JPS63271047A - 加湿方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は加熱蒸発式加湿方法に係り、特に、クリーンル
ーム等に好適な不純物粒子発生のない加湿方法に関する
。

〔従来の技術〕

加湿方式には、（１）微細水滴を室内に噴霧して室内の
空気で水滴を蒸発させて空気を加湿するスプレーノズル
や超音波を用いる方式と、（２）水を加熱蒸発させて発
生水蒸気で空気を直接加湿する加熱蒸発方式がある。

なお、この種の装置に関連するものには、例えば、特開
昭５９−６９５７号公報等が挙げられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術の方式には一長一短がある。前者の噴霧方
式は、微細水滴となるため、蒸発できる表面積が増し、
大量加湿に適しており家庭用及び園芸、ビニールハウス
、野菜等の加湿に広く利用されているが、水滴を直接室
内へ噴霧するため、未蒸発水滴により壁等が濡れやすい
こと及び、水滴が蒸発すると水中に溶解していた不純物
が析出して粒子となって品物等に付着する欠点がある。

後者は、室内へ水蒸気のみを放出するため、上記欠点は
ないが、蒸発できる表面積が限定されるため、加湿（蒸
発）速度が遅く大量加湿には向かない。加熱方式が微粒
子発生がないクリーン加湿であるため半導体製造やバイ
オ分野のクリーンルーム加湿用しこ適している。加熱方
式の加湿速度を向上させるために、加熱温度を上げると
水が沸騰し、気泡破裂時に大量の微細水滴が発生し、前
者と同様の問題がでてくる。

本発明の目的は、大容量で、かつ、クリーンな加湿がで
きる加湿方法と装置を得ることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、水を微粒化し、発生水滴を高温の空気で直
接々触加熱し、発生した水蒸気群を疎水性多孔質材で濾
過することにより達成される。

〔作用〕

蒸発速度と蒸発量を増大して大量加湿を可能にするには
、水を微細水滴にして蒸発できる表面積を増し、かつ、
水滴への熱の移動を向上させるために、高温のクリーン
空気と水滴を直接々触させる。また、水滴の蒸発で発生
する微粒子や未蒸発水滴は、水をはじく性質をもつ疎水
性多孔質材を通過させることで完全除去できるので、水
蒸気のみのクリーン加湿が可能となる。

〔実施例〕

以下、本発明の基本となるシステムフローを第１図に示
す。水１１を微細水滴１２にする霧化部１と、高温の空
気２２を発生させる加熱部４と、高温空気２２で水滴１
２を蒸発させる気化部２と、発生した微粒子と未蒸発水
滴を除去する疎水性多孔質材のフィルタ部３から構成さ
れる。加熱部４の加熱は電気ヒータや水蒸気による間接
加熱が発生高温空気の汚染防止の点で有利であり、霧化
部１はノズルを用いて水を直接加圧噴霧する方式や、高
速空気で噴霧する方式の他に、超音波等の振動噴霧方式
が適用できる。気化部２は、高温空気２２と発生水滴１
２を均一に混合させる構造が必要で、フィルタ部３に用
いる疎水性多孔質材にはポリテトラフルオロエチレン、
ポリプロピレン、弗素樹脂の多孔性のものが滴しており
、微粒子の捕捉能力は、用いるクリーンルームのクラス
により異なるが、粒径０．１　　μの微粒子が除去でき
るのが望ましい。

本発明のポイン１−は加湿器に疎水性多孔質材を用いた
点にあるが、一般のガス中の不純物粒子の除去に用いる
フィルタ材として、特に、疎水性は必要ではない。一般
のガスフィルタでは微粒子除去に静電気を加えて除去す
る方策があるが、特に、疎水性に限定されない。しかし
、本発明の構成に必要なフィルタは、空気中に多量の水
蒸気を含んだ湿り空気の中の微粒子と未蒸発水滴を除去
することにある。つまり、フィルタが親水性では、多孔
質材表面しこ濾過された水滴が材料表面を薄膜でコーテ
ィングし、その薄膜に微粒子が溶解して、多孔性材表面
の多孔性を妨害し、空気の流通性を低下させてしまうた
め、濾過ができなくなる。従って、加湿器には、特に疎
水性多孔質材を用いると、多孔質材表面で濾過された水
滴は膜状にならず適状のため、フィルタ面をふさぐこと
がなく、また、微粒子は水滴に溶解するが、適状のため
フィルタ面を汚染することがないので濾過が目詰りなく
持続できる。

本発明の基本システムの一実施例を第２図に示すが、水
タンク５１の水１１が少量づつ超音波振動部５２へ供給
され微細水滴を発生させる。水タンク５１の下部に空気
加熱部４があり、ファン５３で空気２１が供給され加熱
後空気ダクト５４をへて超音波振動部５２へ達し、水滴
と直接々触して蒸発させる。超音波振動部５２の上方に
疎水性多孔質材５５で構成されるフィルタ部３があり、
その内部が気化部２を構成している。気化部２で蒸発に
伴って発生した微粒子と未蒸発水滴は多孔質材５５で除
去され水蒸気３１のみが系外へ放出される。本実施例で
は空気加熱部４が水タンク５１の下部にあるため、加熱
部の放熱は水タンクで回収されるので熱効率が良く省エ
ネルギ性がある。大容量加湿タイプでは水タンクを別置
もしくは連続通水タイプにする方が有利である。

第３図に高温空気２２を用いて水１１を霧化すると同時
に蒸発気化させた実施例を示す。加熱部４で加熱された
高温空気２２が二流体ノズル６１に供給され、そこで水
１１を吸引霧化させると同時に発生水滴と高温空気との
直接々触により瞬時に蒸発気化させるため、気化部は不
要となる。ノズル６１の上方に疎水性多孔質材５５で構
成されろフィルタ部３があり、そこで発生した微粒子３
２や未蒸発水滴３３が除去され水蒸気３１のみが放出さ
れ加湿に利用される。本実施例では気化部が不要のため
コンパクト化が可能で、加湿容量により、第３図のよう
にフィルタ部を複数用いれば大容量化できる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、大量加湿を可能にし、蒸発後の発生微
粒子や未蒸発水滴を外部へ出さずに水蒸気のみでクリー
ン加湿ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のフローシート、第２図は本
発明の基本構造を示す実施例の構造図、第３図は本発明
のコンパクトタイプ加湿器の実施例を示す構造図である
。 １・・・霧化部、２・・・気化部、３・・フィルタ部、
４・・加熱部、５５・・・疎水性多孔質材。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、水を加熱蒸発させて加湿する方法において、水を微
   粒化及び加熱蒸発工程で発生した水蒸気を疎水性多孔質
   材を通した後、放出させることを特徴とする加湿方法。 ２、特許請求の範囲第１項において、 加熱手段に高温のクリーン空気と水滴を直接接触させた
   ことを特徴とする加湿方法。 ３、特許請求の範囲第１項において、 水の微粒化と加熱蒸発手段として、高温クリーン空気を
   用いて水を微粒化すると同時に加熱蒸発させることを特
   徴とする加湿方法。