JPWO2018029915A1 - ロードポート及びウェーハ搬送方法 - Google Patents
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Abstract
Description
クリーンルームに設置された、図5に示すような移載機のロードポートとして、図1〜3に示したような本発明のロードポートを用いてウェーハの搬送を行った。ここで用いられた本発明のロードポートは、排気ポンプによって、ラッチ駆動機構収納部の気圧をクリーンルームの気圧よりも低圧にしたものであり、かつ、ラッチ駆動機構収納部がシール材によって気密にされ、ウェーハ搬送室(図5の場合はウェーハ搬送ロボットなどが設置されている移載機内部)に対して密閉されたものとした。そして、このような本発明のロードポートを図5のような移載機のポート1〜4(図5中のP1〜P4)に配置した。
図7〜9に示したような従来のロードポートを移載機に配設したこと以外、実施例1と同様にウェーハの搬送を行った。ここで用いられた従来のロードポートは、排気ポンプによる減圧、及び、シール材によるラッチ駆動機構収納部の密閉を行わなかった。
最少単位0.1Paの差圧計(オムロン株式会社製)を用いてクリーンルームの気圧を基準としたラッチ駆動機構収納部の気圧の測定を行った。まず、差圧計の低圧側チューブをクリーンルームの床上1mの位置に設置した。次に、2個あるうちの一方のラッチをキャップし(もう一方はキャップせず)、差圧計の高圧側チューブをキャップの中に挿入し、差圧を測定した。その結果、表1のように、実施例1においては、すべてのロードポートでラッチ駆動機構収納部の気圧はクリーンルームの気圧に対して低圧となっていた。一方、比較例では、すべてのロードポートでラッチ駆動機構収納部の気圧はクリーンルームの気圧に対して高圧となっていた。また、実施例1では、ラッチ駆動機構収納部の気圧はクリーンルームの気圧に対して平均で−2.4Pa、比較例は+0.1Paであった。
パーティクル測定器(株式会社日立デコ製)の吸引チューブをラッチ部(クリーンルーム側)近傍にセットした。続いて、マニュアル操作でラッチ部のみを連続駆動(ラッチの蓋開閉動作)させ、気中のパーティクル(塵)を測定した。このとき、サイズが0.07μm以上のパーティクルの個数を調べた。測定結果を表1に示す。
まず、直径300mmのポリッシュドウェーハ(PW)を3枚入れたFOUPを2個準備した。そして、全てのウェーハについてLLS(Localized Light Scatters;局所的な光散乱体)測定を行った。ここでは、サイズが28nm以上のパーティクルの個数を調べた。また、パーティクル測定器としてはKLAテンコール社製のSurfscan SP2、Surfscan SP3、及びSurfscan SP5を用いた。
図4に示したようなラッチ駆動機構収納部を有する本発明のロードポートを移載機に配設したこと以外、実施例1と同様にウェーハの搬送を行った。即ち、ここで用いられた本発明のロードポートは、シール材によりラッチ駆動機構収納部を気密にし、ウェーハ搬送室(移載機内部)に対してラッチ駆動機構収納部が密閉されたものであった。
図11に示したような、排気装置が接続されたインナーキャップをラッチ駆動機構収納部の内部に有する本発明のロードポートを移載機に配設したこと以外、実施例1と同様にウェーハの搬送を行った。即ち、ここで用いられた本発明のロードポートは、シール材によりインナーキャップ内部を気密にしたうえで、インナーキャップ内部を排気することで、インナーキャップの内部の気圧をクリーンルームの気圧よりも低圧にできるものであった。
図12に示したような、シャフト部の内部を減圧することで、ラッチ駆動機構収納部の内部の気圧を、クリーンルームの気圧よりも低圧にすることが可能なロードポートを移載機に配設したこと以外、実施例1と同様にウェーハの搬送を行った。
Claims (7)
- クリーンルーム内に設置されたウェーハ搬送室に隣接して設けられ、該ウェーハ搬送室と容器本体及び蓋を具備するウェーハ収納容器との間でウェーハの出し入れを行うためのロードポートであって、
前記ウェーハ搬送室の壁面の一部を構成し、該ウェーハ搬送室内を開放する開口を有する板状部と、
前記ウェーハ収納容器の蓋を前記開口に対向させるように前記ウェーハ収納容器が載置される載置台と、
前記開口に嵌められ、前記開口から離脱するように駆動可能であることで前記開口を開閉可能な扉部と、
前記扉部に設置され、前記蓋に吸着することで前記蓋を保持可能な吸着具と、
前記扉部に設置され、前記容器本体と前記蓋との固定を解除するよう駆動でき、また、前記容器本体と前記蓋とを固定するよう駆動できるラッチと、
前記ウェーハ搬送室内で前記扉部に隣接して設けられ、前記ラッチを駆動させるラッチ駆動機構が収納されたラッチ駆動機構収納部と、
を具備し、
前記吸着具で前記蓋を吸着保持した状態で、前記ラッチで前記容器本体と前記蓋との固定を解除し、前記吸着具に対して相対的に前記容器本体を移動させることで、前記蓋を開閉することが可能に構成されており、
前記ラッチ駆動機構収納部の内部の気圧を、前記クリーンルームの気圧と同圧、又は、前記クリーンルームの気圧よりも低圧にすることが可能なように構成されたものであることを特徴とするロードポート。 - 前記ラッチ駆動機構収納部が排気装置に接続されたものであり、該排気装置によって、前記ラッチ駆動機構収納部の気圧を前記クリーンルームの気圧よりも低圧にすることが可能なものであることを特徴とする請求項1に記載のロードポート。
- 前記ラッチ駆動機構収納部がシール材によって気密にされ、前記ウェーハ搬送室に対して密閉されたものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のロードポート。
- さらに、前記ラッチ駆動機構を収納するインナーキャップを前記ラッチ駆動機構収納部の内部に有し、該インナーキャップが排気装置に接続されたものであり、該排気装置によって、該インナーキャップの内部の気圧を前記クリーンルームの気圧よりも低圧にすることが可能なものであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のロードポート。
- さらに、前記ラッチ駆動機構収納部を支持する中空のシャフト部を具備し、該シャフト部の内部の空間が前記ラッチ駆動機構収納部の内部の空間と接続され、前記シャフト部の内部及び前記ラッチ駆動機構収納部の内部がシール材によって気密にされ、前記ウェーハ搬送室に対して密閉されたものであり、
前記シャフト部に接続された排気装置によって、該シャフト部の内部を減圧することで、前記ラッチ駆動機構収納部の内部の気圧を、前記クリーンルームの気圧よりも低圧にすることが可能なものであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のロードポート。 - クリーンルーム内に設置されたウェーハ搬送室に隣接して設けられた請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のロードポートを用いて、前記ウェーハ搬送室とウェーハ収納容器との間でウェーハの出し入れを行うウェーハ搬送方法であって、
前記ラッチ駆動機構収納部の内部の気圧を、前記クリーンルームの気圧と同圧、又は、前記クリーンルームの気圧よりも低圧とし、
前記吸着具で前記蓋を吸着保持した状態で、前記ラッチで前記容器本体と前記蓋との固定を解除し、前記吸着具に対して相対的に前記容器本体を移動させることで、前記蓋を開け、かつ、前記扉部を前記開口から離脱させて前記開口を開くことで、前記ウェーハ搬送室の内部空間と前記ウェーハ収納容器の内部空間を連結してから、前記ウェーハ搬送室と前記ウェーハ収納容器との間でウェーハの出し入れを行うことを特徴とするウェーハ搬送方法。 - 前記ウェーハ搬送室の内部の気圧を前記クリーンルームの気圧よりも高圧とすることを特徴とする請求項6に記載のウェーハ搬送方法。
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