JP2009212282A - ロードポート装置の開口部へ向けてガスを噴出するパージ装置を制御し、ロードポート装置に取り付けて使用されるパージ制御装置及びそれを備えるロードボート装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パージ装置32は、加工物1を収容するクリーンボックス2から、加工物を壁に設けられた開口部10を介して内部空間へ出し入れするロードポート装置3に取り付けて使用され、開口部へ向けてガスを噴出しパージ処理をする。パージ装置を制御するパージ制御装置31は、ロードポート装置に電気的に接続され、ロードポート装置を動作させる動作命令を生成する上位装置51から、動作命令を受信する送受信手段35と、上位装置から受信した動作命令を、ロードポート装置とパージ装置とにパージ処理を含む動作をさせる変換動作命令に変換する制御手段33と、を備える。制御手段により変換された変換動作命令が、ロードポート装置とパージ装置とへ送受信手段により送信される。
【選択図】図1A
Description
上記したパージ制御装置の実施例を適用した半導体ウエハ処理装置について図12を参照して説明する。図12は、いわゆるミニエンバイロメント方式に対応した半導体ウエハ処理装置の概略構成を示す図である。
2 ポッド
3 ロードポート装置
9 パージユニット
31 パージ制御装置
41 ガス供給部
43 ロードポート制御部
51 上位装置
Claims (7)
- 内部空間を外部から区画する壁を有し、収容空間に加工物を収容するクリーンボックスから前記加工物を前記壁に設けられた開口部を介して前記内部空間へ出し入れするロードポート装置に取り付けて使用され、前記開口部へ向けてガスを噴出しパージ処理をするパージ装置を制御するパージ制御装置であって、
前記ロードポート装置に電気的に接続され、前記ロードポート装置を動作させる動作命令を生成する上位装置から、前記動作命令を受信する送受信手段と、
前記上位装置から受信した動作命令を、前記ロードポート装置と前記パージ装置とにパージ処理を含む動作をさせる変換動作命令に変換する制御手段と、を備え、
前記制御手段により変換された変換動作命令が、前記ロードポート装置と前記パージ装置とへ前記送受信手段により送信されるパージ制御装置。 - さらに、前記上位装置から受信した動作命令と、前記ロードポート装置と前記パージ装置とにパージ処理を含む動作をさせる変換動作命令と、の対応を定義する定義テーブルを格納する記憶手段を備え、
前記制御手段は、前記定義テーブルを参照し前記動作命令を変換動作命令に変換する請求項1に記載のパージ制御装置。 - 前記送受信手段は前記ロードポート装置から応答を受信可能であり、
前記制御手段は前記送受信手段で受信される前記ロードポート装置からの応答が、前記上位装置へ転送すべき内容であるか否かを識別する識別機能を有し、前記応答が前記上位装置からの動作命令に対する応答であると前記制御手段により識別されると、前記送受信手段により前記応答を前記上位装置へ転送する請求項1又は請求項2に記載のパージ制御装置。 - 前記制御手段は、前記ロードポート装置からの応答のうち、前記動作命令に対応する応答を示す管理テーブルを作成する管理テーブル作成機能を有し、前記制御手段は前記管理テーブルを参照し、前記ロードポート装置からの動作命令に対応する応答であるか否かを判別する請求項3に記載のパージ制御装置。
- 前記制御手段は、前記パージ装置を動作可能状態と動作不可能状態とに切り替える切替機能を有し、前記動作不可能状態の場合には前記上位装置からの動作命令は前記変換動作命令に変換されずに前記ロードポート装置へ転送される請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のパージ制御装置。
- 前記パージ装置の状態を検知する検知手段を備え、前記検知手段により動作不良を検知した場合には、前記制御手段が動作不良応答を前記送受信手段を介して前記上位装置へ送信する請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のパージ制御装置。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のパージ制御装置と、
前記開口部へ向けてガスを供給するパージ装置と、を備えるロードポート装置。
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