JP2015231147A - 弾性波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、圧電基板10と、圧電基板10上に設けられた弾性波を励振するIDT14と、圧電基板10上にIDT14に接続して設けられた信号配線22と、圧電基板10上にIDT14に接続して設けられ、信号配線22の上を跨いで立体交差するグランド配線24と、信号配線22とグランド配線24とが立体交差する立体交差部34でのグランド配線24下に中空空間40が形成されるように、立体交差部34でのグランド配線24下であって圧電基板10の上面に平行な方向における一部に設けられた絶縁物36と、を備える弾性波デバイスである。
【選択図】図1
Description
12 SAW素子
14 IDT
16 反射器
22 信号配線
24 グランド配線
26 第1金属層
28 第2金属層
30 第3金属層
32 配線
34 立体交差部
36〜36b 絶縁物
40 中空空間
36〜36b 絶縁物
38 突出部
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に設けられた弾性波を励振する電極と、
前記基板上に前記電極に接続して設けられた第1配線と、
前記基板上に前記電極に接続して設けられ、前記第1配線の上を跨いで立体交差する第2配線と、
前記第1配線と前記第2配線とが立体交差する立体交差部での前記第2配線下に中空空間が形成されるように、前記立体交差部での前記第2配線下であって前記基板の上面に平行な方向における一部に設けられた絶縁物と、を備えることを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記絶縁物は、前記立体交差部における前記第2配線の延在方向で前記立体交差部の中央部分に設けられ、
前記絶縁物と前記立体交差部における前記第2配線の両端部分との間に前記中空空間が形成されていることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。 - 前記絶縁物は、前記立体交差部での前記第1配線上に設けられ、
前記立体交差部内の前記第1配線が設けられていない部分の前記基板上に前記中空空間が形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。 - 前記絶縁物は、前記立体交差部での前記第1配線の側方に前記第1配線から離れて設けられ、
前記立体交差部での前記第1配線上に前記中空空間が形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。 - 前記基板と前記第2配線との間に設けられ、前記第1配線の上を跨がない第3配線を備え、
前記絶縁物は、前記第1配線と前記第3配線との間の前記基板上に、前記第1配線及び前記第3配線から離れて設けられていることを特徴とする請求項4記載の弾性波デバイス。 - 前記基板と前記第2配線との間に設けられ、前記第1配線の上を跨がない第3配線を備え、
前記第3配線は、前記立体交差部において前記第2配線から突出して上面が露出した突出部を有し、
前記絶縁物は、前記第3配線の前記突出部上に前記第1配線から離れて設けられていることを特徴とする請求項4記載の弾性波デバイス。 - 前記第2配線は、前記第1配線よりも厚いことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1配線は信号配線であり、前記第2配線はグランド配線であることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記絶縁物は、絶縁樹脂であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
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---|---|---|---|---|
JPH11186381A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | 配線構造およびその形成方法 |
JP2012009989A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波デバイス及びその製造方法 |
-
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Patent Citations (2)
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JP2012009989A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波デバイス及びその製造方法 |
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