TWI626703B - 轉移系統 - Google Patents

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TWI626703B
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Abstract

在一種轉移系統中，複數個製程設備中之至少一個製程設備被連接至工站以作為連接製程設備。工站控制單元經由與製程設備控制單元通信來控制被設置在該工站中之轉移裝置，以將該處理物件從該工站載入至該連接製程設備且將該處理物件從該連接製程設備卸載至該工站。該工站控制單元控制該轉移裝置以在接收到來自於該製程設備控制單元指示待卸載之該處理物件之存在的訊號之後便開始將該處理物件從該連接製程設備卸載至該工站。

Description

轉移系統
本發明係關於一種轉移系統，其係在生產工廠中用於轉移處理物件。
已知一種使用在半導體裝置之生產工廠中的轉移系統。該轉移系統包含複數個製程設備(裝備)。待處理之物件(以下稱為處理物件)(例如半導體晶圓)被依序地轉移至各自之製程設備以在該各自之製程設備中被處理。此一轉移系統係例如在日本專利JP2004-221277 A中所揭示。
除了該製程設備外，該轉移系統包含工站，該處理物件在由該製程設備處理之前係被儲存於該工站，以及包含用以在該工站與該製程設備之間轉移該處理物件之載具。該處理物件從該工站被轉移至該製程設備以被處理。在該製程設備中被處理之後，該處理物件被轉移至該工站以被儲存。之後，該處理物件被轉移至另一個製程設備中以被處理。
此種轉移系統通常包含複數個轉移載具。然而，該處理物件係依序地轉移至該製程設備。因此，存在一種狀況，其中即使該製程設備是可用的，但該處理物件卻未被轉移，意即，處在等待狀態。在此情況下，將會降低操作速率。
本發明之目的在於提供一種轉移系統，其可以抑制操作速率的降低。
根據本發明之態樣，一轉移系統係包含複數個製程設備、一製程設備控制單元、一工站、一轉移裝置以及一工站控制單元。每一製程設備對於欲被處理之處理物件進行預定製程。該製程設備控制單元控制該製程設備。該工站儲存該處理物件。該轉移裝置被設置在該工站中且轉移該處理物件。該工站控制單元控制該轉移裝置。該複數個製程設備中之至少一個製程設備被連接至該工站以作為連接製程設備。該工站控制單元經由與該製程設備控制單元通信來控制該轉移裝置，以將該處理物件從該工站載入至該連接製程設備，且將該處理物件從該連接製程設備卸載至該工站。該工站控制單元控制該轉移裝置，以在接收到來自於該製程設備控制單元指示待卸載之該處理物件之存在的訊號之後，便開始將該處理物件從該連接製程設備卸載至該工站。
在上述之轉移系統中，不需要一載具在該工站與該連接製程設備之間轉移該處理物件。因此，可以抑制該操作 速率之降低。在該製程設備控制單元輸出該指示待卸載之該處理物件之存在的訊號之條件下，該工站控制單元控制該轉移裝置以將該處理物件從該連接製程設備卸載至該工站。因此，該連接製程設備可以被設置而不會大量地改變該整個系統。
1a‧‧‧第一區域
1b‧‧‧第二區域
1c‧‧‧第三區域
10‧‧‧工站
11‧‧‧儲存器
12‧‧‧轉移機器人、轉移裝置
13‧‧‧第一光學通信裝置
14‧‧‧第二光學通信裝置
15‧‧‧第三光學通信裝置
16‧‧‧第一平台
17‧‧‧第二平台
20a‧‧‧製程設備
20b‧‧‧製程設備
21a‧‧‧光學通信裝置
21b‧‧‧光學通信裝置
22a‧‧‧第一平台
22b‧‧‧第二平台
23a‧‧‧第二平台
23b‧‧‧第二平台
30a‧‧‧製程中載具
30b‧‧‧製程間載具
31‧‧‧光學通信裝置
31a‧‧‧光學通信裝置
31b‧‧‧光學通信裝置
40‧‧‧主機控制器
50‧‧‧轉移控制區段
60a‧‧‧製程中載具控制區段
60b‧‧‧製程中載具控制區段
70‧‧‧工站控制區段
80a‧‧‧連接製程設備控制區段
80b‧‧‧正常製程設備控制區段
S1‧‧‧第一訊號
S2‧‧‧第二訊號
T1-T21‧‧‧時間點
U1‧‧‧第一轉移命令訊號
U2‧‧‧第二轉移命令訊號
U3‧‧‧第三轉移命令訊號
本發明之上述內容以及其他目的、特徵與優點將從以下提供有參照隨附圖式之詳細說明中變得更為顯而易見，其中相同的部件係由相同的元件符號所指示，且其中：圖1係依照本發明之第一實施例之一轉移系統之示意圖；圖2係一示意圖，用以繪示說明依照該第一實施例之該轉移系統之工站與製程設備之佈局；圖3A係一示意圖，用以繪示說明依照該第一實施例中由一製程中載具提供一訊號至一正常製程設備；圖3B係一示意圖，用以繪示說明依照該第一實施例中由該正常製程設備提供一訊號至該製程中載具；圖3C係一示意圖，用以繪示說明依照該第一實施例中由一連接製程設備所提供一訊號至一工站；圖4係依照該第一實施例當一盒匣從該工站被裝載到該連接製程設備時之一訊號時序圖；圖5係依照該第一實施例當該盒匣從該連接製程設備被卸載到該工站時之一訊號時序圖； 圖6係一示意圖，用以繪示說明依照本發明之另一個實施例中第一區域中之工站、連接製程設備與正常製程設備之佈局；及圖7係一示意圖，用以繪示說明依照本發明之又另一個實施例中在第一區域中之工站與連接製程設備之佈局。
本發明之實施例將參照圖式來進行描述。在該實施例中，相同或等效之部件將由相同的元件符號所指示。
(第一實施例)
將描述依照本發明之第一實施例之轉移系統。本實施例之轉移系統例示性地使用在一生產工廠中(例如在一半導體裝置的生產工廠中)用以轉移容納於盒匣內之處理物件。
如在圖1中所示，該轉移系統包含一工站10、製程設備20a、20b、載具30a、30ba、主機控制器40、一轉移控制區段50、一製程中載具控制區段60a、一製程間載具控制區段60b、一工站控制區段70、一連接製程設備控制區段80a以及一正常製程設備控制區段80b。
如在圖2中所示，在本實施例中，針對在一生產工廠中劃分之第一至第三區域(第一至第三生產線)1a至1c之各者係設置有一工站10。如在圖1中所示，該工站10包含一儲存器11、一轉移機器人12、一第一光學通信裝置 13、一第二光學通信裝置14、一第三光學通信裝置15、一第一平台16以及一第二平台17。該儲存器11儲存容納該處理物件(例如半導體晶圓)之盒匣。該轉移機器人12係作為轉移裝置以轉移該盒匣。該第一光學通信裝置13執行一光學輸入/輸出(I/O)以與一光學通信裝置21a通信，其將在下文中描述。該第二光學通信裝置14執行與一光學通信裝置31a之一光學輸入/輸出(I/O)通信，其將在下文中描述。該第三光學通信裝置15執行與一光學通信裝置31b之一光學輸入/輸出(I/O)通信，其將在下文中描述。
雖然在圖2中繪示說明該第一至第三區域1a至1c，但係在一實際的生產工廠中可以有進一步之區域設置。例如，容納該處理物件之該盒匣係一般周知的標準機械界面(SMIF)或係前開式晶圓傳送盒(FOUP)。該盒匣包含一主體、一罩蓋以及一凸緣。該主體一個表面具有由該罩蓋所覆蓋之一開口。該凸緣係裝配至該主體。該主體與該罩蓋於其中界定一容納空間以容納該處理物件，例如一半導體晶圓。例如，當該處理物件係半導體晶圓時，一盒匣可容納數十個半導體晶圓。
該製程設備20a及20b係用於生產半導體裝置之設備，亦可稱之為製程裝備。該製程設備20a及20b係例如一熱處理設備、一離子注入設備、一蝕刻設備、一沈積設備、一清潔設備、一光阻劑施加設備、一曝光設備、一檢驗設備及其類似物。如在圖2中所示，複數個製程設備 20a、20b係被設置在該區域1a至1c之各者中。該製程設備20a係設置有該光學通信裝置21a，且該製程設備20b係設置有該光學通信裝置21b。
如在圖1與圖2中所示，在第一至第三區域1a至1c之各者中，該製程設備20a(其係該複數個製程設備20a、20b中的其中一者)係連接至該對應工站10。意即，該製程設備20a係設置在該工站10之中。該製程設備20a之光學通信裝置21a可以直接地執行與設置在該工站10中之第一光學通信裝置13之光學I/O通信。
因此，從工站10將盒匣載入至製程設備20a與從製程設備20a將盒匣卸載至工站10係直接地由設置在工站10中之轉移機器人10來執行。該製程設備20a係連接至該工站10，意即，被設置在該工站10中，在下文中將稱之為連接製程設備。此外，未設置在該工站10中之該製程設備20b將稱為正常製程設備。在圖2中，CPE標示連接製程設備20a，且NPE標示正常製程設備20b。
在設置於第一至第三區域1a至1c之各者中之製程設備20a、20b當中，該連接製程設備20a係不具有最長製程週期的一製程設備。於本實施例中，在設置於相同區域中之製程設備20a、20b當中，該連接製程設備20a係具有最短製程週期的一製程設備。例如，該連接製程設備20a係檢驗設備。
連接製程設備20a與正常製程設備20b之各者係具有當該盒匣被裝載或卸載時可供該盒匣放置於其上之一第一 平台22a、22b與一第二平台23a、23b。
該載具30a、30b轉移該盒匣，且載入及卸載該盒匣。該載具30a、30b具有轉移機器人(未圖示)作為一轉移裝置。可採用自動化導引載具(AGV)、軌道導引載具(RGV)以及類似物來作為該轉移載具30a、30b。下文中，行進在每個區域1a至1c中之載具30a將稱之為製程中載具30a，且行進越過該第一至第三區域1a至1c之載具30b將稱之為製程間載具30b(見圖1與圖2)。例如，該製程中載具30a亦可稱之為區域中載具30a，而該製程間載具30b亦可稱之為區域間載具30b。
該製程中載具30a係設置有光學通信裝置31a，其用以執行與該工站10之第二光學通信裝置14以及該正常製程設備20b之光學通信裝置21b之光學I/O通信。同樣地，該製程間載具30b係設置有光學通信裝置31b，其用以執行與該工站10之第三光學通信裝置15進行光學I/O通信。
該主機控制器40，該轉移控制區段50，該製程中載具控制區段60a，該製程間載具控制區段60b，該工站控制區段70，該連接製程設備控制區段80a以及該正常製程設備控制區段80b之各個係包含CPU、作為儲存器之記憶體以及周邊裝置。在本實施例中，該工站控制區段70係相當於一工站控制單元，且該連接製程設備控制區段80a係相當於執行與該工站控制單元通信之一製程設備控制單元。
該主機控制器40控制該生產工廠之整個系統。該主機控制器40係被組構成用以與該轉移控制區段50、該連接製程設備控制區段80a以及該正常製程設備控制區段80b進行通信。該主機控制器40將每個盒匣(處理物件)之處理步驟儲存在儲存器中。該主機控制器40基於盒匣之處理條件以及製程設備20a、20b之狀態而產生且輸出一第一訊號S1與一第二訊號S2以指示每個盒匣之前一個轉移位置(轉移源)以及後續的一個轉移位置(轉移目的地)。雖然未詳細描述，該主機控制器40亦可輸出用於驅動該製程設備20a、20b之訊號。
例如，當盒匣在相同區域1a至1c中於該工站10與該正常製程設備20b之間被轉移、當盒匣在該第一至第三區域1a至1c之間被轉移以及當盒匣從該工站10被裝載至該連接製程設備20a時，該主機控制器40係提供第一訊號S1至該轉移控制區段50。當盒匣從該連接製程設備20a被卸載至該工站10，該主機控制器40係輸出第二訊號S1至該連接製程設備控制區段80a。
該轉移控制區段50在儲存器中儲存用以指示該連接製程設備20a之各者、該正常製程設備20b之各者以及該工站10之各者係定位在哪個區域中之資料。當從該主機控制器40接收到該第一訊號S1時，該轉移控制區段50獲取在該區域上之資訊，其中作為前一個轉移位置及該後續的轉移位置之該工站10、該連接製程設備20a或該正常製程設備20b被定位在該區域中。
在其中該第一訊號S1指示用以在該第一至第三區域1a至1c之同一區域之該工站10與該正常製程設備20b之間轉移該盒匣一命令的情況中，該轉移控制區段50提供一第一轉移命令訊號U1至該對應區域之製程中載具控制區段60a。
在其中該第一訊號S1指示用以將該盒匣從一區域轉移至另一個區域(意即，在不同區域1a至1c之間)之一命令的情況中，該轉移控制區段50提供一第二轉移命令訊號U2至該製程間轉移控制區段60b。在其中該第一訊號S1指示用以從該工站10載入該盒匣至該連接製程設備20a之一命令的情況中，該轉移控制區段50提供一第三轉移命令訊號U3至該工站控制區段70。
該製程中載具控制區段60a係被設置在該第一至第三區域1a至1c之各者中。該製程中載具控制區段60a可與該對應區域之該製程中載具30a之各者進行通信。該製程中載具控制區段60a在儲存器中儲存該對應區域之每個該製程中載具30a之一轉移狀態。該轉移狀態指示該製程中載具30a是否係處在一等待狀態或該製程中載具30a是否係處在一轉移狀態等等。當從該轉移控制區段50接收該第一轉移命令訊號U1時，該製程中轉移控制區段60a選擇在該轉移區域中處在等待狀態之該製程中載具30a，且傳送了一轉移命令至該被選擇之製程中載具30a。因此，該製程中載具30a選擇在該工站10與該正常製程設備20b之間執行該盒匣之載入或卸載。
該製程間載具控制區段60b係被組構成用以與該製程間載具30b通信。該製程間載具控制區段60b在儲存器中儲存該製程間載具30b之一轉移狀態。該製程間載具30b之轉移狀態指示該製程間載具30b是否係處在一等待狀態，該製程間載具30b是否係處在一轉移狀態等等。當從該轉移控制區段50接收該第二轉移命令訊號U2時，該製程間載具控制區段60b選擇在該轉移區域中處在該等待狀態之製程間載具30b，且傳送該轉移命令至該被選擇之製程間載具30b。因此，該製程間載具30b選擇在該各自區域1a至1c之工站10之間執行該盒匣之載入或卸載。
該工站控制區段70經由該第一至第三光學通信裝置13至15適當地執行該光學I/O通信以控制設置在該工站10之轉移機器人12，以藉此轉移該盒匣。當從該轉移控制區段50接收該第三轉移命令訊號U3時，該工站控制區段70控制該工站10之轉移機器人12以載入該盒匣至設置於該對應工站10中之該連接製程設備20a。
該連接製程設備控制區段80a係被組構成用以與該連接製程設備20a通信。該連接製程設備控制區段80a控制該連接製程設備20a以在一預定之處理條件下執行處理。當該連接製程設備20a完成處理時，該連接製程設備控制區段80a輸出指示該處理已完成之一訊號至該主機控制器40。接著，當從該主機控制器40接收該第二訊號S2時，該連接製程設備控制區段80a經由該光學通信裝置21a及該第一光學通信裝置13執行與該工站控制區段70之光學 I/O通信，以將該盒匣從該連接製程設備20a卸載至該工站10。意即，該盒匣從該連接製程設備20a卸載至該工站10係依照該連接製程設備控制區段80a(連接製程設備20a)來執行。在本實施例中，由於該連接製程設備20a係檢驗設備，一檢驗結果亦可從該連接製程設備控制區段80a提供至該主機控制器40。
該正常製程設備控制區段80b係被組構成用以與該正常製程設備20b通信。該正常製程設備控制區段80b控制該正常製程設備20b以在一預定之處理條件下執行處理。該正常製程設備控制區段80b經由該光學通信裝置21b及該光學通信裝置31a執行與該製程中載具控制區段60a之該光學I/O通信，以將該盒匣載入至該正常製程設備20b或是將該盒匣從該正常製程設備20卸載。
接著，將描述該光學I/O通信。
在本實施例中，在該製程中載具30a(製程中載具控制區段60a)與該正常製程設備20b(正常製程設備控制區段80b)以及該工站10(工站控制區段70)之間之光學I/O通信、在該製程間載具30b(製程間載具控制區段60b)與該工站10(工站控制區段70)之間之光學I/O通信以及在該工站10(工站控制區段70)與該連接製程設備20a(連接製程設備控制區段80a)之間之光學I/O通信皆係依照半導體設備與材料協會Semiconductor Equipment and Materials International(SEMI)之標準由8位元輸入/輸出來執行。
首先，將描述在該製程中載具30a與該正常製程設備 20b以及該工站10之間之光學I/O通信，以及在該製程間載具30b與該工站10之間之光學I/O通信。這些光學I/O通信係以一種與一般通信類似的方式來執行。因此，在該製程中載具30a與該正常製程設備20b之間之光學I/O通信將作為一個實例以進行描述。
如在圖3A中所示，該製程中載具30a輸出儲存指示VALID、CS_0至CS_2、TR_REQ、BUSY以及COMPLETE之位元的一訊號至該正常製程設備20b。如在圖3B中所示，該正常製程設備20b輸出儲存指示L_REQ、U_REQ以及READY之位元的一訊號至該製程中載具30a。
關於從該製程中載具30a輸出之該訊號，VALID係用於指示該訊號是否有效。當該VALID之位元為1(高)時，該訊號為有效。CS_0至CS_2係用於指示該正常製程設備20b之第一平台22b及第二平台23b。CS_0至CS_2之各者係藉由該位元為0或1來指示係該第一平台22b還是該第二平台23b。TR_REQ係用於指示是否執行轉移。當為1時，TR_REQ之該位元係指示執行該轉移。BUSY係用於指示轉移是否正在執行中。當為1時，BUSY之該位元係指示轉移正在執行中。COMPLETE係用於指示轉移是否已經完成。當為1時，COMPLETE之該位元係指示轉移已經完成。
有關從該正常製程設備20b輸出之訊號，L_REQ係用於指示是否已產生載入該盒匣之請求。當為1時， L_REQ之該位元指示出已產生載入該盒匣之請求。U_REQ指示是否已產生卸載該盒匣之請求。當為1時，U_REQ之該位元指示已產生卸載該盒匣之請求。READY係用於指示是否允許該轉移。當為1時，READY之該位元指示允許轉移。
在該製程間載具30a與該工站10之間之光學I/O通信以及在該製程間載具30b與該工站10之間之光學I/O通信通常係以與上述光學I/O通信類似之方式來執行。該工站10輸出之訊號與從該正常製程設備20b輸出之訊號相同。在該製程中載具30a與該工站10之間之光學I/O通信以及在該製程間載具30b與該工站10之間之光學I/O通信中，該位元CS_0至CS_2用以指示該工站10之第一平台16還是第二平台17。
接著，將描述在該連接製程設備20a與該工站10之間之光學I/O通信。
在該工站10與該連接製程設備20a之間之光學I/O通信亦係由8位元輸入/輸出來執行。如在圖3C中所示，從該連接製程設備20a提供至該工站10之訊號包含REQ1與REQ2。REQ1與REQ2係用於指示是否有盒匣從該連接製程設備20a被卸載。在本實施例中，該連接製程設備20a係具有第一平台22a及第二平台23a。REQ1指示是否有盒匣從該第一平台22a被卸載。當為1時，REQ1之該位元指示有盒匣從該第一平台22a被卸載。REQ2指示是否有盒匣從該第二平台22b被卸載。當為1時，REQ2之 該位元指示有盒匣從該第二平台22b被卸載。
從該工站10提供至該連接製程設備20a之訊號係與於圖3A所示之該訊號類似。CS_0至CS_2係指示該連接製程設備20a之第一平台22b及第二平台23b。
接著，將描述具有上文所述之結構之轉移系統的操作。應注意，在該製程中載具30a與該正常製程設備20b以及該工站10之間之轉移以及在該製程間載具30b與該工站10之間之轉移係以與一般轉移系統(SEMI標準)類似之方式來執行。因此，將省略這些轉移之描述，且在該工站10與該連接製程設備20a之間之盒匣之載入與卸載將於下文中參照圖4與圖5來描述。
在圖4與圖5中，「A→P」係指示訊號從該工站(主動)10提供至該連接製程設備(被動)20a，而「P→A」係指示訊號從該連接製程設備20a提供至該工站10。該訊號實際上係從該工站控制區段70與該連接製程設備控制區段80a輸出且輸入至該工站控制區段70與該連接製程設備控制區段80a。意即，該訊號實際上係在該工站控制區段70與該連接製程設備控制區段80a之間被傳送。然而，為了易於理解之目的，其將被簡單地描述為該訊號係從該工站10與該連接製程設備20a輸出且輸入至該工站10與該連接製程設備20a。
首先，將描述將盒匣從該工站10載入至該連接製程設備20a之操作。
如在圖4中所示，當該轉移控制區段50在時間點TI 輸出該第三轉移訊號U3至該工站控制區段70時，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中CS_0至CS_2之該位元係適當地為1，其指示該連接製程設備20a之載入目的地，例如第一平台22a或第二平台23b。在時間點T2，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中VALID之該位元係亦為1，其指示該訊號之有效性。
在時間點T3，該連接製程設備20a輸出訊號至該工站10，其中該L_REQ之位元為1，其指示載入盒匣之請求。在時間點T4，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中TR_REQ之該位元為1，其指示轉移。
在時間點T5，該連接製程設備20a輸出訊號至該工站10，其中READY之該位元為1，其指示允許轉移。在時間點T6，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中BUSY之該位元為1，其指示執行該操作。因此，啟動將盒匣從該工站10載入至該連接製程設備20a。
在時間點T7，當盒匣被載入至該連接製程設備20a時，該連接製程設備20a輸出訊號至該工站10，其中L_REQ之該位元為0，其指示載入該盒匣之請求。在時間點T8，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中BUSY之該位元係為0，其指示執行該操作，且COMPLETE之該位元為1，其指示完成轉移。
在時間點T9，當盒匣之轉移已完成時，該連接製程設備20a輸出訊號至該工站10，其中READY之該位元為0，其指示允許轉移。在時間點T10，該工站10輸出訊號 至該連接製程設備20a，其中該CS_0至CS_2之該位元為0，其指示該載入目的地，且VALID之該位元為0，其指示該訊號之有效性。
接著，將描述將盒匣從該連接製程設備20a卸載至該工站10之操作。
如在圖5中所示，當該主機控制器40在時間點T11輸出第二訊號S2至該連接製程設備控制區段80a，該連接製程設備20a輸出訊號至該工站10，其中REQ1、REQ2之該位元為1，其適當地指示於其上放置有該盒匣之該連接製程設備20a之第一平台22a或第二平台23a。在此情況中，假設該第一平台22a具有待卸載之盒匣，在該訊號中REQ1之該位元為1係表示輸出，其指示該第一平台22a具有待卸載之盒匣。
在時間點T12，該工站10輸出該訊號至該連接製程設備20a，其中CS_0至CS_2之該位元為1，其適當地指示第一平台22a或第二平台23a作為盒匣從其被卸載之卸載源。意即，當在該訊號中REQ1、REQ2之該位元為1時係表示從該連接製程設備20a輸出至該工站10，其適當地指示其上放置有盒匣之第一平台22a或該第二平台23a，啟動將盒匣從該連接製程設備20a卸載至該工站10之操作。換言之，當指示該第一或第二平台22a、23a之REQ1、REQ2之該位元適當地改變為1時，觸發從該連接製程設備20a卸載盒匣至該工站10之操作。在時間點T13，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中 VALID之該位元為1，其指示該訊號之有效性。
在時間點T14，該連接製程設備20a輸出訊號至該工站10，其中U_REQ之該位元為1，其指示卸載盒匣之請求。在時間點T15，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中TR_REQ之該位元為1，其指示執行轉移。
在時間點T16，該連接製程設備20a輸出訊號至該工站10，其中READY之該位元為1，其指示允許轉移。在時間點T17，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中BUSY之該位元為1，其指示執行該操作。因此，該盒匣從該連接製程設備20a被卸載至該工站10。
在時間點T18，當該盒匣從該連接製程設備20a被卸載，該連接製程設備20a輸出訊號至該工站10，其中U_REQ之該位元為0，其指示卸載盒匣之請求。在時間點T19，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中BUSY之該位元為0，其指示執行該操作，且COMPLETE之該位元為1，其指示完成轉移。
在時間點T20，當該盒匣之轉移已經完成時，該連接製程設備20a輸出訊號至該工站10，其中READY之該位元為0，其指示允許轉移，且REQ1、REQ2之該位元為0，其指示其上放置有盒匣之第一與第二平台22a、23a。在時間點T21，該工站10輸出訊號至該連接製程設備20a，其中CS_0至CS_2之位元為0，其指示第一與第二平台22a、23a作為卸載源，且VALID之該位元為0係表示為輸出，其指示該訊號之有效性。
本實施例之轉移系統係以上文所述之方式來操作。在圖4中，當該盒匣從該工站10被載入至該連接製程設備20a時，REQ1、REQ2之該位元為0，指示其上放置有盒匣之第一平台22a與第二平台23a。在實際之轉移系統中，可能有一種狀況，其中當盒匣從該工站10被載入至該連接製程設備20a時，其中REQ1，REQ2之該位元為1。在此情況中，在執行該載入完成之後便啟動該卸載。
在如上文所述之本實施例中，該連接製程設備20a係連接至該工站10。該盒匣在該工站10與該連接製程設備20a之間之轉移係使用該轉移機器人12來執行。由於不需要載具在該工站10與該連接製程設備20a之間轉移盒匣，因此便可抑制操作速率之下降。
就該連接製程設備20a而言，在設置在相同區域之製程設備當中具有最短之處理週期之該製程設備係連接至該工站10。因此，可進一步抑制操作速率之下降。
該工站控制區段70與該連接製程設備80a執行光學I/O通信，類似於在該製程中載具控制區段60a、該正常製程設備控制區段80b與該工站控制區段70之間之通信。因此，一般使用之正常製程設備可以藉由簡單的轉換被用作為該連接製程設備20a。
從該連接製程設備控制區段80a輸出至該工站10之訊號係包含REQ1、REQ2之該位元，其指示其上放置有該盒匣之第一與第二平台22a、23a。當指示該第一與第二平台22a、23a之REQ1、REQ2之該位元改變成1時，便 啟動將盒匣從該連接製程設備20a卸載至該工站10之操作。因此，可以採用一般所使用之工站控制單元70之通信，並且可以設置該連接製程設備20a而不需大量地改變轉移系統之整體。
(其他實施例)
本發明不限於上文所述之該實施例，而是可以多種其他方式來實施。
例如，如在圖6中所示，複數個連接製程設備20a可以設置在第一區域1a之工站10。作為另一個實例，如在圖7中所示，所有製程設備可以連接至第一區域1a之工站10。換言之，該正常製程設備20b與該製程中載具30a可以設置在第一區域1a中。儘管未加以說明，這些實例亦可適用於該第二與該第三區域1b與1c。
在第一實施例中，一工站10係設置在該第一至第三區域1a至1c之各者中。作為另一個實例，設置在每個區域中之工站10的數量可以適當地改變。
在第一實施例中，製程間載具可以係高架梭(overhead shuttle,OHS)。
在第一實施例中，該製程中載具控制區段60a與該製程間載具控制區段60b可以由相同的控制區段來建構。該連接製程設備控制區段80a與該正常製程設備控制區段80b可以由相同的控制區段來建構。
儘管僅有所選擇之例示性實施例與實例被選擇用來說 明本發明，但熟習此項技術者可從本揭示內容中瞭解到可對這些實施例實行各種變化與修改而不悖離本發明如在隨附申請專利範圍中所界定之範疇。再者，依照本發明之例示性實施例與實例之先前描述僅提供用於說明而非用以限制由隨附申請專利範圍及其等效件所界定之本發明。

Claims (3)

  1. 一種轉移系統，包括：複數個製程設備(20a、20b)，每一製程設備對待處理之處理物件進行預定製程；製程設備控制單元(80a、80b)，其控制該製程設備；工站(10)，其儲存該處理物件；轉移裝置(12)，其被設置在該工站中且轉移該處理物件；及工站控制單元(70)，其控制該轉移裝置，其中該複數個製程設備中之至少一個製程設備被連接至該工站作為連接製程設備(20a)，該工站控制單元經由與該製程設備控制單元通信來控制該轉移裝置以將該處理物件從該工站載入至該連接製程設備且將該處理物件從該連接製程設備卸載至該工站，該工站控制單元控制該轉移裝置以在接收到來自於該製程設備控制單元指示待卸載之該處理物件之存在的訊號(REQ1、REQ2)之後便開始將該處理物件從該連接製程設備卸載至該工站。
  2. 如申請專利範圍第1項之轉移系統，其中該連接製程設備係該複數個製程設備中的一個製程設備，其係在該複數個製程設備中未具有最長製程週期的製程設備。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之轉移系統，其中該連接製程設備係該複數個製程設備中的一個製程設 備，其係在該複數個製程設備中具有最短製程週期的製程設備。
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