KR0150052B1 - 웨이퍼 이송장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 공정위치로 이송시키는 웨이퍼 이송장치 및 방법을 개시한다. 웨이퍼를 공정유니트에 로딩 및 언로딩 시키는 아암을 구비한 이송 유니트의 일측에 정상적인 공정이 실시되는 웨이퍼를 적재하는 공정 웨이퍼 카세트와 우선적으로 공정이 실시되어질 웨이퍼를 적재하는 인서트 웨이퍼 카세트가 위치하는 로딩 웨이퍼 카세트 유니트를 설치하여 공정 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 공정 유니트로 로딩시키는 과정에서 인서트 신호의 입력에 의해 인서트 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 우선적으로 공정 유니트로 로딩시키고, 이어 공정 웨이퍼 카세트 내에 남아있는 잔여 웨이퍼를 공정 유니트로 로딩시킬 수 있는 것이 본 발명의 요지이다.

Description

웨이퍼 이송장치 및 방법
제1도는 일반적인 웨이퍼 이송장치의 전체적인 구성을 도시한 구성도.
제2도는 본 발명의 전체적인 구성을 도시한 구성도.
제3도는 본 발명의 동작순서를 설명하기 위한 플로우 차트도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
3 : 이송 유니트 3A : 아암
10 : 로딩 웨이퍼 카세트 유니트 11 및 21 : 공정 웨이퍼 카세트
12 및 22 : 인서트 웨이퍼 카세트 20 : 언로딩 웨이퍼 카세트 유니트
본 발명은 웨이퍼 이송장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 어느 한 카세트 내에 적재된 웨이퍼를 이송시키는 과정에서 또 다른 카세트 내에 적재된 웨이퍼를 이송시킬 수 있는 웨이퍼 이송장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 제조공정에서, 각 공정에 웨이퍼를 로딩(Loading)시키는 웨이퍼 이송장치는 카세트 내에 적재된 다수의 웨이퍼를 1장씩 인출하여 공정위치로 이송시키는 역활을 수행하며, 그 전체적인 구성이 제1도에 도시되어 있다.
즉, 제1도는 일반적인 웨이퍼 이송장치의 전체적인 구성을 도시한 구성도로서, 공정이 실행되어질 다수의 웨이퍼(1A)가 적재된 로딩 웨이퍼 카세트(1)의 일측에 아암(3A)이 구비된 이송 유니트(3)가 설치되며, 이송 유니트(3)의 일측에는 웨이퍼(1A)에 대한 소정의 공정이 진행되는 공정 유니트(2)가 설치된다. 또한 공정 유니트(2)의 일측에는 공정이 완료된 웨이퍼를 적재하는 언로딩 웨이퍼 카세트(4)가 설치된다.(여기서 로딩은 웨이퍼의 공정 유니트내로의 장착을, 언로딩은 공정 유니트에서의 인출을 의미한다.)
이상과 같은 구조를 갖는 웨이퍼 로딩장치는 이송 유니트(3)의 아암(3A)에 의하여 로딩 웨이퍼 카세트(1)내에 적재된 모든 웨이퍼(1A)가 순차적으로 공정 유니트(2)내로 이송되어져 소정의 공정이 진행되며, 공정이 완료된 웨이퍼(1A) 역시 순차적으로 언로딩 웨이퍼 카세트(4)로 이송되어 진다.
그러나, 이와 같은 장치에서는 공정이 진행중인 웨이퍼 이외에 새로운 웨이퍼에 긴급하게 공정을 실시해야 할 필요성이 있을 경우 로딩 웨이퍼 카세트 내의 모든 웨이퍼(대략 1개의 카세트에는 25장의 웨이퍼가 적재됨)의 공정이 완료될 때까지 대기한 후 새로운 카세트를 위치시켜야 한다.
따라서, 긴급하게 공정을 진행하여야 할 웨이퍼에 대한 공정이 지연되어 공정시간의 과다소비라는 문제점이 발생한다.
본 발명은 웨이퍼 이송장치의 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 어느 한 카세트에 적재된 웨이퍼에 대한 로딩이 진행 중에도 대기시간 없이 또다른 카세트 내의 웨이퍼에 대한 로딩이 실시될 수 있는 웨이퍼 이송장치 및 방법을 제공하는데 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 웨이퍼를 로딩 및 언로딩 시키는 아암을 구비한 이송 유니트와, 상기 이송 유니트의 일측에 위치하며 공정을 진행하고자 하는 웨이퍼를 적재한 공정 웨이퍼 카세트 및 또 다른 웨이퍼를 적재한 인서트 웨이퍼 카세트가 적재되는 로딩 웨이퍼 카세트 유니트와, 상기 이송 유니트의 또다른 일측에 위치하며 상기 이송 유니트의 아암에 의해 운반되는 상기 공정 웨이퍼 카세트 및 상기 인서트 웨이퍼 카세트 각각의 웨이퍼에 대한 공정을 진행하기 위한 공정 유니트와, 상기 공정 유니트의 일측에 위치하며 상기 공정 웨이퍼 카세트의 공정이 완료된 웨이퍼를 적재하는 공정 웨이퍼 카세트 및 상기 인서트 웨이퍼 카세트의 공정이 완료된 웨이퍼를 적재하는 인서트 웨이퍼 카세트가 적재되는 언로딩 웨이퍼 카세트 유니트를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
제2도는 본 발명의 전체적인 구성을 도시한 구성도로서, 본 발명 역시 제1도의 구성과 마찬가지로 아암 유니트(3)의 일측에 웨이퍼에 대한 공정을 실시하는 공정 유니트(2)가 위치한다.
본 발명의 특징은 아암 유니트(3)의 일측에 공정을 진행코자하는 웨이퍼(11A)가 적재된 공정 웨이퍼 카세트(11) 및 다른 웨이퍼(12A)를 적재한 인서트 웨이퍼 카세트(12)를 위치시키는 로딩 웨이퍼 카세트 유니트(10)가 설치되며, 공정 유니트(2)의 일측에는 공정 웨이퍼 카세트(11)의 공정이 완료된 웨이퍼(11A)를 적재하는 공정 웨이퍼 카세트(21) 및 인서트 웨이퍼 카세트(12)의 공정이 완료된 웨이퍼(12A)를 적재하는 인서트 웨이퍼 카세트(22, Insert Wafer Cassette)가 위치되는 언로딩 웨이퍼 카세트 유니트(20)가 설치된다는 점이다.
본 발명은 로딩 웨이퍼 카세트 유니트(10)의 공정 웨이퍼 카세트(11) 또는 인서트 웨이퍼 카세트(12)에 적재된 웨이퍼(11A,12A)가 아암 유니트(3)에 설치된 아암(3A)에 의해 공정 유니트(2)로 로딩되고, 공정 유니트(2)로부터 인출되는 공정 완료 웨이퍼는 언로딩 웨이퍼 카세트 유니트(20)의 공정 웨이퍼 카세트(21) 또는 인서트 웨이퍼 카세트(22)에 차례로 언로딩 되도록 구성되는데, 웨이퍼(11A,12A)가 로딩 웨이퍼 카세트 유니트(10)로부터 아암(3A)에 의해 공정 유니트(2)로 로딩되는 과정을 제2도 및 제3도를 통하여 설명하면 다음과 같다.
제3도는 본 발명의 동작순서를 설명하기 위한 플로우 차트도로서, 시작신호로부터 단계(101)에서 상기 인서트 웨이퍼 카세트(12)에 적재된 웨이퍼(12A)를 우선적으로 처리시키기 위한 인서트 신호(Insert Signal)의 입력여부를 감지하고, 인서트 신호의 입력이 없으면 단계(102)로 진행하여 정상적인 공정 웨이퍼 카세트(11)의 N번째 웨이퍼를 로딩하여 단계(103)로 진행하는데, 이때 상기 공정 웨이퍼 카세트(11)에는 1부터 Z까지 수(N)의 웨이퍼가 적재된다. 상기 단계(103)에서는 상기 N번째 웨이퍼를 공정 유니트(2)에 언로딩시키고, 단계(104)로 진행하여 상기 단계(103)에서 언로딩 된 웨이퍼의 번호가 최종 웨이퍼의 번호(Z)와 동일한지를 비교하여 다른 경우 단계(105)로 진행한다. 상기 단계(105)에서는 상기 단계(103)에서 언로딩 된 웨이퍼의 번호(N)를 기억시키고 단계(106)로 진행하여 N+1한 뒤 다시 단계(101)로 진행하는데, 이 때 긴급하게 공정을 실시해야할 웨이퍼가 적재된 인서트 웨이퍼 카세트(12)를 로딩 웨이퍼 카세트 유니트(10)에 위치시키고 인서트 신호를 입력하면 정상적인 공정은 대기상태, 즉 보류된 채로 단계(111)로 진행되어 우선적으로 공정을 실행해야될 웨이퍼의 수(Y)를 입력시킨 후 단계(107)로 진행하여 인서트 웨이퍼 카세트(12)의 M번째 웨이퍼를 로딩하여 단계(108)로 진행한다. 이 때, 상기 인서트 웨이퍼 카세트(12)의 웨이퍼(12A) 수(M)는 1부터 Y까지 적재된다. 상기 단계(108)에서는 상기 단계(107)에서 로딩된 웨이퍼를 공정 유니트(2)에 언로딩시키고 단계(109)로 진행하여 상기 단계(108)에서 언로딩시킨 웨이퍼의 번호(M)가 설정된 웨이퍼의 번호(Y)와 동일한지를 비교하여 다를 경우에는 단계(110)에서 M+1한 뒤 다시 상기 단계(107)로 진행한다. 이후, 상기 단계(108)에서 언로딩된 웨이퍼의 번호(M)가 상기 단계(111)에서 설정한 웨이퍼의 수(Y)와 동일한 시점까지 진행이 완료되면 단계(105)로 진행하여 상기 최종 기억된 웨이퍼의 번호(N)를 단계(106)으로 전하여 N+1한뒤 상기 단계(101)로 진행하고, 인서트 신호가 없을 경우 공정 웨이퍼 카세트(11)의 나머지 미진행된 웨이퍼가 모두 처리되는 시점, 즉 단계(104)에서 단계(103)에서 언로딩한 웨이퍼의 번호(N)가 최종 웨이퍼의 번호(Z)와 동일한 시점이 되면 작업을 종료한다.
이상과 같은 본 발명의 작동은 아암 유니트의 아암 이송각도를 제어함으로서 가능하며, 공정 유니트로의 정상적인 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 실시되는 과정에서 특정 웨이퍼에 긴급하게 공정을 진행하여야 할 경우, 정상적인 웨이퍼의 로딩을 대기시키고 특정 웨이퍼를 공정 유니트에 로딩 시킴으로서 공정진행중의 대기시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 반도체 소자의 제조공정장치, 즉 노광장치, 감광막 도포 장치 등과 같이 웨이퍼의 로딩 및 언로딩공정이 필요한 모든 공정장치에 사용될 수 있다.

Claims (3)

  1. 웨이퍼를 로딩 및 언로딩 시키는 아암을 구비한 이송 유니트와, 상기 이송 유니트의 일측에 위치하며 공정을 진행하고자 하는 웨이퍼를 적재한 공정 웨이퍼 카세트 및 또 다른 웨이퍼를 적재한 인서트 웨이퍼 카세트가 적재되는 로딩 웨이퍼 카세트 유니트와, 상기 이송 유니트의 또다른 일측에 위치하며 상기 이송 유니트의 아암에 의해 운반되는 상기 공정 웨이퍼 카세트 및 상기 인서트 웨이퍼 카세트 각각의 웨이퍼에 대한 공정을 진행하기 위한 공정 유니트와, 상기 공정 유니트의 일측에 위치하며 상기 공정 웨이퍼 카세트의 공정이 완료된 웨이퍼를 적재하는 공정 웨이퍼 카세트 및 상기 인서트 웨이퍼 카세트의 공정이 완료된 웨이퍼를 적재하는 인서트 웨이퍼 카세트가 적재되는 언로딩 웨이퍼 카세트 유니트를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
  2. 아암을 이용하여 웨이퍼를 로딩 및 언로딩 시키는 이송 유니트로 상기 이송 유니트의 일측에 위치하는 공정 웨이퍼 카세트의 웨이퍼를 공정 유니트로 로딩하는 웨이퍼 이송 방법에 있어서, 상기 공정 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 공정 유니트로 로딩시키는 과정에서 인서트 신호의 입력에 의해 상기 인서트 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 우선적으로 공정 유니트로 로딩시키고, 이어서 상기 공정 웨이퍼 카세트내의 잔여 웨이퍼를 공정 유니트로 로딩시키는 것을 특정으로 하는 웨이퍼 이송방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 인서트 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼는 설정된 수만큼 공정 유니트로 로딩되어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송방법.
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