JPWO2012073449A1 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、前記傾き調整手段を上下運動が可能な駆動ユニットにすることにより、前記ソレノイドコイルの環状アンテナに対する傾きが変更可能となり、基板処理中に前記ソレノイドコイルの傾きを変化させることで、前記ソレノイドコイルにより発生した磁場の傾きを連続的に変えながら基板処理を行なうものとしたため、プラズマ密度分布の偏りを補正し、基板を均一に処理することが可能となった。
また、前記傾き調整手段を、前記第1のソレノイドコイルと第2のソレノイドコイルにそれぞれ設けることにより、各ソレノイドコイルの傾きを独立して調整可能となり、よりきめ細かく分布補正することが可能となった。
3σ%=(3×標準偏差/平均値)×100 (1)
図12及び図13は、内側ソレノイドコイル20,外側ソレノイドコイル21を独立して傾けた場合を示す図である。内側ソレノイドコイル20、外側ソレノイドコイル21を独立して傾ける場合は、それぞれのソレノイドコイル20,21とベース板30の間に、傾けたい方向に傾けたい角度分の厚さのシム25a、25bを挿入する。図12に示す例はイメージを表したもので、実際に各ソレノイドコイルに挿入するシムの厚さは、コイルの外径にもよるが最大3mm、傾き角度は最大5°程度である。図12に示すように、内側ソレノイドコイル20、外側ソレノイドコイル21にそれぞれシム25a、25bを挿入し、独立して傾きを調整することにより、内側ソレノイドコイル20、外側ソレノイドコイル21を同時に傾ける場合に較べて各ソレノイドコイルの傾きを独立して調整可能となり、よりきめ細かく分布補正することが可能となる。
尚、本明細書において、X軸・Y軸とは、水平面内で互いに直角をなす軸とし、またZ軸とは、水平面内に対し直角、すなわち垂直方向をなす軸とする。図14A及び図14Bに示すように、内側ソレノイドコイル20、外側ソレノイドコイル21をX−Y方向に移動する為の手段として、ベース板30の上に第1のベース板32と第2のベース板33を軸対称位置になるように配置し、これら各ベース板32、33の上に内側ソレノイドコイル20、外側ソレノイドコイル21を乗せる。尚、内側ソレノイドコイル20、外側ソレノイドコイル21を傾ける場合、これら各ベース板32、33と各ソレノイドコイルとの間にスペーサを挿入する。なお、図14Bは図14Aの断面図である。
Claims (9)
- 基板をプラズマで処理するプラズマ処理装置であって、
内部に前記基板を配置可能な容器と、
前記容器内に前記プラズマを発生させるように、前記容器の周囲を取り囲んで設けられているアンテナと、
前記容器内に磁場を発生させて前記プラズマを拡散させるように、前記アンテナの周囲を取り囲んで設けられている磁場発生手段と、
前記アンテナ及び前記磁場発生手段の少なくとも一方を傾けるための傾き調整手段と、
を備える、プラズマ処理装置。 - 前記アンテナは第1の軸に対して略軸対称であって、前記第1の軸を囲むように構成された環状アンテナであり、
前記磁場発生手段は第2の軸に対して略軸対称であって、前記第2の軸を囲むように構成されたソレノイドコイルであり、
前記第1の軸と前記第2の軸とが所定の角度をなすように、前記環状アンテナ及び前記ソレノイドコイルの少なくとも一方が前記傾き調整手段により傾けられる
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記磁場発生手段を支持するベース板をさらに備え、
前記傾き調整手段は、前記磁場発生手段と前記ベース板との間に設けられている板状部材である
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記磁場発生手段を支持するベース板をさらに備え、
前記傾き調整手段は、前記ベース板に接続されている上下運動が可能な駆動ユニットであり、
前記磁場発生手段が、前記駆動ユニットの上下運動により前記ベース板が傾けられることによって傾けられる
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記ベース板は、前記容器を取り囲む略環状であり、
前記駆動ユニットは、前記ベース板の一端側に設けられる第1の駆動ユニットと、前記ベース板の他端側に設けられる第2の駆動ユニットと、を有する
ことを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理装置。 - 前記ベース板は、前記容器を取り囲む略環状であり、
前記駆動ユニットは、前記ベース板の円周方向に等角度で配置されている第1の駆動ユニットと第2の駆動ユニットと第3の駆動ユニットと、を有する
ことを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1の軸と前記第2の軸とがなす角度が0°から5°の範囲であることを特徴とする請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記磁場発生手段は、同心状に配置された第1のソレノイドコイルと第2のソレノイドコイルとを有し、
前記傾き調整手段が、前記第1のソレノイドコイルと前記第2のソレノイドコイルにそれぞれ設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記容器が、
内部に前記プラズマを発生させるための電力供給容器と、
前記電力供給容器と内部空間が通じるように接続され、内部に前記基板を配置可能な処理容器と、
を備える、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
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JP5819768B2 (ja) * | 2012-04-10 | 2015-11-24 | 小島プレス工業株式会社 | プラズマcvd装置 |
KR101661638B1 (ko) | 2012-11-02 | 2016-09-30 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 반도체 장치의 제조 방법, 이온빔 에칭 장치 및 제어 장치 |
CN103839742A (zh) * | 2012-11-28 | 2014-06-04 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 用于等离子体处理器的磁场分布调节装置及其调节方法 |
US9257265B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-02-09 | Applied Materials, Inc. | Methods for reducing etch nonuniformity in the presence of a weak magnetic field in an inductively coupled plasma reactor |
CN103745902A (zh) * | 2013-12-16 | 2014-04-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Pecvd处理装置及在基板上进行pecvd处理的方法 |
JP6284825B2 (ja) * | 2014-05-19 | 2018-02-28 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US9613783B2 (en) * | 2014-07-24 | 2017-04-04 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for controlling a magnetic field in a plasma chamber |
KR101673240B1 (ko) * | 2014-11-13 | 2016-11-07 | 주식회사 에이치시티엠 | 모바일 기기용 영구자석 구조물 |
US10249479B2 (en) * | 2015-01-30 | 2019-04-02 | Applied Materials, Inc. | Magnet configurations for radial uniformity tuning of ICP plasmas |
KR102578766B1 (ko) * | 2015-09-24 | 2023-09-15 | 삼성전자주식회사 | 이온 빔 에칭 장치 |
CN108575042B (zh) * | 2017-03-09 | 2021-04-09 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种线圈、介质筒和等离子体腔室 |
CN108668422B (zh) * | 2017-03-30 | 2021-06-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种等离子体产生腔室和等离子体处理装置 |
US20190148109A1 (en) * | 2017-11-10 | 2019-05-16 | Lam Research Corporation | Method and Apparatus for Anisotropic Pattern Etching and Treatment |
CN111769032B (zh) * | 2019-04-01 | 2024-02-27 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 射频线圈、工艺腔室和半导体处理设备 |
JP2023504044A (ja) | 2019-12-02 | 2023-02-01 | ラム リサーチ コーポレーション | 無線周波数支援プラズマ生成におけるインピーダンス変換 |
CN113133175B (zh) * | 2019-12-31 | 2024-02-09 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 等离子体电感线圈结构、等离子体处理设备以及处理方法 |
WO2021181565A1 (ja) * | 2020-03-11 | 2021-09-16 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
US11994542B2 (en) | 2020-03-27 | 2024-05-28 | Lam Research Corporation | RF signal parameter measurement in an integrated circuit fabrication chamber |
CN111508802B (zh) * | 2020-04-22 | 2023-10-13 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 反应腔室及其刻蚀方法 |
WO2021225890A1 (en) * | 2020-05-04 | 2021-11-11 | Lam Research Corporation | Increasing plasma uniformity in a receptacle |
JP7438853B2 (ja) | 2020-06-05 | 2024-02-27 | 株式会社アルバック | マグネトロンスパッタリング装置 |
CN113782409A (zh) * | 2020-06-09 | 2021-12-10 | 自适应等离子体技术公司 | 可改变结构的等离子体源线圈及其调整方法 |
US20220384194A1 (en) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for generating magnetic fields on substrates during semiconductor processing |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2709397B1 (fr) * | 1993-08-27 | 1995-09-22 | Cit Alcatel | Réacteur à plasma pour un procédé de dépôt ou de gravure. |
JP3279038B2 (ja) * | 1994-01-31 | 2002-04-30 | ソニー株式会社 | プラズマ装置およびこれを用いたプラズマ処理方法 |
JPH1083896A (ja) * | 1996-09-06 | 1998-03-31 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
JP3896180B2 (ja) * | 1996-12-05 | 2007-03-22 | キヤノンアネルバ株式会社 | プラズマ処理装置 |
JPH11340200A (ja) * | 1998-05-22 | 1999-12-10 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2000012294A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
US6193854B1 (en) * | 1999-01-05 | 2001-02-27 | Novellus Systems, Inc. | Apparatus and method for controlling erosion profile in hollow cathode magnetron sputter source |
AU1606101A (en) * | 1999-11-15 | 2001-05-30 | Lam Research Corporation | Materials and gas chemistries for processing systems |
US6341574B1 (en) | 1999-11-15 | 2002-01-29 | Lam Research Corporation | Plasma processing systems |
JP3941348B2 (ja) | 2000-07-11 | 2007-07-04 | 富士ゼロックス株式会社 | 微小構造体の製造方法 |
JP2004172243A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Nec Kansai Ltd | ドライエッチング装置 |
CN101048842A (zh) * | 2004-10-04 | 2007-10-03 | 优利讯美国有限公司 | 改善等离子体蚀刻均匀性的方法和设备 |
US7713432B2 (en) * | 2004-10-04 | 2010-05-11 | David Johnson | Method and apparatus to improve plasma etch uniformity |
US7504041B2 (en) * | 2006-05-03 | 2009-03-17 | Applied Materials, Inc. | Method of processing a workpiece in a plasma reactor employing a dynamically adjustable plasma source power applicator |
JP5037630B2 (ja) | 2007-12-18 | 2012-10-03 | キヤノンアネルバ株式会社 | プラズマ処理装置 |
US20090220865A1 (en) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for source field shaping in a plasma etch reactor |
JP5166531B2 (ja) | 2008-06-24 | 2013-03-21 | キヤノンアネルバ株式会社 | 磁場発生装置及びプラズマ処理装置 |
KR101357123B1 (ko) * | 2009-01-15 | 2014-02-04 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 플라즈마 처리장치 |
CN102054649B (zh) * | 2009-10-27 | 2014-03-19 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置以及等离子体处理方法 |
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