JP5495832B2

JP5495832B2 - Dicing apparatus, dicing apparatus unit and dicing method

Info

Publication number: JP5495832B2
Application number: JP2010027799A
Authority: JP
Inventors: 裕介新井; 隆藤田; 正幸東
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2009-04-24
Filing date: 2010-02-10
Publication date: 2014-05-21
Anticipated expiration: 2030-02-10
Also published as: JP2010272842A; TWI449095B; TW201044450A

Description

本発明はダイシング装置、ダイシング装置ユニット及びダイシング方法に関し、特に
、半導体ウェハ等のワークをチップに切断分割するコンパクト構造のダイシング装置、ダイシング装置ユニット及びダイシング方法に関する。 The present invention relates to a dicing apparatus, a dicing apparatus unit, and a dicing method, and more particularly, to a dicing apparatus, a dicing apparatus unit, and a dicing method having a compact structure for cutting and dividing a workpiece such as a semiconductor wafer into chips.

従来、半導体ウェハや電子部品材料等のワークを個々のチップに切断分割するためにダイシング装置が使用される。ダイシング装置は、ワークが載置されるワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、該ワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備えている。 Conventionally, a dicing apparatus is used to cut and divide a workpiece such as a semiconductor wafer or electronic component material into individual chips. The dicing apparatus includes a work table on which a work is placed, a blade for cutting the work, a work table feeding mechanism for moving the work relative to the blade, and a spindle on which the blade is rotatably attached. And a spindle moving mechanism that movably supports the spindle.

従来のダイシング装置としては、特開２００２−２８０３２８（特許文献１）及び特開平１１−７７４６１（特許文献２）記載の技術が知られている。特許文献１の技術は、図１１に示すように、フロアスペースを増加させることなく安全な機械配置を確保するために、匡体（ダイシング装置Ｄの本体部）１の右側後部にロードポート２が設けられているとともに、該匡体１の右側前部にワーク洗浄部３が設けられている。 As conventional dicing apparatuses, techniques described in JP-A No. 2002-280328 (Patent Document 1) and JP-A No. 11-77461 (Patent Document 2) are known. As shown in FIG. 11, the technique of Patent Document 1 is provided with a load port 2 at the right rear portion of a housing (main body portion of the dicing apparatus D) 1 in order to ensure a safe machine arrangement without increasing floor space. In addition to being provided, a workpiece cleaning unit 3 is provided at the front right side of the housing 1.

又、匡体１の左側中央部にワーク（ウェハ）切断加工部４が配設され、且つ、匡体１の右側中央部にワークテーブル５が設置され、これにより、ロードポート２及びワーク洗浄部３にアクセスできるように構成されている。又、匡体１の前後方向中央部にワークテーブル送り機構６が配置されているため、ワークＷはオペレータＭから遠く離れた匡体１の前後方向中央部を左右方向に走行する。尚、図中の７はワークＷを切断するブレード、８はブレード７を回転自在に取り付けたスピンドルユニット、９はスピンドルユニット８を支持するガイドレール（ガイドレール機構）である。 In addition, a workpiece (wafer) cutting section 4 is disposed at the left central portion of the housing 1, and a work table 5 is installed at the right central portion of the housing 1, whereby the load port 2 and the workpiece cleaning section are arranged. 3 can be accessed. In addition, since the work table feeding mechanism 6 is disposed at the center in the front-rear direction of the housing 1, the work W travels in the left-right direction at the center in the front-rear direction of the housing 1 far from the operator M. In the figure, 7 is a blade for cutting the workpiece W, 8 is a spindle unit to which the blade 7 is rotatably attached, and 9 is a guide rail (guide rail mechanism) for supporting the spindle unit 8.

又、特許文献２の技術では、ガイドレール機構は、方形匡体の左側に設置され、且つ、ワークテーブルは方形匡体を左右方向へ横切るように配設されている。そして、スピンドルユニットとガイドレールは、方形匡体の左側にて交差し、この交差部分でワークの切断加工が行われている。 In the technique of Patent Document 2, the guide rail mechanism is installed on the left side of the rectangular housing, and the work table is disposed so as to cross the rectangular housing in the left-right direction. The spindle unit and the guide rail intersect at the left side of the rectangular housing, and the workpiece is cut at this intersecting portion.

通常、ワークを切断加工する際は、所要のワーク位置決め精度が要求されるほか、切断加工時に生ずる振動を抑えるため、特にワーク切断加工部を支持する部分は十分な剛性を有するように構成している。 Normally, when cutting a workpiece, the required workpiece positioning accuracy is required, and in order to suppress vibrations that occur during the cutting process, the part that supports the workpiece cutting part is designed to have sufficient rigidity. Yes.

特開２００２−２８０３２８JP2002-280328 特開平１１−７７４６１JP-A-11-77461

上記特許文献１及び２記載の技術は、次のような問題点を有していた。即ち、特許文献１記載の技術では、ワークが匡体上を左右方向に走行し、ブレードがオペレータから遠く離れた匡体の前後方向中央部に存在するため、ブレードを交換する際に、ブレードの交換作業が行い難いという問題があった。 The techniques described in Patent Documents 1 and 2 have the following problems. That is, in the technique described in Patent Document 1, since the workpiece travels in the left-right direction on the casing and the blade exists in the center in the front-rear direction of the casing far from the operator, when replacing the blade, There was a problem that it was difficult to perform replacement work.

又、ブレードがワークテーブルに対して真直であるか否かを確認するには、オペレータはその都度ダイシング装置の前側面から右側面若しくは左側面まで回って確認しなければならない。そして、仮にブレードの真直度が悪い場合には、ブレードの真直度を確認しつつ調整する必要がある。 Further, in order to confirm whether or not the blade is straight with respect to the work table, the operator must check by turning from the front side surface to the right side surface or the left side surface of the dicing apparatus each time. If the straightness of the blade is poor, it is necessary to make an adjustment while confirming the straightness of the blade.

このとき、オペレータは、ブレードとガイドレールが干渉しない場所、例えば、匡体の右側面に移動して、ブレードの真直度を確認・調整しなければならない。しかし、匡体の右側面から真直度の確認・調整作業を行うと、オペレータからブレードまでの距離が遠く離れているので、真直度の確認・調整作業が困難になる。 At this time, the operator must check and adjust the straightness of the blade by moving to a place where the blade and the guide rail do not interfere, for example, the right side of the housing. However, when the straightness confirmation / adjustment work is performed from the right side surface of the housing, the distance from the operator to the blade is far away, and thus the straightness confirmation / adjustment work becomes difficult.

更に、ブレードを取り付ける際、ブレードの基準面となるスピンドル端面に対して、平面度を調整するための端面研磨が実施されるが、この場合、スピンドル端面は、ワークに対するブレードの真直度に大きく影響するため、前記端面研磨を非常に精密に行う必要がある。この端面研磨については、砥石を用いてスピンドル端面を精密に研磨加工して真直度を出す。具体的には、砥石をスピンドル端面に押し当てスピンドルをゆっくりと回しながら、スピンドル端面の突起物を研磨除去しつつ、念入りにスピンドル端面の真直度を高めていく。 Furthermore, when the blade is mounted, end surface polishing for adjusting the flatness is performed on the spindle end surface which is the reference surface of the blade. In this case, the spindle end surface greatly affects the straightness of the blade with respect to the workpiece. Therefore, it is necessary to perform the end face polishing very precisely. For this end surface polishing, the spindle end surface is precisely polished using a grindstone to obtain straightness. Specifically, the straightness of the spindle end face is carefully increased while pressing the grindstone against the spindle end face and slowly rotating the spindle to polish and remove protrusions on the spindle end face.

前記端面研磨を行う際に、例えば、図１１に示す対向型のツインスピンドルを有するダイシング装置では、一方のスピンドル端面はダイシング装置の前面側から見えるが、もう一方のスピンドル端面はダイシング装置の背面側を向いているため、ダイシング装置の前面からは一方のスピンドル端面しか研磨することができない。又、ダイシング装置の前面側から前記スピンドル端面までのアクセス距離が長いため、スピンドル端面の研磨作業が非常に難しく、高度の熟練を要する。 When performing the end surface polishing, for example, in a dicing apparatus having an opposed twin spindle shown in FIG. 11, one spindle end surface is visible from the front side of the dicing apparatus, while the other spindle end surface is the back side of the dicing apparatus. Therefore, only one end face of the spindle can be polished from the front surface of the dicing apparatus. Further, since the access distance from the front side of the dicing device to the spindle end surface is long, the polishing operation of the spindle end surface is very difficult and requires high skill.

更に、もう一つのスピンドル端面を研磨する際は、ダイシング装置の背面側にオペレータが回って研磨作業を行っているが、高精度の端面研磨を行う上で高度な技術が強いられている。即ち、ブレード交換やブレード交換後の精度確認においても、ダイシング装置の前面からだけでなく、ダイシング装置の背面側若しくは側面側などに回って精度確認を行う必要がある。 Furthermore, when polishing the other spindle end surface, the operator turns to the back side of the dicing machine to perform the polishing operation. However, advanced techniques are required to perform highly accurate end surface polishing. In other words, in the accuracy check after blade replacement or blade replacement, it is necessary to check the accuracy not only from the front surface of the dicing device but also to the back side or side surface of the dicing device.

一方、特許文献２のダイシング装置では、特に、ワーク切断加工時に生ずる振動を抑えるために、ワーク切断加工部を支持する部分は十分な剛性を持たせているが、剛性が高い分だけダイシング装置の重量も大きくなる。そして、前記重量の大きい部分はダイシング装置の中心に対して片側に偏倚しているため、全体として重心位置もダイシング装置の中心から変位してアンバランスになる。その結果、ダイシング装置が全体のバランスを崩して振動し易くなり、ダイシング装置に予め設定した切断精度が維持されなくなる。 On the other hand, in the dicing apparatus of Patent Document 2, in order to suppress vibrations that occur during workpiece cutting, the portion that supports the workpiece cutting portion has sufficient rigidity. The weight also increases. And since the said heavy part is biased to the one side with respect to the center of a dicing apparatus, the gravity center position also moves from the center of a dicing apparatus as a whole, and becomes unbalanced. As a result, the dicing device loses the overall balance and easily vibrates, and the cutting accuracy preset in the dicing device cannot be maintained.

また、ワークテ−ブル送り機構及びガイドレール機構は十分な剛性を備えた台座上に取り付ける必要がある。例えば、分厚い板の上にワークテーブル送り機構などを据え付けた場合は、ダイシング装置全体が非常に重くなる。そのため、匡体の４隅に設けた支柱の間に梁を架け渡し、この梁の上にガイドレールやワークテーブル送り機構を設けている。 Further, the work table feeding mechanism and the guide rail mechanism need to be mounted on a pedestal having sufficient rigidity. For example, when a work table feed mechanism or the like is installed on a thick plate, the entire dicing apparatus becomes very heavy. Therefore, a beam is bridged between columns provided at the four corners of the housing, and a guide rail and a work table feeding mechanism are provided on the beam.

この場合、梁自体の剛性についても、ガイドレールやワークテーブル送り機構の振動を制止できる程度の剛性が要求されるため、前記支柱の間に架け渡す梁の板厚も十分大きく設定する必要があり、それに応じてダイシング装置全体の重量が更に増加し、従って、ダイシング装置の製作コストが高騰するとともに、大掛かりな過大設備が強いられることになる。 In this case, the rigidity of the beam itself is also required to be sufficient to suppress vibrations of the guide rail and work table feed mechanism, so the thickness of the beam spanned between the columns must be set sufficiently large. Accordingly, the weight of the entire dicing apparatus is further increased. Therefore, the manufacturing cost of the dicing apparatus is increased, and a large and excessive facility is required.

さらに、ノズル位置の調整も問題となる。ノズルには、ブレードの回転方向に沿って潤
滑作用を付与するための水と、ブレードそのものを切断時の摩擦熱から冷却すべく冷却作用を付与するための水の２種類のノズルがある。潤滑作用のためのノズルは、１つのノズルでブレードの回転に沿って供給するが、ブレードを冷却するためのノズルは、ブレードの左右両方向からブレードの側面に供給する。これらのノズルの向き調整は非常に微妙であり、その向きが正確に設定されない場合には、切削点にて所要の潤滑作用が得られなくなる。そのため、切断加工時の摩擦抵抗により振動を生じたり、或いは、ブレード自体が過熱して切断加工の抵抗が大きくなり、その結果、切断速度が低下したり、或いは、切断精度そのものを悪化させることがある。 Furthermore, adjustment of the nozzle position is also a problem. There are two types of nozzles: water for imparting a lubricating action along the rotational direction of the blade, and water for imparting a cooling action to cool the blade itself from frictional heat during cutting. The nozzle for lubrication is supplied along the rotation of the blade with one nozzle, while the nozzle for cooling the blade is supplied to the side surface of the blade from both the left and right directions of the blade. Adjustment of the direction of these nozzles is very delicate, and if the direction is not set accurately, the required lubricating action cannot be obtained at the cutting point. Therefore, vibration may be generated due to frictional resistance at the time of cutting, or the blade itself may be overheated to increase the resistance of the cutting process. As a result, the cutting speed may be reduced, or the cutting accuracy itself may be deteriorated. is there.

尚、ウェハを所定の数枚切断した後には、ノズル位置が多少変化することもあるため、ノズルの位置や向きを随時精密に調整する必要がある。このノズル調整については、図８に示すように、同一軸線上に２つのブレードが互いに対峙して存在する場合、メンテナンスを行う際の調整方向の数は全部で３つの方向となる。 Since the nozzle position may change somewhat after a predetermined number of wafers are cut, it is necessary to precisely adjust the position and orientation of the nozzle as needed. As for this nozzle adjustment, as shown in FIG. 8, when two blades exist on the same axis and face each other, the total number of adjustment directions when performing maintenance is three.

特許文献１記載のダイシング装置では、ブレード交換に加えて、前記ノズルの位置や向きの調整作業が非常に困難になる。さらに、こうしたノズルの調整や先述した端面研磨などを行う際は、ダイシング装置の前面側のみならず、ダイシング装置の側面側や背面側などに回って調整することが余儀なくされる。 In the dicing apparatus described in Patent Document 1, in addition to blade replacement, it is very difficult to adjust the position and orientation of the nozzle. Furthermore, when performing such adjustment of the nozzle or end face polishing as described above, it is necessary to adjust not only on the front surface side of the dicing apparatus but also on the side surface side or the back surface side of the dicing apparatus.

上記の如くダイシング装置の前面、側面または背面からメンテナンスを行う場合、次のような問題が付随的に生じる。即ち、同一種類のダイシング装置を多数並べる量産方式の設備においては、ダイシング装置同士を隙間なく隣接させて配置することが要望される。また、オペレータが一人で複数のダイシング装置を監視しながら作業を行う場合もしばしばある。 When maintenance is performed from the front, side or back of the dicing apparatus as described above, the following problems are incidental. That is, in a mass production system in which a large number of dicing apparatuses of the same type are arranged, it is desired that the dicing apparatuses be arranged adjacent to each other without a gap. In addition, there are many cases where an operator performs work while monitoring a plurality of dicing apparatuses.

特許文献１に記載のダイシング装置は、ダイシング装置の様々の方向からメンテナンスを行うために、ダイシング装置同士を隙間なく隣接させて配置することは困難である。そのため、隣接する個々のダイシング装置同士を一定の間隔を有するように配置する必要があり、従って、複数台のダイシング装置を配置する場合のフロアスペースの設計においても、１台当たりの専有面積が非常に大きくなるという問題があった。 Since the dicing apparatus described in Patent Document 1 performs maintenance from various directions of the dicing apparatus, it is difficult to arrange the dicing apparatuses adjacent to each other without a gap. Therefore, it is necessary to arrange the adjacent dicing devices so as to have a constant interval. Therefore, in the design of the floor space when arranging a plurality of dicing devices, the exclusive area per unit is very large. There was a problem of becoming larger.

また、ダイシング装置単体におけるスペースの問題もある。特許文献１に記載のダイシング装置は、ダイシング装置の４隅にデッドスペースが生じるためスペースの有効活用が阻害され、結果として、ダイシング装置の機能に対して過大な設備スペースを必要とするという問題があった。 There is also a problem of space in the dicing apparatus alone. The dicing apparatus described in Patent Document 1 has a problem in that dead space is generated at the four corners of the dicing apparatus, so that effective use of the space is hindered, and as a result, an excessive facility space is required for the function of the dicing apparatus. there were.

そこで、ブレードの交換、真直度、同軸度確認及び端面調整並びにノズル調整などを容易に実行でき、且つ、メンテナンスの作業性を向上させ、ダイシング装置の重心を安定化させるとともに設置スペースを縮小させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。 Therefore, in order to easily perform blade replacement, straightness, coaxiality confirmation, end face adjustment, nozzle adjustment, etc., improve maintenance workability, stabilize the center of gravity of the dicing device, and reduce the installation space. Therefore, a technical problem to be solved arises, and the present invention aims to solve this problem.

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを支持するスピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設されたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構は平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の対角線上に配置され、且つ、前記ダイシング装置の略中央部にワーク切断加工部が配設されているとともに、前記ダイシング装置の前部にワーク交換部が設けられ、前記ワーク切断加工部を挟んで前記ワーク交換部と反対側に、ミスト排気部が配置されていることを特徴とするダイシング装置を提供する。 The present invention has been proposed in order to achieve the above object, and the invention according to claim 1 includes a work table on which a work is placed, a blade for cutting the work, and a work on the work table. A work table feeding mechanism that moves relative to the blade, a spindle on which the blade is rotatably mounted, a spindle moving mechanism that supports the spindle, and the work table feeding mechanism are arranged orthogonal to each other. In the dicing apparatus, the spindle moving mechanism and the work table feeding mechanism are disposed on a diagonal line of a rectangular housing of the dicing apparatus formed in a square shape in plan view, and a work cutting portion is provided at a substantially central portion of the dicing apparatus. together are arranged, the workpiece exchanging portion is provided at a front portion of the dicing apparatus, the workpiece cutting pressure On the opposite side of the workpiece exchanging section across the part, to provide a dicing apparatus characterized by mist exhaust portion is disposed.

この構成によれば、スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構は、方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の対角線上に配置され、且つ、前記ダイシング装置の略中央部にワーク切断加工部が配設されているとともに、前記ダイシング装置の前部にワーク交換部が設けられている。 According to this configuration, the spindle moving mechanism and the work table feeding mechanism are arranged on the diagonal line of the rectangular housing of the dicing device formed in a square shape, and the work cutting processing portion is provided at the substantially central portion of the dicing device. A work exchanging section is provided at the front of the dicing apparatus.

すなわち、ワークを切断する際に、ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、スピンドルを支持するガイドレール機構とを有し、ワークテーブル送り機構とガイドレール機構は互いに直交するとともに、これらの機構が方形の方形匡体の対角線上に配置され、且つ、ダイシング装置の略中央部にワーク切断加工部が位置しているので、ワーク切断加工部の剛性が高くて重量が大きい場合でも、重量の大きい部分がダイシング装置の中心部に一致するために、ダイシング装置が全体として重心のバランスが安定化する。その結果、加工時にダイシング装置に振動が伝達し難い構造になり、ダイシング装置に設定した加工精度を常に維持することができる。 That is, it has a work table feed mechanism that moves relative to the blade when cutting the work, and a guide rail mechanism that supports the spindle, and the work table feed mechanism and the guide rail mechanism are orthogonal to each other, Since these mechanisms are arranged on the diagonal line of the square rectangular casing and the work cutting part is located at the approximate center of the dicing machine, even if the work cutting part has high rigidity and is heavy. Since the heavy portion coincides with the center portion of the dicing apparatus, the balance of the center of gravity of the dicing apparatus as a whole is stabilized. As a result, it becomes a structure in which vibration is hardly transmitted to the dicing apparatus during processing, and the processing accuracy set in the dicing apparatus can always be maintained.

要するに、ダイシング装置内の略中央にワーク切断加工部が位置することにより、最も高い剛性と精度が要求される部分がダイシング装置の略中央に位置するので、ダイシング装置の重心位置がダイシング装置の中央位置と略一致してダイシング装置全体のバランスが安定化する。そのため、ワーク切断加工時における振動を極力制止することができる。 In short, since the part where the highest rigidity and accuracy is required is located at the approximate center of the dicing machine by positioning the workpiece cutting part at the approximate center in the dicing machine, the center of gravity position of the dicing machine is the center of the dicing machine. The balance of the entire dicing apparatus is stabilized by substantially matching the position. Therefore, the vibration at the time of workpiece cutting can be suppressed as much as possible.

また、ダイシング装置の前部にワーク交換部が位置しているので、ブレードを交換する際は、ダイシング装置の前面側から対峙している何れのブレードに対しても簡便に交換することができる。さらにブレード交換後のブレードの取り付け状態などの確認及び調整、例えば、ブレードの同軸度調整並びにブレードのワークに対する真直度の確認・調整に関してダイシング装置の前面側から簡便に作業を行うことができる。この場合、ブレードのワークに対する真直度は、ワークの切断方向の正面側から視認できる。 Moreover, since the workpiece | work replacement | exchange part is located in the front part of a dicing apparatus, when replacing | exchanging a braid | blade, it can replace | exchange easily with respect to any blade which is facing from the front side of a dicing apparatus. Further, it is possible to easily perform work from the front side of the dicing apparatus with respect to confirmation and adjustment of the attachment state of the blade after the blade replacement, for example, adjustment of the coaxiality of the blade and confirmation / adjustment of the straightness of the blade with respect to the workpiece. In this case, the straightness of the blade with respect to the workpiece can be visually recognized from the front side in the cutting direction of the workpiece.

また、ブレードのスピンドルに対する取り付け同軸度は、ワークの切断方向に対して直角に視認することができる。さらに言えば、ブレードの同軸度調整並びにブレードのワークに対する真直度の確認・調整は双方共に、ダイシング装置の前面側から斜め４５度の方向にて視ることができ、このため、ブレードの同軸度及び真直度の確認・調整作業をダイシング装置の前面側だけで実行できるので、オペレータは従来例のようにダイシング装置の側面若しくは背面側に回る必要がない。 Further, the coaxiality of attachment of the blade to the spindle can be visually recognized at right angles to the cutting direction of the workpiece. Furthermore, both the adjustment of the concentricity of the blade and the confirmation / adjustment of the straightness of the blade with respect to the workpiece can be viewed in the direction of 45 degrees obliquely from the front side of the dicing machine. In addition, since the straightness confirmation / adjustment operation can be performed only on the front side of the dicing apparatus, the operator does not need to turn to the side or back side of the dicing apparatus as in the conventional example.

又、スピンドルの定期的な端面調整についても、前記同様に、ダイシング装置の前面側だけで実行できるので、ダイシング装置の側面若しくは背面側に回ることなく簡便に作業を行える。 Further, the periodic end face adjustment of the spindle can also be performed only on the front side of the dicing apparatus, as described above, so that the work can be easily performed without turning to the side or back side of the dicing apparatus.

さらに、潤滑用の水を供給するためのノズルの位置調整、並びに冷却用の水を供給するためのノズルの位置調整についても、前記同等に、ダイシング装置の前面側だけで実行できるので、ダイシング装置の側面若しくは背面側に回ることなく簡便に作業を行える。 Further, since the position adjustment of the nozzle for supplying the water for lubrication and the position adjustment of the nozzle for supplying the water for cooling can also be performed only on the front side of the dicing apparatus, the dicing apparatus The work can be done easily without turning to the side or back side.

請求項１記載の発明は、ワーク切断加工部の剛性が高くて重量が大きい場合でも、重量の大きい部分がダイシング装置の中心部に一致するために、ダイシング装置が全体として重心のバランスが安定化する。その結果、加工時にダイシング装置に振動が伝達し難い構造になり、ダイシング装置に設定した加工精度を常に維持することができる。 According to the first aspect of the present invention, even when the workpiece cutting portion has a high rigidity and a large weight, since the heavy portion coincides with the central portion of the dicing device, the balance of the center of gravity of the dicing device is stabilized as a whole. To do. As a result, it becomes a structure in which vibration is hardly transmitted to the dicing apparatus during processing, and the processing accuracy set in the dicing apparatus can always be maintained.

また、ブレードの交換、ブレードの同軸度若しくは真直度の確認・調整、スピンドルの端面調整並びにノズルの位置調整を行う際、オペレータはダイシング装置の背面側に移動することなくダイシング装置の前面側にて簡便に作業を実施できるので、これらの作業効率を従来例に比して向上させることができる。 Also, when replacing the blade, checking / adjusting the concentricity or straightness of the blade, adjusting the end face of the spindle, and adjusting the nozzle position, the operator must move the front side of the dicing machine without moving to the back side of the dicing machine. Since the work can be carried out easily, these work efficiencies can be improved as compared with the conventional example.

請求項２記載の発明は、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けた２つのスピンドルと、該スピンドルを支持するスピンドル移動機構とを備え、前記２つのスピンドルは同一軸線上にて互いに対向して配設され、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設されたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構は平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の対角線上に配置され、且つ、前記ダイシング装置の略中央部にワーク切断加工部が配設されているとともに、前記ダイシング装置の前部にワーク交換部が設けられ、前記ワーク切断加工部を挟んで前記ワーク交換部と反対側に、ミスト排気部が配置されていることを特徴とするダイシング装置を提供する。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a work table on which a work is placed, a blade for cutting the work, a work table feed mechanism for moving the work on the work table relative to the blade, and the blade Two spindles rotatably attached to each other, and a spindle moving mechanism that supports the spindles, the two spindles being arranged opposite to each other on the same axis, and the spindle moving mechanism and the worktable feed In the dicing apparatus in which the mechanisms are arranged orthogonally to each other, the spindle moving mechanism and the work table feed mechanism are arranged on a diagonal line of a rectangular housing of the dicing apparatus formed in a plan view square, and the dicing A workpiece cutting portion is disposed at a substantially central portion of the apparatus, and in front of the dicing apparatus. The workpiece exchanging portion is provided, wherein on the opposite side of the workpiece exchanging portion across the workpiece cutting unit, to provide a dicing apparatus characterized by mist exhaust portion is disposed.

この構成によれば、ワークを切断する際に、ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、スピンドルを支持するガイドレール機構とを有し、ワークテーブル送り機構とガイドレール機構は互いに直交するとともに、これらの機構が方形の方形匡体の対角線上に配置され、且つ、ダイシング装置の略中央部にワーク切断加工部が位置している。依って、ワーク切断加工部の剛性が高くて重量が大きい場合でも、重量の大きい部分がダイシング装置の中心部に一致するために、ダイシング装置が全体として重心のバランスが安定化する。 According to this configuration, when the workpiece is cut, the workpiece table feeding mechanism that moves relative to the blade and the guide rail mechanism that supports the spindle are provided, and the workpiece table feeding mechanism and the guide rail mechanism are mutually connected. In addition to being orthogonal to each other, these mechanisms are arranged on a diagonal line of a rectangular rectangular casing, and a workpiece cutting portion is located at a substantially central portion of the dicing apparatus. Therefore, even when the workpiece cutting portion has a high rigidity and a large weight, since the portion having a large weight coincides with the center portion of the dicing apparatus, the balance of the center of gravity of the dicing apparatus as a whole is stabilized.

また、ダイシング装置の前部にワーク交換部が位置しているので、ブレードを交換する際は、ダイシング装置の前面側から対峙している何れのブレードに対しても簡便に交換することができる。さらにブレード交換後のブレードの取り付け状態などの確認及び調整、例えば、ブレードの同軸度調整並びにブレードのワークに対する真直度の確認・調整に関してダイシング装置の前面側から簡便に作業を行うことができる。この場合、ブレードのワークに対する真直度は、ワークの切断方向の正面側から視認できる。また、ブレードのスピンドルに対する取り付け同軸度は、ワークの切断方向に対して直角に視認することができる。 Moreover, since the workpiece | work replacement | exchange part is located in the front part of a dicing apparatus, when replacing | exchanging a braid | blade, it can replace | exchange easily with respect to any blade which is facing from the front side of a dicing apparatus. Further, it is possible to easily perform work from the front side of the dicing apparatus with respect to confirmation and adjustment of the attachment state of the blade after the blade replacement, for example, adjustment of the coaxiality of the blade and confirmation / adjustment of the straightness of the blade with respect to the workpiece. In this case, the straightness of the blade with respect to the workpiece can be visually recognized from the front side in the cutting direction of the workpiece. Further, the coaxiality of attachment of the blade to the spindle can be visually recognized at right angles to the cutting direction of the workpiece.

さらに、ブレードの同軸度調整並びにブレードのワークに対する真直度の確認・調整は双方共に、ダイシング装置の前面側から斜め４５度の方向にて視ることができ、このため、ブレードの同軸度及び真直度の確認・調整作業をダイシング装置の前面側だけで実行できるので、オペレータは従来例のようにダイシング装置の側面若しくは背面側に回る必要がない。又、スピンドルの定期的な端面調整についても、前記同様に、ダイシング装置の前面側だけで実行できるので、ダイシング装置の側面若しくは背面側に回ることなく簡便に作業を行える。 Furthermore, both the adjustment of the coaxiality of the blade and the confirmation / adjustment of the straightness with respect to the workpiece of the blade can be viewed in the direction of 45 degrees obliquely from the front side of the dicing machine. Since the confirmation / adjustment operation of the degree can be performed only on the front side of the dicing apparatus, the operator does not need to turn to the side or back side of the dicing apparatus as in the conventional example. Further, the periodic end face adjustment of the spindle can also be performed only on the front side of the dicing apparatus, as described above, so that the work can be easily performed without turning to the side or back side of the dicing apparatus.

請求項３記載の発明は、上記平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体は、前記対角線上の両隅のうち前記ワーク交換部が配置された前部側の前部一側は斜めに切り欠けられ、且つ、該ダイシング装置の前記前側隅部にワーク交換及びメンテナンスを行うための開口部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のダイシング装置を提供する。 According to a third aspect of the present invention, in the rectangular casing of the dicing apparatus formed in the square shape in plan view, one front part side of the front part side where the work replacement part is disposed is diagonal among both corners on the diagonal line. The dicing apparatus according to claim 1 or 2, wherein an opening for exchanging and maintaining a work is provided at the front corner of the dicing apparatus.

この構成によれば、方形に形成されたダイシング装置の方形匡体は、その前部一側は斜めに切り欠けられ、且つ、該方形匡体の前部一側にワーク交換及びメンテナンスを行うための開口部が設けられている。依って、オペレータはこの開口部からブレード、ノズル及びスピンドルまでのアクセス距離が短くなる。 According to this configuration, the rectangular housing of the dicing apparatus formed into a square is cut off at an angle on the front side, and the workpiece is exchanged and maintained on the front side of the rectangular housing. Are provided. Therefore, the operator has a short access distance from the opening to the blade, nozzle and spindle.

請求項４記載の発明は、請求項３記載のダイシング装置を２台一組として互いに突き合わせた状態で偶数組設置して成るダイシング装置ユニットであって、各組のダイシング装置の方形匡体の前部一側に設けた切欠個所同士が互いに隣接するように配置されていることを特徴するダイシング装置ユニットを提供する。 The invention described in claim 4 is a dicing apparatus unit in which an even number of dicing apparatuses according to claim 3 are installed in a state of abutting each other as a set, and in front of the rectangular housing of each set of dicing apparatuses. Provided is a dicing apparatus unit characterized in that notch portions provided on one side are arranged so as to be adjacent to each other.

この構成によれば、各組のダイシング装置の方形匡体の前部一側に設けた切欠個所同士が互いに隣接するように配置されているので、複数組のダイシング装置を並べてレイアウトされていても、オペレータは、隣接する切欠個所の開口部からブレード、ノズル及びスピンドルまでのアクセス距離が短くなる。 According to this configuration, since the cutout portions provided on one side of the front of the rectangular housing of each set of dicing devices are arranged adjacent to each other, a plurality of sets of dicing devices may be laid out side by side. The operator has a shorter access distance from the opening of the adjacent notch to the blade, nozzle and spindle.

請求項５記載の発明は、請求項１乃至４記載のダイシング装置又はダイシング装置ユニットを用いたダイシング方法であって、ワークを上記方形の方形匡体の一方の対角線方向に沿って搬送して、方形匡体の略中央部に設けたワーク切断加工部にて停止させた後、上記スピンドルに取り付けた上記ブレードをワーク切断位置まで移動させ、該ブレードの回転によりワークを切断することを特徴とするダイシング方法を提供する。 A fifth aspect of the present invention is a dicing method using the dicing apparatus or the dicing apparatus unit according to the first to fourth aspects, wherein the workpiece is conveyed along one diagonal direction of the rectangular rectangular casing, After stopping at a workpiece cutting processing portion provided at a substantially central portion of the rectangular housing, the blade attached to the spindle is moved to a workpiece cutting position, and the workpiece is cut by rotation of the blade. A dicing method is provided.

この方法によれば、ワークを方形の方形匡体の一方の対角線方向に沿って搬送して、方形匡体の略中央部に設けたワーク切断加工部にて停止させた後、上記スピンドルに取り付けたブレードをワーク切断位置まで移動させ、該ブレードの回転によりワークを切断する。この場合、最も剛性の高いワーク切断加工部分がダイシング装置の略中央に位置するので、ダイシング装置全体の重心位置が該ダイシング装置の中央位置と略一致してダイシング装置のバランスが安定化し、振動が生じ難い状態でワークに対して切断加工が実施される。 According to this method, the workpiece is transported along one diagonal direction of the rectangular rectangular housing, stopped at the workpiece cutting processing portion provided at the substantially central portion of the rectangular housing, and then attached to the spindle. The blade is moved to the workpiece cutting position, and the workpiece is cut by the rotation of the blade. In this case, since the work cutting portion with the highest rigidity is located at the approximate center of the dicing device, the center of gravity of the entire dicing device is substantially coincident with the center position of the dicing device, and the balance of the dicing device is stabilized and vibration is generated. Cutting is performed on the workpiece in a state that is unlikely to occur.

また、ブレードの交換、ブレードの同軸度若しくは真直度の確認・調整、スピンドルの端面調整並びにノズルの位置調整を行う際、オペレータはダイシング装置の背面側に移動することなくダイシング装置の前面側にて簡便に作業を実施できるので、これらの作業効率を著しく向上させることができる。 Also, when replacing the blade, checking / adjusting the concentricity or straightness of the blade, adjusting the end face of the spindle, and adjusting the nozzle position, the operator must move the front side of the dicing machine without moving to the back side of the dicing machine. Since the work can be carried out easily, these work efficiencies can be remarkably improved.

請求項２記載の発明は、最も高い剛性と精度が要求されるワーク切断加工部分がダイシング装置の略中央に位置するので、ダイシング装置全体の重心位置が該ダイシング装置の中央位置と略一致してダイシング装置のバランスが安定化する。そのため、切断加工時にダイシング装置全体として振動が生じ難い構造になり、ダイシング装置に設定した加工精度を常に維持することができる。 In the invention according to the second aspect, since the workpiece cutting processed portion that requires the highest rigidity and accuracy is located at the approximate center of the dicing apparatus, the center of gravity position of the entire dicing apparatus substantially coincides with the center position of the dicing apparatus. The balance of the dicing device is stabilized. For this reason, the dicing apparatus as a whole is less susceptible to vibration during cutting, and the machining accuracy set in the dicing apparatus can always be maintained.

また、ブレードの交換、ブレードの同軸度若しくは真直度の確認・調整、スピンドルの端面調整並びにノズルの位置調整を行う際、オペレータはダイシング装置の背面側に移動することなくダイシング装置の前面側にて簡便に作業を実施できるので、これらの作業性を大幅に向上させることができる。 Also, when replacing the blade, checking / adjusting the concentricity or straightness of the blade, adjusting the end face of the spindle, and adjusting the nozzle position, the operator must move the front side of the dicing machine without moving to the back side of the dicing machine. Since work can be carried out simply, these workability can be greatly improved.

請求項３記載の発明では、オペレータはブレード、ノズル及びスピンドルまでのアクセス距離が短くなるので、請求項１又は２記載の発明の効果に加えて、方形匡体の外形寸法が大きい場合でも、ブレードの交換、ブレードの同軸度若しくは真直度の確認・調整作業、スピンドルの端面調整作業並びにノズルの位置調整作業を一層簡便に行うことができる。 In the invention described in claim 3, since the access distance to the blade, nozzle and spindle is shortened by the operator, in addition to the effect of the invention described in claim 1 or 2, the blade can be used even when the outer dimensions of the rectangular casing are large. Replacement, confirmation / adjustment of the concentricity or straightness of the blade, adjustment of the end face of the spindle, and adjustment of the position of the nozzle can be performed more easily.

請求項４記載の発明では、複数組のダイシング装置を並べてレイアウトしたことにより、ワークのダイシング加工の生産性向上が図られるとともに、隣接するダイシング装置同士を詰めて配置できるので、スペースの有効活用が可能になり、ダイシング装置１台当たりの専有面積が小さくなり、設備の省スペース化が可能になる。 In the invention according to claim 4, since a plurality of sets of dicing devices are laid out side by side, productivity of the dicing processing of the workpiece can be improved, and adjacent dicing devices can be arranged and arranged so that effective use of space can be achieved. This makes it possible to reduce the area occupied by each dicing machine and to save space for equipment.

しかも、ブレードの交換、ブレードの同軸度若しくは真直度の確認・調整、スピンドルの端面調整並びにノズルの位置調整を行う際に、オペレータはブレード、ノズル及びスピンドルまでのアクセス距離が短くなるので、複数台のダイシング装置を一個所に集約化した場合でも、ブレードの交換、ブレードの同軸度若しくは真直度の確認・調整作業、スピンドルの端面調整作業並びにノズルの位置調整作業をより簡便に行うことができる。 Moreover, when changing blades, checking / adjusting the concentricity or straightness of the blades, adjusting the end face of the spindle, and adjusting the position of the nozzle, the operator can shorten the access distance to the blade, nozzle, and spindle. Even when these dicing devices are integrated in one place, it is possible to more easily perform blade replacement, blade coaxiality / straightness confirmation / adjustment work, spindle end face adjustment work, and nozzle position adjustment work.

請求項５記載の発明は、ワークの切断加工を行う際に振動が生じ難いので、ダイシング装置に設定した高い加工精度を安定して確保することができる。 According to the fifth aspect of the present invention, since vibration is hardly generated when the workpiece is cut, high machining accuracy set in the dicing apparatus can be stably secured.

本発明の一実施例を示し、ダイシング装置の各部のレイアウトを説明する配置平面図。The arrangement | positioning top view which shows one Example of this invention and demonstrates the layout of each part of a dicing apparatus. 図１のダイシング装置を２台並べた構成例を示す平面図。The top view which shows the structural example which arranged two dicing apparatuses of FIG. 本実施例に係るダイシング装置のローダを共用化して２台並べた構成例を示す平面図。The top view which shows the structural example which shared and shared the loader of the dicing apparatus which concerns on a present Example. 図１のダイシング装置を４台並べた構成例を示す平面図。The top view which shows the structural example which arranged four dicing apparatuses of FIG. 本実施例に係るブレードをスピンドルに取り付けるときの状態を説明する斜視図。The perspective view explaining the state when attaching the braid | blade which concerns on a present Example to a spindle. 図５のブレード外周の側面に電気マイクロメータのピックアップを当ててブレードの揺れ幅を測定するときの状態を説明する斜視図。FIG. 6 is a perspective view for explaining a state when the swing width of the blade is measured by applying an electric micrometer pickup to the side surface of the outer periphery of the blade in FIG. 5. 図５のブレードの最外周部に電気マイクロメータのピックアップを当ててブレードの真円度を測定するときの状態を説明する側面図。FIG. 6 is a side view illustrating a state where the roundness of the blade is measured by applying an electric micrometer pickup to the outermost peripheral portion of the blade in FIG. 5. 本実施例においてスピンドルの交換等を説明するための図であり、(ａ)はスピンドルＡの交換等を説明するための平面図、(ｂ)はスピンドルＢの交換等を説明するための平面図。It is a figure for demonstrating replacement | exchange of a spindle in a present Example, (a) is a top view for demonstrating replacement | exchange of the spindle A, (b) is a top view for demonstrating replacement | exchange of the spindle B, etc. . 本実施例において筐体上のワーク交換部位置側はクリーンゾーンであり、スピンドル移動機構を挟んでその反対側はダーティゾーンであることを説明するための平面図。FIG. 6 is a plan view for explaining that the workpiece replacement part position side on the housing is a clean zone and the opposite side across the spindle moving mechanism is a dirty zone in the present embodiment. 筐体形状の変形例を示す図であり、(ａ)は８角形とした場合の平面図、(ｂ)は７角形とした場合の平面図。It is a figure which shows the modification of a housing | casing shape, (a) is a top view at the time of setting it as an octagon, (b) is a top view at the time of setting it as a heptagon. 従来本例を示し、ダイシング装置の各部のレイアウトを説明する配置平面図。The arrangement | positioning top view which shows a conventional example and demonstrates the layout of each part of a dicing apparatus.

本発明は、ブレードの交換、真直度、同軸度確認及び端面調整並びにノズル調整なだを容易に実行でき、且つ、メンテナンスの作業性を向上させ、ダイシング装置の重心を安定させるとともに設置スペースを縮小させるという目的を達成するために、ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを支持するスピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設されたダイシング装置において、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構は平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の対角線上に配置され、且つ、前記ダイシング装置の略中央部にワーク切断加工部が配設されているとともに、前記ダイシング装置の前部にワーク交換部が設けられ、前記ワーク切断加工部を挟んで前記ワーク交換部と反対側に、ミスト排気部が配置されていることによって実現した。 The present invention can easily perform blade replacement, straightness, coaxiality check, end face adjustment, and nozzle adjustment, improve maintenance workability, stabilize the center of gravity of the dicing device, and reduce the installation space. In order to achieve the purpose of causing, a work table on which a work is placed, a blade for cutting the work, a work table feeding mechanism for moving the work on the work table relative to the blade, In a dicing apparatus in which a spindle on which a blade is rotatably mounted, a spindle moving mechanism that supports the spindle, and the work table feeding mechanism are disposed orthogonal to each other, the spindle moving mechanism and the work table feeding mechanism are planar. Disposed on the diagonal of the rectangular housing of the dicing device formed into a rectangular shape. And, together with the workpiece cutting portion is disposed at a substantially central portion of the dicing apparatus, the workpiece exchanging portion is provided at a front portion of the dicing device, and the workpiece exchange section across the workpiece cutting portion This was realized by arranging a mist exhaust on the opposite side .

以下、本発明の好適な実施例を図１乃至図７に従って説明する。図１は本実施例に係るダイシング装置２１を示す平面図である。同図に示すように、ダイシング装置２１の本体部である匡体２２の平面視形状は方形に形成され、方形匡体（以下、「方形匡体」という。）２２の右前側隅部の直角二等辺三角形部分は切り欠けられ、ダイシング装置２１の前面に対して４５度の角度をなす斜辺縁部が形成されている。該斜辺縁部には開閉カバー付きの開口部２３が設けられ、この開口部２３から方形匡体２２上にてワーク交換及びメンテナンス作業を実施できるように構成されている。 A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a plan view showing a dicing apparatus 21 according to the present embodiment. As shown in the figure, the plan view shape of the housing 22 which is the main body of the dicing apparatus 21 is formed in a square shape, and a right angle of the right front corner of the rectangular housing (hereinafter referred to as “square housing”) 22. The isosceles triangle portion is notched, and an oblique edge portion is formed at an angle of 45 degrees with respect to the front surface of the dicing device 21. An opening 23 with an opening / closing cover is provided at the oblique edge, and the work replacement and maintenance work can be performed on the rectangular housing 22 from the opening 23.

又、方形匡体２２上には、ワークであるウェハＷが載置される回転可能なワークテーブル２４と、該ウェハＷを切断するブレード２５，２５と、ウェハＷを載置したワークテーブル２４をブレード２５，２５に対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構２６とが設けられている。ワークテーブル送り機構２６は、図２に示すように、方形匡体２２の右前側隅部と左後側隅部とを結ぶ第１対角線上に設置されている。 On the rectangular housing 22, a rotatable work table 24 on which a wafer W as a work is placed, blades 25 and 25 for cutting the wafer W, and a work table 24 on which the wafer W is placed. A work table feed mechanism 26 that is moved relative to the blades 25 is provided. As shown in FIG. 2, the work table feeding mechanism 26 is installed on a first diagonal line connecting the right front corner and the left rear corner of the rectangular housing 22.

更に、方形匡体２２上にはスピンドル移動機構２８が設置され、該スピンドル移動機構２８はガイドレール２９を備えている。スピンドル移動機構２８は、方形匡体２２の左前側隅部と右後側隅部とを結ぶ第２対角線上に設置されている。このため、スピンドル移動機構２８は、ワークテーブル送り機構２６に対して直交するように配置されている。従って、スピンドル移動機構２８のガイドレール２９は、ワークテーブル送り機構２６によるワーク送り方向に対して直角に交差している。 Further, a spindle moving mechanism 28 is installed on the rectangular housing 22, and the spindle moving mechanism 28 includes a guide rail 29. The spindle moving mechanism 28 is installed on a second diagonal line connecting the left front corner and the right rear corner of the rectangular housing 22. For this reason, the spindle moving mechanism 28 is arranged so as to be orthogonal to the work table feeding mechanism 26. Accordingly, the guide rail 29 of the spindle moving mechanism 28 intersects the work feed direction by the work table feed mechanism 26 at a right angle.

ガイドレール２９には、２つのスピンドル３０，３０が移動可能に支持され、該スピンドル３０，３０は同一軸線上にて互いに対向して配設されている。各スピンドル３０，３０にはブレード２５，２５が回転可能に取り付けられている。 Two spindles 30, 30 are movably supported on the guide rail 29, and the spindles 30, 30 are arranged opposite to each other on the same axis. Blades 25 and 25 are rotatably attached to the spindles 30 and 30, respectively.

又、ダイシング装置２１の略中央部、即ち、方形匡体２２におけるスピンドル移動機構２８とワークテーブル送り機構２６とが直交する部分にはワーク切断加工部３２が配設され、該ワーク切断加工部３２においてブレード２５，２５によりウェハＷを切断加工できるように構成されている。 In addition, a workpiece cutting processing portion 32 is disposed at a substantially central portion of the dicing device 21, that is, a portion where the spindle moving mechanism 28 and the work table feeding mechanism 26 are orthogonal to each other in the rectangular housing 22. In FIG. 2, the wafer W can be cut by the blades 25, 25.

本実施例のウェハ切断加工部３２においては、ブレード２５，２５を保持するスピンドル３０，３０の移動距離を対角線の長さに応じて長くできるため、大口径のウェハであってもこれを効率良く切断することができる。又、スピンドル移動機構２８（又はガイドレール２９）は強度的に門型構造に形成することを可とし、本実施例では、スピンドル移動機構２８を支持する門型の支柱は、ダイシング装置２１の方形匡体２２の支柱と共用することができるように構成されている。 In the wafer cutting part 32 of the present embodiment, the moving distance of the spindles 30 and 30 holding the blades 25 and 25 can be increased according to the length of the diagonal line, so even a large-diameter wafer can be efficiently used. Can be cut. In addition, the spindle moving mechanism 28 (or the guide rail 29) can be formed in a portal structure in terms of strength. In this embodiment, the portal-type column supporting the spindle moving mechanism 28 is a square of the dicing device 21. It is comprised so that it can share with the support | pillar of the housing 22. FIG.

そのため、剛性の高いスピンドル移動機構２８用の門型の支柱を特別に設けなくとも、ダイシング装置２１内にスピンドル移動機構２８及びガイドレール２９を効率良く配置でき、高剛性かつ高精度のダイシング装置２１を構成することができる。 Therefore, the spindle moving mechanism 28 and the guide rail 29 can be efficiently arranged in the dicing device 21 without specially providing a portal-type column for the spindle moving mechanism 28 having high rigidity, and the dicing device 21 having high rigidity and high accuracy can be provided. Can be configured.

更に、ダイシング装置２１の右前側部分にはワーク交換部３３が設けられ、該ワーク交換部３３は、方形匡体２２の右前側斜辺縁部に設けた開口部２３に近接して配置されている。このワーク交換部３３において、ワークテーブル２４に載置されたウェハＷを容易に交換できる。 Further, a work exchanging portion 33 is provided at the right front side portion of the dicing apparatus 21, and the work exchanging portion 33 is disposed in the vicinity of the opening 23 provided at the right front oblique side edge of the rectangular housing 22. . In the work exchange unit 33, the wafer W placed on the work table 24 can be easily exchanged.

図中の符号３４は、ワーク切断加工部３２から流れ出る切削水や洗浄水の廃液を受けるオイルパンであり、オイルパン３４はワークテーブル送り機構２６を包囲するように形成されている。 Reference numeral 34 in the drawing is an oil pan that receives waste liquid of cutting water and cleaning water flowing out from the workpiece cutting processing section 32, and the oil pan 34 is formed so as to surround the work table feeding mechanism 26.

更に、方形匡体２２における左後側隅部には、排水口３５を有する排水機構３６と、排気口３７を有する排気機構３８とが配設されている。前記排水口３５は、高速回転するブレード２５，２５でウェハＷを切断する際に、該ブレードＷの回転方向に沿って切削水や洗浄水が飛散する方向の略延長線上に配置されている。また、前記排気口３７は排水口３５と対応する真上部に形成されている。尚、ダイシング装置２１の所定位置には、操作・表示部、撮像手段、モニターテレビ、表示灯及びコントローラ（図示せず）等が設けられている。 Further, a drainage mechanism 36 having a drainage port 35 and an exhaustion mechanism 38 having an exhaust port 37 are disposed at the left rear corner of the rectangular housing 22. When the wafer W is cut by the blades 25, 25 that rotate at high speed, the drain port 35 is disposed on a substantially extended line in a direction in which cutting water or cleaning water scatters along the rotation direction of the blade W. Further, the exhaust port 37 is formed at a position directly above the drain port 35. Note that an operation / display unit, an imaging unit, a monitor TV, an indicator lamp, a controller (not shown), and the like are provided at predetermined positions of the dicing device 21.

次に、上記ダイシング装置２１を用いたダイシング加工方法について説明する。先ず、スピンドル３０，３０にブレード２５，２５を取り付けるとともに、ワークテーブル２４にウェハＷを載置固定する。次いで、ワークテーブル２４をワークテーブル送り機構２６により方形匡体２２の第１対角線方向に沿って方形匡体２２の略中央部側に搬送させ、ワーク切断加工部３２にウェハＷを所定の移動速度で搬入させる。 Next, a dicing method using the dicing apparatus 21 will be described. First, the blades 25, 25 are attached to the spindles 30, 30, and the wafer W is mounted and fixed on the work table 24. Next, the work table 24 is transported by the work table feeding mechanism 26 along the first diagonal direction of the rectangular housing 22 toward the substantially central portion of the rectangular housing 22, and the wafer W is moved to the workpiece cutting processing section 32 at a predetermined moving speed. Bring it in.

然る後、ワーク切断加工部３２の中心に向かってスピンドル３０，３０を移動させ、該スピンドル３０，３０に取り付けたブレード２５，２５を高速回転させながら、ウェハＷの切断加工を行う。加工中、スピンドル３０，３０先端に設けた切削水用ノズル及び洗浄用ノズル（図示せず）から夫々切削水及び洗浄水をウェハＷの加工ポイントに供給する。 Thereafter, the spindles 30 and 30 are moved toward the center of the workpiece cutting unit 32, and the wafer W is cut while the blades 25 and 25 attached to the spindles 30 and 30 are rotated at high speed. During processing, cutting water and cleaning water are supplied to processing points on the wafer W from a cutting water nozzle and a cleaning nozzle (not shown) provided at the tips of the spindles 30 and 30, respectively.

そして、供給された切削水（洗浄水を含む。以下同じ。）は、オイルパン３４により受けられた後、オイルパン３４の下流側に流れて、排水口３６より排水管を通過して外部に排出される。又、加工時に、切削水と共にミストがブレード２５，２５の回転方向に沿って飛散し、飛散したミストは、上昇しつつワーク切断加工部３２から方形匡体２２の左後側隅部に向かって流れる。方形匡体２２の左後側隅部に流れたミストは、排水口３５の上方に設けた排気口３７より排気管を通過して外部に排出される。 The supplied cutting water (including cleaning water; the same applies hereinafter) flows to the downstream side of the oil pan 34 after passing through the oil pan 34, passes through the drain pipe from the drain port 36, and flows to the outside. Discharged. Also, during machining, mist is scattered along with the cutting water along the rotation direction of the blades 25, 25, and the scattered mist rises from the workpiece cutting portion 32 toward the left rear corner of the rectangular housing 22 while ascending. Flowing. The mist that has flowed to the left rear corner of the rectangular housing 22 passes through the exhaust pipe 37 and is discharged outside through the exhaust port 37 provided above the drain port 35.

而して、ウェハＷに対する１つの切断ラインに沿うダイシング加工が終了すると、ブレード２５，２５は、次に加工する隣の切断ラインにインデックス送りされて位置決めされ、前記と同様の加工手順により、当該切断ラインに沿うダイシング加工が実施される。 Thus, when the dicing process along one cutting line for the wafer W is completed, the blades 25 and 25 are indexed and positioned on the next cutting line to be processed next, and the same processing procedure as described above is performed. Dicing along the cutting line is performed.

そして、前記ダイシング加工が繰り返されることにより、所定数の切断ラインに沿うダイシング加工が全て終了すると、ワークテーブル２４と共にウェハＷを９０度回転させて、前記と同様の加工手順により、前述した切断ラインと直交する方向の切断ラインに沿ってダイシング加工が行われる。 Then, by repeating the dicing process, when all the dicing processes along a predetermined number of cutting lines are completed, the wafer W is rotated 90 degrees together with the work table 24, and the above-described cutting line is performed by the same processing procedure as described above. Dicing is performed along a cutting line in a direction perpendicular to the line.

而して、当該切断ラインに沿うダイシング加工が全て完了すると、ウェハＷは多数のチップに切断分割される。この後、ウェハＷを載置したワークテーブル２４はワークテーブル移動機構２６によりワーク交換部３３に搬送され、次に加工すべきウェハＷと交換される。この後、上記した加工手順に従って、当該ウェハＷのダイシング加工が新たに実施される。 Thus, when all the dicing along the cutting line is completed, the wafer W is cut and divided into a large number of chips. Thereafter, the work table 24 on which the wafer W is placed is transported to the work exchanging unit 33 by the work table moving mechanism 26 and exchanged with the wafer W to be processed next. Thereafter, dicing of the wafer W is newly performed according to the above-described processing procedure.

次に、本発明に係るダイシング加工の具体的な実施態様について補足説明する。上記ブレード２５は、図５に示すように、ブレード２５を取り付けるブレードフランジ５０に倣わせるようにして取り付ける。そして、ブレードフランジ５０端面にブレード２５を嵌め込み、その上から、ナット５１を締めこむことでブレード２５を固定する。ブレードフランジ５０の真直度が十分に出ているため、真直度が狂うことはほとんどないが、ブレード２５とブレードフランジ５０の間に異物が噛み込んだり、或いは、ナット５１の締め付けが十分ではない場合においては、真直度が確保できない場合がある。 Next, a specific embodiment of the dicing process according to the present invention will be supplementarily described. As shown in FIG. 5, the blade 25 is attached so as to follow a blade flange 50 to which the blade 25 is attached. Then, the blade 25 is fitted into the end face of the blade flange 50, and the nut 25 is tightened from above to fix the blade 25. Since the straightness of the blade flange 50 is sufficiently high, the straightness will hardly go out of order, but foreign matter is caught between the blade 25 and the blade flange 50 or the nut 51 is not tightened sufficiently. In some cases, straightness cannot be secured.

前記ブレード２５を締め付けるナット５１は専用のトルクレンチを使用して、約40Kgf
・cm程度のトルクで締め付ける。ブレード２５を取り付け後、図６に示すように、ブレード２５外周の側面に電気マイクロメータ５２のピックアップ５３を当てて、ブレード２５をゆっくり回転させながら、ブレード２５の振れ幅を測定する。また、電気マイクロメータ５２上記ワークテーブル２４上に固定して、ブレード２５を相対的にゆっくり前後にスライドさせて、ブレード２５の真直度を確認する。 The nut 51 for tightening the blade 25 is about 40 kgf using a special torque wrench.
・ Tighten with a torque of about cm. After the blade 25 is attached, as shown in FIG. 6, the pick-up 53 of the electric micrometer 52 is applied to the side surface of the outer periphery of the blade 25, and the deflection width of the blade 25 is measured while slowly rotating the blade 25. Further, the electric micrometer 52 is fixed on the work table 24, and the blade 25 is slid back and forth relatively slowly to check the straightness of the blade 25.

この場合、ブレード２５を少し回転させては前記同様に、ブレード２５を相対的にゆっくり前後にスライドさせる。ブレード２５がブレードフランジ５０に対して傾いて取り付けられて、ブレード２５の真直度が出ていない場合には、ブレードフランジ５０端面の真直度と比較して相対的に位置ずれを生じる。その位置ずれを確認することにより、ブレード２５の真直度を確認することができる。 In this case, if the blade 25 is slightly rotated, the blade 25 is slid back and forth relatively slowly as described above. When the blade 25 is mounted to be inclined with respect to the blade flange 50 and the straightness of the blade 25 does not come out, a relative displacement occurs as compared with the straightness of the end face of the blade flange 50. By confirming the displacement, the straightness of the blade 25 can be confirmed.

こうした測定では、電気マイクロメータ５２を正確にセットすることが要求される。真直度を確認するための電気マイクロメータ５２を正確にセットするには、ブレード２５の外周付近の所定の場所に電気マイクロメータ５２のピックアップ５３をあてて、ブレード２５の略正面とブレード２５の側面、すなわちブレード２５が線状にみえる方向との両方から見て確認する必要がある。本発明の前記構成によれば、ブレード２５及びスピンドル３０端面は対向型であったとしても、両方を同様に視認することができるため、こうしたメンテナンスを好適に実施することが可能となる。通常、この真直度の調整において、その振れ幅の範囲は、１〜３μm以下に抑えて調整する。 Such a measurement requires the electric micrometer 52 to be set accurately. In order to accurately set the electric micrometer 52 for confirming the straightness, a pickup 53 of the electric micrometer 52 is applied to a predetermined location near the outer periphery of the blade 25, and the front surface of the blade 25 and the side surface of the blade 25 are disposed. That is, it is necessary to confirm from both the direction in which the blade 25 looks linear. According to the configuration of the present invention, even if the blade 25 and the end face of the spindle 30 are facing each other, both can be viewed in the same manner, so that such maintenance can be suitably performed. Usually, in the adjustment of the straightness, the range of the swing width is adjusted to 1 to 3 μm or less.

また、ブレード２５の同軸度の確認においては、図７に示すように、ブレード２５の最外周部に電気マイクロメータ５２のピックアップ５３をあてて測定する。ブレード２５単体の真円度は、ブレード２５自体の検査に委ねられる。一方、同軸度においては、ブレード２５の中心とスピンドル３０の中心とが合致していない場合に不良となるため、これはブレード２５交換のメンテナンスのときに起こる。そのため、ブレード２５を交換し、新たに取り付けたときには、この同軸度調整も出来る限り行った方が望ましい。 Further, in confirming the coaxiality of the blade 25, as shown in FIG. 7, the measurement is performed by applying the pickup 53 of the electric micrometer 52 to the outermost peripheral portion of the blade 25. The roundness of the blade 25 alone is left to the inspection of the blade 25 itself. On the other hand, the coaxiality becomes defective when the center of the blade 25 and the center of the spindle 30 do not coincide with each other, and this occurs when the blade 25 is replaced. For this reason, when the blade 25 is replaced and newly attached, it is desirable to adjust the coaxiality as much as possible.

この同軸度が確保されていない場合は、被加工物を切断時にブレード２５が被加工物に対して、断続的に接触し、ブレード２５外周が片べりすることがある。また、極端な場合、振動を誘発し、精度よくカットできない場合もある。こうした同軸度の測定は、ブレード２５外周に電気マイクロメータ５２のピックアップ５３をあてて、スピンドル３０とブレード２５をゆっくり回転させながら、その振れ幅をみる。一回転に応じて振れ方が周期的に現れるが、その振れ幅の半分が同軸度に相当する。この同軸度も１〜３μm以下程度にすることが望ましい。 When the coaxiality is not ensured, the blade 25 may intermittently contact the workpiece when the workpiece is cut, and the outer periphery of the blade 25 may slip off. In extreme cases, vibration may be induced and cutting may not be performed with high accuracy. In measuring the coaxiality, the pickup 53 of the electric micrometer 52 is applied to the outer periphery of the blade 25, and the swing width is observed while slowly rotating the spindle 30 and the blade 25. The way of swinging appears periodically according to one rotation, and half of the swinging width corresponds to the coaxiality. It is desirable that this coaxiality is also about 1 to 3 μm or less.

こうした同軸度についても、ブレード２５を切断方向から見て、ブレード２５が線状にみえる場所でブレード２５と電気マイクロ５２のピックアップ５３の位置を確認し、その状態でブレード２５最外周部の先端に電気マイクロメータ５２のピックアップ５３を当てる。この位置がずれると、同軸度は良いにもかかわらず、振れ幅が悪い結果となる場合もあるため、十分注意して適正な方向から、調整する必要がある。本発明の構成では、これを適正な方向から行うことができるため、ブレード２５を取り付けた後の精度確認を正確に行うことが出来る。 With respect to the coaxiality, the position of the pickup 53 of the blade 25 and the electric micro 52 is confirmed at a place where the blade 25 can be seen linearly when viewed from the cutting direction. The pickup 53 of the electric micrometer 52 is applied. If this position shifts, the coaxiality is good, but the swing width may be poor. Therefore, it is necessary to adjust from an appropriate direction with great care. In the configuration of the present invention, since this can be performed from an appropriate direction, accuracy confirmation after the blade 25 is attached can be performed accurately.

こうしたブレード２５としては例えば、三菱マテリアル製MD325-50KM050の回転刃などを好適に使用できる。ブレード２５先端部にはダイヤモンド砥粒がメタル電着されている。また、ビトリファイドボンドなどで焼結されたブレード２５なども好適に使用できる。こうしたブレード２５は切断時に目つぶれを起こしつつもダイヤモンドが脱落して、新しい砥粒が中から出てくるといった砥粒の自生作用を利用すると、ブレード２５を比較的長く使用することが出来る。 As such a blade 25, for example, a rotary blade of MD325-50KM050 manufactured by Mitsubishi Materials can be suitably used. Diamond abrasive grains are metal-deposited on the tip of the blade 25. Further, a blade 25 sintered with vitrified bond or the like can also be suitably used. The blade 25 can be used for a relatively long period of time by utilizing the self-generated action of the abrasive grains such that the diamond falls off and new abrasive grains come out from the inside while causing clogging during cutting.

切削する被加工物としては、通常ではシリコンウェハや半導体デバイス向けのシリコンウェハなどが多くあるが、これに限ったものではない。アルミナ等のセラミックスや石英ガラス、また、サファイア基板上のGaN、AlTiC基板など様々な被加工物の切断加工に対して適用できる。また、被加工物の形状についても、ウェハは円盤状であるが、角型基板などについてもワークテーブル２４の形態を変えることで対応することが可能である。 As a workpiece to be cut, there are usually many silicon wafers and silicon wafers for semiconductor devices, but the present invention is not limited to this. It can be applied to various workpieces such as ceramics such as alumina, quartz glass, GaN on sapphire substrates, and AlTiC substrates. In addition, the shape of the workpiece is a disk, but it is possible to cope with a square substrate or the like by changing the form of the work table 24.

被加工物の切断条件としては、たとえば以下の条件を用いることができる。
スピンドル回転数 10000rpm〜30000rpm
ワーク(被加工物)の送り速度：50〜100mm/sec
潤滑用純水：１〜2L/min、冷却用純水：0.5L/min〜2L/min
潤滑用純水は、特に切削時ブレード２５の切り込みに沿いつつ、ブレード２５の回転で巻き込むようにしながら、切削点に純水を運びつつ供給する。また、ブレード２５の側面からはブレード２５そのものが熱を持たないように冷却用として水を供給する。これも0.5〜2L/min程度の供給量でよい。 As the workpiece cutting conditions, for example, the following conditions can be used.
Spindle speed 10000rpm-30000rpm
Workpiece (workpiece) feed rate: 50-100mm / sec
Pure water for lubrication: 1 to 2 L / min, pure water for cooling: 0.5 L / min to 2 L / min
The pure water for lubrication is supplied while carrying pure water to the cutting point while being wound by the rotation of the blade 25, particularly along the cutting of the blade 25 during cutting. Further, water is supplied from the side surface of the blade 25 for cooling so that the blade 25 itself does not have heat. This may be a supply amount of about 0.5 to 2 L / min.

尚、こうした条件は、ワーク(被加工物)の材質や厚みなどによっても最適化されるものであり、上記はあくまで一例である。ワーク(被加工物)の切断方向は一方向であり、ブレード２５が回転し、未切断部分がブレード２５の回転によって自然に巻き込まれる方向にワークを送る。一度のワークの手前でブレード２５を下ろし、ワークを切断してワークを通り越すと、スピンドル３０を1ピッチずらして、次の切断位置に移動する。また、それ
と同時にブレード２５を一旦上に持ち上げて、ワークの上を移動し、再度、ワークの前方でブレード２５を下ろしてワークを一直線に切断する。これを繰り返して、切断ごとにワークを順次移動させて等間隔で一直線に切断していく。 These conditions are optimized depending on the material and thickness of the workpiece (workpiece), and the above is only an example. The cutting direction of the workpiece (workpiece) is one direction, the blade 25 rotates, and the workpiece is fed in a direction in which the uncut portion is naturally caught by the rotation of the blade 25. When the blade 25 is lowered before one workpiece, the workpiece is cut and passed over the workpiece, the spindle 30 is shifted by one pitch and moved to the next cutting position. At the same time, the blade 25 is once lifted up to move over the workpiece, and the blade 25 is lowered again in front of the workpiece to cut the workpiece in a straight line. By repeating this, the workpiece is sequentially moved for each cutting, and is cut in a straight line at equal intervals.

一方向の切断が完了すると、ワークテーブル２４を90度回転させ、再度ワークに対してスピンドルを相対的に移動させ、一直線上に順に切断していく。これをすべて終えると、一つのワークを多数の小さい角片(チップもしくはダイとよぶ)に区分けすることができ、切断加工が完了する。こうした切断加工はシングルスピンドル、すなわち一つのブレードを有するスピンドルで完全に切断するまで加工しても良いが、もう一つの方式としてはダブルスピンドルであってもよい。ダブルスピンドルでは対向型のスピンドルが多用される。対向型スピンドルでは、一方のスピンドルのブレードを初期切断とし、もう一方を最終切断としてブレード自体もそのワークの状態に応じて区分けすることができる。 When the cutting in one direction is completed, the work table 24 is rotated 90 degrees, the spindle is moved relative to the work again, and cutting is performed in order on a straight line. When all of this is completed, one workpiece can be divided into a large number of small square pieces (called chips or dies), and the cutting process is completed. Such a cutting process may be performed until it is completely cut by a single spindle, that is, a spindle having one blade. Alternatively, a double spindle may be used. In the double spindle, a counter type spindle is often used. In the opposed spindle, the blade of one spindle is set as the initial cut, and the other is the final cut, and the blade itself can be classified according to the state of the workpiece.

まず、初期切断で被加工物を完全に切断せず、表面付近に切り目を入れていく。次にスピンドルを1ピッチ分送ると、最終切断用のブレードが同じラインに合わされて、ワーク
を送りながら、同一のラインを最終切断用のブレードが走り、完全にワークを切断する。こうしたワーク(被加工物)の切断方法は、たとえば、ワークの表面と内部で組成が変わる場合など好適に使用できる。 First, the work piece is not cut completely in the initial cutting, and a cut is made near the surface. Next, when the spindle is fed by one pitch, the blade for final cutting is aligned with the same line, and the blade for final cutting runs on the same line while feeding the workpiece, thereby completely cutting the workpiece. Such a workpiece (workpiece) cutting method can be suitably used, for example, when the composition changes between the surface and the inside of the workpiece.

例えば、表面が酸化膜であって内部がシリコンなどである場合、初期切断は比較的硬いものを切断するブレードを選択し、最終切断は比較的柔らかい材料を切断できるブレードを使用すればよい。こうした切断方法を区分けすることでスループットも向上し、なおかつ材料の特性に応じた効率よい切断加工を実施することができる。また、対向する二つのブレードの間隔は、切断するダイ(チップ)の間隔に対応させておけばよい。チップサイズが小さい場合においては、二つのダイ(チップ)間隔で対向するブレードの間隔を設定しても良い。 For example, when the surface is an oxide film and the inside is silicon or the like, a blade that can cut a relatively hard material may be selected for initial cutting, and a blade that can cut a relatively soft material may be used for final cutting. By dividing these cutting methods, throughput can be improved and efficient cutting processing can be performed according to the characteristics of the material. Further, the interval between the two opposing blades may correspond to the interval between the dies (chips) to be cut. When the chip size is small, the interval between the opposing blades may be set at the interval between two dies (chips).

所定数枚のウェハＷをダイシング加工すると、オイルパン３４の最下流側底部に設けた排水口３５の近傍に研削屑（研削粉を含む）が堆積するので、ダイシング装置２１の稼動を定期的に停止して、オイルパン３４の清掃が実行される。 When a predetermined number of wafers W are diced, grinding dust (including grinding powder) accumulates in the vicinity of the drain port 35 provided at the bottom of the most downstream side of the oil pan 34. Therefore, the operation of the dicing apparatus 21 is periodically performed. Stop and the oil pan 34 is cleaned.

叙上の如く本発明によると、ワークテーブル送り機構２６は、方形匡体２２の第１対角線上に配置されているとともに、スピンドル移動機構２８は、方形匡体２２の第２対角線上に配置され、方形筐体２２の略中央部にワーク切断加工部３２が配設されている。 As described above, according to the present invention, the work table feeding mechanism 26 is disposed on the first diagonal of the rectangular housing 22 and the spindle moving mechanism 28 is disposed on the second diagonal of the rectangular housing 22. A workpiece cutting portion 32 is disposed at a substantially central portion of the rectangular casing 22.

従って、最も高い剛性と精度が要求されるワーク切断加工部３２、すなわち、最大重量部分の重量が大きい場合でも、この重心位置がダイシング装置２１の中央位置と略一致しているので、ダイシング装置２１全体のバランスが安定化する。斯くして、ワーク切断加工時に、ダイシング装置２１の重心のアンバランスに起因する振動の発生が極力制止されるため、ダイシング装置２１に設定した加工精度が安定的に維持される。 Accordingly, even when the workpiece cutting portion 32 requiring the highest rigidity and accuracy, that is, when the weight of the maximum weight portion is large, the position of the center of gravity substantially coincides with the center position of the dicing device 21. The overall balance is stabilized. Thus, since the generation of vibration due to the unbalance of the center of gravity of the dicing device 21 is suppressed as much as possible during workpiece cutting, the processing accuracy set in the dicing device 21 is stably maintained.

また、方形筐体２２の右前側隅部にワーク交換部３３が設けられているので、ブレード２５，２５を交換する際には、オペレータは、ダイシング装置２１の右前側隅部から２つのブレード２５，２５の何れも簡便に交換できる。さらに、交換後のブレード２５，２５の取り付け状態などの確認・調整、例えば、ブレード２５，２５の同軸度調整・確認並びにブレード２５，２５のウェハＷに対する真直度の確認・調整作業も、ダイシング装置２１の右前側隅部から簡便に実施できる。この場合、ブレード２５，２５のウェハＷに対する真直度は、ウェハＷの切断方向における正面側から正確かつ容易に視認できる。 In addition, since the workpiece changer 33 is provided at the right front corner of the rectangular casing 22, when replacing the blades 25, 25, the operator uses the two blades 25 from the right front corner of the dicing device 21. , 25 can be easily exchanged. Furthermore, confirmation and adjustment of the mounting state of the blades 25 and 25 after replacement, for example, adjustment and confirmation of the coaxiality of the blades 25 and 25 and confirmation and adjustment of the straightness of the blades 25 and 25 with respect to the wafer W are also performed by the dicing apparatus. It can carry out simply from 21 right front side corners. In this case, the straightness of the blades 25 and 25 with respect to the wafer W can be accurately and easily visually recognized from the front side in the cutting direction of the wafer W.

また、ブレード２５，２５のスピンドル３０，３０に対する取り付け同軸度は、ウェハＷの切断方向に対して直角方向より視認することができる。さらに、ブレード２５，２５の同軸度調整並びにブレード２５，２５のウェハＷに対する真直度の確認・調整は双方共に、ダイシング装置２１の前右側隅部から斜め４５度の方向にて視ることができる。その結果、ブレード２５，２５の同軸度及び真直度の確認・調整作業を行う際、オペレータＭはダイシング装置２１の前右側隅部にて実行できるので、従来例のようにダイシング装置２１の側面若しくは背面側に回る必要がない。 Further, the coaxiality of attachment of the blades 25 and 25 to the spindles 30 and 30 can be visually recognized from a direction perpendicular to the cutting direction of the wafer W. Further, the coaxiality adjustment of the blades 25, 25 and the confirmation / adjustment of the straightness of the blades 25, 25 with respect to the wafer W can both be viewed from the front right corner of the dicing device 21 at an angle of 45 degrees. . As a result, when checking and adjusting the concentricity and straightness of the blades 25, 25, the operator M can perform the operation at the front right corner of the dicing device 21, so that the side surface of the dicing device 21 or There is no need to turn to the back.

又、スピンドル３０，３０の定期的な端面調整についても、前記同様に、ダイシング装置２１の前面側だけで実行できるので、従来例のようにダイシング装置２１の側面若しくは背面側に回ることなく簡便に作業を行える。 Also, the periodic adjustment of the end faces of the spindles 30 and 30 can be performed only on the front side of the dicing device 21 as described above, so that it does not turn to the side or back side of the dicing device 21 as in the conventional example. Can work.

さらに、潤滑用の水を供給するためのノズルの位置調整、並びに冷却用の水を供給するためのノズルの位置調整についても、前述の手順と同様に、ダイシング装置２１の前右側隅部にて簡便に作業を行える。 Further, the nozzle position adjustment for supplying the lubricating water and the nozzle position adjustment for supplying the cooling water are also performed at the front right corner of the dicing device 21 in the same manner as described above. You can work easily.

本実施例では、方形匡体２２の右前側隅部は４５度の右斜め方向に切り欠けられ、該切り欠けられた斜辺縁部に、ワーク交換及びメンテナンスを行うための開口部２３が設けられている。依って、オペレータはこの開口部２３からブレード２５，２５、スピンドル３０，３０及び前記ノズルまでのアクセス距離が短くなるので、方形匡体２２の外形寸法が大きい場合でも、ブレード２５，２５の交換作業、ブレード２５，２５の同軸度若しくは真直度の確認・調整作業、スピンドル３０，３０の端面調整作業並びにノズルの位置調整作業を容易迅速に行うことができ、これらの作業性が従来例に比し大幅に向上する。 In the present embodiment, the right front side corner of the rectangular housing 22 is cut away in a 45 ° right oblique direction, and an opening 23 for performing work replacement and maintenance is provided at the cut off oblique side edge. ing. Therefore, since the access distance from the opening 23 to the blades 25 and 25, the spindles 30 and 30 and the nozzle is shortened, the operator can replace the blades 25 and 25 even when the outer dimensions of the rectangular housing 22 are large. In addition, it is possible to easily and quickly carry out the confirmation / adjustment work of the coaxiality or straightness of the blades 25, 25, the end face adjustment work of the spindles 30 and 30, and the nozzle position adjustment work. Greatly improved.

本発明に係るダイシング装置２１は、図２乃至図４に示すように、２台一組として互いに突き合わせた形態で偶数組設置することにより、ダイシング装置ユニット４０を構成することができる。この場合、各組のダイシング装置２１，２１の方形匡体の前部一側に切り欠けられた斜辺縁部（開口部２３，２３）同士が互いに隣り合うように配置される。 As shown in FIG. 2 to FIG. 4, the dicing apparatus 21 according to the present invention can constitute a dicing apparatus unit 40 by installing an even number of sets in a form of abutting each other as a set of two units. In this case, the oblique side edges (openings 23, 23) notched on the front side of the rectangular housings of the dicing apparatuses 21, 21 of each set are arranged adjacent to each other.

このダイシング装置ユニット４０によれば、２台または４台のダイシング装置２１が突合せて並置されることにより、ウェハＷの個数が多数であっても、ダイシング加工の生産性を向上させることができる。 According to the dicing device unit 40, two or four dicing devices 21 are arranged to face each other, so that the productivity of dicing can be improved even if the number of wafers W is large.

本発明では、図３に示すように、２台のダイシング装置２１，２１の間にローダ４１を共通に設置することができる。このように構成すると、２台のダイシング装置２１，２１でローダ４１を共用化でき、設備コストの低減化が可能になる。また、図４に示すように、ダイシング装置ユニット４０の右側又は左側を構成する前後一対のダイシング装置２１，２１同士の隣接部外側には、排気管及び排水管を含む配管エリア４２を共用できる。このように構成すると、配管エリア４２の共用化に伴い、ダイシング設備の省スペース化及び配管コストの低減化が可能になる。 In the present invention, as shown in FIG. 3, a loader 41 can be installed in common between the two dicing apparatuses 21 and 21. If comprised in this way, the loader 41 can be shared by the two dicing apparatuses 21 and 21, and the installation cost can be reduced. Further, as shown in FIG. 4, a piping area 42 including an exhaust pipe and a drain pipe can be shared on the outside of the adjacent portion between the pair of front and rear dicing devices 21, 21 constituting the right side or the left side of the dicing device unit 40. If comprised in this way, with sharing of the piping area 42, the space saving of a dicing equipment and the reduction of piping cost will be attained.

しかも、隣接する４台のダイシング装置２１，２１，２１，２１同士を互いにつき合わせて配置することにより、配置スペースの一層の有効活用が可能になるので、ダイシング装置１台当たりの専有面積が小さくなり、設備の大幅な省スペース化が可能になる。 In addition, since the four adjacent dicing devices 21, 21, 21, and 21 are arranged in contact with each other, it is possible to make more effective use of the arrangement space, so the exclusive area per dicing device is small. As a result, the space of the equipment can be greatly reduced.

偶数台のダイシング装置２１，２１を一個所に並置した場合でも、オペレータＭは、隣接する切欠個所のスペースが増大するため作業性が向上し、左右両側の開口部２３，２３から２台の各ダイシング装置２１，２１の双方のブレード２５，２５、スピンドル３０，３０及び前記ノズルに対するアクセス距離が短くなる。従って、ブレード２５，２５の交換、ブレード２５，２５の同軸度若しくは真直度の確認・調整、スピンドル３０，３０の端面調整並びにノズルの位置調整を行う際に、当該確認調整作業、端面調整作業及び位置調整作業をより簡便に実施でき、保守点検作業性を大幅に向上させることができる。 Even when the even number of dicing devices 21 and 21 are juxtaposed in one place, the operator M can improve the workability because the space of the adjacent notch portion is increased, and each of the two units from the left and right openings 23 and 23 can be improved. Access distances to both the blades 25 and 25, the spindles 30 and 30 and the nozzles of the dicing apparatuses 21 and 21 are shortened. Accordingly, when replacing the blades 25, 25, checking / adjusting the coaxiality or straightness of the blades 25, 25, adjusting the end faces of the spindles 30, 30, and adjusting the position of the nozzles, the confirmation adjustment work, end face adjustment work, Position adjustment work can be carried out more easily, and maintenance and inspection workability can be greatly improved.

さらに、メンテナンス向上性については、図８の(ａ)、(ｂ)に示すような方法でブレード２５，２５を回転させるスピンドル等の交換も可能である。スピンドル交換も定期的に行われ、交換前にも回転精度チェックなど様々な作業が行われる。 Further, with regard to improvement in maintenance, it is possible to replace the spindle or the like that rotates the blades 25 and 25 by the method shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b). Spindle replacement is also performed regularly, and various operations such as checking the rotational accuracy are performed before replacement.

スピンドル交換位置としては、ワーク交換部３３位置を境として、スピンドル移動機構２８の両端方向にそれぞれ存在する。通常ダイシング装置では、スピンドルは対向した形で二つのスピンドルを有する。ワーク交換部３３位置から向かって左側のスピンドルをスピンドルＡ、右側のスピンドルをスピンドルＢとする。 Spindle replacement positions exist in both end directions of the spindle moving mechanism 28 with the position of the workpiece replacement unit 33 as a boundary. In a normal dicing apparatus, the spindle has two spindles in an opposed manner. The left spindle from the position of the workpiece changer 33 is referred to as spindle A, and the right spindle is referred to as spindle B.

スピンドルＡを交換するには、図８ (ａ)に示すように、ワーク交換部３３位置の左側にスピンドルＡ，Ｂを移動して寄せる。この左側に寄せた位置をスピンドルメンテナンス位置１(ＳＰ・ＭＴ１)とする。スピンドルＡのメンテナンスはワーク交換部３３位置の左側のパネルを開くだけですぐにアクセスすることが可能となり、スピンドルＡ内部のメンテナンスやスピンドルの交換などが方向（３）で示すように装置外部から容易に行うことができる。 In order to replace the spindle A, as shown in FIG. 8A, the spindles A and B are moved and moved to the left side of the position of the workpiece replacement portion 33. The position close to the left side is defined as a spindle maintenance position 1 (SP · MT1). Maintenance of the spindle A can be accessed immediately by simply opening the left panel at the position of the workpiece changer 33, and maintenance inside the spindle A, replacement of the spindle, etc. are easy from the outside as indicated by direction (3). Can be done.

また、スピンドルメンテナンス位置１(ＳＰ・ＭＴ１)では、スピンドルＢのブレード２５の調整が可能となる。特に、スピンドルメンテナンス位置１(ＳＰ・ＭＴ１)の方向（１）で示す左側からスピンドルＢをみると、スピンドルＢのブレード２５を略正面からみることができる。そのため、スピンドルＢブレード２５の真円度測定、ブレード２５のスピンドルＢに対する同軸度測定及びスピンドルＢの端面研磨と測定など、目視で確認しながら、ブレード取り付け調整と測定を行うことが可能となる。 At the spindle maintenance position 1 (SP · MT1), the blade 25 of the spindle B can be adjusted. In particular, when the spindle B is viewed from the left side shown in the direction (1) of the spindle maintenance position 1 (SP · MT1), the blade 25 of the spindle B can be viewed from a substantially front side. Therefore, blade attachment adjustment and measurement can be performed while visually confirming the roundness measurement of the spindle B blade 25, the coaxiality measurement of the blade 25 with respect to the spindle B, and the end face polishing and measurement of the spindle B.

さらに、スピンドルメンテナンス位置１(ＳＰ・ＭＴ１)の方向（２）で示す右側からスピンドルＢをみると、スピンドルＢのブレード２５を真横から見ることができる。そのため、スピンドルＢのブレード２５のワークに対する垂直度の測定や調整において、目視で確認しながら、ブレード２５の取り付け調整と垂直度や振れの測定を行うことができる。 Further, when the spindle B is viewed from the right side shown in the direction (2) of the spindle maintenance position 1 (SP · MT1), the blade 25 of the spindle B can be viewed from the side. Therefore, in the measurement and adjustment of the verticality of the blade B of the spindle B with respect to the workpiece, the attachment adjustment of the blade 25 and the measurement of the verticality and deflection can be performed while visually confirming.

次に、右側のスピンドルＢを交換する場合は、図８ (ｂ)に示すように、ワーク交換部３３位置の向かって右側にスピンドルＢ，Ａを移動して寄せる。その右側に寄せた位置をスピンドルメンテナンス位置２(ＳＰ・ＭＴ２)とする。スピンドルＢのメンテナンスは、ワーク交換部３３位置の右側のパネルを開くだけですぐにアクセスすることが可能となり、スピンドルＢ内部のメンテナンスやスピンドルの交換などが方向（６）で示すように装置外部から容易に行うことができる。 Next, when exchanging the right spindle B, as shown in FIG. 8B, the spindles B and A are moved and moved to the right side toward the workpiece exchanging portion 33 position. The position brought to the right side is defined as spindle maintenance position 2 (SP · MT2). Maintenance of the spindle B can be accessed immediately by simply opening the right panel at the position of the workpiece changer 33, and maintenance inside the spindle B, replacement of the spindle, etc. can be performed from the outside of the apparatus as indicated by direction (6). It can be done easily.

また、スピンドルメンテナンス位置２(ＳＰ・ＭＴ２)では、先と同様にスピンドルＡのブレード２５の調整が可能となる。特に、スピンドルメンテナンス位置２(ＳＰ・ＭＴ２)の方向（４）で示す右側からスピンドルＡをみると、スピンドルＡのブレード２５を略正面からみることができる。そのため、スピンドルＡブレード２５の真円度測定、ブレード２５のスピンドルＡに対する同軸度測定及びスピンドルＡの端面研磨と測定など、目視で確認しながら、ブレード取り付け調整と測定を行うことが可能となる。 Further, at the spindle maintenance position 2 (SP · MT2), the blade 25 of the spindle A can be adjusted similarly to the above. In particular, when the spindle A is viewed from the right side indicated by the direction (4) of the spindle maintenance position 2 (SP · MT2), the blade 25 of the spindle A can be viewed from substantially the front. Therefore, it is possible to perform blade attachment adjustment and measurement while visually confirming the roundness measurement of the spindle A blade 25, the coaxiality measurement of the blade 25 with respect to the spindle A, and the end surface polishing and measurement of the spindle A.

さらに、スピンドルメンテナンス位置２(ＳＰ・ＭＴ２)の方向（５）で示す左側からスピンドルＡをみると、スピンドルＡのブレード２５を真横から見ることができる。そのため、スピンドルＡのブレード２５のワークに対する垂直度の測定や調整において、目視で確認しながら、ブレード２５の取り付け調整と垂直度や振れの測定を行うことができる。 Further, when the spindle A is viewed from the left side shown in the direction (5) of the spindle maintenance position 2 (SP · MT2), the blade 25 of the spindle A can be viewed from the side. Therefore, in the measurement and adjustment of the verticality of the blade A of the spindle A with respect to the workpiece, the attachment adjustment of the blade 25 and the measurement of the verticality and vibration can be performed while visually confirming.

従来装置の場合、スピンドル交換するにおいても、装置外側からスピンドル位置までの距離が長いため、交換が手間取っていたり、片側のスピンドルはアクセスしやすい一方、他側のスピンドルはアクセスしにくいなどの問題があった。また、対向するスピンドルとそのスピンドルに取り付けられたブレードに対して、ブレード調整ではブレードの正面側から見ることと、ブレードの側面側から見ることと両方の動作が必要であり、従来装置においては、少なくとも３方向から装置内に入り込んで調整と測定を行う必要があった。 In the case of a conventional device, even when replacing the spindle, since the distance from the outside of the device to the spindle position is long, there are problems such as troublesome replacement, easy access to one spindle, and difficult to access the other spindle. there were. Also, with respect to the opposing spindle and the blade attached to the spindle, the blade adjustment requires both an operation of looking from the front side of the blade and a side view of the blade. In the conventional apparatus, It was necessary to enter and adjust the device from at least three directions.

本装置構成においては、対向するスピンドルＡ，Ｂにおいてブレード２５調整やスピンドルＡ，Ｂ調整に対して、上述した僅か二つのスピンドルメンテナンス１，２位置で、簡単に調整することが可能となる。また、一つのメンテナンス位置で、ブレードを２方向から確認することが可能となるため、ブレード据付と調整、その調整後の確認測定を効率よく行うことができる。 In this apparatus configuration, it is possible to easily adjust the blades 25 and the spindles A and B in the opposite spindles A and B at the two spindle maintenance positions 1 and 2 described above. Further, since the blade can be confirmed from two directions at one maintenance position, blade installation and adjustment, and confirmation measurement after the adjustment can be performed efficiently.

また、ブレード調整や、スピンドルメンテナンスとともに、ブレードに冷却水を吹き付けるノズル位置もノズル向きやブレードに対する位置関係など、対向するブレードにおいて、それぞれのブレードで双方向から位置を確認することが可能となる。こうした構成により、スピンドルメンテナンスを装置の外側から非常に近い位置で作業することができるとともに、従来に比べて非常に簡便に精度調整作業を行うことができる。 Further, along with blade adjustment and spindle maintenance, the position of the nozzle that blows cooling water onto the blade can be confirmed in both directions on the opposing blades, such as the nozzle orientation and the positional relationship with respect to the blade. With such a configuration, the spindle maintenance can be performed at a position very close from the outside of the apparatus, and the accuracy adjustment operation can be performed very easily as compared with the related art.

以上の構成は、方形筐体２２の略対角線上にスピンドル移動機構２８があり、それと垂直にワークテーブル送り機構２６があり、ワークテーブル送り機構２６のスピンドル移動機構２８より手前側にワーク交換部３３位置があり、奥側に排水口やミスト排気部がある。 In the above configuration, the spindle moving mechanism 28 is provided on a substantially diagonal line of the rectangular casing 22, the work table feeding mechanism 26 is provided perpendicularly thereto, and the work exchanging section 33 is provided on the front side of the spindle moving mechanism 28 of the work table feeding mechanism 26. There is a position, and there is a drain outlet and a mist exhaust on the back side.

しかし、こうした構成を言い換えれば、厳密には方形筐体ではなくてもよい。即ち、ワーク交換部３３位置からスピンドル移動機構２８に至る部分は、徐々に装置の筐体幅を広げていく構成とするのでもよい。それは、先に述べたとおり、スピンドルやブレードのメンテナンス、ワーク切断加工のための冷却水のノズル調整が様々な角度から行いやすくなるからである。スピンドル移動機構２８部分の奥行きはある程度確保するとして、次に、切削水・切削ミストの排水・排気効率を向上させるために、徐々に装置の筐体幅を狭くしていく構成にするとよい。 However, in other words, in other words, the configuration is not necessarily a rectangular housing. In other words, the portion from the position of the workpiece changer 33 to the spindle moving mechanism 28 may be configured to gradually widen the casing width of the apparatus. This is because the maintenance of the spindle and blades and the adjustment of the cooling water nozzle for cutting the workpiece can be easily performed from various angles as described above. Assuming that the depth of the spindle moving mechanism 28 is secured to some extent, it is preferable to gradually reduce the casing width of the apparatus in order to improve drainage / exhaust efficiency of the cutting water / cutting mist.

そのようにすることで、スピンドル移動機構２８とワークテーブル送り機構２６が交差する加工部分から飛散する切削水や切削水ミストは、筐体幅が狭くなることで流速が増して、効率よく排除することが可能となる。 By doing so, the cutting water and the cutting water mist splashing from the machining portion where the spindle moving mechanism 28 and the work table feeding mechanism 26 intersect with each other are efficiently removed because the casing width is narrowed. It becomes possible.

結果的に言い換えれば次のような構成になる。即ち、ワーク交換部３３位置からスピンドル移動機構２８までは徐々に装置の筐体幅が増大し、スピンドル移動機構２８の位置で最も幅が大きくなる。そのスピンドル移動機構２８から、ワーク交換部３３位置と反対側にある排水・排気機構３６，３８までは、徐々に装置の筐体幅が狭くなるように構成する。図９に示すように、装置のワーク交換部３３位置側はクリーンゾーンＣＬ・Ｚであり、メンテナンスゾーンも隣接する。一方、スピンドル移動機構２８を挟んで反対側は、ワーク切断加工によるワークのスラッジや、切削水、切削水ミストなどが飛散するダーティゾーンＤＴ・Ｚとなる。 In other words, the configuration is as follows. That is, the housing width of the apparatus gradually increases from the position of the workpiece exchanging portion 33 to the spindle moving mechanism 28 and becomes the largest at the position of the spindle moving mechanism 28. From the spindle moving mechanism 28 to the drainage / exhaust mechanisms 36, 38 on the opposite side to the position of the workpiece changer 33, the casing width of the apparatus is gradually narrowed. As shown in FIG. 9, the work replacement unit 33 position side of the apparatus is a clean zone CL · Z, and a maintenance zone is also adjacent. On the other hand, the opposite side across the spindle moving mechanism 28 is a dirty zone DT / Z where workpiece sludge, cutting water, cutting water mist, etc. scatter.

こうした領域分けをするためには、ワーク交換部３３位置とワーク切断加工部３２位置と排水・排気機構３６，３８位置とが略直線状に配置され、ワーク切断加部工部３２位置を境にしてワーク交換部３３位置と、排水・排気機構３６，３８位置とが、反対側に配置される必要がある。 In order to divide the area, the position of the workpiece changing portion 33, the position of the workpiece cutting processing portion 32, and the position of the drainage / exhaust mechanisms 36, 38 are arranged in a substantially straight line, and the position of the workpiece cutting processing portion 32 is the boundary. Therefore, it is necessary that the position of the workpiece changer 33 and the positions of the drainage / exhaust mechanisms 36 and 38 are arranged on the opposite side.

そのように捉えれば、厳密には方形筐体ではなくともよい。例えば、筐体コーナー部分を面取りして、図１０(ａ)に示すように、略８角形の筐体２２ａや、同図(ｂ)に示すように、略７角形の筐体２２ｂの装置としてもよい。結果的に上記に示した作用効果は大きく変わらない。筐体２２ａを略８角形とする場合は、その中における各部の構成は次のように示すことができる。即ち、スピンドル移動機構２８とワークテーブル送り機構２６はそれぞれが一定の幅を持ち、それらは直交して配置される。 Strictly speaking, it does not have to be a rectangular casing. For example, as shown in FIG. 10 (a), a case corner portion is chamfered, and a device having a substantially octagonal housing 22a or a substantially heptagonal housing 22b as shown in FIG. 10 (b). Also good. As a result, the effects described above do not change significantly. When the casing 22a is substantially octagonal, the configuration of each part in the casing 22a can be shown as follows. That is, the spindle moving mechanism 28 and the work table feeding mechanism 26 have a certain width, and they are arranged orthogonally.

スピンドル移動機構２８の幅の部分で構成される両端面で、８角形の２辺をなす。ワークテーブル送り機構２６の幅の部分で構成される端面で一辺をなし、排水・排気機構３６，３８部分の幅で構成される端面で一辺をなす。残りの４辺はこれらの辺をつなげるように、構成する。８角形のうち２辺は、スピンドルメンテナンス位置ＳＰ・ＭＴ１及びＳＰ・ＭＴ２に相当させてもよい。 Two sides of the octagon are formed at both end faces formed by the width portion of the spindle moving mechanism 28. One end is formed by the end surface formed by the width portion of the work table feeding mechanism 26, and one end is formed by the end surface formed by the width of the drainage / exhaust mechanisms 36 and 38. The remaining four sides are configured to connect these sides. Two sides of the octagon may correspond to the spindle maintenance positions SP · MT1 and SP · MT2.

なお、７角形の筐体２２ｂとする場合、排水・排気機構３６，３８部分は中央部に切削水を集めるためにあえて辺ではなく、頂点として構成し、あとは８角形の筐体２２ａ場合と同様にすればよい。 In the case of the heptagonal casing 22b, the drainage / exhaust mechanisms 36, 38 are configured as apexes rather than sides to collect cutting water in the center, and the rest is the case of the octagonal casing 22a. The same may be done.

本発明は、ワークをブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、スピンドルを支持するスピンドル移動機構とを備えたダイシング装置であれば全て適用可能である。 The present invention can be applied to any dicing apparatus provided with a work table feed mechanism for moving a work relative to a blade and a spindle moving mechanism for supporting a spindle.

２１ダイシング装置
２２方形匡体
２３開口部
２４ワークテーブル
２５ブレード
２６ワークテーブル送り機構
２９ガイドレール
２８スピンドル移動機構
３０スピンドル
３２ワーク切断加工部
３３ワーク交換部
３４オイルパン
３５排水口
３６排水機構
３７排気口
３８排気機構 21 Dicing device 22 Rectangular housing 23 Opening portion 24 Work table 25 Blade 26 Work table feeding mechanism 29 Guide rail 28 Spindle moving mechanism 30 Spindle 32 Work cutting processing portion 33 Work changing portion 34 Oil pan 35 Drain port 36 Drain mechanism 37 Exhaust port 38 Exhaust mechanism

Claims

ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、該スピンドルを支持するスピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設されたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構は平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の対角線上に配置され、且つ、前記ダイシング装置の略中央部にワーク切断加工部が配設されているとともに、前記ダイシング装置の前部にワーク交換部が設けられ、前記ワーク切断加工部を挟んで前記ワーク交換部と反対側に、ミスト排気部が配置されていることを特徴とするダイシング装置。 A work table on which a work is placed, a blade for cutting the work, a work table feed mechanism for moving the work on the work table relative to the blade, and a spindle on which the blade is rotatably mounted In the dicing apparatus in which the spindle moving mechanism for supporting the spindle and the work table feeding mechanism are arranged orthogonal to each other,
The spindle moving mechanism and the work table feeding mechanism are disposed on a diagonal line of a rectangular housing of the dicing device formed in a square shape in plan view, and a work cutting processing unit is disposed at a substantially central portion of the dicing device. The dicing apparatus is characterized in that a work exchanging portion is provided at a front portion of the dicing apparatus, and a mist exhausting portion is disposed on the opposite side of the work exchanging portion with the work cutting portion interposed therebetween .

ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けた２つのスピンドルと、該スピンドルを支持するスピンドル移動機構とを備え、前記２つのスピンドルは同一軸線上にて互いに対向して配設され、前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設されたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構は平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体の対角線上に配置され、且つ、前記ダイシング装置の略中央部にワーク切断加工部が配設されているとともに、前記ダイシング装置の前部にワーク交換部が設けられ、前記ワーク切断加工部を挟んで前記ワーク交換部と反対側に、ミスト排気部が配置されていることを特徴とするダイシング装置。 A work table on which a work is placed, a blade for cutting the work, a work table feed mechanism for moving the work on the work table relative to the blade, and two blades rotatably attached to the blade A spindle and a spindle moving mechanism for supporting the spindle; the two spindles are arranged opposite to each other on the same axis, and the spindle moving mechanism and the work table feeding mechanism are arranged orthogonal to each other. In the installed dicing machine,
The spindle moving mechanism and the work table feeding mechanism are disposed on a diagonal line of a rectangular housing of the dicing device formed in a square shape in plan view, and a work cutting processing unit is disposed at a substantially central portion of the dicing device. The dicing apparatus is characterized in that a work exchanging portion is provided at a front portion of the dicing apparatus, and a mist exhausting portion is disposed on the opposite side of the work exchanging portion with the work cutting portion interposed therebetween .

上記平面視方形に形成されたダイシング装置の方形匡体は、前記対角線上の両隅のうち前記ワーク交換部が配置された前部側の前部一側は斜めに切り欠けられ、且つ、該ダイシング装置の前記前側一側にワーク交換及びメンテナンスを行うための開口部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のダイシング装置。 The rectangular housing of the dicing apparatus formed in the square in plan view has a front part on one side of the front side where the work replacement part is disposed among both corners on the diagonal line , and the square part is cut off obliquely. The dicing apparatus according to claim 1, wherein an opening for exchanging and maintaining a workpiece is provided on the front side of the dicing apparatus.

請求項３記載のダイシング装置を、２台一組として互いに突き合わせた状態で偶数組設置して成るダイシング装置ユニットであって、各組のダイシング装置の方形匡体の前側一側に設けた切欠個所同士が互いに隣接するように配置されていることを特徴とするダイシング装置ユニット。 A dicing apparatus unit comprising the dicing apparatus according to claim 3 installed in an even number set in a state of abutting each other as a set, wherein the dicing apparatus is provided on one side of the rectangular housing of each set of dicing apparatuses. A dicing apparatus unit, wherein the dicing apparatus units are arranged so as to be adjacent to each other.

請求項１乃至４記載のダイシング装置又はダイシング装置ユニットを用いたダイシング方法であって、ワークを方形匡体の一方の対角線方向に沿って搬送して、方形匡体の略中央部に設けたワーク切断加工部にて停止させた後、上記スピンドルに取り付けた上記ブレードをワーク切断位置まで移動させ、該ブレードの回転によりワークを切断することを特徴とするダイシング方法。 A dicing method using the dicing apparatus or the dicing apparatus unit according to claim 1, wherein the work is transported along one diagonal direction of the rectangular casing and provided at a substantially central portion of the rectangular casing. A dicing method comprising: stopping at a cutting processing unit, moving the blade attached to the spindle to a workpiece cutting position, and cutting the workpiece by rotating the blade.