JPWO2009028364A1

JPWO2009028364A1 - Dicing machine

Info

Publication number: JPWO2009028364A1
Application number: JP2009530058A
Authority: JP
Inventors: 純一伊藤
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2007-08-28
Filing date: 2008-08-20
Publication date: 2010-12-02
Also published as: WO2009028364A1; TW200911455A

Abstract

本発明の実施形態の形態のダイシング装置（１）は、Ｘテーブル（１６、１８）の真下にオイルパン（２０）を配置することにより、オイルパン（２０）の容積を十分に確保し、排水性を向上させている。また、Ｘテーブル（１６、１８）をＸ方向に移動自在に案内するガイドレール（２２、３６）と、ボールねじ（２４、３８）とをオイルパン（２０）の側面に沿って配置し、ガイドレール（２２、３６）と、ボールねじ（２４、３８）とを覆うそれぞれ一対の蛇腹（３４、４６）も同様にオイルパン（２０）の側面に沿って鉛直方向に配置した。蛇腹（３４、４６）に付着した端材は自重により蛇腹（３４、４６）に沿って流下し、十分な容積を有するオイルパン（２０）に落下して排出される。したがって、蛇腹（３４、４６）には、端材が堆積しないので、端材の堆積に起因する蛇腹（３４、４６）の破損を防止できる。The dicing apparatus (1) according to the embodiment of the present invention secures a sufficient volume of the oil pan (20) by disposing the oil pan (20) immediately below the X table (16, 18). Improves sex. Further, guide rails (22, 36) for guiding the X table (16, 18) movably in the X direction and ball screws (24, 38) are arranged along the side surface of the oil pan (20) to guide the X table (16, 18). Similarly, a pair of bellows (34, 46) covering the rails (22, 36) and the ball screw (24, 38) were also arranged vertically along the side surface of the oil pan (20). The end material adhering to the bellows (34, 46) flows down along the bellows (34, 46) by its own weight, and is dropped and discharged to an oil pan (20) having a sufficient volume. Therefore, since the end material does not accumulate on the bellows (34, 46), damage to the bellows (34, 46) due to the accumulation of the end material can be prevented.

Description

本発明はダイシング装置に関し、特に半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工を行うダイシング装置に関する。 The present invention relates to a dicing apparatus, and more particularly to a dicing apparatus that performs grooving or cutting on a workpiece such as a semiconductor or electronic component material.

半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工（以下、加工と称する）を行うダイシング装置においては、高速で回転するブレードと称する薄型砥石で研削水をかけながらワークを加工する。 In a dicing apparatus that performs grooving or cutting (hereinafter referred to as processing) on a workpiece such as a semiconductor or electronic component material, the workpiece is processed while applying grinding water with a thin grindstone called a blade that rotates at high speed.

図５に示す従来のダイシング装置１００は、特開２００３−１９７５６０号公報（特許文献１）において従来の技術を説明するために開示されたものである。同図に示すように、研削水ノズル１０１から薄型砥石（ブレード）１０２に向けて研削水が供給され、ワークＷの加工ポイントで加工に寄与した研削水は、その後ワークテーブル１０３を囲うように配置された溝状のオイルパン１０４に流れ込む。オイルパン１０４に流れ込んだ研削水は、オイルパン１０４の四隅の内の一つの隅に形成された排水口１０５から排水ダクト１０６を経由して工場ラインの排水溝に排水される。 A conventional dicing apparatus 100 shown in FIG. 5 is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-197560 (Patent Document 1) for explaining the conventional technique. As shown in the figure, the grinding water is supplied from the grinding water nozzle 101 toward the thin grindstone (blade) 102, and the grinding water that has contributed to the machining at the machining point of the workpiece W is then disposed so as to surround the work table 103. Into the grooved oil pan 104 formed. The grinding water that has flowed into the oil pan 104 is drained from a drain port 105 formed at one of the four corners of the oil pan 104 to a drain groove on the factory line via a drain duct 106.

図６は、ダイシング装置１００のワークテーブル１０３まわりの断面図である。図５、図６に示すように、このダイシング装置１００は、マシンベース１０７上に設けられたＸ軸ガイドレール１０８、１０８と、これらのＸ軸ガイドレール１０８、１０８に係合するスライダ１０９、１０９と、ボールねじ１１０と、ボールナット１１１とによってＸ方向に研削送りされるＸテーブル１１２とを有している。このＸテーブル１１２にはθテーブル１１３が載置され、θテーブル１１３にはワークＷを吸着保持するワークテーブル１０３が取り付けられている。また、ワークテーブル１０３を囲うようにして、オイルパン１０４がその脚板１０４Ａ、１０４Ａを介してマシンベース１０７のブラケット１１４、１１４にネジ止めされている。このオイルパン１０４には蛇腹支持板１１５、１１５が設けられており、蛇腹支持板１１５、１１５上には、Ｘ軸ガイドレール１０８、１０８等のガイド機構やボールねじ１１０等の駆動機構を覆うようにして一対の蛇腹１１６、１１６が載っている。 FIG. 6 is a sectional view around the work table 103 of the dicing apparatus 100. As shown in FIGS. 5 and 6, the dicing apparatus 100 includes X-axis guide rails 108 and 108 provided on a machine base 107, and sliders 109 and 109 that engage with the X-axis guide rails 108 and 108. And an X table 112 which is ground and fed in the X direction by a ball screw 110 and a ball nut 111. A θ table 113 is placed on the X table 112, and a work table 103 that holds the work W by suction is attached to the θ table 113. Further, the oil pan 104 is screwed to the brackets 114 and 114 of the machine base 107 via the leg plates 104A and 104A so as to surround the work table 103. The oil pan 104 is provided with bellows support plates 115 and 115 so that the bellows support plates 115 and 115 cover a guide mechanism such as the X-axis guide rails 108 and 108 and a drive mechanism such as the ball screw 110. A pair of bellows 116, 116 is placed.

図７は、オイルパン１０４と一対の蛇腹１１６、１１６の形状を示した組立斜視図である。このオイルパン１０４には、底板１１７と、底板１１７の中央部の開口部１１８を囲む内側フェンス１１９と、外側フェンス１２０とが形成されている。また、底板１１７の一隅には排水口１０５が形成され、排水口１０５に排水ダクト１２１が溶接されている。オイルパン１０４の開口部１１８の上方にはテーブルカバー１２２を挟んで蛇腹１１６、１１６が両側に設けられている。加工にあたってワークＷに供給された研削水や先浄水は、蛇腹１１６、１１６の溝を伝わってオイルパン１０４に流れ落ち、排水口１０５から排水ダクト１２１に排水される。
特開２００３−１９７５６０号公報 FIG. 7 is an assembled perspective view showing the shape of the oil pan 104 and the pair of bellows 116, 116. The oil pan 104 includes a bottom plate 117, an inner fence 119 that surrounds the opening 118 at the center of the bottom plate 117, and an outer fence 120. A drain port 105 is formed at one corner of the bottom plate 117, and a drain duct 121 is welded to the drain port 105. Bellows 116, 116 are provided on both sides above the opening 118 of the oil pan 104 with the table cover 122 interposed therebetween. Grinding water or pre-purified water supplied to the workpiece W during processing flows down the grooves of the bellows 116 and 116 to the oil pan 104 and is drained from the drain port 105 to the drain duct 121.
JP 2003-197560 A

従来のダイシング装置１００は、Ｘテーブル１１２のガイド機構と駆動機構とがＸテーブル１１２の下方に配置され、Ｘテーブル１１２上にθテーブル１１３が載置される構造であるため、オイルパン１０４の底板１１７には開口部１１８が必要であった。そして、この開口部１１８から研削水や先浄水が入り込まないように、開口部１１８をテーブルカバー１２２及び蛇腹１１６、１１６で覆う構造であった。 The conventional dicing apparatus 100 has a structure in which the guide mechanism and the drive mechanism of the X table 112 are disposed below the X table 112 and the θ table 113 is placed on the X table 112. 117 required an opening 118. And it was the structure which covers the opening part 118 with the table cover 122 and the bellows 116,116 so that grinding water and prior clean water may not enter from this opening part 118.

このため、従来のダイシング装置のオイルパン１０４は、実質的に底板１１７の中央部の開口部１１８を囲む溝状のものであり、その容積が小さいため排水効率が悪く、ワークの加工の際に生じた端材が堆積するという問題があった。 For this reason, the oil pan 104 of the conventional dicing apparatus is substantially a groove-like shape that surrounds the opening 118 at the center of the bottom plate 117, and its volume is small, resulting in poor drainage efficiency. There was a problem that the generated scrap material was deposited.

また、従来のダイシング装置１００は、蛇腹１１６、１１６が水平に配置されているため、前述した端材が蛇腹１１６、１１６の溝に堆積し易く、堆積した端材と蛇腹の伸縮動作とによって蛇腹が破損するという欠点もあった。 Further, in the conventional dicing apparatus 100, since the bellows 116, 116 are arranged horizontally, the above-mentioned end material is easily deposited in the groove of the bellows 116, 116, and the bellows is caused by the accumulated end material and the bellows expansion and contraction operation. There was also a drawback of breaking.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、排水効率が向上するとともに、端材に起因する蛇腹の破損を防止することができるダイシング装置を提供することを目的とする。 This invention is made | formed in view of such a situation, and it aims at providing the dicing apparatus which can prevent the damage of the bellows resulting from an end material while drainage efficiency improves.

前記目的を達成するために、本発明の第１態様に係るダイシング装置は、ワークを載置したワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、前記ワークテーブルをθ方向に回転させるθ回転軸と、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを備え、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、前記Ｘテーブルの下方には、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンが配置され、前記オイルパンの側面には該側面に沿って、前記ＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内するガイド機構と前記ＸテーブルをＸ方向に移動させる駆動機構とが配置され、前記θ回転軸は、前記ワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記Ｘテーブルに固定され、前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記Ｘテーブル側にその他端部が固定され、Ｘテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記ガイド機構及び駆動機構を覆う一対の蛇腹部材が前記オイルパンの側面に配置されている。 In order to achieve the above object, a dicing apparatus according to a first aspect of the present invention includes an X table for grinding and feeding a work table on which a work is placed in the X direction, and a θ rotation shaft for rotating the work table in the θ direction. And a dicing device for grooving and cutting a workpiece with the rotary blade, the spindle having a rotary blade attached to the tip and index feed in the Y direction orthogonal to the X direction. An oil pan that receives waste water of grinding water and cleaning water is disposed below, and a guide mechanism that guides the X table movably in the X direction along the side surface of the oil pan and the X table And a driving mechanism for moving the work table in the X direction, and the θ rotation axis is fixed to the X table so that the work table rotates in the θ direction on a horizontal plane, One end of the oil pan is fixed to the X-table, the other end is fixed to the X-table, and a pair of bellows members that extend and contract as the X-table moves to cover the guide mechanism and the drive mechanism are provided on the oil pan. It is arranged on the side.

第１態様に係るダイシング装置では、Ｘテーブルの下方（真下）にオイルパンを配置することにより、オイルパンの容積を十分に確保し、排水性を向上させている。また、第１態様に係るダイシング装置では、ＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内するガイド機構とＸテーブルをＸ方向に移動させる駆動機構とをオイルパンの側面に沿って配置することにより、ガイド機構と駆動機構とによってＸテーブルを片持ち支持し、かつ、ガイド機構及び駆動機構を覆う一対の蛇腹部材も同様にオイルパンの側面に沿って鉛直方向に配置している。そのため、蛇腹部材に付着した端材は自重により蛇腹部材に沿って流下し、十分な容積を有するオイルパンに落下して排出される。したがって、蛇腹部材には、端材が堆積しないので、端材の堆積に起因する蛇腹部材の破損を防止することができる。また、第１態様に係るダイシング装置では、蛇腹部材を鉛直方向（縦型）に配置し、蛇腹部材の上下縁部を、オイルパンに対して上下方向に接触させて摺動させる構造とする。そのため、その摺動部にミストの堆積による水溜まりはできるもののミストが蛇腹部材の内側に浸入するのを防止できる。ひいては、ミスト浸入に起因するガイド機構と駆動機構の不具合を防止することができる。 In the dicing apparatus according to the first aspect, by arranging the oil pan below (directly below) the X table, the volume of the oil pan is sufficiently secured and the drainage is improved. In the dicing apparatus according to the first aspect, the guide mechanism that guides the X table so as to be movable in the X direction and the drive mechanism that moves the X table in the X direction are arranged along the side surface of the oil pan. A pair of bellows members that cantilever-support the X table by the mechanism and the drive mechanism and cover the guide mechanism and the drive mechanism are also arranged in the vertical direction along the side surface of the oil pan. Therefore, the end material adhering to the bellows member flows down along the bellows member by its own weight, and is dropped and discharged to an oil pan having a sufficient volume. Therefore, since the end material is not deposited on the bellows member, it is possible to prevent the bellows member from being damaged due to the accumulation of the end material. In the dicing apparatus according to the first aspect, the bellows member is arranged in the vertical direction (vertical type), and the upper and lower edges of the bellows member are slid in contact with the oil pan in the vertical direction. Therefore, although water can be accumulated due to the accumulation of mist at the sliding portion, it is possible to prevent the mist from entering the inside of the bellows member. As a result, the trouble of the guide mechanism and drive mechanism resulting from mist intrusion can be prevented.

また、本発明の第２態様に係るダイシング装置は、ワークを載置した第１のワークテーブルをＸ方向に研削送りする第１のＸテーブルと、ワークを載置した第２のワークテーブルをＸ方向に研削送りする第２のＸテーブルと、前記第１のワークテーブルをθ方向に回転させる第１のθ回転軸と、前記第２のワークテーブルをθ方向に回転させる第２のθ回転軸と、先端に回転刃が各々取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされる第１のスピンドル、及び第２のスピンドルとを有し、前記各々回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、前記第１のＸテーブル、及び第２のＸテーブルの下方には、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンが配置され、前記オイルパンの一方の側面には該一方の側面に沿って、前記第１のＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内する第１のガイド機構と前記第１のＸテーブルをＸ方向に移動させる第１の駆動機構とが配置され、前記第１のθ回転軸は、前記第１のワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記第１のＸテーブルに固定され、前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記第１のＸテーブル側にその他端部が固定され、第１のＸテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記第１のガイド機構及び第１の駆動機構を覆う第１の一対の蛇腹部材が前記オイルパンの一方の側面に配置され、前記オイルパンの他方の側面には該他方の側面に沿って、前記第２のＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内する第２のガイド機構と前記第２のＸテーブルをＸ方向に移動させる第２の駆動機構とが配置され、前記第２のθ回転軸は、前記第２のワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記第２のＸテーブルに固定され、前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記第２のＸテーブル側にその他端部が固定され、第２のＸテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記第２のガイド機構及び第２の駆動機構を覆う第２の一対の蛇腹部材が前記オイルパンの他方の側面に配置されている。 The dicing apparatus according to the second aspect of the present invention includes a first X table for grinding and feeding a first work table on which a work is placed in the X direction, and a second work table on which the work is placed. A second X table for grinding and feeding in the direction, a first θ rotating shaft for rotating the first work table in the θ direction, and a second θ rotating shaft for rotating the second work table in the θ direction. And a first spindle and a second spindle each having a rotary blade attached to the tip and index-feeding in the Y direction orthogonal to the X direction. An oil pan that receives waste water of grinding water and cleaning water is disposed below the first X table and the second X table, and is disposed on one side of the oil pan. The one side A first guide mechanism that guides the first X table to be movable in the X direction and a first drive mechanism that moves the first X table in the X direction are disposed along the first and second X tables. The θ rotation axis is fixed to the first X table so that the first work table rotates in the θ direction on a horizontal plane, one end of the first work table is fixed to the oil pan side, and the first work table is fixed to the first X table. The other end portion is fixed to the X table side, and a first pair of bellows members that are expanded and contracted as the first X table moves to cover the first guide mechanism and the first drive mechanism are provided on the oil pan. A second guide mechanism disposed on one side surface and movably guiding the second X table in the X direction along the other side surface on the other side surface of the oil pan; Second driving machine for moving the table in the X direction The second θ rotation axis is fixed to the second X table so that the second work table rotates in the θ direction on a horizontal plane, and one end of the second θ rotation axis is on the oil pan side. A second pair is fixed and the other end is fixed to the second X table side, and is expanded and contracted with the movement of the second X table to cover the second guide mechanism and the second drive mechanism. The bellows member is disposed on the other side surface of the oil pan.

第２態様に係るダイシング装置では、Ｘテーブルを２台備えたツインテーブル仕様のダイシング装置を対象としており、その基本的なオイルパン構造、及びガイド機構、駆動機構、蛇腹部材の構造は第１態様に係るダイシング装置と同様である。よって、このツインテーブル仕様のダイシング装置によっても、排水効率が向上するとともに、端材に起因する蛇腹の破損を防止でき、さらに、ミスト浸入に起因するガイド機構と駆動機構の不具合を防止することができる。 The dicing apparatus according to the second aspect is intended for a twin table specification dicing apparatus having two X tables, and the basic oil pan structure and the structure of the guide mechanism, the drive mechanism, and the bellows member are the first aspect. It is the same as that of the dicing apparatus concerning. Therefore, even with this twin table specification dicing device, drainage efficiency can be improved, the bellows can be prevented from being damaged due to the end material, and further, the trouble of the guide mechanism and the drive mechanism due to mist intrusion can be prevented. it can.

本発明に態様に係るダイシング装置によれば、Ｘテーブルの下方にオイルパンを配置したので、オイルパンの容積を十分に確保でき、排水性を向上させることができる。また、ガイド機構及び駆動機構をオイルパンの側面に沿って配置し、かつ、ガイド機構及び駆動機構を覆う一対の蛇腹部材も同様にオイルパンの側面に沿って鉛直方向に配置したため、端材の堆積に起因する蛇腹部材の破損を防止することができる。 According to the dicing apparatus according to the aspect of the present invention, since the oil pan is disposed below the X table, a sufficient volume of the oil pan can be secured and drainage can be improved. In addition, since the guide mechanism and the drive mechanism are arranged along the side surface of the oil pan, and the pair of bellows members covering the guide mechanism and the drive mechanism are similarly arranged in the vertical direction along the side surface of the oil pan, Damage to the bellows member due to the accumulation can be prevented.

図１は、本発明の実施の形態に係るダイシング装置の外観を示す斜視図であり；FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a dicing apparatus according to an embodiment of the present invention; 図２は、図１に示したダイシング装置の加工部の構造を示した斜視図であり；FIG. 2 is a perspective view showing a structure of a processing portion of the dicing apparatus shown in FIG. 1; 図３は、図２に示した加工部の要部構造を示した断面図であり；FIG. 3 is a cross-sectional view showing the main structure of the processed part shown in FIG. 2; 図４は、図２に示した加工部の平面図であり；4 is a plan view of the processed part shown in FIG. 2; 図５は、従来のダイシング装置の加工部の側断面図であり；FIG. 5 is a cross-sectional side view of a processing portion of a conventional dicing apparatus; 図６は、図５に示した加工部の正面断面図であり；6 is a front cross-sectional view of the processed portion shown in FIG. 5; 図７は、図５に示した加工部のオイルパンの組立斜視図である。FIG. 7 is an assembly perspective view of the oil pan of the processing section shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１…ダイシング装置
５…顕微鏡
９…回転ブレード
１０…スピンドル
１２、１４…ワークテーブル
１６、１８…Ｘテーブル
２０…オイルパン
２２…ガイドレール
２４…ボールねじ
２６…サーボモータ
２８…ボールナット
３０…スライダ
３２…θテーブル
３４…蛇腹
３６…ガイドレール
３８…ボールねじ
４０…サーボモータ
４４…θテーブル
４６…蛇腹
４８…ガイドベース
５０…スピンドルＹガイド
５２…スピンドルＹテーブル
５４…スピンドルＺテーブル
５６…ホルダ
５８、６０…顕微鏡駆動装置
６２…顕微鏡Ｙガイド
６４…顕微鏡Ｙテーブル
６６…顕微鏡ＺテーブルDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Dicing apparatus 5 ... Microscope 9 ... Rotary blade 10 ... Spindle 12, 14 ... Work table 16, 18 ... X table 20 ... Oil pan 22 ... Guide rail 24 ... Ball screw 26 ... Servo motor 28 ... Ball nut 30 ... Slider 32 ... θ table 34 ... bellows 36 ... guide rail 38 ... ball screw 40 ... servo motor 44 ... θ table 46 ... bellows 48 ... guide base 50 ... spindle Y guide 52 ... spindle Y table 54 ... spindle Z table 56 ... holders 58, 60 ... Microscope drive device 62 ... Microscope Y guide 64 ... Microscope Y table 66 ... Microscope Z table

以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説する。 Hereinafter, preferred embodiments of a dicing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１に示した実施の形態に係るダイシング装置１は、複数のワークが収納されたカセットを外部装置との間で受け渡すロードポート２、吸着部３を有しワークを装置各部に搬送する搬送装置４、ワークの上面を観察する一対の顕微鏡５、５、加工部６、加工後のワークを洗浄し乾燥させるスピンナ７、及び装置各部の動作を制御するコントローラ８等を備える。加工部６は、２本対向して配置され、回転ブレード９が取り付けられた高周波モータ内蔵型のエアーベアリング式スピンドル（若しくはメカスピンドル）１０、１０を備える。これらのスピンドル１０、１０は３０，０００ｒｐｍ〜６０，０００ｒｐｍで高速回転されるとともに、互いに独立して図のＹ方向のインデックス送りとＺ方向の切込み送りとがなされる。回転ブレード９は手前側と下方が開口した図示しないフランジカバーで囲われ、フランジカバーに設けられた研削ノズルから研削水が加工ポイントに向けて供給される。また、フランジカバーは、不図示の洗浄ノズルを備え、この洗浄ノズルから加工ポイントに向けて洗浄水が供給される。回転ブレード９は薄い円盤状の砥石であり、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ砥粒をニッケルで電着した電着ブレード、又は樹脂で結合したレジンブレードが用いられる。更に、加工部６は、ワークを吸着載置する２台の同形状のワークテーブル１２、１４を備え、これらは後述する図２のＸテーブル１６、１８の移動によって図１のＸ方向に研削送りされる。 The dicing apparatus 1 according to the embodiment shown in FIG. 1 has a load port 2 for transferring a cassette containing a plurality of workpieces to and from an external device, and a suction portion 3, and conveys the workpiece to each part of the device. The apparatus 4 includes a pair of microscopes 5 and 5 for observing the upper surface of the workpiece, a processing unit 6, a spinner 7 for cleaning and drying the processed workpiece, and a controller 8 for controlling the operation of each unit of the device. The processing unit 6 includes two high-frequency motor built-in air bearing spindles (or mechanical spindles) 10 and 10 that are arranged opposite to each other and to which a rotating blade 9 is attached. These spindles 10 and 10 are rotated at a high speed of 30,000 rpm to 60,000 rpm, and are independently indexed in the Y direction and cut in the Z direction in the drawing. The rotating blade 9 is surrounded by a flange cover (not shown) that is open on the front side and the lower side, and grinding water is supplied from a grinding nozzle provided on the flange cover toward a processing point. The flange cover includes a cleaning nozzle (not shown), and cleaning water is supplied from the cleaning nozzle toward the processing point. The rotary blade 9 is a thin disk-shaped grindstone, and an electrodeposition blade obtained by electrodepositing diamond abrasive grains or CBN abrasive grains with nickel, or a resin blade bonded with resin is used. Further, the processing unit 6 includes two work tables 12 and 14 having the same shape on which the work is sucked and placed, and these are ground and fed in the X direction of FIG. 1 by the movement of the X tables 16 and 18 of FIG. Is done.

図２は、ダイシング装置１の加工部６の主要部を示した斜視図である。 FIG. 2 is a perspective view illustrating a main part of the processing unit 6 of the dicing apparatus 1.

同図に示すように加工部６のワークテーブル１２、１４の下方には、２台のワークテーブル１２、１４を十分に囲むように箱状のオイルパン２０が水平に配置されている。このオイルパン２０の左側面には、２本で一対のガイドレール（ガイド機構）２２、２２が図の矢印Ｘ方向に沿って配設されており、これらのガイドレール２２、２２の間には、駆動機構を構成するボールねじ２４がガイドレール２２、２２と平行に、かつオイルパン２０の左側面に沿って配設されている。 As shown in the figure, a box-shaped oil pan 20 is horizontally disposed below the work tables 12 and 14 of the processing unit 6 so as to sufficiently surround the two work tables 12 and 14. Two pairs of guide rails (guide mechanisms) 22 and 22 are arranged on the left side surface of the oil pan 20 along an arrow X direction in the figure, and between these guide rails 22 and 22 are arranged. The ball screw 24 constituting the drive mechanism is disposed in parallel with the guide rails 22 and 22 and along the left side surface of the oil pan 20.

また、このボールねじ２４を回転駆動するサーボモータ２６がボールねじ２４の端部側に配置されている。更に、ガイドレール２２、２２で案内され、サーボモータ２６によるボールねじ２４の回転でＸ方向に駆動されるＸテーブル１６が縦方向に配置されている。Ｘテーブル１６には、図３に示すようにボールねじ２４と螺合するボールナット２８と、ガイドレール２２、２２に摺動自在に係合するスライダ３０、３０とが設けられるとともにＺ方向（図１参照）を軸にθ回転するθテーブル（θ回転軸）３２が搭載され、このθテーブル３２にワークテーブル１２が取り付けられている。θテーブル３２の回転軸は、ワークテーブル１２が水平面上でθ方向に回転するようにＸテーブル１６に固定されている。 A servo motor 26 that rotationally drives the ball screw 24 is disposed on the end side of the ball screw 24. Further, an X table 16 guided in the guide rails 22 and 22 and driven in the X direction by the rotation of the ball screw 24 by the servo motor 26 is arranged in the vertical direction. As shown in FIG. 3, the X table 16 is provided with a ball nut 28 screwed into the ball screw 24, and sliders 30 and 30 slidably engaged with the guide rails 22 and 22, and in the Z direction (see FIG. 1) (see FIG. 1) is mounted on a θ table (θ rotation shaft) 32 that rotates θ, and the work table 12 is attached to the θ table 32. The rotation axis of the θ table 32 is fixed to the X table 16 so that the work table 12 rotates in the θ direction on a horizontal plane.

更にまた、Ｘテーブル１６のＸ方向の移動に伴い伸縮動作されてガイドレール２２、２２、及びボールねじ２４を覆う一対の蛇腹（蛇腹部材）３４、３４がオイルパン２０の左側面に配置されている。一方の蛇腹３４は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手前側に固定され、他端がＸテーブル１６の奥行き方向手前側縁部に固定されている。また、他方の蛇腹３４は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手奥側に固定され、他端がＸテーブル１６の奥行き方向奥側縁部に固定されている。なお、図２では、他方の蛇腹３４を省略している。また、Ｘテーブル１６に対する一対の蛇腹３４、３４の配置関係、取付構造は図５に示した従来のものと基本的に同一である。 Further, a pair of bellows (bellows members) 34 and 34 that are extended and contracted as the X table 16 moves in the X direction and covers the guide rails 22 and 22 and the ball screw 24 are arranged on the left side surface of the oil pan 20. Yes. One bellows 34 has one end fixed to the front side in the depth direction of the oil pan 20 and the other end fixed to the front side edge in the depth direction of the X table 16. The other bellows 34 has one end fixed to the depth side of the oil pan 20 and the other end fixed to the depth side edge of the X table 16. In FIG. 2, the other bellows 34 is omitted. Further, the positional relationship and mounting structure of the pair of bellows 34, 34 with respect to the X table 16 is basically the same as the conventional one shown in FIG.

一方で、図２の如くオイルパン２０の右側面にも同様に、２本で一対のガイドレール（ガイド機構）３６、３６が図１の矢印Ｘ方向に沿って配設され、これらのガイドレール３６、３６の間にも、駆動機構を構成するボールねじ３８がガイドレール３６、３６と平行に、かつオイルパン２０の右側面に沿って配設されている。 On the other hand, as shown in FIG. 2, a pair of guide rails (guide mechanisms) 36 and 36 are also provided on the right side surface of the oil pan 20 along the arrow X direction in FIG. Also between 36 and 36, a ball screw 38 constituting a drive mechanism is disposed in parallel with the guide rails 36 and 36 and along the right side surface of the oil pan 20.

また、このボールねじ３８を回転駆動するサーボモータ４０がボールねじ３８の端部側に配置されている。更に、ガイドレール３６、３６で案内され、サーボモータ４０によるボールねじ３８の回転でＸ方向に駆動されるＸテーブル１８が配置されている。Ｘテーブル１８には、ボールねじ３８と螺合するボールナット（不図示）と、ガイドレール３６、３６に摺動自在に係合するスライダ（不図示）とが設けられるとともにＺ方向（図１参照）を軸にθ回転するθテーブル（θ回転軸）４４が搭載され、このθテーブル４４にワークテーブル１４が取り付けられている。θテーブル４４の回転軸は、ワークテーブル１４が水平面上でθ方向に回転するようにＸテーブル１８に固定されている。 A servo motor 40 that rotationally drives the ball screw 38 is disposed on the end side of the ball screw 38. Further, an X table 18 guided by the guide rails 36 and 36 and driven in the X direction by the rotation of the ball screw 38 by the servo motor 40 is disposed. The X table 18 is provided with a ball nut (not shown) that is screwed with the ball screw 38, and a slider (not shown) that is slidably engaged with the guide rails 36, 36, and in the Z direction (see FIG. 1). ) Is mounted on a θ table (θ rotation shaft) 44, and the work table 14 is attached to the θ table 44. The rotation axis of the θ table 44 is fixed to the X table 18 so that the work table 14 rotates in the θ direction on a horizontal plane.

更にまた、Ｘテーブル１８のＸ方向の移動に伴い伸縮動作されてガイドレール３６、３６、及びボールねじ３８を覆う一対の蛇腹（蛇腹部材）４６、４６がオイルパン２０の右側面に配置されている。一方の蛇腹４６は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手前側に固定され、他端がＸテーブル１８の奥行き方向手前側縁部に固定されている。また、他方の蛇腹４６は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手奥側に固定され、他端がＸテーブル１８の奥行き方向奥側縁部に固定されている。なお、図２では、他方の蛇腹４６を省略している。また、Ｘテーブル１８に対する一対の蛇腹４６、４６の配置関係、取付構造は図５に示した従来のものと基本的に同一である。 Further, a pair of bellows (bellows members) 46 and 46 that are extended and contracted as the X table 18 moves in the X direction and covers the guide rails 36 and 36 and the ball screw 38 are arranged on the right side surface of the oil pan 20. Yes. One bellows 46 has one end fixed to the front side in the depth direction of the oil pan 20 and the other end fixed to the front side edge in the depth direction of the X table 18. One end of the other bellows 46 is fixed to the depth direction depth side of the oil pan 20, and the other end is fixed to the depth direction depth side edge of the X table 18. In FIG. 2, the other bellows 46 is omitted. Further, the arrangement relationship and the mounting structure of the pair of bellows 46, 46 with respect to the X table 18 are basically the same as the conventional one shown in FIG.

また、図４に示すように、加工部６には門型形状のガイドベース４８が立設されている。ガイドベース４８の図４中左側面には、図の矢印Ｙ方向に向けて水平にスピンドルＹガイド５０が取り付けられ、さらに、そのスピンドルＹガイド５０にガイドされ、図示しない駆動機構によってＹ方向にインデックス送りされるスピンドルＹテーブル５２、５２が２台設けられている。各々のスピンドルＹテーブル５２には、図示しないガイドレールと駆動機構によって図１の矢印Ｚ方向に切込み送りされるスピンドルＺテーブル５４が設けられる。各々のスピンドルＺテーブル５４には、ホルダ５６を介してスピンドル１０が取り付けられている。２本のスピンドル１０、１０は互いに対向するように配置され、各々のスピンドル１０には先端に回転ブレード９が取り付けられている。このような機構により、２枚の回転ブレード９、９は各々独立してＺ方向の切込み送りとＹ方向のインデックス送りとがされる。また、スピンドルＹテーブル１６、１８、及びスピンドルＺテーブル５４の駆動機構としては、リニアモータが用いられてもよいし、サーボモータとリードスクリューが用いられてもよい。 As shown in FIG. 4, a gate-shaped guide base 48 is erected on the processing portion 6. A spindle Y guide 50 is attached horizontally to the left side surface of the guide base 48 in FIG. 4 in the direction of the arrow Y in the figure, and is further guided by the spindle Y guide 50 and indexed in the Y direction by a drive mechanism (not shown). Two spindle Y tables 52 and 52 to be fed are provided. Each spindle Y table 52 is provided with a spindle Z table 54 that is cut and fed in the direction of arrow Z in FIG. 1 by a guide rail and a drive mechanism (not shown). The spindle 10 is attached to each spindle Z table 54 via a holder 56. The two spindles 10 and 10 are disposed so as to face each other, and a rotating blade 9 is attached to the tip of each spindle 10. By such a mechanism, the two rotary blades 9 and 9 are independently fed in the Z direction by cutting and in the Y direction by index feed. Further, as a drive mechanism for the spindle Y tables 16 and 18 and the spindle Z table 54, a linear motor may be used, or a servo motor and a lead screw may be used.

ガイドベース４８の図４中右側面には、２台の顕微鏡駆動装置５８、６０が設けられている。これらの顕微鏡駆動装置５８、６０は、ガイドベース４８の右側面に取り付けられ、図の矢印Ｙ方向に向けて水平に配置された顕微鏡Ｙガイド６２、顕微鏡Ｙガイド６２にガイドされ、図示しない駆動機構によってＹ方向に移動される顕微鏡Ｙテーブル６４、及び顕微鏡Ｙテーブル６４に設けられた図示しないガイドレールと駆動機構によって図の矢印Ｚ方向に送られる顕微鏡Ｚテーブル６６を備える。顕微鏡Ｚテーブル６６には、ワークＷの上面を観察する顕微鏡５が取り付けられている。 Two microscope driving devices 58 and 60 are provided on the right side of the guide base 48 in FIG. These microscope driving devices 58 and 60 are attached to the right side surface of the guide base 48 and guided by a microscope Y guide 62 and a microscope Y guide 62 that are horizontally arranged in the direction of the arrow Y in the figure, and a driving mechanism (not shown). The microscope Y table 64 is moved in the Y direction by the above-mentioned, and a microscope Z table 66 that is sent in the arrow Z direction in the figure by a guide rail (not shown) provided on the microscope Y table 64 and a drive mechanism. A microscope 5 for observing the upper surface of the workpiece W is attached to the microscope Z table 66.

このように構成された顕微鏡駆動装置５８、６０により、顕微鏡５、５は図のＹ方向とＺ方向とに送られる。なお、顕微鏡Ｙガイド６２、及び顕微鏡Ｚテーブル６６の駆動機構も、リニアモータあるいは、サーボモータとリードスクリュー等の既知の駆動装置が用いられる。顕微鏡５には図示しないＣＣＤカメラが組み込まれており、そのＣＣＤカメラで撮像したワークＷの画像を図１のコントローラ８内に設けられた画像処理装置でパターンパッチング処理をして、ワークＷのアライメントが行われる。これら各部の駆動装置の制御、アライメント動作の制御、加工部６の制御、搬送装置４の制御等は全てコントローラ８によって行われる。 The microscopes 5 and 5 are sent in the Y direction and the Z direction in the figure by the microscope driving devices 58 and 60 configured as described above. The driving mechanism of the microscope Y guide 62 and the microscope Z table 66 is also a known driving device such as a linear motor or a servo motor and a lead screw. The microscope 5 incorporates a CCD camera (not shown). The image of the workpiece W picked up by the CCD camera is subjected to pattern patching by an image processing device provided in the controller 8 of FIG. Is done. The controller 8 controls the drive devices of these units, the alignment operation, the processing unit 6, the transport device 4, etc.

次に、このように構成されたダイシング装置１の作用について説明する。 Next, the operation of the dicing apparatus 1 configured as described above will be described.

まず、ワークが収納されたカセットが、外部搬送装置によってダイシング装置１のロードポート２に受け渡される。このカセットには、ダイシングテープを介してフレームに貼着されたワークＷが複数枚収納されている。次に、ワークＷはダイシング装置１の搬送装置４によって１枚ずつカセットから引き出され、ワークテーブル１２に吸着される。その後、ワークテーブル１２が顕微鏡Ｙガイド６２の下方に移動するとともに、顕微鏡５、５が顕微鏡Ｙテーブル６４によってワークの真上に搬送される。ここで顕微鏡Ｚテーブル６６によって顕微鏡５、５の焦点が合わされる。次いで、ワークＷの上面に形成されているパターン部分が顕微鏡５、５に組み込まれたＣＣＤカメラで撮像され、既知のパターンマッチング手法を用いてアライメントされる。なお、このワークアライメントされている時に、次のワークＷがワークテーブル１４に載置される。 First, the cassette in which the workpiece is stored is delivered to the load port 2 of the dicing apparatus 1 by the external transfer device. In this cassette, a plurality of workpieces W attached to the frame via dicing tape are stored. Next, the workpieces W are pulled out from the cassette one by one by the conveying device 4 of the dicing device 1 and are attracted to the workpiece table 12. Thereafter, the work table 12 moves below the microscope Y guide 62, and the microscopes 5 and 5 are conveyed by the microscope Y table 64 directly above the work. Here, the microscopes 5 and 5 are focused by the microscope Z table 66. Next, the pattern portion formed on the upper surface of the workpiece W is imaged by a CCD camera incorporated in the microscopes 5 and 5 and aligned using a known pattern matching technique. When the workpiece is aligned, the next workpiece W is placed on the workpiece table 14.

アライメントされたワークＷは、ワークテーブル１２によって加工部６に搬送される。ここでは、２枚の回転ブレード９、９が夫々必要な切り込み送りがされ、ワークテーブル１２のＸ方向研削送りによって２本の加工領域（ストリート）が同時に加工される。次に、回転ブレード９、９がＹ方向に必要ピッチ分インデックス送りされて次のストリートに位置付けられ、ワークテーブル１２のＸ方向研削送りによってこの２本のラインも加工される。この動作が繰り返されてワークＷの１方向の全てのストリートが加工される。１方向の全ラインが加工されると、θテーブル３２の回転によりワークは９０度回転され、先程のストリートと直行するストリートが加工される。最初のワークＷが加工部６で加工されている間に、次のワークＷが顕微鏡Ｙガイド６２の下に移動され、顕微鏡５、５が顕微鏡Ｙテーブル６４によってこのワークＷの真上に搬送される。ここでも同様にして、顕微鏡Ｚテーブル６６によって顕微鏡５、５の焦点が合わされ、次のワークＷの上面に形成されているパターン部分が顕微鏡５、５に組み込まれているＣＣＤカメラで撮像されてアライメントが行われる。最初のワークＷの加工が終了すると、アライメントの終了した次のワークＷが加工部６に搬入され、同様に加工される。 The aligned workpiece W is conveyed to the processing unit 6 by the work table 12. Here, the two rotary blades 9 and 9 are each fed with the necessary cuts, and the two work areas (streets) are simultaneously machined by the X-direction grinding feed of the work table 12. Next, the rotary blades 9 and 9 are indexed by the necessary pitch in the Y direction and positioned on the next street, and these two lines are also processed by the X direction grinding feed of the work table 12. This operation is repeated to process all streets in one direction of the workpiece W. When all the lines in one direction are processed, the work is rotated 90 degrees by the rotation of the θ table 32, and the street that is perpendicular to the previous street is processed. While the first workpiece W is being processed by the processing unit 6, the next workpiece W is moved under the microscope Y guide 62, and the microscopes 5 and 5 are conveyed by the microscope Y table 64 directly above the workpiece W. The Similarly, the microscopes 5 and 5 are focused by the microscope Z table 66, and the pattern portion formed on the upper surface of the next workpiece W is imaged by the CCD camera incorporated in the microscopes 5 and 5 and aligned. Is done. When the processing of the first workpiece W is completed, the next workpiece W after the alignment is carried into the processing unit 6 and processed in the same manner.

全加工終了した最初のワークＷは、必要により顕微鏡５、５の下で加工溝の形状やチッピング状況が計測されて評価される。加工溝の評価が終了すると、ワークＷは搬送装置４によってスピンナ７に搬送され、ここでスピン洗浄とスピン乾燥とが行われる。洗浄及び乾燥が終了したワークＷは、再び搬送装置４によって元のカセットに収納される。次のワークＷも同様にして、加工、洗浄、及び乾燥されて、元のカセットに収納される。以上のような動作が次々と繰り返されて、カセット内の全部のワークＷが加工される。以上が本発明に係るダイシング装置によってワークＷを加工するときの流れである。 The first workpiece W that has been completely processed is evaluated by measuring the shape of the processing groove and the chipping state under the microscopes 5 and 5 as necessary. When the evaluation of the machining groove is completed, the workpiece W is transferred to the spinner 7 by the transfer device 4, where spin cleaning and spin drying are performed. The workpiece W that has been cleaned and dried is again stored in the original cassette by the transport device 4. Similarly, the next workpiece W is processed, washed, and dried, and stored in the original cassette. The above operations are repeated one after another to process all the workpieces W in the cassette. The above is the flow when the workpiece W is processed by the dicing apparatus according to the present invention.

ところで、実施の形態に係るダイシング装置１は、Ｘテーブル１６、１８の下方に、研削水や洗浄水の廃水を受ける十分な容積を有するオイルパン２０が配置されている。そして、このオイルパン２０の側面には、Ｘテーブル１６、１８をＸ方向に移動自在に案内するそれぞれ一対のガイドレール２２、３６とＸテーブル１６、１８をＸ方向に移動させるボールねじ２４、３８とが配置される。さらに、一対の蛇腹３４、４６がオイルパン２０の両側面に配置される。一対の蛇腹３４、４６は、それぞれ、その一端部がオイルパン２０側に固定され、その他端部がＸテーブル１６、１８側に固定され、Ｘテーブル１６、１８の移動に伴い伸縮動作されてガイドレール２２、３６とボールねじ２４、３８とを覆う。 Incidentally, in the dicing apparatus 1 according to the embodiment, an oil pan 20 having a sufficient volume for receiving waste water of grinding water and cleaning water is disposed below the X tables 16 and 18. A pair of guide rails 22 and 36 for guiding the X tables 16 and 18 to be movable in the X direction and ball screws 24 and 38 for moving the X tables 16 and 18 in the X direction are provided on the side surface of the oil pan 20, respectively. And are arranged. Further, a pair of bellows 34 and 46 are arranged on both side surfaces of the oil pan 20. Each of the pair of bellows 34 and 46 has one end fixed to the oil pan 20 side and the other end fixed to the X tables 16 and 18, and is expanded and contracted as the X tables 16 and 18 move. The rails 22 and 36 and the ball screws 24 and 38 are covered.

すなわち、実施の形態に係るダイシング装置１によれば、Ｘテーブル１６、１８の真下にオイルパン２０を配置することにより、オイルパン２０の容積を十分に確保し、排水性を向上させている。 That is, according to the dicing apparatus 1 according to the embodiment, the oil pan 20 is disposed directly below the X tables 16 and 18, thereby ensuring a sufficient volume of the oil pan 20 and improving drainage.

また、Ｘテーブル１６、１８をＸ方向に移動自在に案内するガイドレール２２、３６と、ボールねじ２４、３８とをオイルパン２０の側面に沿って配置することにより、ガイドレール２２、３６とボールねじ２４、３８とによってＸテーブル１６、１８を片持ち支持し、かつ、ガイドレール２２、３６とボールねじ２４、３８とを覆うそれぞれ一対の蛇腹３４、４６も同様にオイルパン２０の側面に沿って鉛直方向に配置した。蛇腹３４、４６に付着した端材は自重により蛇腹３４、４６に沿って流下し、十分な容積を有するオイルパン２０に落下して排出される。これにより、蛇腹３４、４６には、端材が堆積しないので、端材の堆積に起因する蛇腹３４、４６の破損を防止することができる。 Further, by arranging guide rails 22 and 36 for guiding the X tables 16 and 18 movably in the X direction and ball screws 24 and 38 along the side surface of the oil pan 20, the guide rails 22 and 36 and the balls A pair of bellows 34 and 46 that cantilever-support the X tables 16 and 18 with the screws 24 and 38 and cover the guide rails 22 and 36 and the ball screws 24 and 38 are also along the side surface of the oil pan 20. Arranged vertically. The scraps adhering to the bellows 34 and 46 flow down along the bellows 34 and 46 by their own weight, and are dropped and discharged to the oil pan 20 having a sufficient volume. Thereby, since the end material does not accumulate on the bellows 34, 46, it is possible to prevent the bellows 34, 46 from being damaged due to the accumulation of the end material.

また、蛇腹３４、４６を鉛直方向（縦型）に配置し、蛇腹３４、４６の上下縁部を、オイルパン２０に対して上下方向に接触させて摺動させる構造とすることにより、その摺動部にミストの堆積による水溜まりはできるものの、ミストが蛇腹３４、４６の内側に浸入することを防止できるので、ミスト浸入に起因するガイドレール２２、３６とボールねじ２４、３８の不具合を防止することができる。 Further, the bellows 34 and 46 are arranged in the vertical direction (vertical type), and the upper and lower edges of the bellows 34 and 46 are configured to slide in contact with the oil pan 20 in the vertical direction. Although a water pool can be formed by the accumulation of mist in the moving part, it is possible to prevent the mist from entering the inside of the bellows 34, 46, thereby preventing the trouble of the guide rails 22, 36 and the ball screws 24, 38 due to the mist intrusion be able to.

なお、本実施の形態ではワークテーブル１２、１４を２台設けたが、これに限らず、１台であってもよい。この場合には、オイルパン２０の一方側の側面にガイド機構、駆動機構、蛇腹部材を設ければよい。 In the present embodiment, two work tables 12 and 14 are provided. However, the present invention is not limited to this, and there may be one. In this case, a guide mechanism, a drive mechanism, and a bellows member may be provided on one side surface of the oil pan 20.

本発明の実施形態について説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更が可能であることはいうまでもない。 Although the embodiments of the present invention have been described, it goes without saying that various modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention.

Claims

ワークを載置したワークテーブルをＸ方向に研削送りするＸテーブルと、前記ワークテーブルをθ方向に回転させるθ回転軸と、先端に回転刃が取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされるスピンドルとを備え、前記回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、
前記Ｘテーブルの下方には、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンが配置され、
前記オイルパンの側面には該側面に沿って、前記ＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内するガイド機構と前記ＸテーブルをＸ方向に移動させる駆動機構とが配置され、
前記θ回転軸は、前記ワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記Ｘテーブルに固定され、
前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記Ｘテーブル側にその他端部が固定され、Ｘテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記ガイド機構及び駆動機構を覆う一対の蛇腹部材が前記オイルパンの側面に配置されている、ダイシング装置。An X table for grinding and feeding the work table on which the work is placed in the X direction, a θ rotating shaft for rotating the work table in the θ direction, a rotary blade attached to the tip, and index feeding in the Y direction orthogonal to the X direction. A dicing apparatus that performs a grooving or cutting of a workpiece with the rotary blade,
Below the X table, an oil pan for receiving waste water of grinding water and washing water is disposed,
A guide mechanism for guiding the X table to be movable in the X direction and a drive mechanism for moving the X table in the X direction are disposed along the side surface of the oil pan.
The θ rotation axis is fixed to the X table so that the work table rotates in the θ direction on a horizontal plane,
A pair of bellows members having one end fixed to the oil pan side and the other end fixed to the X table side and extending and contracting as the X table moves to cover the guide mechanism and the drive mechanism are the oil A dicing machine arranged on the side of the bread.

ワークを載置した第１のワークテーブルをＸ方向に研削送りする第１のＸテーブルと、ワークを載置した第２のワークテーブルをＸ方向に研削送りする第２のＸテーブルと、前記第１のワークテーブルをθ方向に回転させる第１のθ回転軸と、前記第２のワークテーブルをθ方向に回転させる第２のθ回転軸と、先端に回転刃が各々取付けられ、Ｘ方向に直交するＹ方向のインデックス送りがなされる第１のスピンドル、及び第２のスピンドルとを有し、前記各々回転刃でワークの溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、
前記第１のＸテーブル、及び第２のＸテーブルの下方には、研削水や洗浄水の廃水を受けるオイルパンが配置され、
前記オイルパンの一方の側面には該一方の側面に沿って、前記第１のＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内する第１のガイド機構と前記第１のＸテーブルをＸ方向に移動させる第１の駆動機構とが配置され、
前記第１のθ回転軸は、前記第１のワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記第１のＸテーブルに固定され、
前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記第１のＸテーブル側にその他端部が固定され、第１のＸテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記第１のガイド機構及び第１の駆動機構を覆う第１の一対の蛇腹部材が前記オイルパンの一方の側面に配置され、
前記オイルパンの他方の側面には該他方の側面に沿って、前記第２のＸテーブルをＸ方向に移動自在に案内する第２のガイド機構と前記第２のＸテーブルをＸ方向に移動させる第２の駆動機構とが配置され、
前記第２のθ回転軸は、前記第２のワークテーブルが水平面上でθ方向に回転するように前記第２のＸテーブルに固定され、
前記オイルパン側にその一端部が固定されるとともに前記第２のＸテーブル側にその他端部が固定され、第２のＸテーブルの移動に伴い伸縮動作されて前記第２のガイド機構及び第２の駆動機構を覆う第２の一対の蛇腹部材が前記オイルパンの他方の側面に配置されている、ダイシング装置。A first X table for grinding and feeding the first work table on which the workpiece is placed in the X direction; a second X table for grinding and feeding the second work table on which the workpiece is placed in the X direction; A first θ rotating shaft that rotates one work table in the θ direction, a second θ rotating shaft that rotates the second work table in the θ direction, and a rotary blade are attached to the tips, respectively. A dicing apparatus that has a first spindle and a second spindle that perform index feed in the orthogonal Y direction, and each performs groove processing and cutting processing of a workpiece with the rotary blades,
Below the first X table and the second X table, an oil pan that receives waste water of grinding water and cleaning water is disposed,
A first guide mechanism for guiding the first X table to be movable in the X direction and the first X table are moved in the X direction along one side surface of the oil pan. A first drive mechanism is disposed,
The first θ rotation axis is fixed to the first X table so that the first work table rotates in the θ direction on a horizontal plane,
One end portion is fixed to the oil pan side and the other end portion is fixed to the first X table side, and is expanded and contracted as the first X table moves to move the first guide mechanism and the first A first pair of bellows members covering the drive mechanism is disposed on one side surface of the oil pan,
On the other side of the oil pan, a second guide mechanism for guiding the second X table to be movable in the X direction and the second X table are moved in the X direction along the other side. A second drive mechanism is disposed,
The second θ rotation axis is fixed to the second X table so that the second work table rotates in the θ direction on a horizontal plane,
One end portion is fixed to the oil pan side and the other end portion is fixed to the second X table side, and is expanded and contracted as the second X table moves, so that the second guide mechanism and the second A dicing apparatus, wherein a second pair of bellows members covering the drive mechanism is disposed on the other side surface of the oil pan.