JPWO2009113373A1 - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 94
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 64
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 11
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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- H01L27/0688—Integrated circuits having a three-dimensional layout
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
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- H01L23/5227—Inductive arrangements or effects of, or between, wiring layers
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- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/065—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L25/0655—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next to each other
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- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/065—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L25/0657—Stacked arrangements of devices
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05552—Shape in top view
- H01L2224/05553—Shape in top view being rectangular
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/3025—Electromagnetic shielding
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Abstract
電磁誘導コイルがそれぞれ搭載された複数の半導体チップを並べ、複数の半導体チップのうち隣接する1対の半導体チップにそれぞれ搭載された電磁誘導コイル間で電磁誘導により信号を伝送する。
Description
本発明は、信号を伝送する半導体装置に関する。
近年、複数のパッケージされた半導体集積回路(以下、チップと称する)を1つのパッケージに封入し、高度な信号処理を実現するSiP(System in Package)が幅広い分野で使用されている。このSiPの高機能化の要求が高まるに従い、1つのパッケージ内に封入されるチップ数が増加してきている。そのため、各チップ間の信号伝送の確保が困難になったり、パッケージ体積が大きくなったりしてしまうなどの問題点が大きくなってきた。
そこで、各チップに貫通孔を設け、更にその貫通孔を導電性の物質を充填した、当該チップの上面に対して垂直方向の信号伝送路を有するチップを垂直方向に積層し、ワイヤボンドなどの実装手段を不要にした実装装置が開発されている。
この手法を用いると、積層されたチップ同士で直接信号伝送が可能になるため、より大きなバンド幅を確保できたり、SiPの体積を小さくしたりすることができる。
また、他の実装方法として、電磁誘導コイルが形成されたチップを、当該チップの上面に対して垂直方向に積層し、電磁誘導コイルの電磁結合を利用した信号伝送に用いられる半導体装置の開発がなされている(例えば、特許公開1995−221260号公報、特許公開1996−236696号公報および文献「Noriyuki Miura, et al.,“Analysis and Design of Transceiver Circuit and Inductor Layout for Inductive Inter-chip Wireless Superconnect” , IEEE 2004 Symposium on VLSI Circuits Digest of Technical Papers, pp.246-249(2004).」)。
図1は、信号伝送に用いられる一般的な半導体装置の第1の形態を示す図である。
図1に示した半導体装置には、第1の回路チップ100と第2の回路チップ101とにそれぞれ、電磁誘導コイル102,103および強磁性体膜104,105が形成されている。
図2は、信号伝送に用いられる一般的な半導体装置の第2の形態を示す図である。
図2に示した半導体装置は、3つのチップ層から構成されている。
チップ層Lnに設けられた送信装置Sは、入力端子201と出力端子202,202’とを有しており、入力端子201に電圧U201が印加されている。また、チップ層Ln+xに設けられた受信装置Eは、入力端子203,203’と出力端子204とを有しており、出力端子204に電圧U204が印加されている。
図3は、信号伝送に用いられる一般的な半導体装置の第3の形態を示す図である。
図3に示した半導体装置は、メモリチップ300,301と、アナログチップ302と、論理チップ303とが積層されている。メモリチップ300に電磁誘導コイル304が、また、メモリチップ301に電磁誘導コイル305が、また、アナログチップ302に電磁誘導コイル306が、また、論理チップ303に電磁誘導コイル307が、それぞれ形成されている。
図1〜3に示した半導体装置はチップ上に、それぞれ電磁誘導コイル、及び、信号装置が形成され、チップの上面に対して垂直方向に積層され、接着層などによって固定されている。
ここで下方に配されたコイルおよび信号装置を送信用とし、また、上方のコイルおよび信号装置を受信用として説明する。送信コイルに送信信号に依存した向きに信号装置より電流を流す。例えば、時計回りの向きの電流信号を“1”とすると、送信コイルは、受信コイルに対して上方から下方へ突き抜ける方向に磁束を発生する。受信コイルにはコイル内を突き抜けた磁束によって誘導電流が流れる。このとき、この誘導電流の向きは、送信コイルに供給された向きと同じとなる。この発生した誘導電流、または、電圧などの変換された電気信号を信号装置によって観測することで、信号送信を行うものである。
“0”を送信したい場合は、“1”の場合とは逆に反時計回りに電流を供給することで、信号伝送が可能となる。
一般的に、この電磁誘導コイルの電磁結合を用いた信号伝送は、エリアバンプなどを用いた実装方式よりもI/O部分の占める面積が小さく、集積回路の高集積化が可能となる。
しかしながら、上述したような信号伝送手法は、チップの上面に対して垂直方向に積層されたチップ間の信号伝送しか実現できず、チップの上面に対して水平方向には信号伝送はできない。そのため、チップ動作よって発生した熱の問題などで、チップが垂直方向に積層できない場合などでは、上述した技術は利用できないという問題点がある。
また、SiP以外でも、チップの上面に対して水平方向に配置されたチップ間の信号伝送が要求される場合がある。例えば、LSI製造時においてチップ個片に切断される前のウエーハ状態での検査(ウエーハレベル検査)などである。ウエーハ状態にある各チップの間には、チップそれぞれを独立させるためにスクライブラインが接地されている。チップ個片に切断する際はこのスクライブラインにそって切断されるため、スクライブラインをまたぐ配線があると切断の際に短絡などの問題を生じるため、スクライブラインをまたぐような配線によって、チップ間を接続することができない。そのため、ウエーハレベル検査においてウエーハ単体で各チップ間の検査用データの共有ができず、プローブカードなど外部装置によって共有しなければならないため、配線が占める面積が大きくなってしまうという問題点がある。
本発明の目的は、上述した課題を解決するため、占有面積の小さな信号伝送装置を用いて水平方向に配置された複数のチップ間の信号伝送を実現することができる半導体装置を提供することである。
上記目的を達成するために本発明は、
電磁誘導コイルがそれぞれ搭載された複数の半導体チップが並べられて構成される半導体装置であって、
前記複数の半導体チップのうち隣接する1対の半導体チップにそれぞれ搭載された前記電磁誘導コイル間で電磁誘導により信号を伝送する。
電磁誘導コイルがそれぞれ搭載された複数の半導体チップが並べられて構成される半導体装置であって、
前記複数の半導体チップのうち隣接する1対の半導体チップにそれぞれ搭載された前記電磁誘導コイル間で電磁誘導により信号を伝送する。
以上説明したように本発明においては、電磁誘導コイルがそれぞれ搭載された複数の半導体チップが並べられ、複数の半導体チップのうち隣接する1対の半導体チップにそれぞれ搭載された電磁誘導コイル間で電磁誘導により信号を伝送する構成としたため、占有面積の小さな信号伝送装置を用いて水平方向に配置された複数のチップ間の信号伝送を実現することができる。
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
なお、以下に説明する実施の形態は本発明の一例を示す形態であり、その説明及び図面に示す形態に限定解釈されるものではない。また、断面図については、便宜上、断面であることを示すハッチングを省略してある。
図4は、本発明の実施の一形態を示す図であり、半導体装置の断面図を示す。
本形態は図4に示すように、互いに隣接配置された半導体チップ間の信号伝送を可能にする形態である。本形態では、半導体集積回路である半導体チップ1と半導体チップ2とで構成され、それぞれが同一平面上に互いにチップ側面11とチップ側面12とで隣接して配置されている。また、半導体チップ1は、送信回路3と送信コイル4とを有する。また、半導体チップ2は、受信回路6と受信コイル5とを有する。ここで、同一平面上の配置とは、半導体装置の製造過程における金属膜を積層するチップのチップ上面(表面)8,9に対して水平方向に配置することである。また、送信コイル4および受信コイル5は、電磁誘導コイルとして用いられており、そのため、送信コイル4と受信コイル5との間においては、電磁誘導により信号の伝送が可能である。
図5は、本発明の実施の他の形態を示す図であり、半導体装置の断面図を示す。
本形態は図5に示すように、半導体集積回路である半導体チップ1と半導体チップ2とで構成され、それぞれのチップ上面8,9が同一平面上から所定の間隔だけずらして配置された構成となっている。つまり、チップ上面8とチップ上面9との距離がtだけずれている。
ここで、図4および図5に示すように、半導体チップ1と半導体チップ2とが、半導体チップ1上と半導体チップ2上とのそれぞれに形成された送信コイル4と受信コイル5との垂直投影図同士に互いの重複がないように配置(同一平面上への配置を含む)されることを、並べて配置すると定義する。
図6は、図4または図5に示した半導体チップ1の平面図である。
図4に示した半導体チップ1は図6に示すように、送信回路3に方形状の送信コイル4が接続されている。ここで、送信コイル4の送信回路3側の1辺を辺Aとし、また、辺Aと対向側の1辺を辺Bとする。
図7は、図4または図5に示した半導体チップ2の平面図である。
図4に示した半導体チップ2は図7に示すように、受信回路6に方形状の受信コイル5が接続されている。
図8は、図4または図5に示した半導体装置の構成を示すブロック図である。
図4に示した半導体装置は図8に示すように、送信回路3と送信コイル4とが接続されており、また、受信回路6と受信コイル5とが接続されている。さらに、送信回路3に入力電圧Viを入力するための端子が接続されている。また、受信回路6から出力電圧Voを出力するための端子が接続されている。
半導体チップ1から半導体チップ2へ信号が伝送する際、送信回路3に入力電圧Viを入力すると、半導体チップ1上の送信回路3から送信データに依る送信電流が送信コイル4に入力される。送信コイル4に電流が入力されると、磁束が発生する。この時、半導体チップ2上の受信コイル5には、電磁誘導により誘導電流が誘起される。受信コイル5端に現れる信号を受信回路6がサンプリングすることにより、受信回路6から出力電圧Voが出力され、信号伝送を実現するものである。
図9は、図8に示した送信回路3の一例を示す回路図である。図9に示した回路はあくまでも一例であって、ここに示した回路構成に限定されるものではない。
図8に示した送信回路3は図9に示すように、入力された信号を送信コイル4へ出力するための信号へ変換する一般的な回路である。
図10は、図8に示した受信回路6の一例を示す回路図である。図10に示した回路はあくまでも一例であって、ここに示した回路構成に限定されるものではない。
図8に示した受信回路6は図10に示すように、受信コイル5端に現れる信号をサンプリングして出力する一般的な回路である。
また、受信コイル5に誘起される信号強度は、送信コイル4と受信コイル5との間の結合係数に比例する。そのため、結合係数を大きくするためには、送信コイル4と受信コイル5との間の距離を小さくすると効果的である。そのため、送信コイル4と受信コイル5とを半導体チップ1,2それぞれの端面付近に形成し、更に、送信コイル4と受信コイル5とが隣接するように半導体チップ1,2を配置すると、より効果的である。
次に、送信コイル4の形状に関して説明する。
従来の積層した半導体チップ同士の信号伝送には、正方形のコイルを用いるのが一般的である。しかしながら、本形態のように互いに同一平面上に配置された半導体チップ1,2間で信号を伝送すると、送信コイル4を形成する配線のうち、受信コイル5にて検出される受信コイル5から最も離れた図7に示した辺Aが発生する磁束は、受信コイル5にて検出される受信コイル5に最も近い図7に示した辺Bが発生する磁束とは逆向きの磁束であるために、受信コイル5を貫く磁束を弱めてしまい、受信コイル5に誘起される信号強度が低下してしまう。そのため、正方形の送信コイルを用いるのは、非効率的である。
図11は、図4または図5に示した半導体チップ1にて送信コイル4の形状が長方形である場合の平面図である。
図11に示すように、送信コイル4の形状を送信コイル4の辺Aを受信コイル5からより遠ざけた長方形のコイル、つまり、辺Aおよび辺Bと比べて辺Eおよび辺Fが長い長方形のコイルにする。すると、受信コイル5を貫く磁束が減るためで、受信コイル5に誘起される信号強度が増加する。またこのとき、短辺である辺Aおよび辺Bの向きが、信号が伝送する伝送方向に対して垂直である。
図12は、図4または図5に示した半導体チップ1にて送信コイル4の形状が三角形である場合の平面図である。
図12に示すように、送信コイル4の形状を図11に示した辺Bを底辺Bとする三角形にする。図11に示したような長方形ではなく、図12に示すような三角形でも同様の効果を得ることができる。この時、頂角θを挟む辺Cと辺Dとが発生する磁界は受信コイル5の外側を貫く。そのため、これらが底辺Bが発生する磁束を弱めることがないので、効率的に信号伝送が可能となる。また、底辺Bの向きが、信号が伝送する伝送方向に対して垂直である。この時、送信コイル4の形状は、辺Cの長さと辺Dの長さとが等しい二等辺三角形であることが望ましい。また、その送信コイル4の頂角θと底辺B、受信コイル5の送信コイル4に最も近い辺R、送信コイル4と受信コイル5との間の距離Dの間において、次式を満たすことが望ましい。
D>B/2×tan(θ/2)+R/2×tan(θ/2)
つまり、頂角θの半数の正接と底辺Bの半数との積と、頂角θの半数の正接と辺Rの半数との積と和よりも距離Dが大きな値であることが望ましい。
つまり、頂角θの半数の正接と底辺Bの半数との積と、頂角θの半数の正接と辺Rの半数との積と和よりも距離Dが大きな値であることが望ましい。
図13は、図4または図5に示した半導体チップ1にて送信コイル4の形状が五角形である場合の平面図である。
図13に示すように、送信コイル4の形状を図12に示した頂点θにおける急激な角度変化を緩和するために五角形にしてもかまわない。また、同様に他の多角形であっても同様の効果を持たせることが可能である。この場合、多角形の辺のうち1辺の向きが、信号が伝送する伝送方向に対して垂直である。
これまでは、送信コイルの形状を制御することにより、受信コイルを貫く磁束を最大化していたが、従来と同様のコイル形状で、辺Bを除くコイルの一部を金属面によって覆うものであっても良い。
図14は、シールドを用いた場合の半導体チップの形態を示す平面図である。
図14に示すように、辺Bを除くコイルの一部をメタルプレート7によってシールドすることにより、辺B以外が発生する磁束を遮断することが可能となる。そのため、効率的な信号伝送が可能となる。ここで、メタルプレート7によりシールドする部分は、コイルの辺Bである1辺以外の部分の上部であっても良いし、下部であっても良いし、上部と下部との双方であっても良い。
次に、チップにダイシングする前のウエーハ状態の半導体装置における実施の形態に関して説明する。
図15は、ウェーハ状態の半導体装置に本発明を適用した形態を示す図である。
異なるチップをパッケージに封入し信号伝送する場合と同様に、図15に示したように各半導体チップ1端面付近に送信コイル4、送信回路3、受信コイル5および受信回路6を配置することにより、各半導体チップ1同士での信号伝送を非接触で実現することが可能となる。
なお、本形態の説明で用いた図では、送信コイル4および受信コイル5が半導体チップ1,2の上面に配置される形態を示しているが、半導体チップ1,2のチップ側面に配置されるものであっても良い。
以上、本発明に依れば、積層されていない半導体チップ同士において、電磁誘導を利用して非接触で信号伝送が可能となるため、パッケージ体積の削減が可能なり、更に、製造コストを削減できる。また、ウエーハ上に形成された半導体チップにおいて、ダイシング前のスクライブラインを跨いで信号伝送が可能になるため、テスト信号などの入出力を実現できる。それにより、ウエーハレベル検査時間を大幅に短縮でき、テストコストの削減が可能となる。
以上、実施の形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
この出願は、2008年3月13日に出願された日本出願特願2008−064165を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
Claims (7)
- 電磁誘導コイルがそれぞれ搭載された複数の半導体チップが並べられて構成される半導体装置であって、
前記複数の半導体チップのうち隣接する1対の半導体チップにそれぞれ搭載された前記電磁誘導コイル間で電磁誘導により信号を伝送する半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記電磁誘導コイルのうち前記信号を送信する送信コイルの形状が多角形であり、前記多角形の辺のうちの1辺の向きが前記信号の伝送方向に対して垂直であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記送信コイルの形状が長方形であり、該送信コイルの短辺の向きが前記信号の伝送方向に対して垂直であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記送信コイルの形状が三角形であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、
前記送信コイルの形状が二等辺三角形であり、該送信コイルの底辺の向きが前記信号の伝送方向に対して垂直であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記信号を伝送する1対の電磁誘導コイル間の距離が、前記送信コイルの頂角の半数の正接と前記底辺の長さの半数との積と、前記送信コイルの頂角の半数の正接と前記前記電磁誘導コイルのうち前記信号を受信する受信コイルの最も前記送信コイルに近い辺の長さの半数との積との和よりも大きな値であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記1辺以外の辺の上部と下部との少なくとも一方がメタルプレートで覆われていることを特徴とする半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008064165 | 2008-03-13 | ||
JP2008064165 | 2008-03-13 | ||
PCT/JP2009/052993 WO2009113373A1 (ja) | 2008-03-13 | 2009-02-20 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009113373A1 true JPWO2009113373A1 (ja) | 2011-07-21 |
Family
ID=41065045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010502751A Pending JPWO2009113373A1 (ja) | 2008-03-13 | 2009-02-20 | 半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8399960B2 (ja) |
JP (1) | JPWO2009113373A1 (ja) |
WO (1) | WO2009113373A1 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110006443A1 (en) * | 2008-03-13 | 2011-01-13 | Nec Corporation | Semiconductor device |
US9407311B2 (en) | 2011-10-21 | 2016-08-02 | Keyssa, Inc. | Contactless signal splicing using an extremely high frequency (EHF) communication link |
US8554136B2 (en) | 2008-12-23 | 2013-10-08 | Waveconnex, Inc. | Tightly-coupled near-field communication-link connector-replacement chips |
JP5578797B2 (ja) * | 2009-03-13 | 2014-08-27 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP5297992B2 (ja) | 2009-12-15 | 2013-09-25 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 外部記憶装置 |
JP5401292B2 (ja) * | 2009-12-15 | 2014-01-29 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及び通信方法 |
JP5675504B2 (ja) * | 2010-08-06 | 2015-02-25 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置、電子装置、及び半導体装置の製造方法 |
JP2014510493A (ja) | 2011-03-24 | 2014-04-24 | ウェーブコネックス・インコーポレーテッド | 電磁通信用集積回路 |
US9614590B2 (en) | 2011-05-12 | 2017-04-04 | Keyssa, Inc. | Scalable high-bandwidth connectivity |
US8811526B2 (en) | 2011-05-31 | 2014-08-19 | Keyssa, Inc. | Delta modulated low power EHF communication link |
US8897700B2 (en) | 2011-06-15 | 2014-11-25 | Keyssa, Inc. | Distance measurement using EHF signals |
CN104641505B (zh) | 2012-08-10 | 2018-06-19 | 凯萨股份有限公司 | 用于ehf通信的电介质耦合*** |
CN106330269B (zh) | 2012-09-14 | 2019-01-01 | 凯萨股份有限公司 | 具有虚拟磁滞的无线连接 |
US9531425B2 (en) | 2012-12-17 | 2016-12-27 | Keyssa, Inc. | Modular electronics |
US9035421B2 (en) * | 2013-03-01 | 2015-05-19 | Qualcomm Incorporated | High quality factor inductor implemented in wafer level packaging (WLP) |
US9373583B2 (en) | 2013-03-01 | 2016-06-21 | Qualcomm Incorporated | High quality factor filter implemented in wafer level packaging (WLP) integrated device |
WO2014149107A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Waveconnex, Inc. | Ehf secure communication device |
KR101700789B1 (ko) | 2013-03-15 | 2017-01-31 | 키사, 아이엔씨. | 극고주파 통신 칩 |
JP2015069658A (ja) * | 2013-09-26 | 2015-04-13 | 富士通株式会社 | メモリ |
JP2014039063A (ja) * | 2013-10-28 | 2014-02-27 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置及び電子装置 |
JP6005805B2 (ja) * | 2015-07-03 | 2016-10-12 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及び電子装置 |
JP6570954B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-09-04 | 学校法人慶應義塾 | 半導体チップ及びマルチチップモジュール |
JP7299651B1 (ja) | 2022-06-24 | 2023-06-28 | 株式会社Premo | 半導体モジュール、半導体チップ及び半導体モジュールの製造方法 |
WO2023249086A1 (ja) * | 2022-06-24 | 2023-12-28 | 株式会社Premo | 半導体モジュール、半導体チップ及び半導体モジュールの製造方法 |
WO2024096083A1 (ja) * | 2022-11-02 | 2024-05-10 | 株式会社Premo | 情報処理装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07221260A (ja) | 1994-02-02 | 1995-08-18 | Fujitsu Ltd | 集積回路装置とその製造方法 |
US5701037A (en) | 1994-11-15 | 1997-12-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Arrangement for inductive signal transmission between the chip layers of a vertically integrated circuit |
JP2998690B2 (ja) | 1997-04-30 | 2000-01-11 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路装置及びクロック信号供給方法 |
JP2000124406A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Synthesis Corp | 集積回路用データ通信装置ならびに集積回路チップおよびこの集積回路チップを用いた集積回路 |
JP2004327568A (ja) | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Japan Science & Technology Agency | 半導体装置 |
JP4295124B2 (ja) | 2004-01-19 | 2009-07-15 | 株式会社エイアールテック | 半導体装置 |
JP2006165287A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス、パッケージ型電気回路装置、及び電子デバイスの製造方法 |
JP4784773B2 (ja) | 2005-09-02 | 2011-10-05 | 日本電気株式会社 | 伝送方法、インターフェース回路、半導体装置、半導体パッケージ、半導体モジュールおよびメモリモジュール |
JP4592542B2 (ja) * | 2005-09-08 | 2010-12-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP4907292B2 (ja) * | 2005-10-14 | 2012-03-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置及び前記半導体装置を用いた通信システム |
EP1952312B1 (en) * | 2005-10-14 | 2012-02-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and communication system using the semiconductor device |
JP2007165459A (ja) | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Mitsubishi Electric Corp | マルチチップモジュール |
-
2009
- 2009-02-20 WO PCT/JP2009/052993 patent/WO2009113373A1/ja active Application Filing
- 2009-02-20 JP JP2010502751A patent/JPWO2009113373A1/ja active Pending
- 2009-02-20 US US12/920,381 patent/US8399960B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110012228A1 (en) | 2011-01-20 |
WO2009113373A1 (ja) | 2009-09-17 |
US8399960B2 (en) | 2013-03-19 |
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