JPH01239439A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPH01239439A JPH01239439A JP63065338A JP6533888A JPH01239439A JP H01239439 A JPH01239439 A JP H01239439A JP 63065338 A JP63065338 A JP 63065338A JP 6533888 A JP6533888 A JP 6533888A JP H01239439 A JPH01239439 A JP H01239439A
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 10
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2557/00—Means for control not provided for in groups B65H2551/00 - B65H2555/00
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- B65H2557/62—Details of processes or procedures for web tracking, i.e. retrieving a certain position of a web
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- G—PHYSICS
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- G01N2021/8909—Scan signal processing specially adapted for inspection of running sheets
- G01N2021/8912—Processing using lane subdivision
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- G—PHYSICS
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- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N2021/8927—Defects in a structured web
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウェブ等の被検査体を連続走行させながら、
この被検査体の表面に存在する欠陥部分を光電検出して
評価する表面検査装置に関するものである。
この被検査体の表面に存在する欠陥部分を光電検出して
評価する表面検査装置に関するものである。
フィルム、紙、薄板等のような連続走行するシート状物
の表面に存在する欠陥を検出するために種々の表面検査
装置が知られているが、こうした表面検査装置の中でも
、被検査体の表面にレーザによる走査光を照射してその
反射光や透過光を受光器により光電検出し、この光電検
出信号によって表面欠陥の有無を評価するようにしたも
のは、無接触でしかも高速で検査できるため製造ライン
等には多く採用されてきている。
の表面に存在する欠陥を検出するために種々の表面検査
装置が知られているが、こうした表面検査装置の中でも
、被検査体の表面にレーザによる走査光を照射してその
反射光や透過光を受光器により光電検出し、この光電検
出信号によって表面欠陥の有無を評価するようにしたも
のは、無接触でしかも高速で検査できるため製造ライン
等には多く採用されてきている。
このような光電式の表面検査装置においては、光電検出
信号を取り出した後、フィルタ回路でフィルタリングを
行い、この処理済みの信号を２値化回路に送っている。
信号を取り出した後、フィルタ回路でフィルタリングを
行い、この処理済みの信号を２値化回路に送っている。
そして、ここで定められたスレ・ノシュホールドレベル
（以下、ＴＨＬＤという）によって光電信号が２値化さ
れ、欠陥有無のデジタル信号に変換されるようになって
いる。
（以下、ＴＨＬＤという）によって光電信号が２値化さ
れ、欠陥有無のデジタル信号に変換されるようになって
いる。
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、表面検査される被検査体の中には、表面が一
様である物ばかりでなく、第６図（ａ）に示すように走
行方向にかけて連続的に同しパターンで異質または異色
部が続くものや、第６図（ｂ）に示すように同じパター
ンで凹凸が続りヨうなものがある。このようなパターン
をもつ被検査体においては、第７図（ａ）または第８図
（ａ）に示したような光電信号が得られる。そして、こ
のような光電信号が入力されるフィルタ回路の出力には
、第７図（ｂ）または第８図（ｂ）に示したような特異
ノイズが定常的に発生してしまう。この特異ノイズを避
けて欠陥を検出しようとすると、ＴＨＬＤを第７図（ｂ
）または第８図（ｂ）に点線で示したように特異ノイズ
の大きさ以上に設定しなければならず、Ｔ ＨＬ Ｄは
かなり高いレベルになってしまう。したがって、欠陥に
よる信号はこのＴＨＬＤ以上でなければ検出されないこ
とになるため、欠陥検出感度は鈍くなってしまう。
様である物ばかりでなく、第６図（ａ）に示すように走
行方向にかけて連続的に同しパターンで異質または異色
部が続くものや、第６図（ｂ）に示すように同じパター
ンで凹凸が続りヨうなものがある。このようなパターン
をもつ被検査体においては、第７図（ａ）または第８図
（ａ）に示したような光電信号が得られる。そして、こ
のような光電信号が入力されるフィルタ回路の出力には
、第７図（ｂ）または第８図（ｂ）に示したような特異
ノイズが定常的に発生してしまう。この特異ノイズを避
けて欠陥を検出しようとすると、ＴＨＬＤを第７図（ｂ
）または第８図（ｂ）に点線で示したように特異ノイズ
の大きさ以上に設定しなければならず、Ｔ ＨＬ Ｄは
かなり高いレベルになってしまう。したがって、欠陥に
よる信号はこのＴＨＬＤ以上でなければ検出されないこ
とになるため、欠陥検出感度は鈍くなってしまう。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
のであり、走行方向に連続的なパターンをもつ被検査体
を検査する際に、良好な感度で表面の欠陥のみを検出す
ることができるようにした表面検査装置を提供すること
を目的とする。
のであり、走行方向に連続的なパターンをもつ被検査体
を検査する際に、良好な感度で表面の欠陥のみを検出す
ることができるようにした表面検査装置を提供すること
を目的とする。
〔問題点を解決するための手段］
本発明は上記目的を達成するために、被検査体の反射光
あるいは透過光から得られる検査情報をレーン分割手段
によって走査レーンごとに分割し、レーン指定手段で指
定された走査レーンに属する検査情報だけを検査手段に
より評価対象とすることができるようにしたものである
。
あるいは透過光から得られる検査情報をレーン分割手段
によって走査レーンごとに分割し、レーン指定手段で指
定された走査レーンに属する検査情報だけを検査手段に
より評価対象とすることができるようにしたものである
。
また、前記レーン指定手段および検査手段を少なくとも
２組ずつ設け、これらの検査手段が検査情報を評価する
ときに用いる閾値をそれぞれ異なったレベルにしておく
ことも本発明を実施する上で有効な手段となる。
２組ずつ設け、これらの検査手段が検査情報を評価する
ときに用いる閾値をそれぞれ異なったレベルにしておく
ことも本発明を実施する上で有効な手段となる。
上記構成によれば、長尺状の被検査体の走行方向にかけ
て連続的なパターンがある場合には、このパターンに基
づいて、被検査体の走行方向に対応する複数の走行レー
ンに分割し、この分割された走査レーンの中で、前記連
続的なパターンが属する走査レーンを除外した残りの走
査レーンを指定する。そして被検査体を連続走行させ、
幅方向に走査して得られる反射または透過光を受光部で
受光し、この光電信号から得られる検査情報について、
予め指定しておいた所定の走査レーンの検査情報のみを
選択的に取り出し、これを検査して表面の欠陥を検出す
ることによって、前記連続的なパターンによって発生さ
れる凝似欠陥信号を除去することができるようになる。
て連続的なパターンがある場合には、このパターンに基
づいて、被検査体の走行方向に対応する複数の走行レー
ンに分割し、この分割された走査レーンの中で、前記連
続的なパターンが属する走査レーンを除外した残りの走
査レーンを指定する。そして被検査体を連続走行させ、
幅方向に走査して得られる反射または透過光を受光部で
受光し、この光電信号から得られる検査情報について、
予め指定しておいた所定の走査レーンの検査情報のみを
選択的に取り出し、これを検査して表面の欠陥を検出す
ることによって、前記連続的なパターンによって発生さ
れる凝似欠陥信号を除去することができるようになる。
。
以下、本発明の表面検査方法および装置の一実施例につ
いて、図面を参照して説明する。
いて、図面を参照して説明する。
〔実施例］
本発明を用いた表面検査装置の基本構成を概略的に示し
た第１図において、被検査体であるウェブ１は矢印２方
向に走行され、その表面には図中布から左へ向かって走
査される走査光３が照射される。この走査光３は、レー
ザ光源４からのレーザ光をレンズ５で収斂させながら、
回転多面鏡６に入射させることによって得られる。この
回転多面鏡６は、ドライバ９によって駆動される。
た第１図において、被検査体であるウェブ１は矢印２方
向に走行され、その表面には図中布から左へ向かって走
査される走査光３が照射される。この走査光３は、レー
ザ光源４からのレーザ光をレンズ５で収斂させながら、
回転多面鏡６に入射させることによって得られる。この
回転多面鏡６は、ドライバ９によって駆動される。
ウェブ１の表面ぞ反射された検査光は、受光器１０で受
光される。受光器１０は検査光の強度に比例した光電信
号を出力し、フィルタ回路１１へと供給される。フィル
タ回路１１は、第２図■に示すように光電信号に含まれ
る直流成分を除き、微分変化分だけを取り出してこれを
２値化回路１２に供給する。２値化回路１２は、第２図
に示すようにＴＨＬＤによってフィルタ回路出力信号■
を２値化し、Ｔ ＨＬ Ｄ以上の信号が検出されたとき
にｒＨ，レベルの検査信号を出力し、これを選択検査部
１５に供給する。このＴＨＬＤは、キーボード１９のＴ
ＨＬＤ調節キー１９ａを調節することにより、コンピュ
ータ８を介してそのレベルを３周節することができる。
光される。受光器１０は検査光の強度に比例した光電信
号を出力し、フィルタ回路１１へと供給される。フィル
タ回路１１は、第２図■に示すように光電信号に含まれ
る直流成分を除き、微分変化分だけを取り出してこれを
２値化回路１２に供給する。２値化回路１２は、第２図
に示すようにＴＨＬＤによってフィルタ回路出力信号■
を２値化し、Ｔ ＨＬ Ｄ以上の信号が検出されたとき
にｒＨ，レベルの検査信号を出力し、これを選択検査部
１５に供給する。このＴＨＬＤは、キーボード１９のＴ
ＨＬＤ調節キー１９ａを調節することにより、コンピュ
ータ８を介してそのレベルを３周節することができる。
第７図（ａ）に示したように、ウェブ１が走行方向に連
続的なパターンをもつ場合には、このパターンに基づい
てウェブ１の走行方向に対応するように１走査を複数の
走査レーンに分割する必要がある。例えば第２図■に示
ずように、１走査を７つの走査レーンに分割し、これら
の分割したレーンのそれぞれに対して、左側のレーンか
ら順にレーンＮαを１．２．３・・・と付けたとすると
、これらの中でパターンによる特異ノイズが表れない範
囲、すなわち第１．３，５．７レーンの範囲のみが有効
に扱われるように、キーボード１９の英数字キー１９ｂ
を操作して指令する。また、第７図（ｂ）に示すように
凹凸パターンのあるウェブ１の場合も、同様に走査レー
ンの分割および有効となる走査レーンの指定を行う。な
お、このキーボード１９を操作して指令を行う際に、ウ
ェブ１の仕様を参考にすると簡単に行うことができる。
続的なパターンをもつ場合には、このパターンに基づい
てウェブ１の走行方向に対応するように１走査を複数の
走査レーンに分割する必要がある。例えば第２図■に示
ずように、１走査を７つの走査レーンに分割し、これら
の分割したレーンのそれぞれに対して、左側のレーンか
ら順にレーンＮαを１．２．３・・・と付けたとすると
、これらの中でパターンによる特異ノイズが表れない範
囲、すなわち第１．３，５．７レーンの範囲のみが有効
に扱われるように、キーボード１９の英数字キー１９ｂ
を操作して指令する。また、第７図（ｂ）に示すように
凹凸パターンのあるウェブ１の場合も、同様に走査レー
ンの分割および有効となる走査レーンの指定を行う。な
お、このキーボード１９を操作して指令を行う際に、ウ
ェブ１の仕様を参考にすると簡単に行うことができる。
一方、走査光が基点位置にきたことを検出するために、
ホトデテクタ１６が設けられており、このホトデテクタ
１６に走査光が照射されることにより、ホトデテクタ１
６は第５図■に示すような光電信号を出力し、これをレ
ーン指定信号発生回路１８に供給する。このレーン分割
信号発生回路１８は、前記キーボード１９の操作によっ
てコンピュータ８から指令信号が入力されると、これら
の指令信号の内容を内部に設けられである記憶部に記憶
しておく。そして、これに基づいて第２図■に示すよう
な検査する走査レーンをｒＨ，レベルで表したレーン指
定信号を選択検査部１５に送る。このタイミングは、前
記ホトデテクタ１６からの信号■により決定され、信号
■が入力されてから一定時間後、すなわちホトデテクタ
１６とウェブｌとの間の距離に対応する時間後に、レー
ン指定信号■が出力される。
ホトデテクタ１６が設けられており、このホトデテクタ
１６に走査光が照射されることにより、ホトデテクタ１
６は第５図■に示すような光電信号を出力し、これをレ
ーン指定信号発生回路１８に供給する。このレーン分割
信号発生回路１８は、前記キーボード１９の操作によっ
てコンピュータ８から指令信号が入力されると、これら
の指令信号の内容を内部に設けられである記憶部に記憶
しておく。そして、これに基づいて第２図■に示すよう
な検査する走査レーンをｒＨ，レベルで表したレーン指
定信号を選択検査部１５に送る。このタイミングは、前
記ホトデテクタ１６からの信号■により決定され、信号
■が入力されてから一定時間後、すなわちホトデテクタ
１６とウェブｌとの間の距離に対応する時間後に、レー
ン指定信号■が出力される。
この選択検査部１５は、レーン指定信号発生回路１８か
らのレーン指定信号■がｒＨ，である期間中においての
み２値化回路１２から送られてくる検査信号■を有効に
扱う。すなわち、２値化回路１２からの検査信号■がｒ
Ｈ，レベルである時に、「Ｈｊレベルの選択検出信号■
をコンピュータ８に供給する。
らのレーン指定信号■がｒＨ，である期間中においての
み２値化回路１２から送られてくる検査信号■を有効に
扱う。すなわち、２値化回路１２からの検査信号■がｒ
Ｈ，レベルである時に、「Ｈｊレベルの選択検出信号■
をコンピュータ８に供給する。
コンピュータ８は、選択検査部１５からの選択検出信号
■に基づいて、選択された走査レーンにおける欠陥部の
分布を評価する。また、コンピュータ８には、エンコー
ダ５０からのラインスピードパルスが人力される。コン
ピュータ８は、この信号により予め設定されたデータセ
ル、すなわちウェブ１の単位長さの通過を検知する。プ
リンタ４０は、コンピュータ８で行われた評価の結果お
よびデータセルの位置情報をプリントアウトする。
■に基づいて、選択された走査レーンにおける欠陥部の
分布を評価する。また、コンピュータ８には、エンコー
ダ５０からのラインスピードパルスが人力される。コン
ピュータ８は、この信号により予め設定されたデータセ
ル、すなわちウェブ１の単位長さの通過を検知する。プ
リンタ４０は、コンピュータ８で行われた評価の結果お
よびデータセルの位置情報をプリントアウトする。
以下、上記構成を有する表面検査装置の作用について第
２図を参照して説明する。検査するウェブ１を観察して
第７図（ａ）に示すように縞状のパターンをもつことが
認められた場合は、キーボード１９の英数字キー１９ｂ
を操作し、１走査範囲を縞状のパターンにしたがって７
つの走査レーンに分割するとともに、この中で第１．３
．５．７レーンの範囲のみが有効に扱われるように指示
する。このキーボード１９からの指令信号は、コンピュ
ータ８を介してレーン分割信号発生回路１８に送られ、
この中に設けられた記憶部に記憶される。
２図を参照して説明する。検査するウェブ１を観察して
第７図（ａ）に示すように縞状のパターンをもつことが
認められた場合は、キーボード１９の英数字キー１９ｂ
を操作し、１走査範囲を縞状のパターンにしたがって７
つの走査レーンに分割するとともに、この中で第１．３
．５．７レーンの範囲のみが有効に扱われるように指示
する。このキーボード１９からの指令信号は、コンピュ
ータ８を介してレーン分割信号発生回路１８に送られ、
この中に設けられた記憶部に記憶される。
ドライバ９により回転多面鏡６を始動させ、レーザ光源
４をＯＮすることにより、レーザ光源４から照射されレ
ンズ５で収斂された光が、回転多面鏡６によってウェブ
１方向に向けて反射され、走査が開始される。最初にホ
トデテクタ１６に光が入射されて走査光が基点位置にき
たことが検出されると、ホトデテクタ１６からの信号■
がレーン指定信号発生回路１８に人力される。レーン指
定信号発生回路１８は、信号■が送られてきた一定時間
後に、前記コンピュータ８からの指令に基づいてレーン
指定信号■を選択検査部１５に供給する。
４をＯＮすることにより、レーザ光源４から照射されレ
ンズ５で収斂された光が、回転多面鏡６によってウェブ
１方向に向けて反射され、走査が開始される。最初にホ
トデテクタ１６に光が入射されて走査光が基点位置にき
たことが検出されると、ホトデテクタ１６からの信号■
がレーン指定信号発生回路１８に人力される。レーン指
定信号発生回路１８は、信号■が送られてきた一定時間
後に、前記コンピュータ８からの指令に基づいてレーン
指定信号■を選択検査部１５に供給する。
走行されるウェブ１の表面に走査光３が照射されると、
この走査光３はウェブ１で反射されて受光器１０で受光
される。受光器１０は、この検査光の強度に比例した光
電信号をフィルタ回路１１に供給する。２値化回路１２
は、フィルタ回路１１を介して送られてきた信号■が設
定されたＴＨＬＤ以上である時に、ｒＨ，レベルとなる
検査信号■を選択記憶部１５に入力する。
この走査光３はウェブ１で反射されて受光器１０で受光
される。受光器１０は、この検査光の強度に比例した光
電信号をフィルタ回路１１に供給する。２値化回路１２
は、フィルタ回路１１を介して送られてきた信号■が設
定されたＴＨＬＤ以上である時に、ｒＨ，レベルとなる
検査信号■を選択記憶部１５に入力する。
選択検査部１５は、レーン指定信号発生回路１８からの
レーン指定信号■が「Ｉ（」レベル期間中で、２値化回
路１２からの検査信号■がｒＨ，レベルとなった時に「
Ｈ」レベルの選択検出信号■を出力し、これをコンピュ
ータ８に供給スル。
レーン指定信号■が「Ｉ（」レベル期間中で、２値化回
路１２からの検査信号■がｒＨ，レベルとなった時に「
Ｈ」レベルの選択検出信号■を出力し、これをコンピュ
ータ８に供給スル。
コンピュータ８は、選択検査部１５からの選択検出信号
■に基づいて、選択された走査レーンにおける欠陥部の
分布を評価する。この評価の結果は、データセルの位置
情報とともにプリンタ４０でプリントアウトされるが、
この際にキーボード１９のＴＨＬＤｇ周節キー１９ａを
調節することにより、表面欠陥検出の感度を調節するこ
とができる。コンピュータ８で出力される評価の結果の
データセル部分については不良箇所として判別できる。
■に基づいて、選択された走査レーンにおける欠陥部の
分布を評価する。この評価の結果は、データセルの位置
情報とともにプリンタ４０でプリントアウトされるが、
この際にキーボード１９のＴＨＬＤｇ周節キー１９ａを
調節することにより、表面欠陥検出の感度を調節するこ
とができる。コンピュータ８で出力される評価の結果の
データセル部分については不良箇所として判別できる。
別の実施例においては、第４図に示すようなパターンを
持つウェブ１の場合の表面検査方法および装置について
述べられる。すなわち、ある程度広い幅で複数の面状態
をもつパターンの場合のフィルタ回路出力波形において
は、例えば第５図［相］に示すように面状態Ａおよび面
状態Ｂの正常面におけるノイズのレベルが必ずしも一致
しない。このため面状態Ａおよび面状態Ｂにおける欠陥
をそれぞれ検出したい場合には、面状態Ａに対する最適
ＴＨＬＤと、面状態Ｂに対する最適ＴＨＬＤが存在する
ことになる。また、面状態Ａと面状態Ｂとの境界で定常
的な特異ノイズが表れるため、上記実施例で説明したよ
うに、所定の走査レーンについての検査信号のみを選択
的に取り出す必要もある。したがって、例えば第４図に
示したパターンに基づいて、キーボード１９の英数字キ
ー１９ｂを操作し、第５図■および＠に示すように１走
査を５つの走査レーンに分割するとともに、境界を除い
た面状態ＡではレーンＮα１．５の検査信号のみが扱わ
れ、境界を除いた面状態ＢではレーンＮｏ、 ３の検査
信号のみが扱われるように指令を行う。
持つウェブ１の場合の表面検査方法および装置について
述べられる。すなわち、ある程度広い幅で複数の面状態
をもつパターンの場合のフィルタ回路出力波形において
は、例えば第５図［相］に示すように面状態Ａおよび面
状態Ｂの正常面におけるノイズのレベルが必ずしも一致
しない。このため面状態Ａおよび面状態Ｂにおける欠陥
をそれぞれ検出したい場合には、面状態Ａに対する最適
ＴＨＬＤと、面状態Ｂに対する最適ＴＨＬＤが存在する
ことになる。また、面状態Ａと面状態Ｂとの境界で定常
的な特異ノイズが表れるため、上記実施例で説明したよ
うに、所定の走査レーンについての検査信号のみを選択
的に取り出す必要もある。したがって、例えば第４図に
示したパターンに基づいて、キーボード１９の英数字キ
ー１９ｂを操作し、第５図■および＠に示すように１走
査を５つの走査レーンに分割するとともに、境界を除い
た面状態ＡではレーンＮα１．５の検査信号のみが扱わ
れ、境界を除いた面状態ＢではレーンＮｏ、 ３の検査
信号のみが扱われるように指令を行う。
また、キーボード１９のＴＨＬＤＢ周節キー１９ｃおよ
び１９ｄを調節することにより、面状態Ａに対するＴＨ
ＬＤ−Ａ、および面状態Ｂに対するＴＨＬＤ−Ｂをそれ
ぞれコンピュータ８を介してレベル調節することができ
る。
び１９ｄを調節することにより、面状態Ａに対するＴＨ
ＬＤ−Ａ、および面状態Ｂに対するＴＨＬＤ−Ｂをそれ
ぞれコンピュータ８を介してレベル調節することができ
る。
フィルタ回路１１からの信号［相］は、２値化回路１２
．２２に送られるとそれぞれＴＨＬＤ−Ａ。
．２２に送られるとそれぞれＴＨＬＤ−Ａ。
ＴＨＬＤ−Ｂによって２値化される。これらの２値化さ
れた検査信号［相］および■は、それぞれ選択検査部１
５．２５に供給される。これらの選択検査部１５．２５
にはそれぞれ、レーン分割信号発生回路１８からレーン
Ｎｏ、 １および５域にｒｌ（Ｊレベルとなるレーン指
定信号■および、レーンＮｏ、 ３域にｒＨ，レベルと
なるレーン指定信号＠が送られてくる。したがって、選
択検査部１５では境界域を除いた面状態Ａが検査され、
選択検査部２５では境界部域を除いた面状態Ｂが検査さ
れることになり、それぞれからコンピュータ８に選択検
出信号＠、■が供給される。コンピュータ８は、これら
の選択検出信号＠、［株］に基づいて選択された走査レ
ーンにおける欠陥部の分布を評価する。
れた検査信号［相］および■は、それぞれ選択検査部１
５．２５に供給される。これらの選択検査部１５．２５
にはそれぞれ、レーン分割信号発生回路１８からレーン
Ｎｏ、 １および５域にｒｌ（Ｊレベルとなるレーン指
定信号■および、レーンＮｏ、 ３域にｒＨ，レベルと
なるレーン指定信号＠が送られてくる。したがって、選
択検査部１５では境界域を除いた面状態Ａが検査され、
選択検査部２５では境界部域を除いた面状態Ｂが検査さ
れることになり、それぞれからコンピュータ８に選択検
出信号＠、■が供給される。コンピュータ８は、これら
の選択検出信号＠、［株］に基づいて選択された走査レ
ーンにおける欠陥部の分布を評価する。
なお、上述の実施例においては、検査するウェブ１上の
特定パターンに基づいてキーボード１９でレーンの分割
指令、およびどのレーンを有効に扱うかの指令を行うよ
うにしているが、受光部１０からの信号を数走査分調べ
、パターンを自動的に読取り、この読み取ったパターン
を基に、複数の走査レーンに分割すること、有効に扱う
べきレーンを指定すること等を全て自動的に行うように
してもよい。
特定パターンに基づいてキーボード１９でレーンの分割
指令、およびどのレーンを有効に扱うかの指令を行うよ
うにしているが、受光部１０からの信号を数走査分調べ
、パターンを自動的に読取り、この読み取ったパターン
を基に、複数の走査レーンに分割すること、有効に扱う
べきレーンを指定すること等を全て自動的に行うように
してもよい。
（発明の効果〕
以上詳細に説明したように、本発明の表面検査装置によ
れば、被検査体の走行方向にかけて連続的なパターンが
ある場合に、このパターンが属する走査レーンでの検査
情報を除外し、残りの走査レーンからの検査情報だけを
表面検査の対象とすることができるようにしている。し
たがって、前記パターン、あるいはその境界部から定常
的に発生される擬似欠陥情報を、他の走査レーンからの
検査情報に混在させることな（表面検査ができるように
なり、前記擬似欠陥情報を除外するために検査感度を低
くすることなく、高感度で検査を行うことができるよう
になる。
れば、被検査体の走行方向にかけて連続的なパターンが
ある場合に、このパターンが属する走査レーンでの検査
情報を除外し、残りの走査レーンからの検査情報だけを
表面検査の対象とすることができるようにしている。し
たがって、前記パターン、あるいはその境界部から定常
的に発生される擬似欠陥情報を、他の走査レーンからの
検査情報に混在させることな（表面検査ができるように
なり、前記擬似欠陥情報を除外するために検査感度を低
くすることなく、高感度で検査を行うことができるよう
になる。
また、レーン指定手段及び検査手段をそれぞれ複数設け
、これらの閾値を異なったレベルに設定できるようにし
ておくことによって、被検査体の表面状態に対応して検
査感度を調節ことが可能となり、表面検査装置の汎用性
を大幅に向上させることができるようになる。
、これらの閾値を異なったレベルに設定できるようにし
ておくことによって、被検査体の表面状態に対応して検
査感度を調節ことが可能となり、表面検査装置の汎用性
を大幅に向上させることができるようになる。
第１図は、本発明を実施した表面検査装置の一例を示す
概略図である。 第２図は、第１図の作動の一例を示すタイムチャートで
ある。 第３図は、２つの表面状態をそれぞれ独立に検査するよ
うにした本発明の一実施例を示す表面検査装置の概略図
である。 第４図は、走査方向にかけて連続的に２種類の表面状態
をもつウェブの一例を示す説明図である。 第５図は、第４図に示したウェブを使用した際の第３図
の作動の一例を示すタイムチャートである。 第６図（ａ）は、走行方向に連続的なパターンをもつウ
ェブの一例を示す表面図であり、第６図（ｂ）は走行方
向に連続的な凹凸をもつウェブの一例を示す表面図およ
び断面図である。 第７図は、第６図（ａ）に示したウェブを検査する際に
得られる信号の説明図である。 第８図は、第６図（ｂ）に示したウェブを検査する際に
得られる信号の説明図である。 １・・・ウェブ １０・・受光器１５・・選択検
出部 １８・・レーン指定信号発生回路 １９・・キーボード １９ａ、 １９ｃ、 １９ｄ ・ ＝ＴＨＬ
ＤｇＪ１節キー。 第 ６図 （ｂ） 第８図
概略図である。 第２図は、第１図の作動の一例を示すタイムチャートで
ある。 第３図は、２つの表面状態をそれぞれ独立に検査するよ
うにした本発明の一実施例を示す表面検査装置の概略図
である。 第４図は、走査方向にかけて連続的に２種類の表面状態
をもつウェブの一例を示す説明図である。 第５図は、第４図に示したウェブを使用した際の第３図
の作動の一例を示すタイムチャートである。 第６図（ａ）は、走行方向に連続的なパターンをもつウ
ェブの一例を示す表面図であり、第６図（ｂ）は走行方
向に連続的な凹凸をもつウェブの一例を示す表面図およ
び断面図である。 第７図は、第６図（ａ）に示したウェブを検査する際に
得られる信号の説明図である。 第８図は、第６図（ｂ）に示したウェブを検査する際に
得られる信号の説明図である。 １・・・ウェブ １０・・受光器１５・・選択検
出部 １８・・レーン指定信号発生回路 １９・・キーボード １９ａ、 １９ｃ、 １９ｄ ・ ＝ＴＨＬ
ＤｇＪ１節キー。 第 ６図 （ｂ） 第８図
Claims (2)
- （１）走査光を連続走行する被検査体に幅方向に照射し
、その反射光もしくは透過光から得られる検査情報に基
づいて被検査体の欠陥を検出する表面検査装置において
、 前記走査光の走査領域を分割することにより、被検査体
の幅方向を複数の走査レーンに分割するレーン分割手段
と、このレーン分割手段によって分割された走査レーン
の内、検査対象とする走査レーンを指定するレーン指定
手段と、レーン指定手段で指定された走査レーンについ
ての検査情報を選択的に取り出して評価する検査手段と
を備えたことを特徴とする表面検査装置。 - （２）前記レーン指定手段および検査手段は、少なくと
も２組ずつ設けられており、それぞれの検査手段は検査
情報を評価するための閾値が異なっていることを特徴と
する請求項２記載の表面検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065338A JPH01239439A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 表面検査装置 |
| DE3908862A DE3908862A1 (de) | 1988-03-18 | 1989-03-17 | Oberflaechenpruefeinrichtung |
| US07/326,502 US4982105A (en) | 1988-03-18 | 1989-03-20 | Surface inspecting apparatus with strip width dividing means |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065338A JPH01239439A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01239439A true JPH01239439A (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=13284047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63065338A Pending JPH01239439A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 表面検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4982105A (ja) |
| JP (1) | JPH01239439A (ja) |
| DE (1) | DE3908862A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04145351A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 欠陥検査装置 |
| WO2015159352A1 (ja) * | 2014-04-14 | 2015-10-22 | 株式会社東芝 | ウェブ検査装置、ウェブ検査方法、ウェブ検査プログラム |
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| DE3942226C2 (de) * | 1989-12-21 | 1993-10-14 | Bayer Ag | Verfahren zum optischen Prüfen von Faserverbundwerkstoffen |
| EP0475454A3 (en) * | 1990-09-14 | 1992-10-14 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Defect inspection system |
| JPH06103276B2 (ja) * | 1990-10-09 | 1994-12-14 | 肇産業株式会社 | 表面検査装置 |
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| DE4417015A1 (de) * | 1994-05-14 | 1995-11-16 | Maschimpex Gmbh | Sortierautomat zur Sortierung bzw. Klassifikation von Kleinprodukten der pharmazeutischen und der Süßwarenindustrie nach Form und Farbe |
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| US6226088B1 (en) * | 1999-01-29 | 2001-05-01 | Barry P. Keane | Optical web defect detection system |
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| US7784364B2 (en) * | 2008-04-28 | 2010-08-31 | Matzoll Robert J | Optical sensor for measurement of static and dynamic torque |
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| JPH0628870B2 (ja) * | 1986-05-28 | 1994-04-20 | キヤノン株式会社 | 光学素子の製造方法および装置 |
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| JPS63182554A (ja) * | 1987-01-23 | 1988-07-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面検査装置 |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP63065338A patent/JPH01239439A/ja active Pending
-
1989
- 1989-03-17 DE DE3908862A patent/DE3908862A1/de not_active Withdrawn
- 1989-03-20 US US07/326,502 patent/US4982105A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3908862A1 (de) | 1989-09-28 |
| US4982105A (en) | 1991-01-01 |
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