JPH0417321Y2 - - Google Patents
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- JPH0417321Y2 JPH0417321Y2 JP1987121969U JP12196987U JPH0417321Y2 JP H0417321 Y2 JPH0417321 Y2 JP H0417321Y2 JP 1987121969 U JP1987121969 U JP 1987121969U JP 12196987 U JP12196987 U JP 12196987U JP H0417321 Y2 JPH0417321 Y2 JP H0417321Y2
- Authority
- JP
- Japan
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- surface plate
- guide roller
- arm
- retaining ring
- polishing
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 26
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 241001397809 Hakea leucoptera Species 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この考案は、ポリツシング装置等の研磨装置に
関する。
関する。
(従来技術)
一般に、ポリツシング装置は回転する定盤を有
し、この定盤の表面と被加工物の研磨すべき面と
を保持リングにより圧接させ、両者間にポリツシ
液(スラリー)を供給して研磨加工を行う装置で
ある。
し、この定盤の表面と被加工物の研磨すべき面と
を保持リングにより圧接させ、両者間にポリツシ
液(スラリー)を供給して研磨加工を行う装置で
ある。
第4図は、この種のポリツシング装置の従来例
の斜視図を示すものである。定盤1の中央のセン
ターローラ2が配設されるとともに、定盤1の外
周上に4個のガイドローラ装置3が配設されてい
る。各ガイドローラ5と前記センターローラ2の
周面に保持リング6を保持させ、定盤1の回転に
より保持リング6に回転を与えるように構成され
ている。また、保持リング6に上方からウエイト
6aが必要に応じて加えられる。
の斜視図を示すものである。定盤1の中央のセン
ターローラ2が配設されるとともに、定盤1の外
周上に4個のガイドローラ装置3が配設されてい
る。各ガイドローラ5と前記センターローラ2の
周面に保持リング6を保持させ、定盤1の回転に
より保持リング6に回転を与えるように構成され
ている。また、保持リング6に上方からウエイト
6aが必要に応じて加えられる。
したがつて、各保持リング6に被加工物を保持
させて定盤1を回転させることにより、保持リン
グ6とともに被加工物を回転させ、定盤1に被加
工物を圧接させ研磨する。
させて定盤1を回転させることにより、保持リン
グ6とともに被加工物を回転させ、定盤1に被加
工物を圧接させ研磨する。
上記ポリシング装置では、ガイドローラの位置
が固定されていたため、自動化を図る上で困難で
あつた。このため、本出願人は、ガイドローラが
可動するポリシング装置を案出している(実公昭
62−28363号、この考案は、第5図に示すように、
アーム7の先端にシリンダ8を設け、このシリン
ダ8の駆動軸8aの先端にガイドローラ9を連繋
したものである。この考案では、シリンダ8を駆
動することにより、ガイドローラ9を上昇させ
て、被加工物を定盤と共に移動させることができ
る。
が固定されていたため、自動化を図る上で困難で
あつた。このため、本出願人は、ガイドローラが
可動するポリシング装置を案出している(実公昭
62−28363号、この考案は、第5図に示すように、
アーム7の先端にシリンダ8を設け、このシリン
ダ8の駆動軸8aの先端にガイドローラ9を連繋
したものである。この考案では、シリンダ8を駆
動することにより、ガイドローラ9を上昇させ
て、被加工物を定盤と共に移動させることができ
る。
(考案が解決しようとする課題)
しかしながら、上記従来の研磨装置には以下の
課題がある。
課題がある。
シリンダ8が設けられたアーム7の先端が定盤
の上方に位置しているので、ガイドローラ9を上
下動させる際に、駆動軸8aが摺動して微小なゴ
ミが発生し、定盤上に落ちて加工不良の原因にな
る。また、ポリシング液としてのスラリーがシリ
ンダの可動部分に付着して作動不良の原因にな
る。
の上方に位置しているので、ガイドローラ9を上
下動させる際に、駆動軸8aが摺動して微小なゴ
ミが発生し、定盤上に落ちて加工不良の原因にな
る。また、ポリシング液としてのスラリーがシリ
ンダの可動部分に付着して作動不良の原因にな
る。
また、アーム7の先端にシリンダ8が設けられ
ているので、アーム7の先端が重くなり、アーム
7だけでなく枢軸等にも大きな負担がかかつてし
まう。
ているので、アーム7の先端が重くなり、アーム
7だけでなく枢軸等にも大きな負担がかかつてし
まう。
そこで、この考案は、上記課題を解決するもの
であり、定盤上へのゴミなどの落下等を防止した
研磨装置を提供することを目的とする。
であり、定盤上へのゴミなどの落下等を防止した
研磨装置を提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段)
この考案は上記課題を解決するために次の構成
を備えてなる。
を備えてなる。
すなわち、定盤の中心にセンターローラを配置
するとともに、定盤の周縁近傍に位置するガイド
ローラを有するガイドローラ装置を配置し、被加
工物を保持した保持リングを定盤上に載置し、定
盤を回転することにより、定盤の所定位置で前記
センターローラとガイドローラとの周面に保持リ
ングを当接させるとともに、定盤の回転により保
持リングを自転させ被加工物を研磨する研磨装置
において、 前記ガイドローラ装置は、 先端が定盤周縁の上方に位置し、基部側が定盤
外方の基台上に延出するアームを有し、 該アームの先端に前記ガイドローラが設けら
れ、 前記アームをガイドローラと共に定盤の表面に
対して接離する方向に移動するアームのシリンダ
装置を前記基台側に設け、該アームのシリンダ装
置によりガイドローラが保持リングに当接する位
置と、非当接位置とにわたつて移動可能としたこ
とを特徴とする。
するとともに、定盤の周縁近傍に位置するガイド
ローラを有するガイドローラ装置を配置し、被加
工物を保持した保持リングを定盤上に載置し、定
盤を回転することにより、定盤の所定位置で前記
センターローラとガイドローラとの周面に保持リ
ングを当接させるとともに、定盤の回転により保
持リングを自転させ被加工物を研磨する研磨装置
において、 前記ガイドローラ装置は、 先端が定盤周縁の上方に位置し、基部側が定盤
外方の基台上に延出するアームを有し、 該アームの先端に前記ガイドローラが設けら
れ、 前記アームをガイドローラと共に定盤の表面に
対して接離する方向に移動するアームのシリンダ
装置を前記基台側に設け、該アームのシリンダ装
置によりガイドローラが保持リングに当接する位
置と、非当接位置とにわたつて移動可能としたこ
とを特徴とする。
(作用)
次に、作用について述べる。
ポリシング時には、保持リングをセンターロー
ラと定盤上方に位置するガイドローラで保持す
る。
ラと定盤上方に位置するガイドローラで保持す
る。
そして、保持リングを取り出す際には、基台側
に設けられた上下動手段により、ガイドローラを
アームと共に上方に移動させ、保持リングを定盤
と共に移動可能とする。
に設けられた上下動手段により、ガイドローラを
アームと共に上方に移動させ、保持リングを定盤
と共に移動可能とする。
(実施例)
以下この考案の好適な実施例を添付図面に基づ
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
第1図はガイドローラ装置を示す部分断面側面
図である。第2図はガイドローラ装置の平面図で
ある。
図である。第2図はガイドローラ装置の平面図で
ある。
ポリツシング装置の基台中央に定盤10が配置
され、この定盤10の外周部に臨んでガイドロー
ラ装置12が設けられている。
され、この定盤10の外周部に臨んでガイドロー
ラ装置12が設けられている。
定盤10に配置された保持リング14の側面に
接触して保持リング14を回転保持するガイドロ
ーラ16を有するガイドローラユニツト18がア
ーム20の先端に回転可能に支持されている。
接触して保持リング14を回転保持するガイドロ
ーラ16を有するガイドローラユニツト18がア
ーム20の先端に回転可能に支持されている。
前記アーム20の後端は、定盤10の周囲の本
体22上面に固定された固定ベース30の上面を
スライドするスライドベース32上に回動可能に
枢着されている。また、固定ベース30とスライ
ドベース32とはアリとアリ溝係合によりスライ
ド可能に設けられている。さらに、固定ベース3
0はボルト31により固定され、このボルト31
の頭部31aはスライドベース32の透孔32a
を貫通し、ワツシヤ33を介してボルト31でス
ライドベース32の位置を固定できる。
体22上面に固定された固定ベース30の上面を
スライドするスライドベース32上に回動可能に
枢着されている。また、固定ベース30とスライ
ドベース32とはアリとアリ溝係合によりスライ
ド可能に設けられている。さらに、固定ベース3
0はボルト31により固定され、このボルト31
の頭部31aはスライドベース32の透孔32a
を貫通し、ワツシヤ33を介してボルト31でス
ライドベース32の位置を固定できる。
そして、固定ベース30の後端に側面L字状の
規制板36が固定されるとともに、この規制板3
6の上端にネジ38が螺合し、このネジ38の先
端がスライドベース30に当接している。このた
め、ネジ38を回動させることにより、ネジ38
の先端がスライドベース32を押し、スライドベ
ース32を前後動させる。これに伴なつて、アー
ム20およびガイドローラユニツト18が前後動
する。
規制板36が固定されるとともに、この規制板3
6の上端にネジ38が螺合し、このネジ38の先
端がスライドベース30に当接している。このた
め、ネジ38を回動させることにより、ネジ38
の先端がスライドベース32を押し、スライドベ
ース32を前後動させる。これに伴なつて、アー
ム20およびガイドローラユニツト18が前後動
する。
前記スライドベース30の側方に2つの壁体2
6a,26aが起立し、この壁体26a,26a
に軸28が架設され、そして前述するようにアー
ム20の後端が軸止めされている。また、アーム
20の中途部に、上下に貫通するボルト21が螺
合してこの下端が固定ベース30上面に当接して
いる。そして、ボルト21の調整によりアーム2
0の水平を調節することができる。
6a,26aが起立し、この壁体26a,26a
に軸28が架設され、そして前述するようにアー
ム20の後端が軸止めされている。また、アーム
20の中途部に、上下に貫通するボルト21が螺
合してこの下端が固定ベース30上面に当接して
いる。そして、ボルト21の調整によりアーム2
0の水平を調節することができる。
さらに、アーム20は上下動手段により上下動
させられる。すなわち、固定ベース30の前部に
本体22内部からシヤフト34が突出し、シヤフ
ト34の先端に設けられたシヤフトキヤツプ34
aを介して当接している。また、シヤフト34の
後端は本体22内部のシリンダ25に連繋してい
る。また、シヤフト34は固定ベース30に設け
られたピンブツシユ37a,Oリング37bを介
して支持されている。このため、前記シリンダ2
5を駆動するとシヤフト34が上昇し、これに伴
つてアーム20が軸28を介して垂直面内で回動
する。
させられる。すなわち、固定ベース30の前部に
本体22内部からシヤフト34が突出し、シヤフ
ト34の先端に設けられたシヤフトキヤツプ34
aを介して当接している。また、シヤフト34の
後端は本体22内部のシリンダ25に連繋してい
る。また、シヤフト34は固定ベース30に設け
られたピンブツシユ37a,Oリング37bを介
して支持されている。このため、前記シリンダ2
5を駆動するとシヤフト34が上昇し、これに伴
つてアーム20が軸28を介して垂直面内で回動
する。
また、アーム20の先端に孔20bが穿設され
この孔20bに軸40が貫通し、この軸40の上
端がワツシヤ52を介してキヤツプスクリユウ5
4が螺合し、軸40が強固に固定されている。こ
の軸40下端にボールベアリング42が嵌着し、
このボールベアリング42を下方から下ベアリン
グケース44で覆うとともに、上方からベアリン
グキヤツプ46で覆つている。このベアリングキ
ヤツプ46と下ベアリングケース44をボルト4
5で一体に形成してベアリングケースを構成して
いる。そして、下ベアリングケース44の下部に
段差部44aが形成され、前記ガイドローラ16
の内周面は下ベアリングケース44の外周面に倣
つており、ガイドローラ16が下ベアリングケー
ス44に嵌着している。また、ガイドローラ16
は、ベアリングキヤツプ46により固定されてい
る。さらに、ガイドローラ16を保護するキヤツ
プ50が軸40の中途部に嵌着している。
この孔20bに軸40が貫通し、この軸40の上
端がワツシヤ52を介してキヤツプスクリユウ5
4が螺合し、軸40が強固に固定されている。こ
の軸40下端にボールベアリング42が嵌着し、
このボールベアリング42を下方から下ベアリン
グケース44で覆うとともに、上方からベアリン
グキヤツプ46で覆つている。このベアリングキ
ヤツプ46と下ベアリングケース44をボルト4
5で一体に形成してベアリングケースを構成して
いる。そして、下ベアリングケース44の下部に
段差部44aが形成され、前記ガイドローラ16
の内周面は下ベアリングケース44の外周面に倣
つており、ガイドローラ16が下ベアリングケー
ス44に嵌着している。また、ガイドローラ16
は、ベアリングキヤツプ46により固定されてい
る。さらに、ガイドローラ16を保護するキヤツ
プ50が軸40の中途部に嵌着している。
第3図は、ポリツシング装置の部分平面図を示
す。固定ベース30の先端部は平面三角形状に形
成され、その側面から補助アーム59が延出し、
この下面にリミツトスイツチ(図示せず)が設け
られている。このリミツトスイツチは定盤10上
の保持リング14の通過を感知するものである。
す。固定ベース30の先端部は平面三角形状に形
成され、その側面から補助アーム59が延出し、
この下面にリミツトスイツチ(図示せず)が設け
られている。このリミツトスイツチは定盤10上
の保持リング14の通過を感知するものである。
次の、上記研磨装置の動作について述べる。
定盤10の中央に回動可能なセンターローラ6
0が配置され、定盤10の周囲には前述するよう
にガイドローラ装置12が配置されている。定盤
10は反時針方向に回転し、この定盤10に載置
された保持リング14が定盤10とともに移動す
るのを防止するようにガイドローラ16が位置し
ている。このため、保持リング14はセンターロ
ーラ60とガイドローラ16とにくい込むように
圧接され、摩擦力によつて自転する。この回転の
間に定盤10の表面がポリツシ液を介在させて被
加工物の加工面に接触し、研磨加工が行われる。
0が配置され、定盤10の周囲には前述するよう
にガイドローラ装置12が配置されている。定盤
10は反時針方向に回転し、この定盤10に載置
された保持リング14が定盤10とともに移動す
るのを防止するようにガイドローラ16が位置し
ている。このため、保持リング14はセンターロ
ーラ60とガイドローラ16とにくい込むように
圧接され、摩擦力によつて自転する。この回転の
間に定盤10の表面がポリツシ液を介在させて被
加工物の加工面に接触し、研磨加工が行われる。
そして、被加工物の加工終了後、シリンダ25
を駆動して、シヤフト34を介してアーム20を
押上げ、保持リング14を定盤10上で移動可能
とし、保持リング14および被加工物を側方から
取り出すことができる。また、保持リング14お
よび被加工物を一定位置から定盤10に供給し、
奥部のガイドローラ装置12から順次セツトし、
供給した保持リング14を保持するようにすれば
良い。この場合、補助アーム59に設けたリミツ
トスイツチを用いることにより、保持リング14
の自動供給が一層容易となる。すなわち、リミツ
トスイツチが保持リング14の通過の有無を確認
し、これに連動してシリンダが駆動することによ
り保持リング14の自動供給が実現できる。
を駆動して、シヤフト34を介してアーム20を
押上げ、保持リング14を定盤10上で移動可能
とし、保持リング14および被加工物を側方から
取り出すことができる。また、保持リング14お
よび被加工物を一定位置から定盤10に供給し、
奥部のガイドローラ装置12から順次セツトし、
供給した保持リング14を保持するようにすれば
良い。この場合、補助アーム59に設けたリミツ
トスイツチを用いることにより、保持リング14
の自動供給が一層容易となる。すなわち、リミツ
トスイツチが保持リング14の通過の有無を確認
し、これに連動してシリンダが駆動することによ
り保持リング14の自動供給が実現できる。
なお、上記実施例ではガイドローラ装置のリミ
ツトスイツチは必ずしも必要ない。また、上記実
施例でアームを一端において回動可能とし、この
アームの下方からシヤフトで押し上げてガイドロ
ーラを移動させたが、アームをガイドローラと共
に水平状態で前記上下動手段により上下動させる
ようにしても良いなど、考案の精神を逸脱しない
範囲内で多くの改変を施し得ることは勿論であ
る。
ツトスイツチは必ずしも必要ない。また、上記実
施例でアームを一端において回動可能とし、この
アームの下方からシヤフトで押し上げてガイドロ
ーラを移動させたが、アームをガイドローラと共
に水平状態で前記上下動手段により上下動させる
ようにしても良いなど、考案の精神を逸脱しない
範囲内で多くの改変を施し得ることは勿論であ
る。
(考案の効果)
この考案は上述するように構成され、次に示す
ような著効を奏する。
ような著効を奏する。
アームの後端側の基台に上下動手段が設けら
れているので、従来のように微小なゴミが発生
し、定盤上に落ちて加工不良の原因になること
がない。
れているので、従来のように微小なゴミが発生
し、定盤上に落ちて加工不良の原因になること
がない。
また、ポリシング液としてのスラリーがシリ
ンダの可動部分に付着して作動不良の原因にな
ることもない。
ンダの可動部分に付着して作動不良の原因にな
ることもない。
さらに、アーム先端にシリンダが設けられて
いないので、アーム先端に大きな負担がかかる
ことがない。
いないので、アーム先端に大きな負担がかかる
ことがない。
第1図はこの考案の研磨装置のガイドローラ装
置の断面側面図、第2図ガイドローラ装置の平面
図、第3図は研磨装置の部分平面図、第4図は従
来の研磨装置の斜視図、第5図はガイドローラの
部分断面側面図を示す。 10……定盤、12……ガイドローラ装置、1
4……保持リング、16……ガイドローラ、18
……ガイドローラユニツト、20……アーム、2
2……フレーム、25……シリンダ。
置の断面側面図、第2図ガイドローラ装置の平面
図、第3図は研磨装置の部分平面図、第4図は従
来の研磨装置の斜視図、第5図はガイドローラの
部分断面側面図を示す。 10……定盤、12……ガイドローラ装置、1
4……保持リング、16……ガイドローラ、18
……ガイドローラユニツト、20……アーム、2
2……フレーム、25……シリンダ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 定盤の中心にセンターローラを配置するととも
に、定盤の周縁近傍に位置するガイドローラを有
するガイドローラ装置を配置し、被加工物を保持
した保持リングを定盤上に載置し、定盤を回転す
ることにより、定盤の所定位置で前記センターロ
ーラとガイドローラとの周面に保持リングを当接
させるとともに、定盤の回転により保持リングを
自転させ被加工物を研磨する研磨装置において、 前記ガイドローラ装置は、 先端が定盤周縁の上方に位置し、基部側が定盤
外方の基台上に延出するアームを有し、 該アームの先端に前記ガイドローラが設けら
れ、 前記アームをガイドローラと共に定盤の表面に
対して接離する方向に移動するアームのシリンダ
装置を前記基台側に設け、該アームのシリンダ装
置によりガイドローラが保持リングに当接する位
置と、非当接位置とにわたつて移動可能としたこ
とを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987121969U JPH0417321Y2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987121969U JPH0417321Y2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6426146U JPS6426146U (ja) | 1989-02-14 |
JPH0417321Y2 true JPH0417321Y2 (ja) | 1992-04-17 |
Family
ID=31369465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987121969U Expired JPH0417321Y2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0417321Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4934094A (ja) * | 1972-07-31 | 1974-03-29 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6067848U (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-14 | 不二越機械工業株式会社 | 研磨装置 |
-
1987
- 1987-08-07 JP JP1987121969U patent/JPH0417321Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4934094A (ja) * | 1972-07-31 | 1974-03-29 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6426146U (ja) | 1989-02-14 |
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