KR20010098361A - 테스트 핸들러 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 복수의 반도체 디바이스를 반송하여 테스트 헤드와 접속시킴으로써 테스트가 이루어지도록 하고, 테스트 된 복수의 반도체 디바이스를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 적재하는 테스트 핸들러에 있어서,테스트할 일정수량의 디바이스가 담긴 복수개의 유저트레이가 적재되는 유저트레이 공급부와, 테스트의 결과에 따라 등급별로 분류된 디바이스가 담긴 복수개의 유저트레이가 적재되는 유저트레이 출하부로 구획된 스톡커;주회로중을 이동하도록 배치된 복수의 테스트 트레이;상기 유저트레이 공급부의 유저트레이로부터 상기 테스트 트레이로 디바이스를 이동시키기 위한 디바이스 로딩수단;상기 주회로중에 구성되며, 수평한 상태로 이송되는 디바이스가 담긴 테스트 트레이를 수직하게 세우는 제1 트레이반전수단;상기 제1 트레이반전수단에 의해 수직하게 세워진 테스트 트레이를 순차적으로 받아 소정의 단계로 이송시키면서 원하는 테스트 온도 조건을 조성함과 아울러 테스트 트레이를 상하의 수직 2열 배치로 정렬하여 배출하는 속챔버;상기 속챔버로부터 배출되는 2개의 테스트 트레이에 있는 디바이스를 테스트 헤드와 접속시켜 테스트가 이루어지도록 하기 위한 적어도 하나의 테스트 챔버;상기 테스트 챔버로부터 2열로 배출되는 테스트 트레이를 1열로 정렬하여 받아 소정의 단계로 이송시키면서 디바이스의 온도를 환원시키는 디속챔버;상기 디속챔버로부터 수직한 상태로 배출되는 테스트 트레이를 다시 수평한 상태로 뉘이는 제 2 트레이 반전수단; 및,상기 제2 트레이반전수단에 의해 수평한 상태로된 테스트 트레이상의 디바이스들을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 다수의 빈트레이로 이동시키는 디바이스 언로딩수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제1 항에 있어서, 상기 스톡커에는1열의 트레이 적재공간에서 복수개의 유저트레이를 구분하여 보관해 주는 멀티 적재부가 내장됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제 2항에 있어서, 상기 멀티 적재부는하부에 장착된 구동수단에 의해 상하로 이동되어 미리 규정된 스톡커가 원하는 위치에서 분류된 상기 유저트레이를 적재받을 수 있고, 필요시 배출 실린더와 이송가이드에 의해 본체 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제1 항에 있어서, 상기 스톡커에는상기 유저트레이 공급부 및 유저트레이 출하부의 하부에 보조 공급부와 보조 출하부가 설치되어, 상부에 배치된 유저트레이 적재부에 유저트레이가 다 소비되면 자동으로 유저트레이를 유저트레이 공급부로 올려 적재하고, 유저트레이 출하부에 적재가 완료되면 유저트레이를 보조 출하부에 하강시켜 출하하여 필요시 본체를 정지하지 않으면서 유저트레이를 투입, 배출할 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제 1항에 있어서, 상기 디바이스 로딩수단은상기 유저트레이 공급부의 상측에 배치되며, 디바이스 로딩을 위한 유저트레이가 위치되는 수개의 로딩측 셋 플레이트;상기 로딩측 셋 플레이트로 상기 유저트레이 공급부에 있는 유저트레이를 순차적으로 이동시키는 트랜스퍼 암; 및상기 로딩측 셋 플레이트와 상기 테스트 트레이가 위치된 로딩측 트레이 정렬 스테이션간을 연속적이면서 반복적으로 이동하면서 유저트레이상의 디바이스를 테스트 트레이로 이재시키는 제1 직교좌표 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제5 항에 있어서, 상기 디바이스 로딩수단은위치결정핀이 돌출되고 좌우 전후로 테이퍼진 가이드벽이 형성된 위치결정장치를 더 포함하여, 상기 위치결정장치를 상승시켜 상기 테스트 트레이에 유동가능하게 장착된 인서트의 고정홀에 위치결정핀을 삽입하여 상기 인서트를 고정하고, 이재되는 상기 디바이스가 상기 인서트에 삽입될 때 상기 가이드벽이 상기 디바이스를 안내하여 정확하게 상기 인서트에 안착되게 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제 5항에 있어서, 상기 트랜스퍼 암은상부 측면에 제1 센서가 부착되고 상면에는 제2 센서가 부착되어, 상기 유저트레이 공급부의 적재부에 상기 제1 센서로 대략 유저트레이의 위치를 감지할 때까지 빠르게 하강하다 상기 제1 센서가 감지하면 천천히 하강하면서 상면에 설치된 상기 제2 센서가 상기 유저트레이를 정확히 감지하여 픽킹 후, 상기 셋 플레이트로 이동시키는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제 5항에 있어서, 상기 제1 직교좌표 로봇은전렬에 8개의 진공패드와 후렬의 8개 진공패드를 장착하고, 이동수단에 의해 일정 거리로 상기 진공패드 간격을 조절하는 핸드를 장착하여 1회에 16개의 디바이스를 픽킹할 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제8 항에 있어서, 이동수단은상기 전렬과 후렬을 전후로 이동시켜 간격을 조절하는 전후이동부, 상기 진공패드를 상하로 이동시키면서 각각의 진공패드와의 간격을 조절하는 좌우이동부로 구성되며, 상기 좌우이동부는 상기 각각의 패드를 이동할 수평거리에 맞추어 장공이 형성된 캠 플레이트가 결합되고 상기 각각의 패드에는 캠 팔로우어가 돌출되어 상기 캠 플레이트의 장공에 삽입되어 캠 플레이트 상하강시 일정한 거리로 상기 각각의 패드가 벌어졌다 좁혀졌다 함을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제1 항에 있어서, 속 챔버는상기 테스트 트레이를 상하의 2열 수직 배치된 가이드바에 탑재하여 이동축과 이동수단에 결합된 푸셔로 상기 상하의 테스트 트레이를 밀면서 상기 테스트 헤드로 이동시키면서, 동시에 상기 가이드바에 탑재되고 테스트 완료된 상기 테스트 트레이를 배출시키는 인덱싱 메카니즘을 갖는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제1 항에 있어서, 테스트 챔버는상기 테스트 헤드가 상기 본체의 내부에 위치하지 않고, 외부에 위치하여 테스트 트레이의 디바이스들과 컨택하게 함을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제1 항에 있어서, 디속챔버는그 하단에 리니어 가이드를 장착하고 상기 본체에는 리니어 블록을 장착하여 고장시 상기 본체의 리니어 블록을 타고 본체에서 빠져나오게 하여 유지보수를 용이하게 함을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제1 항에 있어서, 상기 디바이스 언로딩수단은언로딩측 트레이 정렬 스테이션에 위치된 테스트 트레이상의 디바이스를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 이재시키기 위한 제1 및 제2 단축로봇;상기 제1 및 제2 단축로봇에 의해 이재되는 디바이스를 단위수량별 또는 판정등급별로 일시 보관하기 위한 적어도 2개의 소터 테이블;상기 소터 테이블에 보관된 디바이스를 단위수량별, 판정등급별로 단순 이재시키기 위한 제 2 직교좌표 로봇;상기 유저트레이 출하부의 상측에 배치되며, 상기 제2 직교좌표 로봇에 의해 이재되는 디바이스를 수납하기 위한 다수의 빈트레이가 위치되는 다수의 언로딩측 셋 플레이트; 및,상기 언로딩측 셋 플레이트에 위치된 빈트레이에 디바이스가 가득차면 해당하는 빈트레이를 상기 유저트레이 출하부로 이동시키는 트랜스퍼 암을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제1 항에 있어서, 상기 디바이스 언로딩수단은상기 디바이스를 테스트 결과에 따라 소팅하는 소팅파트와 소팅된 상기 디바이스를 상기 소터 테이블로부터 단순 이재하는 언로딩파트의 2단계로 진행하도록 구성함으로써 디바이스 언로딩 타임을 단축시키는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20000021033 | 2000-04-20 | ||
KR1020000021033 | 2000-04-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010098361A true KR20010098361A (ko) | 2001-11-08 |
KR100401014B1 KR100401014B1 (ko) | 2003-10-08 |
Family
ID=19665899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2000-0059106A KR100401014B1 (ko) | 2000-04-20 | 2000-10-07 | 테스트 핸들러 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100401014B1 (ko) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100401932B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2003-10-17 | 주식회사 테스트이엔지 | 테스트 핸들러를 통한 반도체 장치의 테스트 방법 |
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KR20190101800A (ko) * | 2018-02-23 | 2019-09-02 | (주)테크윙 | 전자부품 테스트용 핸들러 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100917001B1 (ko) | 2007-11-23 | 2009-09-14 | 세크론 주식회사 | 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한트레이 이송방법 |
-
2000
- 2000-10-07 KR KR10-2000-0059106A patent/KR100401014B1/ko active IP Right Grant
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KR20190101800A (ko) * | 2018-02-23 | 2019-09-02 | (주)테크윙 | 전자부품 테스트용 핸들러 |
KR20240016372A (ko) * | 2018-02-23 | 2024-02-06 | (주)테크윙 | 전자부품 테스트용 핸들러 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100401014B1 (ko) | 2003-10-08 |
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A201 | Request for examination | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
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B701 | Decision to grant | ||
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FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150914 Year of fee payment: 13 |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160923 Year of fee payment: 14 |
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FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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