JPS63200958A - ラツピング装置 - Google Patents
ラツピング装置Info
- Publication number
- JPS63200958A JPS63200958A JP3054387A JP3054387A JPS63200958A JP S63200958 A JPS63200958 A JP S63200958A JP 3054387 A JP3054387 A JP 3054387A JP 3054387 A JP3054387 A JP 3054387A JP S63200958 A JPS63200958 A JP S63200958A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- work
- workpiece
- wrapping
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003245 working effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000002301 combined effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＣＤ用スタンパ、ハードディスク用スタンパ等
の薄円板状のワーク等をラッピングし得るラッピング装
置に関するものである。
の薄円板状のワーク等をラッピングし得るラッピング装
置に関するものである。
従来この種のラッピング装置としてはラップ剤によるい
わゆるラップ盤やパフ研摩機等が知られている。
わゆるラップ盤やパフ研摩機等が知られている。
しかしながら上記従来構造の場合充分満足し得るワーク
の仕上面状態を得ることができないことがあり、かつ装
置及び維持コストや作業性の面で不都合が生じている。
の仕上面状態を得ることができないことがあり、かつ装
置及び維持コストや作業性の面で不都合が生じている。
本発明はこれらの不都合を解消することを目的とするも
ので、その要旨は、板状のワークを載置可能な回転板を
もつワーク駆動部と、走行するラッピングテープをリー
クに押圧可能な押圧体をもつテープ保持部と、該テープ
保持部をラブピングテープの走行方向と交差する方向に
振動させる振動機構とから成り、板状のワークをラッピ
ングテープによりラッピングすることを特徴とするラッ
ピング装置にある。
ので、その要旨は、板状のワークを載置可能な回転板を
もつワーク駆動部と、走行するラッピングテープをリー
クに押圧可能な押圧体をもつテープ保持部と、該テープ
保持部をラブピングテープの走行方向と交差する方向に
振動させる振動機構とから成り、板状のワークをラッピ
ングテープによりラッピングすることを特徴とするラッ
ピング装置にある。
ワーク駆ｅ部の回転板に板状のワークを載置し、テープ
保持部の押圧体により走行するラッピングテープをワー
クに押圧し、振動機構によりテープ保持部をラッピング
テープの走行方向と交差する方向に振動させると、ワー
クはワークの回転、ラッピングテープの走行及び振動の
複合作用でラッピングされる。
保持部の押圧体により走行するラッピングテープをワー
クに押圧し、振動機構によりテープ保持部をラッピング
テープの走行方向と交差する方向に振動させると、ワー
クはワークの回転、ラッピングテープの走行及び振動の
複合作用でラッピングされる。
第１図乃至第６図は本発明の実施例を示し、１はワーク
駆動部であって、機台２の中央部に回転軸３を設け、回
転軸３に板状のワークＷ１この場合薄円板状のスタンパ
を載置可能な回転板４を取付け、回転軸３を回転させる
回転機構（図示省略）を設けたものである。
駆動部であって、機台２の中央部に回転軸３を設け、回
転軸３に板状のワークＷ１この場合薄円板状のスタンパ
を載置可能な回転板４を取付け、回転軸３を回転させる
回転機構（図示省略）を設けたものである。
５はテープ保持部であって、機台２にブラケット６によ
りガイド軸７を上下２段に回転板４の半径方向に横設し
、ガイド軸７にスライド台８をベアリング９により摺動
可能に設け、かつガイド軸７に連結金工Ｏを図外のベア
リングにより摺動可能に設け、機台２にブラケット１１
により移動用シリンダ氏を取付け、移動用シリンダ丘の
ロッドをブラケット１３を介して連結台１０に連結し、
前記スライド台８に取付部材１４を支点軸巧により装着
し、取付部材１４を調節長穴１６、調節ボルト１７及び
ナツト毘により前後傾動可能に設け、取付部材１４に取
付台１９をガイド軸２０により」−下動可能に設け、取
付台１９を上下動させる上下動シリンダ２１を設け、取
付台１９にガイド軸ｎにより保持台ｎを上下動可能に設
け、ガイド軸ｎに保持台ｎの下限用バネＵを設け、かつ
取付台１９に調節ねじ部５を設け、保持台器の中央部に
クッションバネ那を設け、クッションバネ％の上方にプ
ランジャ棒刀を設け、プランジャ棒刀に調節ねじ部５の
調節押圧杆Ｚを当接し、保持台Ｂの前部に保持軸四をキ
ー（資）により回り止め状態でかつナツト３１により上
下方向に調節可能に設け、保持軸四に保持枠３２を固定
し、保持枠囲に中央部にはゴム等の弾性材※を被覆した
ローラ状の押圧体計、両側部には案内ローラあを設け、
保持台器に取付ベース詔を取付け、取付ベース圀の両側
位置にラブピングチーブＴを巻付けた供給リール訂及び
巻取リール田を設け、ラッピングテープＴを供給リール
訂、案内ローラゐ、押圧体Ｕ、案内ローラあ及び巻取り
−ルあに掛渡し、ラブピングチーブＴを低速走行可能に
構成したものである。
りガイド軸７を上下２段に回転板４の半径方向に横設し
、ガイド軸７にスライド台８をベアリング９により摺動
可能に設け、かつガイド軸７に連結金工Ｏを図外のベア
リングにより摺動可能に設け、機台２にブラケット１１
により移動用シリンダ氏を取付け、移動用シリンダ丘の
ロッドをブラケット１３を介して連結台１０に連結し、
前記スライド台８に取付部材１４を支点軸巧により装着
し、取付部材１４を調節長穴１６、調節ボルト１７及び
ナツト毘により前後傾動可能に設け、取付部材１４に取
付台１９をガイド軸２０により」−下動可能に設け、取
付台１９を上下動させる上下動シリンダ２１を設け、取
付台１９にガイド軸ｎにより保持台ｎを上下動可能に設
け、ガイド軸ｎに保持台ｎの下限用バネＵを設け、かつ
取付台１９に調節ねじ部５を設け、保持台器の中央部に
クッションバネ那を設け、クッションバネ％の上方にプ
ランジャ棒刀を設け、プランジャ棒刀に調節ねじ部５の
調節押圧杆Ｚを当接し、保持台Ｂの前部に保持軸四をキ
ー（資）により回り止め状態でかつナツト３１により上
下方向に調節可能に設け、保持軸四に保持枠３２を固定
し、保持枠囲に中央部にはゴム等の弾性材※を被覆した
ローラ状の押圧体計、両側部には案内ローラあを設け、
保持台器に取付ベース詔を取付け、取付ベース圀の両側
位置にラブピングチーブＴを巻付けた供給リール訂及び
巻取リール田を設け、ラッピングテープＴを供給リール
訂、案内ローラゐ、押圧体Ｕ、案内ローラあ及び巻取り
−ルあに掛渡し、ラブピングチーブＴを低速走行可能に
構成したものである。
３９は振動機構であって、スライド台８に振動用モータ
４０を取付け、振動用モータ４０の主軸４１に連結片４
２を取付け、連結片４２に主軸４１の軸線に対し偏心す
るカムローラ４３を取付け、前記連結台１０にカムロー
ラ４３に係合する凹溝必を有するガイド片朽を取付けて
構成したものである。
４０を取付け、振動用モータ４０の主軸４１に連結片４
２を取付け、連結片４２に主軸４１の軸線に対し偏心す
るカムローラ４３を取付け、前記連結台１０にカムロー
ラ４３に係合する凹溝必を有するガイド片朽を取付けて
構成したものである。
４６は他のラッピング装置であって、上記実施例とほぼ
同様に構成されており、ラッピングテープＴの幅及び粗
さ等の種類を異ならせたものである。
同様に構成されており、ラッピングテープＴの幅及び粗
さ等の種類を異ならせたものである。
この実施例は上記構成であるから、薄円板状のワークＷ
を回転板４上に人為的又は自動的に載置し、回転板４を
図外の回転機構により回転し、ラッピングテープＴを低
速走行し、移動用シリンダツにより連結台１０、ガイド
片柘及びカムローラ４３、振動用モータ４０を経る力に
よりスライド台８を萌進し、テープ保持部５の上下用シ
リング２１により取付台１９を下降し、押圧体あにより
ラッピングテープＴを７−クＷに押圧し、振動機構３９
の振動用モータ４０により連結片４２を回転し、カムロ
ーラ４３と凹溝材との偏心係合作用によりスライド台８
を振動し、取付部材１４を介してラブピングチーブＴを
走行方向と交差する方向に振動すると、ワークＷはワー
クＷの回転、ラブピングテープＴの走行及び振動の複合
作用でラッピングされる。
を回転板４上に人為的又は自動的に載置し、回転板４を
図外の回転機構により回転し、ラッピングテープＴを低
速走行し、移動用シリンダツにより連結台１０、ガイド
片柘及びカムローラ４３、振動用モータ４０を経る力に
よりスライド台８を萌進し、テープ保持部５の上下用シ
リング２１により取付台１９を下降し、押圧体あにより
ラッピングテープＴを７−クＷに押圧し、振動機構３９
の振動用モータ４０により連結片４２を回転し、カムロ
ーラ４３と凹溝材との偏心係合作用によりスライド台８
を振動し、取付部材１４を介してラブピングチーブＴを
走行方向と交差する方向に振動すると、ワークＷはワー
クＷの回転、ラブピングテープＴの走行及び振動の複合
作用でラッピングされる。
このラッピングが終わると上下用シリンダ２１及び移動
用シリンダ戊の作動により原位置に復帰する。
用シリンダ戊の作動により原位置に復帰する。
この場合次いで他のラッピング装置４６によりラッピン
グされる。
グされる。
このためワークＷの仕上面を良好にできるとともに構造
の簡素化により装置コスト及び維持コストを低減でき、
かつ作業性を向上できる。
の簡素化により装置コスト及び維持コストを低減でき、
かつ作業性を向上できる。
この場合取付部材１４は前後傾動可能なため、ラブピン
グテープＴとワークＷとの傾き圧接状態を適正にできる
。
グテープＴとワークＷとの傾き圧接状態を適正にできる
。
本発明は上述の如く、ワークをワークの回転、ラッピン
グテープの走行及び振動の複合作用でラッピングでき、
ワークの仕上面を良好にできるとともに構造の簡素化に
より装置コスト及び維持コストを低減でき、かつ作業性
を向上できる。
グテープの走行及び振動の複合作用でラッピングでき、
ワークの仕上面を良好にできるとともに構造の簡素化に
より装置コスト及び維持コストを低減でき、かつ作業性
を向上できる。
以上、所期の目的を充分達成することができる。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は全体平
面図、第２図はその側面図、第３図はその要部の側面図
、第４図はその平断面図、第５図はその正面図、第６図
はその部分断面図である。 Ｗ・・ワーク、Ｔ・・ラッピングテープ、１・・ワーク
駆動部、４・・回転板、５・・テープ保持部、Ｕ・・押
圧体、３９・・振動機構。 昭和６２年２月１２日 出願人 株式会社 三信商エ フ１凋 ７Ｚり
面図、第２図はその側面図、第３図はその要部の側面図
、第４図はその平断面図、第５図はその正面図、第６図
はその部分断面図である。 Ｗ・・ワーク、Ｔ・・ラッピングテープ、１・・ワーク
駆動部、４・・回転板、５・・テープ保持部、Ｕ・・押
圧体、３９・・振動機構。 昭和６２年２月１２日 出願人 株式会社 三信商エ フ１凋 ７Ｚり
Claims (1)
- 板状のワークを載置可能な回転板をもつワーク駆動部と
、走行するラッピングテープをワークに押圧可能な押圧
体をもつテープ保持部と、該テープ保持部をラッピング
テープの走行方向と交差する方向に振動させる振動機構
とから成り、板状のワークをラッピングテープによりラ
ッピングすることを特徴とするラッピング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62030543A JPH07100294B2 (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | ラッピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62030543A JPH07100294B2 (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | ラッピング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200958A true JPS63200958A (ja) | 1988-08-19 |
| JPH07100294B2 JPH07100294B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=12306706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62030543A Expired - Lifetime JPH07100294B2 (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | ラッピング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07100294B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01164055U (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-15 | ||
| JPH06155270A (ja) * | 1992-11-11 | 1994-06-03 | Mitsubishi Kasei Corp | テキスチャー装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7351871B2 (ja) * | 2021-05-06 | 2023-09-27 | 本田技研工業株式会社 | 研磨装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5362296A (en) * | 1976-11-13 | 1978-06-03 | Kondo Gizaburou | Super finishing machine |
| JPS61146465A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-04 | Y A Shii Kk | フロツピ−デイスク研磨装置 |
-
1987
- 1987-02-12 JP JP62030543A patent/JPH07100294B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5362296A (en) * | 1976-11-13 | 1978-06-03 | Kondo Gizaburou | Super finishing machine |
| JPS61146465A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-04 | Y A Shii Kk | フロツピ−デイスク研磨装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01164055U (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-15 | ||
| JPH06155270A (ja) * | 1992-11-11 | 1994-06-03 | Mitsubishi Kasei Corp | テキスチャー装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07100294B2 (ja) | 1995-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2716653B2 (ja) | ウェーハの研磨装置および研磨方法 | |
| JPS63200958A (ja) | ラツピング装置 | |
| JPH05329759A (ja) | ウエハー材縁端面研磨装置 | |
| JP3368497B2 (ja) | 多軸式横型研磨機 | |
| JPH0283160A (ja) | ベルト材の研削装置 | |
| JPH0641092B2 (ja) | 光コネクタ中子の端面凸球面状研磨方法 | |
| JPS6014669B2 (ja) | 金属円板の仕上加工方法及びその装置 | |
| JP2002307276A (ja) | 半導体ウエハの外周研磨装置及び研磨方法 | |
| JPH0724720A (ja) | 両端軸状部研磨装置 | |
| JP2009004579A (ja) | 半導体ウェーハノッチ端面の研磨装置及びこれに使用する研磨ヘッド | |
| JP3012789B2 (ja) | ラッピング装置 | |
| KR101273938B1 (ko) | 하향 패드 방식의 연마장치 | |
| JP2003127051A (ja) | ウェーハエッジ研磨方法及び装置 | |
| JPH058163A (ja) | 軸状部材研磨装置 | |
| JP2630033B2 (ja) | 両面研摩装置 | |
| JP2024077414A (ja) | ドレス装置及び砥石の成形方法 | |
| JPH10128646A (ja) | 薄板円板状ワークの両面研削装置 | |
| JP3094355B2 (ja) | 湿式研磨方法およびその装置 | |
| JPH06170729A (ja) | 両面研磨装置 | |
| JP2547484B2 (ja) | 研磨装置 | |
| JPS62125538A (ja) | 磁気デイスクのラツピングヘツド | |
| JPH0417321Y2 (ja) | ||
| JPH048468A (ja) | ワーク研摩機 | |
| JPH04146072A (ja) | ステンレスコイルの鏡面研磨装置および鏡面研磨方法 | |
| JP2890772B2 (ja) | 板状体の研磨方法及びその装置 |