JPWO2016111315A1 - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2…圧電基板
3…入力端子
4…出力端子
5…グラウンド端子
6…IDT電極
6a1,6b1…第1,第2の電極指
6a2,6b2…第1,第2のバスバー
7…反射器
8…容量電極
8a1,8b1…第3,第4の電極指
8a2,8b2…第3,第4のバスバー
9…絶縁膜
9a…上面
14…第1の配線
14b…第1の部分
15…第2の配線
16…第3の配線
17…接続配線
18…容量部
21…弾性波装置
24…第1の配線
28…容量部
39…絶縁膜
39a…上面
44…第1の配線
44a…上面
44b…第1の部分
48…容量電極
49…絶縁膜
49a…上面
58…容量部
69…絶縁膜
71…弾性波装置
72…圧電基板
74…第1の配線
81…弾性波装置
84…第1の配線
S1,S2…直列腕共振子
P1,P2…並列腕共振子
Claims (10)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられており、互いに間挿し合っている複数本の第1の電極指及び複数本の第2の電極指と、前記複数本の第1の電極指の一端が共通接続されている第1のバスバーと、前記複数本の第2の電極指の一端が共通接続されている第2のバスバーとを有するIDT電極と、
互いに間挿し合っている複数本の第3の電極指及び複数本の第4の電極指と、前記複数本の第3の電極指の一端が共通接続されている第3のバスバーと、前記複数本の第4の電極指の一端が共通接続されている第4のバスバーとを有する容量電極と、
前記容量電極に積層されている絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記容量電極と対向している部分を有する第1の配線と、
前記第1のバスバーと前記第3のバスバーとを接続している第2の配線と、
を備え、
前記容量電極が、弾性表面波の伝搬方向において前記IDT電極の側方に配置されている、弾性波装置。 - 前記第2のバスバーと前記第4のバスバーとを接続している第3の配線をさらに備える、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第4のバスバーが、グラウンド電位に接続される、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1の配線が、前記第4のバスバーに接続されている、請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記第3,第4の電極指の交叉幅方向が前記第1,第2の電極指の交叉幅方向と平行にならないように、前記容量電極が配置されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第3,第4の電極指の交叉幅方向が前記第1,第2の電極指の交叉幅方向に直交するように、前記容量電極が配置されている、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記第1の配線の前記容量電極と対向している部分が、前記圧電基板上に設けられている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記容量電極が前記圧電基板上に設けられている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁膜が、圧電性を有しない絶縁材料からなる、請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 少なくとも1つの直列腕共振子及び少なくとも1つの並列腕共振子を有するラダー型フィルタであって、
前記直列腕共振子及び並列腕共振子のうちの少なくとも1つが前記IDT電極を有する、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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KR101953219B1 (ko) * | 2016-11-24 | 2019-02-28 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
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JP2020053876A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
CN113196656B (zh) * | 2018-12-13 | 2024-07-05 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
WO2022014497A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | フィルタ |
WO2022014496A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | フィルタ |
US20220247382A1 (en) * | 2021-02-03 | 2022-08-04 | Resonant Inc. | Bandpass filters using transversely-excited film bulk acoustic resonators |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH077369A (ja) * | 1993-06-16 | 1995-01-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2004289051A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Toppan Printing Co Ltd | 基板内蔵型コンデンサ構造及びその製造方法 |
JP2005260833A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
JP2009218761A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Panasonic Corp | 弾性境界波デバイス |
WO2014034492A1 (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びフィルタ装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6386912A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-18 | Toshiba Corp | 弾性表面波トランスデユ−サ |
CN1945969A (zh) * | 2002-03-06 | 2007-04-11 | 松下电器产业株式会社 | 表面声波滤波器、平衡型电路以及通信设备 |
US20040227585A1 (en) * | 2003-05-14 | 2004-11-18 | Norio Taniguchi | Surface acoustic wave branching filter |
JP2006295434A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波フィルタ |
JPWO2007007476A1 (ja) * | 2005-07-13 | 2009-01-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波フィルタ装置 |
DE102005051852B4 (de) * | 2005-10-28 | 2021-05-20 | Snaptrack, Inc. | SAW Filter mit breitbandiger Bandsperre |
JP2008109413A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
DE102006057340B4 (de) | 2006-12-05 | 2014-05-22 | Epcos Ag | DMS-Filter mit verbesserter Anpassung |
WO2010029657A1 (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN102365822B (zh) * | 2009-04-07 | 2014-07-09 | 株式会社村田制作所 | 弹性边界波谐振器以及梯型滤波器 |
WO2011111743A1 (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH077369A (ja) * | 1993-06-16 | 1995-01-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2004289051A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Toppan Printing Co Ltd | 基板内蔵型コンデンサ構造及びその製造方法 |
JP2005260833A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
JP2009218761A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Panasonic Corp | 弾性境界波デバイス |
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