JPS6366414B2 - - Google Patents
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- JPS6366414B2 JPS6366414B2 JP14559881A JP14559881A JPS6366414B2 JP S6366414 B2 JPS6366414 B2 JP S6366414B2 JP 14559881 A JP14559881 A JP 14559881A JP 14559881 A JP14559881 A JP 14559881A JP S6366414 B2 JPS6366414 B2 JP S6366414B2
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- Japan
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- etching
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- semiconductor crystal
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Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 40
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 18
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 15
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、InP半導体結晶のエツチング方法の
改良に関する。
改良に関する。
近時、各種の半導体素子にGaP、GaAsおよび
InP等の−族化合物半導体が用いられてい
る。これらの化合物半導体はSiやGe等の族半
導体にない特殊な性質を有し、高速デバイス、セ
ンサデバイスおよび光デバイス等に極めて有効な
ものである。そして最近、上記した各種デバイス
の高性能化に伴いデバイス構造が複雑な形状を有
するようになり、それら形状の形成プロセス技
術、特にエツチングによる微細パターン形成技術
が要求されるに至つている。
InP等の−族化合物半導体が用いられてい
る。これらの化合物半導体はSiやGe等の族半
導体にない特殊な性質を有し、高速デバイス、セ
ンサデバイスおよび光デバイス等に極めて有効な
ものである。そして最近、上記した各種デバイス
の高性能化に伴いデバイス構造が複雑な形状を有
するようになり、それら形状の形成プロセス技
術、特にエツチングによる微細パターン形成技術
が要求されるに至つている。
エツチングに必要なエツチング液は各種材料に
よつて異なるが、−族半導体、特にGaP、
GaAsおよびInP等にはBr2が有効である。また、
通常Br2はそのままでは非常に不安定であり、
CH3OH中に混入している場合が多い。Br2−
CH3OHは半導体結晶の両方位性の表われ易いエ
ツチング液であり、メサエツチングや逆メサエツ
チング等に効果がある。
よつて異なるが、−族半導体、特にGaP、
GaAsおよびInP等にはBr2が有効である。また、
通常Br2はそのままでは非常に不安定であり、
CH3OH中に混入している場合が多い。Br2−
CH3OHは半導体結晶の両方位性の表われ易いエ
ツチング液であり、メサエツチングや逆メサエツ
チング等に効果がある。
しかしながら、Br2−CH3OH混合液をエツチ
ング液として用いても、材料によつて両方位性が
表われ難い場合がある。特に、逆メサエツチング
の場合には、第1図に示す如く基板1上のウエス
ト部分2に第2図に示す如き逆メサ状のウエスト
形状が表われ難くなることがある。これは、エツ
チング形態が反応律速型ではなく、拡散律速型に
なつているためである。なお、上記問題は特に
InP半導体結晶のエツチングにおいて顕著であ
る。また、Br2−CH3OHに限らず、Br2−
C2H5OH混合液をエツチング液として用いる場合
にあつても上記と同様の問題があつた。
ング液として用いても、材料によつて両方位性が
表われ難い場合がある。特に、逆メサエツチング
の場合には、第1図に示す如く基板1上のウエス
ト部分2に第2図に示す如き逆メサ状のウエスト
形状が表われ難くなることがある。これは、エツ
チング形態が反応律速型ではなく、拡散律速型に
なつているためである。なお、上記問題は特に
InP半導体結晶のエツチングにおいて顕著であ
る。また、Br2−CH3OHに限らず、Br2−
C2H5OH混合液をエツチング液として用いる場合
にあつても上記と同様の問題があつた。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、
その目的とするところは、Br2−CH3OH混合液
或いはBr2−C2H5OH混合液を用いてInP半導体
結晶をエツチングするに際し、両方位に依存した
エツチング形状を得ることができ、メサエツチン
グおよび逆メサエツチングに適したInP半導体結
晶のエツチング方法を提供することにある。
その目的とするところは、Br2−CH3OH混合液
或いはBr2−C2H5OH混合液を用いてInP半導体
結晶をエツチングするに際し、両方位に依存した
エツチング形状を得ることができ、メサエツチン
グおよび逆メサエツチングに適したInP半導体結
晶のエツチング方法を提供することにある。
まず、本発明の概要を説明する。本発明者等
は、Br2−CH3OH混合液によるInP半導体結晶の
エツチングが常に反応律速型となるよう鋭意研究
を重ねた結果、上記混合液にH2Oを加えればよ
いことを見出した。さらに、Br2−C2H5OH混合
液の場合も同様であることを見出した。
は、Br2−CH3OH混合液によるInP半導体結晶の
エツチングが常に反応律速型となるよう鋭意研究
を重ねた結果、上記混合液にH2Oを加えればよ
いことを見出した。さらに、Br2−C2H5OH混合
液の場合も同様であることを見出した。
すなわち、本発明はBr2−CH3OH混合液或い
はBr2−C2H5OH混合液にH2Oを所定量加えたエ
ツチング液にて、InP半導体結晶をエツチングす
るようにした方法である。したがつて、エツチン
グ形態を反応律速型とすることができ、InP半導
体結晶をその両方位が表われ易い状態でエツチン
グすることができる。このため、メサエツチング
や逆メサエツチングを容易に行い得る等の効果を
奏する。
はBr2−C2H5OH混合液にH2Oを所定量加えたエ
ツチング液にて、InP半導体結晶をエツチングす
るようにした方法である。したがつて、エツチン
グ形態を反応律速型とすることができ、InP半導
体結晶をその両方位が表われ易い状態でエツチン
グすることができる。このため、メサエツチング
や逆メサエツチングを容易に行い得る等の効果を
奏する。
以下、本発明の詳細を図面を参照して説明す
る。
る。
本発明者等がBr2−CH3OH混合液にH2Oを所
定量加えた溶液をエツチング液として用い、InP
半導体結晶基板の(100)面上に<110>方向のマ
スクを付けてエツチングを行つたところ、第3図
a〜dに示すエツチング形状が得られた。ここ
で、Br2は0.2〔%)で一定とし、H2Oの量を変え
てエツチングを行つた。第3図aはH2Oが0
〔%〕、bはH2Oが10〔%〕、cは15〔%〕、dは
H2Oが50〔%〕の場合である。これらから判るよ
うに、エツチングの形態が反応律速型か拡散律速
型かと云うことは、CH3OHに混合するH2Oの量
によつて決定することになる。したがつて、
H2Oの混合量を適当に定めることによつて、InP
半導体結晶基板3を逆メサ状にエツチングするこ
とが可能となる。
定量加えた溶液をエツチング液として用い、InP
半導体結晶基板の(100)面上に<110>方向のマ
スクを付けてエツチングを行つたところ、第3図
a〜dに示すエツチング形状が得られた。ここ
で、Br2は0.2〔%)で一定とし、H2Oの量を変え
てエツチングを行つた。第3図aはH2Oが0
〔%〕、bはH2Oが10〔%〕、cは15〔%〕、dは
H2Oが50〔%〕の場合である。これらから判るよ
うに、エツチングの形態が反応律速型か拡散律速
型かと云うことは、CH3OHに混合するH2Oの量
によつて決定することになる。したがつて、
H2Oの混合量を適当に定めることによつて、InP
半導体結晶基板3を逆メサ状にエツチングするこ
とが可能となる。
また、本発明者等の実験によれば、CH3OHに
対するH2Oの体積比が15〔%〕を越えるとエツチ
ング形態が反応律速型となり、15〔%)以上にお
いては拡散律速型から反応律速型への極端な変移
は見られなかつた。さらに、CH3OHに対する
H2Oの体積比が50〔%〕以上になると、Br2の蒸
発が多くなりエツチング液の寿命が短くなること
が判つた。このことから、CH3OHに対するH2O
の体積比を15〜50〔%〕に設定すればよいのが判
る。
対するH2Oの体積比が15〔%〕を越えるとエツチ
ング形態が反応律速型となり、15〔%)以上にお
いては拡散律速型から反応律速型への極端な変移
は見られなかつた。さらに、CH3OHに対する
H2Oの体積比が50〔%〕以上になると、Br2の蒸
発が多くなりエツチング液の寿命が短くなること
が判つた。このことから、CH3OHに対するH2O
の体積比を15〜50〔%〕に設定すればよいのが判
る。
かくして本発明によれば、Br2−CH3OH混合
液にH2Oを所定量加えたエツチング液を用い、
InP半導体結晶基板3をエツチングすることによ
り、基板3の逆メサ形状を制御性良く作成するこ
とができる。
液にH2Oを所定量加えたエツチング液を用い、
InP半導体結晶基板3をエツチングすることによ
り、基板3の逆メサ形状を制御性良く作成するこ
とができる。
なお、上述した説明では逆メサ形状を作成する
例を示したが、順メサ形状の作成にも本発明を適
用できるのは勿論のことである。また、Br2−
CH3OH混合液の代りにBr2−C2H5OH混合液を
用いても同様の結果が得られた。したがつて、
InP半導体結晶をエツチングするに際し、そのエ
ツチング液としてBr2−CH3OH混合液或いはBr2
−C2H5OH混合液にH2Oを所定量加えた溶液を用
いればよいことになる。その他、本発明はその要
旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施するこ
とができる。
例を示したが、順メサ形状の作成にも本発明を適
用できるのは勿論のことである。また、Br2−
CH3OH混合液の代りにBr2−C2H5OH混合液を
用いても同様の結果が得られた。したがつて、
InP半導体結晶をエツチングするに際し、そのエ
ツチング液としてBr2−CH3OH混合液或いはBr2
−C2H5OH混合液にH2Oを所定量加えた溶液を用
いればよいことになる。その他、本発明はその要
旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施するこ
とができる。
第1図は拡散律速型のエツチング例を示す断面
図、第2図は反応律速型のエツチング例を示す断
面図、第3図a〜dは本発明の作用を説明するた
めのもので同図aは従来方法によるエツチング例
を示す断面図、同図b〜dは本発明方法によるエ
ツチング例を示す断面図である。 1…基板、2…ウエスト部分、3…InP半導体
結晶基板。
図、第2図は反応律速型のエツチング例を示す断
面図、第3図a〜dは本発明の作用を説明するた
めのもので同図aは従来方法によるエツチング例
を示す断面図、同図b〜dは本発明方法によるエ
ツチング例を示す断面図である。 1…基板、2…ウエスト部分、3…InP半導体
結晶基板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 Br2−CH3OH混合液或いはBr2−C2H5OH混
合液をエツチング液として用いInP半導体結晶を
エツチングするに際し、前記エツチング液に
H2OをCH3OH或いはC2H5OHに対して15〜50
〔%〕の体積比となるように加えエツチング形態
が反応律速型となるようにしたことを特徴とする
InP半導体結晶のエツチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14559881A JPS5848424A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | InΡ半導体結晶のエツチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14559881A JPS5848424A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | InΡ半導体結晶のエツチング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5848424A JPS5848424A (ja) | 1983-03-22 |
JPS6366414B2 true JPS6366414B2 (ja) | 1988-12-20 |
Family
ID=15388760
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14559881A Granted JPS5848424A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | InΡ半導体結晶のエツチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5848424A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60172669A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-09-06 | 株式会社トスカ | 結束バンド |
JP2677318B2 (ja) * | 1992-09-18 | 1997-11-17 | 竹内工業 株式会社 | ケーブルタイ |
-
1981
- 1981-09-17 JP JP14559881A patent/JPS5848424A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5848424A (ja) | 1983-03-22 |
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