JPWO2012117601A1 - Carbon content acquisition apparatus and carbon content acquisition method - Google Patents
Carbon content acquisition apparatus and carbon content acquisition method Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2012117601A1 JPWO2012117601A1 JP2013502142A JP2013502142A JPWO2012117601A1 JP WO2012117601 A1 JPWO2012117601 A1 JP WO2012117601A1 JP 2013502142 A JP2013502142 A JP 2013502142A JP 2013502142 A JP2013502142 A JP 2013502142A JP WO2012117601 A1 JPWO2012117601 A1 JP WO2012117601A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon content
- value
- sic film
- peak value
- peak
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
- G01N21/211—Ellipsometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
- G01N21/211—Ellipsometry
- G01N2021/213—Spectrometric ellipsometry
Abstract
炭素含有率取得装置(1)では、所定のパラメータ群の値と、炭素含有率とを関連付ける参照情報が予め生成されて記憶される。ガラス基板9上に形成されたSiC膜に対して、分光エリプソメータ(3)にて測定を行うことにより測定スペクトルが取得され、コンピュータ(6)において当該測定スペクトルから当該パラメータ群の値が求められる。そして、パラメータ群の値および参照情報に基づいて、SiC膜の炭素含有率の値が精度良く求められる。In the carbon content acquisition device (1), reference information that associates the value of a predetermined parameter group with the carbon content is generated and stored in advance. A measurement spectrum is acquired by measuring with a spectroscopic ellipsometer (3) with respect to the SiC film formed on the glass substrate 9, and the value of the parameter group is obtained from the measurement spectrum in the computer (6). Then, based on the value of the parameter group and the reference information, the value of the carbon content of the SiC film is obtained with high accuracy.
Description
本発明は、対象物上に形成されたSiC膜中に含まれる炭素の含有率を取得する技術に関する。 The present invention relates to a technique for acquiring the content of carbon contained in a SiC film formed on an object.
近年、地球環境問題への注目の高まりにより、クリーンな太陽光を利用する太陽電池の開発が行われており、特に、大面積化および低コスト化が可能な薄膜シリコン太陽電池が次世代の太陽電池として注目されている。薄膜シリコン太陽電池の製造では、CVD(Chemical Vapor Deposition)法等によりガラス基板上にアモルファスシリコン膜(以下、単に「シリコン膜」という。)が形成される。特開平11−157991号公報では、基板上にダイヤモンド薄膜を形成するプラズマCVD装置が開示されている。 In recent years, solar cells that use clean sunlight have been developed due to increasing attention to global environmental problems. In particular, thin-film silicon solar cells that can increase the area and cost are the next generation solar cells. It is attracting attention as a battery. In the manufacture of a thin-film silicon solar cell, an amorphous silicon film (hereinafter simply referred to as “silicon film”) is formed on a glass substrate by a CVD (Chemical Vapor Deposition) method or the like. Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-157991 discloses a plasma CVD apparatus for forming a diamond thin film on a substrate.
このようなシリコン膜の1つであるアモルファスシリコンカーバイド膜(以下、単に「SiC膜」という。)は、光透過率が高く、吸収ロスが少ないため、薄膜シリコン太陽電池の光入射側であるp層として利用され、薄膜シリコン太陽電池の変換効率に大きな影響を与える。SiC膜の光学特性は、膜の炭素含有率により大きく変化する。したがって、SiC膜中の炭素含有率を測定することが、薄膜シリコン太陽電池の品質管理において極めて重要となる。 An amorphous silicon carbide film (hereinafter simply referred to as “SiC film”), which is one of such silicon films, has a high light transmittance and a small absorption loss. Therefore, p is a light incident side of a thin film silicon solar cell. It is used as a layer and greatly affects the conversion efficiency of thin-film silicon solar cells. The optical characteristics of the SiC film vary greatly depending on the carbon content of the film. Therefore, measuring the carbon content in the SiC film is extremely important in quality control of the thin-film silicon solar cell.
被測定物の炭素含有率を非破壊にて測定する方法としては、X線光電子分光分析や全反射赤外分光測定により取得した被測定物のスペクトルに基づいて炭素含有率を求める方法が知られている。しかしながら、これらの測定に使用される装置は大型で測定点の移動が容易ではないため、大面積の被測定物の各部位を順次測定することには適していない。また、これらの測定方法では、多層膜の測定を行うことはできない。 As a method for nondestructively measuring the carbon content of an object to be measured, a method for obtaining the carbon content based on the spectrum of the object to be measured obtained by X-ray photoelectron spectroscopy or total reflection infrared spectroscopy is known. ing. However, since the apparatus used for these measurements is large and the movement of the measurement point is not easy, it is not suitable for sequentially measuring each part of a large-scale object to be measured. Also, these measurement methods cannot measure multilayer films.
本発明は、対象物上に形成されたSiC膜中に含まれる炭素の含有率を取得する炭素含有率取得装置に向けられており、分光エリプソメータを用いてSiC膜中の炭素含有率を精度良く求めることを目的としている。 The present invention is directed to a carbon content acquisition apparatus that acquires the content of carbon contained in a SiC film formed on an object, and the carbon content in a SiC film is accurately determined using a spectroscopic ellipsometer. The purpose is to seek.
本発明に係る炭素含有率取得装置は、分光エリプソメータと、所定のパラメータ群の値と、炭素の含有率とを関連付ける参照情報を記憶する記憶部と、前記分光エリプソメータにて対象物上のSiC膜に対して測定を行うことにより取得された測定スペクトルから前記パラメータ群の値を求め、前記パラメータ群の前記値および前記参照情報に基づいて、炭素の含有率を求める含有率演算部とを備える。炭素含有率取得装置では、分光エリプソメータを用いてSiC膜中の炭素含有率を精度良く求めることができる。 A carbon content acquisition apparatus according to the present invention includes a spectroscopic ellipsometer, a storage unit that stores reference information that correlates a value of a predetermined parameter group and a carbon content, and an SiC film on an object by the spectroscopic ellipsometer. And a content rate calculating unit for obtaining a value of the parameter group from a measured spectrum obtained by performing measurement on the surface and obtaining a carbon content rate based on the value of the parameter group and the reference information. In the carbon content acquisition apparatus, the carbon content in the SiC film can be accurately obtained using a spectroscopic ellipsometer.
好ましくは、前記パラメータ群が、基準となるシリコン膜またはSiC膜の誘電関数における虚部のピーク値である参照ピーク値と、前記測定スペクトルから導かれる誘電関数における虚部のピーク値との差であるピーク値シフト量を含む。より好ましくは、前記含有率演算部が、炭素の存在に起因してSiC膜中に生じると仮定したボイドの体積分率をパラメータとして含む有効媒質理論を用いつつ、前記対象物上のSiC膜における前記ピーク値シフト量の値を求める。 Preferably, the parameter group is a difference between a reference peak value that is a peak value of an imaginary part in a dielectric function of a standard silicon film or SiC film and a peak value of an imaginary part in a dielectric function derived from the measurement spectrum. Includes a certain peak value shift amount. More preferably, in the SiC film on the object, the content rate calculating unit uses an effective medium theory including, as a parameter, a volume fraction of voids assumed to be generated in the SiC film due to the presence of carbon. The value of the peak value shift amount is obtained.
また、好ましくは、前記パラメータ群が、基準となるシリコン膜またはSiC膜の誘電関数における虚部のピーク値である参照ピーク値に対応する振動数と、前記測定スペクトルから導かれる誘電関数の虚部のピークにおける振動数との差であるピーク位置シフト量を含む。 Preferably, the parameter group includes a frequency corresponding to a reference peak value that is a peak value of an imaginary part in a dielectric function of a silicon film or a SiC film serving as a reference, and an imaginary part of a dielectric function derived from the measurement spectrum. The peak position shift amount, which is the difference from the frequency at the peak, is included.
他の好ましい実施の形態では、前記パラメータ群の値が、前記測定スペクトルから導かれる誘電関数における虚部のピーク値およびピークにおける振動数を含む。 In another preferred embodiment, the value of the parameter group includes a peak value of an imaginary part in a dielectric function derived from the measurement spectrum and a frequency at the peak.
本発明は、また、対象物上に形成されたSiC膜中に含まれる炭素の含有率を取得する炭素含有率取得方法にも向けられている。前記炭素含有率取得方法は、a)所定のパラメータ群の値と、炭素の含有率とを関連付ける参照情報を準備する工程と、b)分光エリプソメータにて対象物上のSiC膜に対して測定を行うことにより測定スペクトルを取得し、前記測定スペクトルから前記パラメータ群の値を求める工程と、c)前記パラメータ群の前記値および前記参照情報に基づいて、炭素の含有率を求める工程とを備える。 The present invention is also directed to a carbon content acquisition method for acquiring the content of carbon contained in a SiC film formed on an object. The carbon content acquisition method includes: a) preparing a reference information for associating a value of a predetermined parameter group with a carbon content; and b) measuring a SiC film on an object with a spectroscopic ellipsometer. Obtaining a measurement spectrum by performing, and obtaining a value of the parameter group from the measurement spectrum; and c) obtaining a carbon content based on the value of the parameter group and the reference information.
上述の目的および他の目的、特徴、態様および利点は、添付した図面を参照して以下に行うこの発明の詳細な説明により明らかにされる。 The above object and other objects, features, aspects and advantages will become apparent from the following detailed description of the present invention with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の一の実施の形態に係る炭素含有率取得装置1を示す斜視図である。炭素含有率取得装置1は、対象物である薄膜シリコン太陽電池用のガラス基板9上に形成されたアモルファスシリコンカーバイド膜(以下、「SiC膜」という。)中に含まれる炭素の含有率を取得する装置である。ガラス基板9のサイズは、例えば1〜2m(メートル)角である。
FIG. 1 is a perspective view showing a carbon
炭素含有率取得装置1は、ガラス基板9上を撮像する撮像部2、後述の測定スペクトルを取得するための分光エリプソメータ3、図1中のY方向に移動可能なY方向移動部41、図1中のX方向に移動可能なX方向移動部42、並びに、各種演算処理を行うCPUや各種情報を記憶するメモリ等により構成されたコンピュータ6を備え、コンピュータ6は炭素含有率取得装置1の各構成を制御する制御部としての役割を果たす。X方向移動部42はY方向移動部41上に設けられ、X方向移動部42には、撮像部2および分光エリプソメータ3が固定される。炭素含有率取得装置1では、分光エリプソメータ3による光の照射位置をガラス基板9上の各位置に自在に配置することが可能となっている。
The carbon
分光エリプソメータ3は、ガラス基板9の上方(図1中の(+Z)側)に配置される照明部31および受光部32を備え、照明部31からガラス基板9に向けて偏光した白色光が照射され、受光部32にてガラス基板9からの反射光が受光される。受光部32は、反射光が入射する検光子および反射光の分光強度を取得する分光器を有し、検光子の回転位置、および、分光器により取得された反射光の分光強度がコンピュータ6へと出力される。コンピュータ6では、複数の振動数(または、波長)の光のそれぞれの偏光状態として、p偏光成分とs偏光成分との位相差および反射振幅比角が求められる。すなわち、位相差および反射振幅比角の振動数スペクトル(以下、「測定スペクトル」と総称する。)が取得される。
The
図2は、コンピュータ6の構成を示す図である。コンピュータ6は、各種演算処理を行うCPU61、基本プログラムを記憶するROM62および各種情報を記憶するRAM63をバスラインに接続した一般的なコンピュータシステムの構成となっている。バスラインにはさらに、情報記憶を行う固定ディスク65、各種情報の表示を行うディスプレイ66、操作者からの入力を受け付けるキーボード67aおよびマウス67b、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体60から情報の読み取りを行ったり記録媒体60に情報の書き込みを行う読取/書込装置68、並びに、外部との通信を行う通信部69が、適宜、インターフェイス(I/F)を介する等して接続される。
FIG. 2 is a diagram illustrating the configuration of the
コンピュータ6には、事前に読取/書込装置68を介して記録媒体60からプログラム600が読み出され、固定ディスク65に記憶される。そして、プログラム600がRAM63にコピーされるとともにCPU61がRAM63内のプログラム600に従って演算処理を実行することにより(すなわち、コンピュータがプログラムを実行することにより)、コンピュータ6が、後述の演算部としての処理を行う。
The
図3は、CPU61がプログラム600に従って動作することにより、CPU61、ROM62、RAM63、固定ディスク65等が実現する機能構成を示すブロック図である。図3において、演算部7の含有率演算部71および参照情報生成部73がCPU61等により実現される機能であり、記憶部72が固定ディスク65等により実現される機能である。なお、演算部7の機能は専用の電気的回路により実現されてもよく、部分的に電気的回路が用いられてもよい。
FIG. 3 is a block diagram illustrating a functional configuration realized by the
次に、炭素含有率取得装置1における炭素含有率の測定原理について述べる。ここでは、CVD工程において、原料ガスであるモノシラン(SiH4)の流量とメタン(CH4)の流量との割合を変更しつつ、複数のシリコン基板上にSiC膜を順次形成することにより、炭素含有率が異なる複数のSiC膜が準備されているものとする。表1は、CH4の流量比zと、シリコン基板上のSiC膜中に含まれる炭素の含有率との関係を示す。流量比zは、CVD工程におけるCH4の流量を、SiH4とCH4との合計流量で割った値である。Next, the measurement principle of the carbon content in the carbon
表1に示すように、流量比zが最も低いSiC膜(z=0.0、すなわち、シリコン膜)にて炭素の含有率が最小となり、流量比zが最も高いSiC膜(z=0.6)にて炭素の含有率が最大となる。以下の説明では、便宜上、シリコン膜である場合を含めてSiC膜と総称する。 As shown in Table 1, the SiC film having the lowest flow rate ratio z (z = 0.0, ie, silicon film) has the smallest carbon content, and the SiC film having the highest flow rate ratio z (z = 0.0). In 6), the carbon content is maximized. In the following description, for the sake of convenience, the term “SiC film” is used collectively including the case of a silicon film.
図4および図5は、上記の複数のSiC膜の誘電関数を示す図である。誘電関数εは、実部であるε1と虚部であるε2とを含む複素関数にて表現され(すなわち、虚数単位をiとして(ε=ε1+iε2))、図4の縦軸は誘電関数の虚部ε2を示し、横軸は振動数に対応する光子エネルギーを示している。また、図5の縦軸は誘電関数の実部ε1を示し、横軸は振動数に対応する光子エネルギーを示している。図4および図5では、各SiC膜の誘電関数の虚部ε2および実部ε1を示す線に、当該SiC膜の形成時における流量比zの値を付している。なお、図4および図5の誘電関数は、分光エリプソメータ3にて取得された測定スペクトルから抽出されたものであり、後述するTauc−Lorentzモデルを用いることなく求めたものである。4 and 5 are diagrams showing the dielectric functions of the plurality of SiC films. The dielectric function ε is expressed by a complex function including ε 1 which is a real part and ε 2 which is an imaginary part (that is, imaginary unit is i (ε = ε 1 + iε 2 )), and the vertical axis of FIG. Indicates the imaginary part ε 2 of the dielectric function, and the horizontal axis indicates the photon energy corresponding to the frequency. The vertical axis of FIG. 5 shows the real part epsilon 1 of the dielectric function, the horizontal axis represents the photon energy corresponding to the frequency. In FIGS. 4 and 5, the flow rate ratio z at the time of forming the SiC film is given to the lines indicating the imaginary part ε 2 and the real part ε 1 of the dielectric function of each SiC film. 4 and 5 are extracted from the measurement spectrum acquired by the
図4に示すように、上記の複数のSiC膜の誘電関数は互いに相違しており、虚部ε2がピークとなる振動数近傍にて、虚部ε2の値の相違が顕著となっている。また、図5に示すように、実部ε1がピークとなる振動数近傍にて、実部ε1の値の相違が顕著となっている。この相違は、SiC膜の炭素含有率の相違に依存すると考えられ、本実施の形態では、複数のSiC膜における虚部ε2のピーク値の相違、および、ピークにおける光子エネルギー(または、振動数)の相違に着目する。As shown in FIG. 4, the dielectric function of a plurality of SiC film described above are different from each other, at frequencies near the imaginary part epsilon 2 reaches a peak, the difference in the value of the imaginary part epsilon 2 may be prominently Yes. Further, as shown in FIG. 5, at frequencies near the real part epsilon 1 reaches the peak, the difference of the real part epsilon 1 value becomes remarkable. This difference is considered to depend on the difference in the carbon content of the SiC film. In the present embodiment, the difference in the peak value of the imaginary part ε 2 in the plurality of SiC films and the photon energy (or frequency at the peak) ).
具体的には、炭素含有率取得装置1における炭素含有率の測定では、炭素含有率が最小となるSiC膜、すなわち、表1中の流量比zが0.0のシリコン膜を基準となる基準SiC膜とする。そして、基準SiC膜の誘電関数における虚部ε2のピーク値(以下、「参照ピーク値」という。)と、他の各SiC膜(以下、「サンプルSiC膜」という。)の誘電関数における虚部ε2のピーク値との差を、注目すべきパラメータの1つとして捉える(以下、当該差を「ピーク値シフト量」という。)。図4では成膜時の流量比zが0.6のサンプルSiC膜におけるピーク値シフト量の値を符号A1を付す矢印の長さにて示している。Specifically, in the measurement of the carbon content in the carbon
また、基準SiC膜の参照ピーク値に対応する振動数(または、光子エネルギー)と、各サンプルSiC膜の誘電関数の虚部ε2のピークにおける振動数との差も注目すべきパラメータの他の1つとして捉える(以下、当該差を「ピーク位置シフト量」という。)。図4では成膜時の流量比zが0.6のサンプルSiC膜におけるピーク位置シフト量に相当する値を符号B1を付す矢印の長さにて示している。The difference between the frequency (or photon energy) corresponding to the reference peak value of the standard SiC film and the frequency at the peak of the imaginary part ε 2 of the dielectric function of each sample SiC film is another parameter to be noted. This is regarded as one (hereinafter, the difference is referred to as “peak position shift amount”). In FIG. 4, the value corresponding to the peak position shift amount in the sample SiC film having a flow rate ratio z of 0.6 during film formation is indicated by the length of the arrow labeled B1.
一方で、SiC膜では、シリコン原子と炭素原子との結合や、CH2構造やCH3構造の挿入により、炭素を含有しないアモルファスシリコン膜よりもアモルファス構造の歪が大きく、SiC膜の炭素含有率が増大するに従って、アモルファス構造の歪も増大する。SiC膜におけるアモルファス構造の歪みの増大は、SiC膜中のボイドの増大と解釈することができる。したがって、炭素の存在に起因してサンプルSiC膜中に生じると仮定したボイドの体積分率をfaSiC、炭素の含有率が最小となる基準SiC膜の誘電関数をεref、真空の誘電関数をεbとして、サンプルSiC膜の誘電関数εhは、有効媒質近似により数1を満たすとものと考える。On the other hand, in the SiC film, the distortion of the amorphous structure is larger than that of the amorphous silicon film not containing carbon due to the bond between the silicon atom and the carbon atom or the insertion of the CH 2 structure or the CH 3 structure, and the carbon content of the SiC film As the value increases, the distortion of the amorphous structure also increases. An increase in the distortion of the amorphous structure in the SiC film can be interpreted as an increase in voids in the SiC film. Therefore, the void volume fraction assumed to be generated in the sample SiC film due to the presence of carbon is faSiC , the dielectric function of the reference SiC film with the smallest carbon content is ε ref , and the vacuum dielectric function is As ε b , it is considered that the dielectric function ε h of the sample SiC film satisfies
数1中のfaSiCは、基準SiC膜における炭素の存在に起因すると仮定したボイドの体積分率と、サンプルSiC膜における炭素の存在に起因すると仮定したボイドの体積分率との差と捉えられてもよい。 Fa SiC in Equation 1 is regarded as the difference between the void volume fraction assumed to be due to the presence of carbon in the reference SiC film and the void volume fraction assumed to be due to the presence of carbon in the sample SiC film. May be.
炭素含有率取得装置1では、事前処理として、数1を用いつつ炭素の含有率とピーク値シフト量およびピーク位置シフト量の値との関係(すなわち、図3の参照情報721)を導き、ガラス基板9上のSiC膜の測定の際に、数1を用いつつ当該SiC膜におけるピーク値シフト量およびピーク位置シフト量の値を特定することにより、当該SiC膜中に含まれる炭素の含有率を精度良く取得することが可能となる。以下、参照情報721の生成、および、ガラス基板9上のSiC膜に対する測定について順に詳述する。
In the carbon
なお、各サンプルSiC膜におけるピーク値シフト量は、炭素に依存するボイドの存在(または、基準SiC膜と比較した場合におけるボイドの体積分率の増大)によって生じる、基準SiC膜の誘電関数からの誘電率の変化であると考えられる。また、炭素含有率が相違することによりSiC膜のバンドギャップは変化するため(すなわち、炭素含有率の増加により光子エネルギーが変化するため)、ピーク位置シフト量は、炭素自体に起因すると考えられる。 Note that the peak value shift amount in each sample SiC film is derived from the dielectric function of the reference SiC film, which is caused by the presence of voids depending on carbon (or the increase in the volume fraction of voids compared to the reference SiC film). This is considered to be a change in dielectric constant. Further, since the band gap of the SiC film changes due to the difference in the carbon content (that is, the photon energy changes due to an increase in the carbon content), the peak position shift amount is considered to be caused by the carbon itself.
図6は、事前処理である参照情報721を生成する処理の流れを示す図である。参照情報721を生成する際には、まず、成膜条件を変更しつつCVD法にて複数のシリコン基板上にSiC膜が形成される(ステップS11)。本実施の形態では、上記説明のように、CVD工程におけるCH4の流量比zを0.0、0.1、0.2、0.4および0.6に設定して、複数のシリコン基板上にSiC膜が順次形成される。CVD法にて形成されるSiC膜は非晶質となっている。なお、SiC膜には、微細な結晶シリコンカーバイドが含まれていてもよい。FIG. 6 is a diagram showing a flow of processing for generating
続いて、各シリコン基板上のSiC膜中に含まれる炭素の含有率が、既述の表1に示すようにX線光電子分光分析装置により取得され、図3の参照情報生成部73に入力される(ステップS12)。CVD工程におけるCH4の流量比zを複数通りに変更して作製される複数のSiC膜では、炭素の含有率が互いに相違している。本処理においても、表1中の流量比zが0.0であるシリコン膜を基準SiC膜と呼び、他のSiC膜をサンプルSiC膜と呼ぶ。上記ステップS11,S12の処理により、炭素含有率が既知であり、基準となる基準SiC膜と、炭素含有率が既知である他の複数のサンプルSiC膜とが準備される。なお、炭素含有率が互いに相違する複数のSiC膜は、CH4の流量比z以外の条件(例えば、成膜時の温度や他のガスの流量、プラズマを発生させるための電圧)を変更することにより作製されてもよい。また、ステップS12における炭素含有率の取得は、全反射赤外分光測定装置等、X線光電子分光分析装置以外の装置により行われてもよい。Subsequently, the carbon content contained in the SiC film on each silicon substrate is acquired by the X-ray photoelectron spectrometer as shown in Table 1 and input to the reference
複数のSiC膜が準備されると、図1の分光エリプソメータ3では、各SiC膜の所定位置(例えば、中央)に対して偏光した白色光が照射されるとともに当該SiC膜からの反射光が受光されて測定が行われ、演算部7において測定スペクトルが取得される。本実施の形態では、Tauc−Lorentzモデルを用いた理論上の位相差および反射振幅比角の振動数スペクトルが、測定スペクトルに最も近くなるように、Tauc−Lorentzモデルにおける誘電関数および膜厚が所定の数値範囲内にてフィッティングされる。これにより、各SiC膜の誘電関数および膜厚が決定される(ステップS13)。もちろん、Tauc−Lorentzモデル以外のモデルが用いられてもよい。
When a plurality of SiC films are prepared, the
続いて、参照情報生成部73では、上記ステップS13の処理にて取得された各サンプルSiC膜の誘電関数、および、基準SiC膜の誘電関数εref(以下、「基準誘電関数εref」という。)を用いて、上記の数1(以下、「有効媒質理論式」という。)におけるボイドの体積分率faSiCの値および真空の誘電関数εbが決定される。このとき、有効媒質理論式における誘電関数εhの虚部が、基準誘電関数εrefの虚部をピーク値シフト量Aだけ誘電率の方向(図4中の縦軸方向)に移動し、ピーク位置シフト量Bだけ振動数の方向(図4中の横軸方向)に移動したものとして表される。また、クラマース・クローニッヒの関係式により誘電関数εhの実部も、基準誘電関数εref、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bを用いて表される。そして、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bを用いて表されるとともに有効媒質理論式を満たす誘電関数εhが、取得されたサンプルSiC膜の誘電関数に最も近くなるようにフィッティングが行われ、ボイドの体積分率faSiC、真空の誘電関数εb、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bが求められる。Subsequently, in the reference
このように、複数のサンプルSiC膜のそれぞれに関して、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bをパラメータとして含む有効媒質理論(本実施の形態では、有効媒質近似)を用いて表される誘電関数と、Tauc−Lorentzモデルを用いて取得された誘電関数とを比較することにより、サンプルSiC膜における体積分率faSiC、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bの値が決定される(ステップS14)。なお、真空の誘電関数εbは、全てのサンプルSiC膜で同じとなり、全てのサンプルSiC膜におけるフィッティングの度合いが高くなるように決定される。Thus, for each of the plurality of sample SiC films, a dielectric function expressed using an effective medium theory (effective medium approximation in the present embodiment) including the peak value shift amount A and the peak position shift amount B as parameters. And the dielectric function obtained using the Tauc-Lorentz model, the values of the volume fraction f aSiC , the peak value shift amount A, and the peak position shift amount B in the sample SiC film are determined (step S14). Incidentally, the dielectric function epsilon b of vacuum, should be the same as in all samples SiC film, it is determined as the degree of fitting in all samples SiC film increases.
参照情報生成部73では、複数のサンプルSiC膜におけるピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bの値、並びに、ステップS12の処理にて取得される炭素含有率から、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bと炭素含有率とを関連付ける参照情報721(本実施の形態では、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bを変数として炭素含有率を表す関数)が生成される(ステップS15)。参照情報721は記憶部72にて記憶され、後述する未知のSiC膜に対する測定のために準備される。事前処理では、炭素含有率と体積分率faSiCとの関係も取得され、参照情報721に含められてもよい。In the reference
図7は、ガラス基板9上のSiC膜中に含まれる炭素の含有率を取得する処理の流れを示す図である。炭素含有率取得装置1では、炭素含有率が未知のSiC膜が設けられたガラス基板9が搬入されると、分光エリプソメータ3にてガラス基板9上のSiC膜の所定位置に対して測定を行うことにより測定スペクトルが取得される(ステップS21)。
FIG. 7 is a diagram showing a flow of processing for acquiring the content rate of carbon contained in the SiC film on the glass substrate 9. In the carbon
図3の含有率演算部71では、有効媒質理論式における誘電関数εhの虚部が、基準誘電関数εrefの虚部をピーク値シフト量Aだけ誘電率の方向(図4中の縦軸方向)に移動し、ピーク位置シフト量Bだけ振動数の方向(図4中の横軸方向)に移動したものとして表される。また、クラマース・クローニッヒの関係式により誘電関数εhの実部もピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bを用いて表される。そして、有効媒質理論式における誘電関数εhを表すピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bの値、有効媒質理論式における体積分率faSiCの値、並びに、SiC膜の膜厚dの値を複数通りに変更しつつ、これらの値から得られる理論スペクトル(すなわち、位相差および反射振幅比角の理論上の振動数スペクトル)が測定スペクトルに最も近くなるようにフィッティングが行われる。これにより、フィッティングパラメータである体積分率faSiC、ピーク値シフト量A、ピーク位置シフト量BおよびSiC膜の膜厚dの値が決定される(ステップS22)。既述のように、有効媒質理論式における誘電関数εbは図6の処理にて求められている。3, the imaginary part of the dielectric function ε h in the effective medium theoretical formula is the direction of the dielectric constant of the imaginary part of the reference dielectric function ε ref by the peak value shift amount A (the vertical axis in FIG. 4). It is expressed as having moved in the direction of the frequency (horizontal axis direction in FIG. 4) by the peak position shift amount B. Further, the real part of the dielectric function ε h is also expressed using the peak value shift amount A and the peak position shift amount B according to the Kramers-Kronig relational expression. Then, the value of the peak value shift amount A and the peak position shift amount B representing the dielectric function ε h in the effective medium theoretical formula, the value of the volume fraction faSiC in the effective medium theoretical formula, and the value of the film thickness d of the SiC film The fitting is performed so that the theoretical spectrum obtained from these values (that is, the theoretical frequency spectrum of the phase difference and the reflection amplitude ratio angle) is closest to the measurement spectrum. As a result, values of volume fraction f aSiC , peak value shift amount A, peak position shift amount B, and SiC film thickness d, which are fitting parameters, are determined (step S22). As described above, the dielectric function ε b in the effective medium theoretical formula is obtained by the processing of FIG.
上記フィッティング処理は、基準誘電関数εrefの虚部を図4中の縦軸方向および横軸方向にピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bだけシフトすることにより表される誘電関数εhを、測定スペクトルから導かれた誘電関数に合わせ込む処理と捉えることができる。したがって、ピーク値シフト量Aは、基準SiC膜の誘電関数の参照ピーク値(虚部のピーク値)と、測定スペクトルから導かれる誘電関数(すなわち、測定スペクトルから導かれることが可能な誘電関数)における虚部のピーク値との差であり、ピーク位置シフト量Bは、当該参照ピーク値に対応する振動数と、測定スペクトルから導かれる誘電関数の虚部のピークにおける振動数との差であるといえる。In the fitting process, a dielectric function ε h expressed by shifting the imaginary part of the reference dielectric function ε ref by the peak value shift amount A and the peak position shift amount B in the vertical axis direction and the horizontal axis direction in FIG. It can be regarded as a process for adjusting to the dielectric function derived from the measurement spectrum. Therefore, the peak value shift amount A is the reference peak value (imaginary part peak value) of the dielectric function of the standard SiC film and the dielectric function derived from the measurement spectrum (that is, the dielectric function that can be derived from the measurement spectrum). The peak position shift amount B is the difference between the frequency corresponding to the reference peak value and the frequency at the peak of the imaginary part of the dielectric function derived from the measurement spectrum. It can be said.
既述のように参照情報721には、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bを変数として炭素含有率を表す関数が含まれており、測定スペクトルから求められたピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bの値を当該関数に代入することにより、炭素含有率の値が決定される。すなわち、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bの値、並びに、参照情報721に基づいて炭素含有率の値が求められる(ステップS23)。また、基準誘電関数εref、並びに、ピーク値シフト量Aおよびピーク位置シフト量Bの値から、ガラス基板9上のSiC膜の誘電関数も求められる。As described above, the
図8は、上記シリコン基板上のSiC膜の誘電関数を示す図である。図8中の符号L1を付す実線は炭素含有率取得装置1にて有効媒質理論式を用いて求められる誘電関数を示し、図8中の符号L2を付す複数の円は分光エリプソメータ3にて取得された測定スペクトルから抽出される誘電関数(有効媒質理論式を用いることなく導かれる誘電関数)を示す。また、図8中の左側の山は誘電関数の実部ε1を示し、右側の山は虚部ε2を示す。図8から、炭素含有率取得装置1にて有効媒質理論式を用いて求められる誘電関数は、測定スペクトルから抽出される誘電関数とよく一致しており、適切な誘電関数が求められることが判る。また、炭素含有率取得装置1により取得される炭素含有率は、X線光電子分光分析装置により取得される炭素含有率とほぼ一致している。FIG. 8 is a diagram showing the dielectric function of the SiC film on the silicon substrate. 8 indicates a dielectric function obtained by using the effective medium theoretical formula in the carbon
以上に説明したように、炭素含有率取得装置1では、ピーク値シフト量およびピーク位置シフト量を含むパラメータ群の値と、炭素含有率とを関連付ける参照情報721が記憶される。また、分光エリプソメータ3にてガラス基板9上のSiC膜に対して測定を行うことにより測定スペクトルが取得される。そして、当該測定スペクトルから当該パラメータ群の値が求められ、当該パラメータ群の値および参照情報721に基づいて、炭素含有率の値が求められる。このように、炭素含有率取得装置1では分光エリプソメータ3を用いてSiC膜中の炭素含有率を精度良く求めることができる。
As described above, the carbon
含有率演算部71では、炭素の存在に起因してSiC膜中に生じると仮定したボイドの体積分率をパラメータとして含む有効媒質理論を用いることにより、SiC膜におけるピーク値シフト量の値を容易に、かつ、精度良く求めることができる。
In the content
ところで、X線光電子分光分析装置や全反射赤外分光測定装置を用いてSiC膜中の炭素含有率を測定する場合、基板上に形成される膜が多層膜であると、炭素含有率の測定が困難となる。また、これらの装置は大型であるため、当該装置を移動して基板上の広範囲に亘って測定を行うことが困難であり、基板上の各部位に対して測定を行うには、当該部位を切り出して装置にセットする必要がある。さらに、全反射赤外分光測定装置では、SiC膜がガラス基板上に形成されている場合、ガラス基板における赤外線の吸収により炭素含有率を精度良く測定することが困難となる。 By the way, when the carbon content in the SiC film is measured using an X-ray photoelectron spectrometer or a total reflection infrared spectrometer, the carbon content is measured when the film formed on the substrate is a multilayer film. It becomes difficult. In addition, since these devices are large, it is difficult to perform measurement over a wide range on the substrate by moving the device. It is necessary to cut out and set in the apparatus. Furthermore, in the total reflection infrared spectrometer, when the SiC film is formed on the glass substrate, it is difficult to accurately measure the carbon content due to the absorption of infrared rays in the glass substrate.
これに対し、図1の炭素含有率取得装置1では、分光エリプソメータ3を用いてSiC膜中の炭素含有率を取得するため、SiC膜がガラス基板上に形成される場合であっても精度良く測定を行うことができる。また、基板上に形成される膜が多層膜であっても、いずれかの層であるSiC膜におけるピーク値シフト量およびピーク位置シフト量の値をフィッティングにて求めることにより、炭素含有率を取得することができる。さらに、分光エリプソメータ3はX線光電子分光分析装置や全反射赤外分光測定装置に比べて小型であるため、分光エリプソメータ3を移動して(基板を切り出すことなく)基板上の広範囲に亘って測定を行うことが容易に可能となる。このように、炭素含有率取得装置1における炭素含有率の測定では、SiC膜が形成される対象物の種類や大きさの制約を受けることがなく、また、SiC膜が多層膜の一部である場合であっても、炭素含有率の測定が可能となる。さらに、炭素含有率取得装置1では、SiC膜の厚さや光学定数等も炭素含有率と同時に取得可能である。
On the other hand, in the carbon
炭素含有率取得装置1では、参照情報721として炭素含有率に関連付けられるパラメータ群は、ピーク値シフト量およびピーク位置シフト量の一方を含み、他方を含まなくてもよい。この場合であっても、SiC膜中の炭素含有率を精度良く求めることができる。ただし、SiC膜中の炭素含有率をより精度良く求めるという観点からは、上記パラメータ群は、ピーク値シフト量およびピーク位置シフト量の双方を含むことが好ましい。
In the carbon
次に、炭素含有率取得装置1における他の処理例について述べる。本処理例における事前処理では、図6のステップS13において基準SiC膜および他の複数のサンプルSiC膜に対してTauc−Lorentzモデルを用いて誘電関数が取得されると、基準SiC膜の誘電関数の虚部のピーク値である参照ピーク値と、各サンプルSiC膜の誘電関数の虚部のピーク値との差がピーク値シフト量の値として求められ、当該参照ピーク値に対応する振動数と、サンプルSiC膜の誘電関数の虚部のピークにおける振動数との差がピーク位置シフト量の値として求められる(ステップS14)。すなわち、有効媒質理論式を用いることなく、各サンプルSiC膜におけるピーク値シフト量およびピーク位置シフト量の値が求められる。そして、上記処理例と同様にして、ピーク値シフト量およびピーク位置シフト量の値と、炭素含有率とを関連付ける参照情報が生成される(ステップS15)。
Next, another processing example in the carbon
次に、ガラス基板9上のSiC膜を測定する際には、分光エリプソメータ3にて当該SiC膜に対して測定を行うことにより測定スペクトルが取得される(図7:ステップS21)。続いて、測定スペクトルからTauc−Lorentzモデルを用いて誘電関数(すなわち、ガラス基板9上のSiC膜の誘電関数)が取得され、基準SiC膜の参照ピーク値と、当該誘電関数の虚部のピーク値との差がピーク値シフト量の値として求められ、当該参照ピーク値に対応する振動数と、当該誘電関数の虚部のピークにおける振動数との差がピーク位置シフト量の値として求められる(ステップS22)。そして、ピーク値シフト量およびピーク位置シフト量値、並びに、参照情報に基づいて炭素含有率が特定される(ステップS23)。このように、本処理例では、有効媒質理論式を用いることなく、SiC膜中の炭素含有率が求められる。 Next, when measuring the SiC film on the glass substrate 9, a measurement spectrum is acquired by measuring the SiC film with the spectroscopic ellipsometer 3 (FIG. 7: step S21). Subsequently, the dielectric function (that is, the dielectric function of the SiC film on the glass substrate 9) is obtained from the measurement spectrum using the Tauc-Lorentz model, and the reference peak value of the standard SiC film and the peak of the imaginary part of the dielectric function are obtained. The difference between the value and the frequency of the peak value shift amount is obtained, and the difference between the frequency corresponding to the reference peak value and the frequency at the peak of the imaginary part of the dielectric function is obtained as the value of the peak position shift amount. (Step S22). Then, the carbon content is specified based on the peak value shift amount and the peak position shift amount value and the reference information (step S23). As described above, in this processing example, the carbon content in the SiC film is obtained without using the effective medium theoretical formula.
また、炭素含有率取得装置1では、各サンプルSiC膜の誘電関数の虚部のピーク値、および、虚部のピークにおける振動数と、炭素含有率とを関連付ける参照情報が準備される。そして、炭素含有率を測定する際に、ガラス基板9上のSiC膜を分光エリプソメータ3にて測定することにより取得される誘電関数の虚部のピーク値、および、虚部のピークにおける振動数、並びに、当該参照情報に基づいて炭素含有率が求められてもよい。
In addition, in the carbon
このように、炭素含有率取得装置1では、炭素含有率を取得する際に求められるパラメータ群の値が、測定スペクトルから導かれる誘電関数における虚部のピーク値およびピークにおける振動数を含む場合であっても、一定の精度にて炭素含有率を取得することが可能となる。ただし、SiC膜中の炭素含有率をより精度良く求めるには、上記処理例のように、有効媒質理論式を用いつつSiC膜におけるピーク値シフト量およびピーク位置シフト量の値が求められることが好ましい。
As described above, in the carbon
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。 As mentioned above, although embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible.
上記実施の形態では、炭素含有率が0.0であるシリコン膜が基準SiC膜とされるが、炭素含有率が0.0よりも大きいSiC膜が基準SiC膜とされてもよい。図6のステップS15では、基準SiC膜とサンプルSiC膜との間における炭素含有率の差を、ピーク値シフト量およびピーク位置シフト量を変数として表す関数が、参照情報として取得されてもよい。この場合、図7のステップS23では、ガラス基板9上のSiC膜におけるピーク値シフト量およびピーク位置シフト量の値から求められた上記炭素含有率の差に、基準SiC膜における炭素含有率を加算することにより、ガラス基板9上のSiC膜の炭素含有率が算出される。実質的には、このような関数も、ピーク値シフト量およびピーク位置シフト量を変数として炭素含有率を示すものであるといえる。 In the above embodiment, the silicon film having a carbon content of 0.0 is used as the reference SiC film, but an SiC film having a carbon content of greater than 0.0 may be used as the reference SiC film. In step S15 of FIG. 6, a function that represents the difference in carbon content between the reference SiC film and the sample SiC film as a variable of the peak value shift amount and the peak position shift amount may be acquired as reference information. In this case, in step S23 of FIG. 7, the carbon content in the reference SiC film is added to the difference in the carbon content obtained from the values of the peak value shift amount and the peak position shift amount in the SiC film on the glass substrate 9. By doing so, the carbon content of the SiC film on the glass substrate 9 is calculated. In effect, it can be said that such a function also indicates the carbon content with the peak value shift amount and the peak position shift amount as variables.
また、上記実施の形態では、ピーク値シフト量およびピーク位置シフト量を含むパラメータ群の値と、炭素含有率とを関連付ける参照情報721が記憶されるが、パラメータ群は、ピーク値シフト量およびピーク位置シフト量を含まないものであってもよく、パラメータ群に含まれるパラメータは複数であっても単数であってもよい。例えば、パラメータ群は、ピーク値シフト量のみを含むものであってもよい。
In the above embodiment, the
炭素含有率取得装置1では、ガラス基板9以外の太陽電池用の基板や、プラスチックフィルム等、様々な対象物上に形成されたSiC膜中の炭素含有率を取得することが可能である。また、SiC膜は、CVD法以外の手法にて形成されたものであってよい。
In the carbon
発明を詳細に描写して説明したが、既述の説明は例示的であって限定的なものではない。したがって、本発明の範囲を逸脱しない限り、多数の変形や態様が可能であるといえる。 Although the invention has been illustrated and described in detail, the foregoing description is illustrative and not restrictive. Therefore, it can be said that many modifications and embodiments are possible without departing from the scope of the present invention.
1 炭素含有率取得装置
3 分光エリプソメータ
9 ガラス基板
71 含有率演算部
72 記憶部
721 参照情報
S11〜S15,S21〜S23 ステップDESCRIPTION OF
Claims (12)
分光エリプソメータ(3)と、
所定のパラメータ群の値と、炭素の含有率とを関連付ける参照情報を記憶する記憶部(72)と、
前記分光エリプソメータ(3)にて対象物(9)上のSiC膜に対して測定を行うことにより取得された測定スペクトルから前記パラメータ群の値を求め、前記パラメータ群の前記値および前記参照情報に基づいて、炭素の含有率を求める含有率演算部(71)と、
を備える。A carbon content acquisition device (1) for acquiring the content of carbon contained in a SiC film formed on an object (9),
Spectroscopic ellipsometer (3),
A storage unit (72) for storing reference information for associating a value of a predetermined parameter group with a carbon content;
The value of the parameter group is obtained from the measurement spectrum obtained by measuring the SiC film on the object (9) with the spectroscopic ellipsometer (3), and the value of the parameter group and the reference information are obtained. Based on the content rate calculation unit (71) for determining the content rate of carbon,
Is provided.
前記パラメータ群が、基準となるシリコン膜またはSiC膜の誘電関数における虚部のピーク値である参照ピーク値と、前記測定スペクトルから導かれる誘電関数における虚部のピーク値との差であるピーク値シフト量を含む。The carbon content acquisition device (1) according to claim 1,
The parameter group is a peak value that is a difference between a reference peak value that is a peak value of an imaginary part in a dielectric function of a silicon film or a SiC film serving as a reference and a peak value of an imaginary part in a dielectric function derived from the measurement spectrum Includes shift amount.
前記パラメータ群が、基準となるシリコン膜またはSiC膜の誘電関数における虚部のピーク値である参照ピーク値に対応する振動数と、前記測定スペクトルから導かれる誘電関数の虚部のピークにおける振動数との差であるピーク位置シフト量を含む。The carbon content acquisition device (1) according to claim 1 or 2,
The parameter group includes a frequency corresponding to a reference peak value which is a peak value of an imaginary part in a dielectric function of a silicon film or a SiC film serving as a reference, and a frequency at a peak of an imaginary part of the dielectric function derived from the measurement spectrum. The peak position shift amount that is the difference between
前記含有率演算部(71)が、炭素の存在に起因してSiC膜中に生じると仮定したボイドの体積分率をパラメータとして含む有効媒質理論を用いつつ、前記対象物(9)上のSiC膜における前記ピーク値シフト量の値を求める。The carbon content acquisition apparatus (1) according to claim 2,
The SiC content on the object (9) is calculated using the effective medium theory that includes the void volume fraction assumed to be generated in the SiC film by the content rate calculation unit (71) due to the presence of carbon as a parameter. The value of the peak value shift amount in the film is obtained.
前記パラメータ群の値が、前記測定スペクトルから導かれる誘電関数における虚部のピーク値およびピークにおける振動数を含む。The carbon content acquisition device (1) according to claim 1,
The value of the parameter group includes the peak value of the imaginary part in the dielectric function derived from the measurement spectrum and the frequency at the peak.
前記対象物(9)が、太陽電池用の基板である。The carbon content acquisition device (1) according to any one of claims 1 to 5,
The object (9) is a solar cell substrate.
a)所定のパラメータ群の値と、炭素の含有率とを関連付ける参照情報を準備する工程と、
b)分光エリプソメータ(3)にて対象物(9)上のSiC膜に対して測定を行うことにより測定スペクトルを取得し、前記測定スペクトルから前記パラメータ群の値を求める工程と、
c)前記パラメータ群の前記値および前記参照情報に基づいて、炭素の含有率を求める工程と、
を備える。A carbon content acquisition method for acquiring the content of carbon contained in a SiC film formed on an object (9),
a) preparing reference information associating a value of a predetermined parameter group with a carbon content;
b) obtaining a measurement spectrum by measuring the SiC film on the object (9) with the spectroscopic ellipsometer (3), and obtaining the value of the parameter group from the measurement spectrum;
c) obtaining a carbon content based on the value of the parameter group and the reference information;
Is provided.
前記パラメータ群が、基準となるシリコン膜またはSiC膜の誘電関数における虚部のピーク値である参照ピーク値と、前記測定スペクトルから導かれる誘電関数における虚部のピーク値との差であるピーク値シフト量を含む。The carbon content acquisition method according to claim 7,
The parameter group is a peak value that is a difference between a reference peak value that is a peak value of an imaginary part in a dielectric function of a silicon film or a SiC film serving as a reference and a peak value of an imaginary part in a dielectric function derived from the measurement spectrum Includes shift amount.
前記パラメータ群が、基準となるシリコン膜またはSiC膜の誘電関数における虚部のピーク値である参照ピーク値に対応する振動数と、前記測定スペクトルから導かれる誘電関数の虚部のピークにおける振動数との差であるピーク位置シフト量を含む。The carbon content acquisition method according to claim 7 or 8,
The parameter group includes a frequency corresponding to a reference peak value which is a peak value of an imaginary part in a dielectric function of a silicon film or a SiC film serving as a reference, and a frequency at a peak of an imaginary part of the dielectric function derived from the measurement spectrum. The peak position shift amount that is the difference between
前記b)工程において、炭素の存在に起因してSiC膜中に生じると仮定したボイドの体積分率をパラメータとして含む有効媒質理論を用いつつ、前記対象物(9)上のSiC膜における前記ピーク値シフト量の値が求められる。The carbon content acquisition method according to claim 8,
In the step b), the peak in the SiC film on the object (9) is obtained using an effective medium theory including, as a parameter, the volume fraction of voids assumed to be generated in the SiC film due to the presence of carbon. A value of the value shift amount is obtained.
前記パラメータ群の値が、前記測定スペクトルから導かれる誘電関数における虚部のピーク値およびピークにおける振動数を含む。The carbon content acquisition method according to claim 7,
The value of the parameter group includes the peak value of the imaginary part in the dielectric function derived from the measurement spectrum and the frequency at the peak.
前記対象物(9)が、太陽電池用の基板である。The carbon content acquisition method according to any one of claims 7 to 11,
The object (9) is a solar cell substrate.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011043939 | 2011-03-01 | ||
JP2011043939 | 2011-03-01 | ||
PCT/JP2011/072218 WO2012117601A1 (en) | 2011-03-01 | 2011-09-28 | Carbon-content-percentage acquisition device and carbon-content-percentage acquisition method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012117601A1 true JPWO2012117601A1 (en) | 2014-07-07 |
Family
ID=46757551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013502142A Abandoned JPWO2012117601A1 (en) | 2011-03-01 | 2011-09-28 | Carbon content acquisition apparatus and carbon content acquisition method |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2012117601A1 (en) |
TW (1) | TWI473986B (en) |
WO (1) | WO2012117601A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6919625B2 (en) * | 2018-05-10 | 2021-08-18 | 信越半導体株式会社 | Impurity concentration measurement method |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61204544A (en) * | 1985-03-08 | 1986-09-10 | Showa Denko Kk | Quantitative determination method for free carbon in silicon carbide |
JPH08264815A (en) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | Amorphous silicon carbide film and photovoltaic element using the same |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58191487A (en) * | 1982-05-04 | 1983-11-08 | イビデン株式会社 | Silicon carbide board and method of producing same |
JPH06201590A (en) * | 1992-12-28 | 1994-07-19 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | Chemical sensor device |
JPH0712714A (en) * | 1993-06-29 | 1995-01-17 | Fuji Electric Co Ltd | Evaluation method for carbon protective film of magnetic recording medium |
JPH09251004A (en) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Method and device for optical-acoustic analyzing |
JPH09330966A (en) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Method for detecting carbon in silicon substrate |
CN1192294C (en) * | 1999-02-10 | 2005-03-09 | 申克碳化技术股份有限公司 | Method of regulating high temperature gaseous phase process and use of said method |
US7369233B2 (en) * | 2002-11-26 | 2008-05-06 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Optical system for measuring samples using short wavelength radiation |
JP4733589B2 (en) * | 2006-08-07 | 2011-07-27 | 株式会社堀場製作所 | Quantitative analysis method, quantitative analysis apparatus and program |
JP5397693B2 (en) * | 2010-02-25 | 2014-01-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | Hydrogen content acquisition apparatus and hydrogen content acquisition method |
-
2011
- 2011-09-28 JP JP2013502142A patent/JPWO2012117601A1/en not_active Abandoned
- 2011-09-28 WO PCT/JP2011/072218 patent/WO2012117601A1/en active Application Filing
- 2011-11-03 TW TW100140075A patent/TWI473986B/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61204544A (en) * | 1985-03-08 | 1986-09-10 | Showa Denko Kk | Quantitative determination method for free carbon in silicon carbide |
JPH08264815A (en) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | Amorphous silicon carbide film and photovoltaic element using the same |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
JPN6015023380; S.Gupta et al.: 'Interplay of hydrogen and deposition temperature in optical properties of hot-wire deposited a-Si:H' Journal of Vacuum Science & Technology A Vol.23 No.6, 2005, pp.1668-1675 * |
JPN7015001614; D.K.Basa et al.: 'Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by p' Journal of Applied Physics Vol.107, 2010, pp.023502-1〜023502-6 * |
JPN7015001615; Syozo Takada et al.: 'Dependences of Young's modulus of porous silica low dielectric constant films on skeletal structure' Jornal of Applied Physics Vol.100, 2006, pp.123512-1〜123512-5 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI473986B (en) | 2015-02-21 |
TW201237392A (en) | 2012-09-16 |
WO2012117601A1 (en) | 2012-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI765688B (en) | Method and raman spectroscopy system for use in measuring patterned structure | |
Barbos et al. | Al2O3 thin films deposited by thermal atomic layer deposition: Characterization for photovoltaic applications | |
Ohlídal et al. | Measurement of the thickness distribution and optical constants of non-uniform thin films | |
Cong et al. | Optical characterization of a four-medium thin film structure by real time spectroscopic ellipsometry: amorphous carbon on tantalum | |
Fujita et al. | Surface layer analysis of a 28 Si-enriched sphere both in vacuum and in air by ellipsometry | |
US11835447B1 (en) | Method for measuring characteristic of thin film | |
WO2012117601A1 (en) | Carbon-content-percentage acquisition device and carbon-content-percentage acquisition method | |
JP5397693B2 (en) | Hydrogen content acquisition apparatus and hydrogen content acquisition method | |
TWI481850B (en) | Crystallization index acquisition apparatus and crystallization index acquisition method | |
CN113340818B (en) | Self-consistent verification differential spectrometer and measurement method | |
Andrews et al. | The impact of processing on the optical absorption onset of CdTe thin-films and solar cells | |
WO2021170995A1 (en) | Method of and system for processing spectroscopic ellipsometry data | |
Fried et al. | Application of a dual-spectral-range, divergent-beam spectroscopic ellipsometer for high-speed mapping of large-area, laterally-inhomogeneous, photovoltaic multilayers | |
Agbo et al. | PREFERRED CRYSTAL ORIENTATION IN THIN-FILM NANOCRYSTALLINE SILICON DETERMINED BY RAMAN SPECTROSCOPY. | |
JP3983093B2 (en) | Composition determination method for polycrystalline compound semiconductor using spectroscopic ellipsometer | |
Franta et al. | Determination of thicknesses and temperatures of crystalline silicon wafers from optical measurements in the far infrared region | |
Li et al. | sp 3/sp 2 ratio in amorphous-carbon thin film by spectroscopic ellipsometry | |
JP4938960B2 (en) | Method for manufacturing photoelectric conversion device and photoelectric conversion device | |
JP2013171023A (en) | Carbon content by percentage acquisition device and carbon content by percentage acquisition method | |
Bacıoğlu et al. | Single and multilayered a-SiOx: H (x< 1) thin film samples analyzed by optical absorption and small-angle X-ray scattering | |
Nemeth et al. | Wide-spectral-range, Expanded-beam Spectroscopic Ellipsometer and its Application for Imaging/Mapping of Graded Nanocrystalline Si: H Films | |
Márquez et al. | Optical Properties of RF-Magnetron-Sputtered Polycrystalline Cu3N Thin Films Determined by UV/visible/NIR Spectroscopic Ellipsometry: Eco-Friendly Light Absorber | |
TW200530576A (en) | X-ray reflectometry of thin film layers with enhanced accuracy | |
TWI457536B (en) | Film formation acquisition apparatus and film formation acquisition method | |
Márquez et al. | Optical Characterization of H-Free a-Si Layers Grown by rf-Magnetron Sputtering by Inverse Synthesis Using Matlab: Tauc–Lorentz–Urbach Parameterization. Coatings 2021, 11, 1324 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150611 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20150630 |