JPWO2010092806A1 - 慣性力センサとそれに用いる検出素子 - Google Patents
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Abstract
Description
また、t1−t2間及びt3−t4間には、配線76から入力される信号(S76)と配線77から入力される信号(S77)との和(和C)を算出する。一方、配線78から入力される信号(S78)と配線79から入力される信号(S79)との和(和D)を算出する。そして、和Cと和Dとの差を算出することでY軸回りの角速度Yyを算出することができる。すなわち、Y軸回りの角速度Yyは(式2)により算出することができる。
ここで、X軸回りの角速度を算出するための処理回路の状態から、Y軸回りの角速度を算出するための処理回路の状態へ遷移するためには、切替時間Tが必要となる。FsxとFsyとが著しく異なる場合、切替時間Tの間に処理回路82のゲインやフィルタの定数などを切り替える必要がある。また、処理回路82を、(式1)を算出する構成と(式2)を算出する構成とに切り替える必要がある。そのため、切替時間Tをある程度長く設定する必要がある。
2,2A,2B 第1アーム
4,41A,41B,42A,42B 第2アーム
4A,4C 幅
4B 厚み
6 支持部
8,8A,8B 実装用アーム
10,101A,101B,102A,102B 質量部
12 第1励振用電極
14 第2励振用電極
16 第1感知用電極
18 第2感知用電極
21,23 電極
22 圧電体
25 蓋
26 対向電極
31 励振方向
32 コリオリ力
70,71,72,73 電極パッド
74,75,76,77,78,79 配線
81 駆動部
82 処理回路
91 基盤
Claims (12)
- 質量部と、
互いに直交する第1方向、第2方向、第3方向のうち、前記第3方向に前記質量部を励振させる励振部と、
前記第1方向、第2方向の少なくともいずれかの方向への前記質量部の変位に応じた信号を出力する検出部と、を備え、
前記第1方向および前記第2方向の共振周波数を前記第3方向の共振周波数よりも大きくした、
慣性力センサ用検出素子。 - 前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数を同等にした、
請求項1記載の慣性力センサ用検出素子。 - 前記励振部と前記検出部は、第1アームと第2アームとを直交方向に連結して形成した複数の直交アームを有し、複数の前記直交アームの前記第1アームが互いに連結されるとともに、前記第2アームの先端に前記質量部が形成された、
請求項1記載の慣性力センサ用検出素子。 - 前記励振部と前記検出部は、第1アームと第2アームとを交差するように連結して形成した交差アームを有し、前記交差アームの中央に前記質量部が形成された、
請求項1記載の慣性力センサ用検出素子。 - 前記励振部と前記検出部は、平板状の基盤を有し、前記基盤の中央に前記質量部が形成された、
請求項1記載の慣性力センサ用検出素子。 - 検出素子と駆動部と処理回路とを備え、
前記検出素子は、
質量部と、
互いに直交する第1方向、第2方向、第3方向のうち、前記第3方向に前記質量部を励振させる励振部と、
前記第1方向、第2方向のいずれかの方向への前記質量部の変位に応じた信号を出力する検出部と、を有し、
前記第1方向および前記第2方向の共振周波数を前記第3方向の共振周波数よりも大きくされ、
前記駆動部は前記励振部に接続され、前記励振部に駆動信号を入力し、
前記処理回路は前記検出部に接続され、前記検出部から出力される信号に基づき前記第1方向、第2方向のいずれかの方向への前記質量部の変位を検出する、
慣性力センサ。 - 前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数を同等にした、
請求項6記載の慣性力センサ。 - 前記励振部と前記検出部は、第1アームと第2アームとを直交方向に連結して形成した複数の直交アームを有し、複数の前記直交アームの前記第1アームが互いに連結されるとともに、前記第2アームの先端に前記質量部が形成された、
請求項6記載の慣性力センサ。 - 前記励振部と前記検出部は、第1アームと第2アームとを交差するように連結して形成した交差アームを有し、前記交差アームの中央に前記質量部が形成された、
請求項6記載の慣性力センサ。 - 前記励振部と前記検出部は、平板状の基盤を有し、前記基盤の中央に前記質量部が形成された、
請求項6記載の慣性力センサ。 - 前記処理回路は、前記質量部の第2方向への変位に基づいて第1方向回りの慣性力を検出するとともに、前記質量部の第1方向への変位に基づいて第2方向回りの慣性力を検出する、
請求項6記載の慣性力センサ。 - 前記第1方向の共振周波数と前記第2方向の共振周波数を同等にするとともに、
前記処理回路は、第1の時間において、前記第1方向への前記質量部の変位を検出し、前記第1の時間とは異なる第2の時間において、前記第2方向への前記質量部の変位を検出する、
請求項6記載の慣性力センサ。
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