses having a predetermined depth from one surface of the film. ]
또한, 상기 오목부는 상기 필름의 표면으로부터 오목부가 형성된 바닥면에 이르기까지 소정 각도 경사지게 구배져 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the recessed portion is inclined at a predetermined angle from the surface of the film to the bottom surface on which the recessed portion is formed.
본 발명의 다른 측면에 의하면,According to another aspect of the present invention,
복수개의 전극이 형성된 전면 기판과 배면 기판이 상호 봉착되어 화상을 구현하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것으로,The present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel in which a front substrate and a back substrate on which a plurality of electrodes are formed are sealed to each other to implement an image.
배면 기판상에 격벽용 원소재를 균일하게 도포하는 단계;Uniformly applying a barrier material on the rear substrate;
상기 격벽용 원소재상에 부착될 다수개의 오목부가 형성된 감광성 필름을 준비하는 단계;Preparing a photosensitive film having a plurality of recesses formed on the partition material;
상기 격벽용 원소재상에 상기 감광성 필름을 정렬하는 단계;Arranging the photosensitive film on the partition material;
상기 격벽용 원소재가 형성된 배면 기판과 감광성 필름을 복수개의 롤러 사이로 인입하여 상호 라미네이팅하는 단계;Laminating the rear substrate and the photosensitive film on which the bulk material for the barrier material is formed to be laminated between the plurality of rollers;
상기 감광성 필름상에 포토 마스크를 설치하여 격벽의 패턴을 노광하는 단계;Exposing a pattern of a partition by installing a photo mask on the photosensitive film;
상기 감광성 필름을 현상하는 단계;Developing the photosensitive film;
상기 감광성 필름이 부착되어 있지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하는단계;Removing the bulk material for the partition in the portion where the photosensitive film is not attached;
상기 배면 기판상에 존재하는 격벽용 원소재의 윗면에 잔류하는 감광성 필름을 박리하는 단계; 및Peeling off the photosensitive film remaining on the upper surface of the barrier rib material existing on the rear substrate; And
상기 격벽용 원소재를 소성하여 격벽을 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 필름을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공한다.Comprising the step of firing the partition material to complete the partition provides a method of manufacturing a plasma display panel using a photosensitive film comprising a.
또한, 상기 격벽용 원소재상에 부착될 감광성 필름을 준비하는 단계에서는,In addition, in the step of preparing a photosensitive film to be attached on the partition material,
상기 롤러의 가압력으로 상기 격벽용 원소재에 접촉하는 감광성 필름에 형성된 오목부가 확장시 그 내부에 존재하는 공기의 흐름이 원할하도록 상기 감광성 필름의 표면에 해당되는 오목부의 윗부분부터 그 바닥면까지 소정 각도 경사지게 구배부를 형성하는 것을 특징으로 한다.A predetermined angle from the upper part of the concave portion corresponding to the surface of the photosensitive film to the bottom surface of the concave portion formed on the photosensitive film to expand the concave portion formed in the photosensitive film contacting the partition material by the pressing force of the roller is desired. It characterized by forming a gradient part inclined.
더욱이, 상기 격벽용 원소재상에 상기 감광성 필름을 정렬하는 단계에서는,Furthermore, in the step of aligning the photosensitive film on the partition material,
상기 감광성 필름의 오목부가 상기 원소재의 표면에 대향되도록 정렬하는 것을 특징으로 한다.The concave portion of the photosensitive film is characterized in that the alignment so as to face the surface of the raw material.
게다가, 상기 감광성 필름을 롤러 사이로 라미네이팅하는 단계에서는,In addition, in the step of laminating the photosensitive film between rollers,
상기 오목부가 롤러의 회전력에 의하여 확장되어 롤러를 통과한 이후에는 그 내부에 존재하는 공기가 완전 제거되어 상기 격벽용 원소재상에 완전 밀착가능하게 롤러의 가압시 상기 감광성 필름과 격벽용 원소재가 접촉하는 면에는 공기 통로부가 형성되는 것을 특징으로 한다.After the concave portion is extended by the rotational force of the roller and passes through the roller, the air existing therein is completely removed so that the photosensitive film and the barrier material are contacted when the roller is pressed in such a way as to be able to be completely adhered to the partition material. The air passage portion is formed on the surface.
나아가, 상기 감광성 필름이 부착되어 있지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하는 단계에서는,Further, in the step of removing the bulk material for the partition of the portion where the photosensitive film is not attached,
그 전면에 고압의 연마제를 내뿜는 샌드 블라스트법으로 상기 격벽용 원소재를 제거하는 것을 특징으로 한다.The said bulk material is removed by the sandblasting method which sprays a high pressure abrasive on the front surface.
이하에서 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시예에 따른 감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, a photosensitive film and a method of manufacturing a plasma display panel using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(40)을 도시한 것이다.4 illustrates a plasma display panel 40 according to an embodiment of the present invention.
도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(40)은 전면 기판(41)과, 배면 기판(42)이 마련된다.Referring to the drawings, the plasma display panel 40 includes a front substrate 41 and a rear substrate 42.
상기 전면 기판(41)의 아랫면에는 스트립 형태로 된 공통 전극(43)과, 주사 전극(44)이 교대로 형성된다. 상기 공통 및 주사 전극(43)(44)의 아랫면 일 측에는 상기 전극(43)(44)들의 라인 저항을 줄이기 위하여 상기 전극(43)(44)들보다 폭이 좁도록 금속재로 된 버스 전극(45)이 형성된다. 상기 전면 기판(41)의 아랫면에는 상기 공통 및 주사 전극(43)(44)과, 버스 전극(45)을 매립하기 위하여 투명한 제1 유전체층(46)이 형성된다. 상기 제1 유전체층(46)의 아랫면에는 이를 보호하기 위하여 산화마그네슘막과 같은 보호막층(47)이 덮혀져 있다.The lower surface of the front substrate 41 is alternately formed with the common electrode 43 in the form of a strip and the scan electrode 44. The lower side of the common and scan electrodes 43 and 44 has a bus electrode 45 made of metal so as to have a narrower width than the electrodes 43 and 44 in order to reduce the line resistance of the electrodes 43 and 44. ) Is formed. A transparent first dielectric layer 46 is formed on the bottom surface of the front substrate 41 to fill the common and scan electrodes 43 and 44 and the bus electrode 45. The lower surface of the first dielectric layer 46 is covered with a protective film layer 47 such as a magnesium oxide film to protect it.
한편, 상기 전면 기판(41)과 대향되게 설치되는 배면 기판(42) 상에는 상기 공통 및 주사 전극(43)(44)들과 직교하는 형태로 된 어드레스 전극(48)이 스트립 형태로 설치된다. 상기 어드레스 전극(48)은 제2 유전체층(49)에 의하여 매립될 수도 있다.On the other hand, on the back substrate 42 which is installed to face the front substrate 41, the address electrode 48 in a form orthogonal to the common and scan electrodes 43 and 44 is provided in a strip form. The address electrode 48 may be buried by the second dielectric layer 49.
그리고, 상기 제2 유전체층(49)의 윗면에는 소정 간격 이격되게 설치되어 방전 공간을 구획하고, 전극들간의 크로스 토크를 방지하기 위하여 격벽(400)이 설치된다. 상기 격벽(400)의 내측으로는 적,녹,청색의 형광체층(410)이 형성된다.In addition, the upper surface of the second dielectric layer 49 is spaced apart by a predetermined interval to partition the discharge space, and the partition wall 400 is installed to prevent cross talk between the electrodes. The phosphor layer 410 of red, green, and blue is formed inside the partition 400.
본 발명의 특징에 따르면, 투명 전극으로 사용되는 공통 및 주사 전극(43)(44)과, 어드레스 전극(48)이나 격벽(400)은 공기 통로부를 가지는 감광성 필름을 이용하여 형상의 손상없이 형성시키는 것이 가능하다.According to a feature of the present invention, the common and scan electrodes 43 and 44 used as the transparent electrodes, and the address electrode 48 or the partition 400 are formed without damaging the shape by using a photosensitive film having an air passage. It is possible.
도 5는 본 발명의 일 예에 따른 감광성 필름(50)을 도시한 것이다.5 illustrates a photosensitive film 50 according to an embodiment of the present invention.
도면을 참조하면, 상기 감광성 필름(50)은 박막의 필름형태이고, 그 일면에는 전면에 걸쳐서 다수개의 오목부(51)가 소정 간격 이격되게 형성되어 있다. 이때, 상기 오목부(51)는 여러 가지 형상으로 형성이 가능하다.Referring to the drawings, the photosensitive film 50 is in the form of a thin film, and one surface thereof is formed with a plurality of recesses 51 spaced apart at predetermined intervals over the entire surface. In this case, the concave portion 51 may be formed in various shapes.
여기서는, 상기 오목부(51)가 원형을 이루고 있다.Here, the recess 51 is circular.
보다 상세하게는, 상기 필름(50)의 표면(50a)에 해당되는 오목부(51)의 윗부분(51a)으로부터 상기 오목부(51)의 바닥면(51b)에 이르기까지 소정의 경사를 지닌 구배부(51c)를 가지고 있다. 이는 추후 기술될 라미네이팅시 공기의 흐름을 보다 원할하게 하기 위해서이다.More specifically, a sphere having a predetermined inclination from the upper portion 51a of the recess 51 corresponding to the surface 50a of the film 50 to the bottom surface 51b of the recess 51. It has a back 51c. This is to make the air flow smoother in the laminating which will be described later.
도 6a 내지 도 6g는 이러한 감광성 필름(50)을 이용하여 도 4의 격벽(400)을 형성시키는 제조 공정을 단계별로 도시한 것이다.6A to 6G illustrate a step of a manufacturing process for forming the partition 400 of FIG. 4 using the photosensitive film 50.
이를 참조하여, 격벽(400)을 형성시키는 과정을 설명하면 다음과 같다.Referring to this, the process of forming the partition 400 will be described.
여기서는, 상기 배면 기판(42,도 4참조) 상에 형성되는 어드레스 전극(48)이나 제2 유전체층(49)의 형성이 배제된 상태에서 설명하기로 한다.Here, the description will be made in a state where the formation of the address electrode 48 or the second dielectric layer 49 formed on the rear substrate 42 (see FIG. 4) is excluded.
우선, 투명한 유리로 된 배면 기판(42)이 마련된 다음에, 상기 배면 기판(42)의 윗면에는 소정 두께를 가지는 페이스트 형태의 격벽용 원소재(62)를 균일하게 도포한다.(도 6a)First, the back substrate 42 made of transparent glass is provided, and then, on the upper surface of the back substrate 42, a paste-type partition wall material 62 having a predetermined thickness is uniformly applied. (FIG. 6A).
다음으로, 상기 격벽용 원소재(62) 상에는 격벽(400)을 형성시키기 위하여 패턴을 형성시킬 감광성 필름(50)을 부착하게 된다.Next, the photosensitive film 50 for forming the pattern is attached on the partition material 62 for forming the partition 400.
즉, 상기 원소재(62)가 형성된 배면 기판(42) 상에 감광성 필름(50)을 정렬하고, 이를 복수개의 롤러(61)(63) 사이를 통과시켜 상호 라미네이팅 시킨다(도 6b,도 6c)That is, the photosensitive film 50 is aligned on the back substrate 42 on which the raw material 62 is formed, and it passes through the plurality of rollers 61 and 63 to be laminated with each other (FIGS. 6B and 6C).
이때, 상기 롤러(61)(63)는 라미네이팅시 상기 감광성 필름(50)과 원소재(62)와의 경계면으로부터 기포의 발생을 방지하기 위하여 소정의 온도로 가열된 상태를 유지하고 있다.In this case, the rollers 61 and 63 are kept heated to a predetermined temperature in order to prevent generation of bubbles from the interface between the photosensitive film 50 and the raw material 62 during lamination.
도 6b에 도시된 것처럼, 상기 감광성 필름(50)이 격벽재(62)의 윗면에 부착하여 인입되기 전에는 상술한 바와 같이 상기 격벽재(62)의 대응되는 필름(50)면에는 오목부(51,도 5참조)가 형성되어 있는 상태이다.As shown in FIG. 6B, before the photosensitive film 50 is attached to the upper surface of the partition wall 62, the concave portion 51 is formed on the surface of the corresponding film 50 of the partition wall 62 as described above. , See FIG. 5).
이어서, 회전하는 롤러(61)(63) 사이를 통과한 이후에는 도 6c에서 보는 바와 같이 상기 필름(50)에 형성된 오목부(51)는 상기 롤러(61)(63)로부터 가해지는 회전력에 의하여 완전히 제거되고, 상기 감광성 필름(50)은 상기 격벽재(62)의 표면에 기포 발생없이 완전 밀폐되어 부착된다. 이에 대한 것은 도 7에서 보다 상세하게 언급될 것이다.Subsequently, after passing between the rotating rollers 61 and 63, as shown in FIG. 6C, the recess 51 formed in the film 50 is formed by the rotational force applied from the rollers 61 and 63. The photosensitive film 50 is completely removed, and the photosensitive film 50 is completely sealed to the surface of the partition 62 without bubble generation. This will be mentioned in more detail in FIG. 7.
다음으로, 상기 감광성 필름(50) 상에 포토 마스크(64)를 정렬하고, 상기 필름(50)에 상기 격벽(400)의 패턴을 자외선 노광하게 된다.(도 6d) 노광된 부분은 화학적으로 안정화가 된다.Next, the photo mask 64 is aligned on the photosensitive film 50, and the pattern of the partition wall 400 is exposed to ultraviolet light on the film 50. (FIG. 6D) The exposed portion is chemically stabilized. Becomes
노광이 완료되면, 상기 감광성 필름(50)을 현상하여 격벽(400)의 패턴이 상기 필름(50)에 형성된다.(도 6e)When the exposure is completed, the photosensitive film 50 is developed to form a pattern of the partition wall 400 on the film 50 (FIG. 6E).
이어서, 현상이 완료된 기판(42) 상에는 예컨대 샌드 블라스트법(sand blast method) 공정을 수행하게 된다.Subsequently, for example, a sand blast method is performed on the completed substrate 42.
즉, 상기 기판(42)의 상부에서 샌드 블라스트 장치를 이용하여 그 전면에 고압으로 연마제를 내뿜으면 그 압력으로 인하여 상기 감광성 필름(50)이 부착되지 않은 부분의 격벽용 원소재(62)는 제거되고, 상기 필름(50)이 부착된 부분은 그대로 존재하게 된다.(도 6f)That is, when the abrasive is blown out at high pressure on the front surface of the substrate 42 by using a sand blasting device, the partition material 62 for the partition wall where the photosensitive film 50 is not attached due to the pressure is removed. Then, the portion where the film 50 is attached remains as it is (FIG. 6F).
다음으로, 상기 존재하는 격벽용 원소재(62)의 상면에 부착되어 있는 감광성 필름(50)을 박리하고, 상기 격벽용 원소재(62)를 소성하면 소정 간격 이격되게 형성된 격벽(400)이 완성된다.(도 6g)Next, when the photosensitive film 50 attached to the upper surface of the existing bulk material raw material 62 is peeled off, and the bulk material raw material 62 is fired, the partition wall 400 formed at a predetermined interval is completed. (Fig. 6g)
도 7은 상기 감광성 필름(50)이 격벽용 원소재(62) 상에 라미네이팅되는 상태를 도시한 것이다.FIG. 7 illustrates a state in which the photosensitive film 50 is laminated on the partition material 62.
도면을 참조하면, 상기 감광성 필름(50)이 상기 격벽용 원소재(62)와 접촉하는 표면에 해당되는 부위에는 상술한 바와 같이 다수개의 오목부(51)가 형성되어 있다.Referring to the drawings, a plurality of concave portions 51 are formed at a portion corresponding to the surface of the photosensitive film 50 in contact with the partition material 62.
감광성 필름(50)이 원소재(62)와 면접촉된 상태에서 롤러(61)를 통과하게 되면, 상기 오목부(51)는 롤러(61)의 회전력에 의하여 상기 롤러(61)를 통과한 이후에는 완전하게 제거가 된다.When the photosensitive film 50 passes through the roller 61 in a state of being in surface contact with the raw material 62, the recess 51 passes through the roller 61 by the rotational force of the roller 61. Is completely removed.
보다 상세하게는, 상기 감광성 필름(50)은 롤러(61)에 인접하게 되면 상기 롤러(61)의 회전력에 의하여 가압력을 받게 되고, 이에 따라, 상기 격벽용 원소재(62)에 대응되는 면에 형성되어 있는 오목부(51)는 그 윗면으로부터 압축력을 받게 되어 늘어지게 된다.In more detail, when the photosensitive film 50 is adjacent to the roller 61, the photosensitive film 50 is subjected to a pressing force by the rotational force of the roller 61, and thus, on the surface corresponding to the partition material 62. The formed concave portion 51 receives a compressive force from its upper surface and sags.
이때, 상기 오목부(51) 내에는 소정의 공기가 포함되어 있는 상태인데, 이 공기는 압축력에 의하여 도면에 도시된 A처럼 오목부(51)로부터 빠져나와 필름(50)의 표면으로 이동하여 오목부(51)를 확장시켜 최종적으로는 오목부(51) 내로부터 완전 제거된다. 이에 따라, 상기 롤러(61)를 통과한 이후의 감광성 필름(50)은 상기 격벽용 원소재(62) 상에 완전 밀폐가능하게 부착이 가능하게 된다.At this time, a predetermined air is contained in the concave portion 51, and this air escapes from the concave portion 51 by the compressive force and moves to the surface of the film 50 by A as shown in the drawing. The portion 51 is expanded and finally completely removed from the recess 51. Accordingly, the photosensitive film 50 after passing through the roller 61 may be completely sealed on the partition material 62.
또한, 상기 오목부(51)는 그 윗부분(51a)으로부터 바닥면(51b)에 이르기까지 소정의 경사가 진 구배부(51c)를 가지고 있기 때문에 공기의 흐름이 보다 원할하게 이루어질 수 있는 공기 통로부를 제공하게 된다.In addition, since the recess 51 has a predetermined inclined portion 51c from the upper portion 51a to the bottom surface 51b, the air passage portion may be made smoother. Will be provided.
이상의 설명에서와 같이 본 발명의 감광성 필름과, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은 다수개의 오목부가 형성된 감광성 필름을 사용하여 격벽이나 투명 전극을 형성시키게 됨으로써, 격벽이나 투명 전극의 원소재상에 부착시 기포의 발생없이 완전 밀폐된 상태에서 부착이 가능하게 되어 소망하는 형상의 손상없이 제조가 가능하다.As described above, in the method of manufacturing the photosensitive film of the present invention and the plasma display panel using the same, a barrier rib or a transparent electrode is formed by using a photosensitive film having a plurality of concave portions. It is possible to attach in a completely sealed state without the generation of bubbles, so that it is possible to manufacture without damaging the desired shape.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
Claims (7)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020000054609A KR100366092B1 (en) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | Dry film resist and the fabrication method for plasma display panel using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020000054609A KR100366092B1 (en) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | Dry film resist and the fabrication method for plasma display panel using the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20020021878A KR20020021878A (en) | 2002-03-23 |
| KR100366092B1 true KR100366092B1 (en) | 2002-12-26 |
Family
ID=19689076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020000054609A KR100366092B1 (en) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | Dry film resist and the fabrication method for plasma display panel using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100366092B1 (en) |
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- 2000-09-18 KR KR1020000054609A patent/KR100366092B1/en not_active IP Right Cessation
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