KR0138755B1

KR0138755B1 - Ic 분류별 수납장치 및 ic 검사장치

Info

Publication number: KR0138755B1
Application number: KR1019910009544A
Authority: KR
Inventors: 쥰이치로오 시바다
Original assignee: 이노우에 키요시; 도오교오 에레구토론 가부시끼 가이샤; 이노우에 쥰이치; 도오교오 에레구토론 야마나시 가부시끼 가이샤
Priority date: 1990-07-18
Filing date: 1991-06-10
Publication date: 1998-06-15
Also published as: KR920003565A; US5150797A; JPH0476472A; JP2921937B2

Abstract

IC 분류별 수납장치는, 검사결과에 따라 분류 해야할 IC를 반송하는 반송 유니트와, 반송 유니트에 의하여 반송되는 IC를 수납하는 수납 유니트를 구비하고 있다.

이 수납 유니트는, 수직구동 유니트를 가지는 적어도 1개의 수직이동 트레이 얹어놓는대와, 수직 이동 트레이 얹어놓는대의 윗쪽에 배치된 수평이동 트레이 얹어놓는대를 구비하고 있다.

이 수평이동 트레이 얹어놓은데는, 수직이동 트레이 얹어놓는대 위의 트레이에 IC를 수납할때에, 수평이동 트레이 얹어놓는대를 수직이동 트레이 얹어놓는대의 윗쪽에서 수평으로 이동 시켜서 퇴피 시키는 수평구동 유니트를 가지고 있다.

Description

IC 분류별 수납장치 및 IC 검사장치

제1도는, 본 발명의 1 실시예에 관한 IC검사장치의 평면도 ;

제2도는, 제1도에 나타내는 검사장치의 정면도 ;

제3도는, 본 실시예에 관한 수평구동 유니트의 일부단면 측면도 ;

제4도는, 그 수평구동 유니트의 일부단면 정면도 ;

제5A도 내지 제5D도는, 본 실시예에 관한 공(空)트레이 얹어놓는데와 불령품 트레이 얹어놓는대와, 재검사 트레이 얹어 놓는대의 동작을 나타내는 공정도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

2 : 핸들러4 : 트레이

4a : 재검사 트레이6 : IC

8 : 로더부 10 : 검사부

12 : 수납부14 : 얹어놓는데

16 : 픽업 유니트16a : 흡착부

16b : 에어 실린더18 : 제1의 로보트 아암

19 : 제2의 로보트 아암20 : 공트레이 얹어놓는데

22 : 제3의 로보트 아암24 : 수직 구동기구

24a : 에어 실린더24b : 펄스 모우터

26 : 수직 구동기구27 : XYZ 스테이지

28 : 전기적 특성 검사장치30 : 얼라이먼트 스테이지

31 : 반전 스테이지32 : 콘트롤러

34 : 양품 트레이 얹어놓는데36 : 불량품 트레이 얹어놓는데

38 : 수직 구동기구40 : 수직 구동기구

40b : 펄스 모우터42 : 모우터

42a : 회전축44 : 수평벨브

45 : 재검사 트레이 얹어놓는데(슬라이더)

46 : 수평 구동 유니트47 : 다리

48 : 측벽49 : 후벽

50 : 가이드 레일51 : 접속부

52 : 제4의 로보트 아암52a, 52b : 풀리

53 : 구동밸브54 : 제5의 로보트 아암

본 발명은, 반도체 집적회로(이하 IC라고칭함)의 검사장치에 관한 것으로, 특히 트레이에 수납된 IC를 자동적으로 검사하여 검사후 분류된 IC를 트레이에 수납하는 수납부를 가지는 IC 분별 수납 장치에 관한 것이다.

케이스내에 수납하여 조립이 완료된 IC를 자동적으로 측정부로 공급하여, IC의 양호 여부를 자동적으로 검사하고 선별하는 검사장치로서 핸들러가 많이 사용되고 있다.

IC 핸들러에 있어서, IC를 취급하는 공급형태에 의하여, 트레이 방식과 스틱방식이 있다.

스틱방식은, 가늘고 긴 지지체의 스틱에 IC를 1렬로 수납하여, 스틱을 경사시켜서 IC의 자체 무게와 간헐적으로 보내는 기구에 의하여 1개씩 반송시켜, 프리히트부를 거쳐, 측정부로 공급하는 방식이다.

검사후 IC는 자동적으로 예를들면, 양품(良品), 불량품, 재검사품등으로 분류되어서 재차 스틱에 차례로 수납된다.

또, 트레이 방식은, 평판형상의 트레이에 복수로 얹어놓여진 IC를 픽업하는 픽업 유니트를 갖춘 로보트 아암에 의해, 개별적으로 측정부에 반송하고, 검사후 동일하게 로보트 아암으로 분류 트레이에 수납하는 방식이다.

그러나, 스틱 방식에는 스틱의 안쪽벽을 리드선이 접촉하여 오르내리기 때문에, IC의 리드선이 변형하여 잼화되기 쉽고, 측정부에 있어서 착오 검출이 발생하거나, 혹은 IC가 반송중에 반송로에 막힌다고 하는 문제가 있다.

또, 트레이 방식에서는 리드선의 점화 발생은 적지만, 분류별 트레이를 배치할 스페이스가 필요하며, 그 때문에 핸들러의 설치 스페이스가 커지게된다는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 트레이 방식의 검사장치에 있어서, 분류별 트레이 설치를 입체적으로 하여, IC 제조용 클린룸내의 설치면적을 축소할수 있는 IC 검사장치를 제공하는데에 있다.

본 발명의 목적은 이하의 IC 검사장치에 의하여 달성된다.

즉, 이 IC 검사장치는, 검사 결과에 따라 분류해야할 IC를 반송하는 반송수단과, 상기 반송수단에 의해 반송되는 IC를 수납하는 수납수단을 구비하며, 이 수납수단은, 수직 구동수단을 가지는 적어도 하나의 수직이동 트레이 얹어놓는대와, 상기 수직이동 트레이 얹어놓는데의 윗쪽에 배치된 수평 이동 트레이를 구비하며, 이 수평이동 트레이 얹어놓는데는, 상기 수직이동 트레이 얹어놓는데에 IC를 반송할때에, 이 얹어놓은 대를 수직 이동 트레이 얹어놓는대의 윗쪽에서 수평방향으로 이동 시켜 퇴피(退避)시키는 수평 구동수단을 가지고 있다.

본 발명의 IC 분별 수납장치에서는, 검사필 IC를 검사 결과에 따라서 분별 수납하기 위한 복수의 트레이가 각각 얹어놓여진 얹어놓는데를 구비하고 있다.

그리고, 이 트레이 얹어놓는데는, 수직이동하는 트레이 얹어놓는대와, 이 트레이 얹어놓는대의 윗족에서 수평이동하는 트레이 얹어놓는대를 구비하고 있다.

그리고, 수직이동하는 트레이 얹어놓는대 위의 트레이에 검사필 IC 를 수납할 경우에는, 수평이동하는 트레이 얹어놓는대를 수평 이동 시켜서 그 위치에서 퇴피 시킨다.

따라서, 트레이 얹어놓는데가 분류별로 입체적으로 구성되기 대문에, 장치가 필요로 하는 스페이스를 줄일 수가 있다.

아하 도면을 참조하면서 본 실시예의 1 실시예에 대해서 설명한다.

제1도에 나타낸 바와같이, 본 실시예의 IC핸들러(2)는, 트레이(4)에 얹어놓여진 IC(6)를 로드하는 로더부(8)와, 이 로더부(8)로부터 반송되는 IC(6)의 검사를 행하는 검사부(10)와, 검사부(10)로부터 언로드되는 검사필 IC(6)를 수납하는 수납부(12)로 구성되어 있다.

제2도에 나타낸 바와같이, 로더부(8)에는 상하로 이동이 가능한 얹어 놓는대(14)가 형성되며, 이 얹어놓는대(14)에는 검사해야할 IC(6), 예를들면 4번에 전국 리드열을 가진 플랫패키지형 IC를 수납한 트레이(4)가 쌓여 겹쳐져있다.

그리고, 얹어놓는대(14)의 윗쪽에는, 제1의 로보트 아암(18)이 형성되며, 이 제1의 로보트 아암(18)은 흡착아암 예를들면 한쌍의 흡착부(16a)을 가진 픽업 유니트(16)를 구비하며, 도시하지 않는 펄스 모우터에의해, 이 픽업 유니트(16)를 좌우전후 방향(X-Y 방향)으로 이동 할수가 있다.

또, 픽업 유니트(16)는, 에어 실린더(16b)를 가지며, 흡착부(16a)를 Z방향(높이방향)으로 이동시킬수가 있다.

따라서, 트레이(4)위의 IC를 픽업할때에는, 제1의 로보트 아암(18)의 픽업 유니트(16)를 X-Y 방향으로 이동시켜서, 흡착부(16a)를 픽업해야할 IC의 윗쪽에 위치결정하고, 흡착부(16a)를 하강시켜 IC를 흡인등의 방법으로 흡착할수가 있다.

IC(6)를 흡착한후는, 에어 실린더(16b)에 의하여 IC(6)를 리프트하여, 로보트 아암(18)을 X-Y 방향으로 이동시켜서, IC의 얼라이먼트를 행하는 얼라이먼트 스테이지(30)에 반송 할수가 있다.

수납부(12)에서의 로더부(8)의 이웃에는, 공트레이 얹어놓는데(20)가 형성되고, 또, 로더부(8)와 수납부(12)에 평행하여 횡방향(X 방향)으로 이동하는 제3의 로보트 아암(22)이 형성되어 있다.

그리고, 최상단의 트레이(4)에 수납된 전부의 IC(6)가 얼라이먼트 스테이지(30)를 개재하여 검사부(10)에 반송되어, 트레이(4)가 비워지게 되면, 제3의 로보트 아암(22)의 픽업 유니트(도시하지 않음)에의 해, 공트레이(4)가 공트레이 얹어놓는데(20)에 반송된다. 얹어놓는데(14)는, 펄스 모우터에 의해, 상하 움직이는 수직 구동기구(24)에 설치되고, 공트레이 얹어놓는데(20)는 펄스 모우터와 에어 실린더에 의해, 소정 스트로크의 상하 움직임과 미동이 가능한 수직 구동기구(26)에 설치되어 있다.

그리고, 제3의 로보트 아암에 의하여 공트레이(4)가 공트레이 얹어 놓는대(20)에 이송되면, 얹어놓는대(14)는 트레이의 높이분 1단씩 상승하고, 반대로 공트레이 얹어놓는대(20)는 트레이의 높이분 1단씩 하강한다.

그후, 다음의 트레이에 얹어놓여진 IC가 제1의 로보트 아암(18)에 의하여 차례로 반송된다.

얼라이먼트 스테이지(30)에 반송된 IC는, 검사부(10)에 로드하기 위해 얼라이먼드되고, 얼라이먼트가 완료된 IC는, 제4의 로보트 아암(52)에 의하여 픽업되고, 검사부(10)에 반송된다.

검사용 스테이지에 형성된 IC는, 파인얼라이먼트가 잡힌뒤, 피검사 IC인 플랫패키지의 각 전국리드에 접촉하는 프로우브 단자와 전기적인 접촉조작을 행한다.

예를 들면, 프로우브 단자열을 가진 프로우브 장치를 전극열상에 하강 시켜서 접촉을 한다.

검사부(10)에는, XYZ 스테이지(27)를 가진 소켓식의 전기적 특성 검사 장치(28)가 형성되며, 이 검사장치(28)에는 CPU와 메모리(도시하지 않음)를 가진 콘트롤러(32)가 장착되어 있다.

여기서 검사된 IC는, 양품, 불량품, 재검사품의 어느 것인가로 판정되고, 콘트롤러(32)내의 메모리에 기억된다.

검사가 종료된 IC는, 제5의 로보트 아암(54)에 의하여 검사장치(28)에서 언로드되고, 반전 스테이지931)에 반송된다.

반전 스테이지(31)에서는, 도시하지 않는 180°회전하는 모우터에 의하여 IC를 반전 시킨다.

반전 스테이지(31)에서 반전이 종료된 IC는, 제1의 로보트 아암(18)과 같이 구성된 흡착부(17a)와 픽업 유니트(17)를 가지는 제2의 로보트 아암(19)에 의해 픽업되고, 콘트롤러(32)의 메모리에 기억된 정보에 따라 수납부(12)에 형성된 분류별 트레이에 각각 분류하여 반송, 수납된다.

수납부(12)에는, 분류별 트레이를 얹어놓는 양품 트레이 얹어놓는데(34) 및 불량품 트레이 얹어놓는데(36)가 형성되며, 양품 트레이 얹어 놓는대(34)는, 펄스 모우터에 의해 상하 움직이는 수직 구동기구(38)에 설치되며, 불량품 트레이 얹어놓는데(36)는 펄스 모우터와 에어 실린더에 의하여 소정 스트로크의 상하 움직임과 미동이 가능한 수직 구동기구(40)에 설치되어 있다.

양품 트레이 얹어놓는데(34) 및 불량품 트레이 얹어놓는대(36)에 얹어 놓여진 최상부 트레이에 검사필의 IC(6)가 반송되어 가득차게되면, 수직 구동기구(38) 및 (40)에 의해, 양품 얹어놓는데 (34) 및 불량품 트레이 얹어놓는대(36)가 트레이의 높이분 하강하고, 공트레이 얹어놓는대(20) 위의 공트레이가 제3의 로보트 아암(22)에 의해 차례로, 양품 트레이 얹어놓는대(34) 및 불량품 트레이 얹어놓는대(36)위로 반송된다.

제3도 및 제4도에 나타낸 바와같이, 불량품 트레이 얹어놓는대(36)와 공트레이 얹어놓는대(20)의 윗쪽에는, 모우터(42)에 의하여 구동되는 수평벨트(44)를 갖춘 수평 구동 유니트(46)가 설치되고, 수평벨트(44)에는 재검사 트레이 얹어놓는데(45)가 형성되어 있다.

수평구동 유니트(46)는 다리(47)와 측벽(48), 및 후벽(49)을 가지며, 측벽(48)의 사이에는 2개의 가이드 레일(50)이 평행하게 배열설치 되어 있다.

그리고, 이 가이드 레일(50)을 따라 미끄럼 이동이 자유롭게 재검사 트레이 얹어놓는데(슬라이더)(45)가 장착되어 있다.

재검사 트레이 얹어놓는대(45)는 접속부(51)에서 수평벨트(44)에 장착되어 있다.

수평벨트(44)는, 후벽(49)의 좌우에 회전 가능하게 고정된 한쌍의 풀리(52a), (52b)에 걸어서 걸치고, 한족의 풀리 (52a)는 구동벨트(53)를 기재하여 모우터의 회전축(42a)에 접속되어 있다.

이 실시예에서는, 재검사 트레이 얹어놓는데(45)를 수평구동 유니트(46)위에 형성 하였으나, 이에 한정되지 않으며, 분류되는 빈도가 적은 IC를 수납하는 트레이를 수평구동 유니트(46)위에 형성하는 것이 바람직하다.

다음에 상기 실시예에 관한 IC 핸들러의 동작에 대해서 설명한다. 먼저, 로더부 (8)의 트레이 얹어놓는대(14)위에 검사해야할 IC를 수납한 복수의 트레이(4)를 반송 로보트 또는 오퍼레이터에 의해 얹어놓는다.

다음에, 제1의 로보트 아암(18)이 미리 기억된 프로그램에 의해 피검사 IC(6)가 얼라이먼트 스테이지(30)에 반송되고, 차례로 얼라이먼트후, 전기적 특성 검사장치(28)이 XYZ 스테이지(27)상에 제4의 로보트 아암(52)에 의해 반송된다.

이 검사용 스테이지(27)로 파인 얼라이먼트를 잡고, 프로우브 장치를 하강시켜, 각 전극리드와 전기적으로 접촉시킨다.

그 다음 IC는, 그 전기적 특성이 검사되고, 검사가 종료되면, 그 검사 결과가 콘트롤러(32)내의 메모리에 기억된다.

검사가 종료된 IC는, 제5의 로보트 아암(54)에 의해 반전 스테이지(31)에 반송되고, 이 반전 스테이지로 반전된다.

반전된 IC는, 검사결과가 양품으로 판정되어 있는 경우에는, 그 정보에 따라서, 제2의 로보트 아암(19)이 그 IC를 픽업하여, 양품 트레이 얹어놓는대(34) 위에 얹어놓여진 트레이에 수납된다.

차례로 검사가 행해져서 불량품의 IC가 검출되고, 제2도에 나타낸 바와 같이, 재검사 트레이 얹어놓는대(45)가 공트레인 얹어놓는데(20)의 윗쪽에 위치하고 있는 경우에는, 제2의 로보트 아암(19)은, 불량품의 IC를 불량품 트레이 얹어놓는대(36) 위에 트레이에 수납한다.

또, 차레로 검사가 실시되어 재검사 해야할 IC가 검출된 경우에는, 제 5A로부터 제5D도에 나타내는 공정이 실시된다.

즉, 제2도 및 제5A도에 나타낸 상태에서, 검사부(10)의 콘트롤러(32)로부터 재검사 IC를 검출한 신호가 출력되면, 제5B도에 나타낸 바와같이 불량품 트레이 얹어놓는데(36)가, 수직 구동기구(40)의 에어실린더(40a)에 의하여 소정 스트로크 하강한다.

다음에, 제 5C도에 나타낸 바와같이, 재검사 트레이 얹어놓는데(45)가, 수평구동 유니트(46)에서의 모우터(42)의 회전에 의한 수평벨트(44)의 이동에 의하여 불량품 트레이 얹어놓는데(36)위로 이동한다. 그리고, 제5D도에 나타낸 바와 같이 공트레이 얹어놓는대(20)가, 수직 구동기구(24)의 에어 실린더(24a)에 의하여 소정 스트로크 상승한다. 그리고, 공트레이 얹어놓는대(20) 위에 적재된 공트레이(4)를 양품 트레이 얹어놓는대(34) 또는 불량품 트레이 얹어놓는대(36)에 반송할때에는 제5D도에 나타낸 재검사 트레이 얹어놓는데(45)의 위치가 대기 위치로 된다.

또, 제5A 도에서의 부호 (24b) 및 (40b)는, 상기 펄스 모우터를 나타내고 있다.

수평구동 유니트(46)에 의해, 이동된 재검사 트레이 얹어놓는데(45)의 위치는, 수시로 콘트롤러(32) 내의 메모리에 기억되기 때문에, 재검사 IC가 검출된 경우에는, 이와같이 재검사 트레이 얹어놓는대(45)가 불량품 트레이 얹어놓는대(36) 윗쪽 위치로 이동하여, 재검사 트레이(4a)에 대항으로 되는 IC를 수납 할수가 있다.

차례로 검사가 진행되고, 로더부(8)의 얹어놓는데(14 )위에 얹어놓여진 최상단의 트레이에 수납된 IC의 검사가 행해지고, 트레이가 비워지게되면, 제3의 로보트 아암(22)에 의하여 그 공트레이가 공트레이 얹어놓는대(20)로 반송된다.

또, 양품 트레이 얹어놓는대(34)의 트레이가 가득차게되면, 공트레이 얹어놓는대(20)위의 공트레이가 제3의 로보트 아암(22)에 의해, 반송된다.

또한, 불량품 트레이 얹어놓는대(36)위의 트레이가 가득차게 될 경우에는, 공트레이 얹어놓는대(20)위에서 제3의 로보트 아암(22)이 트레이를 픽업하여 그 위치에서 대기하고, 그 사이에 수평구동 유니트(46)에 의해, 재검사 트레이 얹어놓는대(45)가 공트레이 얹어놓는대(20) 위로 이동하여, 불량품 트레이 얹어놓는대(36)의 상부 공간을 개방하고, 그후, 제3의 로보트 아암(22)에 의하여 유지된 공트레이를 불량픔 트레이 얹어놓는대(36)위로 반송된다.

만약, 재검사 트레이 얹어놓는대(45)위의 트레이가 가득차게 되면, 불량품 트레이 얹어놓는대(36)윗쪽에, 재검사 트레이 얹어놓는대(45)를 배치하여, 제3의 로보트 아암(22)에 의하여 공트레이 얹어놓는대(20) 위에서 공트레이를 반송 할수가 있다.

이와같이 본 발명에서는, 검출빈도가 적은 분류의 트레이를 수평구동 유니트에 설치된 얹어놓는대에 얹어놓음으로써, 트레이의 얹어놓는대를 입체적으로 구성 할수가 있다.

그때문에, 장치 윗쪽 공간을 유효하게 이용할수 있고, 반도체를 제조하는 클린룸의 마루바닥 면적을 절약할 수 있으므로 경제적이다.

그리고, 본 발명에 관한 IC 분류별 수납장치는, IC 핸들러에 한정되는 것은 아니며, 트레이식의 IC 검사장치이면 어떠한 것이라도 적용할수 있다. 수평구동 유니트도 벨트 구동 형식에 한정되지 않으며 볼나사와 너트에 의하여 구성되는 구동기구도 적용 할수가 있다.

IC를 분류하는 트레이가 다수인 경우에는, 수평이동하는 트레이 얹어놓는대를 2대이상 설치 할수도 있다.

또한, 트레이 얹어놓는대를 3중 이상의 입체 구조로 할수도 있다.

본 발명은, 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 발명의 요지를 벗어나지 않고, 여러가지로 변형하여 실시할수 있는 것은 당연한 것이다.

Claims

검사결과에 따라서 분류하고 수납해야할 IC를 분류된 수납부(12)에 반송하는 반송수단과 ; 상기 반송수단에 의하여, 반송되는 IC(6)를 분류 수납하는 수납수단과로 구성되며 ; 이 수납수단은, 수직구동수단을 가지는 적어도 1개의 수직 이동 트레이 얹어놓는대(45)와, 상기 수직이동 트레이 얹어놓는대의 윗쪽에 배치된 수평이동 트레이 얹어놓는대를 구비하며, 수평이동 트레이 얹어 놓는대는, 상기 수직이동 트레이 얹어놓는대에 IC(6)를 반송할때에, 이 얹어놓는대를, 수직이동 트레이 얹어놓는대의 윗쪽에서, 수평방향으로 이동 시켜서 퇴피 시키는 수평구동 수단을 구비하여된 IC 분류별 수납장치.
제1항에 있어서, 상기 반송수단은, 수평면상에서 이동 가능한 로보트 아암과 수직방향으로 이동 가능한 픽업 유니트(16)를 구비하고 있는 IC 분류별 수납장치.
제1항에 있어서, 상기 수평구동수단은, 한쌍의 풀리(52a), (52b)와, 이 풀리(52a), (52b)에 걸려진 벨트와, 이 벨트를 구동하는 모우터(42)를 구비하고 있는 IC분류별 수납장치.
제3항에 있어서, 상기 수평구동수단은, 가이드 레일(50)과, 이 가이드 레일(50)에 미끄럼 이동이 자유롭게 장착된 슬라이더를 구비하며, 이 슬라이더는 상기 벨트에 장착되어 있는 IC 분류별 수납장치.
제1항에 있어서, 상기 수직구동수단은, 상기 수직이동 트레이 얹어 놓는대를 소정의 스트로크 이동 시키는 에어 실린더(24a)와 미동 시키는 펄스 모우터(40b)를 구비하고 있는 IC 분류별 수납장치.
제1항에 있어서, 상기 수납수단은, 3개의 수직이동 트레이 얹어놓는 대를 구비하고 있는 IC 분류별 수납장치.
제6항에 있어서, 상기 수평이동 트레이 얹어놓는데는, 상기 3개의 수직이동 트레이 얹어놓는대에서의 인접하는 2개 얹어놓는대의 윗쪽에 설치되고, 어느 한쪽의 수직이동 트레이 얹어놓는대에 IC(6)를 반송할 때에 그 얹어놓는대의 윗쪽에서 수평방향으로 이동하여, 다른쪽 수직이동 트레이 얹어놓는대의 윗쪽으로 퇴피 시키는 수평구동 수단을 구비하고 있는 IC 분류별 수납장치.
검사결과에 따라서 분류하고 수납해야할 IC(6)를 분류된 수납부(12)에 반송하는 반송수단과 ; 상기 반송수단에 의해, 반송되는 IC(6)를 분리 수납하는 수납수단과 ; 로 구성되며, 이 수납수단은, 각각 수직구동 수단을 가지는 3개의 수직이동 트레이 얹어놓는대와, 상기 3개의 수직이동 트레이 얹어놓는대에서의 인접하는 2개의 얹어놓는대의 윗쪽에 설치된 수평이동 트레이 얹어놓는대를 가지며, 이 수평이동 트레이 얹어놓는대는, 어느 한쪽의 상기 수직이동 트레이 얹어놓는대에 IC(6)를 반송할대에, 그 얹어놓는대의 윗쪽에서 수평 이동 트레이 얹어놓는대를 수평방향으로 이동하여, 다른쪽 수직이동 트레이 얹어놓는대의 윗쪽으로 퇴피 시키는 수평구동 수단을 구비하여 구성되는 IC 분류별 수납장치.
제8항에 있어서, 상기 반송수단은, 수평면상에서 이동 가능한 로보트 아암과 수직방향으로 이동 가능한 픽업 유니트(16)를 구비하고 있는 IC 분류별 수납장치.
제8항에 있어서, 상기 수평구동 수단은, 한쌍의 풀리(52a), (52b)와. 이 풀리(52a), (52b)에 걸려진 벨트와 이 벨트를 구동하는 모우터(42)를 구비하고 있는 IC 분류별 수납장치
제10항에 있어서, 상기 수평구동 수단은, 가이드 레일(50)과, 이 가이드 레일(50)에 미끄럼 이동이 자유롭게 장착된 슬라이더를 구비하며, 이 슬라이더는 상기 벨트에 장착되어 있는 IC 분류별 수납장치.
제8항에 있어서, 상기 수직구동수단은, 상기 수직이동 트레이 얹어놓는대를 소정의 스트로크 이동 시키는 에어 실린더와 미동 시키는 펄스모우터(40b)를 구비하고 있는 IC 분류별 수납장치.
IC(6)를 검사하는 검사수단과, 이 IC 검사수단에 반입해야할 IC(6)를 수납한 제1의 트레이 얹어놓는 대와, 상기 검사수단에 의한 검사결과에 따라서 분류해야할 IC(6)반송하는 반송수단과, 수직구동수단을 가지며, 수직방향으로 이동하는 적어도 1개의 제2의 트레이 얹어놓는대와, 상기 제2의 트레이 얹어놓는대의 윗쪽에 설치되고, 제2의 트레이 얹어놓는대에 IC(6)를 반송할대에, 그 얹어놓는대의 윗쪽에서 수평방향으로 이동하여 퇴피하기위한 수평구동 수단을 구비한 제3의 트레이 얹어 놓는대와로 구성되는 IC 검사장치.
제13항에 있어서, 서로 인접하여 배치된 3개의 제2의 트레이 얹어 놓는대를 가지며, 상기 제3의 트레이 얹어놓는대는, 상기 3개의 제2의 트레이 얹어놓는대에서의 인접하는 2개의 얹어놓는대의 윗쪽에 설치되고, 어느 한쪽의 제2의 트레이 얹어놓느대에 IC(6)를 반송할때에, 그 얹어놓는대의 윗쪽에서 제3의 트레이 얹어놓는대를 수평방향으로 이동시켜서, 다른쪽 얹어놓는대의 윗쪽으로 퇴피 시키는 수평구동 수단을 더욱 포함하여 구성하는 IC 검사장치.
제13항에 있어서, 상기 반송수단은, 수평면상에 이동 가능한 로보트 아암과 수직방향으로 이동 가능한 픽업 유니트(16)를 구비하고 있는 IC 검사장치.
제13항에 있어서, 상기 수평구동수단은, 한쌍의 풀리 (52a), (52b)와 이 풀리(52a), (52b)에 걸려진 밸트와, 이 밸트를 구동하는 모우터를 구비하고 있는 IC 검사장치.
제16항에 있어서, 상기 수평구동수단은, 가이드 레일(50)과, 이 가이드 레일(50)에 미끄럼 이동이 자유롭게 장착된 슬라이더를 구비하며, 이 슬라이더는 상기 벨트에 장착되어 있는 IC 검사장치.
제13항에 있어서, 상기 수직구동수단은, 상기 수직이동 트레이 얹어놓는대를 소정의 스토로크 이동 시키는 에어 실린더와 미동 시키는 펄스 모우터(40b)를 구비하고 있는 IC 검사장치.
검사결과에 따라서 분류해야할 IC를 반송 유니트에 의하여 반송하고, 제1의 분류에 속하는 IC(6)를 수직이동하는 제1의 트레이 얹어놓는 대위의 트레이에 수납하며, 제2의 분류에 속하는 IC(6)를 수납할때에, 상기 제1의 트레이 얹어 놓는대의 윗쪽에서 수평 방향으로 이동하는 제2의 트레이 얹어놓는대를 상기 제1의 트레이 얹어놓는대위로 이동 시켜서, 그 얹어놓는대 위의 트레이에 수납하고, 다시, 상기 제1의 트레이 얹어놓는대 위의 트레이에, 제1의 분류에 속하는 IC(6)를 수납할때에, 상기 제2의 트레이 얹어놓는대를 상기 제1의 트레이 얹어놓는대의 윗쪽에서 퇴피 시키는 공정으로 구성되는 IC 분류별 수납방법.
제19항에 있어서, 상기 제2의 분류에 속하는 IC(6)를 수납하는 공정은, 미리, 상기 제2의 트레이 얹어놓는대를, 공트레이를 얹어놓는 제3의 트레이 얹어놓는대의 윗쪽에 배치하고, 상기 제1의 트레이 얹어놓는대를 소정 스토로크 하강 시키고, 상기 제2의 트레이 얹어놓는대를 상기 제1의 트레이 얹어놓는대 위로 이동 시키며, 상기 제3의 트레이 얹어놓는대를 소정 스토로크 상승 시키는 공정을 더욱 포함하여 구성되는 IC 분류별 수납방법.
제20항에 있어서, 상기 제1의 트레이 얹어놓는대 위의 트레이(4)가 IC(6)로 가득차게 되었을때에, 상기 제3의 트레이 얹어놓는데 위에 얹어놓여진 공트레이(4)를 상기 트레이(4) 위로 반송하는 공정을 더욱 포함하여 구성되는 IC 분류별 수납방법.